CN1909975A - 涂覆装置及涂覆装置的清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂覆装置(100)，其具有模头(3)、涂布液供给泵(20)、涂布液储藏容器(19)以及与它们相连接的涂布液配管(21)。其中，在所述涂布液配管(21)上连接着清洗机构(101)，所述清洗机构(101)交替地送出气体和溶剂，且以气体和溶剂的界面的通过来清洗所述涂布液配管。

Description

涂覆装置及涂覆装置的清洗方法

技术领域

本发明涉及一种涂覆装置，特别涉及一种可以清洗通过模头(die-head)进行涂布的模涂布机(die-coater)配管(涂布液配管)内部的涂覆装置(coating machine)及涂覆装置的清洗方法。

背景技术

以前，在使用涂覆装置进行涂覆时，根据用途的不同，可以采用照相凹版涂覆(gravure coat)、辊涂(roll coat)、滑动涂覆(slide coat)、幕涂(curtain coat)，挤压涂覆(extrusion coat)等各种方式。其中在高速下进行高质量且稳定的涂覆时，可以采用挤压涂覆、幕涂或者滑动涂覆等，而且使用带有狭缝喷嘴(slit nozzle)的模头。

作为具有狭缝喷嘴的模头，为了谋求涂覆量在宽度方向的均匀化，通常是将狭缝的开口厚度(间隙(gap))设定得狭小些，而且歧管(manifold)确保有比较大的容积。

但是，在上述模头的结构中，由于具有微小的开口部和在其跟前的大容积的液体储存部，因而内部的液体置换性较差。而且上述模头还存在的问题是：难以一下子流过大量的液体，在进行涂布液的切换等而需要清洗时，其清洗性极差。

因此，在实际进行上述模头清洗的情况下，需要花费较长的时间使大量的溶剂等流过。或者为期待取得更加切实的效果，需要采取拆解模头进行清扫的应对措施。因此，无论在何种状态下，无论是时间方面还是工作量方面都成为沉重的负担。

针对上述的问题，日本特开平7-132267号公报提出了一种具有狭缝喷嘴的涂布头(head)的清洗方法，该方法可以在短时间内高效地清洗模头内部。

再者，正如日本特开2003-10767号公报所公开的那样，为人所知的还有另一种狭缝喷嘴的清洗方法及清洗机构，其不会导致工作效率的低下而可以完全地除去残留在模头的狭缝喷嘴顶端且正在进行固化的涂布液。

另一方面，为了向模头供给涂布液，使配管部分与该模头连接，在该配管部分上，为了使涂布液均匀且稳定地从模头的狭缝喷嘴顶端喷出来，通常安装涂布液用过滤器(filter)和涂布液供给泵(定流量泵(pump))等。

因此，配管部分也做成内部复杂的形状，或者具有成为大容积的液体储存结构的部位，结果导致清洗性极差。为此，该配管部分在实际进行清洗的状态下，也要花费较长时间使大量的溶剂等流过。或者为期待取得更加切实的效果，需要采取如下的应对措施，对泵等而言要拆解进行清扫，对配管而言要根据情况更换新的配管。因此，无论在哪种情况下，都与模头内部的清洗一样成为沉重的负担。

针对上述的问题，正如在日本特开平9-85153号公报所公开的那样，为人所知的模涂布机(die-coater)涂料清洗装置通过使用压缩气体或生铁块(pig)，降低了清洗时的涂料损失(loss)，同时使用少量的清洗溶剂而可以在短时间内进行高效的清洗。

针对模涂布机方式的涂覆装置这样的清洗性不好的问题，日本特开平7-132267号公报所记载的技术想通过将溶剂引入至模头内部、同时从配管的模头连接部附近吹入不活泼气体(inert gas)而使溶剂“气泡流”化，从而有效地清洗模头的歧管内壁以及狭缝喷嘴。

但是，该方法在要求精密地涂布更少量的涂布液的领域，例如对于在液晶显示装置用彩色滤波器(color filter)的制造等方面所使用的狭缝间隙为0.1mm左右的模头，就不能得到充分的效果。另外，对于配管部分也不能适用该方法。

究其原因，这是因为根据日本特开平7-132267号公报的实施例，对于狭缝间隙(slit gap)为0.5mm的模头，要一边流过3.01/min的清洗液，一边吹入1.01/min的氮气。实际上，如果不能确保这个程度的流量，就不能成为气泡在液体内分散的紊流即“气泡流”。对于通常以30～300ml/min左右的喷出量所使用的上述狭缝间隙为0.1mm左右的模头，要得到这样的大流量是极为困难的，其结果是清洗液分离为气液2层而不能维持预期的清洗状态。

另外，即使对于配管部分，也在通过狭长的管内的期间，气泡流失去分散状态而分离成2层，所以同样地不能维持预期的清洗状态。

日本特开2003-10767号公报中公开了一种方法和装置，其相对于模头的狭缝喷嘴的顶端，从设立仰角而配置的喷嘴喷射清洗液，从设立俯角而配置的喷嘴喷出空气(air)，从而进行清洗。然而，这是以喷嘴外侧作为对象的，对于内部的清洗却没有设想到。

另外，日本特开平9-85153号公报记载了一种装置，其直接把压缩气体引入配管内，或者插入生铁块后借助于压缩气体来移动它(压缩气体)，藉此除去配管内残留的涂料，这样便容易进行后续的清洗。

进而在该公报中记载了一种装置，其向涂料挤出后的配管内，供给混合了(mix)压缩气体和清洗用溶剂的气体混合清洗剤，这样较之于仅压送清洗用溶剂的情况，不会降低清洗效果而用少量的清洗用溶剂便可以进行配管的清洗。

但是，无论使用这些装置中的哪一个装置，对连接涂布液供给泵等的配管部分以及整个模头而言，都不适用，或者即使适用也不能获得充分的效果。

究其原因，这是因为在将压缩气体直接引入配管内的情况下，气体引入后在配管内残留的涂料(涂布液)也有可能干燥而成为异物。而且还因为：在插入生铁块并使其移动的情况下，在不希望金属粉混入涂膜的领域等，往往有可能损坏所使用的树脂配管。

在要求精密涂布更少量的涂布液的领域，意味着将产生涂布液的干燥异物，也就是产生涂膜的不良现象。另外，配管一旦损坏，则也有可能更加难以去掉涂布液。再者，生铁块存在的问题是：在泵等内表面形状复杂的部位和狭缝喷嘴等狭小的部位出现堵塞。

另一方面，即使在供给气体混合清洗剤的情况下，只要在装置上没有特别设立控制气体和溶剂混合的机构，泵和模头部的清洗就是不完全的。实际上，日本特开平9-85153号公报记载了下述的要点：对泵而言，应该通过配管接头进行连接，以便容易进行分离和拆解清扫。

发明内容

本发明就是为了解决上述涂覆装置的清洗中以前出现的问题而完成的，它提供一种涂覆装置及涂覆装置的清洗方法，该涂覆装置对于具有复杂的配管线路的模涂布机，特别对于要求精密涂覆更少量的涂布液的情况，其具备不进行拆解而直接在短时间内良好地清洗内部的清洗机构。

本发明的方案1提供一种涂覆装置，其具有模头、涂布液供给泵、涂布液储藏容器和与它们连接的涂布液配管，所述涂覆装置的特征在于：在所述涂布液配管上连接着清洗机构。这样一来，可以提供一种下述的涂覆装置，即从所述涂布液配管中间，可以一边将交替地送出气体和溶剂的清洗流体保持为任意的气液比率，一边将该清洗流体送给该涂布液配管，从而可以进行能够以良好的效果使模涂布机配管和模头内部实现清净化的清洗。

本发明的方案2提供一种如方案1所述的涂覆装置，其特征在于：清洗机构连接到配管上，其中所述配管具有能够与从涂布液储藏容器取下的涂布液配管端部进行连接的机构。这样一来，可以提供一种下述的涂覆装置，即将所述涂布液配管端部与清洗机构相连接，可以进行与方案1同样的清洗。

本发明的方案3提供一种如方案1或2所述的涂覆装置，其特征在于：清洗机构具有溶剂容器、与该溶剂容器相连接的溶剂配管、混合用气体储藏容器、与该混合用气体储藏容器相连接的混合用气体配管、连接所述溶剂配管的终端和混合用气体配管的终端的混合用阀、以及从该混合用阀延伸出来的清洗流体配管，而且具有调整溶剂与混合用气体的流量及混合比率的功能。这样一来，可以提供一种下述的涂覆装置，即可以将用所述混合用阀混合的清洗流体保持为任意的气液比率而送出，能够以良好的效果使模涂布机配管和模头内部实现清净化。

本发明的方案4提供一种如方案3所述的涂覆装置，其特征在于：在溶剂容器上具有溶剂使用量测量机构；在混合用气体储藏容器上具有气体使用量测量机构，而且具有根据溶剂及混合用气体的使用量而控制所述混合用阀的开闭的机构。这样一来，可以根据溶剂和气体的使用量，精密控制作为溶剂或气体、或者它们的混合物的所述清洗流体的引入或不引入，这样对于所述模涂布机的液体置换性不好且清洗困难的部位，可以不伴随着干燥而用气体置换涂布液，随后就可以利用使内部的液面升降、因气液界面的通过而产生的气液分配平衡。为此，可以提供一种能够以良好的效果使该部位实现清净化的涂覆装置。

本发明的方案5提供一种如方案3或4所述的涂覆装置，其特征在于：所述涂覆装置具有溶剂的流速控制机构。这样，可以提供一种用于将气体和溶剂保持在适当的混合状态下的、且能够进行清洗溶剂的动态流速控制的涂覆装置。此外，所谓动态的流速控制，是指将混合用气体和溶剂的比率控制为指定的比率，而不是任其随意变化。另外，在动态的流速控制中，可以包含清洗状态的监视、以及根据该监视结果反馈(feedback)给整个控制系统(阀的调整等)等。

本发明的方案6提供一种如方案3、4或5所述的涂覆装置，其特征在于：所述涂覆装置具有混合用气体的流速控制机构。这样，可以提供一种用于将气体和溶剂保持在适当的混合状态下的、且能够进行混合用气体的动态流速控制的涂覆装置。

本发明的方案7提供一种如方案1所述的涂覆装置，其特征在于：所述清洗机构使用2种或更多种溶剂，而且具有下列机构，该机构使溶剂按照从与涂布液相溶性高的溶剂到相溶性低的溶剂的顺序依次流过。这样一来，可以使溶剂冲突(solvent shock)受到抑制。

本发明的方案8提供一种涂覆装置的清洗方法，其对具有模头、涂布液供给泵、涂布液储藏容器以及与它们相连接的涂布液配管的涂覆装置进行清洗，其特征在于：向所述涂布液配管交替送出气体和溶剂，由此使它们在所述涂布液配管内流通，借助于气体和溶剂的界面而对该涂布液配管进行清洗。这样一来，能够以良好的效果使模涂布机配管和模头内部实现清净化。

本发明的方案9提供一种如方案8所述的涂覆装置的清洗方法，其特征在于：所述清洗方法使用2种或更多种溶剂，而且使溶剂按照从与涂布液相溶性高的溶剂到相溶性低的溶剂的顺序依次流过。这样一来，可以使溶剂冲突受到抑制。

根据本发明，可以提供一种涂覆装置及涂覆装置的清洗方法，该涂覆装置对于具有复杂的配管线路的模涂布机，特别对于要求精密涂覆更少量的涂布液的情况，能够不进行拆解而直接在短时间内良好地对内部进行清洗。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方案的涂覆装置的示意图。

图2是表示本发明的第2实施方案的涂覆装置的示意图。

图3是表示本发明的第3实施方案的涂覆装置的示意图。

图4是表示模头的一个实例的主视图。

图5是表示图4的模头的右视图。

图6是表示本发明的第4实施方案的涂覆装置的示意图。

具体实施方式

下面参照图1就本发明的第1实施方案进行说明。本实施方案的涂覆装置100通过从配管(涂布液配管)21的中间送出清洗流体而具有以良好的效果对所述涂布液配管21的内部进行清洗的功能，其中所述配管21从涂布液储藏容器19通过附属装置(例如涂布液供给泵20等)与模头3相连接，所述清洗流体是借助于作为清洗机构的清洗装置(例如，作为清洗流体送出机构的清洗流体送出装置)101将气体和液体交替地送出而成的。

图1表示涂覆装置100的一个实例，其将用于引入清洗流体的配管(清洗流体供给配管)11经由阀(引入阀)12而与涂布液配管21相连接。此外，在图1中，符号23表示涂布液用过滤器，符号24表示涂布液引入阀，符号25表示通气阀(air vent valve)，符号26表示涂布液容器，符号27表示废液槽，符号110表示涂布组件部(模涂布机)。引入阀12、涂布液引入阀24及通气阀25通过作为控制机构的控制部(图中未示出)，分别控制着它们的开闭。

清洗流体在模头3侧以与涂覆时相同的流向、在涂布液供给侧以与涂覆时相反的流向从所述引入阀12送出。此外，在对涂布液供给侧进行清洗的期间，事先将涂布液储藏容器19更换为作为废液回收机构的废液回收容器(图中未示出)。

此外，除这样的废液回收机构以外，本发明也可以含有其它的机构。例如，输送机构和涂覆厚度调整机构等。

另外，上述清洗流体的引入部位正如图1中的双点划线所表示那样，也可以设置在泵20和涂布液用过滤器23之间，或涂布液用过滤器23和涂布液配管21的端部(涂布液配管21中的插入到涂布液储藏容器19的端部)等。

再者，上述清洗流体的引入部位并不局限于涂布液配管中间，也可以是在端部。这时，事先准备好与用于引入清洗流体的配管11的连接机构，清洗时从涂布液储藏容器19上取下涂布液配管21，连接到上述连接机构上。

下面参照图2就本发明的第2实施方案进行说明。图2表示涂覆装置(模涂布机)100的一个实例，当该涂覆装置100将清洗流体的引入部位设定为涂布液配管21端部时，用于引入清洗流体的配管11经由连接机构而与之连接。在图2中，符号22表示作为连接机构的单触式接头(one-touch coupler)。此外，由于其它构成与第1实施方案相同，所以重复的说明在图中标上同样的符号，在此不再赘述。

正如上述第1及第2实施方案的涂覆装置100那样，清洗流体虽然从涂布液配管21中间或端部引入，但在此时，很重要的是设定清洗流体的气液混合比率及送出流量，以便使作为目的的清洗保持在最能发挥效果的数值。否则，即使溶剂的使用量可能稍有降低，也与只流过溶剂的方法相比，不能过多地期待清洗程度的改善。

此外，最优的气液混合比率随配管长度、配管直径、中间设立的机器和器具、填充的涂布液以及使用清洗溶剂的粘度等的不同而不同，但在加压状态下，气体∶溶剂的体积比率优选大约为1∶2～3∶1。

另外，最优的流量也同样地因各种条件的不同而不同，但大约为涂覆时喷出量的1～3倍，在使用上述狭缝间隙为0.1mm左右的模头时，优选为30ml/min～900ml/min左右。

这里要强调的是，该清洗流体并不处于溶剂中分散有微小气泡的体系中。即使向配管11中吹入那种状态的混合溶剂，也在通过长长的管道内时分离为2层，而且即使起初使气液分散状态的溶剂流入配管，清洗性也不会有很大地改善。

在本发明中，所谓“交替送出气体和溶剂，利用气体和溶剂界面的通过进行清洗”，就是指气体和溶剂在短的周期内有规则地送出的方式，例如在配管11、21内，优选气体和溶剂分别以每次大约3ml～20ml通过的状况。由此，利用气体和溶剂的界面通过配管11、21内壁时产生的气液分配平衡，从配管21的壁面使涂布液溶析在液相中而实现清净化。

作为实际的涂覆装置的清洗机构，为使气体和溶剂在短周期内送出，可以具有使气液混合比率以及送出流量保持数值最优的机构。例如，可以考虑使气体和溶剂的送出压力保持一定的比例，缩减气体和溶剂的流路断面积以限制各自的送出量等，不过本发明并不局限于此。

但是，根据要清洗的涂布液配管的构成、清洗时残留的涂布液以及使用的清洗溶剂的粘度等的不同，最优的气体和溶剂的送出量和混合比率也有所不同，因此，如果能够对它们进行任意的设定，则是非常方便的。

与上述的情况相对应，作为涂覆装置100，可以设计的构成是：具有对溶剂和混合用气体的流量以及混合比率进行调整的功能。

下面参照图3就本发明的第3实施方案进行说明。图3是表示具有清洗机构101的涂覆装置100的一个实例的示意图，该清洗机构101具有对溶剂和混合用气体的流量以及混合比率进行调整的功能。在本实施方案中，清洗机构101的构成是：具有清洗机溶剂供给部1以及清洗机混合用气体供给部2。

清洗机构101包括：收纳溶剂的溶剂容器4，与该溶剂容器4相连接的溶剂配管5，收纳混合用气体的混合用气体储藏容器14，与该混合用气体储藏容器14相连接的混合用气体配管15，连接溶剂配管5的终端和混合用气体配管15的终端的混合用阀10，从该混合用阀10延伸出来的清洗流体送出配管104以及调整所述溶剂的流量、所述混合用气体的流量和它们的混合比率的调整机构。混合用阀10根据溶剂以及所述混合用气体的使用量，利用作为控制机构的控制部(图中未示出)来控制其开闭。所述调整机构的构成例如包括：具有溶剂用开闭阀6，溶剂用送出量调整机构7，混合用气体用开闭阀16以及混合用气体用送出量调整机构17。溶剂用开闭阀6及混合用气体用开闭阀16的开闭可以通过上述控制部来控制。

此外，在图3中，符号8表示作为测量溶剂使用量的溶剂使用量测量机构的溶剂流量计，符号9表示溶剂用过滤器，符号13表示负载传感器(load cell)，符号18表示作为测量混合用气体使用量的气体使用量测量机构的混合用气体流量计。由于其它的构成与第1实施方案相同，所以重复的说明在图中标上同样的符号，在此不再赘述。

在本实施方案的涂覆装置100中，考虑到涂布液配管21的构成、或者涂布液和清洗溶剂的粘度等，通过对溶剂容器4的送出量调整机构7以及混合用气体配管15的混合用气体流量调整阀(混合用气体用送出量调整机构)17的开度进行设定，利用混合用阀10使气体和溶剂以相应设定的任意的比率进行混合，并从引入阀12送入涂布液配管(模涂布机配管)21内。

作为这样调节溶剂和混合用气体的流量及混合比的清洗流体调整机构，可以分别调整混合用气体和溶剂的流量、在清洗流体状态不进行控制的构成是简单而优选的，不过本发明并不局限于此，也可以是如下的构成：如不调节溶剂而进行混合用气体的流量调整和调节整个清洗流体的流量的构成，事先确定混合比并对规定的混合溶剂进行流量调整的构成，以及在全部阶段进行调节的构成等。

另外，流量调整一般通过阀来进行，但也可以通过定量泵等各种机构来进行。再者，作为配管，同样除了单一的三通管接头以外，也可以使用阀等构成清洗流体调整机构的一部分的各种混合器具。

第1～第3的实施方案所表示的涂覆装置100通过向涂布液配管21送出混合了气体和溶剂的清洗流体，使该清洗流体在上述涂布液配管21内流通，从而可以对该该涂布液配管进行清洗。

此外，根据这样的涂覆装置的清洗方法，可以使模头3内和配管21内高效地实现清净化，但在涂布液供应泵20和模头3等液体置换性差且清洗困难的部位，与以前的方法相比，尽管清洗的程度较高，但依然有微量涂布液的残留。

对于这样的液体置换性差且清洗困难的部位，涂覆装置可能的构成是：根据使用溶剂的重量和气体的混合体积，精密控制作为气体或溶剂、或者它们的混合物的所述清洗流体的引入或不引入，由此以良好的效果对该部位进行清洗。在这种情况下，例如采用第3实施方案的涂覆装置100的构成，根据溶剂容器4上所设置的负载传感器13显示的重量变化以及混合用气体配管15上所设置的流量计18的累计值，对照事先测量的清洗困难部位的内容积，进行涂布液的气体置换、溶剂填充、溶剂排出这样的各项操作，可以实现利用由气液界面的通过产生的气液分配平衡的清洗。

下面以图3所示的涂覆装置100适用图4和图5所示的模头3的情况为例，叙述该清洗方法的清洗进程。

在涂覆结束时，模头的歧管28内充满了涂布液。因此，首先从涂布液供给口30送入清洗流体以置换涂布液。

这时，清洗流体中溶剂与涂布液一起从狭缝喷嘴29排出，由于上部积存有气体，所以最终不用担心干燥，包含液体容易滞留的部位在内，全都可以由气体充满其内部。

其次，估算涂布液排尽的时刻，这次只将溶剂送入歧管28内，并用溶剂将其充满。在此，如果模头存在通气口(air vent port)31，则通过将其设定在开的位置，便可以更有效率地填充溶剂。涂布液排尽的时刻可以从歧管28的容积、由装置中所具有的负载传感器13求得的溶剂使用量、以及由混合用气体流量计18所累计的混合用气体使用量的比较中进行判断。

最后，估算歧管28被溶剂充满的时刻，再次送入清洗流体而将溶剂排出。这时，气体从上层积存起来，利用气液界面通过时产生的气液分配平衡，从壁面使涂布液溶析在液相中而实现清净化。

在一次的上述清洗操作效果并不充分的情况下，通过反复进行溶剂填充和排出，也可以期待更加完全的清洗。另外，也可以在清洗结束后只送入气体，由此进行干燥并准备下一道涂覆。被溶剂充满的时刻同样地可以从歧管28的容积与溶剂使用量的比较中进行判断。

当然，溶剂使用量根据重量变化进行测定、气体使用量根据流量的累计来进行测定的上述的方式虽然比较简便，但该测定也可以通过其它手段来进行。

再者，清洗操作的控制除基于这样的使用量进行的控制以外，也可以是通过对照清洗流体、或溶剂和气体的流速等与经过时间来进行的控制等。此时，在涂覆装置100上例如也可以设置控制溶剂流速的溶剂用流速控制机构(例如流速计)、或者控制混合用气体的流速的混合气体用流速控制机构(例如流速计)。另外，涂覆装置100也可以采用如下构成的流速控制机构，即将加压的混合用气体通过阀混合到溶剂中，由此使流入所述阀更下游侧的配管内的溶剂以及混合用气体中的至少一方的流速发生变化。

再者，在具有图3所示的模头3的涂覆装置100中，例如可以从送出量调整机构7以及混合用气体流量调整阀17的开度与清洗经过时间的比较中，计算清洗流体的挤出量来进行操作，可能的话也可以通过清洗度本身的测量来控制清洗操作。

上述清洗时所使用的溶剂并没有特别的限定，作为模头的材质，通常使用金属，考虑到清洗后干燥的容易程度，一般认为甲醇、乙醇、异丙醇、环己烷、丙酮、2-丁酮、二氯甲烷等低沸点有机化合物是合适的。

同样使用的气体也没有特别的限定，但当采用低级醇或低分子酮等具有易燃性的物质作为溶剂时，优选选择氮和氩等不活泼气体。

另外，也可以将使用的溶剂设定为2种或更多种来进行清洗。此时，要准备多个溶剂容器、负载传感器以及溶剂流量计等，通过切换阀将配管连接在混合用阀上。

关于进行上述清洗操作的机构，只要能够实现该清洗的目的，就不管其方式如何，但通过可编程逻辑控制器(PLC)进行各种监视和控制的机构，其控制的时间滞后较少，进行精细的控制比较容易，因而是优选的。

在上述本发明的模涂布机配管清洗方面成为重要因素的是：将清洗流体的气液混合比率以及送出量保持在最优的数值，如上所述，这通过设定溶剂的送出量调整机构7和混合用气体流量调整阀17可以进行调整。但是，即使在清洗同一模涂布机的情况下，用以达到上述气液混合比率和送出量的溶剂的送出量调整机构7和混合用气体流量调整阀17的设定值，通常也未必是恒定不变的。

究其原因，这是因为：上述设定数值不用说是可以随清洗前填充的涂布液种类的不同而不同的，进而甚至可能随清洗的进行引起的配管内涂布液剩余量的减少而发生改变。这是因为随涂布液不同，其粘度不同，而且涂布液会被粘度比通常的涂布液低的溶剂所置换，从而配管对于挤出的阻力发生了变化。

除此以外，即使随着上述清洗环境的变化，用于获得最优气液混合比率的设定值发生改变，也可以动态地进行清洗溶剂的流速控制，从而成为具有维持混合状态的功能的装置。

同样地，即使随着上述清洗环境的变化，用于获得最优气液混合比率的设定值发生改变，也可以动态地进行混合用气体的流速控制，从而成为具有维持混合状态的功能的装置。

上述两装置均根据溶剂容器4上所设置的负载传感器13所示的重量变化率、以及混合用气体配管15上所设置的流量计18的测量值，计算出气液的混合比率和清洗流体的送出量，并通过将结果反馈(feedback)给本发明方案5的装置中的溶剂送出量调整机构7、以及方案6的发明装置中的混合用气体流量调整阀17，来使该功能得以实现。

下面参照图6就本发明的第4实施方案进行说明。本实施方案的涂覆装置100，适合于要求高精度和高精密涂覆的、例如彩色滤波器(colorfilter)、液晶材料、热敏记录材料、经皮吸收制剂之类的构件的涂覆。本实施方案的涂覆装置100包括清洗处理部400，该清洗处理部400具有涂布组件部110、溶剂储藏部300以及干燥气体组件部200。

涂布组件部110包括：涂布液储藏容器19，其用于储藏要涂覆的涂布液；涂布液用过滤器23，在涂布液向模头3供给时，为了使涂布液总是由狭缝喷嘴等均匀地形成为帘状，其用于除去垃圾等异物；涂布液供给泵20，其用于从涂布液储藏容器19输送涂布液；模头3，其使涂布液形成为帘状；涂布液容器26，其用于接住从模头3掉下的涂布液；废液槽27，其用于储存掉落到涂布液容器26的涂布液与供给至模头3的多余的涂布液。除模头3和涂布液容器26以外，各部分的配管使用树脂制管、或不锈钢制管、或在金属制管的内表面施行了树脂加工等的管。

涂布组件部110按如下的方式进行操作，涂布液储藏容器19所储存的涂布液在涂布液供给泵20的驱动下，从涂布液储藏容器19通过位于配管中间的涂布液用过滤器23，进入涂布液供给泵20。进而通过连接在涂布液供给泵20的喷出方向的配管，向模头3供给涂布液。供给至模头3的多余的涂布液从模头3成帘状地流过，没有涂覆的涂布液回收到废液槽27。

从清洗处理部400延伸出来的配管经由引入阀12而与涂布组件部110连接。这时，清洗处理部400与涂布组件部110的连接部位正如图6的双点划线所示的那样，也可以设置在泵20和涂布液用过滤器23之间，或者涂布液用过滤器23和涂布液配管21的端部(涂布液配管21中的插入涂布液储藏容器19的端部)等。

为抑制溶剂冲突(solvent shock)，溶剂储藏部300具有可以储存2种或更多种溶剂的2个或更多个例如4个溶剂罐51a、51b、51c、51d。同上游侧溶剂罐内的溶剂相比，越是下游侧溶剂罐内的溶剂，其与涂布液的相溶性越高。另外，与上游侧溶剂罐内的溶剂相比，越是下游侧溶剂罐内的溶剂，其清洗性越低。

在各个溶剂罐51a、51b、51c、51d中，为了从与涂布液具有相溶性的溶剂依次向清洗性高的溶剂切换，在各溶剂罐51a、51b、51c、51d的上游侧，设置有三通旋塞阀型罐切换用阀53a、53b、53c、53d。此外，罐切换用阀53a、53b、53c、53d的操作可以通过从外部输入操作信号来进行。另外，罐切换用阀53a、53b、53c、53d的操作也可以通过人工操作来进行。

另外，为了消除清洗的偏差，进行溶剂的重量控制的负载传感器54a、54b、54c、54d分别设置在溶剂罐51a、51b、51c、51d的底部。再者，为消除从溶剂容器4输送来的溶剂的清洗偏差，设置有用于控制溶剂流速的溶剂流量控制阀56。在溶剂流量控制阀56的喷出侧，设置有测量溶剂流量的溶剂用流量计52。通过溶剂用流量计52的溶剂经过用于除去溶剂中异物等的溶剂用过滤器55，到达设置了与来自干燥气体组件部200的气体交叉的切换阀57的位置，进而在清洗时，从涂布组件部110的涂布液切换阀12输送用于清洗的溶剂，依次用具有相溶性的溶剂清洗涂布组件部110的配管或模头内部。另外，清洗时也可以混合溶剂与氮等干燥用气体而送入涂布组件部110，从而借助于气液界面来清洗涂布组件部的配管或模头3。溶剂在溶剂用配管70内流动，直达切换阀73。

干燥气体组件部200包括：储藏用于干燥配管或模头3的内部的气体的干燥用气体罐58，用于控制气体流速的干燥用气体的气体流量控制部59，测量通过干燥用气体的气体流量控制部59的气体流量的干燥用气体流量计60，分别对应于各溶剂罐51a、51b、51c、51d而并列设立的4个气体流量控制部。对应于溶剂罐51a的气体流量控制部用于使气体混入到从溶剂罐51a喷出的溶剂中，其具有压力控制阀80a、气体流量控制阀81a以及气体流量计82a。对应于溶剂罐51b的气体流量控制部用于使气体混入从溶剂罐51b喷出的溶剂中，其具有压力控制阀80b、气体流量控制阀81b以及气体流量计82b。对应于溶剂罐51c的气体流量控制部用于使气体混入从溶剂罐51c喷出的溶剂中，其具有压力控制阀80c、气体流量控制阀81c以及气体流量计82c。对应于溶剂罐51d的气体流量控制部用于使气体混入从溶剂罐51d喷出的溶剂中，其具有压力控制阀80d、气体流量控制阀81d以及气体流量计82d。

该涂覆装置100按照如下的方式进行涂覆装置100的清洗。

首先，从溶剂罐51a喷出溶剂。通过对应于溶剂罐51a的气体流量控制部的控制，使气体混入该溶剂中。停止来自于溶剂罐51a的溶剂的喷出。其次，从溶剂罐51b中喷出溶剂。通过对应于溶剂罐51b的气体流量控制部的控制，使气体混入该溶剂中。停止来自于溶剂罐51b的溶剂的喷出。接着从溶剂罐51c中喷出溶剂。通过对应于溶剂罐51c的气体流量控制部的控制，使气体混入该溶剂中。停止来自于溶剂罐51c的溶剂的喷出。继而从溶剂罐51d中喷出溶剂。通过对应于溶剂罐51d的气体流量控制部的控制，使气体混入该溶剂中。停止来自于溶剂罐51d中的溶剂的喷出。最后，完全干燥比切换阀57更下游的下游侧。

如上所述，根据本实施方案的涂覆装置100，即使是要求高精度、高精密地涂覆的情况，也可以良好地清洗涂布组件部110。

此外，在进行配管及模头的清洗时/干燥时，对于与清洗处理部连接的引入阀12的更下游侧、即涂布液储藏容器19侧的配管，清洗用溶剂有可能发生倒流。为此，在涂布液储藏容器19的跟前设置阀，与废液槽27连接，并通过切换来防止涂布液储藏容器19受到污染，不过，优选将涂布液储藏19本身更换成用于接收废液的废液罐等。

另外，溶剂罐51a、51b、51c、51d内的溶剂，可以根据涂布液和相溶性进行适当的选择。例如，涂布液使用的主要溶剂为环己酮溶剂时，可以在环己酮溶剂中用20kPa～100kPa的挤出压力进行清洗，进而使用2-丁酮溶剂在30kPa～100kPa的挤出压力进行清洗。

本发明涉及涂覆装置，特别是清洗采用模头进行涂布的模涂布机配管内部的方法及装置。

Claims (9)

1、一种涂覆装置(100)，其具有模头(3)、涂布液供给泵(20)、涂布液储藏容器(19)和与它们连接的涂布液配管(21)，所述涂覆装置(100)的特征在于：

在所述涂布液配管(21)上连接着清洗机构(101)，该清洗机构(101)交替地送出气体和溶剂，且以气体和溶剂的界面的通过来清洗所述涂布液配管。

2、根据权利要求1所述的涂覆装置(100)，其特征在于：

所述涂布液储藏容器(19)设置在所述涂布液配管(21)的端部；

所述涂布液配管(21)包括配管(11)，所述配管(11)在取下所述涂布液储藏容器(19)时，具有可以连接到所述端部的连接机构(22)；

所述清洗机构(101)与所述配管(11)相连接。

3、根据权利要求1或2所述的涂覆装置(100)，其特征在于：所述清洗机构(101)具有：

收纳溶剂的溶剂容器(4)；

与该溶剂容器(4)相连接的溶剂配管(5)；

收纳混合用气体的混合用气体储藏容器(14)；

与该混合用气体储藏容器(14)相连接的混合用气体配管(15)；

连接所述溶剂配管(5)的终端和所述混合用气体配管(15)的终端的混合用阀(10)；

从该混合用阀(10)延伸出来的清洗流体送出配管(104)；以及

调整所述溶剂的流量、所述混合用气体的流量和它们的混合比率的调整机构(7、17、6、16)。

4、根据权利要求3所述的涂覆装置(100)，其特征在于：

设置有测量所述溶剂的使用量的溶剂使用量测量机构(8)；

设置有测量所述混合用气体的使用量的气体使用量测量机构(18)；

进一步具有根据所述溶剂和所述混合用气体的使用量来控制所述混合用阀(10)的开闭的控制机构。

5、根据权利要求3所述的涂覆装置(100)，其特征在于：所述涂覆装置(100)进一步具有控制所述溶剂流速的流速控制机构。

6、根据权利要求3所述的涂覆装置(100)，其特征在于：所述涂覆装置(100)进一步具有控制所述混合用气体流速的流速控制机构。

7、根据权利要求1所述的涂覆装置(100)，其特征在于：所述清洗机构(101)使用2种或更多种溶剂，而且具有下列机构，该机构使溶剂按照从与涂布液相溶性高的溶剂到相溶性低的溶剂的顺序依次流过。

8、一种涂覆装置的清洗方法，其对具有模头(3)、涂布液供给泵(20)、涂布液储藏容器(19)以及与它们相连接的涂布液配管(21)的涂覆装置(100)进行清洗，其特征在于：向所述涂布液配管(21)交替送出气体和溶剂，由此使它们在所述涂布液配管(21)内流通，借助于气体和溶剂的界面而对该涂布液配管进行清洗。

9、根据权利要求8所述的涂覆装置的清洗方法，其特征在于：其使用2种或更多种的溶剂，而且使溶剂按照从与涂布液相溶性高的溶剂到相溶性低的溶剂的顺序依次流过。

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