1343283 . 九、發明說明：
I 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種塗覆裝置，尤其是關於可洗淨藉由模 頭（(14-11^(1)進行塗覆的模具塗覆器（(14-(：〇3^〇配管（塗覆 液配管）內部的塗覆裝置及塗覆裝置的洗淨方法。 【先前技術】 以往，在使用塗覆裝置的情況，根據用途使用照相凹版 塗覆（gravure coat)、輥子塗覆（gravure coat)、滑式塗覆（slide B coat)、幕式塗覆（curtain coat)、擠壓塗覆（extrusion coat)等 的各種方式。其中，在以高速進行品質高之穩定的塗覆時， 採用擠壓塗覆或幕式塗覆或滑式塗覆等，使用具有狹縫噴嘴 (slit nozzle)的模頭。 作爲具有狹縫噴嘴的模頭，爲達成塗覆量之寬度方向上 的均勻性，狹窄地設定狹縫的開口厚度（間隙：gap)，而且， 集合管（manifold)—般爲確保較大容積者。 但是，上述模頭係具有微小開口部與其眼前的大容積液 I 體儲積部的構造，因此內部的液體交換性差。除此之外，上 述模頭不易暫時流動多量的液體，而抱有在塗覆液的交換發 生時等需要洗淨之際，洗淨性極差的問題。 因此，在實際進行如上述的模頭洗淨的狀況，花費長時 間使大量的溶劑等通過。或是，爲期待更爲確實的效果，採 取分解模頭進行清掃的對應。因此在任一情況，無論在時間 上還是在作業量上均造成負荷過大。 對於上述問題，在日本國特開平7- 1 32267號公報提出 1343283 '· 以短時間且效率良好地洗淨模頭內部的具有狹縫噴嘴的塗 覆頭（head)的洗淨方法。 又，如日本國特開2003- 1 0767號公報所公開’還知道 無招致作業效率降低而可完全除去殘留於模頭之狹縫噴嘴 前端的不斷固形化中的塗覆液的狹縫噴嘴的洗淨方法及洗 淨機構。 另一方面，在爲將塗覆液供給模頭而連接於該模頭的配 管部分中，爲了從模頭的狹縫噴嘴前端均勻且穩定地吐出塗 • 覆液的目的，一般安裝塗覆液用過濾器（filter)及塗覆液供給 泵（恆定流量泵）等。 因此，配管部分也成爲內面形成複雜的形狀，或具有成 爲大容積蓄液構造的部位的結果，其洗淨性極差。這（配管 部分）在實際進行洗淨的狀況中，也花費長時間使多量的溶 劑等通過。或是，爲期待更爲確實的效果，採取在泵等中進 行分解並清掃，在配管中根據情況交換爲新品的對應方法。 因此任一情況對模頭內部的洗淨同樣造成過大的負荷。 ^ 對於上述問題，如日本國特開平9-85 1 53號公報所公 開，還知道藉由使用壓縮氣體或^)生鐵（pig)，可減低洗淨時 的塗料提失（loss)，同時，可使用少量的洗淨溶劑短時間且 效率良好地洗淨的模具塗覆器（die-coater)塗料洗淨裝置。 對於模具塗覆方式的塗覆裝置的此種洗淨性的劣點，在 日本國特開平7- 1 3 2267號公報所記載的技術中，藉由將溶 劑導入模頭內部，同時，從配管的模頭連接部附近吹入惰性 氣體（inert gas)，以使溶劑「汽泡流」化，用以有效洗淨模 1343283 • 頭的集合管內壁及狹縫噴嘴。 « 但是在該方法中，對於要求精密塗覆更少量的塗覆液的 領域、例如液晶顯示裝置用濾色器（color filter)的製造等中 所使用的狹縫間隙〇.lmm前後的模頭，無法獲得充分的效 果。另外，對於配管部分則無法應用該方法。 因爲根據日本國特開平7-132267號公報之實施例，對 狹縫間隙（slit gap)0.5mm的模頭，邊流動3.01/min的洗淨液 邊吹入1.01/min的氮氣。實際上若無法確保該程度的流量， ® 則無法成爲屬在液體內分散氣泡之亂流的「氣泡流」。這是 因爲通常在以30〜300m 1/mi η程度的吐出量所使用的上述狹 縫間隙0.1 mm前後的模頭，要獲得此種大流量極爲困難，其 結果洗淨液被分離爲氣液的2層而無法維持所期望的洗淨狀 態的緣故。 另外’在配管部分中，在通過狹窄且長的管內之過程 中，氣泡流失去分散狀態而分離爲2層，因此同樣無法維持 所期望的洗淨狀態。 ® 在日本國特開2003- 1 0767號公報中，顯示對於模頭的 狹縫噴嘴前端，從設有仰角而裝設的噴嘴噴射洗淨液，而從 設有伏角而裝設的噴嘴噴射氣體（air)進行洗淨的方法及機 構。但是，這是以噴嘴外側爲對象者，而對於內面之洗淨並 未有設想。 另外，在日本國特開平9-85 1 53號公報，記載有利用將 壓縮氣體直接導入配管內、或是在插入生鐵內後藉由壓縮氣 體使其（壓縮氣體）移動，除去殘留於配管內的塗料，而容易 1343283 * 持_洗淨的裝置。 又，同公報陳述利用將混合（mix)壓縮氣體與洗淨用溶 劑的氣體混合洗淨劑供給擠壓出塗料後的配管，與僅壓送洗 淨用溶劑的情況比較不會降低洗淨效果，而可以少量的洗淨 用溶劑進行配管洗淨的裝置。 但是，即使具有此等任一裝置，仍無法應用於連接有塗 覆液供給泵等的配管部分及整個模頭，或是即使可應用但卻 無法獲得充分的效果》 b 這是因爲在將壓縮氣體直接導入配管內的情況，恐有氣 體導入後殘留於配管內的塗料（塗覆液）乾燥而成爲異物的 擔憂。另外，這是因爲在插入生鐵進行移動的情況，恐有損 傷不易讓金屬粉末混入塗膜內的領域等所經常使用的樹脂 配管的擔憂。 在要求精密塗覆更少量的塗覆液的領域中，塗覆液的乾 燥異物的產生，即意味著產生不良塗膜。另外，若配管有損 傷，則將成爲更爲不易掉落塗覆液的原因。又，對於生鐵而 B 言則具有在泵等的內面形狀複雜的部位或狹縫噴嘴等的狹 小部位產生堵塞的問題。 另一方面，在供給氣體混合洗淨劑的情況，只要不特別 在裝置上設置控制氣體與溶劑之混合的機構，泵及模頭部的 洗淨也變得不完全。實際上在日本國特開平9-85153號公 報，具有應以容易對泵進行分離、分解清掃的方式而藉由配 管接頭進行連接的記述。 本發明係爲了解決上述塗覆裝置之洗淨中的習知問題 1343283 • 點而完成者，提供一種具備利用具有複雜的配管路徑的模具 塗覆器，尤其是對要求精密塗覆更少量的塗覆液，在非分解 的狀態下可短時間且良好洗淨內部的洗淨手段的塗覆裝置 及塗覆裝置的洗淨方法。 【發明內容】 申請專利範圍第1項之本發明’提供一種塗覆裝置’係 由模頭、塗覆液供給泵、塗覆液儲藏容器'及連接此等的塗 覆液配管所構成，其特徵爲：在上述塗覆液配管上連接有洗 ® 淨手段。藉由此種構成’可提供一種從塗覆液配管途中以任 意比率邊保持交錯送出氣體與溶劑的洗淨流體’邊可將該洗 淨流體送出至該塗覆液配管，可以高效果淨化模具塗覆器配 管及模頭內部，用以進行洗淨的塗覆裝置。 申請專利範圍第2項之本發明，係於申請專利範圍第1 項之塗覆裝置，提供一種塗覆裝置’其特徵爲：洗淨手段連 接於具有可連結從塗覆液儲藏容器拆下的塗覆液配管端部 的機構。藉由此種構成，可提供一種將塗覆液配管端部連接 ® 於洗淨手段，而可進行與申請專利範圍第1項相同洗淨的塗 覆裝置。 申請專利範圍第3項之本發明，係於申請專利範圍第1 或2項之塗覆裝置，提供一種塗覆裝置，其特徵爲1洗淨手 段具備溶劑容器、連接於該溶劑容器的溶劑配管、混合用氣 體儲藏容器、連接於該混合用氣體儲藏容器的混合用氣體配 管、連接溶劑配管的終端及混合用氣體的終端的混合用閥、 及從該混合用閥伸長的洗淨流體配管，且具有調整溶劑與混 1343283 • 合用氣體的流量及混合比率的功能。藉由此種構成，可提供 一種可邊以任意氣液比率保持由混合用閥混合的洗淨流體 邊予以送出，可以高效果淨化模具塗覆器配管及模頭內部的 塗覆裝置。 申請專利範圍第4項之本發明，提供一種申請專利範圍 第3項之塗覆裝置，其特徵爲：在溶劑容器具有溶劑使用量 測定機構，在混合用氣體儲藏容器具有氣體使用量測定機 構，且依據溶劑及混合用氣體的使用量來控制混合用閥的開 • 閉的手段。藉由此種構成，通過根據溶劑、氣體的使用量細 調控制溶劑或氣體或其混合物的上述洗淨流體的導入、非導 入，對模具塗覆器之液體交換性不良而洗淨困難的部位，不 伴有乾燥而由氣體交換塗覆液’接著’可利用使內部液面上 下移動而由氣液界面的通過所產生的氣液分配平衡的方 法。因此可提供一種可以高效果淨化該部位的塗覆裝置。 申請專利範圍第5項之本發明，提供一種申請專利範圍 第3或4項之塗覆裝置，其特徵爲：具有溶劑的流速控制手 ^ 段。藉此，可提供一種將氣體與溶劑保持爲適宜混合狀態用 的可進行洗淨溶劑的動態流速控制的塗覆裝置。又’動態流 速控制係指非以隨意而是以指定比率來控制混合用氣體與 溶劑的比率。另外’在動態流速控制還可含有洗淨狀態的監 視、基於該監視結果以回饋（feedback)於全體控制系統（閥的 調整等）等。 申請專利範圍第6項之本發明’提供一種申請專利範圍 第3或4或5項之塗覆裝置’其特徵爲：具有混合用氣體的 -10- 1343283 ' 形-之塗覆裝置100,係具有從塗覆液儲藏容器19通過附屬 裝置（例如，塗覆液供給泵20等），從連接於模頭3之配管（塗 覆液配管）21的途中，藉由作爲洗淨手段的洗淨裝置（例如， 作爲洗淨流體送出手段的洗淨流體送出裝置）101送出交錯 送出氣體與液體而成的洗淨流體，而以高效果洗淨塗覆液配 管2 1內部的功能。 第1圖顯示導入洗淨流體用的配管（洗淨流體供給配 管）11介由閥（導入閥）12而與塗覆液配管21連接的塗覆裝置 ® 100的一例。又，第1圖中之元件符號23表示塗覆液用過濾 器，元件符號24表示塗覆液導入閥，元件符號25表示洩氣 閥（air vent valve)，元件符號26表示塗覆液承載，元件符號 27表示廢液槽，元件符號110表示塗覆單元部（模具塗覆 器）。導入閥12、塗覆液導入閥24及洩氣閥25，係藉由作 爲控制手段的控制部（未圖示）分別控制其開閉。 藉由上述導入閥12,模頭3側以與塗覆時相同方向的流 向送出洗淨流體，而塗覆液供給側以與塗覆時相反方向的流 ^ 向送出洗淨流體。又，在洗淨塗覆液供給側的期間，將塗覆 液儲藏容器19更換爲作爲廢液回收機構的廢液回收容器（未 圖示）。 又，除此種廢液回收機構外，本發明還可包含其他的機 構。例如，搬送機構及塗覆厚度調整機構等。 另外，上述洗淨流體的導入部位，如第1圖中二點鎖線 所示，也可設於泵20與塗覆液用過濾器23之間，或塗覆液 ♦ 用過濾器23與塗覆液配管21的端部（插入塗覆液配管21中 -12- 1343283 • 的畲覆液儲藏容器19的端部）等。 又，上述洗淨流體的導入部位不限於塗覆液配管途中， 也可爲端部。該情況，在導入洗淨流體用的配管11預先準 備連接機構，在洗淨時從塗覆液儲藏容器19拆下塗覆液配 管21而連接於上述連結機構。 以下，參照第2圖說明本發明之第2實施形態。第2圖 顯示從塗覆液配管21端部設爲洗淨流體的導入部位的情況 的介由連結機構連接有導入洗淨流體用的配管11的塗覆裝 ® 置（模具塗覆器）1〇〇的一例。第2圖中之元件符號22表示作 爲連結機構的易連接接頭（〇ne-touch coupler)。又，其他之 構成與第1實施形態相同，故而重複之說明則於圖中施以相 同的元件符號，並省略重複說明。 如上述第1及第2實施形態的塗覆裝置100，洗淨流體 係從塗覆液配管21途中或端部導入，但此時重要的是以保 持最可發揮目的之洗淨效果的値的方式設定洗淨流體的氣 液混合比率及送出流量。若非如此，雖然可略微減少溶劑使 ^ 用量，但卻根本無法期待相較僅流動溶劑的方法的洗淨程度 的改善。 又，最適合之氣液混合比率，係依據配管長度、配管直 徑、設置於途中的機器·器具、充塡中的塗覆液及使用洗淨 溶劑的粘度等而不同，但在加壓狀態下，大致的氣體：溶劑 的體積比率，以1:2〜3: 1爲較佳。 另外，最適合之流量也同樣依各種條件而各異，大致以 塗覆時之吐出量的1〜3倍爲較佳，在使用上述狹縫間隙 -13- 1343283 ' 〇.lmm前後的模頭時，以30ml/min〜900ml/min的程度爲較 佳。 在此欲重點強調的是，該洗淨流體並非處於微小氣泡分 散於溶劑中的系統。即使將此種狀態的混合溶劑吹入配管1 1 中仍將在通過長管內的過程中分離爲2層，另外，說起將氣 液分散狀態的溶劑流經配管，其洗淨性仍無大的改善。 本發明中，「交錯送出氣體與溶劑，利用通過氣體與溶 劑的界面進行洗淨」，係指以短週期規則性送出氣體與溶劑 ® 的態樣，例如，最好在配管1 1、2 1內成爲分別通過各約3ml 〜20ml的氣體與溶劑的狀況。藉此，利用氣體與溶劑的界 面通過配管11、21內壁時產生的氣液分配平衡，從配管21 的壁面使塗覆液溶出於液相而予以淨化。 作爲實際之塗覆裝置的洗淨手段，只要具備以短週期送 出氣體與溶劑的方式，以使氣液混合比率及送出流量保持爲 最佳値的機構即可。例如，可考慮氣體與溶劑的送出壓力保 持爲一定比率的情況、及收緊氣體·溶劑的流路斷面積用以 ^ 限制各送出量的情況等，但不限於此等。 但是，根據欲洗淨之塗覆液配管之構成或在洗淨時點的 所殘留的塗覆液、及使用之洗淨溶劑的粘度等，最適宜氣體 與溶劑送出量或混合比率各異，因此可任意設定此等而較爲 便利。 對應於如上之情況，塗覆裝置100係具有調整溶劑與混 合用氣體流量及混合比率的功能的構成。 以下，參照第3圖說明本發明之第3實施形態。第3圖 -14- 1343283 ' 爲顯示包含具有調整溶劑與混合用氣體流量及混合比率的 功能的洗淨手段1 〇 1的塗覆裝置100的—例的槪要圖。本實 施形態中，洗淨手段1 〇 1具有洗淨機溶劑供給部1及洗淨機 混合用氣體供給部2 ^ 洗淨手段1 0 1具備收容溶劑的溶劑容器4 :連接於該溶 劑容器4的溶劑配管5;收容混合用氣體的混合用氣體儲藏 容器14;連接於該混合用氣體儲藏容器14的混合用氣體配 管15:連接溶劑配管5的終端與混合用氣體配管15的終端 ® 的混合用閥ίο;從該混合用閥ίο延伸的洗淨流體送出配管 1 04 ;及調整上述溶劑之流量、混合用氣體流量及此等混合 比率的調整機構。混合用閥10係依據溶劑及上述混合用氣 體的使用量，而由作爲控制手段的控制部（未圖示）來控制其 開閉。上述調整機構如具備溶劑用開閉閥6、溶劑用送出量 調整機構7、混合用氣體用開閉閥16、及混合用氣體用送出 量調整機構1 7。溶劑用開閉閥6及混合用氣體用開閉閥i 6 的開閉，可由上述控制部來控制。 ® 又，第3圖中，元件符號8表示作爲測定溶劑之使用量 的溶劑使用量測定機構的溶劑流量計，元件符號9表示溶劑 用過濾器，元件符號13表示負荷單元，元件符號18表示作 爲測定混合用氣體之使用量的氣體使用量測定機構的混合 用氣體流量計。其他構成則與第1實施形態相同，故而重複 之說明則於圖中施以相同的元件符號，並省略重複說明。 本實施形態之塗覆裝置1〇〇中，考量塗覆液配管21的 構成或塗覆液與洗淨溶劑的粘度等，利用設定溶劑容器4之 -15- 1343283 送出量調整機構7及混合用氣體配管15之混合用氣體流量 調整閥（混合用氣體用送出量調整機構）17的開啓度，由混合 用閥1 〇而以響應設定之任意比例混合氣體與溶劑，並從導 入閥12送入塗覆液配管（模具塗覆器配管）21內. 如此般作爲調節溶劑與混合用氣體的流量及混合比的 洗淨流體調整機構，以分別調整混合用氣體與溶劑的流量， 且在洗淨流體狀態下未予控制的構成簡單者爲較佳，但不限 於此，還可爲不調節溶劑而調節混合用氣體的流量調整與全 體的洗淨流體的流量的構成，預先決定混合比用以流量調整 規定混合溶劑的構成，在所有階段進行調節的構成等。 另外，流量調整一般是通過閥來進行者，但也可爲依定 量泵等的各種手段者。又，配管同樣除可爲簡單之T型管接 頭外，還可使用構成閥等的洗淨流體調整機構的一部分的各 種混合器具。 在第1至第3實施形態所示塗覆裝置100中，藉由對塗 覆液配管21送出混合了氣體與溶劑的洗淨流體，以使該洗 淨流體流通於塗覆液配管21內，便可洗淨該塗覆液配管。 又，根據此種塗覆裝置的洗淨方法，可效果良好地洗淨 模頭3內及配管21內，但在塗覆液供給泵20及模頭3等液 交換性差而洗淨困難的部位中，與習知方法比較，所洗淨的 程度雖高但仍然微量殘留有塗覆液。 對於此種液交換性差而洗淨困難的部位，通過根據使用 溶劑重量·氣體混合體積細調控制氣體或溶劑或其混合物的 上述洗淨流體的導入·非導入，便可成爲以高效果洗淨該部 -1 6 - 1343283 位的構成。該情況，例如，如第3實施形態的塗覆裝置100 般進行構成，從設於溶劑容器4的負荷單元13所示重量變 化及設於混合用氣體配管1 5的流量計的乘算値，使符合預 先測定之洗淨困難的部位的內容積，進行塗覆液的依氣體的 取代、溶劑充塡、溶劑排出的各動作，便可達成利用依通過 氣液界面的氣液分配平衡的洗淨。 以下，以將第3圖所示塗覆裝置100應用於第4圖及第 5圖所示模頭3的情況爲例，說明該洗淨方法之洗淨推移。 在塗覆結束之時點，模頭之集合管28內充滿了塗覆液。 在此首先藉由從塗覆液供給口 30送入洗淨流體用以交換塗 覆液。 此時，洗淨流體中的溶劑成分與塗覆液一起被從狹縫噴 嘴29排出，通過從上部開始蓄積氣體，最終無乾燥之擔憂 而可讓氣體充滿包含容易滯留液體的部位在內的內部。 接著，目測完全排出塗覆液的時點，此時僅將溶劑送入 集合管28內，予以充滿溶劑。在此，若在模頭存在有洩氣 口（air vent port)3 1，利用打開此便可更爲有效地充塡溶劑。 在完全排出塗覆液的時點，從集合管28的容積、與藉由備 於裝置上的負荷單元13所求得的溶劑使用量及藉由混合用 氣體流量計18所乘算的混合用氣體使用量的比較便可進行 判斷。 最後，在目測溶劑充滿了集合管28內的時點，再度送 入洗淨流體以排出溶劑。此時，從上部開始不斷堆積氣體， 利用通過氣液界面時產生的氣液分配平衡從壁面使塗覆液 -17- 1343283 ' 溶出於液相而予以淨化。 在以上述一次動作而不能達成充分的效果的情況，還可 藉由重複進行溶劑充塡與排出以期待完全的洗淨。另外，胃 可在洗淨結束後藉由僅送入氣體以進行乾燥，用以準備下__ 步驟。在充滿了溶劑的時點，同樣可從集合管28的容積與 溶劑使用量的比較進行判斷。 當然，使用量的測定，其將溶劑通過重量變化，將氣體 通過流量的乘算來進行的上述方式雖然簡單，但也可根據其 ®他的手段來進行。 又，洗淨動作的控制，除以此種使用量等爲基礎進行的 控制外，還可依對照洗淨流體或溶劑.氣體的流速等與經過 時間的控制等。該情況如還可在塗覆裝置1 00設置控制溶劑 之流速的溶劑用流速控制手段（例如，流速計）及控制混合用 氣體之流速的混合氣體用流速控制手段（例如，流速計）。另 外，還可在塗覆裝置1〇〇，使用通過介由閥而將加壓之混合 用氣體混入溶劑內，以使流動於較上述閥更下游側的配管內 ® 的溶劑及混合用氣體中的至少一方的流速變化之構成的流 速控制手段。 又，在具備第3圖所示模頭3之塗覆裝置100中，例如， 還可從送出量調整機構7及混合用氣體流量調整閥17的開 啓度與洗淨經過時間的比較，計算洗淨流體的擠壓量來進行 動作，若可能的話還可進行洗淨度本身的測定用以控制洗淨 動作。 上述洗淨時使用的溶劑並無特別的限定’但通常作爲模 -18- 1343283 ' 頭的材質，若考慮使用金屬的情況及洗淨後的乾燥的容易 度，可適當考慮甲醇、乙醇、異丙醇、環己烷、丙酮、2-丁 酮、二氯甲烷等的低沸點有機化合物。 同樣，也不特別限定使用之氣體，但在採用低級醇及低 分子酮等的具有引火性的物質的情況，最好選擇氮氣及氬氣 等的惰性氣體。 另外，可將使用之溶劑設爲2種類以上進行洗淨。該情 況，多數個準備溶劑容器*負荷單元·溶劑流量計等，並介 ® 由交換閥將配管連接於混合用閥。 針對構成上述洗淨動作的機構，若可實現該洗淨要點則 不問形態如何，但藉由程控邏輯控制器（PLC)進行各種監 視·控制，其控制之時間滯後少且微細控制較爲容易而較爲 理想。 以上，在依本發明之模具塗覆器配管洗淨中成爲重要因 素的是，將洗淨流體的氣液混合比例及送出量保持爲最適合 値，而這藉由溶劑之送出量調整機構7與混合用氣體流量調 ^ 整閥1 7的設定進行調整之情況，如上所陳。但是，即使在 洗淨相同之模具塗覆器的情況，達成上述氣液混合比例及送 出量的溶劑的送出量調整機構7與混合用氣體流量調整閥 1 7的設定値，也不一定經常爲一定値。 這是因爲上述設定値當然依洗淨前所充塡之塗覆液的 種類而可各異’更且’甚至還有根據洗淨進展之配管內塗覆 液殘量的減少而變化的可能性的緣故。這係根據粘度隨塗覆 液而變化的情況，另外由粘度較一般塗覆液低的溶劑來取代 -19- 1343283 塗覆液的情況，而使得相對擠壓的配管阻力發生變化的情 況。 除此之外，即使根據如上述的洗淨環境的變化，移動達 成最佳氣液混合比例的設定値，仍可爲動態進行洗淨溶劑的 流速控制，而具有維持混合狀態的功能的裝置。 ，相同地，即使根據如上述的洗淨環境的變化，移動達成 最佳氣液混合比例的設定値，仍可爲動態進行混合用氣體的 流速控制，而具有維持混合狀態的功能的裝置。 上述兩裝置均是從設於溶劑容器4之負荷單元13所示 重量變化率及設於混合用氣體配管1 5的流量計1 8的計測 値，計算氣液混合比例及洗淨流體的送出量，在本發明之申 請專利範圍第5項之發明的裝置中，於溶劑之送出量調整機 構7藉由回饋結果以實現該功能，而於同申請專利範圔第6 項之發明的裝置中，於混合用氣體流量調整閥17藉由回饋 結果以實現該功能。 以下，參照第6圖說明本發明之第4實施形態。本實施 形態之塗覆裝置100，適合於要求高精度、高精密的塗覆的 如濾色器、液晶材料、感熱記錄材料、經皮吸收製劑等的構 件的塗覆。本實施形態之塗覆裝置100係由塗覆單元部110 及具有溶劑儲藏部300與乾燥氣體單元200的洗淨處理部 400所構成。 塗覆單元部110具備儲藏塗覆用塗覆液的塗覆液儲藏容 器19;爲在將塗覆液供給模頭3時從狹縫噴嘴等始終且均勻 形成簾幕狀塗覆液，用以除去灰塵等的異物的塗覆液用過濾 -20- 1343283 ' 器23;更從塗覆液儲藏容器19移送塗覆液用的塗覆液供給 泵20:簾幕狀形成塗覆液的模頭3;進一步載取從模頭3落 下的塗覆液的塗覆液承載26;及儲積落於塗覆液承載26的 塗覆液及供給模頭3的多餘的塗覆液的廢液槽27。除模頭3 及塗覆液承載26外，各部分由對樹脂製管或不鏽鋼管或金 屬管的內面施以數之加工等的管進行配管。 塗覆單元部110進行以下之動作，即儲積於塗覆液儲藏 容器19的塗覆液係藉由塗覆液供給泵20的驅動從塗覆液儲 • 藏容器19通過處於配管途中的塗覆液用過濾器23進入塗覆 液供給泵20。又，通過連接於塗覆液供給泵20的吐出方向 的配管將塗覆液供給模頭3»供給模頭3之多餘塗覆液係從 模頭3呈簾幕狀流出，而未被塗覆之塗覆液則由廢液槽2*7 所回收。 從洗淨處理部4〇〇延伸的配管介由導入閥12而與塗覆 單元部110連接。此時，洗淨處理部4 00與塗覆單元部110 的連接部位，如第6圖之二點鎖線所示’還可設在泵2〇與 ^ 塗覆液用過濾器23之間、或塗覆液用過濾器23與塗覆液配 管21的端部（插入塗覆液配管21中的塗覆液儲藏容器19的 端部）。 溶劑儲藏部300爲抑制溶劑衝擊（solvent shock)’具備 可儲積2種類以上的溶劑的2個以上、如4個溶劑箱51a、 5 1 b、5 1 c、5 1 d。下游側的溶劑箱內的溶劑，其與塗覆液的 相容性較上游側的溶劑箱內的溶劑高。另外’下游側的溶劑 箱內的溶劑的洗淨性較上游側的溶劑箱內的溶劑高。 1343283 爲在各個溶劑箱51a、51b、51c、51d，從與塗覆液具有 相容性者順序交換爲洗淨性高的溶劑，在各溶劑箱5 i a、 5 1 b ' 5 1 c、5 1 d的上游側設置三通杯型的箱交換用閥5 3 a、 53b、 53c、 53d。又，箱交換用閥 53a、 53b' 53c、 53d 的操 作’可通過從外部輸入操作信號來進行。另外，箱交換用閥 53a' 53b、53c、53d的操作，也可由人工操作來進行。 另外，爲消除洗淨的不勻，在各溶劑箱51a、51b、51c、 5 Id的底部設有進行溶劑的重量控制的負荷單元54a、54b、 ® 54c、54d。又，爲消除從溶劑容器4移送的溶劑的洗淨不勻， 設有進行溶劑的流速控制用的溶劑流量控制閥56。在溶劑流 量控制閥5 6的吐出側設有計測溶劑流量的溶劑用流量計 5 2。通過溶劑用流量計5 2之溶劑，通過取得溶劑中的異物 等用的溶劑用過濾器55到達由交換閥57實施與來自乾燥氣 體單元部200的氣體作交換的場所，並於洗淨時從塗覆單元 部110的塗覆液交換閥12移送洗淨用的溶劑，順序由具有 相容性的溶劑洗淨塗覆單元部11〇的配管或模頭內部。另 β 外，還可於洗淨時混合溶劑與氮氣等的乾燥用氣體並送入塗 覆單元部110，而藉由氣液界面洗淨塗覆單元部的配管或模 頭3。溶劑直到到達交換閥73爲止流動於溶劑用配管70內。 乾燥氣體單元部200具備儲藏使配管或模頭3內部乾燥 用的氣體的乾燥用氣體箱58;控制氣體流速用的乾燥用氣體 氣流控制部59;計測通過乾燥用氣體氣流控制部59的氣體 流量的乾燥用氣體流量計6〇 :及以分別對應於各溶劑箱 51a、51b、51c、51d的方式並聯而設的4個氣體流量控制部。 -22- Ί343283 ' 對應於溶劑箱5 1 a的氣體流量控制部，係將氣體混入從溶劑 箱5 1 a吐出的溶劑內者，具備壓力控制閥80a、氣體流量控 制閥81a及氣體流量計82a。對應於溶劑箱51b的氣體流量 控制部，係將氣體混入從溶劑箱5 1 b吐出的溶劑內者，具備 壓力控制閥80b、氣體流量控制閥81b及氣體流量計82b。 對應於溶劑箱5 1 c的氣體流量控制部，係將氣體混入從溶劑 箱5 1c吐出的溶劑內者，具備壓力控制閥80c、氣體流量控 制閥8 1 c及氣體流量計82c。對應於溶劑箱5 1 d的氣體流量 ^ 控制部，係將氣體混入從溶劑箱5 1 d吐出的溶劑內者，具備 壓力控制閥80d、氣體流量控制閥81d及氣體流量計82d。 該塗覆裝置1〇〇中，以如下方式進行塗覆裝置1〇〇的洗 淨。 首先，從溶劑箱51a吐出溶劑。藉由對應於溶劑箱51a 的氣體流量控制部的控制，使氣體混入該溶劑內。停止溶劑 從溶劑箱5 1 a吐出。接著，從溶劑箱5 1 b吐出溶劑。藉由對 應於溶劑箱5 1 b的氣體流量控制部的控制，使氣體混入該溶 I 劑內。停止溶劑從溶劑箱5 1 b吐出。接著，從溶劑箱5 1 c吐 出溶劑。藉由對應於溶劑箱5 1 c的氣體流量控制部的控制， 使氣體混入該溶劑內。停止溶劑從溶劑箱5 1 c吐出。再者， 從溶劑箱5 1 d吐出溶劑。藉由對應於溶劑箱5 1 d的氣體流量 控制部的控制，使氣體混入該溶劑內。停止溶劑從溶劑箱5 1 d 吐出。最後，完全乾燥較交換閥5 7的下游側。 如上述，根據本實施形態之塗覆裝置1 00，即使爲要求 高精度、高精密的塗覆的情況，仍可良好地洗淨塗覆單元部 -23- 11343.283 -1 10» 又，在配管及模頭之洗淨時/乾燥時，針對較與洗 理部連接的導入閥1 2的下游側、亦即塗覆液儲藏容器1 的配管，恐有洗淨溶劑逆流的擔憂。因此在塗覆液儲藏 19的前面近處設置閥，利用與廢液槽27連接進行交換 防止污染到塗覆液儲藏容器1 9，但最好將塗覆液儲藏 19本身與接受廢液用的廢液罐等進行交換。 另外，溶劑箱5 1 a、5 1 b、5 1 c、5 1 d內的溶劑，係 ® 與塗覆液的相溶性而可適宜選擇。例如，在用於塗覆液 溶劑爲二氯甲烷溶劑時，由二氯甲烷溶劑且以2〇KPa〜 KPa的擠壓壓力進行洗淨，又，也可使用 2-丁酮溶劑 30KPa〜100 KPa的擠壓壓力進行洗淨。 【圖式簡單說明】 第1圖爲顯示本發明之第1實施形態的塗覆裝置的 圖。 第2圖爲顯示本發明之第2實施形態的塗覆裝置的 鲁圖。 第3圖爲顯示本發明之第3實施形態的塗覆裝置的 圖。 第4圖爲顯示模頭之一例的前視圖。 第5圖爲顯市模頭之右側視圖。 第6圖爲顯示本發明之第4實施形態的塗覆裝置的 圖。 【元件符號說明】 淨處 9側 容器 ，以 容器 根據 的主 '100 且以 槪要 槪要 槪要 槪要 -24- 洗淨機溶劑供給部 洗淨機混合用氣體供給部 模頭 溶劑容器 溶劑配管 溶劑用開閉閥 溶劑用送出量調整機構 溶劑流量計 溶劑用過濾器 混合用閥 洗淨流體供給配管 導入閥弁 負荷單元 混合用氣體儲藏容器 混合用氣體配管 混合用氣體用開閉閥 混合用氣體用送出量調整機構 混合用氣體流量計 塗覆液儲藏容器 塗覆液供給泵 塗覆液配管 易連接接頭（one-touch coupler) 塗覆液用過濾器 塗覆液導入閥 -25- [[343-283 25 26 27 28 29 30 3 1 51a、 51b、
53a ' 53b 、 54a 、 54b 、 55 56 57 58 59
60 70 73 80a、 80b ' 81a、 81b、 82a 、 82b 、 100 10 1 洩 氣 塗 覆 廢 液 集 合 狹 縫 塗 覆 洩 氣 5 1c、 5 1 d 溶 劑 溶 劑 53c、 53d 箱 交 5 4c、 54d 負 荷 溶 劑 溶 劑 交 換 乾 燥 乾 燥 乾 燥 溶 劑 交 換 80c、 80d 壓 力 8 1c、 8 1 d 氣 體 82c、 82d 氣 體 塗 覆 洗 淨 閥（air vent valve) 液承載 槽 管 噴嘴 液供給口 口 (air vent port) 箱 用流量計 換用閥 單元 用過濾器 流量控制閥 閥 用氣體箱 用氣體氣流控制部 用氣體流量計 用配管 閥 控制閥 流量控制閥 流量計 裝置 裝置（洗淨手段） -26- 1343283 1 04 洗淨流體送出配管 1 10 塗覆單元部 200 乾燥氣體單元部 300 溶劑儲藏部 400 洗淨處理部
-27-