1351905 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於焊球印刷裝置，特別是關於 於基板上之焊球印刷裝置。 【先前技術】 已知的印刷法，爲了以180〜150//m的節 )來形成焊球（直徑80〜lOOym)，是用公知 網版印刷裝置印刷無鉛焊料後，進行熔焊而形成 版印刷裝置例如是具備：基板搬入輸送器、基板 器、具備昇降機構之印刷台、開口部具有轉印匱 '刮刀、具備刮刀昇降機構及水平方向移動機構 置、用來控制該等機構之控制裝置。 在從基板搬入輸送器將基板搬入裝置內部ί 暫時定位固定於印刷台，接著將基板和具有開[ 於電路圖案）的遮罩（網版）雙方的標記用攝| 修正雙方的偏差量以將基板對準於網版後，讓Ε 以使基板接觸網版，在網版和基板接觸的狀態-將無鉛焊料等的糊劑充塡於網版的開口部，接g 下降，使基板和網版分離（網版分離）以將糊| 板上，然後將基板從裝置搬出，藉此完成印刷。 另一種方法是焊球轉移法，係將焊球轉移3 穿設有微細孔之治具上而使其以既定節距整齊老 直接移載到基板上，接著進行熔焊。 焊球印刷
距（pitch 之高精度 焊球。網 搬出輸送 案之遮罩 之刮刀裝 ，將基板 部（對應 機辨識， 刷台上昇 藉由刮刀 讓印刷台 轉印於基 以闻精度 列，然後 -5- 1351905 又專利文獻1揭示出，讓遮罩擺動或振動以將焊球充 塡於既定開口的方法、藉由刷子的倂進運動進行充塡後實 施加熱之方法等等。又專利文獻2揭示出，將焊球裝載於 托盤上，用管子吸附來再度充塡於電極墊之方法。 〔專利文獻1〕日本特開2000-49183號公報 〔專利文獻2〕日本特開2003-309139號公報 【發明內容】 使用無鉛焊料之印刷法，其設備成本低且能一次形成 大量的凸塊（bump )，因此具有高產能、低製造成本的優 點。然而，由於印刷法難以確保轉印體積的均一性，因此 必須進行平坦化處理（flattering )，以將熔焊後的焊料凸 塊擠壓而使高度變得平坦化，因此存在著步驟數變多、設 備成本增加的問題。又隨著元件的高密度化，當進展到節 距150〜120# m之微細化的情形，印刷良率低而造成生產 性變差。 另一方面，焊球轉移法雖能確保焊球的分級精度而形 成具有穩定高度的凸塊，但必須藉由高精度的焊球吸附治 具並用機器人來批式充塡焊球，在微細化的情形，存在著 產距時間（tact )增加、治具設備價格高昂所造成之凸塊 形成成本增加等的問題。 此外，專利文獻1之讓網版擺動或振動以將焊球充塡 於既定開口的方法，隨著焊球粒徑變小，會發生粒子間的 凡得瓦力所造成之密合現象、靜電所造成之吸附現象，而 -6- 1351905 存在著無法充塡於遮罩開口部的問題。又同樣地，利用刮 刀和刷子的併進運動等來進行充塡時，也存在著同樣的問 題。 又在專利文獻2的方法’即使可以進行修補（repair )’但殘存助焊劑量變少的可能性極大，在批式熔焊時若 焊料之附著性（wetting )變差的情形，即使焊球熔融，仍 可能發生附著不良而造成電極墊部之焊接不完全。 本發明的目的是爲了提供一種焊球充塡用印刷裝置及 凸塊形成方法’在形成超微細節距的凸塊時，能像印刷法 般批式形成大量的凸塊，且能像焊球轉移法般形成穩定高 度的凸塊’又能進行低成本、高速、高效率的印刷暨充塡 而具有高生產性。 爲了達成上述目的，本發明之焊球印刷裝置，係具備 :在基板的電極墊上印刷助焊劑之助焊劑印刷部、對印刷 前述助焊劑後的電極上供應焊球之焊球充塡暨印刷部、檢 查印刷焊球後之基板狀態且對應於不良狀態來進行修補之 檢查暨修補部，而構成焊球印刷裝置；其特徵在於： 前述助焊劑印刷部係具備：對應於複數個電極墊的位 置而設置開口之網版、用來裝載並固定基板之載台、爲了 進行基板和網版的對準而對定位標記進行拍攝之定位用攝 影機、用來觀測印刷後的網版開口部的狀況之檢查用攝影 機、用來將網版開口部的堵塞或網版背面之助焊劑附著污 染予以清掃除去之清掃手段、將檢查用攝影機所拍攝的影 像和預先記錄的基準模型的畫面做比較以判斷印刷不良之 1351905 判定手段、根據判定手段的判定結果來決定是將基板送往 下個步驟或從生產線排除，在排除的情形會發生網版的清 掃指示之印刷不良發生手段》 又在設置於焊球充塡暨印刷部的印刷頭設置充塡單元 ，該充塡單元係具備：由框體、蓋、篩狀體所構成之焊球 盒、以和篩狀體隔著間隔的方式設於焊球盒的下部之狹縫 狀體；透過支承構件在蓋設置加振手段，該加振手段係用 來對篩狀體施加振動而使設於篩狀體的開口大小形成可變 以將焊球供應至狹縫狀體。 依據本發明，針對焊球充塡不良的重大原因之助焊劑 印刷不良，在前頭步驟就進行提早處理，因此能提昇生產 性。 又依據本發明，可提昇焊球充塡效率以縮短產距時間 並進行高充塡率之焊球充塡暨印刷，因此能提昇生產性。 又從助焊劑印刷〜焊球充塡〜檢查、修補爲止，可提 昇各裝置的運轉效率，可縮短產距時間，因此能以批式、 低成本、高速的方式穩定形成大量的焊料凸塊高度精度佳 之焊料凸塊。又裝置之構造簡單，而能降低設備成本。 【實施方式】 以下參照圖式來說明本發明的印刷裝置及凸塊形成方 法之較佳實施形態。 第1圖係顯示助焊劑印刷部及焊球充塡暨印刷部之印 刷步驟的槪要。第1 ( a )圖係顯示助焊劑印刷步驟，第1 -8- 1351905 (b )圖係顯示焊球充塡暨印刷的狀態。 第1 (a)圖’係在設有開口部（對應於預先設定於基 板21之電極塾22的形狀）的網版20上，裝載助焊劑， 藉由移動刮刀3來將既定量的助焊劑23印刷於基板21的 電極墊22上。 在本實施例，網版20是助焊劑印刷用的網版，爲了 保障高精度的圖案位置精度’係使用加成法所製成之金屬 網版。刮刀3，是使用方刮刀、劍刮刀、平刮刀中之任— 者。按照助焊劑2 3的黏度、觸變性來設定刮刀間隙、印 壓、刮刀速度，以進行印刷動作。 若助焊劑23的印刷量過少，在充塡焊球24時，焊球 無法附著在電極墊22上。又在焊球印刷後之後步驟的熔 焊時，會構成焊料附著不良的主要原因，無法形成形狀美 觀的焊料凸塊，也會構成焊料凸塊高度不良或焊料連接強 度不足的主要原因。 又若助焊劑23的量過多，在焊球充塡、印刷時，在 用來將焊球24供應到電極墊22上之網版20上所設置之 開口部等，可能會附著助焊劑23。若在網版開口部附著助 焊劑23，焊球24會附著於網版的開口，而造成無法轉印 在電極墊2 2上的問題。因此助焊劑印刷，就焊球充塡品 質而言乃影響最大的步驟。 接著，如第1(b)圖所示，在具備充塡單元60 (參 照第7圖）之焊球充塡暨印刷部，將焊球24充塡、印刷 於印刷助焊劑23後的基板21的電極墊22上。用來將焊 -9- 1351905 球24充塡於電極墊22之網版2 0b，爲了保障高精度的 案位置精度，係使用加成法所製作出之金屬網版。 該焊球充塡用的網版2 0b的材質，係使用可和裝載 板的磁鐵載台（印刷台1 〇 )進行磁性吸引之磁性體材料 以使基板2 1和網版20的間隙成爲〇，如此可避免焊球 鑽入基板21和網版20之間而發生剩餘焊球不良。 再者，在網版20b的背面（和基板21接觸側）， 有樹脂製或金屬製之微小支柱20a，以在和剛印刷好助 劑23的基板21密合時，避免助焊劑23滲透到網版開 部周圍。藉此構成助焊劑23滲透液之釋放部。又，從 在起將網版20b和支柱20a的組合稱爲焊球印刷用的網 20 ° 爲了高精度地將焊球24供應至既定位置的電極墊 ，在基板21的四個角落設有定位標記（未圖示）。對 於設在基板21側之定位標記，在網版2 0側也設有定位 記。藉由CCD攝影機15 (參照第4圖）來視覺辨識該 定位標記’以網版20側的定位標記和基板2 1側的定位 記一致的方式實施高精度的對準。在本實施例的對準， 使裝載基板2 1之印刷台1 〇沿水平方向移動來進行。 當對準完成後，縮小基板21和網版2 0的間隔，使 版20接觸基板21後，讓充塡單元60動作，將焊球24 網版2 0的開口部供應至印刷助焊劑2 3後的基板2 1面 的電極墊22。在焊球供應用的充塡單元60 (參照第7 )的下部側，設有狹縫狀體63，藉由使充塡單元60進 圖 基 » 24 設 焊 □ 現 版 22 應 標 等 標 係 網 從 上 圖 行 -10- 1351905 擺動、前進動作，使焊球24滾動、振動，以將焊ΐ 塡至網版開口部。 第2圖係顯示焊球印刷裝置的一實施例。本圖 ，係將助焊劑印刷部、焊球充塡曁印刷部、檢查暨 都設成一體的裝置。各部位也能以單獨裝置的方式 。在本裝置，首先在助焊劑印刷部（網版印刷方式 助焊劑23印刷於基板上的各電極墊22。藉由搬送 (從助焊劑印刷部側看爲搬出輸送器，從焊球充塡 部側看爲搬入輸送器），在焊球充塡暨印刷部將焊 至電極墊（隔著助焊劑）。 助焊劑印刷部和焊球充塡暨印刷部之主要不同 刷頭部，助焊劑印刷部是採用刮刀構造，焊球充塡 部是由用來供應焊球之充塡單元所構成。檢查暨修 印刷頭部，是採用分配器型之吸引供應頭構造。在 修補部，由於不須使用網版，故並未設置網版安裝 框支座等。 第3圖係顯示本實施例的凸塊形成之流程圖。 搬入（STEP1 )後，在電極墊上印刷既定量的助 STEP2 )。接著，檢查印刷助焊劑後之網版的開口 STEP3)。檢查結果爲NG時，將基板搬出至NG 存部，用版下清掃裝置45自動實施清掃（STEP4 ) ’視需要來補充供應助焊劑。 NG基板，係和不實施焊球印刷以後的步驟之 號一起在後步驟的輸送器上待機並排出至生產線外 长24充 的裝置 修補部 來構成 )，將 輸送器 暨印刷 球供應 點在印 暨印刷 補部之 檢查暨 用的版 在基板 焊劑（ 狀況（ 基板儲 。然後 NG訊 。也能 -11 - 1351905 使用生產線上之NG基板儲存器等，用基板匣一倂排出。 NG基板在生產線外的步驟洗淨後’可再度使用於助焊劑 印刷。 接著，實施焊球充塡、印刷（STEP5 )。在焊球充塡 、印刷後，在進行網版分離後，從網版上方檢查網版開口 內之焊球充塡狀況（STEP6 )。檢查結果存在充塡不足部 位的情形，在進行網版分離前再度實施焊球充塡、印刷動 作（STEP7 )。藉此，可提昇焊球充塡率。 若STEP6結果OK，則實施網版分離（STEP8)。接 著，在焊球充塡後，用檢查暨修補裝置來檢查充塡狀況（ STEP9 )。充塡狀況檢查NG的情形，在供應助焊劑後， 對NG點之電極墊部再度供應焊球（STEP1 0 )。充塡狀況 檢查爲〇Κ的情形，用熔焊裝置將焊球再度熔融，藉此完 成焊料凸塊。 第4圖係顯示本發明的網版印刷裝置（主要爲助焊劑 印刷部）的槪略構造。第4 ( a )圖係從網版印刷裝置的正 面觀察的構造，第4(b)圖係顯示系統構造圖。又第5( a )( b )圖係網版印刷裝置的說明圖。 本體框1上設有未圖示的版框支座，在版框支座安裝 遮罩（將開口部設有印刷圖案之網版20張設於版框20c ( 參照第6圖）而構成）。在本圖，在網版20的上方，配 置著設有刮刀3的印刷頭2。 在助焊劑印刷部的情形，是在印刷頭2裝設聚胺酯製 的刮刀3。在焊球充塡曁印刷部的情形，在印刷頭2，是 -12- 1351905 取代刮刀3而裝設狹縫狀體63等所構成之充塡單元60。 印刷頭2 ’係藉由印刷頭移動機構6來沿水平方向移動， 藉由印刷頭昇降機構4來上下移動。在將刮刀3置換成充 塡單元60時，充塡單元60是藉由印刷頭昇降機構4進行 上下移動。 在網版20的下方，以和網版20相對向的方式，設有 印刷台1 〇 (用來裝載並保持作爲印刷對象物之基板2 1 ) 。該印刷台1 〇係具備：使基板21沿水平方向（XY 0方 向）移動以和網版20進行對準之ΧΥ β載台1 1 ;從搬入 輸送器25接收基板21，且讓基板21接近或接觸網版20 面之載台昇降機構12。 設置在印刷台1 0上面的基板接收輸送器26，可在印 刷台10上接收藉由基板搬入輸送器25搬入之基板21，又 能在印刷終了時將基板2 1排出至基板搬出輸送器27。 網版印刷裝置係具備將網版20和基板21自動對準的 功能。亦即，藉由CCD攝影機15來拍攝分別設於網版20 和基板21上的對準用標記，經影像處理求出位置偏差量 ，以校正該偏差量的方式驅動ΧΥ0載台11而進行對準。 此外，在印刷機本體框的內部設置印刷機控制部3 0， 其具備：網版分離控制部39、各部的驅動控制部等所構成 之印刷控制部36、用來處理來自CCD攝影機15的影像訊 號之影像輸入部3 7。又在印刷機的外側設置：用來改寫控 制用資料或變更印刷條件等之資料輸入部5 0、用來監視印 刷狀況等和所取得的辨識標記之顯示部4 〇。
< S -13- 1351905 印刷機控制部30係具備用來控制充塡單元60 控制部3 6，依照所生產的凸塊節距、焊球粒徑及所 金屬遮罩種類，可簡單地選定適當的充塡印刷模式 又具備：按照輸入影像來計算相關値之相關値 31、根據所取得的影像和資料庫38的資料來求出 形狀推定部32、求出位置座標位置之位置座標運3 、尺寸計算部34 ;根據CCD攝影機15所拍攝的資 照設於基板21和網版20之位置辨識標記來求出位 量。根據XY 0台控制部的指令來驅動XY 0台1 1 對準。 接著以焊球充塡暨印刷部爲例來說明印刷裝置 。形成有焊料凸塊的基板21，藉由基板搬入輸送器 應給基板接收輸送器26。當基板2 1搬送至印刷台 置時，印刷台10會上昇，而從基板接收輸送器26 21交接給印刷台10上。交接給印刷台10之基板 固定於印刷台1 〇的既定位置。將基板2 1固定後， 攝影機15移動至預先設定之基板標記位置。其狀 於第5 ( a)圖。 接著，CCD攝影機15拍攝設於基板21及網助 位置辨識用標記（未圖示），傳送至印刷機控制部 印刷機控制部內之影像輸入部3 7，根據影像資料來 版20和基板2 1的位置偏差量，印刷機控制部3 0 其結果來作動XY 0控制部3 5以移動印刷台1 〇， 正基板21的位置而使其對準網版20。 之印刷 使用的 〇 計算部 形狀之 家部33 料，按 置偏差 以進行 的動作 25供 10的位 將基板 21，係 將CCD 況顯示 i 20之 30。在 求出網 是根據 藉此修 -14- 1351905 對準動作完成後的狀況顯示於第5(b)圖。首先， CCD攝影機15退避既定量至不會和印刷台1〇干涉的位置 。當CCD攝影機15退避完成後，印刷台1〇會上昇，而 使基板21和遮罩20接觸。在該狀態下，讓印刷頭昇降機 構4動作’讓刮刀（圖中是顯示刮刀3，但在焊球充塡步 驟是成爲充塡單元60前端之狹縫狀體63)接觸網版面。 接著’邊將狹縫狀體63施加振動而使其擺動，邊旋轉驅 動印刷頭驅動用的馬達2g而使狹縫狀體63在網版面上水 平移動，藉此將焊球24從狹縫狀體63的開口透過設於網 版面的開口來充塡於基板21的電極墊22部。 印刷頭2，係沿水平方向移動一定距離的衝程後上昇 。接著，印刷台10下降，網版20和基板21分離，充塡 於網版20的開口部之焊球24轉印於基板2 1。然後，印刷 焊球24後之基板21經由基板搬出輸送器27送到下個步 驟。 又如前述般，在基板21和網版20上，是以相對向且 在同一部位的方式設置2個以上辨識對準用標記。藉由具 有上下方向2視野之特殊的CCD攝影機15，從下方辨識 網版20的標記，從上方辨識基板21的標記，讀取設於既 定部位的標記之位置座標，運算並修正基板21相對於網 版20之偏差量，藉此將基板21對準網版20。 第6圖係顯示印刷助焊劑後的網版之開口狀態。第6 (a)圖係顯示網版全體的形狀’第6(b)圖係顯示設置 1個電極群後之開口狀況’第6 ( c )係顯示印刷助焊劑後 < S ) -15- 1351905 之開口部的狀況。藉由設定成適當的網版間隙（網版和基 板的間隔）、印壓（刮刀在網版上的擠壓力）、刮刀速度 ，能將助焊劑23充分地充塡於網版20的開口 20k，在通 過刮刀3的同時使基板21和網版20分離，藉此能確實地 將助焊劑23轉印至基板21之電極墊22部。又網版20是 固定於版框20c。 受到網版印刷用的助焊劑23的黏度、觸變性、網版 20的開口 20k 口徑微細等的影響，印刷後之網版20的開 口 20k的狀況，在正常的印刷狀態下，在開口內並非完全 沒有助焊劑23的存在，而是會形成薄薄的皮膜。 基於助焊劑23之滲透、飛散、乾燥等的原因，網版 20的開口 20k可能會堵塞，或造成網版分離或轉印性變差 ，這時印刷結果變得不均一。此印刷狀態，即使不用確認 基板2 1，只要確認印刷用的網版20即可判斷是否合格。 圖6(c)的（1)是顯示網版開口部正常的狀態，（2)是 顯示發生局部堵塞的狀態，（3)是顯示全部都發生堵塞 的狀態。基板側之轉印量較多的部分，網版開口側之助焊 劑殘留量少；相反地，基板側之轉印量較少的部分，網版 開口側之助焊劑殘留量多。亦即基板2 1上的印刷狀態之 相反狀態，可從網版20側觀察。 網版2 0的開口狀態之合格判定係如下述般進行。用 CCD攝影機15拍攝網版20的開口狀態，將拍攝的影像經 由影像輸入部3 7送到印刷機控制部3 0。接著，將預先儲 存於資料庫38之網版20的開口狀態的基準模型影像和上 S ) -16- 1351905 述取得的網版20的開口狀態的影像做比較，在尺寸計算 部34進行「正常（0IC)」或「不良（NG)」的判定。判 定結果’ 「正常（OK)」代表網版開口部正常的狀態， 「不良（NG)」代表網版開口部發生局部堵塞的狀態， 或全部都堵塞的狀態。 在印刷助焊劑後，判定爲不良（NG )之網版20的開 口狀態顯示於第6(c)圖之（2)及（3) 。（2)代表印 刷不均一而產生斑點狀的圖案。利用黑白攝影機之圖案匹 配，即可簡單地進行判定》 另一方面，（3 )之N G的情形，未印刷到基板2 1而 殘留在網版20開口 20k的助焊劑23量很多。因此’助焊 劑殘留的程度依據色濃度的不同即可判定，所以藉由影像 處理之濃淡灰階模型進行比較即可簡單地判定。或是’使 用彩色攝影機進行色差比較等來進行判定也可以。 又，爲了用定位用的CCD攝影機15來確認網版20 開口部的狀況，係將光線從網版20的下部向上照射’用 配置於網版20上方的CCD攝影機進行確認’藉此取得穩 定的影像。也能將光線從網版20上方向下照射。由於 CCD攝影機15在上下都具有鏡頭（攝影部）’在當作拍 攝定位標記的定位用攝影機使用時，是運用向上和向下的 鏡頭；在當作觀測印刷後的網版20開口部的狀況之檢查 用攝影機使用時，是運用上部的鏡頭。
關於檢查網版20的狀態後之檢查結果’若網版開口 部的堵塞、或發生附著污染等而從尺寸計算部34發出NG -17- 1351905 訊號的情形，根據印刷機控制部3 0的指令而用印刷裝置 內的版下清掃裝置45 (參照第5圖）實施自動清掃，並可 按照需要來供應補充助焊劑23。又NG基板，是和不實施 焊球印刷以後的步驟之NG訊號一起，依據印刷機控制部 30的指令在後步驟的輸送器上待機，以排出生產線外。也 能使用生產線上的NG基板儲存器等，用基板匣一併排出 。NG基板在生產線外的步驟實施洗淨後，可再度使用於 助焊劑印刷。 第7圖係顯示焊球印刷頭（充塡單元60)的構造。充 塡單元60係具備：在由框體61和蓋64和篩狀體62所形 成的空間收納焊球24之焊球盒、與篩狀體62隔著間隔之 狹縫狀體63。篩狀體62，係對應於供應對象之焊球24的 直徑而具有網狀開口（或連續長方形的狹縫等）之極薄金 屬板。在篩狀體62的下部，配置狹縫狀體63，且讓狹縫 狀體63和網版20形成面接觸。 藉由未圖示之印刷頭昇降機構4，可微調狹縫狀體63 對網版20的接觸程度（間隙）。狹縫狀體63是使用磁性 體材料，係對應於供應對象之焊球24的直徑及網版20的 開口尺寸而具有網狀的開口（或連續長方形的狹縫等）之 極薄金屬板。 第8圖係顯示將篩狀體62 (設於焊球收納部之焊球盒 )在水平方向施加振動之水平振動機構。在蓋64的上部 設置支承構件70，該支承構件70在與焊球盒側面平行的 位置裝設加振手段6 5。依據此構造，從焊球盒側面側藉由 -18- 1351905 加振手段65施加振動，能對篩狀體62施加振動。藉由使 篩狀體62振動’會使設於篩狀體62之狹縫狀開口擴大成 比焊球24直徑更大。 藉此，收納於焊球盒的焊球24，可從篩狀體62的狹 縫部落至狹縫狀體63上。落至狹縫狀體63上的焊球24 的量、亦即焊球24的供應量，可改變加振手段65的加振 能量來做調整。 本圖所示的加振手段65，係使用氣旋式振動器，以數 位控制來微調壓縮氣體壓力，可控制其振動數。也能藉由 改變壓縮氣體流量來改變振動數。又篩狀體62及焊球盒 ，係藉由加振手段6 5對收納於焊球盒之焊球2 4賦予振動 ’而抵銷作用於焊球24間之凡得瓦力所產生之吸引力， 藉此讓焊球24分散。爲了避免因焊球24材料或生產環境 的溫度濕度的影響而使焊球供應量發生變化，可考慮生產 效率來調整前述分散效果。 第9圖係顯示充塡單元60的水平擺動機構。狹縫狀 體6 3是由磁性材料所形成。藉由使用磁性材料，利用內 設磁鐵之載台（印刷台10)的磁力，可將狹縫狀體63吸 附於磁性材料所形成的網版2 0。如第9圖所示，水平擺動 機構是採用以下構造。在支承構件70的上部設置線性導 件67，並設有具備線性導軌（用來導引前述線性導件67 移動）之充墳單元支承構件71。在充塡單元支承構件71 設置驅動用馬達68,又在該驅動用馬達的軸裝設偏芯凸輪 66’利用偏芯凸輪66之旋轉而使支承構件70在左右方向 -19- 1351905 移動。 亦即，水平方向之水平擺動機構，是藉由驅動用馬 68讓偏芯凸輪旋轉，而在任意的衝程量對狹縫狀體63 予擺動動作，因此在狹縫狀體63和網版20之間能以不 生間隙的方式確實地進行焊球24之滾動。又利用狹縫 體63的開口尺寸，能使焊球24確實地補滿狹縫狀體 的開口並進行高效率的充塡動作。網版20的擺動動作 周期速度，可控制驅動用馬達68的速度來任意地改變 可考慮生產線的均衡來設定焊球24的充塡產距時間。 ’可對應於焊球24材料的種類、網版24的開口、環境 件來調整周期速度，藉此來控制充塡率。 第10圖係顯示在充塡頭設置篦狀體的構造。藉由 塡單元60將焊球24供應至基板21上後，當網版20和 板21面分離時，亦即進行網版分離而將焊球轉印至基 上時’若在網版20的版面上有焊球24殘留時，焊球 會通過有網版20的開口而落至基板21上導致過剩焊球 良的原因。因此，本實施例是在充塡單元60的進行方 ’以和焊球盒隔著間隔的方式設置篦狀體69 (高度和狹 狀體63大致相同）。篦狀體69的前端極薄且硏磨成平 精度極高的狀態’以和網版2 0形成密合狀態，而避免 球20溢出至充塡單元60的外部。 又’篦狀體69是使用磁性體材料，和狹縫狀體63 樣的是利用磁力吸附於網版20，如此可避免焊球20溢 至充塡單元60的外部。此外’篦狀體69也能設置於焊 達 賦 發 狀 63 之 5 又 條 充 基 板 24 不 向 縫 坦 焊 同 出 球 -20- 1351905 盒的整個外周部。 第η圖係顯示在充塡單元部設置氣簾的構造。藉由 篦狀體69，能使網版20的版面上幾乎沒有焊球的殘留》 然而’起因於網版20的版面之微小移位，可能仍會有焊 球殘留。於是，在本實施例，爲了徹底解決過剩焊球造成 的不良影響，係設置有氣簾。亦即，在支承昇降機構4( 用來構成印刷頭2之上下移動馬達）的馬達支承構件設置 空氣噴出口 75，以在充塡單元的周圍形成氣簾。由未圖示 的壓縮空氣供應源將壓縮空氣供應至該噴出口 75。 利用該氣簾，在充塡單元朝基板端面方向移動時，藉 由壓縮空氣溢出的焊球朝充塡單元動作方向側推擠，而使 版面上不會發生焊球殘留。 第1 2圖係用來說明焊球印刷後的網版充塡狀態的檢 查。第12(a) (b)圖是和第6圖相同，在此省略其詳細 說明。 第12 ( c )圖的（1 )〜（3 )顯示焊球充塡、印刷後 之網版20上的焊球充塡狀態。（1 )是代表，在網版20 開口全部都充塡有焊球24的狀態。（2 )是代表焊球充塡 不完全的狀態。（3 )是代表’充塡時複數個焊球24彼此 吸附成雙焊球的狀態’或在網版的版面上殘留過剩焊球的 狀態。 在前述（2) (3)的狀態下進行網版分離時，即使將 基板送到後步驟仍會生產出不合格品。於是’在實施網版 分離之前，藉由檢查網版20的版面上的充塡狀況’再用 -21 - 1351905 充塡單元60重試充塡印刷動作，如此可將不合格品修正 爲良品。該檢查，可經由和良品模型比較之圖案匹配來進 行判定。在焊球充塡印刷後，用安裝於印刷頭側之線性感 測攝影機以區域爲單位進行批式辨識。判定爲NG時，再 度實施焊球充塡印刷。判定爲合格時，實施網版分離動作 後將基扳2 1排往後步驟。 第13圖係用來說明焊球充塡後在檢查修補部之修補 作業。第14圖係用來說明焊球充塡後之充塡不良狀況。 如第14圖所示，焊球充塡不良是包括：無焊球、雙焊球 、位置偏移焊球、變形焊球、過剩焊球等的不良模式。 在檢查修補部，首先，當焊球充塡印刷完成後，用 CCD攝影機來確認基板上的充塡狀況。若檢測出不良，求 出不良部位的位置座標。在發生雙焊球、位置偏移焊球、 變形焊球、過剩焊球等不良的情形，將真空吸附用嘴86 移動至焊球的位置，進行真空吸附而移動至不良焊球廢棄 站，並具備藉由解除真空而使焊球落下並廢棄之廢棄箱》 又在檢測出因焊球24的供應不足而未供應焊球之電 極墊部的情形，將收納於焊球收納部84之正常焊球24用 分配器87吸附，將吸附著焊球24之分配器87移動至助 焊劑供應部85內儲存的助焊劑23·，將焊球24浸漬於助焊 劑23中，藉此對焊球24添加助焊劑23。將吸附著焊球 24 (添加助焊劑23後）之分配器87移動至基板的缺陷部 ，將焊球供應至缺陷部而完成修補作業。 又，在前述的檢查，除了變形焊球、位置偏移焊球等 -22- 1351905 的不良焊球以外’都能利用上述修補作業來修復缺陷。 第15圖係顯示檢查修補裝置的槪略構造。在本圖， 檢查修補部是1個獨立的裝置。 搬入側輸送器88上的檢查對象基板82沿空白箭頭方 向搬送至檢查部輸送器90上。在檢查部輸送器90的上部 設有門型框80，在門型框80的搬入側輸送器88側，沿基 板搬送方向（空白箭頭方向）的垂直方向設置線性感測器 81。藉由該線性感測器81來檢測基板21的電極墊22上 所印刷的焊球24狀態。 在用來支承門型框80的一方足側設置有：用來收納 正常焊球之焊球收納部8 4、助焊劑供應部8 5。在另一方 足側設置廢棄箱。在門型框部設有：用來吸引除去不良焊 球之真空吸附嘴8 6 (可藉由線性馬達進行左右移動）、用 來修補基板上的缺陷之分配器87。真空吸附嘴86及分配 器8 7，可沿斜線箭頭方向移動。 檢查部輸送器90可沿空白箭頭方向往復移動。可對 應於基板的缺陷位置而使分配器或真空吸附嘴的位置對準 缺陷位置。檢查修補完成後的基板，被搬送輸送器89搬 出而送往熔焊裝置。依據上述構造，能用第14圖所說明 的動作來進行檢查修補。 依據上述構造所提供之印刷裝置，可將焊球正確地供 應至基板的電極墊部，且儘量防止不良品的發生。 【圖式簡單說明】 -23- 1351905 第〗（a) ( b )圖係顯示助焊劑印刷及焊球充塡印刷 ' 步驟的槪要。 ' 第2圖係顯示焊球印刷之凸塊形成裝置的一例。 第3圖係本實施形態的凸塊形成的流程圖。 第4(a) (b)圖係顯示網版印刷裝置的槪略構造。 第5 ( a )( b )圖係網版印刷裝置的動作說明圖。 第6 ( a ) ( b ) ( c )圖係顯示網版印刷後的網版的開 口狀態。 第7圖係顯示焊球印刷頭的構造。 第8圖係顯示焊球收納部篩狀體的水平振動機構。 第9圖係顯示焊球印刷頭的水平擺動機構。 ' 第1 〇圖係焊球印刷頭用篦狀體的說明圖。 第1 1圖係焊球印刷頭用氣簾之說明圖。 第12(a) ( b ) ( c )圖焊球印刷後的網版狀態例的 說明圖。 • 第13圖係焊球的修補之說明圖。 第1 4圖係焊球印刷不良的狀況之說明圖。 -* 第15圖係檢査修補裝置的槪要說明圖。 t主要元件符號說明】 1 :印刷機 2 :印刷頭 3 :刮刀 1 0 :印刷台
c S -24- 1351905 :ΧΥ 0 台 :攝影機 :網版 :基板 :印刷機控制部 :尺寸計算部 :清掃裝置 :充塡單元 :狹縫狀體 =加振手段 :篦狀體 -25-