KR100753498B1 - 처리액 공급장치 - Google Patents

Abstract

처리액 회수타입의 처리액 공급장치를 대상으로 하고, 가령 상하의 케이스체가 소수성의 재료로 형성되고, 또한, 기판폭방향 및 기판반송방향으로 장대한 것이어도, 기판처리중에 처리액이 케이스체 사이로부터 누설되는 것을 유효하게 방지할 수 있도록 한다.

상하의 케이스체(20,30)에 설치된 상부 및 하부 노즐블록(22,32)의 각 외면에는, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출설치되고, 또한, 기판(B)의 통과를 허용하는 상부 윙(25) 및 하부 윙(35)이 설치되고, 상하의 윙(25,35)은 이들 대향면 사이의 거리가 상부 저판(21) 및 하부 천판(34)의 대향면 사이의 거리보다 짧아지도록 설치위치가 설정되어 있다.

Description

처리액 공급장치{PROCESSING SOLUTION SUPPLYING APPARATUS}

도1은 본 발명에 따른 처리액 공급장치의 일실시형태를 나타내는 분해 사시도이다.

도2는 도1에 나타내는 처리액 공급장치의 조립 사시도이다.

도3은 도2의 A-A선 단면도이다.

도4는 상부 노즐블록 및 하부 노즐블록의 일실시형태를 나타내는 일부 절단 사시도이며, (a)는 상부 노즐블록을, (b)는 하부 노즐블록을 각각 나타내고 있다.

도5는 하부 천판의 일실시형태를 나타내는 일부 절단 사시도이다.

도6은 도5의 D-D선 단면도이다.

도7은 상부 배액블록 및 하부 배액블록의 일실시형태를 나타내는 일부 절단 사시도이며, (a)는 상부 배액블록을, (b)는 하부 배액블록을 각각 나타내고 있다.

도8은 본 발명에 따른 처리액 공급장치가 적용된 기판처리장치의 일실시형태를 나타내는 측면에서 볼 때의 설명도이다.

도9는 하부 천판에 장착되는 롤러의 다른 실시형태를 나타내는 단면도이다.

(부호의 설명)

10:처리액 공급장치

20:상부 케이스체(상부 처리부)

21:상부 저판

22:상부 노즐블록(상부 액공급로부)

221:나사구멍

222:처리액 공급통로

223:노즐구멍

23:상부 배액블록(상부 액배출로부)

231:나사구멍

232:처리액 배출통로

233:처리액 흡인구멍

24:상부 천판

25:상부 윙

251:전방 상부 윙

252:후방 상부 윙

253:부착판부(플랜지부)

254:윙본체(수평 연장부)

255:단차부

30:하부 케이스체(하부 처리부)

31:하부 저판

32:하부 노즐블록(하부 액공급로부)

321:나사구멍

322:처리액 공급통로

323:노즐구멍

33:하부 배액블록(하부 액배출로부)

331:나사구멍

332:처리액 배출통로

333:처리액 흡인구멍

34:하부 천판

341:천판본체

341a:액구멍

342:오목부

342a:베어링부

342b:저부

343,343':롤러(회전지지체)

344,344':롤러축

344a:액구멍

344b:관통 액구멍

345:롤러본체

346:베어링홈

347:액배출구멍(액배출로)

348:적층판

349:각구멍

35:하부 윙

351:전방 하부 윙

352:후방 하부 윙

353:부착판부(플랜지부)

354:윙본체(수평 연장부)

355:단차부

40:측판

50:기판처리장치

51:기판반송로

511:반송롤러

52:처리액 공급계통

521:처리액 저장조

522:처리액 공급관

523:처리액 공급펌프

53:처리액 회수계통

531:처리액 회수조

532:배액관

533:배액펌프

534:액배출관(공통로)

535:액수용팬

536:액배출밸브

B:기판

C:유체 이음매

V:기판처리공간

본 발명은, 액정패널, 그 밖의 표시용 패널 등을 비롯해서, 각종의 용도로 사용되는 유리기판 등의 매엽식 기판에 대한 세정, 에칭, 현상, 박리 등의 웨트처리에 사용하는 액절약형의 처리액 공급장치의 개량에 관한 것이다.

종래, 특허문헌1에 기재되어 있는 바와 같은 처리액 회수타입으로 통칭되는 처리액(세정액) 공급장치가 알려져 있다. 이 처리액 공급장치는, 상자형상을 띤 상부 케이스체와 하부 케이스체를 대향배치하고, 이들 상하의 케이스체 사이에 기판처리로를 형성해서 기판에 이 기판처리로를 통과시키도록 이루어져 있다. 그리고, 상하의 케이스체의 기판반송방향 하류측으로부터 기판처리로를 향해서 처리액을 공급함과 아울러, 상하의 케이스체의 기판반송방향 상류측으로부터 기판처리에 제공된 후의 처리액을 배출하도록 이루어져 있다.

이러한 구성의 처리액 공급장치에 의하면, 기판은, 상하의 케이스체 사이의 기판처리로를 통과하는 동안에 기판처리로에 공급된 필요 충분한 양의 처리액에 의 해 소정의 처리가 실시되므로, 반송중의 기판의 표리면에 처리액을 스프레이하는 방식에 비해서 처리액의 양을 적게 할 수 있고, 이것에 의해 러닝 코스트의 저감화를 꾀할 수 있을 뿐만 아니라, 처리액 공급장치를 콤팩트화하는 것이 가능하게 되고, 설비 코스트의 저감화에도 공헌한다.

(특허문헌1) 일본 특허공개 2003-53283호 공보

그러나, 특허문헌1에 기재되어 있는 바와 같은 처리액 공급장치에 있어서, 상하의 케이스체의 폭치수(기판반송방향에 직교하는 방향의 치수)가 길이치수(기판반송방향의 치수)에 비해서 충분히 길고, 또한, 케이스체를 구성하는 재료로서 소수성 재료(예를 들면 합성수지재료)가 적용된 경우 등, 상하의 케이스체 사이의 기판처리로에 도입된 처리액이 상하의 케이스체에 있어서의 처리액 공급측의 끝부 및 처리액 배출측의 끝부로부터 외부로 누설된다는 문제가 발생한다.

본 발명은, 이러한 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 처리액 회수타입의 것을 대상으로 하고, 가령 상하의 케이스체가 소수성의 재료로 형성되고, 또한, 기판 폭방향으로 장대한 것이어도, 기판처리중에 처리액이 케이스체 사이로부터 누설되는 것을 유효하게 방지할 수 있는 처리액 공급장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

청구항1 기재의 발명은, 통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부 저판, 상기 상부 저판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 상부 저판의 하면측에 처리 액을 공급하는 상부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 상부 저판의 하면측으로부터 흡인 배출하는 상부 액배출로부를 구비한 상부 처리부와, 상기 상부 처리부에 대향배치되고, 통과하는 기판의 하면에 대향하는 하부 천판, 상기 하부 천판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 하부 천판의 상면측에 처리액을 공급하는 하부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 하부 천판의 상면측으로부터 흡인 배출하는 하부 액배출로부를 구비한 하부 처리부를 구비한 처리액 공급장치에 있어서, 상기 상부 및 하부 액공급로부의 각 외면에, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출된 윙이 대향 설치되고, 상기 각 윙은 대향면 사이의 거리가 상기 상부 저판 및 하부 천판의 대향면 사이의 거리보다 짧아지는 부위를 적어도 일부에 갖는 것임을 특징으로 하는 것이다.

이러한 구성에 의하면, 기판반송방향의 상류단으로부터 상부 처리부의 상부 저판과, 하부 처리부의 하부 천판 사이에 반입된 기판은, 그 상면측이 기판반송방향의 하류측의 상부 액공급로부로부터 상부 처리부에 공급된 처리액에 의해 처리가 실시됨과 아울러, 그 하면측이 하류단의 하부 액공급로부로부터 하부 처리부에 공급된 처리액에 의해 처리되고, 표리면이 처리된 상태에서 처리액 공급장치로부터 반출된다.

한편, 상부 액공급로부로부터 공급된 처리액은, 하류단으로부터 상류단을 향해서 기판과 향류(向流, 유체가 서로 반대방향으로 흐르는 일)로 접촉하면서 유하(流下)하면서 상부 처리부에서 기판 상면에 대해서 처리를 실시한 후, 상류단에 설치된 상부 액배출로부에 의해 흡인 배출됨과 아울러, 하부 액공급로부로부터 공급 된 처리액은, 하류단으로부터 상류단을 향해서 유하하면서 하부 처리부에서 기판하면에 대하여 처리를 실시한 후, 상류단에 설치된 하부 액배출로부에 의해 흡인 배출된다.

이렇게, 기판은, 처리액 공급장치에 상류단으로부터 반입되어 하류단을 향해서 반송됨으로써, 하류단으로부터 공급되어 상류단을 향해서 유하하는 처리액과의 향류접촉에 의해 그 표리면이 처리되므로, 종래와 같이 기판에 대하여 처리액을 산포하는 방식에 비해, 확실한 처리를 확보하면서 처리액의 양을 적게 하는 것이 가능하게 된다.

그리고, 상부 및 하부 액공급로부의 각 외면에는, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출설치되고, 또한, 기판의 통과를 허용하는 윙이 설치되고, 각 윙은 이들 대향면 사이의 거리가 상부 저판 및 하부 천판의 대향면 사이의 거리보다 짧게 되도록 설치위치가 설정되어 있기 때문에, 상하의 액공급로부로부터 기판을 향해서 공급된 처리액은, 이들 윙에 저지되어서 표면장력이 증대함으로써 액밀성이 향상되고, 이것에 의해 기판에 대한 처리효율이 향상됨과 아울러, 기판에 동반해서 처리액 공급장치로부터 누설되는 양이 억제된다.

청구항2 기재의 발명은, 청구항1 기재의 발명에 있어서, 상기 윙은, 상기 상부 및 하부 액공급로부의 각 외면에 고정되는 플랜지부와, 이 플랜지부의 끝부로부터 수평으로 연장되는, 반송중의 기판의 피처리면과 대향한 수평 연장부를 구비하고, 또한, 상기 플랜지부와 수평 연장부의 결합위치에 있어서의 외면측의 모서리부가 절단됨으로써 형성된 단차부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 구성에 의하면, 상하 한쌍의 윙은, 그 플랜지부를 상부 및 하부 액공급부에 각각 고정함으로써, 각 수평 연장부가 외방을 향해서 수평으로 돌출된 상태에서 처리액 공급장치에 장착된다. 그리고, 상하에서 대향한 한쌍의 윙에 있어서 각 플랜지부와 각 수평 연장부의 결합위치에 있어서의 외면측의 모서리부가 절단됨으로써 각각 단차부가 형성되어 있기 때문에, 기판에 동반해서 반출되려고 하는 처리액의 기세를 이 단차부에서 완화시킬 수 있고, 이것에 의해 기판에 동반한 처리액의 누설이 보다 유효하게 방지된다.

청구항3 기재의 발명은, 청구항1 또는 2기재의 발명에 있어서, 상기 상하의 윙은, 상하에서 대칭으로 형상설정되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 구성에 의하면, 동일형상의 한 종류의 윙에 의해 상하의 액공급부에 대응시키는 것이 가능하게 되고, 제조 코스트의 저감화에 공헌한다.

청구항4 기재의 발명은, 통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부 저판, 상기 상부 저판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 상부 저판의 하면측에 처리액을 공급하는 상부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 상부 저판의 하면측으로부터 흡인 배출하는 상부 액배출로부를 구비한 상부 처리부와, 상기 상부 처리부에 대향배치되고, 통과하는 기판의 하면에 대향하는 하부 천판, 상기 하부 천판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 하부 천판의 상면측에 처리액을 공급하는 하부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 하부 천판의 상면측으로부터 흡인 배출하는 하부 액배출로부를 구비한 하부 처리부를 구비한 처리액 공급장치에 있어서, 상기 상부 액배출로부는, 하면을 향해 개구된, 처리액을 흡인하는 흡인구멍을 갖고, 상기 흡인구멍의 하면은, 상기 상부 저판의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 구성에 의하면, 처리액에 의한 기판의 처리에 대해서는 청구항1의 발명과 동일한 작용을 구비한 후에, 상부 액배출로부는, 흡인구멍의 하면이 상부 저판의 하면보다 하방으로 돌출되어 있으므로(즉, 배출로부의 하면이 상부 저판의 하면보다 하위 레벨이 되도록 설치위치가 설정되어 있다), 기판의 상면측에 형성된 상부 처리부를 하류단으로부터 상류단을 향해서 유하하는 처리액은, 하면이 상부 저판의 하면보다 하위 레벨이 되도록 설치위치가 설정된 배출로부에 충돌하고, 이것에 의해 처리액 공급장치 외부로 배출되어 버리는 문제가 방지되고, 상부 액배출로부에 확실하게 흡인된다.

이렇게, 흡인구멍의 하면을 상부 저판의 하면보다 하방으로 돌출시킴으로써, 매우 간단한 구성이면서, 처리액이 처리액 공급장치의 상류단으로부터 외부로 누설되는 것을 유효하게 억제하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 따른 처리액 공급장치는, 기판을 수평자세로 반송하는 반송로의 도중에 설치되고, 반송중의 기판에 대하여 상하의 케이스체로부터 기판의 표리면에 처리액을 향류로 공급해서 소정의 처리를 실시하고, 처리후의 처리액을 상하의 케이스체를 통해 회수할 수 있도록 구성된 소위 처리액 회수타입의 장치의 개량에 관한 것이다.

도1은, 본 발명에 따른 처리액 공급장치의 일실시형태를 나타내는 분해 사시 도이며, 도2는, 그 조립 사시도이다. 또한 도3은, 도2의 A-A선 단면도이다. 또, 도3에 있어서의 원내에는, 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)을 확대해서 나타내고 있다. 덧붙여서 말하면, 이들 도면은, 본 발명에 따른 처리액 공급장치에 대한 이해를 용이하게 하기 위해 설계 사항적인 부분을 제거해서 상기 처리액 공급장치를 원리적으로 나타낸, 소위 원리도이다. 또한 도1∼도3에 있어서, X-X방향을 좌우방향, Y-Y방향을 전후방향이라고 하고, 특히 -X방향을 좌방, +X방향을 우방, -Y방향을 전방, +Y방향을 후방이라고 한다.

그리고, 이들 도면에 있어서, 기판(B)(본 실시형태에 있어서는 유리기판)은, 후방으로부터 전방을 향해서 반송되는 것에 대해서, 처리액은 기판(B)에 대해서 전방으로부터 후방을 향해서 공급되고, 이것에 의해 기판(B)은, 처리액 공급장치(10)내에서 처리액과 향류로 접촉해서 소정의 처리가 실시된다.

도1∼도3에 나타내듯이, 처리액 공급장치(10)는, 복수의 반송 롤러(511)(도8참조)가 병설되어 이루어지는 수평으로 전후방향으로 연장된 기판반송로(51)에 대해서, 상부에 설치되는 상부 케이스체(상부 처리부)(20)와, 이 상부 케이스체(20)와 대향한 상태에서 상부 케이스체(20)의 하부에 대향설치되는 하부 케이스체(하부 처리부)(30)를 구비한 기본구성을 갖고 있다.

상기 상부 케이스체(20)는, 평면에서 볼 때 직사각형상을 띠는 상부 저판(21)과, 이 상부 저판(21)의 전방 가장자리부에 일체적으로 세워서 설치된 좌우방향으로 연장되는 상부 노즐블록(상부 액공급로부)(22)과, 상부 저판(21)의 후방 가장자리부에 일체적으로 세워서 설치된 상기 상부 노즐블록(22)과 같은 길이의 상부 배액블록(상부 액배출로부)(23)과, 이들 상부 노즐블록(22) 및 상부 배액블록(23)의 상부 가장자리부 사이에 가설(架設)된 상부 천판(24)과, 상부 노즐블록(22)의 전면(前面) 및 상부 배액블록(23)의 후면에 각각 고정된 상기 상부 노즐블록(22) 및 상부 배액블록(23)과 각각 같은 길이를 갖는 전후방향 한쌍의 상부 윙(25)을 구비해서 구성되어 있다.

상기 하부 케이스체(30)는, 평면에서 볼 때에 직사각형상을 띠는 하부 저판(31)과, 이 하부 저판(31)의 전방 가장자리부에 일체적으로 세워서 설치된 좌우방향으로 연장되는 하부 노즐블록(하부 액공급로부)(32)과, 하부 저판(31)의 후방 가장자리부에 일체로 세워서 설치된 상기 하부 노즐블록(32)과 같은 길이의 하부 배액블록(하부 액배출로부)(33)과, 이들 하부 노즐블록(32) 및 하부 배액블록(33)의 상부 가장자리부 사이에 가설된 하부 천판(34)과, 하부 노즐블록(32)의 전면 및 하부 배액블록(33)의 후면에 각각 고정된 상기 하부 노즐블록(32) 및 하부 배액블록(33)과 각각 같은 길이를 갖는 전후방향 한쌍의 하부 윙(35)을 구비해서 구성되어 있다.

그리고, 이들 상하의 케이스체(20,30)의 공통부재로서 좌우방향 한쌍의 측판(40)이 채용되고, 이들 한쌍의 측판(40)이 상하에서 대향배치된 상부 케이스체(20)용의 각 부재 및 하부 케이스체(30)용의 각 부재를 끼워서 볼트로 고정됨으로써 상부 케이스체(20)와 하부 케이스체(30)로 이루어지는 처리액 공급장치(10)가 형성되도록 되어 있다. 그리고, 처리액 공급장치(10)가 형성된 상태에서, 상부 케이스체(20)의 상부 저판(21)과, 하부 케이스체(30)의 하부 천판(34) 사이에는, 기판반송 로(51)를 따라 반송되고 있는 기판(B)에 대하여 소정 처리액에 의한 처리를 실시하는 기판처리공간(V)이 형성되어 있다.

이 기판처리공간(V)의 상하 치수는, 기판(B)의 두께 치수보다 상당히 크게 치수 설정되고(본 실시형태에 있어서는 대략 6mm), 이것에 의해 기판처리공간(V)내를 반송되고 있는 기판(B)의 표리면을 따라 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 토출된 처리액이 상하의 배액블록(23,33)을 향해서 기판(B)과 향류로 유하하고, 이 사이에 기판(B)의 표리면이 처리액에 의해 처리되도록 되어 있다. 또한 상부 노즐블록(22)과 상부 배액블록(23) 사이의 거리는, 하부 노즐블록(32)과 하부 배액블록(33) 사이의 거리와 동일하게 설정되어 있다.

도4는, 상부 노즐블록(22) 및 하부 노즐블록(32)의 일실시형태를 나타내는 일부 절단 사시도이며, (a)는 상부 노즐블록(22)을, (b)는 하부 노즐블록(32)을 각각 나타내고 있다. 또, 도4에 있어서의 X 및 Y에 의한 방향표시(X는 좌우방향(-X:좌방, +X:우방), Y는 전후방향(-Y:전방, 10Y:후방))은, 도1의 경우와 같다.

우선, 상기 상부 노즐블록(22)은, 도4의 (a)에 나타내듯이, 소정의 합성수지재료에 의해 형성되고, 좌우방향으로 긴 직육면체상을 나타내고 있다. 이러한 상부 노즐블록(22)은, 전면의 중앙위치에 나사구성(221)이 나사형성되어 있음과 아울러, 이 나사구멍(221)의 안쪽부는, 상부 노즐블록(22)내에서 좌우방향의 대략 전체길이에 걸쳐서 연장되도록 형성된 처리액 공급통로(222)에 연통되어 있다. 이 처리액 공급통로(222)에는, 좌우방향의 전체 길이에 걸쳐서 등피치로 형성된 상부 노즐블록(22)의 하면에 개구를 갖는 복수의 노즐구멍(223)이 접속되어 있다.

또, 상기 나사구멍(221)에는, 후술하는 처리액 공급관(522)의 선단측에 장착된 유체 이음매(C)가 나사장착되도록 되어 있다. 따라서, 상기 처리액 공급관(522)이 유체 이음매(C)를 통해 나사구멍(221)에 접속된 상태에서 처리액 공급관(522)을 통해 처리액이 공급됨으로써, 이 처리액은, 처리액 공급통로(222)를 통해 각 노즐구멍(223)으로부터 하방을 향해서 토출되게 된다.

계속해서, 상기 하부 노즐블록(32)은, 도4의 (b)에 나타내듯이, 기본적으로 상부 노즐블록(22)과 마찬가지로 구성되어 있지만, 노즐구멍(323)이 처리액 공급통로(322)로부터 상방을 향해 분기되어 있는 점이 상부 노즐블록(22)과 다르다. 그리고, 처리액 공급관(522)으로부터 유체 이음매(C) 및 나사구멍(321)을 통해 처리액 공급통로(322)에 공급된 처리액은, 처리액 공급통로(322)로부터 분기된 복수의 노즐구멍(323)으로부터 상방을 향해서 토출되도록 되어 있다.

도5는, 하부 천판(34)의 일실시형태를 나타내는 일부 절단 사시도이며, 도6은, 도5의 D-D선 단면도이다. 또, 도5 및 도6에 있어서의 X 및 Y에 의한 방향표시는, 도1의 경우와 같은 방법(X는 좌우방향(-X:좌방, +X:우방), Y는 전후방향(-Y:전방, 10Y:후방))이다.

우선 도5에 나타내듯이, 하부 천판(34)은, 평면에서 볼 때 직사각형상을 띤 약간 두꺼운 천판본체(341)와, 이 천판본체(341)의 상면에 적층되는 평면형상이 천판본체(341)와 동일한 적층판(348)을 구비해서 구성되어 있다.

상기 천판본체(341)에는, 전후방향 및 좌우방향의 쌍방에서 각각 소정의 등피치로 설정된, 평면에서 볼 때 직사각형상을 나타내는 복수의 오목부(342)가 오목 하게 형성되어 있음과 아울러, 각 오목부(342)에 롤러(회전 지지체)(343)가 각각 장착되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 오목부(342)는 전후방향에서 4개, 좌우방향에서 8개의 합계 32개가 형성되어 있지만, 오목부(342)의 설치개수에 대해서는 32개인 것에 한정되는 것은 아니고, 처리액 공급장치(10)의 규모나 처리되어야 할 기판(B)의 종류, 사이즈 등에 따라 적당하게 최적의 개수가 설정된다.

상기 적층판(348)에는, 상기 각 오목부(342)와 대향한 위치에 각각 각구멍(349)이 형성되고, 롤러(343)가 오목부(342)에 장착된 상태에서 상기 롤러(343)의 둘레면의 일부가 각구멍(349)을 통해서 외부로 돌출되도록 이루어져 있다.

상기 롤러(343)는, 도6에 나타내듯이, 롤러축(344)과, 이 롤러축(344)의 축심방향의 중앙부에 동심으로 일체적으로 외측에서 끼워진 원형의 롤러본체(345)로 이루어져 있다. 롤러본체(345)는, 두께 치수가 롤러축(344)의 길이 치수보다 약간 얇게 설정되고, 이것에 의해 롤러축(344)은 롤러본체(345)로부터 서로 반대 방향을 향해서 돌출된 상태로 되어 있다.

한편, 천판본체(341)에는, 도6에 나타내듯이, 오목부(342)의 서로 대향한 전후방향(도6의 지면의 좌우방향)으로 연장되는 각 대향 가장자리부의 중앙부에, 상면측으로부터 상기 롤러축(344)의 지름과 동일 치수만큼 컷팅되어 형성된 축길이방향 한쌍의 베어링홈(346)이 오목하게 형성되고, 이들 베어링홈(346)에 롤러축(344)의 양단부를 각각 끼워넣음으로써 롤러(343)가 롤러축(344) 둘레로 회전가능하게 오목부(342)에 장착되도록 되어 있다. 상기 롤러축(344)은, 베어링홈(346)에 장착된 상태에서 적층판(348)이 천판본체(341)에 씌워짐으로써 배출방지상태로 된다.

따라서, 기판처리공간(V)내에 반입된 기판(B)은, 이들 롤러(343)에 지지된 상태에서, 롤러(343)의 회전에 유도되면서 휘어지는 일없이 기판처리공간(V)내를 원활하게 이동하게 된다.

그리고, 오목부(342)의 저부에는, 하방을 향해서 연장된 액배출구멍(액배출로)(347)이 형성되고, 기판처리공간(V)을 유하하고 있는 처리액은, 그 일부가 이 액배출구멍(347)을 통해 배출되고, 이것에 의해 기판처리공간(V)에 도입된 기판(B)의 이면이 롤러본체(345)의 둘레면과 슬라이딩 접촉함으로써 생성된 파티클은, 이 배출되는 처리액에 동반해서 배출되므로, 파티클이 부착된 상태로 기판(B)이 기판처리공간(V)으로부터 도출됨으로써 기판(B)의 오염상태가 유지되어 버리는 문제의 발생이 확실하게 방지된다.

도7은, 상부 배액블록(23) 및 하부 배액블록(33)의 일실시형태를 나타내는 일부 절단 사시도이며, (a)는 상부 배액블록(23)을, (b)는 하부 배액블록(33)을 각각 나타내고 있다. 또, 도7에 있어서의 X 및 Y에 의한 방향표시(X는 좌우방향(-X:좌방, +X:우방), Y는 전후방향(-Y:전방, +Y:후방))는 도1의 경우와 같다.

우선, 상기 상부 배액블록(23)은, 구조적으로는 상기의 상부 노즐블록(22)과 마찬가지로 구성되고, 도7의 (a)에 나타내듯이 소정의 합성수지재료에 의해 형성되고, 좌우방향으로 긴 직육면체상을 나타내고 있다. 이러한 상부 배액블록(23)은, 전면의 중앙위치에 나사구멍(231)이 나사형성되어 있음과 아울러, 이 나사구멍(231)의 안쪽부(전방)는 상부 배액블록(23)내에서 좌우방향의 대략 전체길이에 걸쳐서 연장되도록 형성된 처리액 배출통로(232)에 연통되어 있다. 이 처리액 배출통 로(232)에는, 좌우방향의 전체 길이에 걸쳐서 등피치로 형성된 상부 배액블록(23)의 하면에 개구를 갖는 복수의 처리액 흡인구멍(233)이 접속되어 있다.

또한 상기 나사구멍(231)에는, 후술하는 배액관(532)의 선단측에 장착된 유체 이음매(C)가 나사장착되도록 되어 있다. 따라서, 상기 배액관(532)이 유체 이음매(C)를 통해 나사구멍(231)에 접속됨으로써, 기판처리공간(V)내에서 기판(B)을 처리한 후의 처리액은, 기판처리공간(V)의 하류단에 있어서 복수의 처리액 흡인구멍(233)으로부터 흡인되고, 처리액 배출통로(232)를 통과해서 배액관(532)을 통해 회수되게 된다.

계속해서, 상기 하부 배액블록(33)은, 도7의 (b)에 나타내듯이, 기본적으로 상부 배액블록(23)과 마찬가지로 구성되어 있지만, 처리액 흡인구멍(333)이 처리액 배출통로(332)로부터 상방을 향해서 분기되어 있는 점이 상부 배액블록(23)과 다르다. 그리고, 처리액 흡인구멍(333)에 의해 흡인된 기판(B)에 대해서 소정의 처리를 행한 처리완료의 처리액(배액)은, 처리액 배출통로(332), 나사구멍(331) 및 유체 이음매(C)를 통해 배액관(532)을 통해 회수되도록 되어 있다.

또한 상하의 처리액 흡인구멍(233,333)은, 상하의 배액블록(23,33)에 있어서의 좌단부 및 우단부에는 각각 설치되어 있지 않고, 이것에 의해 상하의 노즐블록(22,32)의 각 노즐구멍(223,323)에 비해서 구멍수가 적게 되어 있다. 이렇게 되는 것은, 기판처리공간(V)내를 반송되고 있는 기판(B)에 의한 처리액의 반출로 기판처리공간(V)내의 처리액량이 적어진 경우, 에어가 끝의 처리액 흡인구멍(233,333)을 통해 상하의 배액블록(23,33)내에 흡인되는 일이 있지만, 이러한 에어의 흡인을 방 지하기 위해서이다.

그리고, 본 실시형태에 있어서는, 상부 배액블록(23)은, 하단면이 상기 상부 저판(21)의 하면보다 약간(본 실시형태에서는 1mm) 하방에 위치하도록 상하 치수가 설정되어 있다. 따라서, 기판처리공간(V)내를 기판(B)의 표면을 따라 향류로 유하하는 처리액의 일부가 상부 배액블록(23)의 하단부와 간섭하고, 이것에 의한 유량의 억제로 처리액이 상부 배액블록(23)에 의해 효과적으로 흡인되게 되고, 처리액이 기판(B)의 표면에 동반해서 기판처리공간(V)으로부터 반출되는 양을 적게 할 수 있다.

덧붙여 말하면, 하부 배액블록(33)의 상단면은, 하부 천판(34)의 상면과 면일치되게 설정되어 있다. 이렇게 되는 것은, 하부 배액블록(33)의 경우, 특히 하부 배액블록(33)의 상단면을 하부 천판(34)의 상면보다 상방으로 돌출시키지 않아도, 기판처리공간(V)내를 유하한 처리액은, 중력에 의해 하부 배액블록(33)의 처리액 배출통로(332)로 흘러 들어 오기 때문이다.

계속해서, 상기 상하의 윙(25,35)(도1∼도3)은, 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 기판처리공간(V)내에 공급된 처리액이 기판(B)의 표리면을 따라 기판처리공간(V)으로부터 기판반송방향을 향해서 누설되는 것을 방지하기 위한 것이다. 이러한 윙(25,35)이 채용되는 것은, 본 실시형태에 있어서는, 상하의 케이스체(20,30)가 기본적으로 PVC(폴리비닐클로라이드)나 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 등의 합성수지재료에 의해 형성되어 있으며, 이러한 합성수지재료는 소수성을 구비하고 있기 때문에, 수성의 처리액은 기판처리공간(V)에 공급되면 주위의 소수성의 환경에 겉 돌게 되고, 이것에 의해 기판(B)의 표리면과 상하의 노즐블록(22,32)의 선단면 사이의 간극을 통해 기판반송방향을 향해서 누설되어 버릴 우려가 있지만, 이러한 처리액의 누설을 방지하기 위해서이다.

그리고, 본 실시형태에 있어서는, 상하의 윙(25,35)은, 합성수지제의 것(예를 들면 PTFE 등의 불소수지제의 것)이 채용되고 있지만, 본 발명은, 상하의 윙(25,35)이 합성수지제인 것에 한정되는 것은 아니고, 스테인리스 스틸 등의 금속제의 것이어도 좋다.

상기 상부 윙(25)은, 상부 노즐블록(22)의 전면측에 일체적으로 부착되는 전방 상부 윙(251)과, 상부 배액블록(23)의 후면측에 일체적으로 부착되는 후방 상부 윙(252)으로 이루어지고 있다.

상기 전방 상부 윙(251)은, 도1에 나타내듯이, 좌우방향으로 긴 판상을 띤 부착판부(플랜지부)(253)와, 이 부착판부(253)의 하단부로부터 전방을 향해서 돌출설치된 상기 부착판부(253)와 동일 길이의 윙 본체(수평 연장부)(254)를 구비해서 구성되어 있다. 상기 부착판부(253)는 상부 노즐블록(22)의 전면측에 도시가 생략된 시일부재를 통해 고정하기 위한 것이다.

이러한 전방 상부 윙(251)은, 부착판부(253) 및 윙 본체(254)가 서로 직교하도록 결합된 부분의 모서리부가, 도3의 원내에 나타내듯이, 좌우방향(도3의 지면에 직교하는 방향)의 전체길이에 걸쳐서 측면에서 볼 때 갈고리형상으로 절단됨으로써 형성된 단차부(255)를 갖고 있다. 단차부(255)의 상면은 수평면으로 되어 있음과 아울러, 전방의 면은 수직면으로 되어 있다.

상기 후방 상부 윙(252)은, 기본적으로 전방 상부 윙(251)과 마찬가지로 구성되고, 도1 및 도3에 나타내듯이, 좌우방향으로 긴 판상을 띤 부착판부(253)와, 이 부착판부(253)의 하단부로부터 후방을 향해서 돌출설치된 상기 부착판부(253)와 동일한 길이의 윙 본체(254)를 구비해서 구성되어 있지만, 전방 상부 윙(251)에 형성되어 있는 단차부(255)는 형성되어 있지 않다.

상기 하부 윙(35)은, 하부 노즐블록(32)의 전면측에 일체적으로 부착되는 전방하부 윙(351)과, 하부 배액블록(33)의 후면측에 일체로 부착되는 후방 하부 윙(352)으로 이루어져 있다.

상기 전방 하부 윙(351)은, 도3의 원내에 나타내듯이, 측면에서 볼 때 상기 전방 상부 윙(251)과 선대칭으로 형성되어 있다. 이러한 전방하부 윙(351)은 전방 상부 윙(251)의 부착판부(253)와 동일한 부착판부(플랜지부)(353)와, 이 부착판부(353)의 상단부로부터 전방을 향해서 돌출설치된 상기 부착판부(353)와 동일한 길이의 윙본체(수평 연장부)(354)를 구비해서 구성되어 있다. 이 전방 하부 윙(351)에도, 전방 상부 윙(251)의 단차부(255)와 같은 단차부(355)가 형성되어 있다.

상기 후방 하부 윙(352)은, 기본적으로 전방 하부 윙(351)과 마찬가지로 구성되고, 도1에 나타내듯이, 좌우방향으로 긴 판상을 띤 부착판부(353)와, 이 부착판부(353)의 상단부으로부터 후방을 향해서 돌출설치된 상기 부착판부(353)와 동일한 길이의 윙본체(354)를 구비해서 구성되어 있지만, 전방 하부 윙(351)에 형성되어 있는 단차부(355)는 형성되어 있지 않다.

그리고, 상기 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)은, 이들 윙 본체 (254,354) 사이의 간극치수가 기판처리공간(V)의 상하치수보다 작고, 또한, 기판(B)이 접촉하지 않고 통과할 수 있는 치수가 되도록 설치위치가 설정되어 있다. 이렇게 되는 것은, 상하의 케이스체(20,30)가 모두 소수성인 합성수지재료에 의해 형성되고, 이것에 의해 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 토출된 처리액이 합성수지재료에 의해 겉돌게 되어 기판처리공간(V)으로부터 기판반송방향의 하류측을 향해서 누설되는 것을 방지하기 위해서이다.

즉, 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)에 각각 단차부(255,355)를 형성함으로써, 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 토출된 처리액은, 상하의 단차부(255,355)의 수직벽에 저지되므로, 처리액이 기판처리공간(V)으로부터 기판반송방향의 하류측을 향해서 누설되는 것이 유효하게 방지되게 된다.

본 실시형태에 있어서는, 상하의 윙(25,35)의 윙본체254,354) 사이의 간극치수는, 대략 4mm로 설정되어 있지만, 본 발명은, 상기 간극이 4mm인 것에 한정되는 것은 아니고, 기판(B)의 종류나 사이즈, 또한 처리액에 의한 처리조건 등에 따라 최적의 간극치수가 적당하게 설정된다.

또, 본 실시형태에 있어서는, 본 발명에 따른 상하의 윙에 있어서의 대향면 사이의 거리가 상부 저판(21) 및 하부 천판(34)의 대향면 사이의 거리보다 짧아지는 부위가, 전방 상부 윙(251)의 윙본체(254)의 하면 및 전방 하부 윙(351)의 윙본체(354)의 상면에 상당하다.

상기 측판(40)은, 도1 및 도2에 나타내듯이, 상하의 케이스체(20,30)의 좌우의 측면에서 공용되고, 이들 상하의 케이스체(20,30)를 소정의 이간상태에서 서로 결합하는 역할을 하고 있다.

이러한 측판(40)은, 상부 케이스체(20)를 구성하는 상부 윙(25)을 제외한 각 부재 및 하부 케이스체(30)를 구성하는 하부 윙(35)을 제외한 각 부재가 소정의 간격으로 대향배치된 상태에서 상하의 각 부재에 대응한 직사각형상을 띠는 측판본체(41)와, 이 측판본체(41)의 전후의 가장자리부로부터 각각 돌출설치된 상하의 전방 윙(25,35) 및 상하의 후방 윙(25,35)의 끝면에서 볼 때의 형상을 따르는 전후 한쌍의 돌출부(42)로 이루어져 있다. 그리고, 상하의 케이스체(20,30)를 구성하는 각 부재가 소정의 이간상태에서 상하로 대향배치된 상태에서 이들 좌우의 측면에 측판(40)이 도시가 생략된 시일부재를 통해 각각 볼트로 고정됨으로써, 도2에 나타내듯이, 처리액 공급장치(10)가 완성된다.

본 실시형태에 있어서는, 처리액 공급장치(10)는, 전후 치수가 대략 90mm로 설정되어 있음과 아울러, 좌우 치수가 대략 400mm로 설정되고, 이것에 의해 좌우 치수가 긴 대형의 기판(B)의 처리에 대응할 수 있도록 되어 있다. 또, 처리액 공급장치(10)의 치수는, 전후 치수가 대략 90mm, 좌우 치수가 대략 400mm로 설정되는 것에 한정되는 것은 아니고, 기판의 종류나 사이즈, 또한 처리조건 등에 따라 적당하게 최적의 치수가 설정된다. 덧붙여 말하면, 도1 및 도2에 있어서는, 지면의 사정상 처리액 공급장치(10)의 좌우방향의 치수를 실제보다 약간 짧게 나타내고 있다.

또한 본 실시형태에 있어서는, 측판(40)에 한정되지 않고 처리액 공급장치(10)를 구성하는 각 부재간의 접합에 대해서는, 밀봉부재를 통한 볼트고정으로 행 해지도록 이루어져 있지만, 본 발명은, 각 부재간의 접합을 볼트고정으로 행하는 것에 한정되는 것은 아니고, 소정의 접착제를 통한 접착처리에 의해 접합해도 좋다.

이하, 이러한 구성의 처리액 공급장치(10)가 적용된 기판처리장치에 대해서 도8을 기초로 설명한다. 도8은, 처리액 공급장치(10)를 사용한 기판처리장치의 일실시형태를 나타내는 측면에서 볼 때의 설명도이다. 도8에 나타내듯이, 기판처리장치(50)는 본 발명에 따른 처리액 공급장치(10)와, 이 처리액 공급장치(10)를 관통하도록 설치된 수평으로 연장되는 기판반송로(51)와, 처리액 공급장치(10)로 처리액을 공급하는 처리액 공급계통(52)과, 처리액 공급장치(10)에서 기판(B)에 대해서 소정의 처리를 실시한 후의 처리액(처리가 끝난 액)을 회수하는 처리액 회수계통(53)을 구비한 기본구성을 갖고 있다.

상기 기판반송로(51)는, 본 실시형태에 있어서는, 기판반송방향을 따라 병설된 복수의 반송 롤러(511)에 의해 형성되고, 도시가 생략된 구동수단의 구동에 의한 각 반송 롤러(511)의 축심둘레의 회전에 의해 반송 롤러(511)상에 탑재된 기판(B)을 반송하도록 되어 있다.

그리고, 처리액 공급장치(10)는 이러한 기판반송로(51)에 의해 반송되는 기판(B)의 수평방향으로 연장된 중심선이 상하의 케이스체(20,30) 사이에 형성된 기판처리공간(V)의 상하방향의 중앙에 위치하도록 높이레벨이 설정된 상태에서, 기판반송로(51)가 기판처리공간(V)을 관통하도록 설치되어 있다. 따라서, 반송 롤러(511)의 구동으로 기판반송로(51)를 따라 반송되어 온 기판(B)은, 처리액 공급장치 (10)의 기판처리공간(V)내에 도입되고, 기판처리공간(V)내를 이동하면서 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 향류로 공급된 처리액에 의해 표리면에 소정의 처리가 실시되게 된다.

상기 처리액 공급계통(52)은, 처리액을 저장하는 처리액 저장조(521)와, 이 처리액 저장조(521)로부터 상하의 노즐블록(22,32)을 향해서 배관된 처리액 공급관(522)과, 이 처리액 공급관(522)에 설치된 처리액 공급펌프(523)를 구비해서 구성되어 있다. 처리액 공급관(522)은 하류측이 2개로 분기되고, 한쪽이 상부 노즐블록(22)에 접속되어 있음과 아울러, 다른쪽이 하부 노즐블록(32)에 접속되어 있다. 따라서, 처리액 공급펌프(523)의 구동으로 처리액 저장조(521)로부터 도출된 처리액은, 처리액 공급관(522)을 통해 상하의 노즐블록(22,32)에 공급되게 된다.

상기 처리액 회수계통(53)은, 기판(B)을 처리한 후의 처리액이나 처리중에 기판처리공간(V)으로부터 누설된 처리액 등을 회수해서 저장하는 처리액 회수조(531)와, 상하의 배액블록(23,33)에 각각 접속되고, 합류된 후에 하류단이 처리액 회수조(531)에 접속되는 처리완료 처리액 배액용의 배액관(532)과, 이 배액관(532)에 설치된 배액펌프(533)와, 상기 천판본체(341)(도5)에 복수 설치된 액배출구멍(347)에 각각 접속된 후에 집합된 액배출관(공통로)(534)과, 하부 케이스체(30)의 하방위치에 설치되어 처리액 공급장치(10)의 기판처리공간(V)으로부터 누설된 처리액을 수용하는 액수용팬(535)을 구비해서 구성되어 있다.

상기 액배출관(534)은, 그 하류단이 처리액 회수조(531)에 접속되고, 이것에 의해 기판처리공간(V)으로부터 배출된 처리액은 자체중량으로 처리액 회수조(531) 로 회수되도록 되어 있다. 이러한 액배출관(534)에는 액배출밸브(536)가 설치되고, 이 액배출밸브(536)의 개도를 변경함으로써 액배출량을 조절할 수 있도록 되어 있다. 또한 액수용팬(535)은 깔때기형상으로 형성되고, 처리액 공급장치(10)에 있어서의 기판반송방향의 상류단 개구 및 하류단 개구로부터 누설된 처리액을 수용하도록 되어 있다. 액수용팬(535)에 수용되고 저부에 모아진 누설 처리액은, 처리액 회수조(531)에 회수되도록 되어 있다.

이러한 구성의 기판처리장치(50)에 의하면, 처리액 공급펌프(523)의 구동으로 처리액 공급관(522)을 통해 상하의 노즐블록(22,32)에 공급된 처리액은, 각각의 노즐구멍(223,323)(도4)을 통해 기판처리공간(V)내에 공급된다. 이 기판처리공간(V)내에 있어서 공급된 처리액은, 기판처리공간(V)내를 채운 후, 배액펌프(533)의 구동에 의한 흡인력으로 상하의 배액블록(23,33)의 각각의 처리액 흡인구멍(233,333)을 통해 배액관(532)에 흡인되고, 이것에 의해 기판처리공간(V)내에서 기판반송방향과 역방향을 향하는 처리액의 흐름이 형성된 상태로 되어 있다.

이 상태에서 기판(B)이 반송 롤러(511)의 구동 회전에 의해 기판반송로(51)를 따라 처리액 공급장치(10)의 기판처리공간(V)내에 반입되면, 상기 기판(B)은, 기판처리공간(V)내를 롤러(343)에 지지되면서 전진해서 향류로 처리액과 접촉하고, 이것에 의해 기판(B)의 표리면이 처리액에 의해 처리되게 된다.

그리고, 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 기판처리공간(V)내에 도입된 처리액은, 상하의 노즐블록(22,32)에 부설된 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)의 각 윙본체(254,354) 사이의 간극치수가 기판처리공간(V)의 상하치수보다 작게 설정되어 있기 때문에, 처리액의 기판반송방향 하류측을 향하는 누설이 유효하게 방지된다. 특히, 기판(B)이 전방 상부 윙(251)과 전방 하부 윙(351) 사이를 통과할 때는, 이들과 기판의 표리면 사이의 간극치수가 매우 작게 되어 있으므로, 처리액의 기판(B)에 의한 동반 반출을 적게 할 수 있다.

또한 기판(B)의 표면측을 따라 유하한 처리액은, 상부 저판(21)으로부터 하방으로 돌출한 상부 배액블록(23)의 하단부에 충돌한 후, 상부 배액블록(23)의 하단면과 기판(B)의 가는 간극을 통해서 처리액 흡인구멍(233)에 흡인되므로, 상부 배액블록(23)측으로부터의 처리액의 누설이 유효하게 억제된다.

또한 기판(B)이 기판처리공간(V)내에 반입되기 전에 기판처리공간(V)내를 액밀하게 하기 위해 소수성의 환경에 겉돌게 되고, 이것에 의해 처리액이 기판반송방향으로 누설되어 버려 액밀생성을 곤란하게 한다.

그러나, 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)의 각 윙본체(254,354) 사이의 간극치수가 기판처리공간(V)의 상하치수보다 작게 설정되어 있기 때문에, 처리액의 기판반송방향 하류측을 향하는 누설이 방지되고, 흡인 배출측으로의 처리액의 흐름을 촉진시켜 액밀이 효율적으로 생성된다.

이상 상세하게 서술한 바와 같이, 본 발명에 따른 처리액 공급장치(10)는 통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부 케이스체(20)의 상부 저판(21)과, 이 상부 저판(21)의 기판(B) 반송방향의 하류단에 설치되고 상부 저판(21)의 하면측에 처리액을 공급하는 상부 노즐블록(22)과, 상부 저판(21)의 기판반송방향의 상류단에 설치되고 공급된 처리액을 상부 저판(21)의 하면측으로부터 흡인 배출하는 상부 배액블 록(23)으로 이루어지는 상부 케이스체(20)가 설치되어 있음과 아울러, 상부 저판(21)과 대향배치되어 통과하는 기판(B)의 하면에 대향하는 하부 천판(34)과, 하부 천판(34)의 기판반송방향의 하류단에 설치되고 하부 천판(34)의 상면측에 처리액을 공급하는 하부 노즐블록(32)과, 하부 천판(34)의 기판반송방향의 상류단에 설치되고 공급된 처리액을 하부 천판(34)의 상면측으로부터 흡인 배출하는 하부 배액블록(33)으로 이루어지는 하부 케이스체(30)가 상부 케이스체(20)의 하부에 대향배치되어 있는 것을 전제로 하고, 상부 및 하부 노즐블록(22,32)의 각 외면에는, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출설치되고, 또한, 기판(B)의 통과를 허용하는 상부 윙(25) 및 하부 윙(35)이 설치되고, 상하의 윙(25,35)은 이들 대향면 사이의 거리가 상부 저판(21) 및 하부 천판(34)의 대향면 사이의 거리보다 짧아지도록 설치위치가 설정되어 있다.

따라서, 기판반송방향의 상류측으로부터 상부 저판(21)과 하부 천판(34) 사이에 반입된 기판(B)은, 그 상면측이 하류단의 상부 노즐블록(22)으로부터 공급된 처리액에 의해 처리가 실시됨과 아울러, 그 하면측이 하류단의 하부 노즐블록(32)으로부터 공급된 처리액에 의해 처리되고, 표리면이 처리된 상태에서 처리액 공급장치(10)로부터 반출된다.

한편, 상부 노즐블록(22)으로부터 공급된 처리액은, 기판반송방향의 하류측으로부터 기판반송방향의 상류측을 향해서 유하하면서 기판(B)의 상면에 대하여 처리를 실시한 후, 상부 배액블록(23)에 의해 흡인 배출됨과 아울러, 하부 노즐블록(32)으로부터 공급된 처리액은, 기판반송방향 하류측으로부터 상류측을 향해서 유 하하면서 기판(B)의 하면에 대하여 처리를 실시한 후, 기판반송방향의 상류측에 설치된 하부 배액블록(33)에 의해 흡인 배출된다.

이렇게, 기판(B)은, 처리액 공급장치(10)에 기판반송방향의 상류측으로부터 반입되어 상기 하류측을 향해서 반송됨으로써, 상기 하류측으로부터 공급되어 상기 상류측을 향해서 유하하는 처리액과의 향류접촉에 의해 그 표리면이 처리되므로, 종래와 같이 기판(B)에 대하여 처리액을 산포하는 방식에 비해, 확실한 처리를 확보하면서 처리액의 양을 적게 할 수 있다.

그리고, 상하의 노즐블록(22,32)의 각 외면에는, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출설치되고, 또한, 기판(B)의 통과를 허용하는 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)이 각각 설치되고, 각 윙(251,351)은, 이들 대향면 사이의 거리가 상부 저판(21) 및 하부 천판(34)의 대향면 사이의 거리보다 짧아지도록 설치위치가 설정되어 있기 때문에, 상하의 노즐블록(22,32)으로부터 기판(B)을 향해서 공급된 처리액은, 이들 상하의 윙(251,351)에 저지되어서 표면장력이 증대함으로써 액밀성이 향상되고, 이것에 의해 기판(B)에 대한 처리효율을 향상시킬 수 있음과 아울러, 기판(B)에 동반해서 처리액 공급장치(10)로부터 누설되는 양을 억제하는 것이 가능하게 되어, 처리 코스트의 저감화에 공헌할 수 있다.

또한 상부 배액블록(23)은, 그 하면이 상부 저판(21)의 하면보다 하위 레벨이 되도록 설치위치가 설정되어 있기 때문에, 기판(B)의 상면을 기판반송방향의 상류측을 향해서 유하하는 처리액은, 상부 배액블록(23)의 하단부에 충돌하고, 이것에 의해 기판처리공간(V) 외부로 즉시 배출되어 버리는 문제가 방지되고, 상부 배 액블록(23)에 확실하게 흡인된다.

이렇게, 상부 배액블록(23)의 하면이 상부 저판(21)의 하면보다 하위 레벨이 되도록 설정함으로써, 매우 간단한 구성이면서, 처리액이 기판처리공간(V)에 있어서의 기판반송방향의 상류측으로부터 외부로 누설되는 것을 유효하게 억제할 수 있음과 아울러, 처리액의 기판처리공간(V)내에서의 체류시간을 길게 하는 것이 가능하게 되어, 기판(B)에 대한 처리액에 의한 처리 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 이하의 내용도 포함하는 것이다.

(1)상기의 실시형태에 있어서는, 기판처리공간(V)내를 기판(B)의 상면을 따라 기판반송방향의 상류측을 향해서 유하한 처리액이, 상부 저판(21)보다 하방을 향해서 돌출한 상부 배액블록(23)의 하단부에 충돌하도록 이루어져 있지만, 본 발명은, 상부 배액블록(23)의 하단면을 상부 저판(21)보다 하위 레벨로 설정하는 것에 한정되는 것은 아니고, 후방 상부 윙(252)의 윙본체(254)의 하면의 높이레벨을 상부 저판(21)의 하면의 높이레벨보다 낮추도록 해도 좋다.

(2)상기 실시형태에 있어서는, 전방 상부 윙(251) 및 전방 하부 윙(351)에 각각 단차부(255,355)가 형성되어 있지만, 본 발명은, 상하의 윙(251,351)에 단차부(255,355)를 형성하는 것에 한정되는 것은 아니고, 특별히 형성하지 않아도 좋다. 이 경우, 윙본체(254,354)를 기판처리공간(V)내에 침입시키도록 상부 윙(25) 및 하부 윙(35)의 설치위치를 설정하면, 단차부(255,355)가 없어도 부착판부(253,353)의 후면에 의해 처리액의 누설을 방지할 수 있다.

즉, 기판처리공간(V)의 기판반송방향 하류단에 형성되는 단차부에 대해서는, 실질적으로 상기 실시형태의 단차부(255,355)와 동일작용을 달성하는 것이면 이들 단차부(255,355)와 유사한 각종의 구조를 채용할 수 있다.

(3)상기 실시형태에 있어서, 기판처리공간(V)내를 유통하는 처리액에 대하여 고주파를 인가하도록 해도 좋다. 이렇게 함으로써 기판처리공간(V)내를 유통하는 처리액이 높은 주기로 진동하므로, 기판(B)에 대한 처리효과를 향상시킬 수 있다.

(4)도9는 하부 천판(34)에 장착되는 롤러(343')의 다른 실시형태를 나타내는 단면도이다. 도9에 나타내는 롤러(343')의 부착구조는 기본적으로는 도6과 대략 동일하다. 즉, 천판본체(341)의 상면측에는 롤러(343')를 장전하는 오목부(342)가 형성되어 있으며, 이 오목부(342)의 좌우방향의 양 측벽에는, 롤러(343')를 회동 가능하게 축지지하는 롤러축(344')을 수평지지하는 베어링부(342a)가 형성됨과 아울러, 상기 양 측벽의 상단으로부터 베어링부(342a)까지 롤러축(344')을 넣고빼기 위한 삽입 가이드홈이 형성되어 있다. 오목부(342)의 저부(342b)는 대략 수평면으로 되고, 그 중앙에는 하방으로 연장되는 작은 직경의 액배출구멍(347)이 형성되어 있다.

롤러(343')는 외주의 폭치수가 소정의 짧은 치수로 되어 있으며, 특히 그 중앙은 좌우방향으로 방추형상(볼록형상)으로 형성되어 있다. 이 방추형상에 의해 기판(B)과의 접촉면적이 감소하는 만큼, 기판의 접촉 데미지를 저감시키는 것이 가능하게 된다. 이 방추형상은 도6에 나타내는 롤러(343)에도 마찬가지로 적용가능하다.

그리고, 상기 천판본체(341)의 두께내에는 베어링부(342a)와 외부(천판본체(341)의 측면 또는 하면측)를 연통하는 액구멍(341a)이 형성되어 있다. 또한 롤러축(344')의 축내에는 동심상의 액구멍(344a)이 길이방향 중간까지 형성되고, 또한 롤러축(344')의 길이방향 중간위치에서는 지름방향으로 중심을 통과하는 관통 액구멍(344b)이 형성되어 있다. 따라서, 액구멍(344a)과 관통 액구멍(344b)은 연통되고, 또한 천판본체(341)의 액구멍(341a)과 회전축의 액구멍(344a)이 연통되는 결과, 액구멍(341a)과 관통 액구멍(344b)이 연통된다. 그리고, 롤러(343')의 내주벽면과 롤러축(344')의 외주면 사이에는 간극이 형성되도록 롤러(343')의 내경치수가 설정되고, 처리액이 이 간극을 유통할 수 있도록 되어 있음과 아울러, 액구멍(341a)의 외부 개구측은 도시가 생략된 공급펌프를 통해 세정액 탱크에 연이어 설치되어 있으며, 이 공급펌프를 구동시킴으로써, 세정액을 롤러(343')의 내주벽면에 분사 공급 가능하게 하고 있다.

이 구성에 의하면, 도6의 경우와 마찬가지로, 처리액 공급장치(10)내에 반입되어 온 기판(B)은 그 하면측이 롤러(343')에 의해 지지되고, 하방으로 휘어져 천판본체(341)와 접촉하는 일이 없어진다. 또한 롤러(343')는 기판(B)의 반송력에 의해 종동하고, 기판(B)의 이송을 원활하게 담당한다. 롤러(343')의 롤러축(344')과의 사이에서의 마찰 회전에 의해 파티클 등이 발생해도, 이 파티클은 액배출구멍(347)을 통해 흡인되어서, 액제배출관(534)(도8)을 통해 세정액과 함께 처리액 회수조(531)에 회수되므로, 천판본체(341)의 상면을 돌아 세정중의 세정액에 혼입되어, 세정 효과를 저하시키거나, 기판(B)의 이면을 손상시키는 일은 없어진다. 또한 롤러(343')의 내주벽면에 세정액을 분사 공급하고 있으므로, 롤러축(344')과의 사이에서의 마찰 회전에 의해 파티클 등이 발생했다 해도, 이 파티클을 보다 효과적으로 씻어 낼 수 있다. 또한 기판처리가 종료된 후에, 처리액이 부착되어 있는 롤러(343')의 내주측벽을 세정하는 것도 가능해지고, 처리액(처리액이 세정수가 아니라, 약액을 사용하는 형태의 경우에는 특히) 등의 부착, 건조에 의한 결정 등의 부착을 효과적으로 방지할 수 있어, 롤러(343')의 원활회전을 장기에 걸쳐서 확보할 수 있다.

청구항1기재의 발명에 의하면, 상부 및 하부 액공급로부의 각 외면에는, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출설치되고, 또한, 기판의 통과를 허용하는 윙이 설치되고, 각 윙은, 이들 대향면 사이의 거리가 상부 저판 및 하부 천판의 대향면 사이의 거리보다 짧아지도록 설치위치가 설정되어 있기 때문에, 상하의 액공급로부로부터 기판을 향해서 공급된 처리액은, 이들 윙에 저지되어서 표면장력이 증대됨으로써 액밀성이 향상되고, 이것에 의해 기판에 대한 처리 효율을 향상시킬 수 있음과 아울러, 기판에 동반해서 처리액 공급장치로부터 누설되는 양을 억제하는 것이 가능하게 되어, 처리 코스트의 저감화에 공헌할 수 있다.

또한 기판이 통과하지 않는 초기의 액밀생성에 있어서도, 누설되는 양을 억제하여 흡인 배출측으로의 처리액의 흐름을 촉진할 수 있다.

청구항2 기재의 발명에 의하면, 상하에서 대향한 한 쌍의 윙의 각 플랜지부와 각 수평 연장부의 결합위치에 있어서의 외면측의 모서리부가 절단됨으로써 각각 단차부가 형성되어 있기 때문에, 기판에 동반해서 반출되려고 하는 처리액의 기세를 이 단차부에서 완화시킬 수 있고, 이것에 의해 기판에 동반한 처리액의 누설을 보다 유효하게 방지할 수 있다.

청구항3 기재의 발명에 의하면, 상하의 윙은, 상하에서 대칭으로 형상설정되어 있기 때문에, 동일형상의 윙에 의해 상하의 액공급부에 대응시키는 것이 가능하게 되어, 제조 코스트의 저감화에 공헌할 수 있다.

청구항4 기재의 발명에 의하면, 흡인구멍의 하면을 상부 저판의 하면보다 하방으로 돌출시킴으로써, 매우 간단한 구성이면서, 처리액이 처리액 공급장치의 상류단으로부터 외부로 누설되는 것을 유효하게 억제할 수 있다.

Claims (5)

1. 통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부 저판, 상기 상부 저판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 상부 저판의 하면측에 처리액을 공급하는 상부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 상부 저판의 하면측으로부터 흡인 배출하는 상부 액배출로부를 구비한 상부 처리부; 및

   상기 상부 처리부에 대향배치되고, 통과하는 기판의 하면에 대향하는 하부 천판, 상기 하부 천판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 하부 천판의 상면측에 처리액을 공급하는 하부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 하부 천판의 상면측으로부터 흡인 배출하는 하부 액배출로부를 구비한 하부 처리부를 구비한 처리액 공급장치에 있어서:

   상기 상부 및 하부 액공급로부의 각 외면에, 기판반송방향을 향해서 각각 돌출된 윙이 대향 설치되고,

   상기 각 윙은 대향면 사이의 거리가 상기 상부 저판 및 하부 천판의 대향면 사이의 거리보다 짧아지는 부위를 적어도 일부에 갖는 것임을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 윙은, 상기 상부 및 하부 액공급로부의 각 외면에 고정되는 플랜지부와, 이 플랜지부의 끝부로부터 수평으로 연장되는, 반송중의 기판의 피처리면과 대향한 수평 연장부를 구비하고, 또한, 상기 플랜지부와 수평 연장 부의 결합위치에 있어서의 외면측의 모서리부가 절단됨으로써 형성된 단차부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 상하의 윙은 상하로 대칭으로 형상설정되어 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
4. 통과하는 기판의 상면에 대향하는 상부 저판, 상기 상부 저판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 상부 저판의 하면측에 처리액을 공급하는 상부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 상부 저판의 하면측으로부터 흡인 배출하는 상부 액배출로부를 구비한 상부 처리부; 및

   상기 상부 처리부에 대향배치되고, 통과하는 기판의 하면에 대향하는 하부 천판, 상기 하부 천판의 기판반송방향의 하류단에 설치되고, 상기 하부 천판의 상면측에 처리액을 공급하는 하부 액공급로부, 및 상류단에 설치되고, 상기 공급된 처리액을 상기 하부 천판의 상면측으로부터 흡인 배출하는 하부 액배출로부를 구비한 하부 처리부를 구비한 처리액 공급장치에 있어서:

   상기 상부 액배출로부는 상기 상부저판보다 하방에 돌출되고, 하면에 처리액을 상방으로 흡인하여 외부로 배출하는 흡인구멍이 적어도 하나 형성되며,

   상기 상부 액배출로부의 하면과 상기 기판과의 간극치수는 상기 상부저판과 상기 기판과의 간극치수보다 작게 형성된 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 상부 액배출로부는 상기 상부처리부의 전폭에 걸쳐 상기 상부저판보다 하방에 돌출된 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.

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