KR20170118422A - 기판 고정용 트레이 및 그를 구비하는 슬릿 코팅장치 - Google Patents

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KR20170118422A
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윤형석
채호철
정성화
장범권
김진승
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Abstract

기판 고정용 트레이 및 그를 구비하는 슬릿 코팅장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅장치는, 기판 상에 약액을 도포하여 박막을 형성시키는 슬릿 코터(slit coater); 및 슬릿 코터의 일측에 배치되며, 슬릿 코터에 의한 슬릿 코팅(slit coating) 시 기판을 고정시키는 기판 고정용 트레이를 포함하며, 기판 고정용 트레이는, 트레이 바디; 트레이 바디에 마련되되 트레이 바디의 상면이 기판의 상면과 동일면을 이루면서 기판이 거치되도록 하는 기판 거치홈부; 및 기판 거치홈부에 이웃하게 배치되며, 슬릿 코팅 시 기판의 후면부에 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 기판 후면부 오염발생 방지부를 포함한다.

Description

기판 고정용 트레이 및 그를 구비하는 슬릿 코팅장치{Glass fixing tray and slit coating apparatus having the same}
본 발명은, 기판 고정용 트레이 및 그를 구비하는 슬릿 코팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 콤팩트하면서도 효율적인 구조를 통해 기판의 후면부 오염문제를 해결할 수 있으며, 이로 인해 양질의 기판을 생산할 수 있는 기판 고정용 트레이 및 그를 구비하는 슬릿 코팅장치에 관한 것이다.
TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 유기 EL 등과 같은 평판 디스플레이 패널(이하, 기판이라 함)의 제조 공정은, 실리콘(Silicon) 반도체 제조 공정과 상당히 유사하다.
즉 기판의 제조 공정은 기판 상에 증착된 박막을 패터닝(Patterning)하기 위해 채용한 사진석판인쇄법(Photo lithography)에 따른 일련의 공정을 비롯하여 PR(Photo Resistor) 도포 공정, 노광 공정, 현상 공정, 식각(Etching) 공정, 세정(Cleaning) 공정 등의 다양한 공정을 포함할 수 있다.
한편, 전술한 공정들 중 도포 공정은 기판 상에 박막을 형성(도포, 코팅)시키는 과정이다. 특히, 최근에는 IT 모바일(Mobile) 기기의 발달과 더불어 모바일 기기의 액정(Window Glass) 등에 안티-스크래치(Anti-Scratch) 또는 안티-포그(Anti-Fog) 등의 기능성 막을 전면 코팅시키고 있기 때문에 도포 공정이 중요한 공정으로 간주된다.
이러한 도포 공정은 진공 증착 방식이나 슬릿 코팅(slit coating) 방식으로 적용될 수 있다.
진공 증착 방식은 화학적인 기상 증착 장치 혹은 물리적인 스퍼티링 방법으로 기판 상에 막을 형성시키는 전통적인 방식이다.
그리고 슬릿 코팅 방식은 슬릿 코터(slit coater)가 기판의 일단부에서 타단부에 이르기까지 일정한 속도로 이동되면서 기판 상에 액상의 약액(현상액 또는 포토레지스트)을 분사(토출)하면서 기판 상에 막을 형성시키는 방식이다.
후자의 슬릿 코팅 방식은 액상의 약액을 이용하여 박막을 형성하는 여러 가지 코팅 방식 중에서 막의 균일도와 품질이 우수하며, 동등 성능을 내는 스핀코팅 방식에 비하여 약액 소모량이 적어서 디스플레이 제조 및 IT 제품의 막코팅에 널리 쓰이는 추세에 있다.
이와 같은 슬릿 코팅 방식을 이용할 경우, 종래의 진공 증착 방식대비 저가의 대량생산이 가능하다는 이점이 있지만 그 구조적한 한계로 인해 아래와 같은 여러 문제점을 발생시키고 있는 것으로 알려지고 있다. 이에 대해 도 1 내지 도 3을 참조하여 살펴본다.
도 1은 트레이(3) 상에 기판(1)을 고정시킨 후, 기판(1)보다 좁은 폭을 갖는 슬릿 코터(미도시)를 이용하여 기판(1)에 대한 전면 코팅을 시도하는 종래의 대표적인 방식이다.
그런데, 도 1과 같은 방식은 코팅을 시작하는 초단부(10a)의 막두께 균일도가 불량할 뿐만 아니라 코팅을 마무리하는 말단부(10b)의 막두께 균일도가 불량하고, 또한 기판(1) 상에 여백(S)이 존재하는 문제점이 있다.
이러한 도 1의 문제점을 해결하기 위해, 도 2와 같은 방식이 제안된 바 있다. 도 2는 트레이(3) 상에 기판(1)을 고정시킨 후, 기판(1)보다 넓은 폭을 갖는 슬릿 코터(미도시)를 이용하여 기판(1)의 일측 외곽에서부터 타측 외곽까지 기판(1)에 대한 전면 코팅을 시도하는 종래의 다른 방식이다.
그런데, 도 2와 같은 방식을 진행할 경우에는 기판(1)의 모서리부에 약액의 표면장력에 의한 비드(bead)가 형성되는 현상으로 인해 다시 말해, 기판(1)의 모서리부에 약액이 뭉치는 현상으로 인해 막두께 균일도 불량에 따른 코팅 품질문제가 발생될 수 있다.
특히, 도 2의 방식을 진행하면 기판(1)을 고정하는 트레이(3)의 고정면과 기판(1) 사이에 약액이 스며들어 기판(1)의 후면부 오염문제가 대두될 수 있기 때문에 기판의 품질불량을 초래할 수 있다.
이러한 도 2의 문제점을 해결하기 위해, 도 3과 같은 방식이 제안된 바 있다. 도 3은 트레이(4) 내에 기판(1)을 고정시켜 기판(1)의 상면과 트레이(4)의 상면이 동일면을 이루도록 한 상태에서 기판(1)에 대한 전면 코팅을 시도하는 종래의 또 다른 방식이다.
도 3의 방식을 진행하면 도 2와 같은 약액의 뭉침 현상은 제거할 수 있을 것으로 기대되나 기판(1)과 트레이(4) 사이의 틈새(gap)로 모세관 현상에 따른 약액 침투가 일어나서 기판(1)의 후면부 오염문제가 대두될 수 있기 때문에 기판의 품질불량을 초래할 수 있다.
실제, 기판(1)의 후면부 오염문제는 기판(1)의 전면부 모서리 영역에서 약액이 뭉치는 현상과 버금가게 기판(1)의 품질에 악영향을 미칠 수 있다는 점을 고려해볼 때, 기판(1)의 후면부 오염문제를 해결하기 위한 기술개발이 시급한 실정이다.
대한민국특허청 출원번호 제10-1995-0038693호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 콤팩트하면서도 효율적인 구조를 통해 기판의 후면부 오염문제를 해결할 수 있으며, 이로 인해 양질의 기판을 생산할 수 있는 기판 고정용 트레이 및 그를 구비하는 슬릿 코팅장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판 상에 약액을 도포하여 박막을 형성시키는 슬릿 코터(slit coater); 및 상기 슬릿 코터의 일측에 배치되며, 상기 슬릿 코터에 의한 슬릿 코팅(slit coating) 시 상기 기판을 고정시키는 기판 고정용 트레이를 포함하며, 상기 기판 고정용 트레이는, 트레이 바디; 상기 트레이 바디에 마련되되 상기 트레이 바디의 상면이 상기 기판의 상면과 동일면을 이루면서 기판이 거치되도록 하는 기판 거치홈부; 및 상기 기판 거치홈부에 이웃하게 배치되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부에 상기 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 기판 후면부 오염발생 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치가 제공될 수 있다.
상기 기판 후면부 오염발생 방지부는, 상기 트레이 바디에 마련되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 상기 기판의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되는 경로를 형성하는 공기 분사로를 포함할 수 있다.
상기 공기 분사로는, 상기 기판의 후면부 모서리 영역에서 상기 트레이 바디의 두께 방향을 따라 관통 형성되되 상기 기판 거치홈부와 연통되는 제1 공기 분사로; 및 상기 제1 공기 분사로와 연통되되 상기 제1 공기 분사로보다 폭이 좁게 형성되는 제2 공기 분사로를 포함할 수 있다.
상기 기판 후면부 오염발생 방지부는, 상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이에 배치되며, 상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이의 틈새(gap)로 상기 약액이 침투되는 것을 지시키는 약액 침투 저지부를 더 포함할 수 있다.
상기 약액 침투 저지부는, 상기 기판 거치홈부 내에서 상기 트레이 바디의 내벽 일측에 마련되되 상기 기판의 측면부에 비접촉식으로 배치되는 비접촉식 약액 침투 저지부일 수 있다.
상기 비접촉식 약액 침투 저지부는, 요철식으로 마련되는 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부일 수 있다.
상기 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부는 플렉시블(flexible)한 재질로 제작될 수 있다.
상기 기판 고정용 트레이는, 상기 트레이 바디에 마련되고 상기 기판 거치홈부와 연통되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 중앙 영역을 진공으로 흡착하도록 진공이 형성되는 경로를 형성하는 진공 형성로를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 고정용 트레이가 착탈 가능하게 결합되는 트레이 스테이지를 더 포함할 수 있다.
상기 슬릿 코터는 상기 기판 고정용 트레이에 고정된 상기 기판의 상면으로 상기 기판보다 넓은 폭으로 상기 약액을 분사하여 상기 기판 상에 박막을 형성시키며, 상기 슬릿 코터는, 단부 영역에 상기 약액이 토출되는 토출구가 형성되도록 상호간 소정의 이격간격을 가지고 결합되는 제1 및 제2 블록; 상기 토출구에 인접된 위치에서 상기 제1 블록에 형성되되 상기 약액이 토출되는 방향에 가로로 절취되는 절취부; 및 상기 절취부의 절취 방향에 가로 방향을 따라 상기 제1 블록에 결합되며, 정역 방향으로의 회전 조작 시 상기 절취부를 기준으로 상기 제1 블록의 전단부 영역을 제2 블록에 대해 접근 및 이격시켜 상기 토출구의 갭(Gap)을 조절하는 갭 조절 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 대한 슬릿 코팅(slit coating) 시 상기 기판을 고정시키는 것으로서, 트레이 바디; 상기 트레이 바디에 마련되되 상기 트레이 바디의 상면이 상기 기판의 상면과 동일면을 이루면서 기판이 거치되도록 하는 기판 거치홈부; 및 상기 기판 거치홈부에 이웃하게 배치되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부에 상기 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 기판 후면부 오염발생 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 트레이가 제공될 수 있다.
상기 기판 후면부 오염발생 방지부는, 상기 트레이 바디에 마련되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 상기 기판의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되는 경로를 형성하는 공기 분사로를 포함할 수 있다.
상기 기판 후면부 오염발생 방지부는, 상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이에 배치되며, 상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이의 틈새(gap)로 상기 약액이 침투되는 것을 지시키는 약액 침투 저지부를 더 포함할 수 있다.
상기 약액 침투 저지부는, 상기 기판 거치홈부 내에서 상기 트레이 바디의 내벽 일측에 마련되되 상기 기판의 측면부에 비접촉식으로 배치되고 요철식으로 마련되는 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부일 수 있다.
상기 기판 고정용 트레이는, 상기 트레이 바디에 마련되고 상기 기판 거치홈부와 연통되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 중앙 영역을 진공으로 흡착하도록 진공이 형성되는 경로를 형성하는 진공 형성로를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 콤팩트하면서도 효율적인 구조를 통해 기판의 후면부 오염문제를 해결할 수 있으며, 이로 인해 양질의 기판을 생산할 수 있다.
도 1 내지 도 3은 각각 종래기술에 따른 슬릿 코팅의 문제점을 도시한 도면들이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅장치의 구성도이다.
도 5는 기판 고정용 트레이와 스테이지의 개략적인 단면도이다.
도 6은 기판 고정용 트레이의 확대도이다.
도 7은 기판 고정용 트레이에 기판이 고정되어 슬릿 코팅된 상태를 도시한 도면이다.
도 8은 도 7에서 기판을 분리한 상태의 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅장치에 적용될 수 있는 슬릿 코터의 부분 분해도이다.
도 10은 도 9의 조립도이다.
도 11은 도 10의 요부 확대도이다.
도 12는 슬릿 코터의 측면 구조도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅장치의 구성도이고, 도 5는 기판 고정용 트레이와 스테이지의 개략적인 단면도이며, 도 6은 기판 고정용 트레이의 확대도이고, 도 7은 기판 고정용 트레이에 기판이 고정되어 슬릿 코팅된 상태를 도시한 도면이며, 도 8은 도 7에서 기판을 분리한 상태의 도면이다.
이들 도면을 참조하되 우선 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅장치는 콤팩트하면서도 효율적인 구조를 통해 기판의 후면부 오염문제를 해결할 수 있으며, 이로 인해 양질의 기판을 생산할 수 있도록 한 것으로서, 슬릿 코터(200, slit coater)와, 슬릿 코터(200)에 의한 슬릿 코팅(slit coating) 시 기판(10)을 고정시키는 기판 고정용 트레이(100)와, 기판 고정용 트레이(100)가 착탈 가능하게 결합되는 트레이 스테이지(300)를 포함할 수 있다.
참고로, 본 실시예에서 설명되는 기판(10)은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 디스플레이 패널이 될 수 있으나, 넓은 의미로 반도체용 웨이퍼(wafer) 기판이나 태양전지용 웨이퍼 기판이 될 수도 있다.
슬릿 코터(200)는 기판(10) 상에 약액을 도포하여 박막을 형성시키는 약액 도포장치이다.
이러한 슬릿 코터(200)는 도 4와 같은 구조를 갖는 슬릿 코팅장치의 한 구성으로 적용될 수 있다. 즉 슬릿 코터(200)는 슬릿 코터 구동부(400)에 의해 기판(10)의 전면을 이동하면서 약액(현상액 또는 포토레지스트)을 도포하여 기판(10)에 대한 전면 코팅을 실시할 수 있다.
이때, 슬릿 코터(200)의 구동을 위한 슬릿 코터 구동부(400)는 볼 스크루(ball screw) 및 모터(motor)의 조합에 의해 마련될 수도 있고, 혹은 리니어 모터(linear motor)로 적용될 수도 있으며, 경우에 따라서는 실린더(cylinder)에 의해 마련될 수도 있다.
이와 같은 슬릿 코터(200)는 슬릿 코터 구동부(400)의 작용에 의해 도 4의 화살표 방향으로 이동되면서 기판(10) 상에 약액을 도포(코팅)할 수 있다. 도 4에 보면 슬릿 코터(200)가 지난 부분의 기판(10) 표면에 해칭표시가 되어 있는 것을 알 수 있는데, 해칭된 부분이 약액으로 도포된 상태를 나타낸다.
본 실시예에 적용되는 슬릿 코터(200)는 기판 고정용 트레이(100)에 고정된 기판(10)의 상면으로 기판(10)보다 넓은 폭으로 약액을 분사하여 기판(10) 상에 박막을 형성시킬 수 있다.
본 실시예처럼 슬릿 코터(200)가 기판(10)보다 넓은 폭으로 약액을 분사하여 기판(10) 상에 박막을 형성시킬 경우, 막두께의 균일도 향상에 기여할 수 있고, 또한 기판(10) 상에 박막이 없이 나타나는 여백을 없앨 수 있다는 점에서 상당히 유리하다.
이와 같은 역할을 수행하는 슬릿 코터(200)는 다양한 구조로 적용될 수 있다. 슬릿 코터(200)에 대한 구조의 실시예는 이하의 도 9 내지 도 12의 실시예에서 알아보기로 하고 여기서는 생략한다.
한편, 기판 고정용 트레이(100)는 슬릿 코터(200)의 일측에 배치되며, 슬릿 코터(200)에 의한 슬릿 코팅(slit coating) 시 기판(10)을 고정시키는 역할을 한다.
자세히 후술하겠지만 기판 고정용 트레이(100)는 트레이 스테이지(300) 상에 결합된 상태에서 기판(10)을 고정시켜 슬릿 코팅 시 기판(10)이 임의로 흔들리지 않도록 한다. 즉 기판 고정용 트레이(100)는 슬릿 코팅 시 기판(10)을 고정시키는 역할과 더불어 기판(10)의 후면부에 오염이 발생되지 않도록 한다.
이러한 기판 고정용 트레이(100)는 도 5 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 트레이 바디(120)와, 트레이 바디(120)에 마련되는 기판 거치홈부(130) 및 기판 후면부 오염발생 방지부(140)를 포함할 수 있다.
트레이 바디(120)는 기판 고정용 트레이(100)의 외관 구조물을 이룬다. 도면에는 트레이 바디(120)가 단순한 블록(block) 구조로 도시되었으나 이는 편의상 도시한 것일 뿐 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
이러한 트레이 바디(120)는 고온에도 변형 없이 잘 견딜 수 있어야 하고, 또한 기판(10)에 손상을 주지 않아야 하기 때문에 이러한 조건을 만족시킬 수 있는 재질로 제작될 수 있다.
기판 거치홈부(130)는 트레이 바디(120)의 중앙 상부 영역에서 함몰되게 형성되는 부분이다.
기판(10)은 기판 거치홈부(130) 내에 삽입되는 형태로 거치되면서 기판 고정용 트레이(100) 상에 고정될 수 있다. 이때, 기판 거치홈부(130)는 기판(10)이 삽입되어 거치되었을 때, 트레이 바디(120)의 상면이 기판(10)의 상면과 동일면을 이루면서 기판(10)이 거치되도록 한다. 따라서 기판 거치홈부(130)의 함몰깊이는 기판(10)의 두께와 동일할 수 있다.
기판 거치홈부(130)의 중앙 영역에는 다수의 진공 형성로(170)가 형성된다. 진공 형성로(170)는 트레이 바디(120)에 형성되어 기판 거치홈부(130)와 연통되며, 슬릿 코팅 시 기판(10)의 후면부 중앙 영역을 진공으로 흡착하도록 진공이 형성되는 경로를 형성한다.
기판 거치홈부(130)는 트레이 스테이지(300)의 진공홀(330, 도 5 참조)과 연통될 수 있다. 이에, 슬릿 코팅이 진행되면 트레이 스테이지(300)의 외측에 마련되는 진공펌프(미도시)가 동작되고 진공 형성로(170) 및 기판 고정용 진공홀(330)을 통해 공기를 빨아드려 진공이 형성되도록 함으로써, 기판 거치홈부(130)에 거치된 기판(10)이 진공압에 의해 견고하게 고정될 수 있도록 한다.
한편, 기판 후면부 오염발생 방지부(140)는 기판 거치홈부(130)에 이웃하게 배치되며, 슬릿 코팅 시 기판(10)의 후면부에 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 역할을 한다.
이러한 기판 후면부 오염발생 방지부(140)는 공기 분사로(150)와, 약액 침투 저지부(160)를 포함할 수 있다.
공기 분사로(150)는 트레이 바디(120)에 마련되며, 슬릿 코팅 시 기판(10)의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 기판(10)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되는 경로를 형성한다. 즉 본 실시예에서는 약액이 틈새로 스며드는 모세관 현상을 없애기 위해, 혹은 최대한 줄이기 위해 기판(10)의 후면부 모서리 영역에 미리 결정된 양만큼의 미세한 양압이 형성되도록 하고 있는 것이다.
이러한 공기 분사로(150)는 기판(10)의 후면부 모서리 영역에서 트레이 바디(120)의 두께 방향을 따라 관통 형성되되 기판 거치홈부(130)와 연통되는 제1 공기 분사로(151)와, 제1 공기 분사로(151)와 연통되는 제2 공기 분사로(152)를 포함한다. 본 실시예의 경우, 제2 공기 분사로(152)는 제1 공기 분사로(151)와 연통되되 제1 공기 분사로(151)보다 폭이 좁게 형성될 수 있다.
이와 같은 공기 분사로(150)는 트레이 스테이지(300)의 공기 분사홀(320, 도 5 참조)과 연통될 수 있다. 이에, 슬릿 코팅이 진행되면 트레이 스테이지(300)의 외측에 마련되는 컴프레서(미도시)가 동작되어 공기 분사홀(320) 및 공기 분사로(150)을 통해 공기를 분사하여 기판(10)의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 함으로써 기판(10)의 후면부에 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지한다. 즉 슬릿 코팅 시 기판(10)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되기 때문에 이곳에 약액이 뭉쳐 고이는 현상을 없앨 수 있다.
약액 침투 저지부(160)는 트레이 바디(120)와 기판(10)의 측면부 사이에 배치되며, 트레이 바디(120)와 기판(10)의 측면부 사이의 틈새(gap)로 약액이 침투되는 것을 저지시키는 즉 최소화시키는 역할을 한다. 즉 본 실시예에서는 기판(10)의 후면부 오염을 예방하기 위하여 기판(10)의 후면부 중앙 영역은 다수의 진공 형성로(170)로 인해 고정되도록 하고, 기판(10)의 모서리부는 약액 침투 저지부(160)에 의해 비접촉인 상태로 고정시키고 있는 것이다.
본 실시예에서 약액 침투 저지부(160)는 기판 거치홈부(130) 내에서 트레이 바디(120)의 내벽 일측에 마련되되 기판(10)의 측면부에 비접촉식으로 배치되는 비접촉식 약액 침투 저지부(160)로 적용된다.
특히, 본 실시예에서 비접촉식 약액 침투 저지부(160)는 요철식으로 마련되는 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부(160)로 적용될 수 있는데, 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부(160)는 플렉시블(flexible)한 재질로 제작되어 약액의 침투를 저지시킬 수 있다.
본 실시예처럼 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부(160)가 트레이 바디(120)와 기판(10)의 측면부 사이의 틈새(gap)로 약액이 침투되는 것을 저지시키는 한편, 공기 분사로(150)를 통해 기판(10)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되기 때문에 기판(10)의 후면부에 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
마지막으로, 트레이 스테이지(300)는 도 5에 도시된 바와 같이, 슬릿 코팅장치에서 기판 고정용 트레이(100)가 착탈 가능하게 결합되는 장소를 이룬다.
한편, 도 8처럼 박막이 코팅된 기판은 기판 고정용 트레이(100)에서 취출되는데, 이때 기판 고정용 트레이(100) 상의 잔류 코팅막(C, 도 8 참조)을 제거하기 위해 기판 고정용 트레이(100)는 주기적으로 세척되어야 한다.
이처럼 기판 고정용 트레이(100)가 주기적으로 세척되려면 트레이 스테이지(300) 상에 결합된 기판 고정용 트레이(100)가 트레이 스테이지(300)로부터 분리되어야 하는데, 이를 위한 구조가 트레이 스테이지(300)에 마련될 수 있다.
이에 대해 살펴보면, 트레이 스테이지(300)에는 기판 고정용 트레이(100)가 진공압에 의해 착탈 가능하게 결합되도록 하는 트레이 결합용 진공홀(310)이 형성된다.
트레이 결합용 진공홀(310)에 진공이 형성되면 트레이 스테이지(300) 상에 기판 고정용 트레이(100)가 고정될 수 있고(도 5 참조), 트레이 결합용 진공홀(310) 상의 진공이 해제되면 기판 고정용 트레이(100)가 트레이 스테이지(300)로부터 분리될 수 있다. 이때는 기판 고정용 트레이(100)의 세척 작업이 진행될 수 있다.
이 외에도 트레이 스테이지(300)에는 기판 고정용 진공홀(330)과, 공기 분사홀(320)이 갖춰진다.
앞서 자세히 설명한 것처럼 기판 고정용 진공홀(330)은 기판 고정용 트레이(100)에 마련되는 기판 거치홈부(130)와 연통되고, 공기 분사홀(320)은 기판 고정용 트레이(100)에 마련되는 공기 분사로(150)와 연통된다.
이하, 슬릿 코팅장치의 작용을 살펴본다.
우선, 도 5처럼 트레이 스테이지(300) 상에 기판 고정용 트레이(100)가 안착되어 고정된 상태에서 코팅 작업대상의 기판(10)을 기판 고정용 트레이(100)의 기판 거치홈부(130)에 삽입시켜 거치시킨다.
그러면, 트레이 스테이지(300)의 외측에 마련되는 진공펌프(미도시)가 동작되고 진공 형성로(170) 및 기판 고정용 진공홀(330)을 통해 공기를 빨아드려 진공이 형성되도록 함으로써, 기판 거치홈부(130)에 거치된 기판(10)이 진공압에 의해 견고하게 고정될 수 있도록 한다.
다음, 슬릿 코터(200)가 슬릿 코터 구동부(400)의 작용에 의해 도 4의 화살표 방향으로 이동되면서 기판(10) 상에 약액을 도포(코팅)함으로써 슬릿 코팅이 진행되도록 한다.
이처럼 슬릿 코터(200)에 의해 슬릿 코팅이 진행될 때는 트레이 스테이지(300)의 외측에 마련되는 컴프레서(미도시)가 동작되어 공기 분사홀(320) 및 공기 분사로(150)을 통해 공기를 분사하며, 이에 기판(10)의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 함으로써 기판(10)의 후면부에 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지한다. 즉 슬릿 코팅 시 기판(10)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되기 때문에 이곳에 약액이 뭉쳐 고이는 현상을 없앨 수 있다.
특히, 본 실시예의 경우에는 약액 침투 저지부(160)가 트레이 바디(120)와 기판(10)의 측면부 사이의 틈새(gap)로 약액이 침투되는 것을 저지시키는 한편, 공기 분사로(150)를 통해 기판(10)의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되기 때문에 기판(10)의 후면부에 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 콤팩트하면서도 효율적인 구조를 통해 기판의 후면부 오염문제를 해결할 수 있으며, 이로 인해 양질의 기판을 생산할 수 있게 된다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 코팅장치에 적용될 수 있는 슬릿 코터의 부분 분해도이고, 도 10은 도 9의 조립도이며, 도 11은 도 10의 요부 확대도이고, 도 12는 슬릿 코터의 측면 구조도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에서 슬릿 코터(200)는 단부 영역에 약액이 토출되는 토출구(201)가 형성되도록 상호간 소정의 이격간격을 가지고 결합되는 한 쌍의 제1 및 제2 블록(210,220)을 구비한다. 2개의 제1 및 제2 블록(210,220)이 적용되면 장치의 제조비용을 줄일 수 있음은 물론 장치의 핸들링이 쉬워지고, 유지보수 역시 용이해지는 이점이 있다.
제1 및 제2 블록(210,220)은 제1 및 제2 블록(210,220)이 상호 결합될 경우, 측면 투영 시 실질적으로 사각 블록 구조를 갖도록 마련된다. 따라서 일정한 형상, 예컨대 삼각 형상이나 쐐기 형상 등으로 가공해야 하는 것에 비해 그 가공 시간 및 노력을 줄일 수 있다. 제1 및 제2 블록(210,220)의 각 모서리 영역에는 모따기 형식으로 가공된 베벨부(203)가 형성된다. 제1 및 제2 블록(210,220)은 좌우측의 한 쌍의 측면 블록(205a,105b)과 함께 볼트 조립될 수 있다.
한편, 제1 및 제2 블록(210,220)의 결합에 의해 형성되는 토출구(201) 영역은 다른 표면보다 일정 길이 더 돌출된 구조를 갖는데, 토출구(201) 영역의 돌출된 형상은 절두 삼각 단면 형상을 갖는다. 이처럼 토출구(201) 영역의 돌출된 형상이 절두 삼각 단면 형상을 가짐으로써 세밀한 약액 도포 작업이 진행될 수 있다.
제2 블록(220)에 대해 먼저 설명하면, 제2 블록(220)에는 제1 및 제2 블록(210,220) 사이의 내부공간(202)으로 약액을 주입하는 약액 주입 라인(221)과, 주입된 약액이 토출구(201)를 통해 토출되면서 내부공간(202)에서 발생된 가스(gas)가 방출되는 가스 방출 라인(222)이 마련된다.
본 실시예의 경우, 후술할 갭 조절 유닛(230) 등의 구조 모두가 제1 블록(210)에 마련되고 있기 때문에 상대적으로 공간 활용이 가능한 제2 블록(220)에 약액 주입 라인(221) 및 가스 방출 라인(222)이 마련된다.
약액 주입 라인(221)에 의해 약액이 주입되는 내부공간(202)은 토출구(201) 쪽으로 갈수록 그 부피가 점진적으로 작아지는 형태로 마련된다. 따라서 다량의 약액이 토출구 쪽으로 집중됨에 따라 약액의 와류 발생으로 인해 토출구(201)로 약액이 잘 토출되지 않는 현상을 예방할 수 있다.
그리고 약액 주입 라인(221) 및 가스 방출 라인(222)의 주변에는 다수의 오링(O/R, O-Ring)이 마련되어 본 실시예의 슬릿 코터(200)가 주변 구조물에 결합될 때 약액 주입 라인(221) 및 가스 방출 라인(222) 영역의 누수를 방지한다.
다음으로, 제1 블록(210)에 대해 설명하면, 제1 블록(210)에는 토출구(201)에 인접된 위치에서 약액이 토출되는 방향에 가로로 절취되는 절취부(211)가 형성된다. 절취부(211)는 제1 블록(210)의 외측 표면에서 제1 및 제2 블록(210,220)이 상호 접하는 라인 영역에 근접하도록 길게 형성되어 있으며, 폐쇄된 내측 단부는 직선형이 아닌 라운딩 형태를 취한다.
이러한 절취부(211)로 인해 제1 블록(210)은 절취부(211)를 기준으로 토출구(201) 영역 쪽은 전단부 영역(210a)과, 반대편인 후단부 영역(210b)으로 나뉠 수 있다. 후술하겠지만, 갭 조절 유닛(230)에 의해 움직이면서 토출구(201)의 갭(G, Gap)을 조절하는 실질적인 부분이 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)이므로 가급적 전단부 영역(210a)은 그 부피가 과도하게 크지 않은 범위 내에서 마련되는 것이 바람직할 것이다.
한편, 제1 블록(210)의 절취부(211) 영역에는, 절취부(211)의 절취 방향에 가로 방향(본 실시예의 경우 상하 방향임)을 따라 제1 블록(210)에 결합되며, 정역 방향으로의 회전 조작 시 절취부(211)를 기준으로 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)을 제2 블록(220)에 대해 접근 및 이격시켜 토출구(201)의 갭(G, 도 11 참조)을 조절하는 갭 조절 유닛(230)이 마련되어 있다.
갭 조절 유닛(230)은, 절취부(211)를 기준으로 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)과 후단부 영역(210b)에 일체로 체결되는 갭 조절 볼트(231)와, 절취부(211)를 기준으로 제1 블록(210)의 후단부 영역(210b)에 체결되되 내부에서 갭 조절 볼트(231)가 부분적으로 체결되는 갭 조절 너트(232)와, 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)에서 제1 블록(210)에 결합되어 갭 조절 볼트(231)를 제1 블록(210)에 고정시키는 세트 스크루(233)를 구비한다.
갭 조절 볼트(231)는, 절취부(211)를 기준으로 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)과 후단부 영역(210b)에 일체로 체결되는 것으로서, 외면에 나사산이 형성되되 머리가 없는 원기둥 타입의 볼트로 마련된다.
이러한 갭 조절 볼트(231)의 표면에는 세트 스크루(233)의 단부가 부분적으로 끼워져 배치되는 키홈(231a)이 형성되어 있고, 일측 단부에는 공구삽입홈(231b)이 형성되어 있다. 공구삽입홈(231b)은 일자형, 십자형 등 어떠한 것이 적용되어도 무방하지만, 본 실시예의 경우 홈 형태의 육각 렌치형으로 마련하고 있다.
갭 조절 너트(232)는 절취부(211)에 접하는 제1 블록(210)의 후단부 영역(210b)에 매입되게 마련된다. 이러한 갭 조절 너트(232)는 그 외면 및 내면 모두에 나사산이 형성되는데, 내면의 나사산에는 갭 조절 볼트(231)의 상부 영역이 체결된다. 본 실시예의 슬릿 코터(200)에서 토출구(201)의 갭(G) 조절은 갭 조절 너트(232)의 정역 방향 회전에 의해 수행되므로, 갭 조절 너트(232)의 일측 단부에도 육각 렌치형의 공구삽입홈(232a)이 마련된다.
이러한 갭 조절 너트(232)에는 갭 조절 볼트(231)의 일 영역이 내측에서 나사(스크루) 조립되어 있으므로, 갭 조절 너트(232)가 일정 거리 전진 또는 후진되는 효과를 가지도록 갭 조절 너트(232)를 정역 방향으로 회전시키면, 갭 조절 너트(232)의 중앙 영역에서 나사 결합되어 있는 갭 조절 볼트(231)는 갭 조절 너트(232)와는 반대로 후진 또는 전진되는 동작을 이룬다. 이러한 원리에 기초하여 작업자는 갭 조절 너트(232)를 정역 방향으로 회전시키는 간단한 동작만으로도 갭 조절 볼트(231)의 동작을 통해 토출구(201)의 갭(G)을 확대 또는 축소시킬 수 있게 되는 것이다.
세트 스크루(233)는, 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)의 외측에서 절취부(211)와 나란하게 체결되어 전단부 영역(210a) 쪽에 배치된 갭 조절 볼트(231)의 키홈(231a)에 삽입됨으로써 갭 조절 볼트(231)를 제1 블록(210)에 고정시키는 역할을 한다. 세트 스크루(233)의 체결을 위해 제1 블록(210)에는 스크루홈(212)이 형성된다.
본 실시예에서 세트 스크루(233)를 제외한 갭 조절 유닛(230)은 제1 블록(210)의 상하 방향을 따라 해당 위치에 결합된다. 따라서 이러한 갭 조절 유닛(230)을 해당 위치에 결합(체결)시키기 위해서는 제1 블록(210)에는 자리홈(213)이 미리 가공되어야 한다. 본 실시예에서 자리홈(213)은, 약액이 토출되는 방향과 직교하는 방향으로 배치되는 절취부(211)와 상호 직교하도록 배치된다.
이러한 자리홈(213)은 제1 블록(210)의 상단부로부터 제1 블록(210)의 하단부에 인접된 영역까지(하지만 제1 블록(210)의 하단부를 뚫는 형태는 아님) 일자형으로 길게 가공된다. 물론, 갭 조절 유닛(230)이 결합되는 영역만을 국부적으로 가공해도 무방하지만, 이러한 가공은 용이하지 않기 때문에 본 실시예에서는, 제1 블록(210)의 하단부가 뚫리지 않는 범위 내에서 제1 블록(210)의 상단부로부터 제1 블록(210)의 하단부에 인접된 영역까지 자리홈(213)을 형성하고 있다. 따라서 드릴 등에 의한 자리홈(213) 가공이 용이하다. 본 실시예의 경우, 자리홈(213)은 하방으로 갈수록 그 폭이 단계적으로 좁아지는 형태로 가공된다.
도면과 같이 자리홈(213)을 형성하고, 갭 조절 유닛(230)을 자리홈(213)의 하부 영역인 절취부(211) 영역에 결합시키고 나면, 실질적으로 자리홈(213)의 상부 영역은 실질적으로 평상 시 사용될 필요가 없다.
그렇다고 해서 이 개구를 그대로 방치하면 이물 투입의 우려가 있으므로 이 공간에는 별도의 캡(214, cap)이 마련되어 개구를 차폐한다. 캡(214)은 고무 패킹 등으로 적용될 수 있다.
한편, 제1 블록(210)의 측면에는 갭 조절 유닛(230)의 조절 작업, 즉 갭 조절 너트(232)의 정역 방향으로의 회전 조작을 위한 공구(본 실시예의 경우에는 육각 렌치임)의 삽입을 허용하는 다수의 공구 삽입 허용홈(215)이 형성되어 있다.
공구 삽입 허용홈(215)은 공구 외에도 작업자의 손이 어느 정도 접근 가능한 범위 내에서 요구되는 면적 또는 부피로 가공되는 바람직한데, 이러한 공구 삽입 허용홈(215)은 제1 블록(210)의 제작 시 제1 블록(210)에 일체로 형성되도록 하여도 좋고, 또는 제1 블록(210)의 제작 후 방전 가공 등에 의해 후가공해도 무방하다.
공구 삽입 허용홈(215)은 슬릿 코터(200)의 외측에서 공구를 갭 조절 너트(232)에 접촉시키면서 조작할 수 있는 정도면 충분하기 때문에, 도면과 달리 어떠한 위치나 어떠한 모양으로 가공되어도 무방하다.
본 실시예의 슬릿 코터(200)에는 예컨대, 8개의 자리홈(213)이 형성될 수 있는데, 이 경우 공구 삽입 허용홈(215)은 3개가 마련되어 3개, 2개, 3개의 자리홈(213)에 각각 공용으로 연통될 수 있다. 물론, 자리홈(213) 하나당 하나의 공구 삽입 허용홈(215)을 형성할 수도 있으므로 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
이러한 구성을 갖는 슬릿 코터(200)의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 실시예의 슬릿 코터(200)는 도 4와 같은 형태로 장착된 후, 도 4의 화살표 방향으로 이동하면서 기판(10)의 표면에 약액을 도포한다.
이러한 도포 공정 전에, 약액의 토출량을 늘이거나 줄일 지를 미리 결정해야 하는데, 이는 슬릿 코터(200)에 구비된 갭 조절 유닛(230)을 통하여 이루어질 수 있다. 즉 앞서도 기술한 바와 같이, 갭 조절 너트(232)에는 갭 조절 볼트(231)의 일 영역이 내측에서 나사(스크루) 조립되어 있으므로, 갭 조절 너트(232)가 일정 거리 전진 또는 후진되는 효과를 가지도록 갭 조절 너트(232)를 정역 방향으로 회전시키면, 갭 조절 너트(232)의 중앙 영역에서 나사 결합되어 있는 갭 조절 볼트(231)는 갭 조절 너트(232)와는 반대로 후진 또는 전진되는 동작을 이루기 때문에, 이러한 원리에 기초하여 작업자는 갭 조절 너트(232)를 정역 방향으로 회전시키는 간단한 동작만으로도 갭 조절 볼트(231)의 동작을 통해 토출구(201)의 갭(G)을 확대 또는 축소시킬 수 있게 되는 것이다.
구체적인 동작을 살펴보면, 우선, 약액의 토출량을 늘여야 할 경우라면, 작업자는 육각 렌치 등의 공구를 공구 삽입 허용홈(215)을 통해 삽입하여 갭 조절 너트(232)의 공구삽입홈(232a)에 끼우고, 갭 조절 너트(232)를 예컨대 도 11의 A 방향으로 조인다(정 방향으로의 회전임). 그러면, 갭 조절 너트(232)와 결합된 갭 조절 볼트(231)가 풀리는 방향으로 동작되면서 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)을 제1 블록(210)의 후단부 영역(210b)으로 당기기 때문에 토출구(201)의 갭(G)이 확대될 수 있으며, 이로써 약액의 토출량이 늘어날 수 있다.
반대로, 약액의 토출량을 줄여야 한다면, 갭 조절 너트(232)를 예컨대 도 11의 B 방향으로 푼다(역 방향으로의 회전임). 그러면 이번에는 갭 조절 볼트(231)가 조이는 방향으로 동작되면서 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)을 제2 블록(220) 측으로 밀기 때문에 토출구(201)의 갭(G)이 좁아지면서 축소될 수 있게 되며, 이에 따라 약액의 토출량은 줄어들게 된다.
특히, 본 실시예와 같을 경우에는, 갭 조절 너트(232)를 정역 방향으로 회전시키는 간단한 조작으로 갭 조절 볼트(231)의 상하 이동에 따른 토크에 의해 제1 블록(210)의 전단부 영역(210a)을 이동시키면서 토출구(201)의 갭(G)을 조절하는 형태를 가지기 때문에, 갭 조절 너트(232)의 회전량에 따른 토출구(201) 갭(G)의 조절량이 매우 쉽게 계산될 수 있는 이점이 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
10 : 기판 100 : 기판 고정용 트레이
120 : 트레이 바디 130 : 기판 거치홈부
140 : 기판 후면부 오염발생 방지부 150 : 공기 분사로
151 : 제1 공기 분사로 152 : 제2 공기 분사로
160 : 약액 침투 저지부 170 : 진공 형성로
200 : 슬릿 코터 300 : 스테이지

Claims (15)

  1. 기판 상에 약액을 도포하여 박막을 형성시키는 슬릿 코터(slit coater); 및
    상기 슬릿 코터의 일측에 배치되며, 상기 슬릿 코터에 의한 슬릿 코팅(slit coating) 시 상기 기판을 고정시키는 기판 고정용 트레이를 포함하며,
    상기 기판 고정용 트레이는,
    트레이 바디;
    상기 트레이 바디에 마련되되 상기 트레이 바디의 상면이 상기 기판의 상면과 동일면을 이루면서 기판이 거치되도록 하는 기판 거치홈부; 및
    상기 기판 거치홈부에 이웃하게 배치되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부에 상기 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 기판 후면부 오염발생 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 후면부 오염발생 방지부는,
    상기 트레이 바디에 마련되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 상기 기판의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되는 경로를 형성하는 공기 분사로를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 공기 분사로는,
    상기 기판의 후면부 모서리 영역에서 상기 트레이 바디의 두께 방향을 따라 관통 형성되되 상기 기판 거치홈부와 연통되는 제1 공기 분사로; 및
    상기 제1 공기 분사로와 연통되되 상기 제1 공기 분사로보다 폭이 좁게 형성되는 제2 공기 분사로를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판 후면부 오염발생 방지부는,
    상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이에 배치되며, 상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이의 틈새(gap)로 상기 약액이 침투되는 것을 지시키는 약액 침투 저지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 약액 침투 저지부는,
    상기 기판 거치홈부 내에서 상기 트레이 바디의 내벽 일측에 마련되되 상기 기판의 측면부에 비접촉식으로 배치되는 비접촉식 약액 침투 저지부인 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 비접촉식 약액 침투 저지부는,
    요철식으로 마련되는 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부인 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부는 플렉시블(flexible)한 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 기판 고정용 트레이는,
    상기 트레이 바디에 마련되고 상기 기판 거치홈부와 연통되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 중앙 영역을 진공으로 흡착하도록 진공이 형성되는 경로를 형성하는 진공 형성로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기판 고정용 트레이가 착탈 가능하게 결합되는 트레이 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿 코터는 상기 기판 고정용 트레이에 고정된 상기 기판의 상면으로 상기 기판보다 넓은 폭으로 상기 약액을 분사하여 상기 기판 상에 박막을 형성시키며,
    상기 슬릿 코터는,
    단부 영역에 상기 약액이 토출되는 토출구가 형성되도록 상호간 소정의 이격간격을 가지고 결합되는 제1 및 제2 블록;
    상기 토출구에 인접된 위치에서 상기 제1 블록에 형성되되 상기 약액이 토출되는 방향에 가로로 절취되는 절취부; 및
    상기 절취부의 절취 방향에 가로 방향을 따라 상기 제1 블록에 결합되며, 정역 방향으로의 회전 조작 시 상기 절취부를 기준으로 상기 제1 블록의 전단부 영역을 제2 블록에 대해 접근 및 이격시켜 상기 토출구의 갭(Gap)을 조절하는 갭 조절 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 코팅장치.
  11. 기판에 대한 슬릿 코팅(slit coating) 시 상기 기판을 고정시키는 것으로서,
    트레이 바디;
    상기 트레이 바디에 마련되되 상기 트레이 바디의 상면이 상기 기판의 상면과 동일면을 이루면서 기판이 거치되도록 하는 기판 거치홈부; 및
    상기 기판 거치홈부에 이웃하게 배치되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부에 상기 약액에 의한 오염이 발생되는 것을 방지하는 기판 후면부 오염발생 방지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 트레이.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 기판 후면부 오염발생 방지부는,
    상기 트레이 바디에 마련되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 모서리 영역에 양압이 형성되도록 상기 기판의 후면부 모서리 영역으로 공기가 분사되는 경로를 형성하는 공기 분사로를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 트레이.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 기판 후면부 오염발생 방지부는,
    상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이에 배치되며, 상기 트레이 바디와 상기 기판의 측면부 사이의 틈새(gap)로 상기 약액이 침투되는 것을 지시키는 약액 침투 저지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 트레이.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 약액 침투 저지부는,
    상기 기판 거치홈부 내에서 상기 트레이 바디의 내벽 일측에 마련되되 상기 기판의 측면부에 비접촉식으로 배치되고 요철식으로 마련되는 비접촉식 약액 침투 저지용 요철부인 것을 특징으로 하는 기판 고정용 트레이.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 기판 고정용 트레이는,
    상기 트레이 바디에 마련되고 상기 기판 거치홈부와 연통되며, 상기 슬릿 코팅 시 상기 기판의 후면부 중앙 영역을 진공으로 흡착하도록 진공이 형성되는 경로를 형성하는 진공 형성로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 트레이.
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KR20190123532A (ko) 2018-04-24 2019-11-01 주식회사 나래나노텍 개선된 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법
KR20190143655A (ko) 2018-06-21 2019-12-31 주식회사 나래나노텍 분리형 지그, 및 이를 구비한 코팅 장치 및 코팅 방법

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