KR20090132310A - 현상액 도포장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 기판에 대응되게 일정 길이로 형성되는 하우징;상기 하우징의 일측면에 형성되며 약액이 공급될 수 있게 외부의 약액공급부와 연결되는 다수개의 약액공급구;상단부가 상기 약액공급구와 연통되도록 상기 하우징에 내설되어 상기 투입된 약액을 일시 저장하는 약액저장부;상단부가 상기 약액저장부의 하단부와 연통되어 유입되는 약액을 기판상에 토출하는 약액토출부; 및상기 약액토출부로부터 유동되는 약액이 일정 간격 이격되어 외부로 토출되도록 상기 약액토출부 하단부에 설치되는 토출수단;을 포함하여 구성되는 현상액 도포장치.
- 제1항에 있어서,상기 하우징은 전면플레이트와 상기 전면플레이트의 후면에 밀착 결합되는 백플레이트로 구성하되,상기 약액저장부는 상기 백플레이트의 전면에 길이 방향을 따라 일정 깊이의 음각으로 형성되어 서로 연통되게 연속적으로 배열 형성되는 삼각 형상의 다수개의 버퍼챔버로 구성되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제2항에 있어서,상기 각각의 버퍼챔버의 하단부에는 약액의 흐름이 용이하도록 경사지게 형성되는 안내면이 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제2항에 있어서,상기 약액토출부는 상기 전면플레이트의 후면 하부에 길이 방향을 따라 일정깊이의 음각으로 형성되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제4항에 있어서,상기 토출수단은 상기 약액토출부의 하단부 내측면에 일정 간격으로 이격되게 토출구가 형성되도록 배열 설치되는 다수개의 안내돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제 5항에 있어서,상기 안내돌기의 상부에는 약액이 토출구로 원할하게 이동될 수 있게 상단이 맞닿아 서로 마주 보도록 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제4항에 있어서,상기 백플레이트의 하단부는 상기 전면플레이트의 하단부보다 일정 길이 더 연장되도록 형성하되, 약액이 용이하게 토출되도록 모서리부가 만곡면으로 형성되 는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제2항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 약액저장부의 하단부에는 일정 간격으로 외부와 연통되게 배열 형성되어 기포를 배출하는 다수개의 기포배출구가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
- 제8항에 있어서,상기 기포배출구는 상기 버퍼챔버의 하부 양측 모서리부에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 현상액 도포장치.
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