CN104741333B - 一种气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备 - Google Patents

一种气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备，所述气流控制装置包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间，所述气流控制空间用于将强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。

Description

一种气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备。
背景技术
现有技术将超高压微细颗粒喷淋清洗(Super High Pressure Micro Jet，简称HPMJ)应用到基板的清洗工艺中，通过将清洗液加压到3MPa至32.5MPa的压力，再通过孔径为几百微米的微孔喷嘴将上述清洗液喷射出，从而形成高流速的微小液滴来清洗基板。HPMJ技术提高了喷淋清洗的洗净力，缩短了清洗线的长度，节省了净化空间和去离子水(Deionized Water，简称DI水)的使用量。
有源矩阵有机发光二极体(Active-Matrix Organic Light Emitting Diode，简称AMOLED)对基板的洁净度提出了更高的要求。为对应高洁净度，在前段清洗工艺中，HPMJ所采用的压强也随之增大。但是，由于清洗腔是近似的封闭系统，在排气负压一定的情况下，增加压强必然造成清洗腔的气压随着时间的累积而逐渐增大，进而造成清洗腔的气流紊乱。受紊乱的强气流的影响，基板在进入清洗腔的前段时，会出现严重抖动和形变，甚至漂浮于传导轮之上的情况。基板在此时碎裂的风险急剧增加，即使不破碎，由于经历过严重形变，基板在后段镀膜和传送等工艺中的寿命也会受到影响，从而造成良品率下降。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备，用于解决现有技术中基板进入清洗腔时出现严重抖动和形变，甚至漂浮于传导轮之上的问题。
为此，本发明提供一种气流控制装置，包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间；
所述第一间隙和所述第二间隙用于传送基板；
所述清洗液出口用于向所述基板喷射清洗液。
可选的，还包括排气结构，所述排气结构通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上；
所述排气结构用于降低所述气流控制空间内的压强。
可选的，所述清洗腔上设置有第一支架，所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一板上设置有第一条形孔，所述第一条形孔内设置有第一螺栓，所述第一螺栓与所述第一通孔固定连接以将所述第一板固定在所述第一支架上，所述第一条形孔用于将所述第一螺栓固定在所述第一条形孔的不同位置以调节所述第一板的高度；
所述清洗腔上设置有第二支架，所述第二支架上设置有第二通孔，所述第二板上设置有第二条形孔，所述第二条形孔内设置有第二螺栓，所述第二螺栓与所述第二通孔固定连接以将所述第二板固定在所述第二支架上，所述第二条形孔用于将所述第二螺栓固定在所述第二条形孔的不同位置以调节所述第二板的高度；
所述清洗腔上设置有第三支架，所述第三支架上设置有第三通孔，所述第三板上设置有第三条形孔，所述第三条形孔内设置有第三螺栓，所述第三螺栓与所述第三通孔固定连接以将所述第三板固定在所述第三支架上，所述第三条形孔用于将所述第三螺栓固定在所述第三条形孔的不同位置以调节所述第三板的高度；
所述清洗腔上设置有第四支架，所述第四支架上设置有第四通孔，所述第四板上设置有第四条形孔，所述第四条形孔内设置有第四螺栓，所述第四螺栓与所述第四通孔固定连接以将所述第四板固定在所述第四支架上，所述第四条形孔用于将所述第四螺栓固定在所述第四条形孔的不同位置以调节所述第四板的高度。
可选的，所述第一条形孔、第一通孔以及第一螺栓的个数均为三个，三个所述第一条形孔相互平行排列；
所述第二条形孔、第二通孔以及第二螺栓的个数均为三个，三个所述第二条形孔相互平行排列；
所述第三条形孔、第三通孔以及第三螺栓的个数均为三个，三个所述第三条形孔相互平行排列；
所述第四条形孔、第四通孔以及第四螺栓的个数均为三个，三个所述第四条形孔相互平行排列。
可选的，还包括第一电机、第一齿条、第二电机、第二齿条、第三电机、第三齿条、第四电机以及第四齿条，所述第一电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第一齿条与所述第一板固定连接，所述第一电机的旋转轴上设置有与所述第一齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第一齿条竖直移动；
所述第二电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第二齿条与所述第二板固定连接，所述第二电机的旋转轴上设置有与所述第二齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第二齿条竖直移动；
所述第三电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第三齿条与所述第三板固定连接，所述第三电机的旋转轴上设置有与所述第三齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第三齿条竖直移动；
所述第四电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第四齿条与所述第四板固定连接，所述第四电机的旋转轴上设置有与所述第四齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第四齿条竖直移动。
可选的，所述第一间隙不小于10mm，所述第二间隙不小于10mm。
本发明还提供一种基板清洗设备，包括清洗腔和上述任一气流控制装置。
可选的，还包括传送轮、第一压轮和第二压轮，所述第一压轮包括相对设置的第一上压轮和第一下压轮，所述第二压轮包括相对设置的第二上压轮和第二下压轮，所述传送轮设置在所述气流控制空间内，所述第一压轮设置在所述气流控制空间的一侧，所述第二压轮设置在所述气流控制空间的另一侧，所述基板设置在所述第一上压轮和所述第一下压轮之间、所述第二上压轮和所述第二下压轮之间以及所述传送轮之上；
所述传送轮用于向所述基板提供传送动力；
所述第一压轮用于夹持所述基板；
所述第二压轮用于夹持所述基板。
本发明还提供一种气流控制装置的调节方法，所述气流控制装置包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间；
所述调节方法包括：
关闭所述气流控制装置，所述第一间隙和所述第二间隙停止传送基板，所述清洗液出口停止向所述基板喷射清洗液
调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小；
开启所述气流控制装置，所述第一间隙和所述第二间隙开始传送基板，所述清洗液出口开始向所述基板喷射清洗液；
判断所述基板在清洗和传送过程中是否出现抖动；
若判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动，重复所述关闭所述气流控制装置的步骤。
可选的，所述清洗腔上设置有第一支架，所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一板上设置有第一条形孔，所述第一条形孔内设置有第一螺栓，所述第一螺栓与所述第一通孔固定连接以将所述第一板固定在所述第一支架上，所述第一条形孔用于将所述第一螺栓固定在所述第一条形孔的不同位置以调节所述第一板的高度；
所述清洗腔上设置有第二支架，所述第二支架上设置有第二通孔，所述第二板上设置有第二条形孔，所述第二条形孔内设置有第二螺栓，所述第二螺栓与所述第二通孔固定连接以将所述第二板固定在所述第二支架上，所述第二条形孔用于将所述第二螺栓固定在所述第二条形孔的不同位置以调节所述第二板的高度；
所述清洗腔上设置有第三支架，所述第三支架上设置有第三通孔，所述第三板上设置有第三条形孔，所述第三条形孔内设置有第三螺栓，所述第三螺栓与所述第三通孔固定连接以将所述第三板固定在所述第三支架上，所述第三条形孔用于将所述第三螺栓固定在所述第三条形孔的不同位置以调节所述第三板的高度；
所述清洗腔上设置有第四支架，所述第四支架上设置有第四通孔，所述第四板上设置有第四条形孔，所述第四条形孔内设置有第四螺栓，所述第四螺栓与所述第四通孔固定连接以将所述第四板固定在所述第四支架上，所述第四条形孔用于将所述第四螺栓固定在所述第四条形孔的不同位置以调节所述第四板的高度；
所述调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小的步骤包括：
调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以使所述第一板、第二板、第三板以及第四板可以竖直移动；
移动所述第一板、第二板、第三板以及第四板至预定位置；
调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以固定所述第一板、第二板、第三板以及第四板。
可选的，所述气流控制装置还包括第一电机、第一齿条、第二电机、第二齿条、第三电机、第三齿条、第四电机以及第四齿条，所述第一电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第一齿条与所述第一板固定连接，所述第一电机的旋转轴上设置有与所述第一齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第一齿条竖直移动；
所述第二电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第二齿条与所述第二板固定连接，所述第二电机的旋转轴上设置有与所述第二齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第二齿条竖直移动；
所述第三电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第三齿条与所述第三板固定连接，所述第三电机的旋转轴上设置有与所述第三齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第三齿条竖直移动；
所述第四电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第四齿条与所述第四板固定连接，所述第四电机的旋转轴上设置有与所述第四齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第四齿条竖直移动；
所述调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小的步骤包括：
启动所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机；
控制所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机的转动方向和转动量以使所述第一板、第二板、第三板以及第四板移动至预定位置；
关闭所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机。
可选的，所述气流控制装置还包括排气结构，所述排气结构通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上；
所述调节方法还包括：
当调节所述第一间隙和所述第二间隙至最小值，判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动时，开启所述排气结构；
控制所述排气结构以预定的排气量降低所述气流控制空间内的压强；
判断所述基板在清洗和传送过程中是否出现抖动；
若判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动，重复所述控制所述排气结构以预定的排气量降低所述气流控制空间内的压强的步骤。
本发明具有下述有益效果：
本发明提供的气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备中，第一板和第三板相对设置在清洗腔的顶部，第二板和第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间，所述气流控制空间用于将强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的一种气流控制装置的结构示意图；
图2为图1所示气流控制装置的一种第一板或者第三板的正视图；
图3为图2所示第一板或者第三板的侧视图；
图4为图1所示气流控制装置的另一种第一板或者第三板的正视图；
图5为图4所示第一板或者第三板的侧视图；
图6为图5所示Q部分结构放大图；
图7为本发明实施例二提供的一种基板清洗设备的结构示意图；
图8为本发明实施例三提供的一种气流控制装置的调节方法的流程图；
图9为实施例三中的第一板和第二板或者第三板和第四板的一种结构图；
图10为实施例三中的第一板和第二板或者第三板和第四板的另一种结构图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的气流控制装置及其调节方法、基板清洗设备进行详细描述。
实施例一
图1为本发明实施例一提供的一种气流控制装置的结构示意图。如图1所示，所述气流控制装置包括四块气流控制板，即第一板101、第二板102、第三板103以及第四板104。所述第一板101和所述第三板103相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板102和所述第四板104相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板101、第二板102、第三板103以及第四板104形成容纳清洗液出口105的气流控制空间。所述气流控制空间可以有效地将强气流控制在容纳清洗液出口105正下方的区域内，即四块气流控制板所围成的空间。所述气流控制空间内的箭头方向为气流流动方向。所述第一板101与所述第二板102之间形成第一间隙，所述第三板103与所述第四板104之间形成第二间隙，基板202通过所述第一间隙和第二间隙传输，所述清洗液出口105向所述基板202喷射清洗液。此时，经过腔体底部反射回来的强气流，只能通过第一间隙和第二间隙沿着两端平行扩散，这样有效地改变了强气流方向，解决了强气流从下往上冲击基板的问题，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
参见图1，基板202沿箭头方向进入清洗液出口105正下方进行超高压清洗时，传送轮106用于向所述基板202提供传送动力，第一压轮(Double Roller)用于夹持所述基板202，第二压轮(Double Roller)用于夹持所述基板202。所述第一压轮包括相对设置的第一上压轮107和第一下压轮108，所述第二压轮包括相对设置的第二上压轮109和第二下压轮201。所述传送轮106设置在所述气流控制空间内，所述第一压轮设置在所述气流控制空间的一侧，所述第二压轮设置在所述气流控制空间的另一侧。所述基板202的下方设置有传感器203，所述传感器203用于检测所述基板202的抖动幅度，便于操作员能够时刻掌握基板的抖动情况。当基板202在传送轮106上出现严重抖动、形变，甚至漂浮于传送轮106之上时，所述传感器203会出现闪烁现象。所述第一压轮和第二压轮可以降低基板的抖动幅度，有效地避免了基板传送过程受到强气流干扰，以及对基板自身的伤害，碎片风险大大降低。
需要强调的是，所述第一间隙和第二间隙的大小直接决定了从气流控制空间扩散出来的气流大小以及流动方向。对于不同的超高压强，所述第一间隙和第二间隙需要做相应的调整，才能保证从间隙(Cover Gap)中扩散出去的气流不影响到基板的传送。将所述第一间隙的间隙值记为Gap A，所述第二间隙的间隙值记为Gap B。在实际调整和应用中，GapA和Gap B的数值不一定相同，应根据实际情况而定。
表1
方案 解决思路 优缺点 成本
A 增加工厂端排气 需要增加风机数量，成本高 高
B 控制腔内气流流向 成本低，可行性好 低
C 增加防抖硬件数量 基板受挤压，寿命受影响 较高
表1是解决基板抖动问题的方案对比。从表1可以看出，通过控制清洗腔内的气流流向来解决基板抖动问题的方案效果最好，成本较低，可行性好。
图2为图1所示气流控制装置的一种第一板或者第三板的正视图，图3为图2所示第一板或者第三板的侧视图。如图2和图3所示，所述清洗腔上设置有第一支架204，所述第一支架204上设置有第一通孔205，所述第一板101上设置有第一条形孔206，所述第一条形孔206内设置有第一螺栓207，所述第一螺栓207与所述第一通孔205固定连接以将所述第一板101固定在所述第一支架204上。所述第一条形孔206用于将所述第一螺栓207固定在所述第一条形孔206的不同位置以调节所述第一板101的高度。所述第一条形孔206、第一通孔205以及第一螺栓207的个数均为三个，三个所述第一条形孔206相互平行排列。当然，根据所述清洗腔的尺寸大小，每块气流控制板上的条形孔的数量可以大于3个。所述第二板102、第三板103以及第四板104与所述第一板101的结构类似，此处不再赘述。
由于针对不同的超压强值，气流控制板需要做相应的调整，才能保障基板在传送过程中不受强气流的干扰，因此条形孔主要用于调节气流控制板的上下高度，这样即可改变气流控制板的间隙值。从图3中可以看出，气流控制板的侧面形状为“L”形，所述“L”形中垂直弯折的部分是为了方便手动调整间隙值时，可以用手暂时握住气流控制板，然后再锁紧螺栓。从图2中可以看出，所述第一板101的两侧都设置有第一刻度尺302，当然，其它三个气流控制板也设置有刻度尺。由于四个支架是固定不动的，所以螺栓在刻度尺上所处的相对位置即可直接反映出该气流控制板的上下移动量，从而可以方便后期准确计算出当前的间隙值。通过所述刻度尺，操作员可以方便地读出和记录当前的间隙值，从而可以更加方便地对工艺过程中的参数进行追踪、记录和管理。
图4为图1所示气流控制装置的另一种第一板或者第三板的正视图，图5为图4所示第一板或者第三板的侧视图，图6为图5所示Q部分结构放大图。如图4-6所示，所述气流控制装置还包括第一电机208和第一齿条209，所述第一电机208固定设置在所述清洗腔的外部，所述第一齿条209与所述第一板101固定连接，所述第一电机208的旋转轴301上设置有与所述第一齿条209相互匹配的齿轮以驱动所述第一齿条209竖直移动。所述第二板102、第三板103以及第四板104与所述第一板101的结构类似，此处不再赘述。
本实施例中，由于电机固定不动，因此可以把电机的旋转量，转换为齿条的上下移动量，而齿条带动气流控制板上下移动，从而实现了气流控制板的自动调节。此时，图中所示的第一螺栓207与第一螺母303并没有锁紧，从而使得气流控制处于能够自由滑动的状态。通过电机控制实现自动调节，相比于手动调节而言，可以简化调整过程，提高调整精度。
参见图5，所述电机位于所述清洗腔的外部，而所述旋转轴延伸到清洗腔的内部，所述旋转轴上设置有齿轮，所述齿条上刻有与所述齿轮相匹配的齿型。当齿轮顺时针旋转时，齿条带动气流控制板向下移动，当齿轮逆时针旋转时，齿条带动气流控制板向上移动。
本实施例一提供的气流控制装置中，第一板和第三板相对设置在清洗腔的顶部，第二板和第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间，所述气流控制空间用于将强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
实施例二
图7为本发明实施例二提供的一种基板清洗设备的结构示意图。如图7所示，所述基板清洗设备包括清洗腔和实施例一提供的气流控制装置。所述气流控制装置包括第一板101、第二板102、第三板103以及第四板104。所述第一板101和所述第三板103相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板102和所述第四板104相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板101、第二板102、第三板103以及第四板104形成容纳清洗液出口105的气流控制空间。所述气流控制空间用于将强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。关于气流控制装置的具体内容可参照上述实施例一的描述，此处不再赘述。
参见图1，基板202沿箭头方向进入清洗液出口105正下方进行超高压清洗时，传送轮106用于向所述基板202提供传送动力，第一压轮(Double Roller)用于夹持所述基板202，第二压轮(Double Roller)用于夹持所述基板202。所述第一压轮包括相对设置的第一上压轮107和第一下压轮108，所述第二压轮包括相对设置的第二上压轮109和第二下压轮201。所述传送轮106设置在所述气流控制空间内，所述第一压轮设置在所述气流控制空间的一侧，所述第二压轮设置在所述气流控制空间的另一侧。所述基板202的下方设置有传感器203，所述传感器203用于检测所述基板202的抖动幅度，便于操作员能够时刻掌握基板的抖动情况。当基板202在传送轮106上出现严重抖动、形变，甚至漂浮于传送轮106之上时，所述传感器203会出现闪烁现象。所述第一压轮和第二压轮可以降低基板的抖动幅度，有效地避免了基板传送过程受到强气流干扰，以及对基板自身的伤害，碎片风险大大降低。
需要强调的是，所述第一间隙和第二间隙的大小直接决定了从气流控制空间扩散出来的气流大小以及流动方向。对于不同的超高压强，所述第一间隙和第二间隙需要做相应的调整，才能保证从间隙中扩散出去的气流不影响到基板的传送。将所述第一间隙的间隙值记为Gap A，所述第二间隙的间隙值记为Gap B。在实际调整和应用中，Gap A和Gap B的数值不一定相同，应根据实际情况而定。
本实施例中，所述气流控制装置还包括排气结构304，所述排气结构304通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上，所述排气结构用于降低所述气流控制空间内的压强。
本实施例提供的基板清洗设备中，第一板和第三板相对设置在清洗腔的顶部，第二板和第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间，所述气流控制空间用于将强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
实施例三
图8为本发明实施例三提供的一种气流控制装置的调节方法的流程图。如图8所示，所述气流控制装置包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间。
所述调节方法包括：
步骤8001、关闭所述气流控制装置，所述第一间隙和所述第二间隙停止传送基板，所述清洗液出口停止向所述基板喷射清洗液。
在实际应用中，首先关闭所述清洗腔气流控制装置，使得所述第一间隙和所述第二间隙停止传送基板，所述清洗液出口停止向所述基板喷射清洗液，然后打开所述清洗腔的保护盖。
步骤8002、调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小。
参见图2和图3，所述清洗腔上设置有第一支架204，所述第一支架204上设置有第一通孔205，所述第一板101上设置有第一条形孔206，所述第一条形孔206内设置有第一螺栓207，所述第一螺栓207与所述第一通孔205固定连接以将所述第一板101固定在所述第一支架204上。所述第一条形孔206用于将所述第一螺栓207固定在所述第一条形孔206的不同位置以调节所述第一板101的高度。所述第一条形孔206、第一通孔205以及第一螺栓207的个数均为三个，三个所述第一条形孔206相互平行排列。在实际应用中，根据所述清洗腔的尺寸大小，所述第一条形孔206的数量可以大于3个。所述第二板102、第三板103以及第四板104与所述第一板101的结构类似，此处不再赘述。本实施例中，步骤8002包括：调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以使所述第一板、第二板、第三板以及第四板可以竖直移动，移动所述第一板、第二板、第三板以及第四板至预定位置，调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以固定所述第一板、第二板、第三板以及第四板。
图9为实施例三中的第一板和第二板或者第三板和第四板的一种结构图。如图9所示，气流控制板101的螺栓和螺母303锁定在最上位置，所述最上位置定义为上刻度0线位置，气流控制板102的螺栓和螺母305也同时锁定在最下位置，所述最下位置定义为下刻度0线位置，此时间隙值的初始值记为Gap0。由于传送的基板的厚度通常为0.5mm或0.7mm，经历超高压冲洗时必然还是有抖动，出于基板的安全性考虑，建议将Gap0设定为≥10mm。
图10为实施例三中的第一板和第二板或者第三板和第四板的另一种结构图。如图10所示，气流控制板的高度经过调整后，螺栓和螺母303的位置相对于第一刻度基准线306存在第一高度差，螺栓和螺母307的位置相对于第二刻度基准线307存在第二高度差，此时所述第一高度差和第二高度差恰好可以通过气流控制装板两侧的刻度尺读出。第一高度差记为H1，第二高度差记为H2，而且H1和H2必定都为正值。此时，间隙值Gap1＝Gap0+H1+H2。假定Gap0为10mm，H1为25mm，H2为20mm，则间隙值Gap1＝55mm。
参见图4-6，所述气流控制装置还包括第一电机208和第一齿条209，所述第一电机208固定设置在所述清洗腔的外部，所述第一齿条209与所述第一板101固定连接，所述第一电机208的旋转轴301上设置有与所述第一齿条209相互匹配的齿轮以驱动所述第一齿条209竖直移动。所述第二板102、第三板103以及第四板104与所述第一板101的结构类似，此处不再赘述。本实施例中，步骤8002包括：启动所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机，控制所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机的转动方向和转动量以使所述第一板、第二板、第三板以及第四板移动至预定位置，关闭所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机。
在实际应用中，由于电机位于齿条的中段，为保证二者安全，需要先校准电机的旋转量与齿条上下移动量。让电机顺时针旋转，此时齿条向下移动，当齿条移动到极限位置时，记录此时的脉冲数值，记为Down 1Limit。让电机顺时针旋转，此时齿条向上移动，当齿条移动到极限位置时，记录此时的脉冲数值，记为UP 1 Limit。以同样的方法，校准其余三组电机与齿条，分别得到Down2 Limit与UP2 Limit、Down3 Limit与UP3 Limit、Down4Limit与UP4 Limit。最后，将上述四组极限位置，记录到电机的控制软件中。例如，Down 1Limit对应脉冲数量为1005，UP 1 Limit对应的脉冲数量为3025，则调整第一板的上下移动时，只要输入的脉冲数在区间(1005，3025)内，第一板就会移动到指定脉冲的对应位置。在当前脉冲数下，观察基板在清洗和传送中的状态，如果出现严重抖动和漂浮，则可以根据调节需要不断重复输入区间(1005，3025)内的脉冲数，直到基板的传送无异常为止。
步骤8003、开启所述气流控制装置，所述第一间隙和所述第二间隙开始传送基板，所述清洗液出口开始向所述基板喷射清洗液。
在实际应用中，首先盖上所述清洗腔的保护盖以防止水花溅射，然后开启所述清洗腔气流控制装置，使得所述第一间隙和所述第二间隙开始传送基板，所述清洗液出口开始向所述基板喷射清洗液。
步骤8004、判断所述基板在清洗和传送过程中是否出现抖动。
步骤8005、若判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动，重复步骤8001。
参见图7，所述气流控制装置还包括排气结构304，所述排气结构304通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上，所述排气结构304用于降低所述气流控制空间内的压强。当出现调节气流控制板也不能解决的情况时，开启附带的排气结构。此时，气流控制板的间隙处于最小值。开启排气结构的阀门，观察基板在清洗和传送中的状态，如果出现严重抖动和漂浮，则加大阀门的排气量。断续观察基板在清洗和传送中的状态，如果仍出现严重抖动和漂浮，则不断重复加大阀门的排气量，直到基板的传送无异常为止。
本实施例提供的气流控制装置的调节方法中，第一板和第三板相对设置在清洗腔的顶部，第二板和第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间，所述气流控制空间用于将强气流控制在所述清洗液出口正下方的区域内，从而减少强气流对基板造成的抖动和形变，提高基板的清洗效果，降低基板的碎裂风险，进而降低生产成本。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种气流控制装置，其特征在于，包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间；
所述第一间隙和所述第二间隙用于传送基板；
所述清洗液出口用于向所述基板喷射清洗液；
所述清洗腔上设置有第一支架，所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一板上设置有第一条形孔，所述第一条形孔内设置有第一螺栓，所述第一螺栓与所述第一通孔固定连接以将所述第一板固定在所述第一支架上，所述第一条形孔用于将所述第一螺栓固定在所述第一条形孔的不同位置以调节所述第一板的高度；
所述清洗腔上设置有第二支架，所述第二支架上设置有第二通孔，所述第二板上设置有第二条形孔，所述第二条形孔内设置有第二螺栓，所述第二螺栓与所述第二通孔固定连接以将所述第二板固定在所述第二支架上，所述第二条形孔用于将所述第二螺栓固定在所述第二条形孔的不同位置以调节所述第二板的高度；
所述清洗腔上设置有第三支架，所述第三支架上设置有第三通孔，所述第三板上设置有第三条形孔，所述第三条形孔内设置有第三螺栓，所述第三螺栓与所述第三通孔固定连接以将所述第三板固定在所述第三支架上，所述第三条形孔用于将所述第三螺栓固定在所述第三条形孔的不同位置以调节所述第三板的高度；
所述清洗腔上设置有第四支架，所述第四支架上设置有第四通孔，所述第四板上设置有第四条形孔，所述第四条形孔内设置有第四螺栓，所述第四螺栓与所述第四通孔固定连接以将所述第四板固定在所述第四支架上，所述第四条形孔用于将所述第四螺栓固定在所述第四条形孔的不同位置以调节所述第四板的高度。
2.根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，还包括排气结构，所述排气结构通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上；
所述排气结构用于降低所述气流控制空间内的压强。
3.根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，所述第一条形孔、第一通孔以及第一螺栓的个数均为三个，三个所述第一条形孔相互平行排列；
所述第二条形孔、第二通孔以及第二螺栓的个数均为三个，三个所述第二条形孔相互平行排列；
所述第三条形孔、第三通孔以及第三螺栓的个数均为三个，三个所述第三条形孔相互平行排列；
所述第四条形孔、第四通孔以及第四螺栓的个数均为三个，三个所述第四条形孔相互平行排列。
4.根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，还包括第一电机、第一齿条、第二电机、第二齿条、第三电机、第三齿条、第四电机以及第四齿条，所述第一电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第一齿条与所述第一板固定连接，所述第一电机的旋转轴上设置有与所述第一齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第一齿条竖直移动；
所述第二电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第二齿条与所述第二板固定连接，所述第二电机的旋转轴上设置有与所述第二齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第二齿条竖直移动；
所述第三电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第三齿条与所述第三板固定连接，所述第三电机的旋转轴上设置有与所述第三齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第三齿条竖直移动；
所述第四电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第四齿条与所述第四板固定连接，所述第四电机的旋转轴上设置有与所述第四齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第四齿条竖直移动。
5.根据权利要求1所述的气流控制装置，其特征在于，所述第一间隙不小于10mm，所述第二间隙不小于10mm。
6.一种基板清洗设备，其特征在于，包括清洗腔和权利要求1-5任一所述的气流控制装置。
7.根据权利要求6所述的基板清洗设备，其特征在于，还包括传送轮、第一压轮和第二压轮，所述第一压轮包括相对设置的第一上压轮和第一下压轮，所述第二压轮包括相对设置的第二上压轮和第二下压轮，所述传送轮设置在所述气流控制空间内，所述第一压轮设置在所述气流控制空间的一侧，所述第二压轮设置在所述气流控制空间的另一侧，所述基板设置在所述第一上压轮和所述第一下压轮之间、所述第二上压轮和所述第二下压轮之间以及所述传送轮之上；
所述传送轮用于向所述基板提供传送动力；
所述第一压轮用于夹持所述基板；
所述第二压轮用于夹持所述基板。
8.一种气流控制装置的调节方法，其特征在于，所述气流控制装置包括第一板、第二板、第三板以及第四板，所述第一板和所述第三板相对设置在清洗腔的顶部，所述第二板和所述第四板相对设置在所述清洗腔的底部，所述第一板与所述第二板之间形成第一间隙，所述第三板与所述第四板之间形成第二间隙，所述第一板、第二板、第三板以及第四板形成容纳清洗液出口的气流控制空间；
所述调节方法包括：
关闭所述气流控制装置，所述第一间隙和所述第二间隙停止传送基板，所述清洗液出口停止向所述基板喷射清洗液；
调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小；
开启所述气流控制装置，所述第一间隙和所述第二间隙开始传送基板，所述清洗液出口开始向所述基板喷射清洗液；
判断所述基板在清洗和传送过程中是否出现抖动；
若判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动，重复所述关闭所述气流控制装置的步骤。
9.根据权利要求8所述的气流控制装置的调节方法，其特征在于，所述清洗腔上设置有第一支架，所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一板上设置有第一条形孔，所述第一条形孔内设置有第一螺栓，所述第一螺栓与所述第一通孔固定连接以将所述第一板固定在所述第一支架上，所述第一条形孔用于将所述第一螺栓固定在所述第一条形孔的不同位置以调节所述第一板的高度；
所述清洗腔上设置有第二支架，所述第二支架上设置有第二通孔，所述第二板上设置有第二条形孔，所述第二条形孔内设置有第二螺栓，所述第二螺栓与所述第二通孔固定连接以将所述第二板固定在所述第二支架上，所述第二条形孔用于将所述第二螺栓固定在所述第二条形孔的不同位置以调节所述第二板的高度；
所述清洗腔上设置有第三支架，所述第三支架上设置有第三通孔，所述第三板上设置有第三条形孔，所述第三条形孔内设置有第三螺栓，所述第三螺栓与所述第三通孔固定连接以将所述第三板固定在所述第三支架上，所述第三条形孔用于将所述第三螺栓固定在所述第三条形孔的不同位置以调节所述第三板的高度；
所述清洗腔上设置有第四支架，所述第四支架上设置有第四通孔，所述第四板上设置有第四条形孔，所述第四条形孔内设置有第四螺栓，所述第四螺栓与所述第四通孔固定连接以将所述第四板固定在所述第四支架上，所述第四条形孔用于将所述第四螺栓固定在所述第四条形孔的不同位置以调节所述第四板的高度；
所述调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小的步骤包括：
调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以使所述第一板、第二板、第三板以及第四板可以竖直移动；
移动所述第一板、第二板、第三板以及第四板至预定位置；
调节所述第一螺栓、第二螺栓、第三螺栓以及第四螺栓以固定所述第一板、第二板、第三板以及第四板。
10.根据权利要求8所述的气流控制装置的调节方法，其特征在于，所述气流控制装置还包括第一电机、第一齿条、第二电机、第二齿条、第三电机、第三齿条、第四电机以及第四齿条，所述第一电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第一齿条与所述第一板固定连接，所述第一电机的旋转轴上设置有与所述第一齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第一齿条竖直移动；
所述第二电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第二齿条与所述第二板固定连接，所述第二电机的旋转轴上设置有与所述第二齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第二齿条竖直移动；
所述第三电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第三齿条与所述第三板固定连接，所述第三电机的旋转轴上设置有与所述第三齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第三齿条竖直移动；
所述第四电机固定设置在所述清洗腔的外部，所述第四齿条与所述第四板固定连接，所述第四电机的旋转轴上设置有与所述第四齿条相互匹配的齿轮以驱动所述第四齿条竖直移动；
所述调节所述第一间隙和所述第二间隙的大小的步骤包括：
启动所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机；
控制所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机的转动方向和转动量以使所述第一板、第二板、第三板以及第四板移动至预定位置；
关闭所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机。
11.根据权利要求8所述的气流控制装置的调节方法，其特征在于，所述气流控制装置还包括排气结构，所述排气结构通过排气孔与所述气流控制空间联通，所述排气孔设置在所述第二板或者所述第四板上；
所述调节方法还包括：
当调节所述第一间隙和所述第二间隙至最小值，判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动时，开启所述排气结构；
控制所述排气结构以预定的排气量降低所述气流控制空间内的压强；
判断所述基板在清洗和传送过程中是否出现抖动；
若判断结果为所述基板在清洗和传送过程中出现抖动，重复所述控制所述排气结构以预定的排气量降低所述气流控制空间内的压强的步骤。
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