KR20200043908A - 현상장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일실시예는 기판에 분사된 후 회수되는 현상액의 재사용 효율을 높이기 위하여 기포발생을 줄일 수 있는 현상장치를 제공한다. 여기서, 현상장치는 이송부, 현상액 공급부, 배출부 그리고 가이드부를 포함한다. 이송부는 기판의 하부를 지지하고 회전하면서 기판을 제1방향으로 이송시킨다. 현상액 공급부는 기판의 상측에서 기판에 현상액을 공급한다. 배출부는 이송부의 하측에 구비되고, 이송부에서 낙하하여 유입되는 현상액의 유속을 줄이고 흐름 거리가 증가되도록 안내하여 배출시킨다. 가이드부는 이송부 및 배출부의 사이에 구비되고, 현상액이 배출부로 유입 시에 비산을 방지한다.

Description

현상장치{APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE WITH DEVELOPING SOLUTION}
본 발명은 현상장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 분사된 후 회수되는 현상액의 재사용 효율을 높이기 위하여 기포발생을 줄일 수 있는 현상장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자(LCD: Liquid Crystal Display) 또는 플라즈마 표시소자(PDP: Plasma Display Panel) 등과 같은 대표적인 평판 디스플레이 장치는 기본적으로 평판 유리(Glass)를 기판으로 사용하게 된다.
그리고 이러한 기판은 표면에 절연층, 컬러층, 편광층 등 여러 박막층이 형성되고, 또한 반송장치에 로딩되어 이동되면서 약액도포공정, 노광공정, 현상공정, 세정공정, 건조공정 등 다양한 처리 공정을 통해 제조되게 된다.
상기와 같은 제조공정 중에서 현상공정은 기판상의 레지스트막을 현상처리하기 위한 공정으로서, 기판상에 현상액을 균일하게 도포하여 노광공정에서 빛을 받은 부분과 받지 않은 부분으로 구별될 수 있게 함으로써, 기판상의 레지스트막을 선택적으로 현상 처리하게 되는 것이다.
현상액은 기판 상부에 설치되는 노즐로부터 기판 표면에 골고루 분사되게 되며, 이때 기판의 불량을 방지하고, 고품질의 기판을 제조하기 위하여 현상액이 신속하게 기판 전체 표면에 균일하게 도포되는 것이 중요하다. 따라서 현상 노즐은 현상액이 기판상에 신속하고 균일하게 도포될 수 있도록 기판 상부에 설치되게 되며, 현상액이 최적의 분사압력과 속도로 기판 전체 표면에 균일하게 분사될 수 있도록 설치된다.
종래의 현상공정에서, 현상장치 내부의 현상액 점도가 큰 경우, 현상액 분사장치로부터 현상액이 분사되는 과정에서 기포가 발생하기 쉽다. 즉, 현상액이 기판으로 분사되는 과정에서 다량의 기포가 발생할 수 있다. 이는 현상공정에 좋지 않은 영향을 미치기 때문에, 제품 품질에 영향을 줄 수 있다. 따라서, 현상액의 분사 시에 기포의 발생을 줄이는 것은 무엇보다도 중요하다.
한편, 통상적으로는 기판에 분사되어 현상처리 공정을 거친 현상액이 기판으로부터 낙하하게 되면, 이렇게 낙하하는 현상액은 수집 과정을 거쳐 재사용되게 된다. 그런데, 현상 공정을 거친 현상액이 수집되기 위해 흐르는 과정에서 현상액의 내부에는 기포가 다수 발생하게 된다. 그리고 이렇게 기포를 다수 함유하는 현상액이 현상 노즐을 통해 다시 기판에 분사되게 됨으로써, 현상액의 분사 시에 기포는 더욱 다량 발생하게 되는 문제가 있다.
대한민국 공개특허공보 제2009-0132310호(2009.12.30. 공개)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판에 분사된 후 회수되는 현상액의 재사용 효율을 높이기 위하여 기포발생을 줄일 수 있는 현상장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 기판의 하부를 지지하고 회전하면서 상기 기판을 제1방향으로 이송시키는 이송부; 상기 기판의 상측에서 상기 기판에 현상액을 공급하는 현상액 공급부; 상기 이송부의 하측에 구비되고, 상기 이송부에서 낙하하여 유입되는 현상액의 유속을 줄이고 흐름 거리가 증가되도록 안내하여 배출시키는 배출부; 그리고 상기 이송부 및 상기 배출부의 사이에 구비되고, 상기 현상액이 상기 배출부로 유입 시에 비산을 방지하는 가이드부를 포함하는 현상장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 이송부는 상기 제1방향을 따라 이격되어 구비되는 복수의 이송롤러를 가지고, 상기 가이드부는 상기 이송롤러의 하측에 구비되고, 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 이격 구비되는 한 쌍의 지지프레임과, 상기 지지프레임의 사이에서 상기 지지프레임과 결합되되, 상단부는 상기 이송롤러의 하부와 이격된 상태에서 상기 이송롤러의 하부로 연장 형성되고, 하단부는 상기 배출부의 상면에 근접하게 이격되도록 연장 형성되는 가이드 플레이트를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 지지프레임은 상기 제1방향을 기준으로 상기 이송롤러의 전방에 구비되고, 상기 가이드 플레이트의 중앙부는 상기 지지프레임에 위치되고, 상기 가이드 플레이트의 상단부는 상기 가이드 플레이트의 중앙부에서 벤딩되어 상기 이송롤러의 후방으로 연장되며, 상기 가이드 플레이트의 하단부는 상기 가이드 플레이트의 중앙부에서 벤딩되어 상기 중앙부보다 전방으로 연장될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 가이드 플레이트는 상기 가이드 플레이트의 상단부에 형성되고, 상기 이송롤러의 후단부를 감싸도록 구비되어 상기 이송롤러의 표면에 묻어 상기 이송롤러와 함께 회전하는 현상액을 닦아 내어 상기 현상액이 상기 가이드 플레이트를 따라 흐르도록 하는 스위퍼를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 가이드부는 상기 가이드 플레이트 및 상기 지지프레임에 결합되어 상기 가이드 플레이트를 상기 지지프레임에 결합시키는 클램핑 플레이트를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 배출부는 상기 제1방향으로 연장 형성되는 설치홈을 상부에 가지는 바닥판과, 상기 설치홈에 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 미리 정해진 간격으로 설치되고, 상기 제1방향으로 갈수록 높이가 낮아지는 지지판과, 상기 지지판의 상부에 구비되고 상기 제1방향으로 갈수록 하향 경사지게 구비되어 상기 가이드부에서 낙하하는 현상액이 상기 제1방향으로 흐르도록 하는 경사판과, 상기 경사판의 상면에 상기 제1방향을 따라 지그재그 형태로 배치되어 상기 경사판에서 흐르는 현상액의 흐름거리를 증가시키는 가이드부재를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 가이드부재는 일단부가 상기 설치홈의 일측벽면에 연결되고, 상기 제1방향으로 비스듬하게 구비되되 타단부는 상기 설치홈의 타측벽면과 이격되며, 상기 제1방향을 따라 미리 정해진 간격으로 배치되는 제1가이드부재와, 일단부는 상기 타측벽면에 연결되고, 상기 제1방향으로 비스듬하게 구비되되 타단부는 상기 일측벽면과 이격되며, 상기 제1가이드부재의 사이 사이에 상기 제1방향을 따라 미리 정해진 간격으로 배치되는 제2가이드부재를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 배출부는 상기 제1가이드부재의 일단부와 상기 일측벽면이 이루는 제1예각영역에 구비되는 제1가이드블록과, 상기 제2가이드부재의 일단부와 상기 타측벽면이 이루는 제2예각영역에 구비되는 제2가이드블록을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 배출부 및 상기 가이드부는 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 복수로 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 가이드 플레이트의 상단부에 스위퍼가 형성되어 이송롤러의 표면에 묻어 이송롤러와 함께 회전하는 현상액을 닦아 내어 현상액이 기판으로 다시 공급되지 않고, 가이드 플레이트를 따라 흐르도록 할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 가이드 플레이트의 하단부 및 경사판의 상면 사이의 높이를 낮춰, 현상액이 경사판으로 유입 시에 총 자유낙하 거리를 줄일 수 있으며, 이를 통해, 현상액이 경사판으로 낙하하는 과정에서 현상액의 액적이 비산되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 경사판은 제1각도로 경사지게 형성되어 현상액의 유속을 감소시킬 수 있고, 가이드부재는 현상액의 흐름방향을 반복해서 바꾸고 또한 흐름 거리도 증가되도록 하여 기포가 격리되는 현상을 증가시킴으로써 결과적으로 현상액에서 기포의 발생을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치의 일부분을 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치에서 배출부 및 가이드부를 중심으로 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치의 지지판을 나타낸 정면도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치를 나타낸 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치의 일부분을 나타낸 정면도이다.
도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 현상장치는 이송부(100), 현상액 공급부(200), 배출부(300) 그리고 가이드부(400)를 포함할 수 있다.
이송부(100)는 기판(10)의 하부를 지지할 수 있으며, 회전하면서 기판(10)을 제1방향(D1)으로 이송시킬 수 있다.
이송부(100)는 제1방향(D1)을 따라 이격되는 구비되는 복수의 이송롤러(110)를 가질 수 있다. 이송롤러(110)는 회전하면서 기판(10)을 제1방향(D1)으로 이송시킬 수 있다. 이송롤러(110)는 유리소재로 이루어질 수 있다.
이하에서는 설명의 편의상, 기판이 이송되는 방향, 즉 제1방향(D1)을 기준으로 전방/전단/전단부, 후방/후단/후단부로 설명한다. 즉, 기판이 제1지점에서 제2지점으로 이동되는 경우, 제1지점을 후방/후단/후단부로, 제2지점을 전방/전단/전단부로 하여 설명한다.
현상액 공급부(200)는 기판(10)의 상측에서 기판(10)에 현상액을 공급할 수 있다.
현상액 공급부(200)는 제1현상액 분사부(220) 및 제2현상액 분사부(210)를 가질 수 있다.
제1현상액 분사부(220)는 제1방향(D1)을 기준으로 후방에 구비될 수 있으며, 제1방향(D1)에 수직한 제2방향(D2)을 따라 연장 구비되어 이송되는 기판(10)에 현상액을 공급할 수 있다. 제1현상액 분사부(220)는 현상액이 낮은 분사압으로 분사되도록 하여 기판(10)에 현상액이 안정적으로 도포되도록 할 수 있다.
제2현상액 분사부(210)는 제1현상액 분사부(220)의 전방에 구비될 수 있으며, 제2방향(D2)을 따라 연장 구비되어 기판(10)에 현상액을 추가 도포할 수 있다. 제2현상액 분사부(210)는 제1현상액 분사부(220)와 평행하게 배치될 수 있다.
현상액 공급부(200)는 고정프레임(230)을 가질 수 있으며, 고정프레임(230)은 제1현상액 분사부(220) 및 제2현상액 분사부(210)를 고정 지지할 수 있다.
배출부(300)는 이송부(100)의 하측에 구비되고, 이송부(100)에서 낙하하는 현상액의 흐름을 안내하여 배출시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치에서 배출부 및 가이드부를 중심으로 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 현상장치의 지지판을 나타낸 정면도인데, 이하에서는 도4 및 도 5를 더 포함하여 설명한다.
도 4 및 도 5를 더 포함하여 보는 바와 같이, 배출부(300)는 바닥판(310), 지지판(320), 경사판(330) 및 가이드부재(340)를 가질 수 있다.
바닥판(310)은 배출부(300)의 바닥을 구성하며, 상부에는 제1방향(D1)으로 연장 형성되는 설치홈(311)을 가질 수 있다.
설치홈(311)은 바닥판(310)의 상부에 함몰 형성되는 공간일 수 있다. 설치홈(311)은 제1방향(D1)을 길이방향으로 하여 연장 형성되며, 제2방향(D2)의 폭을 가질 수 있다. 설치홈(311)의 일측에는 일측벽면(312)이 배치되고, 설치홈(311)의 타측에는 타측벽면(313)이 배치될 수 있다.
지지판(320)은 설치홈(311)에 구비될 수 있다. 지지판(320)은 제2방향(D2)을 따라 미리 정해진 간격으로 설치될 수 있으며, 제1방향(D1)으로 갈수록 높이가 낮아질 수 있다.
지지판(320)은 후단부가 가이드부(400)의 하측에 위치될 수 있다. 그리고, 지지판(320)의 상면은 제1방향(D1)으로 갈수록 하향 경사지게 형성될 수 있다.
설치홈(311)에는 지지판(320)과 서로 정합되는 고정홈(미도시)이 설치될 수 있으며, 이를 통해, 지지판(320)은 설치홈(311)에 정해진 위치에 용이하게 위치될 수 있다.
더하여, 설치홈(311)에는 지지판(320)의 바닥면에 대응되는 형상의 사각홈(미도시)이 더 관통 형성될 수 있다. 지지판(320)은 상기 사각홈에 삽입되고, 용접에 의해 설치홈(311)에 설치될 수 있다.
지지판(320)의 바닥과 상면이 이루는 제1각도(A1)는 1 내지 5도일 수 있으며, 바람직하게는 2도 일 수 있다.
한편, 설치홈은 제2방향(D2)을 따라 복수로 배치될 수 있다. 즉, 제2방향(D2)을 따라 설치홈(311)의 옆에는 다른 설치홈(311a)이 배치될 수 있다. 그리고, 다른 설치홈(311a)에도 복수의 지지판(320a)가 구비될 수 있다.
제2방향(D2)을 따라 설치홈이 복수로 마련되는 경우, 각각의 설치홈(311,311a)의 사이에는 보강벽(315)이 더 구비될 수 있다.
이 경우, 보강벽(315)의 일측면은 설치홈(311)의 타측벽면(313)이 될 수 있다. 그리고, 보강벽(315)의 타측면은 다른 설치홈(311a)의 일측벽면이 될 수 있다.
경사판(330)은 지지판(320)의 상부에 구비되어 제1방향(D1)으로 갈수록 하향 경사지게 구비될 수 있다.
경사판(330)은 각 설치홈(311,311a)별로 구비될 수 있다. 경사판(330)은 지지판(320)과 용접 결합될 수 있으며, 경사판(330)의 경사각도는 지지판(320)의 경사각도인 제1각도(A1)와 동일할 수 있다.
현상액 공급부(200)에서 공급된 현상액이 기판(10)으로부터 낙하하면 경사판(330)으로 떨어질 수 있으며, 경사판(330)에 떨어진 현상액은 경사판(330)을 따라 흐를 수 있다. 경사판(330)은 제1방향(D1)으로 갈수록 하향 경사지게 구비되므로, 현상액도 제1방향(D1)으로 흐를 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 가이드부재(340)는 경사판(330)의 상면에 제1방향(D1)을 따라 지그재그 형태로 배치될 수 있으며, 경사판(330)에서 흐르는 현상액의 흐름거리를 증가시킬 수 있다.
구체적으로, 가이드부재(340)는 제1가이드부재(341) 및 제2가이드부재(342)를 가질 수 있다.
제1가이드부재(341)는 일단부가 설치홈(311)의 일측벽면(312)에 연결될 수 있다. 그리고, 제1가이드부재(341)는 제1방향(D1)으로 비스듬하게 구비되되 타단부는 설치홈(311)의 타측벽면(313)과 이격되도록 직선 연장 형성될 수 있다.
제1가이드부재(341)의 일단부 및 일측벽면(312)은 제1예각(A2)을 이룰 수 있으며, 여기서, 제1예각(A2)은 60 내지 90도 이고, 바람직하게는 80도 일 수 있다.
제1가이드부재(341)는 제1방향(D1)을 따라 미리 정해진 간격으로 복수개가 배치될 수 있다.
제2가이드부재(342)는 일단부가 타측벽면(313)에 연결되고, 제1방향(D1)으로 비스듬하게 구비되되 타단부는 일측벽면(312)과 이격되도록 직선 연장될 수 있다.
제2가이드부재(342)의 일단부 및 타측벽면(313)은 제2예각(A3)을 이룰 수 있으며, 여기서, 제2예각(A3)은 60 내지 90도 이고, 바람직하게는 80도 일 수 있다.
제2가이드부재(342)는 제1가이드부재(341)의 사이 사이에 제1방향(D1)을 따라 미리 정해진 간격으로 배치될 수 있다. 즉, 제1가이드부재(341)와 제2가이드부재(342)는 제1방향(D1)을 따라 서로 번갈아 배치될 수 있다.
기판(10)으로부터 현상액이 낙하하여 경사판(330)을 따라 흐를 때, 경사판(330)은 제1각도(A1)로 경사지게 형성되어 현상액의 유속을 감소시킬 수 있다. 그리고, 가이드부재(340)는 현상액의 흐름방향을 반복해서 바꾸고 또한 흐름 거리도 증가되도록 하여 현상액에서 기포의 발생을 감소시킬 수 있다.
가이드부재(340)는 경사판(330)에 용접 결합될 수 있다.
그리고, 배출부(300)는 제1가이드블록(350) 및 제2가이드블록(360)을 가질 수 있다.
제1가이드블록(350)은 제1가이드부재(341)의 일단부와 일측벽면(312)이 제1예각(A2)을 이루는 제1예각영역에 구비될 수 있다.
그리고, 제1가이드블록(35)은 제1가이드부재(341) 및 일측벽면(312)과 각각 둔각을 이룰 수 있다. 즉, 제1가이드블록(350)에서 외측으로 노출되는 전방측면은 일측으로 이웃하는 제1가이드부재(341)의 전방측면과 둔각을 이룰 수 있다. 또한, 제1가이드블록(350)에서 외측으로 노출되는 측면은 타측으로 이웃하는 일측벽면(312)과 둔각을 이룰 수 있다.
제1예각영역은 제1가이드부재(341)의 일단부와 일측벽면(312)이 예각을 이루기 때문에, 경사판(330)에서 흐르는 현상액이 제1예각영역에 유입되면 축적되는 현상이 발생할 수 있다. 제1가이드블록(350)은 이와 같은 이유로 인해 현상액이 유입되어 축적되는 현상을 방지하여 현상액이 안정적으로 흘러 배출되도록 할 수 있다.
마찬가지로, 제2가이드블록(360)은 제2가이드부재(342)의 일단부와 타측벽면(313)이 제2예각(A3)을 이루는 제2예각영역에 구비되어 제2가이드부재(342) 및 타측벽면(313)과 각각 둔각을 이룰 수 있다. 즉, 제2가이드블록(360)에서 외측으로 노출되는 전방측면은 일측으로 이웃하는 제2가이드부재(342)의 전방측면과 둔각을 이룰 수 있다. 또한, 제2가이드블록(360)에서 외측으로 노출되는 측면은 타측으로 이웃하는 타측벽면(313)과 둔각을 이룰 수 있다.
제2예각영역도 제2가이드부재(342)의 일단부와 타측벽면(313)이 예각을 이루기 때문에, 경사판(330)에서 흐르는 현상액이 제2예각영역에 유입되면 축적되는 현상이 발생할 수 있다. 제2가이드블록(360)은 이와 같은 이유로 인해 현상액이 유입되어 축적되는 현상을 방지하여 현상액이 안정적으로 흘러 배출되도록 할 수 있다.
가이드부(400)는 이송부(100) 및 배출부(300)의 사이에 구비되고, 이송부(100)를 타고 흐르는 현상액이 배출부(300)로 유입 시에 총 자유낙하 거리를 줄여 현상액의 비산을 방지할 수 있다.
상세히, 도 3에서 보는 바와 같이, 가이드부(400)는 지지프레임(410), 가이드 플레이트(420) 및 클램핑 플레이트(422)를 가질 수 있다.
지지프레임(410)은 이송롤러(110)의 하측에 구비될 수 있으며, 제2방향(D2)을 따라 한 쌍이 이격 구비될 수 있다. 지지프레임(410)은 제1방향(D1)을 기준으로 이송롤러(110)의 전방에 구비될 수 있다.
가이드 플레이트(420)는 지지프레임(410)의 사이에서 지지프레임(410)에 결합될 수 있다.
클램핑 플레이트(422)는 “L” 자 형태로 형성될 수 있으며, 클램핑 플레이트(422)의 일면은 지지프레임(410)의 중앙부(421)에 결합될 수 있다. 그리고, 상기 일면과 수직한 클램핑 플레이트(422)의 다른 일면에는 가이드 플레이트(420)가 결합될 수 있으며, 이를 통해, 가이드 플레이트(420)는 지지프레임(410)에 결합될 수 있다.
클램핑 플레이트(422)는 가이드 플레이트(420) 및 지지프레임(410)에 각각 볼트 결합될 수 있다. 예를 들면, 지지프레임(410)에는 나사산공(401)이 형성되고, 클램핑 플레이트(422)에는 나사산공(401)에 대응되는 관통공(미도시)이 형성될 수 있으며, 나사산공(401) 및 관통공으로 볼트와 같은 체결부재(411)가 체결될 수 있다. 또한, 도시되지는 않았지만, 클램핑 플레이트(422) 및 가이드 플레이트(420)도 볼트와 같은 체결부재에 의해 결합될 수 있다.
클램핑 플레이트(422)는 별도로 마련될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 클램핑 플레이트(422)는 가이드 플레이트(420)의 중앙부(421)에 일체로 형성될 수도 있다.
가이드 플레이트(420)의 상단부(423)는 이송롤러(110)의 하부와 이격된 상태에서 이송롤러(110)의 하부를 받치도록 연장 형성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 가이드 플레이트(420)의 중앙부(421)는 지지프레임(410)에 위치되기 때문에, 가이드 플레이트(420)의 상단부(423)는 가이드 플레이트(420)의 중앙부(421)에서 벤딩되어 이송롤러(110)의 후방으로 연장되도록 형성될 수 있다.
그리고, 가이드 플레이트(420)의 하단부(424)는 가이드 플레이트(420)의 중앙부(421)에서 벤딩되어 중앙부(421)보다 전방으로 연장 형성될 수 있다. 가이드 플레이트(420)의 하단부(424)는 배출부(300)의 상면, 즉, 경사판(330)의 상면에 근접하게 이격되도록 연장 형성될 수 있다.
구체적으로, 가이드 플레이트(420)의 하단부(424) 및 경사판(330)의 상면 사이의 높이(H)는 3 내지 8 mm 일 수 있다.
이와 같이, 가이드 플레이트(420)는 “S”자 형태로 굴절 형성될 수 있다.
그리고, 가이드 플레이트(420)는 스위퍼(425)를 가질 수 있다. 스위퍼(425)는 가이드 플레이트(420)의 상단부(423)에 형성될 수 있으며, 이송롤러(110)의 후단부를 감싸도록 구비될 수 있다. 바람직하게는 스위퍼(425)는 이송롤러(110)의 후단부 외주면에 밀착될 수 있다.
스위퍼(425)는 이송롤러(110)의 표면에 묻어 이송롤러(110)와 함께 회전하는 현상액을 닦아 내어 현상액이 기판(10)으로 다시 공급되지 않도록 할 수 있다.
스위퍼(425)는 가이드 플레이트(420)의 상단부(423)와 일체로 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것을 아니며, 가이드 플레이트(420)의 상단부(423)에 별도로 구비될 수도 있다.
기판(10)에서 이송롤러(110)로 흘러내린 현상액은 스위퍼(425)에 의해 닦여 가이드 플레이트(420)를 따라 흐를 수 있다.
전술한 바와 같이, 가이드 플레이트(420)의 하단부(424) 및 경사판(330)의 상면 사이의 높이(H)는 3 내지 8 mm로 낮기 때문에, 현상액이 배출부(300)로 유입 시에 총 자유낙하 거리를 줄일 수 있으며, 이를 통해, 현상액의 액적이 비산되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
이처럼, 본 발명에 따르면, 가이드 플레이트(420)의 상단부(423)에 스위퍼(425)가 형성되어 이송롤러(110)의 표면에 묻어 이송롤러(110)와 함께 회전하는 현상액을 닦아 내어 현상액이 기판(10)으로 다시 공급되지 않고, 가이드 플레이트(420)를 따라 흐르도록 할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따르면, 가이드 플레이트(420)의 하단부(424) 및 경사판(330)의 상면 사이의 높이(H)를 낮춰, 현상액이 경사판(330)으로 유입 시에 총 자유낙하 거리를 줄일 수 있으며, 이를 통해, 현상액이 경사판(330)으로 낙하하는 과정에서 현상액의 액적이 비산되는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따르면, 경사판(330)은 제1각도(A1)로 경사지게 형성되어 현상액의 유속을 감소시킬 수 있고, 가이드부재(340)는 현상액의 흐름방향을 반복해서 바꾸고 또한 흐름 거리도 증가되도록 함으로써 기포가 격리되는 현상을 증가시켜 결과적으로 현상액에서 기포의 발생을 감소시킬 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10: 기판 100: 이송부
110: 이송롤러 200: 현상액 공급부
300: 배출부 310: 바닥판
320: 지지판 330: 경사판
340: 가이드부재 341: 제1가이드부재
342: 제2가이드부재 350: 제1가이드블록
360: 제2가이드블록 400: 가이드부
420: 가이드 플레이트 423: 상단부
424: 하단부 425: 스위퍼

Claims (9)

  1. 기판의 하부를 지지하고 회전하면서 상기 기판을 제1방향으로 이송시키는 이송부;
    상기 기판의 상측에서 상기 기판에 현상액을 공급하는 현상액 공급부;
    상기 이송부의 하측에 구비되고, 낙하하여 유입되는 현상액의 유속을 줄이고 흐름 거리가 증가되도록 안내하여 배출시키는 배출부; 그리고
    상기 이송부 및 상기 배출부의 사이에 구비되고, 상기 현상액이 상기 배출부로 유입 시에 비산을 방지하는 가이드부를 포함하는 현상장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송부는 상기 제1방향을 따라 이격되어 구비되는 복수의 이송롤러를 가지고,
    상기 가이드부는
    상기 이송롤러의 하측에 구비되고, 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 이격 구비되는 한 쌍의 지지프레임과,
    상기 지지프레임의 사이에서 상기 지지프레임과 결합되되,
    상단부는 상기 이송롤러의 하부와 이격된 상태에서 상기 이송롤러의 하부로 연장 형성되고,
    하단부는 상기 배출부의 상면에 근접하게 이격되도록 연장 형성되는 가이드 플레이트를 가지는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지프레임은 상기 제1방향을 기준으로 상기 이송롤러의 전방에 구비되고,
    상기 가이드 플레이트의 중앙부는 상기 지지프레임에 위치되고,
    상기 가이드 플레이트의 상단부는 상기 가이드 플레이트의 중앙부에서 벤딩되어 상기 이송롤러의 후방으로 연장되며,
    상기 가이드 플레이트의 하단부는 상기 가이드 플레이트의 중앙부에서 벤딩되어 상기 중앙부보다 전방으로 연장되는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가이드 플레이트는
    상기 가이드 플레이트의 상단부에 형성되고, 상기 이송롤러의 후단부를 감싸도록 구비되어 상기 이송롤러의 표면에 묻어 상기 이송롤러와 함께 회전하는 현상액을 닦아 내어 상기 현상액이 상기 가이드 플레이트를 따라 흐르도록 하는 스위퍼를 가지는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 가이드 플레이트 및 상기 지지프레임에 결합되어 상기 가이드 플레이트를 상기 지지프레임에 결합시키는 클램핑 플레이트를 가지는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 배출부는
    상기 제1방향으로 연장 형성되는 설치홈을 상부에 가지는 바닥판과,
    상기 설치홈에 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 미리 정해진 간격으로 설치되고, 상기 제1방향으로 갈수록 높이가 낮아지는 지지판과,
    상기 지지판의 상부에 구비되고 상기 제1방향으로 갈수록 하향 경사지게 구비되어 상기 가이드부에서 낙하하는 현상액이 상기 제1방향으로 흐르도록 하는 경사판과,
    상기 경사판의 상면에 상기 제1방향을 따라 지그재그 형태로 배치되어 상기 경사판에서 흐르는 현상액의 흐름거리를 증가시키는 가이드부재를 가지는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가이드부재는
    일단부가 상기 설치홈의 일측벽면에 연결되고, 상기 제1방향으로 비스듬하게 구비되되 타단부는 상기 설치홈의 타측벽면과 이격되며, 상기 제1방향을 따라 미리 정해진 간격으로 배치되는 제1가이드부재와,
    일단부는 상기 타측벽면에 연결되고, 상기 제1방향으로 비스듬하게 구비되되 타단부는 상기 일측벽면과 이격되며, 상기 제1가이드부재의 사이 사이에 상기 제1방향을 따라 미리 정해진 간격으로 배치되는 제2가이드부재를 가지는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 배출부는
    상기 제1가이드부재의 일단부와 상기 일측벽면이 이루는 제1예각영역에 구비되는 제1가이드블록과,
    상기 제2가이드부재의 일단부와 상기 타측벽면이 이루는 제2예각영역에 구비되는 제2가이드블록을 가지는 것을 특징으로 하는 현상장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 배출부 및 상기 가이드부는 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 복수로 배치되는 것을 특징으로 하는 현상장치.
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