KR20000013862A - 티이에프티잉되는에어커튼레이 디바이스 제조에 사용되는 에어커튼 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 에어 또는 N2가스 튜브가 연결되는 에어 또는 N2가스 공급부와;다수의 횡방향 홈이 후면에 형성되고, 하부 후방에 경사면이 제공되며, 상부에 후방으로 돌출되는 돌출 부재를 가지는 플레이트로 형성되며, 상기 에어 공급부와 소통하는 관통공이 상기 홈의 상부 위치에 형성되는 전면 플레이트와;상기 전면 플레이트와의 사이에 공간부를 형성하도록 다수의 갭 조정 볼트에 의하여 상기 전면 플레이트의 후면에 유동 가능하게 설치되어 본체를 형성하며, 상기 전면 플레이트의 홈과 대응하는 위치에 다수의 횡방향 홈이 형성되며, 상기 전면 플레이트의 경사면과의 사이에 소정 간극의 슬릿을 형성하도록 하부에 경사부를 가지는 후면 플레이트와;상기 전면 플레이트 및 후면 플레이트의 홈에 설치되며, 다수의 개구가 형성되는 다수의 정류 격자를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
- 제 1 항에 있어서, 상기 본체의 상부에 대칭 위치에 제공되는 한 쌍의 브라켓과, 상기 각각의 브라켓에 설치되어, 상기 본체의 좌우 균형을 조정하는 마이크로미터를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
- 제 1 항에 있어서, 기판 및 전극에 잔류하는 용액을 제거하기 위하여, 상기 에어 또는 N2가스 공급부의 전면에 상하 조정 가능하게 설치되는 1차 용액 차단 및 제거 수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
- 제 3 항에 있어서, 상기 1차 용액 차단 및 제거 수단은 상기 에어 또는 N2가스 공급부의 전면에 높이 조절이 가능하게 설치될 수 있도록 장공이 형성되는 한 쌍의 지지바와, 지지바의 하부에 직각으로 설치되며, 단부에 날이 형성된 나이프 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
- 제 1 항에 있어서, 상기 정류 격자는 상기 전면 플레이트와 상기 후면 플레이트에 형성된 홈에 설치될 때, 0.1 내지 0.5mm의 설치 공차를 가지는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
- 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 갭 조정 볼트를 조정하는 것에 의하여 0.1 내지 0.5mm 범위에서 슬릿의 크기를 조정하도록, 상기 전면 플레이트와 후면 플레이트는 서로 유동 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
- 제 1 항에 있어서, 상기 정류 격자에 형성되는 개구는 등간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 에어커튼.
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