JP4889565B2 - 洗浄装置、フラットパネルディスプレイの製造装置及びフラットパネルディスプレイ - Google Patents
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図1において、洗浄装置1には、搬送ローラ2が設けられ、搬送ローラ2によって基板Bが順次搬送されている。搬送ローラ2は、前段の処理を行う処理装置(例えば、ラビング処理)から連続して設けられており、また後段の処理を行う処理装置に接続されて、所謂インライン処理を行うように設けられている。後段の処理としては、例えば洗浄液が供給されて湿潤状態となった基板Bを乾燥する乾燥処理等がある。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、図3に示すように、基板Bは後述するスリット状通路55の川幅方向に傾斜した状態(傾斜角θとする)で搬送されている。本実施形態では、横板50と第1の垂直板51と第2の垂直板52と液受け部53と液排出部54とを有している。
30 タンク 31 ノズル
32 水平流路 33 垂直流路
34 スリット開口 51 第1の垂直板
52 第2の垂直板 53 液受け部
54 液排出部 55 スリット状通路
B 基板
Claims (8)
- 基板の搬送路の上部に設けられ、前記基板に供給する洗浄液の流出口となる液流出開口が少なくとも前記基板の1辺よりも長く設けられた液供給手段と、
前記液供給手段の液貯蔵手段の中に設けられ、前記洗浄液が1または複数の液送り手段から流入する流入側領域と前記液流出開口から前記洗浄液が流出する流出側領域とに分割する領域分割手段と、
前記液流出開口から流出した洗浄液の流れを整えて整流状態にする整流手段と、
前記整流手段により流れが整えられた洗浄液の整流状態を維持しながら、洗浄液の流下速度を制御する流速制御手段と、を有する洗浄装置。 - 前記領域分割手段はL字状の仕切り板であることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
- 前記整流手段は、前記液流出開口から流出した洗浄液を水平方向に流す水平流路として設け、
前記流速制御手段は、水平方向に流れている洗浄液の流路を垂直方向の流れに変換し、洗浄液の流下速度を制御する長さの垂直流路として設けたことを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 前記垂直流路から流れた前記洗浄液の方向を前記基板の搬送方向に対して反対方向から傾斜させる傾斜部を設けたことを特徴とする請求項3記載の洗浄装置。
- 前記液供給手段は、洗浄液を送る液送り手段と、この液送り手段から送られる洗浄液を貯蔵する前記液貯蔵手段と、を有し、前記液流出開口は前記液貯蔵手段に設けられ、
前記液貯蔵手段に貯蔵される洗浄液の液面が、前記液流出開口よりも高い位置近傍となるように、前記液送り手段は洗浄液の送り量を制御することを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 前記液供給手段と前記搬送路との間に2枚の垂直板を設けて、2枚の垂直板の間を洗浄液が流れるスリット状通路となし、
前記基板は、前記スリット状通路の川幅方向に傾斜した状態で搬送され、
前記スリット状通路の流入口及び流出口を前記基板の傾斜方向と平行となるように設け、
前記スリット状通路を、前記整流手段と前記流速制御手段として機能させることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 請求項1乃至6何れか1項に記載の洗浄装置を有するフラットパネルディスプレイの製造装置。
- 請求項7記載のフラットパネルディスプレイの製造装置により製造したフラットパネルディスプレイ。
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