KR101113848B1 - 도공장치 및 도공장치의 세정방법 - Google Patents

Abstract

다이 헤드(3)와, 도공액 공급 펌프(20)와, 도공액 저장 용기(19)와, 이것들을 접속하는 도공액 배관(21)을 구비하는 도공장치(100)에 있어서, 상기 도공액 배관(21)에, 기체와 용제를 번갈아 송출하고, 기체와 용제의 계면의 통과로 상기 도공액 배관을 세정하는 세정수단(101)이 접속되어 있다.

도공장치, 세정, 다이 헤드, 도공액, 펌프, 저장 용기, 배관.

Description

도공장치 및 도공장치의 세정방법{COATING MACHINE AND METHOD FOR CLEANING COATING MACHINE}

본 발명은, 도공장치, 특히 다이 헤드(die-head)에 의해 도포를 행하는 다이 코터(die-coater) 배관(도공액 배관)의 내부를 세정하는 것이 가능한 도공장치(coating machine) 및 도공장치의 세정방법에 관한 것이다.

종래, 도공장치를 사용하여 도공하는 경우에는, 그라비아 코트(gravure coat), 롤 코트(roll coat), 슬라이드 코트(slide coat), 커튼 코트(curtain coat),익스트루젼 코트(extrusion coat) 등의 여러 방식이 용도에 따라 사용되고 있다. 그중에서도, 품질이 높은 안정한 도공을 고속으로 행할 때는, 익스트루젼 코트 또는 커튼 코트 또는 슬라이드 코트 등이 채용되고, 슬릿 노즐(slit nozzle)을 갖는 다이 헤드가 사용되고 있다.

슬릿 노즐을 갖는 다이 헤드로서는, 도공량의 폭방향의 균일화를 도모하기 위해서, 슬릿의 개구 두께(갭(gap))을 좁게 설정하고, 게다가 매니폴드(manifold)는 비교적 큰 용적을 확보하는 것이 일반적이다.

그러나, 상기 다이 헤드는 미소한 개구부와 그 직전의 대용적의 액 저류부를 갖는 구조 때문에, 내부의 액 치환성이 나쁘다. 게다가, 상기 다이 헤드는, 다량 의 액체를 일시에 흘리는 것이 곤란하여, 도공액의 교체 발생시 등 세정이 필요하게 되었을 때에 세정성이 극히 나쁘다고 하는 문제를 안고 있다.

따라서, 상술한 바와 같은 다이 헤드의 세정을 실제로 행하는 상황에서는, 다량의 용제 등을 긴 시간에 걸쳐서 통액시키고 있다. 또는, 보다 확실한 효과를 기하기 위해서, 다이 헤드를 분해하여 청소하는 것과 같은 대응이 취해지고 있다. 따라서, 어느 경우도, 시간적으로도 작업량적으로도 과대한 부하로 되고 있다.

상기의 문제에 대하여, 일본 특개평7-132267호 공보에, 다이 헤드 내부를 단시간에 효율적으로 세정하는, 슬릿 노즐을 갖는 도포 헤드(head)의 세정방법이 제안되어 있다.

또한, 일본 특개2003-10767호 공보에 공개되어 있는 바와 같이, 다이 헤드의 슬릿 노즐 선단에 잔류한 고형화 하고 있는 도공액을, 작업능률의 저하를 초래하지 않고 완전하게 제거할 수 있는, 슬릿 노즐의 세정방법 및 세정기구도 알려져 있다.

한편으로, 다이 헤드에 도공액을 공급하기 위해서 이 다이 헤드에 접속되는 배관 부분에서는, 다이 헤드의 슬릿 노즐 선단으로부터 도공액을 균일하고 또한 안정하게 토출시킬 목적으로, 도공액용 필터(filter)나 도공액 공급 펌프(정류량 펌프(pump)) 등이 부착되는 것이 일반적이다.

따라서 배관부분도, 내면이 복잡한 형상을 이루고 있거나, 또는 대용적의 액 저류 구조로 되어 있는 개소를 갖는 결과가 되어, 세정성이 매우 나쁘다. 그 때문에, 이것(배관 부분)도, 실제로 세정을 행하는 상황에서는, 다량의 용제 등을 긴 시간에 걸쳐서 통액시키고 있다. 또는, 보다 확실한 효과를 기하기 위해서, 펌프 등에 있어서는 분해해서 청소하고, 배관에 있어서는 경우에 따라 새 것으로 교환하는 것과 같은 대응이 취해지고 있다. 따라서, 어느 경우도, 다이 헤드 내부의 세정과 동일하게 과대한 부하로 되고 있다.

상기의 문제에 대해서는, 일본 특개평9-85153호 공보에 공개되어 있는 바와 같이, 압축 기체 또는 피그(pig)를 사용함으로써, 세정시의 도료 로스(loss)를 저감하는 동시에 소량의 세정 용제를 사용하여 단시간에 효율적으로 세정할 수 있는, 다이 코터(die-coater) 도료 세정장치가 알려져 있다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

다이 코터 방식의 도공장치의 이러한 나쁜 세정성에 대하여, 일본 특개평7-132267호 공보에 기재되어 있는 기술에서는, 다이 헤드 내부에 용제를 도입함과 동시에, 배관의 다이 헤드 접속부 부근으로부터 불활성가스(inert gas)를 불어 넣음으로써 용제를 「기포류」화 시켜, 다이 헤드의 매니폴드 내벽 및 슬릿 노즐을 효율적으로 세정하고자 하고 있다.

그러나 이 방법에서는, 보다 소량의 도공액을 정밀하게 도포하는 것이 요구되는 분야, 예를 들면 액정표시장치용 컬러 필터(color filter)의 제조 등에 있어서 사용되는 슬릿 갭 0.1mm 전후의 다이 헤드에 대해서는 충분한 효과를 얻을 수 없다. 또, 배관부분에 대해 이 방법을 적용할 수는 없다.

왜냐하면, 일본 특개평7-132267호 공보의 실시예에 의하면, 슬릿 갭(slit gap) 0.5mm의 다이 헤드에 대해 3.0 l/min의 세정액을 흘리면서 1.0 l/min의 질소를 불어 넣고 있다. 실제로, 이 정도의 유량을 확보할 수 없으면 액체 내에 기포가 분산된 난류인 「기포류」로 되지 않는다. 통상 30～300 ml/min 정도의 토출량으로 사용되는 상기 슬릿 갭 0.1mm 전후의 다이 헤드에서 이러한 큰 유량을 얻는 것은 극히 곤란하여, 결과적으로, 세정액은 기액(氣液)의 2층으로 분리되어버려서 소기의 세정상태를 유지할 수 없기 때문이다.

또, 배관부분에 있어서도, 좁고 또한 긴 관 내를 통과하는 동안에 기포류는 분산 상태를 잃어버려 2층으로 분리되어버리기 때문에, 마찬가지로 소기의 세정상태를 유지할 수 없다.

일본 특개2003-10767호 공보에서는, 다이 헤드의 슬릿 노즐 선단에 대하여, 앙각을 만들어 놓여진 노즐로부터 세정액을, 복각을 만들어 놓여진 노즐로부터 에어(air)을 분사하여 세정을 행하는 방법 및 기구가 개시되어 있다. 그러나, 이것은 노즐 외측을 대상으로 하는 것이며, 내면의 세정에 대해서는 상정되어 있지 않다.

또, 일본국의 일본 특개평9-85153호 공보에는, 압축 기체를, 배관 내에 직접 도입하거나, 또는 피그를 삽입한 뒤에 압축 기체에 의해, 이것(압축 기체)을 이동시킴으로써 배관 내에 잔류하는 도료를 제거하여, 계속되는 세정을 용이하게 하는 장치에 대해 기재되어 있다.

또한 동 공보에는, 도료 밀어내기 후의 배관에, 압축 기체와 세정용 용제를 믹스(mix) 한 기체혼합 세제를 공급함으로써 세정용 용제만을 밀어보내는 경우에 비해서 세정효과를 저하시키지 않고, 소량의 세정용 용제로 배관 세정을 가능하게 하는 장치에 대해서도 기술되어 있다.

그러나, 이들 어느 장치를 가지고 해도, 도공액 공급 펌프 등이 접속된 배관부분 및 다이 헤드 전체에 대해서는, 적용할 수 없거나, 또는 적용할 수 있어도 충분한 효과를 올릴 수 없다.

왜냐하면, 압축 기체를 배관 내에 직접 도입한 경우, 기체 도입후도 배관 내에 잔류하는 도료(도공액)가 건조하여 이물이 될 우려가 있기 때문이다. 또, 피그를 삽입하여 이동시킬 경우, 금속분의 도포막으로의 혼입을 꺼리는 분야 등에서 종종 사용되는 수지 배관을 손상시킬 우려가 있기 때문이다.

보다 소량의 도공액을 정밀하게 도포하는 것이 요구되는 분야에 있어서, 도공액의 건조 이물 발생은 즉 도포막 불량 발생을 의미하는 것이다. 또, 배관이 손상되면 도공액을 보다 떼어내기 어렵게 되는 원인이 되기도 한다. 또한, 피그에는, 펌프 등의 내면 형상이 복잡한 개소나 슬릿 노즐 등의 협소 개소에서 막히는 문제가 있다.

다른 한편, 기체혼합 세제를 공급하는 경우에서도, 장치에 기체와 용제의 혼합을 제어하는 기구를 특별히 설치하지 않는 한, 펌프나 다이 헤드부의 세정은 불완전하게 된다. 실제로, 일본국의 일본 특개평9-85153호 공보에는, 펌프에 대해 용이하게 분리?분해 청소가 행해지도록 배관 이음에 의해 접속해야 한다는 내용의 기술이 있다.

본 발명은, 상기한 도공장치의 세정에 있어서의 종래의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 복잡한 배관 경로를 갖는 다이 코터에서, 특히 보다 소량의 도공액을 정밀하게 도공하는 것이 요구되는 것에 대하여, 비분해인 채로 단시간에 내부를 양호하게 세정하는 세정수단을 구비한 도공장치 및 도공장치의 세정방법을 제공한다.

[발명을 해결하기 위한 수단]

청구항 1에 따른 본원발명은, 다이 헤드와, 도공액 공급 펌프와, 도공액 저장 용기와, 이것들을 접속하는 도공액 배관으로 이루어지는 도공장치에 있어서, 상기 도공액 배관에 세정수단이 접속되는 것을 특징으로 하는 도공장치를 제공한다. 이와 같이 함으로써, 상기 도공액 배관 도중으로부터, 기체와 용제를 번갈아 송출한 세정 유체를 임의의 기액비율에 유지하면서, 이 세정 유체를 이 도공액 배관에 송출하는 것이 가능하게 되어, 다이 코터 배관 및 다이 헤드 내부를 높은 효과로 청정화 할 수 있는 세정을 행할 수 있는 도공장치를 제공할 수 있다.

청구항 2에 따른 본원발명은, 청구항 1 기재의 도공장치에 있어서, 세정수단이 도공액 저장기로부터 떼어낸 도공액 배관의 단부를 연결할 수 있는 기구를 갖는 배관에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 도공장치를 제공한다. 이렇게 함으로써, 상기 도공액 배관 단부를 세정수단에 연결하여, 청구항 1과 같은 세정을 행할 수 있는 도공장치를 제공할 수 있다.

청구항 3에 따른 본원발명은, 청구항 1 또는 2 기재의 도공장치에 있어서, 세정수단이 용제 용기와, 이 용제 용기에 접속되어 있는 용제 배관과, 혼합용 기체 저장용기와, 이 혼합용 기체 저장용기에 접속되어 있는 혼합용 기체 배관과, 상기 용제 배관의 종단과 혼합용 기체 배관의 종단을 접속하는 혼합용 밸브와, 이 혼합용 밸브로부터 뻗어나오는 세정 유체 배관을 구비하고 있고, 용제와 혼합용 기체의 유량 및 혼합비율을 조정하는 기능을 갖는 것을 특징으로 한 도공장치를 제공한다. 이렇게 함으로써, 상기 혼합용 밸브로 섞어진 세정 유체를 임의인 기액 비율로 유지하면서 송출하는 것이 가능하게 되어, 다이 코터 배관 및 다이 헤드 내부를 높은 효과로 청정화 할 수 있는 도공장치를 제공할 수 있다.

청구항 4에 따른 본원발명은, 용제 용기에 용제 사용량 측정기구를, 혼합용 기체 저장용기에 기체 사용량 측정기구를 구비하고, 용제 및 혼합용 기체의 사용량 에 따라 상기 혼합용 밸브의 개폐를 제어하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 3 기재의 도공장치를 제공한다. 이렇게 함으로써, 용제 또는 기체, 또는 그 혼합물인 상기 세정 유체의 도입?비도입을, 용제?기체의 사용량에 따라 미세하게 제어하는 것을 통해, 상기 다이 코터에서의 액 치환성이 나빠 세정이 곤란한 부위에 대해, 건조를 수반하지 않고 도공액을 기체로 치환하고, 이어서 내부의 액면을 상하이동시켜 기액 계면의 통과로 발생하는 기액 분배평형을 이용하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에 이 부위를 높은 효과로 청정화 하는 것이 가능한 도공장치를 제공할 수 있다.

청구항 5에 따른 본원발명은 용제의 유속제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 3 또는 4 기재의 도공장치를 제공하는 것이다. 이것에 의해, 기체와 용제를 적절한 혼합상태로 유지하기 위한, 세정 용제의 동적 유속제어를 행하는 것이 가능하게 된 도공장치를 제공할 수 있다. 또한, 동적 유속제어란, 혼합용 기체와 용제의 비율을 그 추세에 맡기지 않고, 지정한 비율로 제어하는 것을 가리키고 있다. 또, 동적 유속제어에는, 세정상태의 감시나, 그 감시결과에 기초하여 전체의 제어시스템(밸브의 조정 등)으로 피드백 하는 것 등을 포함해도 된다.

청구항 6에 따른 본원발명은 혼합용 기체의 유속제어수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 3 또는 4 또는 5 기재의 도공장치를 제공하는 것이다. 이것에 의해, 기체와 용제를 적절한 혼합상태로 유지하기 위한, 혼합용 기체의 동적 유속제어를 행하는 것이 가능하게 된 도공장치를 제공할 수 있다.

청구항 7에 따른 본원발명은, 상기 세정수단이 2종 이상의 용제를 사용하고, 도공액과 상용성이 높은 용제로부터 낮은 용제를 차례로 흘리는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 도공장치를 제공하는 것이다. 이렇게 함으로써, 솔벤트 쇼크(solventshock)를 억제할 수 있다.

청구항 8에 따른 본원발명은, 다이 헤드와, 도공액 공급 펌프와, 도공액 저장 용기와, 이것들을 접속하는 도공액 배관을 구비하는 도공장치를 세정하는 도공장치의 세정방법으로서, 상기 도공액 배관에 기체와 용제를 번갈아 송출함으로써, 상기 도공액 배관 내에 이것들을 유통시키고, 기체와 용제의 계면에 의해 이 도공액 배관을 세정하는 도공장치의 세정방법을 제공한다. 이와 같이 함으로써, 다이 코터 배관 및 다이 헤드 내부를 높은 효과로 청정화 할 수 있다.

청구항 9에 따른 본원발명은, 2종 이상의 용제를 사용하여, 도공액과 상용성이 높은 용제로부터 낮은 용제를 차례로 흘리는 것을 특징으로 하는 청구항 8에 기재된 도공장치의 세정방법을 제공한다. 이렇게 함으로써 솔벤트 쇼크를 억제할 수 있다.

[발명의 효과]

본 발명에 의해, 복잡한 배관 경로를 갖는 다이 코터에서, 특히 보다 소량의 도공액을 정밀하게 도공하는 것이 요구되는 것에 대하여, 비분해인 채로 단시간에 내부를 양호하게 세정하는 것이 가능한 도공장치 및 도공장치의 세정방법을 제공할 수 있게 되었다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 도공장치를 도시하는 개략도이다.

도 2는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 도공장치를 도시하는 개략도이다.

도 3은 본 발명의 제 3 실시형태에 따른 도공장치를 도시하는 개략도이다.

도 4는 다이 헤드의 1예를 도시하는 정면도이다.

도 5는 도 4의 다이 헤드를 도시하는 우측면도이다.

도 6은 본 발명의 제 4 실시형태에 따른 도공장치를 도시하는 개략도이다.

발명을 실시하기 위한 최량의 형태

본 발명의 제 1 실시형태를 도 1을 참조해서 설명한다. 본 실시형태의 도공장치(100)는, 도공액 저장용기(19)로부터 부속장치(예를 들면, 도공액 공급 펌프(20) 등)를 통하여 다이 헤드(3)에 접속되어 있는 배관(도공액 배관)(21)의 도중으로부터, 세정수단으로서의 세정장치(예를 들면, 세정 유체 송출수단으로서의 세정 유체 송출장치)(101)에 의해 기체와 액체가 번갈아 송출되어 이루어지는 세정 유체를 송출함으로써, 상기 도공액 배관(21) 내부를 높은 효과로 세정하는 기능을 갖는 것이다.

도 1은, 세정 유체를 도입하기 위한 배관(세정 유체 공급배관)(11)이 밸브(도입 밸브)(12)를 통하여 도공액 배관(21)과 접속된 도공장치(100)의 1예를 도시하고 있다. 또한, 도 1 중 부호 23은 도공액용 필터, 부호 24는 도공액 도입 밸브, 부호 25는 공기배출 밸브(air vent valve), 부호 26은 도공액 받이, 부호 27은 폐액조, 부호 110은 도공 유닛부(다이 코터)를 나타내고 있다. 도입 밸브(12), 도공액 도입 밸브(24), 및 공기배출 밸브(25)는, 제어수단으로서의 제어부(도시 생략)에 의해, 각각 그 개폐가 제어되고 있다.

상기 도입 밸브(12)로부터, 다이 헤드(3)측은 도공시와 동일 방향의 흐름으로, 도공액 공급측은 도공시와 역방향의 흐름으로 세정 유체가 송출된다. 또한, 도공액 공급측을 세정하고 있는 동안은, 도공액 저장용기(19)을 폐액 회수기구로서의 폐액 회수용기(도시 생략)로 바꾸어 부착한다.

또한, 이러한 폐액 회수기구 이외에, 다른 기구를 본 발명은 포함하는 것이어도 된다. 예를 들면, 반송 기구나 도공 두께 조정기구 등이다.

또, 상기 세정 유체의 도입 개소는, 도 1에 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 펌프(20)와 도공액용 필터(23) 사이나, 도공액용 필터(23)와 도공액 배관(21)의 단부(도공액 배관(21) 중 도공액 저장용기(19)에 삽입되는 단부) 등에 설치해도 된다.

또한, 상기 세정 유체의 도입 개소는 도공액 배관 도중으로 한정되는 것이 아니라 단부이어도 좋다. 이 경우에는, 세정 유체를 도입하기 위한 배관(11)에 연 결기구를 준비해 두고, 세정시에는, 도공액 저장용기(19)로부터 도공액 배관(21)을 떼어내어 상기 연결기구에 연결시킬 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 제 2 실시형태를 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는, 세정 유체의 도입 개소를 도공액 배관(21) 단부로부터로 한 경우의, 세정 유체를 도입하기 위한 배관(11)이 연결기구를 통하여 접속된 도공장치(다이 코터)(100)의 1예를 도시하고 있다. 도 2 중 부호 22는 연결기구로서의 역접속 이음(one-touch coupler)을 나타내고 있다. 또한, 다른 구성은 제 1 실시형태와 동일하므로, 중복되는 설명은 도면에 동일한 부호를 붙여서 중복되는 설명을 생략한다.

상기 제 1 및 제 2 실시형태의 도공장치(100)와 같이, 세정 유체는, 도공액 배관(21) 도중 또는 단부로부터 도입되는데, 그때, 세정 유체의 기액 혼합비율 및 송출 유량을, 목적인 세정이 가장 효과를 발휘할 수 있는 값으로 유지되도록 설정하는 것이 긴요하다. 이것이 이루어지지 않으면, 용제 사용량의 다소의 저감은 가능해도 용제만을 흘리는 방법에 비교한 세정 정도의 개선은 그다지 기대할 수 없다.

또한, 최적의 기액 혼합비율은, 배관 길이, 배관 직경, 도중에 설치되어 있는 기기?기구, 충전되어 있는 도공액 및 사용 세정 용제의 점도 등에 따라서도 달가지게 되지만, 가압상태에서, 대략 기체:용제의 부피비율은 1:2～3:1 정도가 바람직하다.

또 최적의 유량도 마찬가지로 각종 조건에 따라 달라지게 되는데, 대략 도공시의 토출량의 1～3배, 상기 슬릿 갭 0.1mm 전후의 다이 헤드 사용시에서 30ml/min ～900ml/min 정도가 바람직하다.

여기에서 강조해 두고 싶은 것은, 이 세정 유체가 용제의 속에 미소한 기포가 분산된 계로 존재할 리는 없다는 점이다. 배관(11) 속에 그러한 상태의 혼합용제를 불어 넣어도 긴 관 내를 통과하는 동안에 2층으로 분리되어 버리고, 또 애당초 기액 분산상태의 용제를 배관에 흘려도 세정성은 크게 개선되지 않는다.

본 발명에서 「기체와 용제를 번갈아 송출하고, 기체와 용제의 계면의 통과로 세정한다」란, 기체와 용제가 짧은 주기로 규칙적으로 송출되는 태양을 가리키는 것으로서, 예를 들면, 배관(11, 21) 내에서는 기체와 용제가 각각 약 3ml～20ml 마다 통과하는 상황이 되는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 배관(11, 21) 내벽을 기체와 용제의 계면이 통과할 때에 발생하는 기액 분배평형을 이용하여, 배관(21)의 벽면으로부터 액상으로 도공액을 용출시켜서 청정화 한다.

실제의 도공장치에서의 세정수단으로서는, 기체와 용제가 짧은 주기로 송출되도록, 기액 혼합비율 및 송출 유량이 최적인 값으로 유지되는 기구가 구비되어 있으면 된다. 예를 들면, 기체와 용제의 송출 압력이 일정한 비로 유지되도록 하는 것, 기체?용제의 유로 단면적을 줄여서 각각의 송출량을 제한하는 것 등을 생각할 수 있는데, 이것들에 한정되지 않는다. 그러나, 세정하려고 하는 도공액 배관의 구성이나 세정 시점에서 잔류하고 있는 도공액, 및 사용하는 세정 용제의 점도 등에 따라, 최적의 기체와 용제의 송출량이나 혼합비율은 달라지게 되기 때문에, 이것들을 임의로 설정할 수 있으면 편리하다.

상기와 같은 사정에 대응하여, 도공장치(100)로서는, 용제와 혼합용 기체의 유량 및 혼합 비율을 조정하는 기능을 갖는 구성으로 하는 것도 가능하다.

이하, 본 발명의 제 3 실시형태를 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 용제와 혼합용 기체의 유량 및 혼합비율을 조정하는 기능을 갖는 세정수단(101)을 구비하는 도공장치(100)의 일례를 도시하는 개략도이다. 본 실시형태에서는, 세정수단(101)은 세정기 용제 공급부(1) 및 세정기 혼합용 기체 공급부(2)를 가지고 구성되어 있다.

세정수단(101)은, 용제를 수용하는 용제 용기(4)와, 이 용제 용기(4)에 접속되어 있는 용제 배관(5)과, 혼합용 기체를 수용하는 혼합용 기체 저장용기(14)와, 이 혼합용 기체 저장용기(14)에 접속되어 있는 혼합용 기체 배관(15)과, 용제 배관(5)의 종단과 혼합용 기체 배관(15)의 종단을 접속하는 혼합용 밸브(10)와, 이 혼합용 밸브(10)로부터 뻗어 있는 세정 유체 송출 배관(104)과, 상기 용제의 유량, 상기 혼합용 기체의 유량, 및 이들 혼합비율을 조정하는 조정기구를 구비하고 있다. 혼합용 밸브(10)는 용제 및 상기 혼합용 기체의 사용량에 따라, 제어수단으로서의 제어부(도시 생략)에서 그 개폐가 제어되고 있다. 상기 조정기구는, 예를 들면, 용제용 개폐밸브(6)와, 용제용 송출량 조정기구(7)와, 혼합용 기체용 개폐밸브(16)와, 혼합용 기체용 송출량 조정기구(17)를 구비하여 구성되어 있다. 용제용 개폐밸브(6) 및 혼합용 기체용 개폐밸브(16)의 개폐는 상기 제어부에 의해 제어시킬 수 있다.

또한, 도 3 중 부호 8은 용제의 사용량을 측정하는 용제 사용량 측정기구로서의 용제 유량계, 부호 9는 용제용 필터, 부호 13은 로드 셀, 부호 18은 혼합용 기체의 사용량을 측정하는 기체 사용량 측정기구로서의 혼합용 기체 유량계를 나타내고 있다. 다른 구성은 제 1 실시형태와 동일하므로, 중복되는 설명은 도면에 동일한 부호를 붙여서 중복되는 설명을 생략한다.

본 실시형태의 도공장치(100)에서는, 도공액 배관(21)의 구성, 또는, 도공액이나 세정 용제의 점도 등을 감안하여, 용제 용기(4)의 송출량 조정기구(7) 및 혼합용 기체 배관(15)의 혼합용 기체 유량조정밸브(혼합용 기체용 송출량 조정기구)(17)의 개방 정도를 설정함으로써 혼합용 밸브(10)로 기체와 용제가 설정에 따른 임의의 비율로 혼합되어, 도입 밸브(12)로부터 도공액 배관(다이 코터 배관)(21) 내에 송입된다.

이와 같이 용제와 혼합용 기체의 유량 및 혼합비를 조절하는 세정 유체 조정기구로서는, 혼합용 기체와 용제의 유량을 각각 조정하여, 세정 유체 상태에서는 제어하지 않는 구성이 간단해서 바람직하지만, 이에 한정되지 않고, 용제를 조절하지 않고 혼합용 기체의 유량 조정과 전체의 세정 유체의 유량을 조절하는 구성, 혼합비를 정해 두고 규정 혼합용제를 유량 조정하는 구성, 모든 단계에서 조절하는 구성 등도 가능하다.

또 유량조정은 밸브에 의한 것이 일반적이지만, 정량 펌프 등의 각종 수단에 의한 것이라도 상관 없다. 또한, 배관으로서는, 마찬가지로 단순한 세 갈래 이외에, 밸브 등의 세정 유체 조정기구의 일부를 이루는 각종 혼합기구를 사용하는 것이 가능하다.

제 1 내지 제 3 실시형태에서 나타낸 도공장치(100)에서는, 도공액 배관(21) 에, 기체와 용제가 혼합된 세정 유체를 송출함으로써, 이 세정 유체를 상기 도공액 배관(21) 내에 유통시켜, 이 도공액 배관을 세정할 수 있다.

또한, 이러한 도공장치의 세정방법에 의해, 다이 헤드(3) 내나 배관(21) 내를 효율적으로 청정화 할 수 있는데, 도공액 공급 펌프(20)나 다이 헤드(3) 등, 액 치환성이 나빠 세정이 곤란한 부위에서는, 종래의 방법에 비하면 세정되는 정도는 높지만 여전히 도공액이 미량 잔류한다.

이러한 액 치환성이 나빠 세정이 곤란한 부위에 대해서는, 기체 또는 용제, 또는 그 혼합물인 상기 세정 유체의 도입?비도입을 사용 용제중량?기체 혼합체적에 따라 미세하게 제어함으로써, 이 부위를 높은 효과로 세정하는 구성도 가능하다. 이 경우, 예를 들면, 제 3 실시형태의 도공장치(100)와 같이 구성하고, 용제 용기(4)에 설치된 로드 셀(13)이 나타내는 중량변화 및 혼합용 기체 배관(15)에 설치된 유량계(18)의 적산값으로부터, 미리 측정해 둔 세정이 곤란한 부위의 내용적에 맞추어, 도공액의 기체에 의한 치환, 용제 충전, 용제 배출의 각 동작을 행하여, 기액 계면 통과에 의한 기액 분배평형을 이용한 세정을 달성하면 된다.

이 세정방법에서의 세정의 추이를 도 4 및 도 5에서 도시되는 다이 헤드(3)를 도 3에 도시되는 도공장치(100)에 적용한 경우를 예로 하여, 이하에 기술한다.

도공 종료 시점에서는, 다이 헤드의 매니폴드(28) 내는 도공액으로 채워져 있다. 그래서 우선, 도공액 공급구(30)로부터 세정 유체를 송입함으로써 도공액을 치환한다.

이때, 세정 유체 중 용제분은 도공액과 함께 슬릿 노즐(29)로부터 배출되고, 상부로부터 기체가 모여 감으로써, 최종적으로는 건조의 우려 없이 액체가 체류하기 쉬운 개소를 포함하여 내부를 모두 기체로 채울 수 있다.

이어서, 도공액이 모두 배출된 시점을 가늠하여 이번은 용제만을 매니폴드(28) 내로 송입하여, 용제로 채운다. 여기에서 다이 헤드에 공기배출구(air vent port)(31)가 존재하면, 이것을 개방으로 함으로써 보다 효율적으로 용제를 충전할 수 있다. 도공액이 모두 배출된 시점은, 매니폴드(28)의 용적과, 장치에 구비된 로드 셀(13)에 의해 구해지는 용제 사용량 및 혼합용 기체유량계(18)에 의해 적산된 혼합용 기체 사용량과의 비교로부터 판단할 수 있다.

최후로, 매니폴드(28)가 용제로 채워진 시점을 가늠하여 다시 세정 유체를 송입하고, 용제를 배출시킨다. 이때, 상부로부터 기체가 모여가고, 기액의 계면이 통과할 때에 발생하는 기액 분배평형을 이용하여 벽면으로부터 액상으로 도공액을 용출시켜서 청정화 한다.

이상 1회의 세정동작으로 효과가 불충분한 경우, 용제 충전과 배출을 반복함으로써 보다 완전한 세정을 기하는 것도 가능하다. 또, 세정이 종료된 후에 기체만을 송입함으로써 건조를 행하고, 다음 도공에 대비할 수도 있다. 용제로 채워진 시점은, 마찬가지로 매니폴드(28)의 용적과 용제 사용량과의 비교로부터 판단할 수 있다.

물론, 사용량의 측정은 용제를 중량변화에 의해, 기체를 유량의 적산에 의해 행하는 상기의 방식이 간편하지만, 다른 수단에 의해도 상관없다.

또한, 세정동작의 제어는, 이러한 사용량 등을 바탕으로 한 제어 이외에, 세 정 유체 또는 용제?기체의 유속 등과 경과 시간과 대조하는 것에 의한 제어 등이어도 좋다. 그 경우에는, 예를 들면, 도공장치(100)에, 용제의 유속을 제어하는 용제용 유속제어수단(예를 들면 유속계)나, 혼합용 기체의 유속을 제어하는 혼합 기체용 유속제어수단(예를 들면 유속계)을 설치해도 된다. 또, 도공장치(100)에는, 가압한 혼합용 기체를 밸브를 통하여 용제에 섞음으로써, 상기 밸브보다도 하류측의 배관 내에 흐르는 용제 및 혼합용 기체 중 적어도 한쪽의 유속을 변화시키도록 구성한 유속제어수단을 사용할 수도 있다.

또한 도 3에 도시하는 다이 헤드(3)를 구비하는 도공장치(100)에서는, 예를 들면 송출량 조정기구(7) 및 혼합용 기체 유량조정밸브(17)의 개방 정도와 세정 경과시간의 비교로부터 세정 유체의 밀어내기 양을 계산하여 동작을 행해도 좋고, 가능하면 세정 정도 자체를 측정하여 세정동작을 제어해도 상관없다.

상기 세정시에는 사용하는 용제는 특별히 한정되지 않지만, 통상 다이 헤드의 재질로서는, 금속이 사용된 것, 및 세정후의 건조의 용이함을 고려하면, 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 시클로헥산, 아세톤, 2-부탄온, 디클로로메탄 등의 저비점 유기 화합물이 적합할 것으로 생각된다.

마찬가지로 사용하는 기체도 특별히 한정되지 않지만, 용제로서 저급(저속) 알콜이나 저분자 케톤 등의 인화성이 있는 물질을 채용하는 경우에는, 질소나 아르곤 등의 불활성 가스를 선택하는 것이 바람직하다.

또, 사용하는 용제를 2종류 이상으로 하여 세정을 행하는 것도 가능하다. 이 경우, 용제 용기?로드 셀?용제 유량계 등을 복수 준비하고, 전환밸브를 통하 여 혼합용 밸브에 배관을 접속하게 된다.

상기 세정동작을 하는 기구에 대해서는, 이 세정의 요지를 실현가능하면 형태는 상관없는데, 프로그래머블 로직 컨트롤러(PLC)에 의해 각종 감시?제어를 행하는 것이 제어의 시간지연이 적고 섬세한 제어가 비교적 용이하여 바람직하다.

이상, 본 발명에 의한 다이 코터 배관 세정에 있어서 중요한 요소가 되는 것이 세정 유체의 기액 혼합비율 및 송출량이 최적의 값으로 유지되는 것이며, 이것이 용제의 송출량 조정기구(7)와 혼합용 기체 유량조정밸브(17)의 설정에 의해 조정되는 것은 기술한 바와 같다. 그러나, 동일한 다이 코터를 세정하는 경우에 있어서도, 상기 기액 혼합비율 및 송출량을 달성하는 용제의 송출량 조정기구(7)와 혼합용 기체 유량조정밸브(17)의 설정값이 항상 일정하다고는 할 수 없다.

왜냐하면, 상기 설정값이 세정전에 충전되어 있는 도공액의 종류에 따라 다를 수 있는 것은 물론이고, 게다가 세정의 진전에 의한 배관 내의 도공액 잔량의 감소에 의해서 조차 바뀌어 갈 가능성이 있기 때문이다. 이것은, 도공액에 의해 점도가 상이한 것, 또 통상 도공액에 비해 점도가 낮은 용제에 의해 도공액이 치환되어 감으로서, 밀어내기에 대한 배관의 저항이 변화되어 버리는 것에 기인한다.

더불어, 상기와 같은 세정환경의 변화에 의해 최적 기액 혼합비율을 달성하는 설정값이 이동해도, 세정 용제의 유속제어를 동적으로 행하여, 혼합상태를 유지하는 기능을 갖는 장치로 하는 것도 가능하다.

동일하게, 상기와 같은 세정환경의 변화에 의해 최적 기액 혼합비율을 달성하는 설정값이 이동해도, 혼합용 기체의 유속제어를 동적으로 행하여, 혼합상태를 유지하는 기능을 갖는 장치로 하는 것도 가능하다.

상기 두 장치 모두, 용제 용기(4)에 설치된 로드 셀(13)이 나타내는 중량변화율 및 혼합용 기체 배관(15)에 설치된 유량계(18)의 계측값으로부터, 기액의 혼합비율 및 세정 유체의 송출량을 계산하고, 본 발명의 청구항 5에 따른 발명에 의한 장치에서는 용제의 송출량 조정기구(7)에, 동 청구항 6에 따른 발명에 의한 장치에서는 혼합용 기체 유량조정밸브(17)에, 결과를 귀환(피드백)시킴으로써 이 기능을 실현한다.

이하, 본 발명의 제 4 실시형태를 도 6을 참조하여 설명한다. 본 실시형태의 도공장치(100)는 고정밀도?고정밀의 도공이 요구되는, 예를 들면 컬러 필터, 액정재료, 감열 기록재료, 경피흡수제제 등의 부재의 도공에 적합하다. 본 실시형태의 도공장치(100)는 도공 유닛부(110)와, 용제저장부(300) 및 건조 가스 유닛부(200)를 갖는 세정처리부(400)로 이루어져 있다.

도공 유닛부(110)는 도공할 도공액이 저장되는 도공액 저장용기(19)와, 도공액이 다이 헤드(3)에 공급될 때에 슬릿 노즐 등으로부터 도공액이 항상 균일하게 커튼 형상으로 형성되기 위해서, 먼지 등의 이물을 제거하기 위한 도공액용 필터(23)와, 또한 도공액을 도공액 저장용기(19)로부터 이송시키기 위한 도공액 공급 펌프(20)와, 도공액을 커튼 형상으로 형성하는 다이 헤드(3)와, 또한 다이 헤드(3)로부터 떨어지는 도공액을 받아들이는 도공액 받이(26)와, 도공액 받이(26)에 떨어진 도공액과 다이 헤드(3)에 공급되어 여분의 도공액을 모으는 폐액조(27)를 구비하고 있다. 다이 헤드(3)와 도공액 받이(26)를 제외하고 각 부분이 수지제 파이프 또는 스테인리스제 파이프 또는 금속제 파이프의 내면을 수지가공 등을 시행한 파이프로 배관되어 있다.

도공 유닛부(110)는, 이하와 같이 동작하는, 도공액 저장용기(19)에 비축되어 있는 도공액은 도공액 공급 펌프(20)의 구동에 의해 도공액 저장용기(19)로부터 배관의 도중에 있는 도공액용 필터(23)를 통하여 도공액 공급 펌프(20)에 들어간다. 또한, 도공액 공급 펌프(20)의 토출방향에 접속되어 있는 배관을 통과하여 다이 헤드(3)에 도공액이 공급된다. 다이 헤드(3)에 공급된 여분의 도공액은 다이 헤드(3)로부터 커튼 형상으로 흘려지고, 도공되지 않은 도공액은 폐액조(27)에 회수된다.

세정처리부(400)로부터 길어지는 배관은 도입 밸브(12)를 통하여 도공 유닛부(110)와 접속하고 있다. 이때, 세정처리부(400)와 도공 유닛부(110)의 접속 개소는, 도 6에 2점쇄선으로 나타내고 있는 바와 같이, 펌프(20)와 도공액용 필터(23) 사이나, 도공액용 필터(23)와 도공액 배관(21)의 단부(도공액 배관(21) 중 도공액 저장용기(19)에 삽입되는 단부) 등에 형성해도 된다.

용제 저장부(300)는, 솔벤트 쇼크(solvent shock)를 억지하기 위해서, 2종류 이상의 용제를 비축할 수 있는 2개 이상 예를 들면 4개의 용제 탱크(51a, 51b, 51c, 51d)를 구비하고 있다. 하류측의 용제 탱크 내의 용제일 수록, 상류측의 용제 탱크 내의 용제보다도 도공액과의 상용성이 높다. 또, 하류측의 용제 탱크 내의 용제일 수록, 상류측의 용제 탱크 내의 용제보다도 세정성이 낮다.

각각의 용제 탱크(51a, 51b, 51c, 51d)에는, 도공액과의 상용성이 있는 것으 로부터 차례로 세정성이 높은 용제로 전환되어 가기 때문에, 각 용제 탱크(51a, 51b, 51c, 51d)의 상류측에 3방향 컵 형의 탱크 전환용 밸브(53a, 53b, 53c, 53d)가 설치되어 있다. 또한, 탱크 전환용 밸브(53a, 53b, 53c, 53d)의 조작은 외부로부터 조작신호를 입력함으로써 행할 수 있다. 또, 탱크 전환용 밸브(53a, 53b, 53c, 53d)의 조작은 사람손에 의한 조작에 의해 행해도 된다.

또, 세정의 불균일을 없애기 위해서 용제의 중량제어를 행하는 로드 셀(54a, 54b, 54c, 54d)이 각각 용제 탱크(51a, 51b, 51c, 51d)의 바닥부에 설치되어 있다. 또한, 용제 용기(4)로부터 이송되는 용제의 세정 불균일을 없애기 위해서 용제의 유속을 제어하기 위한 용제 유량제어밸브(56)가 설치되어 있다. 용제 유량제어밸브(56)의 토출측에는 용제의 유량을 측량하는 용제용 유량계(52)가 설치되어 있다. 용제용 유량계(52)를 통과한 용제는 용제 속의 이물 등을 잡아내기 위한 용제용 필터(55)를 통과하여 건조 가스 유닛부(200)로부터의 가스와 교차하는 전환밸브(57)가 설치되어 있는 장소에 도달하고, 또한 세정시에는 도공 유닛부(110)의 도공액 전환밸브(12)로부터 세정하기 위한 용제가 이송되어 도공 유닛부(110)의 배관 또는 다이 헤드 내부가 차례로 상용성이 있는 용제에 의해 세정된다. 또, 세정시에 용제와 질소 등의 건조용 가스를 혼합하여 도공 유닛부(110)에 송입하고, 기액 계면에 의해 도공 유닛부의 배관 또는 다이 헤드(3)를 세정할 수도 있다. 용제는 전환밸브(73)에 도달할 때까지 용제용 배관(70) 내를 흐른다.

건조 가스 유닛부(200)는, 배관 또는 다이 헤드(3)의 내부를 건조시키기 위한 가스를 저장하는 건조용 가스 탱크(58)와, 가스의 유속을 제어하기 위한 건조용 가스 가스유량 제어부(59)와, 건조용 가스 가스유량 제어부(59)를 통과한 가스의 유량을 계측하는 건조용 가스 유량계(60)와, 각 용제 탱크(51a, 51b, 51c, 51d)에 각각 대응하도록 병렬로 설치된 4개의 가스유량 제어부를 구비하고 있다. 용제 탱크(51a)에 대응하는 가스유량 제어부는, 용제 탱크(51a)로부터 토출되는 용제에 가스를 혼입시키기 위한 것으로서, 압력 제어밸브(80a)와, 가스 유량 제어밸브(81a)와, 가스 유량계(82a)를 구비하고 있다. 용제 탱크(51b)에 대응하는 가스유량 제어부는, 용제 탱크(51b)로부터 토출되는 용제에 가스를 혼입시키기 위한 것으로서, 압력 제어밸브(80b)와, 가스 유량 제어밸브(81b)와, 가스 유량계(82b)를 구비하고 있다. 용제 탱크(51c)에 대응하는 가스유량 제어부는, 용제 탱크(51c)로부터 토출되는 용제에 가스를 혼입시키기 위한 것으로서, 압력 제어밸브(80c)와, 가스 유량 제어밸브(81c)와, 가스 유량계(82c)를 구비하고 있다. 용제 탱크(51d)에 대응하는 가스유량 제어부는, 용제 탱크(51d)로부터 토출되는 용제에 가스를 혼입시키기 위한 것으로서, 압력 제어밸브(80d)와, 가스 유량 제어밸브(81d)와, 가스 유량계(82d)를 구비하고 있다.

이 도공장치(100)에서는, 이하와 같이 하여 도공장치(100)의 세정을 행한다.

우선, 용제 탱크(51a)로부터 용제를 토출시킨다. 용제 탱크(51a)에 대응하는 가스유량 제어부의 제어에 의해, 이 용제에 가스를 혼입시킨다. 용제 탱크(51a)로부터의 용제의 토출을 정지시킨다. 다음에 용제 탱크(51b)로부터 용제를 토출시킨다. 용제 탱크(51b)에 대응하는 가스유량 제어부의 제어에 의해, 이 용제에 가스를 혼입시킨다. 용제 탱크(51b)로부터의 용제의 토출을 정지시킨다. 다음 에, 용제 탱크(51c)로부터 용제를 토출시킨다. 용제 탱크(51c)에 대응하는 가스유량 제어부의 제어에 의해 이 용제에 가스를 혼입시킨다. 용제 탱크(51c)로부터의 용제의 토출을 정지시킨다. 다음에, 용제 탱크(51d)로부터 용제를 토출시킨다. 용제 탱크(51d)에 대응하는 가스유량 제어부의 제어에 의해, 이 용제에 가스를 혼입시킨다. 용제 탱크(51d)로부터의 용제의 토출을 정지시킨다. 최후에, 전환밸브(57) 보다도 하류측을 모두 건조시킨다.

이상과 같이, 본 실시형태의 도공장치(100)에 의하면, 고정밀도?고정밀의 도공이 요구되는 것과 같은 경우라도, 도공 유닛부(110)를 양호하게 세정할 수 있다.

또한, 배관 및 다이 헤드의 세정시/건조시는, 세정처리부와 접속된 도입 밸브(12)보다도 하류측, 즉 도공액 저장용기(19)측의 배관에 대해서는, 세정용 용제가 역류할 우려가 있다. 그 때문에, 도공액 저장용기(19)의 바로 앞에 밸브를 설치하고, 폐액조(27)와 접속하여 전환함으로써 도공액 저장용기(19)가 오염되는 것을 막지만, 도공액 저장용기(19) 그 자체를 폐액을 받기 위한 폐액통 등과 교환하는 것이 바람직하다.

또, 용제 탱크(51a, 51b, 51c, 51d) 내의 용제는 도공액과 상용성에 의해 적당하게 선택할 수 있다. 예를 들면 도공액에 사용되고 있는 주 용제가 시클로헥산온 용제일 때는, 시클로헥산온 용제로 20KPa～100KPa의 압출압력으로 세정하고, 또한 2-부탄온 용제를 사용하여 30KPa～100KPa의 밀어내기 압력으로 세정하면 된다.

본 발명은 도공장치, 특히 다이 헤드에 의해 도포를 행하는 다이 코터 배관의 내부를 세정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

Claims (9)

1. 다이 헤드(3),

   도공액 공급 펌프(20),

   도공액 저장 용기(19),

   상기 다이 헤드(3), 상기 도공액 공급 펌프(20) 및 상기 도공액 저장 용기(19)를 접속하는 도공액 배관(21), 및

   상기 도공액 배관(21)에 접속되어 있고, 기체와 용제를 번갈아 송출하면서 기체와 용제의 계면의 통과로 상기 도공액 배관(21)을 세정하는 세정수단(101)

   을 구비하는 도공장치(100)로서,

   상기 세정수단(101)은,

   상기 용제를 수용하는 용제 용기(4),

   상기 용제 용기(4)에 접속된 용제 배관(5),

   혼합용 기체를 수용하는 혼합용 기체 저장용기(14),

   상기 혼합용 기체 저장용기(14)에 접속된 혼합용 기체 배관(15),

   상기 용제 배관(5)의 종단과 상기 혼합용 기체 배관(15)의 종단을 접속하는 혼합용 밸브(10),

   상기 혼합용 밸브(10)로부터 뻗어있는 세정 유체 송출 배관(104), 및

   상기 용제의 유량, 상기 혼합용 기체의 유량, 및 상기 용제와 상기 혼합용 기체의 혼합비율을 조정하는 조정기구(7, 17, 6, 16)를 구비한 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
2. 다이 헤드(3),

   도공액 공급 펌프(20),

   도공액 저장 용기(19),

   상기 다이 헤드(3), 상기 도공액 공급 펌프(20) 및 상기 도공액 저장 용기(19)를 접속하는 도공액 배관(21), 및

   상기 도공액 배관(21)에 접속되어 있고, 기체와 용제를 번갈아 송출하면서 기체와 용제의 계면의 통과로 상기 도공액 배관(21)을 세정하는 세정수단(101)

   을 구비하는 도공장치(100)로서,

   상기 도공액 저장 용기(19)는 상기 도공액 배관(21)의 단부에 설치되어 있고,

   상기 도공액 배관(21)은 상기 도공액 저장 용기(19)를 떼어냈을 때에, 이 단부에 연결가능한 연결기구(22)를 갖는 배관(11)을 구비하고,

   상기 세정수단(101)은 상기 배관(11)에 접속된 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 세정수단(101)은,

   상기 용제를 수용하는 용제 용기(4),

   상기 용제 용기(4)에 접속된 용제 배관(5),

   혼합용 기체를 수용하는 혼합용 기체 저장용기(14),

   상기 혼합용 기체 저장용기(14)에 접속된 혼합용 기체 배관(15),

   상기 용제 배관(5)의 종단과 상기 혼합용 기체 배관(15)의 종단을 접속하는 혼합용 밸브(10),

   상기 혼합용 밸브(10)로부터 뻗어있는 세정 유체 송출 배관(104), 및

   상기 용제의 유량, 상기 혼합용 기체의 유량, 및 상기 용제와 상기 혼합용 기체의 혼합비율을 조정하는 조정기구(7, 17, 6, 16)를 구비한 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 용제의 사용량을 측정하는 용제 사용량 측정기구(8)와,

   상기 혼합용 기체의 사용량을 측정하는 기체 사용량 측정기구(18)와,

   상기 용제 및 상기 혼합용 기체의 사용량에 따라 상기 혼합용 밸브(10)의 개폐를 제어하는 제어수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 용제의 유속을 제어하는 유속 제어수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
6. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 혼합용 기체의 유속을 제어하는 유속 제어수단을 더 구비한 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 세정수단(101)이 2종 이상의 용제를 사용하고, 도공액과 상용성이 높은 용제로부터 상용성이 낮은 용제를 차례로 흘리는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 도공장치(100).
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