CN102179349B - 涂布装置及其液体材料的更换方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种涂布装置及其液体材料的更换方法。涂布装置包括储存槽、排空组件、清洗液阀开关、第二液体材料阀开关及控制单元，所述方法包括如下步骤：利用控制单元来控制排空组件，以排出储存槽内的第一液体材料；利用控制单元来控制清洗液阀开关，以通入清洗溶液于储存槽内；利用所述控制单元来控制排空组件，以排出储存槽内的清洗溶液；以及利用控制单元来控制第二液体材料阀开关，以通入第二液体材料于所述储存槽内。本发明可避免人为操作所造成的错误并可减少在清洗涂布装置或及更换液体材料时所耗费的人力和时间。

Description

涂布装置及其液体材料的更换方法
【技术领域】
本发明涉及一种涂布装置及其液体材料的更换方法，特别是涉及一种可自动化更换液体材料的涂布装置及其液体材料的更换方法。
【背景技术】
通常，涂布装置是用以液体材料于一表面上，以形成一均匀薄膜于此表面上。例如，在半导体组件制程(semiconductor devicefabrication)中，涂布装置可用以涂布光阻于一基材(例如晶圆)上，以形成一均匀光阻层于此基材上。
对应于不同的制程，涂布装置则需更换不同的液体材料，以涂布不同的薄膜于基材上。再者，为了设备的维护，需定期或不定期地清洗涂布装置的流体储放槽、流体管路或涂布头。
然而，目前涂布装置的液体材料更换过程或清洗过程大多是通过人工操作来进行。如此，人工操作需耗费较多的人力及时间，且容易发生操作错误，因而容易影响涂布制程的效率和质量。
故，有必要提供一种涂布装置及其液体材料的更换方法，以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的主要目的在于提供一种涂布装置，所述涂布装置包括：
涂布组件；
至少一储存槽，连接于所述涂布组件；
排空组件，连接于所述涂布组件与所述储存槽之间，用以排出第一液体材料及/或清洗溶液；
清洗液阀开关，设置于清洗溶液槽与所述储存槽之间，用以切换所述清洗溶液的通入；
第二液体材料阀开关，设置于第二液体材料槽与所述储存槽之间，用以切换第二液体材料的通入；以及
控制单元，电性连接于所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关，用以控制所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关；
其中，在通入第二液体材料于所述储存槽内之后，所述控制单元控制所述排空组件来排出所述储存槽内的所述第二液体材料。
本发明的另一目的在于提供一种涂布装置的液体材料的更换方法，所述涂布装置包括至少一储存槽、排空组件、清洗液阀开关、第二液体材料阀开关及控制单元，所述排空组件是用以排出第一液体材料及/或清洗溶液，所述清洗液阀开关是用以切换所述清洗溶液的通入，所述第二液体材料阀开关是用以切换第二液体材料的通入，所述控制单元是电性连接于所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关，所述方法包括如下步骤：
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述储存槽内的所述第一液体材料；
利用所述控制单元来控制所述清洗液阀开关，以通入所述清洗溶液于所述储存槽内；
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述储存槽内的所述清洗溶液；以及
利用所述控制单元来控制所述第二液体材料阀开关，以通入第二液体材料于所述储存槽内；以及
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述储存槽内的所述第二液体材料。
在本发明的一实施例中，所述控制单元是依据预设的更换程序或指令来控制所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关。
在本发明的一实施例中，所述储存槽包括第一储存槽与第二储存槽，所述涂布装置还包括自动泵，其连接于所述第一储存槽与所述第二储存槽之间。
在本发明的一实施例中，所述涂布装置还包括自动泵，其连接于所述排空组件与所述涂布组件之间。
在本发明的一实施例中，所述涂布装置还包括涂布组件，所述方法还包括如下步骤：
在排出所述储存槽内的所述第一液体材料后，利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述涂布组件内的所述第一液体材料。
在本发明的一实施例中，所述方法还包括如下步骤：
在排出所述储存槽内的所述清洗溶液后且在通入第二液体材料于所述储存槽内之前，利用所述控制单元来控制所述清洗液阀开关，以通入所述清洗溶液于所述涂布组件及所述储存槽；
利用所述控制单元来控制所述涂布组件，使所述涂布组件持续地喷出所述清洗溶液；以及
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述涂布组件及所述储存槽内的所述清洗溶液。
在本发明的一实施例中，所述涂布装置还包括涂布组件，所述方法还包括如下步骤：
在排出所述储存槽内的所述第二液体材料后，利用所述控制单元来控制所述第二液体材料阀开关，以通入所述第二液体材料于所述涂布组件及所述储存槽内。
在本发明的一实施例中，所述方法还包括如下步骤：
利用所述控制单元来控制所述涂布组件，使所述涂布组件在一预设时间内持续地喷出所述第二液体材料；以及
利用所述控制单元来控制所述涂布组件，以停止所述第二液体材料的喷出。
相较于现有涂布装置的液体材料的人为更换过程，本发明的涂布装置及其液体材料的更换方法可自动地进行液体材料的更换，以避免人为操作所造成的错误，并可减少在清洗涂布装置或及更换液体材料时所耗费的人力和时间，进而可提升设备的产能。
为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
【附图说明】
图1显示依照本发明的较佳实施例的涂布装置的示意图；
图2显示依照本发明的较佳实施例的自动泵、气动阀开关及控制单元的方块示意图；
图3显示依照本发明的较佳实施例的涂布装置的液体材料的更换方法的方法流程图；以及
图4至图14显示依照本发明的较佳实施例的涂布装置的示意图。
【具体实施方式】
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。
请参照图1及图2，图1显示依照本发明的较佳实施例的涂布装置的示意图，图2显示依照本发明的较佳实施例的自动泵、气动阀开关及控制单元的方块示意图，本实施例的涂布装置100可用以涂布液体材料(例如光阻)于基材(例如晶圆或玻璃基板)的表面上，因而可形成薄膜于基材上，涂布装置100可包括涂布组件102、第一储存槽104、第二储存槽106、自动泵108、110、112及114、气动阀开关116、118、120、122、124、126、128、130、132、134及136、手动阀开关138及140、控制单元142(如图2所示)、过滤器144及多条管路146。涂布组件102例如为旋转式涂布头(spin coating head)、狭缝式涂布头(slit coating head)或喷墨印刷头(inkjet printing head)，用以形成均匀的薄膜于基材上。如图1所示，储存槽104、106是通过管路146连接涂布组件102，用以储存涂布组件102所涂布的液体材料；自动泵108-114是设置于储存槽104、106与涂布组件102之间，用以抽吸液体材料；气动阀开关116-136及手动阀开关138-140是设置管路146上，以选择性地开启或关闭管路146。如图1与图2所示，控制单元142例如为CPU、多重处理单元、一降低的指令组(RISC)计算机、具有一处理路线的一处理器、一复杂的指令组计算机(CISC)、数字讯号处理器(DPS)或类似单元，其电性连接于自动泵108-114及气动阀开关116-136，用以控制自动泵108-114及气动阀开关116-136。如图1所示，过滤器144可设置于第一储存槽104及第二储存槽106之间，用以过滤液体材料。
如图1所示，第一及第二自动泵108及110是设置于第一储存槽104与过滤器144之间。第三自动泵112是设置于第二储存槽106与涂布组件102之间，用以排出材料至涂布装置100外，亦即第三自动泵112可用作为一排空组件。第四自动泵114是设置于第三自动泵112(排空组件)与涂布组件102之间。
如图1所示，第一气动阀开关116是设置于一第二液体材料槽(图未示)与第二气动阀开关118之间(亦即第一气动阀开关116可用作为一第二液体材料阀开关)，第二气动阀开关118是设置于手动阀开关138与第一储存槽104之间，第三气动阀开关120是设置于一清洗溶液槽(未显示)与第一储存槽104之间(亦即第三气动阀开关120可用作为一清洗液阀开关)，第四气动阀开关122是设置于第一储存槽104与过滤器144之间，第五气动阀开关124是设置于过滤器144与第二储存槽106之间，第六气动阀开关126是设置于第二储存槽106与自动泵112之间，第七气动阀开关128是设置于第六气动阀开关126与第四自动泵114之间，第八气动阀开关130是设置于清洗溶液槽与涂布组件102之间(亦即第八气动阀开关130亦可用作为清洗液阀开关)，第九气动阀开关132是设置于涂布组件102与外部之间，第十及第十一气动阀开关134及136是设置于第八气动阀开关130与涂布组件102之间。第一手动阀开关138是设置于第二气动阀开关118与第一液体材料槽(未显示)之间，第二手动阀开关140是设置于第四气动阀开关122与过滤器144之间。
如图2所示，本实施例的控制单元142可依据一预设的更换程序或指令(instruction)来控制自动泵108-114及气动阀开关116-136(包括清洗液阀开关、排空组件及第二液体材料阀开关)，以使涂布装置100自动地进行液体材料的更换及清洗，因而可减少人工操作的错误以及液体材料的更换时间。
请参照图3至图14，图3显示依照本发明的较佳实施例的涂布装置的液体材料的更换方法的方法流程图，图4至图14显示依照本发明的较佳实施例的涂布装置的示意图。如图3和图4所示，在步骤S201中，可利用控制单元142来控制排空组件(自动泵112)，以排出储存槽104及106内的第一液体材料。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116、118、120、122、128、132、134及136，且开启第五及第六气动阀开关124及126，接着，启动自动泵108、110及112。因此，储存槽104及106内的第一液体材料可通过排空组件(自动泵112)来排出自涂布装置100之外。此第一液体材料是在更换液体材料前储存于储存槽104及106内，亦即第一液体材料为涂布装置100所使用的原液体材料。
如图3和图5所示，在步骤S202中，可利用控制单元142来控制排空组件(自动泵112)，以排出涂布组件102内的第一液体材料。此时，可利用控制单元142来关闭第一至第五气动阀开关116-124及自动泵108及110，且开启第六至第十一气动阀开关126-136，接着，启动第三自动泵112，以排空涂布组件102内的第一液体材料。
在一实施例中，上述步骤S201及S202亦可同时进行，亦即可利用控制单元142来控制排空组件(自动泵112)，以同时排出储存槽104及106及涂布组件102内的第一液体材料。然不限于此，在其它实施例中，步骤S202亦可被省略，而仅进行步骤S201。
如图3和图6所示，在步骤S203中，可利用控制单元142来控制清洗液阀开关(气动阀开关120)，以通入清洗溶液于储存槽104及106内，因而可进行储存槽104及106的清洗。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116、118、126、128、130、132、134及136及自动泵112及114，且开启第三至第五气动阀开关120-124，接着，启动自动泵108及110，以通入清洗溶液于储存槽104及106内。
如图3和图7所示，在步骤S204中，可利用控制单元142来控制排空组件(自动泵112)，以排出储存槽104及106内的清洗溶液。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116、118、120、122、128、130、132、134及136及自动泵114，且开启第五及第六气动阀开关124及126，接着，启动自动泵108、110及112，以排出储存槽104及106内的清洗溶液。
值得注意的是，上述步骤S203及S204的清洗过程可进行一次或多次，以确保储存槽内104及106的清洗效果。
如图3和图8所示，在步骤S205中，可利用控制单元142来控制清洗液阀开关(气动阀开关120、130)，以通入清洗溶液于涂布组件102、储存槽104及106及管路146内，因而可进行整体涂布装置100的清洗。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116、118及126及自动泵112，且开启气动阀开关120、122、124、128、130、132、134及136，接着，启动自动泵108、110及114，以通入清洗溶液于涂布组件102、储存槽104及106及管路146内。再者，在步骤S205中，可利用控制单元142来控制涂布组件102，使涂布组件102持续地喷出清洗溶液，而达到涂布组件102的清洗效果。
如图3和图9所示，在步骤S206中，可利用控制单元142来控制排空组件(自动泵112)，以排出涂布组件102、储存槽104及106及管路146内的清洗溶液。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116、118、120及122及自动泵108、110及114，且开启第五至第十一气动阀开关124-136，接着，启动自动泵112(排空组件)，以排出涂布组件102、储存槽104及106及管路146内的清洗溶液。
值得注意的是，上述步骤S205及S206的清洗过程亦可进行一次或多次，以确保整体涂布装置100的清洗效果。
在一实施例中，亦可省略上述步骤S203及S204，而直接进行上述步骤S205及S206，以同时清洗涂布组件102、储存槽104及106及管路146。然不限于此，在其它实施例中，步骤S205与S206亦可被省略。
如图3和图10所示，在步骤S207中，可更换过滤器144，避免第一液体材料或清洗溶液残留于过滤器144中。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116-136及自动泵108-114，并可手动地过滤器144。
如图3和图11所示，在步骤S208中，可利用控制单元142来控制第二液体材料阀开关(第一气动阀开关116)，以通入第二液体材料于储存槽104及106内。此时，可利用控制单元142来关闭第六至第十一气动阀开关126-136及自动泵112及114，且开启第一至第五气动阀开关116-124，接着，启动自动泵108及110，以通入第二液体材料于储存槽104及106内。在此步骤S208中，所通入的第二液体材料可与储存槽104及106内残留的溶剂(第一液体材料或清洗溶液)进行反应。此第二液体材料是在更换液体材料后储存于储存槽104及106内，亦即第二液体材料为涂布装置100所使用的新液体材料，其中此第二液体材料的种类可相同或不同于第一液体材料。
如图3和图12所示，在步骤S209中，可利用控制单元142来控制排空组件(自动泵112)，以排出储存槽104及106内的第二液体材料。因此，可通过第二液体材料来进一步清洗储存槽104及106。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关116、118、120、122、128、130、132、134及136及自动泵114，且开启第五及第六气动阀开关124及126，接着，启动自动泵108、110及112，以排出储存槽104及106内的第二液体材料。
如图3和图13所示，在步骤S210中，可利用控制单元142来控制第二液体材料阀开关(第一气动阀开关116)，以通入第二液体材料于涂布组件102、储存槽104及106及管路146内，因而可通过第二液体材料来进行整体涂布装置100的清洗。再者，在步骤S210中，可利用控制单元142来控制涂布组件102，使涂布组件102在一预设时间内持续地喷出第二液体材料，而达到涂布组件102的清洗效果。此时，可利用控制单元142来关闭气动阀开关120及126及自动泵112，且开启气动阀开关116、118、122、124、128、130、132、134及136，接着，启动自动泵108、110及114，以通入第二液体材料于涂布组件102、储存槽104及106及管路146内。
如图3和图14所示，在步骤S211中，可利用控制单元142来控制涂布组件102，以停止第二液体材料的喷出，接着，可使用例如无尘布(clean wiper)来擦拭涂布组件102的喷嘴，以避免溶剂或异物的残留，因而完成涂布装置100的液体材料的更换。
值得注意的是，本实施例的控制单元142可依据一预设的更换程序或指令(instruction)来控制每一组件(自动泵108-114及气动阀开关116-136)的执行时间及次数，亦即可利用控制单元142来控制每一步骤的进行时间(例如5分钟)及次数，以确保每一步骤的执行。例如，控制单元142可控制第一液体材料的排空时间及次数、清洗溶液的通入时间及次数、清洗溶液的排空时间及次数、以及第二液体材料的通入时间及次数。
因此，当进行涂布装置100的清洗及液体材料的更换时，使用者可输入预设的程序或指令于控制单元142中，使得控制单元142可控制自动泵108-114及气动阀开关116-136来自动地进行涂布装置100的清洗及液体材料的更换，而可具有自动化的效果，以避免人为错误，并可减少维护设备的人力和时间。
由上述可知，本发明的涂布装置及其液体材料的更换方法可自动地进行液体材料的更换，以避免人为操作所造成的错误，并可减少在清洗涂布装置或及更换液体材料时所耗费的人力和时间。再者，由于操作的自动化，本发明的涂布装置及其液体材料的更换方法可减少更换时间，因而提升设备的产能。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (9)

1.一种涂布装置，其特征在于：所述涂布装置包括：
涂布组件；
至少一储存槽，连接于所述涂布组件；
排空组件，连接于所述涂布组件与所述储存槽之间，用以排出第一液体材料及/或清洗溶液；
清洗液阀开关，设置于清洗溶液槽与所述储存槽之间，用以切换所述清洗溶液的通入；
第二液体材料阀开关，设置于第二液体材料槽与所述储存槽之间，用以切换第二液体材料的通入；以及
控制单元，电性连接于所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关，用以控制所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关；
其中，在通入第二液体材料于所述储存槽内之后，所述控制单元控制所述排空组件来排出所述储存槽内的所述第二液体材料。
2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：所述控制单元是依据预设的更换程序或指令来控制所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关。
3.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：所述储存槽包括第一储存槽与第二储存槽，所述涂布装置还包括自动泵，其连接于所述第一储存槽与所述第二储存槽之间。
4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：所述涂布装置还包括自动泵，其连接于所述排空组件与所述涂布组件之间。
5.一种涂布装置的液体材料的更换方法，其特征在于：所述涂布装置包括至少一储存槽、排空组件、清洗液阀开关、第二液体材料阀开关及控制单元，所述排空组件是用以排出第一液体材料及/或清洗溶液，所述清洗液阀开关是用以切换所述清洗溶液的通入，所述第二液体材料阀开关是用以切换第二液体材料的通入，所述控制单元是电性连接于所述清洗液阀开关、所述排空组件及所述第二液体材料阀开关，所述方法包括如下步骤：
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述储存槽内的所述第一液体材料；
利用所述控制单元来控制所述清洗液阀开关，以通入所述清洗溶液于所述储存槽内；
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述储存槽内的所述清洗溶液；
利用所述控制单元来控制所述第二液体材料阀开关，以通入第二液体材料于所述储存槽内；以及
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述储存槽内的所述第二液体材料。
6.根据权利要求5所述的更换方法，其特征在于：所述涂布装置还包括涂布组件，所述方法还包括如下步骤：
在排出所述储存槽内的所述第一液体材料后，利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述涂布组件内的所述第一液体材料。
7.根据权利要求6所述的更换方法，其特征在于：所述方法还包括如下步骤：
在排出所述储存槽内的所述清洗溶液后且在通入第二液体材料于所述储存槽内之前，利用所述控制单元来控制所述清洗液阀开关，以通入所述清洗溶液于所述涂布组件及所述储存槽；
利用所述控制单元来控制所述涂布组件，使所述涂布组件持续地喷出所述清洗溶液；以及
利用所述控制单元来控制所述排空组件，以排出所述涂布组件及所述储存槽内的所述清洗溶液。
8.根据权利要求5所述的更换方法，其特征在于：所述涂布装置还包括涂布组件，所述方法还包括如下步骤：
在排出所述储存槽内的所述第二液体材料后，利用所述控制单元来控制所述第二液体材料阀开关，以通入所述第二液体材料于所述涂布组件及所述储存槽内。
9.根据权利要求8所述的更换方法，其特征在于：所述方法还包括如下步骤：
利用所述控制单元来控制所述涂布组件，使所述涂布组件在一预设时间内持续地喷出所述第二液体材料；以及
利用所述控制单元来控制所述涂布组件，以停止所述第二液体材料的喷出。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105499081B (zh) * 2016-01-26 2017-12-29 深圳市华星光电技术有限公司 光阻储液罐和光阻涂布机
CN110876992A (zh) * 2018-08-31 2020-03-13 长鑫存储技术有限公司 材料供应装置、材料供应系统及材料供应方法
CN110039906B (zh) * 2019-06-17 2019-09-13 蒙娜丽莎集团股份有限公司 一种陶瓷喷墨机加墨检测装置及其使用方法
CN110449312A (zh) * 2019-08-30 2019-11-15 武汉东环车身系统有限公司 用于交叉臂式升降器齿板的自动涂油装置及齿板涂油方法
EP3809112A1 (en) * 2019-10-18 2021-04-21 Sysmex Corporation Washing method for staining bath in smear sample preparing apparatus, and smear sample preparing apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4881563A (en) * 1986-09-05 1989-11-21 General Motors Corporation Paint color change system
DE3725172A1 (de) * 1987-05-27 1989-02-09 Behr Industrieanlagen Verfahren und anlage zum elektrostatischen beschichten mit leitfaehigem material
JPH06246201A (ja) * 1993-02-22 1994-09-06 Trinity Ind Corp 多色塗装装置の色替え洗浄方法および該方法を使用する多色塗装装置
JP3460450B2 (ja) * 1996-06-24 2003-10-27 Ｊｆｅスチール株式会社 塗装装置
JP2000312841A (ja) * 1999-04-30 2000-11-14 Nissan Motor Co Ltd 静電塗装装置
JP3986854B2 (ja) * 2002-03-14 2007-10-03 富士通株式会社 薬液塗布装置及びその薬液管理方法
JP3988676B2 (ja) * 2003-05-01 2007-10-10 セイコーエプソン株式会社 塗布装置、薄膜の形成方法、薄膜形成装置及び半導体装置の製造方法
JP4590877B2 (ja) * 2004-02-09 2010-12-01 凸版印刷株式会社 塗工装置
CN1905951B (zh) * 2004-10-12 2010-12-08 凸版印刷株式会社 具有清洗机构的涂覆装置、涂覆装置的清洗方法以及用于涂覆装置的清洗机构
KR101258552B1 (ko) * 2005-04-13 2013-05-02 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드 분사 코팅제 도포구 시스템

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