KR100670630B1

KR100670630B1 - 처리액 공급장치

Info

Publication number: KR100670630B1
Application number: KR1020050034450A
Authority: KR
Inventors: 히로미 카토; 요시쿠니 타케이치
Original assignee: 가부시키가이샤 퓨쳐비전
Priority date: 2004-04-27
Filing date: 2005-04-26
Publication date: 2007-01-17
Also published as: KR20060046703A; JP4206359B2; TW200609562A; JP2005313014A; TWI306960B

Abstract

지지롤러를 설치하는 오목부의 저부에 액빠짐로를 형성하고, 내부에서 발생한 입자를 처리액 등과 함께 빼내어, 기판으로의 처리를 바람직하게 행할 수 있도록 한다.

처리액 공급장치는, 상부처리부(10)와 하부처리부(20)로 이루어지고, 양 처리부사이에 반송되는 기판에 양면으로부터 처리액을 공급하여 습식처리를 행한다. 하부처리부의 천정판(22)의 상면측에 소요 개수의 오목부를 형성하고, 그 속에 상단이 천정판으로부터 드러나도록 지지롤러(30)를 배설하고 반입기판의 자중에 의한 하방으로의 휘어짐을 규제한다. 지지롤러(30)를 장전하는 오목부의 저부에는 외부에 연통하는 액빠짐공을 형성하여, 지지롤러(30)의 회전에 따라 발생하는 입자를 외부로 배출한다.

Description

처리액 공급장치 {TREATMENT SOLUTION SUPPLY APPARATUS}

도 1은, 본 발명에 따른 처리액 공급장치의 일실시형태를 나타내는 측면단면도이다.

도 2는, 지지롤러 및 그 설치구조를 나타내는 단면도이고, (a)는 제 1 실시형태를 나타내며, (b)는 제 2 실시형태를 나타낸다.

도 3은, 본 발명에 따른 처리액 공급장치의 구체적인 일형태를 나타내는 일부 절결정면도이다.

도 4는, 도 3에 나타내는 처리액 공급장치의 일부 절결측면도이다.

[부호의 설명]

1: 처리액 공급장치

10: 하부처리부

20: 상부처리부

11, 21: 케이스체

12, 22: 천정판

13, 23: 액공급로

14, 24: 액배출로

30: 지지롤러

31, 32: 회전축(지지축)

221: 오목부

222: 베어링부

223: 저부

224: 액빠짐로

225: 액공

226: 공통로

321: 액공

322: 관통액공

40: 액빠짐로

본 발명은, 액정패널, 그 외의 표시용 패널 등을 비롯하여, 각 종 용도로 이용되는 유리기판 등의 매엽식 기판에 대한 세정, 에칭, 현상, 박리 등의 습식처리에 이용하는 액체절약형 처리액 공급장치의 개량에 관한 것이다.

특허문헌1에는, 도입공(7)을 갖는 도입통로(10)와 배출구(15)를 갖는 배출통로(12)를 형성하고, 도입통로(10)와 배출통로(12)를 각각의 타단에 있어서 교차시켜서 교차부(14)를 형성함과 아울러 교차부(14)에, 피처리물(1)을 향해 개구하는 개구부(6)를 형성하여 이루어진 노즐구성체(50)와, 개구부(6)를 통해서 처리물(1)에 접촉한 습식처리액이 습식처리후에 배출통로(12) 밖으로 흐르지 않도록, 피처리물(1)과 접촉하고 있는 습식처리액의 압력과 대기압의 차를 제어하기 위한 압력제어수단(13)을 설치한 습식처리장치가 제안되어 있다.

특허문헌2에는, 특허문헌1에 기재된 습식처리장치와 기본구조를 공통하는 매엽식 세정장치가 기재되어 있고, 또한 하부 케이스체(30B)의 상방에 한 개 또는 복수개의 지지롤러(39)를 설치해서 유닛내의 유리기판을 지지하는 것이 제안되어 있다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 평10 - 163153호 공보

[특허문헌2] 일본 특허공개 2002 - 280340호 공보

특허문헌2에서는, 유닛내의 지지롤러에 의해 반송되는 유리기판의 휘어짐이 규제된다. 그러나, 지지롤러를 세정유닛 내부에 설치하는 결과, 지지롤러의 회전에 의해 그 베어링부와의 사이의 마찰회전 등에 기인해서 마모분(입자)이 발생하는 일이 충분히 생각되어지기 때문에, 본래 세정을 행하는 부위임에도 오히려 세정효과를 손상시킬 우려를 갖고 있다.

본 발명은, 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 지지롤러를 설치하는 오목부의 저부에 액빠짐로를 형성해서 내부에서 발생한 입자를 처리액 등과 함께 빼내어, 기판으로의 처리를 바람직하게 행할 수 있도록 한 처리액 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은, 통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부천정판, 상기 상부천정판의 기판반송방향의 일방측에 설치되고, 상기 상부천정판의 하면측에 처리액을 공급하는 상부액공급로부, 및 타방측에 설치되어, 상기 공급된 처리액을 상기 상부천정판의 하면측으로부터 흡인배출하는 상부액배출로부를 구비한 상부처리부와, 상기 상부처리부에 대향배치되고, 통과하는 기판의 하면에 대향하는 하부천정판, 상기 하부천정판의 기판반송방향의 일방측에 설치되고, 상기 하부천정판의 상면측에 처리액을 공급하는 하부액공급로부, 및 타방측에 설치되어, 상기 공급된 처리액을 상기 하부천정판의 상면측으로부터 흡인배출하는 하부액배출로부를 구비한 하부처리부를 구비한 처리액 공급장치에 있어서, 상기 하부천정판은 상면측에 형성된 소정개수의 오목부에 상단이 상기 하부천정판의 상면으로부터 돌출된 높이위치에서 지지축둘레로 회전가능하게 설치된 회전지지체를 갖고, 상기 오목부는 그 저부에 액빠짐로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 구성에 의하면, 최근의 처리대상기판의 대사이즈화(예를 들면, 길이 1300㎜, 폭 1100㎜)에 따라, 장치내로 반송되어온 기판의 선단측이, 혹은 장치로부터 빠지는 때의 기판의 후단측이, 또한 장치내에 중앙부분이 위치하고 있을 때에는 상기 중앙부분이 하방으로 휘어져 하부천정판에 접촉할 우려가 있지만, 이 휘어짐이 회전지지체에 의해 바람직하게 방지되어, 하부천정판과의 접촉에 따른 기판표면의 손상 등이 저지되며, 기판품질이 유지되고 또한 기판을 상부처리부와 하부처리부 사이에 정확하게 유지할 수 있으므로 액체처리도 효과적으로 행해진다.

또한, 회전지지체를 설치하는 오목부의 저부에 회전지지체의 회전에 의해 입 자가 발생했다고 해도, 이 입자는 오목부의 저부에 형성된 액빠짐로를 경유하여 처리액과 함께 빼내어진다. 이 때문에, 처리중의 기판의 하면에 입자가 부착되거나 하는 일이 없어져서, 기판처리가 적합하게 행해진다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 처리액 공급장치에 있어서, 상기 오목부는 상기 하부천정판에 형성된 노치부이고, 상기 회전지지체는 상기 노치부에 지지되고 폭방향으로 평행한 지지축에 회전가능하게 축지지되며, 상기 액빠짐로는, 상기 노치부의 저부로부터 하방을 향해 형성된 소공(小孔)임을 특징으로 하는 것이다. 이 구성에 의하면, 회전지지체는 지지축 둘레로 회전하고, 기반의 반송지지를 행한다. 이 반송시의 회전지지체의 회전에 의해 입자가 발생했다고 해도, 그 입자는 노치부의 저부에 형성된 소공으로부터 빼내어진다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 처리액 공급장치에 있어서, 상기 오목부는 폭방향으로 소정개수, 또한 반송방향으로 소정개수만큼 형성되어져 있는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 구성에 의하면, 회전지지체가 폭방향 및 반송방향으로 소정개수씩 설치되어지므로, 기판의 전면에 있어서 휘어짐이 규제된다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 처리액 공급장치에 있어서, 상기 액빠짐로는 상기 하부처리부에 형성된 공통로에 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 구성에 의하면, 회전지지체, 즉 액빠짐로가 복수 형성되어 있는 경우에서도, 공통로에 의해 한 개의 라인으로 액빠짐이 가능하게 된다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 처리액 공급장치에 있어서, 상기 지지축은 회전지지체의 내주면에 대향하는 외주면까지 연장된 세정액공급공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다. 이 구성에 의하면, 회전지지체와 지지축 사이에서 마찰회전에 의해 입자가 발생해도, 이 입자는 세정액에 의해 효과적으로 액빠짐로로부터 빼내어진다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 처리액 공급장치에 있어서, 상기 회전지지체는 외주면이 방추형상으로 형성된 것임을 특징으로 하는 것이다. 이 구성에 의하면 회전지지체는 기판과의 접촉면적이 작아지는만큼, 기판의 접촉손상이 작아진다.

도 1은, 본 발명에 따른 처리액 공급장치의 일실시형태를 나타내는 측면단면도이다. 처리액 공급장치(1)는, 유리기판(GB)의 반송로(50)도중에 설치되고, 상하방향 중앙에 반송로(50)에 대해서 기판의 출입을 행하기 위한 소정의 간극을 갖는 기판통로를 갖고 상하측에 대향배치되는 상부처리부(10)와 하부처리부(20)로 구성된 액체회수(액체절약)형 노즐장치이다. 본 실시예에서는 액처리로서 순수 등을 이용한 세정처리를 행하는 것으로 해서 설명한다.

상부처리부(10)는, 본 실시형태에서는 직육면체상의 케이스체(11)를 갖고, 이 케이스체(11)의 하부는 반송중의 기판(GB)과 소정의 미소한 간극을 두고 대향하는 천정판(12)으로 구성되어 있다. 또한, 케이스체(11)의 반송방향 하류측의 측판적소에는 직립하여 액공급로(13)가 설치되고, 반송방향 상류측의 측판적소에는 마찬가지로 직립하여 액배출로(14)가 설치되어 있다. 액공급로(13) 및 액배출로(14) 는 폭방향(도 1의 지면 안길이방향)으로 소정수씩 대향하여 배치되어 있다. 또한, 액공급로(13) 및 액배출로(14)의 하단개구의 높이 위치는 천정판(12)의 하면과 대략 동일면으로 되도록 설정되어 있다.

액공급로(13)는 도시생략의 가압펌프를 통하여 세정액 탱크에 연통되어 있고, 한편, 액배출로(14)는 도시생략의 감압펌프를 통하여 회수탱크에 연통되어 있다. 이 구성에 의해, 처리액 공급장치(1)내에 세정대상이 되는 기판(GB)이 반송로(50)의 롤러(51, 52)에 의해 처리액 공급장치(1)내로 반송되어 오면, 가압펌프 및 감압펌프가 구동되어, 반송중의 기판(GB)의 선단측으로부터 세정액이 기판(GB)의 하면과 천정판(12)의 미소한 간극으로 공급된다. 공급된 세정액은, 기판(GB)의 하면으로 퍼지는 한편, 감압펌프에 의해 반송방향 상류측의 액배출로(14)의 하부개구의 주변에 생기는 부압에 의해 상류측에 흡인되어 액배출로(14)를 향한 흐름이 생겨서, 흡인배출된다. 가압펌프에 의한 정압레벨 및 감압펌프에 의한 부압레벨은, 액공급로(13)로부터 천정판(12)과 기판(GB)의 상면 사이로 공급된 세정액이, 측방으로 누설되는 일 없이 액배출로(14)에서 거의 흡인되도록 설정되어 있다. 가압펌프, 감압펌프는 도시생략의 펌프구동부에 의해 각각 압조정가능하게 되어 있다. 이와 같이, 기판(GB)의 반송방향과 역방향으로 세정액을 흐르게 함으로써, 세정효과를 보다 높이도록 하고 있다.

하부처리부(20)는, 기본적으로 상부처리부(10)와 거의 동일한 상하 역방향 구조를 갖는다. 다시 말해 하부처리부(20)는, 직육면체상의 케이스체(21)를 갖고, 이 케이스체(21)의 상부는 반송중의 기판(GB)과 소정의 미소한 간극을 두고 대향하 는 천정판(22)으로 구성되어 있다. 또한, 케이스체(21)의 반송방향 하류측의 측판적소에는 직립하여 액공급로(23)가 설치되고, 반송방향 상류측의 측판적소에는 마찬가지로 직립하여 액배출로(24)가 설치되어 있다. 액공급로(23) 및 액배출로(24)는 폭방향(도 1의 지면 안길이방향)으로 소요수씩 대향하여 배치되어 있다. 또한, 액공급로(23) 및 액배출로(24)의 상단개구의 높이위치는 천정판(22)의 상면과 대략 동일면으로 되도록 설정되어 있다.

상부처리부(10)와 마찬가지로, 액공급로(23)는 도시생략의 가압펌프를 통하여 세정액 탱크에 연통되어 있고, 한편, 액배출로(24)는 도시생략의 감압펌프를 통하여 회수 탱크에 연통되어 있다. 이 구성에 의해, 처리액 공급장치(1)내에 세정대상이 되는 기판(GB)이 반송로(50)의 롤러(51, 52)에 의해 처리액 공급장치(1)내로 반송되어 오면, 가압펌프 및 감압펌프가 구동되어, 반송중의 기판(GB)의 선단측으로부터 세정액이 기판(GB)의 상면과 천정판(22)의 미소한 간극에 공급된다. 세정액의 흐름은 상부처리부(10)의 경우와 같다. 처리액 공급장치(1)를 통과한 기판(GB)은 하류측의 반송로(50)의 롤러(53)를 지나 또한 하류측으로 반송된다.

하부처리부(20)의 천정판(22)에는, 소정개수의 기판을 지지하는 회전지지체로서의 지지롤러(30)가 배설되어 있다. 도 1에서는, 반송방향으로 네 개가 거의 균등배치되어 있고, 또한 폭방향으로도 소정열만큼 배치되어 있다. 처리대상의 기판(GB)의 사이즈가 커지고, 이것에 따라 내지는 처리효율의 향상을 도모하는 점에서 처리액 공급장치(1)의 반송방향 사이즈가 커지며, 그러면 반송로(50)의 롤러(52)와 롤러(53)의 거리가 길어지기 때문에, 롤러(52)를 통과한 기판(GB)의 선단측이 자중에 의해 하방으로 휘고, 그 선단이 천정판(22)에 접촉하여 기판표면에 흠이 나는 등 기판품질을 손상할 가능성이 생긴다. 또한, 기판(GB)의 후측에 대해서도, 또한 기판(GB)의 중앙부분에 대해서도 같은 문제가 있다. 지지롤러(30)는 처리액 공급장치(1)내에서 기판(GB)의 하방으로의 휘어짐을 규제하면서 지지반송하는 것이다. 지지롤러(30)는 폭방향으로 평행한 축둘레를 종동회전하는 것이다.

지지롤러(30)는 반송방향으로 적어도 한 개가 처리액 공급장치(1)의 반송방향 대략 중간위치에 배치되어도 좋지만, 처리액 공급장치(1)의 반송방향 치수나, 처리대상의 기판(GB)의 길이 사이즈, 두께나 재질에 따른 휘어짐의 정도에 따라, 소정 개수(본 실시형태에서는 네 개)로 설정되어 있다. 각 지지롤러(30)의 하부에는 액빠짐로(40)가 형성되어 있다. 도면에서는 나타내고 있지 않지만, 액빠짐로(40)는 흡인펌프를 통하여 회수탱크에 연통되고, 기판처리중에는 이 흡인펌프가 구동된다.

도 2(a)에 있어서, 지지롤러(30)는 천정판(22)의 상면측에 형성된 오목부(설치구멍)(221)에 장전되어 있다. 오목부(221)는 소정 사이즈의 수용공간을 갖고, 그 주위측벽 중, 폭방향(도 2의 지면 안길이방향)에 위치하는 양측벽에는, 지지롤러(30)를 회동가능하게 축지지하는 회전축(31)을 수평지지하는 베어링부(222)가 형성되어 있다. 회전축(31)은 상기 양측벽의 상단으로부터 베어링부(222)까지 연장하여 형성된 삽입 가이드홈을 따라 삽입/이탈시킬 수 있도록 되어 있다. 오목부(221)의 저부(223)는 대략 수평면으로 되고, 그 중앙은 하방을 향한 테이퍼상으로 형성되며, 그 하단에 하방으로 연장되는 소정단면적을 갖는 소경의 액빠짐공(224)이 뚫려 있다. 도면에서는 나타내고 있지 않지만, 이 액빠짐공(224)의 하단측은 도 1에 나타내는 액빠짐로(40)에 연통되어 있다. 또한, 도 2의 예에서는 천정판(22)은 2층 구조를 이루고, 지지롤러(30)의 삽입 후에 부설되는 상층판(22a)이 삽입 가이드홈를 닫음으로써, 회전축(31)이 수용된다. 또한, 상층판(22a)의 상면측에는 오목부(221)의 개구를 좁히는 에지가 형성되어 있고, 오목부(221)의 개구면적을 좁게 해서 입자의 확산을 보다 효과적으로 제어하고 있다.

지지롤러(30)는 외주면의 일부가 천정판(22)의 상면으로부터 드러나는 높이위치에서 회전축(31)에 지지되어 있다.

이 구성에 의하면, 처리액 공급장치(1)내로 반입되어 온 기판(GB)은 그 하면측이 지지롤러(30)로 지지되고, 하방으로 휘어져 천정판(22)과 접촉하지 않게 된다. 또한, 지지롤러(30)는 기판(GB)의 반송력에 의해 종동하고, 기판(GB)의 이송을 원활하게 담당한다. 지지롤러(30)의 회전축(31)과의 사이에서의 마찰회전에 의해 입자 등이 발생했다고 해도, 이 입자는 액빠짐공(224)을 통하여 도시생략의 흡인펌프에 의해 흡인되고, 액빠짐공(224), 액빠짐로(40)를 지나 세정액과 함께 회수탱크로 회수되므로, 천정판(22)의 상면으로 돌아들어가서 세정중의 세정액에 혼입되어, 세정효과를 저하시키거나, 기판(GB)의 뒷면을 흠내지 않게 된다.

도 2(b)에 나타내는 지지롤러(30)의 설치구조는 기본적으로는 도 2(a)와 대략 동일하다. 다시 말해, 천정판(22)의 상면측에는 지지롤러(30)를 장전하는 오목 부(설치구멍)(221)가 형성되어 있고, 이 오목부(221)의 폭방향(도 2의 지면 안길이방향)에 위치하는 양측벽에는, 지지롤러(30)를 회동가능하게 축지지하는 회전축(32)을 수평지지하는 베어링부(222)가 형성됨과 아울러, 상기 양측벽의 상단으로부터 베어링부(222)까지 회전축(32)을 삽입/이탈시키기 위한 삽입 가이드홈이 형성되어 있다. 오목부(221)의 저부(223)는 대략 수평면으로 되고, 그 중앙에는 하방으로 연장되는 소경의 액빠짐공(224)이 뚫려 있다.

지지롤러(30)는 외주의 폭치수가 소정의 단치수로 되어 있고, 특히 그 중앙은 폭방향으로 방추형상(볼록상)으로 형성되어 있다. 이 방추형상에 의해 기판(GB)과의 접촉면적이 감소하는 만큼, 기판의 접촉 손상을 저감하는 것이 가능하게 된다. 이 방추형상은 도 2(a)에 나타내는 지지롤러(30)에도 마찬가지로 적용가능하다.

천정판(22)의 두께내에는 베어링부(222)와 외부(천정판(22)의 측면 혹은 하면측)를 연통하는 액공(225)이 형성되어 있다. 또한, 회전축(32)의 축내에는 동심상의 액공(321)이 길이방향 중간까지 뚫리고, 또한 회전축(32)의 길이방향 중간위치에서는 지름방향으로 중심을 지나가는 관통액공(322)이 뚫려 있다. 따라서, 액공(321)과 관통액공(322)은 연통되고, 또한 천정판(22)의 액공(225)과 회전축의 액공(321)이 연통되는 결과, 액공(225)과 관통액공(322)이 연통된다. 그리고, 도면에서는 나타내고 있지 않지만, 액공(225)의 외부개구측에는 공급펌프를 통하여 세정액 탱크에 연달아 설치되어 있고, 이 공급펌프를 구동시킴으로써, 세정액을 지지롤러(30)의 내주벽면에 분사공급 가능하게 하고 있다.

이 구성에 의하면, 도 2(a)의 경우와 마찬가지로, 처리액 공급장치(1)내로 반입되어온 기판(GB)은 그 하면측이 지지롤러(30)로 지지되고, 하방으로 휘어져 천정판(22)과 접촉하지 않게 된다. 또한, 지지롤러(30)는 기판(GB)의 반송력에 의해 종동하고, 기판(GB)의 이송을 원활하게 담당한다. 지지롤러(30)의 회전축(32)과의 사이에서의 마찰회전에 의해 입자 등이 발생했다고 해도, 이 입자는 액빠짐공(224)을 통하여 흡인되고, 액빠짐로(40)를 지나 세정액과 함께 회수탱크로 회수되므로, 천정판(22)의 상면으로 돌아들어가서 세정 중의 세정액에 혼입되어, 세정효과를 저하시키거나 기판(GB)의 이면을 흠내지 않게 된다. 또한, 액공(322)으로부터 지지롤러(30)의 내주측면에 세정액을 분사공급하고 있으므로, 회전축(32)과의 사이에서의 마찰회전에 의해 입자 등이 발생했다고 해도, 이 입자를 보다 효과적으로 씻어낼 수 있다. 또한, 기판처리가 종료된 후에, 처리액이 부착되어 있는 지지롤러(30)의 내주측벽을 세정하는 것도 가능하며, 부착된 처리액(처리액이 세정수가 아니라, 약액을 사용하는 형태의 경우에는 특히) 등의 부착, 건조에 의한 결정 등의 부착을 효과적으로 방지할 수 있고, 지지롤러(30)의 원활한 회전을 장기간에 걸쳐 확보할 수 있다.

도 3은, 본 발명에 따른 처리액 공급장치의 구체적인 일형태를 나타내는 일부 절결정면도이고, 도 4는, 도 3에 나타내는 처리액 공급장치의 일부 절결측면도이다. 또한, 도 3, 도 4에서는, 설명의 편의상, 지지롤러(30)에 관한 구성부분만을 기재하고 있으며, 도시생략의 부분은 기본적으로 도 1과 같다.

도 3, 도 4에 나타내는 실시예에서는, 처리액 공급장치(1)의 기판반송방향의 길이치수는 약 400㎜이고, 처리대상 기판의 사이즈는 길이치수 1300㎜, 폭치수 1100㎜ 정도이며, 지지롤러(30)는 반송방향에 같은 간격으로 6개, 폭방향에 대략 같은 간격으로 5개의 합계 30개가 배치되어 있다. 또한, 지지롤러(30)는 재질로서는 고분자 폴리에틸렌 등의 수지재료로 이루어지고, 바람직하게는 내약품성을 갖는 수지재료가 채용되어 있으며, 형상은 직경이 약 20㎜이고, 폭치수가 약 7㎜인 것이 채용되어 있다. 액빠짐공(224)은 직경이 약 1 ~ 2㎜이다. 각 오목부(221)의 저부에 뚫려 있는 액빠짐공(224)은 반송방향에 걸쳐 각각의 공통로(226)(5개)로 연통되고, 또한 반송방향의 적소, 바람직하게는 반송방향의 대략 중앙위치에서 액빠짐로(40)에 연접되어 있다. 액빠짐로(40)는 바람직하게는 도 3에 나타내는 바와 같이 1개로 묶여지고, 외부의 흡인펌프를 통하여 회수탱크에 연통되어, 오목부(221)내의 액체가 회수탱크에 회수가능하게 되어 있다.

또한, 본 발명은, 이하의 형태를 채용할 수 있다.

(1) 회전지지체로서, 외주가 단폭인 지지롤러를 이용하고 있지만, 이것 대신에, 어느 정도 장폭의 롤러 등이어도 좋다. 이 경우, 폭방향으로 복수의 방추부를 간헐적(부분적)으로 형성하도록 하면, 접촉손상은 완화된다. 또한, 회전지지체로서는 지지롤러와 롤러에 한정하지 않고, 소형의 무단벨트를 둘레회전시키는 구성이어도 된다. 또한, 지지롤러는 방추형상에 한정되지 않고, 그 재질이나 처리하는 대상기판의 종류 등에 따라서는 편평한 롤러여도 좋다.

(2) 지지롤러의 배치는, 폭방향, 반송방향에 매트릭스 상으로 되어 있지만 이러한 배치에 한정되지 않고, 지그재그 상의 배치 등이어도 좋다. 폭방향에 대해서는 좌우대칭으로 배치하는 것이 기판을 균형있게 지지하는데 있어서 바람직하다.

(3) 본 실시형태에서는, 지지롤러(30)와 회전축(31)의 회전마찰에 의해 입자가 발생, 다시 말해 회전축(31)이 회전하지 않는 것으로서 설명했지만, 지지롤러(30)와 회전축(31)이 일체이고, 베어링부(222)에 대해서 회전축(31)이 회전하는 형태에도 마찬가지로 적용가능하다.

(4) 본 실시형태에서는, 지지롤러(30)를 수용(내장)하는 것으로서 천정판(22)에 오목부(221)를 형성한 것으로 설명했지만, 오목부(222)의 형태로서는, 단지 뚫어진 것외에, 지지롤러 수용공간을 갖는 케이스체를 천정판(22)에 끼워넣는 형태이어도 좋다.

(5) 회전축(32)에 뚫어진 관통액공(322)은 양 외주면에서 개구하고 있지만 한 쪽만 개구하는 형태로 하여도 좋고, 또한 120도씩으로 3개 개구시키는 형태이어도 좋다. 또한, 길이방향으로 복수 형성하는 형태이어도 된다.

(6) 지지롤러(30)는 종동식으로 해서 설명했지만, 구동원을 설치하여 적극적으로 기판반송을 행하는 형태이어도 된다.

(7) 액빠짐공(224)과 액빠짐로(40)의 연접위치는, 연통로(226)의 대략 중앙위치이고, 액빠짐공(224)의 수직하방이어도 된다.

청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 회전지지체의 회전동작에 기인하여 입자가 발생했다고 해도, 이 입자를 오목부의 저부에 형성된 액빠짐로를 경유하여 처리액과 함께 빼내는 것이 가능하게 되기 때문에, 처리중의 기판의 하면으로의 입자의 부착을 방지할 수 있고, 기판처리를 적합하게 행하게 할 수 있다.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 발생한 입자를 노치부의 저부에 형성된 소공으로부터 빼낼 수 있다.

청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 회전지지체를 폭방향 및 반송방향으로 소정의 개수씩 설치했으므로, 기판의 전면에 있어서 휘어짐을 규제할 수 있다.

청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 회전지지체, 즉 액빠짐로가 복수형성되어 있는 경우에서도, 공통로에 의해 한 개의 라인으로 액빠짐이 가능하게 된다.

청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 회전지지체와 지지축 사이에서 마찰회전에 의해 발생한 입자를 그것을 위한 세정액에 의해 효과적으로 액빠짐로로부터 빼낼 수 있다.

청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 회전지지체를 방추형상으로 해서 기반과의 접촉을 작게 했으므로, 기판의 접촉손상을 억제할 수 있다.

Claims

통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부천정판, 상기 상부천정판의 기판반송방향의 일방측에 설치되어, 상기 상부천정판의 하면측에 처리액을 공급하는 상부액공급로부, 및 타방측에 설치되어 상기 공급된 처리액을 상기 상부천정판의 하면측으로부터 흡인배출하는 상부액배출로부를 구비한 상부처리부와, 상기 상부처리부에 대향배치되고, 통과하는 기판의 하면에 대향하는 하부천정판, 상기 하부천정판의 기판반송방향의 일방측에 설치되며, 상기 하부천정판의 상면측에 처리액을 공급하는 하부액공급로부, 및 타방측에 설치되어 상기 공급된 처리액을 상기 하부천정판의 상면측으로부터 흡인배출하는 하부액배출로부를 구비한 하부처리부를 구비한 처리액 공급장치에 있어서,

상기 하부천정판은, 상면측에 형성된 소정개수의 오목부에 상단이 상기 하부천정판의 상면으로부터 돌출되는 높이위치에서 지지축둘레로 회전가능하게 설치된 회전지지체를 갖고, 상기 오목부는 그 저부에 액빠짐로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
제 1항에 있어서, 상기 오목부는 상기 하부천정판에 형성된 노치부이고, 상기 회전지지체는, 상기 노치부에 지지된 폭방향으로 평행한 지지축에 회전가능하게 축지지되며, 상기 액빠짐로는 상기 노치부의 저부로부터 하방을 향해 형성된 소공인 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 오목부는 폭방향으로 소정개수, 또한 반송방향으로 소정개수만큼 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 액빠짐로는 상기 하부처리부에 형성된 공통로에 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 지지축은 상기 회전지지체의 내주면에 대향하는 외주면까지 연장된 세정액 공급공이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 회전지지체는 외주면이 방추형상으로 형성된 것임을 특징으로 하는 처리액 공급장치.