KR100408896B1 - 티이에프티이 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼 - Google Patents

티이에프티이 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼 Download PDF

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    • B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities

Abstract

본 발명은 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조시에, 전극 상에 잔류하는 포토 레지스트막의 제거를 위하여 사용된 스트리퍼 용액 또는 물을 기판 또는 전극으로부터 균일하게 제거하여, TFT 액정 디스플레이 디바이스의 불량율을 감소시킬 수 있는 에어커튼에 관한 것이다. 에어커튼은 전면 플레이트와 후면 플레이트를 포함하며, 에어 튜브가 연결되는 에어 공급부가 전면 플레이트에 설치된다. 에어 튜브에 의하여 공급된 에어 또는 N2가스는 전면 플레이트와 후면 플레이트의 결합에 의하여 형성된 본체의 하부에 제공되는 슬릿을 통하여 기판 또는 전극으로 송풍된다. 이 때, 에어 또는 N2가스는 전면 및 후면 플레이트에 의하여 형성된 공간부에 제공되는 다수의 정류 격자를 통과함으로써 유속이 균일하게 된다. 그러므로, 기판 또는 전극에 잔류하는 용액은 균일하게 차단, 제거되어, TFT 액정 디스플레이 디바이스의 불량율을 감소시킨다.

Description

티이에프티이 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼(Air curtain being used in manufacturing TFT Liquid Crystal Display)
본 발명은 박막 트랜지스터(TFT) 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼에 관한 것이고, 보다 상세하게는 TFT 액정 디스플레이 디바이스의 패터닝을 위하여 사용된 포토 레지스트막을 제거(박리)후, 잔류 용액을 제거, 차단할 때, 기판에 에어 또는 N2가스를 균일하게 송풍하기 위하여 다수의 정류 격자가 구비되는 에어커튼에 관한 것이다.
널리 공지된 바와 같이, 액정 디스플레이(LCD)는 음극선관(CRT)을 대체하기 위한 디스플레이 유니트로서 최근에 주목받아 왔다. 이러한 것은 무엇보다도 LCD가 평면 구성이기 때문에 CRT보다 점유 면적이 보다 작다는 것이 큰 이유이다. 그러므로, 설치 공간을 작게 하는 것이 가능하며, 또한 휴대형 디스플레이 또는 가정용 디스플레이가 인기가 있음에 따라서 LCD의 수요가 증가되는 추세이다.
LCD의 기본 제조 공정은 기판 제조 공정, 셀 제조 공정, 모듈 제조 공정의 세 가지의 큰 제조 공정으로 구분될 수 있으며, 또한, 기판 제조 공정은 능동 매트릭스 LCD와 단순 매트릭스 LCD로 구분될 수 있다. 능동 매트릭스 LCD는 트랜지스터 어레이 또는 다이오드 어레이를 제작하는 공정으로 패턴 제작(어레이) 공정이라고 불리며, 단순 매트릭스 LCD는 투명 전극막의 미세 가공만을 가리키는 것이다.
단순 매트릭스 LCD의 제조 공정과 능동 매트릭스 LCD의 제조 공정의 차이점은 능동 매트릭스 LCD의 제조를 위하여 사용되는 글래스 기판이 투명 전극이 제공되는 것에 반하여, 단순 매트릭스 LCD의 제조를 위하여 사용되는 글래스 기판은 투명 전극이 글래스 기판에 형성되는 단계가 추가되는 것이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 투명 전극(102)이 글래스 기판(101)에 제공된 후에, 글래스 기판(101)은 세정액으로 세정된다. 투명 전극(102) 상에 포토레지스트막(103)이 증착된다. 그런 다음, 포토레지스트막(103)은 포토 마스크(104)를 통하여 빛에 노출됨으로써, 포토레지스트막(103)이 필요한 패턴으로 노광된다.
노광된 포토레지스트막(103a)은 현상을 통하여 제거되며, 포토레지스막(103a)이 제거된 투명 전극(102)의 부분은 에칭액 또는 가스에 의하여 식각되며, 최종적으로 식각되지 않은 투명 전극(102) 부분에 남아 있는 포토레지스트막(103)은 스트리퍼(stripper)를 통하여 제거된다.
스트리퍼에서, 글래스 기판(101) 및 투명 전극(102)에 잔류하는 포토레지스트막(103)은 스트리퍼 용액에 의하여 제거되며, 포토레지스트막(103)을 제거하기 위하여 사용된 스트리퍼 용액은 글래스 기판(101) 및 투명 전극(102)에 고압으로 분사되거나 샤워 방식으로 분사되는 물에 의하여 세정된다. 스트리퍼 용액을 세정하기 위하여 글래스 기판(101) 및 투명 전극(102)은 컨베이어에 의하여 스트리퍼(박리부)에 인접하여 위치된 에어커튼(105)으로 이송된다(도 2에 도시된 화살표 방향).
에어커튼(105)은 도 2에 도시된 바와 같이 전면 플레이트(105a)와 후면 플레이트(105b)를 포함하며, 전면 플레이트(105a)와 후면 플레이트(105b)에 의하여 에어커튼(105)의 내부에 공간부(109)가 형성되며, 또한 공간부(109)의 하부에는 대략 0.1mm의 간극을 가지는 슬릿(108)이 형성된다.
전면 플레이트(105a)는 에어커튼(101)으로 에어 또는 N2가스를 공급하기 위하여 에어 공급부(110)가 전면에 설치되며, 에어 공급부(11)는 에어커튼(105)에 에어 또는 N2가스를 공급하기 위한 에어 튜브(107)가 연결된다. 에어 튜브(107)로부터 공급된 에어 또는 N2가스는 에어커튼(105)의 내부에 제공된 통로(106, 도 3 참조)를 통하여, 공간부(109)로 공급된다. 공간부(109)로 공급된 에어 또는 N2가스는 글래스 기판(101) 또는 투명 전극(102) 상에 잔류하는 물을 글래스 기판(101) 또는 투명 전극(102)으로부터 제거하도록 전면 플레이트(105a)와 후면 플레이트(105b)의 하부에 형성된 슬릿(107)을 통하여 글래스 기판(101) 또는 투명 전극(102)으로 송풍된다.
한편, 슬릿(108)을 통하여 송풍된 에어는 상기된 바와 같이 글래스 기판(101) 및 투명 전극(102) 상에 잔류하는 용액(물)을 제거함과 동시에, 슬릿(108)의 형상에 의하여 처리중인 기판과 다음에 처리될 기판 사이의 증기(fume)를 차단하는 에어커튼의 기능을 한다.
그러나, 상기된 바와 같은 종래의 에어커튼은 기판 및 전극으로 분사되는 에어압 또는 N2가스 압력이 균일하지 않게 되어, 기판 및 전극에 잔류하는 용액(물)이 균일하게 제거되지 않는 경우가 발생될 수 있으며, 또한 용액을 완전히 제거하기 위하여 에어압 또는 N2가스의 압력을 증가시키는 경우에 에어 또는 N2가스의 유속이 더욱 균일하지 않게 되어 디바이스의 불량률이 더욱 증가된다는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조시에, 전극 상에 잔류하는 포토 레지스트막의 제거를 위하여 사용된 스트리퍼 용액 또는 물을 기판 또는 전극으로부터 균일하게 제거하여, TFT 액정 디스플레이 디바이스의 불량율을 감소시키기 위한 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼을 제공하는 데 있다.
도 1은 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조 공정중 패터닝 공정을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 종래의 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼의 사용예를 개략적으로 도시한 도면.
도 3은 도 2에 도시된 용액 제거용 에어커튼의 정면도.
도 4는 본 발명에 따른 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼의 단면도.
도 5는 도 4에 도시된 에어커튼의 정면도.
도 6은 도 4 및 도 5에 도시된 정류 격자를 보다 상세하게 도시한 사시도.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
1 : 에어커튼 2 : 전면 플레이트
3 : 후면 플레이트 4 : 에어 또는 N2가스공급부
5 : 공간부 6 : 1차 용액 차단 및 제거 수단
7,8 : 횡방향 홈 9 : 정류 격자
10 : 경사면 11 : 돌출 부재
12 : 에어 또는 N2가스 튜브 연결공 13 : 관통공
14 : 갭 조정 볼트 15 : 슬릿
16 : 경사부 17 : 개구
18 : 마이크로미터 19 : 브라켓
20 : 측정바 21 : 지지바
24 : 나이프 부재 25 : 용액 제거날
101 : 기판 102 : 전극
상기된 바와 같은 목적은, 본 발명에 따라서, 에어 또는 N2가스공급 튜브가 연결되는 에어 또는 N2가스공급부와; 다수의 횡방향 홈이 후면에 형성되고, 하부 후방에 경사면이 제공되며, 상부에 후방으로 돌출되는 돌출 부재를 가지는 플레이트로 형성되며, 상기 에어 또는 N2가스 공급부와 소통하는 관통공이 상기 홈의 상부 위치에 형성되는 전면 플레이트와; 상기 전면 플레이트와의 사이에 공간부를 형성하도록 다수의 갭 조정 볼트에 의하여 상기 전면 플레이트의 후면에 유동 가능하게 결합되어 본체를 형성하며, 상기 전면 플레이트의 홈과 대응하는 위치에 다수의 횡방향 홈이 형성되며, 상기 전면 플레이트의 경사면과의 사이에 소정 간극의 슬릿을 형성하도록 하부에 경사부를 가지는 후면 플레이트와; 상기 전면 플레이트 및 후면 플레이트의 홈에 설치되며, 다수의 개구가 형성되는 다수의 정류 격자를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼에 의하여 달성될 수 있다.
에어커튼은 또한 상기 본체의 상부에 대칭 위치에 제공되는 한 쌍의 브라켓과, 상기 각각의 브라켓에 설치되어, 상기 본체의 좌우 균형을 조정하는 마이크로미터를 추가로 포함한다.
에어커튼은 또한 상기 기판 및 전극에 잔류하는 용액을 제거하기 위하여 상기 에어 또는 N2가스 공급부의 전면에 상하 조정 가능하게 설치되는 1차 용액 차단 및 제거 수단을 추가로 포함할 수 있다.
상기에서, 상기 1차 용액 차단 및 제거 수단은 상기 에어 또는 N2가스 공급부의 전면에 높이 조절이 가능하게 설치될 수 있도록 장공이 형성되는 한 쌍의 지지바와, 지지바의 하부에 직각으로 설치되며, 단부에 날이 형성된 나이프 부재를 포함한다.
상기에서, 정류 격자는 상기 전면 플레이트와 상기 후면 플레이트에 형성된 홈에 설치될 때, 0.1 내지 0.5mm의 설치 공차를 가진다.
바람직하게, 상기 갭 조정 볼트를 조정하는 것에 의하여 0.1 내지 0.5mm 범위에서 슬릿의 크기를 조정하도록, 상기 전면 플레이트와 후면 플레이트는 서로 유동 가능하게 결합된다.
상기에서, 정류 격자에 형성되는 개구는 등간격으로 형성되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 명세서에 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼의 단면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 에어커튼의 정면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 에어커튼(1)은 전면 플레이트(2)와, 전면 플레이트(2)의 후방에 결합되는 후면 플레이트(3)에 의하여 본체가 형성된다. 전면 플레이트(2)의 전방에는 에어 또는 N2가스공급 튜브(도시되지 않음)가 연결되는 에어 또는 N2가스공급부(4)가 설치된다. 전면 플레이트(2)는 서로 상하로 배치되는 적어도 2개 이상의 횡방향 홈(7)이 후면에 형성되고, 하부 후방에 경사면(10)이 형성되며, 상부에 후방으로 일정 길이 돌출되는 돌출 부재(11)를 가지는 플레이트로 형성된다.
돌출 부재(11)는 후면 플레이트(3)가 결합되었을 때, 후면 플레이트(3)와 전면 플레이트(2)와의 사이에 소정의 체적을 가지는 공간부(5)를 형성하는 기능을 하며, 공간부(5)는 대략 24.8cm3의 체적을 가진다. 전면 플레이트(2)는 또한 에어 또는 N2가스공급부(4)의 에어 또는 N2가스튜브 연결공(12)과 소통하는 관통공(13)이 횡방향 홈(7)의 상부 위치에 형성된다.
후면 플레이트(3)는 상기된 바와 같이 전면 플레이트(2)와의 사이에 공간부(5)를 형성하도록 다수의, 바람직하게는 12개의 갭 조정 볼트(14)에 의하여 전면 플레이트(2)의 후면에 전후 방향으로 유동 가능하게 결합된다. 후면 플레이트(3)는 또한 전면 플레이트(2)의 횡방향 홈(7)과 대응하는 위치에 다수의 횡방향 홈(8)이 형성되며, 정류 격자(9)가 전면 플레이트(2) 및 후면 플레이트(3)에 형성된 홈(7,8)에 설치된다.
정류 격자(9)는 도 6에 도시된 바와 같이 스테인레스 강과 같은 재질로 대략 6.5mm의 폭과 대략 1mm의 두께를 가지는 스트립 형상을 가지며, 다수의 개구(17)가 등간격으로 형성되며, 이러한 개구(17)는 대략 3.5mm의 지름을 가지며, 개구(17)들 사이의 거리는 대략 9mm이다.
전면 플레이트(2) 및 후면 플레이트(3)에 형성된 홈(7,8)이 상기된 바와 같이 에어 또는 N2가스공급부(4)의 에어 또는 N2가스튜브 연결공(12)과 소통하는 관통공(13)의 하부에 위치되기 때문에, 에어 또는 N2가스공급부(4)를 통하여 공간부(5)로 공급된 에어 또는 N2가스는 정류 격자(9)에 형성된 다수의 개구(17)를 통과하게 된다. 개구(17)는 등간격으로 형성되는 것이 바람직하며, 개구(17)가 등간격으로 형성되기 때문에, 에어 또는 N2가스는 개구(17)를 통과하는 동안 유속이 보다 균일하게 될 수 있다.
정류 격자(9)를 통과한 에어 또는 N2가스는 전면 플레이트(2)의 후면에 형성된 경사면(10)과 후면 플레이트(3)의 하부에 제공되는 경사부(16) 사이에 형성되는 슬릿(15)을 통하여 기판(101) 또는 전극(102)으로 송풍된다. 슬릿(15)은 예를 들어 0.1mm의 간극(t1)을 가지며, 따라서 에어 또는 N2가스가 슬릿(15)을 통과하는 동안 에어커튼을 형성한다.
그러므로, 정류 격자(9)는 에어 또는 N2가스가 슬릿(15)을 통하여 기판(101)으로 송풍될 때, 보다 균일한 속도 분포로 기판에 송풍하는 기능을 한다. 또한, 보다 균일한 속도 분포의 에어 또는 N2가스분사는 에어커튼력을 향상시키고, 따라서, 다음의 기판이 스트리퍼 또는 물의 고압 분사 또는 샤워 방식에 의하여 기판이 세정될 때 발생되는 물 또는 용액의 튐이 보다 향상된 에어커튼에 의하여 확실하게 방지될 수 있다.
상기된 바와 같은 정류 격자(9)는 도면에서 스트립의 형태로 도시되었으나, 직사각형, 사각형, 또는 환봉의 단면 형상을 가지는 막대 부재도 가능하며, 본 실시예에서는 상부에 설치되는 1차 정류 격자와 하부에 설치되는 2차 정류 격자로 구성되지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라서 그 수는 증가될 수 있다.
에어커튼의 형상으로 에어 또는 N2가스를 기판으로 송풍하기 위한 슬릿(15)은 바람직하게 송풍되는 에어압 또는 N2가스의 압력에 따라서 간극(t1)이 조정될 수 있으며, 이러한 슬릿(15)의 간극(t1) 조정은 소정 두께를 가지는 한계 게이지가 슬릿(15)에 삽입된 상태에서 전면 플레이트(2)와 후면 플레이트(3)를 결합하기 위한 갭 조정 볼트(14)를 조정함으로써 조정될 수 있다. 간극(t1) 조정은 대략 0.1 내지 0.5mm의 범위에서 이루어진다.
한편, 전면 플레이트(2)와 후면 플레이트(3)에 형성되는 공간부(5)의 폭은 전면 플레이트(2)의 홈(7)과 후면 플레이트(3)의 홈(8)에 설치되는 정류 격자(9)의 폭이 대략 6.5mm의 크기를 가지므로 6.5mm 보다 작게 된다.
바람직하게, 에어커튼(1)은 에어커튼(1)이 장치에 설치되었을 때 장치에 대한 에어커튼(1)의 좌우 균형을 조정하기 위한 마이크로미터(18)가 제공될 수 있다. 마이크로미터(18)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 본체의 상부에 서로 대칭 위치에 각각 설치되는 한 쌍의 브라켓(19)에 설치되며, 각각의 마이크로미터(18)의 측정 막대(18a)가 장치에 제공되는 측정바(30)에 접촉된다. 그러므로, 에어커튼(1)은 측정바(30)를 이용한 마이크로미터(18)의 미세 조정에 의하여 장치에 대해 좌우 균형이 적어도 0.01mm의 단위로 미세하게 조정되어, 장치에 대하여 좌우 균형이 정확하게 유지될 수 있다.
에어커튼(1)은 또한 처리할 기판 및 전극에 잔류하는 용액을 제거하기 위한 1차 용액 차단 및 제거 수단(6)이 제공될 수 있으며, 이러한 1차 용액 차단 및 제거 수단(6)은 에어 또는 N2가스공급부(4)의 전면에 상하 조정 가능하게 설치된다.
1차 용액 차단 및 제거 수단(6)은 도 5에 도시된 바와 같이 에어 또는 N2가스공급부(4)의 전면에 설치되는 한 쌍의 지지바(21)와, 처리될 기판과 평행하게 되도록 지지바(21)의 하부에 직각으로 설치되는 나이프 부재(24)를 포함한다. 각각의 지지바(21)는 장공(22)을 가지며, 장공(22)을 통하여 에어 또는 N2가스공급부(4)에 형성된 나사공(23)에 볼트가 체결되는 것에 의하여 에어 또는 N2가스공급부(4)에 설치되며, 나이프 부재(24)는 기판(101) 및 전극(102)의 표면에 잔류하는 용액을 제거하기 위하여 전단부에 용액 제거날(25)이 형성된다.
기판(101) 및 전극(102)의 표면에 잔류하는 용액은 기판(101)이 컨베이어 라인을 따라서 에어커튼(1)으로 도 4에 도시된 화살표 방향으로 이송되는 동안, 기판(101) 또는 전극(102)의 표면으로부터 높이(t2, 도 3 참조)이상 잔류하는 용액이 에어커튼(1) 보다 전방에 위치된 나이프 부재(24)의 용액 제거날(25)에 의하여 제거되는 방식으로 1차적으로 처리된다. 그런 다음, 에어커튼(1)에 의하여 송풍되는 에어에 의하여 나머지 용액이 제거된다.
나이프 부재(24)는 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이 처리될 기판(101) 또는 전극(102) 상에 잔류하는 용액을 보다 효과적으로 제거하기 위하여, 중앙 부분이 돌출되는 삼각형으로 형성된다.
또한, 나이프 부재(24)는 기판(101)과 평행으로 제공되기 때문에, 에어커튼(1)에 의하여 기판(101이 위로 노출되는 것을 방지한다. 그러므로, 나이프 부재(24)는 기판(101) 및 전극(102)에 잔류하는 스트리퍼 용액 또는 물이 에어커튼(1) 에 의하여 처리되는 기판(101)으로 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다.
한편, 상기된 바와 같은 나이프 부재(24)의 형상은 에어커튼(1)에 의하여 처리되는 기판(101)으로 침투하는 것을 방지할 수 있는, 예를 들어 반원형, 또는 사각의 형상으로 형성될 수도 있다.
1차 용액 차단 및 제거 수단(6)의 높이 조절에 대하여 도 4를 참조하여 설명한다.
먼저, 1차 용액 차단 및 제거 수단(6)을 에어 또는 N2가스공급부(4)에 고정하기 위하여, 지지바(21)의 장공(22)을 통하여 에어 또는 N2가스공급부(4)에 형성된 나사공(22)에 체결된 나사를 풀은 상태에서, 나이프 부재(24)와 기판(101) 또는 전극(102) 사이의 틈새(t2)에 적정한 두께의 치수를 가지는 한계 게이지(도시되지 않음)가 위치된다. 그러므로, 나이프 부재(24)는 한계 게이지를 통하여 기판(101) 또는 전극(102)에 의해 지지됨으로써, 나이프 부재(24)와 기판(101) 또는 전극(102) 사이의 거리가 조정된다. 그런 다음 볼트를 에어 또는 N2가스공급부(4)에 형성된 나사공(23)에 체결함으로써, 기판(101) 또는 전극(102)에 대한 1차 용액 차단 및 제거 수단(6)의 정확한 높이 조절이 이루어질 수 있다.
상기된 바와 같이, 본 발명에 따른 에어커튼에 의하면, TFT 액정 디스플레이 디바이스 제조시에, 전극 또는 기판 상에 잔류하는 용액이 에어커튼에 제공되는 정류 격자에 의하여 균일한 유속을 가지는 에어 또는 N2가스에 의하여 기판 또는 전극으로부터 균일하게 제거됨으로써, 균일하지 않은 에어압 또는 N2가스의 압력에 의한 TFT 액정 디스플레이 디바이스의 불량율을 감소시킬 수 있다.
또한, 전극 또는 기판 상에 잔류하는 용액 또는 물이 1차 용액 차단 및 제거 수단에 의하여 전극 또는 기판으로부터 제거된 후에, 에어커튼에 의하여 1차적으로 제거됨으로써, 보다 적은 에어압 또는 N2가스의 압력에 의하여 제거될 수 있으며, 따라서 에어커튼에 의하여 송풍되는 에어 또는 N2가스가 보다 균일한 유속으로 송풍될 수 있으므로, 균일하지 않은 에어압 또는 N2가스의 압력에 의한 TFT 액정 디스플레이 디바이스의 불량율을 감소시킬 수 있다.
또한, 기판 및 전극에 잔류하는 스트리퍼 용액 또는 물이 공급될 때, 물 또는 용액이 에어커튼에 의하여 처리되는 기판으로 침범하는 것을 방지하여, 물 또는 용액의 침범으로 인한 TFT 액정 디스플레이 디바이스의 불량을 방지할 수 있다.

Claims (7)

  1. 에어 또는 N2가스 튜브가 연결되는 에어 또는 N2가스 공급부와;
    다수의 횡방향 홈이 후면에 형성되고, 하부 후방에 경사면이 제공되며, 상부에 후방으로 돌출되는 돌출 부재를 가지는 플레이트로 형성되며, 상기 에어 공급부와 소통하는 관통공이 상기 홈의 상부 위치에 형성되는 전면 플레이트와;
    상기 전면 플레이트와의 사이에 공간부를 형성하도록 다수의 갭 조정 볼트에 의하여 상기 전면 플레이트의 후면에 유동 가능하게 설치되어 본체를 형성하며, 상기 전면 플레이트의 홈과 대응하는 위치에 다수의 횡방향 홈이 형성되며, 상기 전면 플레이트의 경사면과의 사이에 소정 간극의 슬릿을 형성하도록 하부에 경사부를 가지는 후면 플레이트와;
    상기 전면 플레이트 및 후면 플레이트의 홈에 설치되며, 다수의 개구가 형성되는 다수의 정류 격자를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 본체의 상부에 대칭 위치에 제공되는 한 쌍의 브라켓과, 상기 각각의 브라켓에 설치되어, 상기 본체의 좌우 균형을 조정하는 마이크로미터를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
  3. 제 1 항에 있어서, 기판 및 전극에 잔류하는 용액을 제거하기 위하여, 상기 에어 또는 N2가스 공급부의 전면에 상하 조정 가능하게 설치되는 1차 용액 차단 및 제거 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 1차 용액 차단 및 제거 수단은 상기 에어 또는 N2가스 공급부의 전면에 높이 조절이 가능하게 설치될 수 있도록 장공이 형성되는 한 쌍의 지지바와, 지지바의 하부에 직각으로 설치되며, 단부에 날이 형성된 나이프 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 정류 격자는 상기 전면 플레이트와 상기 후면 플레이트에 형성된 홈에 설치될 때, 0.1 내지 0.5mm의 설치 공차를 가지는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
  6. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 갭 조정 볼트를 조정하는 것에 의하여 0.1 내지 0.5mm 범위에서 슬릿의 크기를 조정하도록, 상기 전면 플레이트와 후면 플레이트는 서로 유동 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 정류 격자에 형성되는 개구는 등간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
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