TWI333932B - - Google Patents

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TWI333932B
TWI333932B TW096141621A TW96141621A TWI333932B TW I333932 B TWI333932 B TW I333932B TW 096141621 A TW096141621 A TW 096141621A TW 96141621 A TW96141621 A TW 96141621A TW I333932 B TWI333932 B TW I333932B
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Yukinori Nakayama
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Hisashi Ichimura
Masaaki Ito
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Hitachi Plant Technologies Ltd
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    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25BTOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
    • B25B11/00Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
    • B25B11/02Assembly jigs
    • HELECTRICITY
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    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices

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Description

1333932 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於使用大型的玻璃基板,滴下液晶而在真 空中用以黏貼基板的基板裝配裝置的搬運工模及該裝置搬 運方法。 【先前技術】 近年來,如在專利文獻1所示地,採用著使用在真空 中(真空腔內)黏貼在一方滴下液晶的基板,及在另一方 設置濾色片等的基板的基板裝配裝置來製造液晶顯示器的 方法,而進行著液晶顯示器的量產化。在該量產化中所使 用的玻璃基板也成爲有使用超過2mx2m者。 又,設置大型的重量物的情形,如專利文獻2所示地 在對位等上需要想辦法。 專利文獻1:日本特開20〇4-〇3 75 94號公報 專利文獻2:日本特開2003 -3 2 1 1 95號公報 【發明內容】 如上述地,隨著基板的大型化,而黏貼基板的基板裝 配裝置也被大型化,從裝置製造工廠以一台搬運車輛搬運 到面板裝配工廠在交通法規上也成爲無法克服的狀態。 如此考量採用在裝置製造工廠中一次裝配裝置,經種 種檢查之後分解成複數零件,搬運到面板工廠,再進行重 新裝配的方法。但是,在此方法中,在裝配上多費時而成 -5- 1333932 爲延誤面板裝配工廠的作業開始,而有問題。 本發明的目的是在於提供隨著裝置的大型化,可進行 車輛搬運,且在面板裝配工廠可作成不需要太多裝配時間 的基板裝配裝置的搬運工模與搬運方法。 爲了達成上述目的,在本發明中,將基板裝配裝置二 分成上腔單元與下腔單元的上下單元,用以搬運上述上腔 單元的搬運工模以螺栓鎖緊於構成上腔單元的上框的構造 ,而構成上下地可移動上腔單元。 又,在工廠側具備吊車設備時,在構成上腔單元的上 框設置吊具而將腔側作爲下方,在具腳輪的暫時放置台上 位於上框的固定座部分固定於暫時放置台,而且作成上腔 部與上台不會移動般地在暫時放置台設置定位用的保持具 的構成。 如本發明地,將基板裝配裝置分割成上腔單元與下腔 單元的兩個單元’作爲可搬運的構成,尤其是將上腔單元 使用在維持裝配方向的狀態下可搬運的搬運工模予以搬運 ’且可將搬運工模直接使用在裝配工模,以謀求縮短裝置 時間,成爲可提早開始裝置的開動。 【實施方式】 液晶面板的製造裝置是在最近幾年隨著母玻璃基板的 大型,裝置本體也提高大型化的必要性。在最近,玻璃基 板超過2mx2m,而基板裝配裝置的重量也變成重達35tf〜 4〇tf ’成爲很難直接搬運所裝配的裝置。如此,將一次進 1333932 行裝配試驗等的裝置,分割成容易搬運裝配的狀態之後進 行搬運。這時候,細分解裝置而加以搬運很容易,惟若再 分割特意地一次裝配者,則對裝置的著手需費時,而且在 再裝配之際發生裝配不良的機率化變大。所以,在本發明 爲作成最小限,而將所分割的裝置固定於用以搬運的工模 而進行搬運。以下使用圖式來說明本發明的一實施例。 實施例1 第1圖是表示本發明的基板裝配裝置的斷面圖者。 基板裝配裝置是將架台1與上框5作爲剛體支撐構件, 而在具內側作爲設置上腔8與下腔3的構成。又,藉由構成 設於架台1側的表示於第2圖的Z軸驅動機構的Z軸驅動電 動機1 1來旋轉驅動滾珠螺絲12,而經由設於上下軸10的滾 珠螺絲固定部使得上下軸10伸縮。在該上下軸10的上端部 利用螺栓成爲可固定上下框5的固定座5a。亦即,朝上下 方向移動上下軸10,作成使得上框5對於架台1進行上下構 成。該上下軸10是設置4組以上。又,在上框5上設有將 UV光照射在黏貼的基板的密封部分而用以暫時固定的光 源。又,對於附屬上框側的空氣機器或電性機器的配線或 配管等,是作成接頭構造,分割,連接作成以單接觸動轉 換所進行。又,設於上框的固定座5 a部構成兼具搬運時的 固定座。 在架台1的上方安裝有用以支撐下台4的複數下軸2。 各下軸2是支撐下腔3,同時爲了保持與下腔3內的氣密性 1333932 ,經由真空密封突出於下腔3內。又’在各下軸2與下台4 之間安裝有朝ΧΥ0方向分別獨立地可動般地所構成的 ΧΥ0移動單元。又’ ΧΥ0移動單元是使用固定在上下方 向而朝水平方向可自由移動的滾珠軸承等的機構所構成也 可以。在下台4的水平方向(X,Y方向)有未圖示的複數 下台水平驅動機構設於下腔3的外側’而以設於驅動機構 的軸按壓下台的側面(下台的厚度方向)’構成可進行 XY 0方向的定位。 又,下腔3與上腔8是作成可分割的構成,在其連接部 設有未圖示的封環,藉由此將上下腔作成合體’以防止排 出內部時的空氣洩漏。 在上框5與Z軸驅動機構的連接部分別設有測力傳感器 。在上框5的內側,安裝有上腔8。上腔8是成爲從上框5藉 由複數支撐軸7被懸吊的構造。藉由上下移動上框5’就可 從下腔3隔開上腔8。又,在上框5爲了支撐上台9,朝上腔 8內設有複數上軸6。上軸6與上腔8間爲了保持腔內的氣密 以真空密封被連接。又,上台9是被固定於上軸6,成爲以 測力傳感器可檢測加壓基板時的力量的構造。 又,Z軸驅動機構是上框5作成可上下地移動上腔8及 上台9。所以,分別地設有將上腔8設於上框5的支撐軸7及 將上台9支撐上框的軸(上軸6)。所以,上腔8的支撐軸7 ,是當上腔8與下腔3作成合體,則不會作用有從上腔8朝 下側移動至下腔3的力量般地,成爲有游隙的支撐構成。 亦即,在上腔8上部安裝所定高度的托架,而作成在該托 1333932 架內部會有凸緣部碰到上腔8的支撐軸7的前端。抬高上腔 8時,則支撐軸7的凸緣部接觸於該托架,使得上腔9及上 台8朝上方向可一體地移動。亦即,上昇上下軸1〇,當在 上腔8內朝所定量上方移動上台9,則使得支撐軸7的凸緣 部抵接於托架,若更上昇,則成爲令上台9與上腔8—起朝 上方移動的構成。又上腔8朝下側移動而一直與下腔3成爲 一體爲止,上腔8與上台9是一體地移動,而上下腔成爲一 體之後,成爲使得上台9單獨地可移動至下台4側。亦即, 在托架的內部使得支撐軸7的凸緣部可上下般地設有空間 〇 又,如上述地在本實施例,上台9及下台4是上腔8及 下腔3是隔離地所配置之故,因而在減壓腔內時,腔是會 變形,惟該變形不會傳送到上下台,可將基板上水平地保 持。在基板的搬入及搬出時,作成抬高上腔與上台而在下 腔與下台間設置間隙,而作成使用機器手等將基板搬入到 該處的構成。 在上台9設有未圖示的鐵製彈性體板。在彈性體板與 基板接觸的面全體設有彈性體。彈性體板是藉由埋在上台 的複數磁鐵的磁性力與鎖緊螺絲予以固定,而可更換地構 成。 在本實施例中,一次裝配基板裝配裝置,在進行種種 檢查之後爲了搬運’構成在上下軸10的部分可二分割成下 腔單元25與上腔單元20。在此,下腔單元25是由架台1, 下軸2,下腔3’下台4’上下軸1〇等所構成,上腔單元2〇 -9- 1333932 是由上框5’支撐軸7,上軸6,上腔8,上台9等所構成。 如此地,將裝置分成兩個而進行搬運時,將上腔單元 2 0仍以其狀態下,仍可分割·搬運般地固定於專用的搬運 工模35而作成固定於專用的搬運工模35而予以搬運。在第 2圖表示將上腔單元安裝於搬運工模的狀態。 在設於上腔單元20的上框5的固定座5a,設置螺栓鎖 緊用的穴,作爲藉由螺栓固定搬運工模35的上腔單元支撐 g 部33的構成。搬運工模35是爲了在4部位支撐上腔單元20 在分別設置可移動的腳輪31的支撐架台3 2上部,構成以油 壓千斤頂30可上下上腔單元支撐部33。又,各支撐架台32 . 間是作成防止以支撐架34所連結而發生偏位等。又,下腔 單元25是分割上腔單元20,成爲施以防塵等的對策,而在 該狀態下可進行搬運。上腔單元是包含搬運工模成爲大約 2〇tf,而下腔單元的重量是成爲大約23tf〜25tf而成爲可 搬運。 φ 之後,使用第3圖,第4圖來說明被分割的上下腔單元 的裝配順序。在第3圖表示用以將上腔單元組合於下腔單 元的前工程,而在第4圖表示用以裝配上腔單元與下腔單 元的後工程。 首先,上腔單元是在第3 (1)圖的狀態下被安裝於搬 運工模而被搬運。爲了將該上腔單元作成下腔單元合體必 須朝上方抬高。所以,如圖示地驅動設於搬運工模的油壓 千斤頂30來抬高上腔單元20(上腔單元支撐部33)[第3( 2)圖]。之後,嵌入於油壓千斤頂30所上昇的軸部分般地 -10- 1333932 插入具開縫的第一間座36。然後,驅動油壓千斤頂30而更 上昇上腔單元20[第3 ( 3 )圖]。在該狀態下將第二間座37 插入到油壓千斤頂的軸而支撐上腔單元。插入第二間座, 就可確保將下腔單元25搬入到上腔單元20下的空間,而且 萬一即使沒有支撐上腔單元的油壓千斤頂的保持力,成爲 也可防止上腔單元的下降的情形[第3 (4)圖]» 之後,取下支撐架34的一部分,而將下腔單元25設定 在上腔單元20下[第4(1)圖]。當終了下腔單元25的定位 ,則驅動搬運工模的油壓千斤頂30,俾朝上方稍移動上腔 單元20而拆下第二間座37。當終了拆下第二間座37,則驅 動油壓千斤頂而將上腔單元支撐部下降到以第一間壁可支 撐的位置[第4 ( 2 )圖]。然後,驅動下腔單元25的Z軸驅 動機構俾上昇上下軸10而抵接於上框5的固定座5a,以螺 栓來鎖緊上下軸10與上框5的固定座5a。當完成鎖緊上下 腔單元,則驅動Z軸驅動機構及搬運工模的油壓千斤頂稍 上昇上腔單元,而拆下第一間座3 6 [第4 ( 3 )圖]。之後解 除鎖緊基板裝配裝置的上腔單元支撐部與上框。從裝置本 體拆下基板裝配裝置[第4(4)圖]。 以上述順序可裝配黏貼裝置。藉由相反地進行上述順 序,可搬運基板裝配裝置般地可分割成兩個。如以上所示 地,隨著裝置之大型化,不必分解成多數零件,二分割裝 置而使用本發明的搬運工模,將上腔單元固定於搬運工模 而進行搬運,而且使用該搬運工模作成可進行裝配之故, 因而可將分割成兩個的情形的工程,在裝配時相反地進行 -11 - 1333932 就可以,把作業成爲簡單。爲了裝配,不必準備吊高裝置 等的其他設備。 (實施例2 ) 在第5圖表示搬運工模的其他實施例。本實施例是大 型吊車常備於面板裝配工廠內的情形的搬運工模的構成。 在本實施例中,基板裝配裝置的分割部位是也與先前實施 例相同。本實施例時與先前實施例不同點,是以吊車爲了 吊起移動設置吊起配件42設於上腔單元20之點,及設置上 腔單元暫時放置架台40之點。該暫時放置架台4 0是鎖緊於 設在上腔單元的上框5的固定部5a的上下軸10的部分,構 成藉由設於暫時放置架台40的鎖緊部與螺栓可加以鎖緊。 又,定位用保持部41設於暫時放置架台40成爲上腔8或上 台9不會在暫時放置架台40上移動。定位用保持部41是構 成可用螺栓等鎖緊暫時放置架台40及上腔8。又,在暫時 放置架台40的腳部分,將上腔單元20裝載於暫時放置架台 40上的狀態下可移動般地設有腳輪機構。在運搬時將上腔 單元以照原狀態裝載於該暫時放置架台40上,每一暫時放 置架台地進行搬運。 在本發明中,作成將吊起配件設置於上腔單元的構成 。該吊起配件的安裝方法是在裝置的搬入方向與安裝位置 不相同。基板裝配裝置是由上部觀看形成大約長方形的形 狀。所以,從長度方向可搬入時,則在上腔單元的上部設 置吊起配件。寬度方向地搬入時,則如第5圖所示地,由 -12- 1333932 平衡觀點上’作成將吊起配件42設於構成上腔單元的上框 5的側部的方式。在上框5的側部成爲可把用以固定吊起零 件42的鎖緊構件43的安裝於複數部位。 又’在本實施例中,吊車設備設在裝置搬入處的工廠 ’或是必須有設置吊車的充分場所。以下,針對於具有設 備的裝配順序加以說明。 首先’將下腔單元搬入並安裝於裝置安裝場所。之後 ,將吊車移動至上腔單元的搬入口。此時,拆下與固定支 撐著上腔單元的暫時放置架台的固定。又,用以防止上腔 8等的移動的保持部也解除上腔的鎖緊。之後,將吊起配 件42與吊車的鈎部鎖緊。利用吊車吊起上腔單元,移動至 下腔單元上,進行上下單元的對位。又,此時,將上下軸 上昇到所定位置。之後,將上腔單元下降到下腔單元上, 鎖緊上下軸10部與上框。當完成鎖緊,則解除吊起配件42 與上框的鎖緊,上昇並移動吊起配件。藉由此,完成搬運 後的裝配。在上述中,將吊起零件作成從裝置本體拆下的 構成,惟吊起配件是若不會妨礙,也可直接安裝於裝置本 體。 如上述地,在本實施例中,隨著基板裝配裝置的大型 化,在裝配裝置的狀態下要搬運到所使用的工廠成爲很困 難。如此,在可搬運基板裝配裝置的狀態下,構成可分割 上腔單元與下腔單元的兩個。下腔單元側是保持分割狀態 被搬運,而搬運上腔單元側時,則作成爲了保持分割狀態 而保持在專用的搬運工模進行搬運。若在工廠側沒有專用 -13- 1333932 的吊車設備時,作爲裝置裝配用的功能而上下地移動上腔 單元的機構設於搬運工模,具有搬運工模與裝配工模的兩 種功能,不必準備裝配裝置,就可裝配,以謀求縮短搬運 、裝配時間。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示基板裝配裝置的全體構成的槪略圖。 第2圖是表示將基板裝配裝置分成兩半時的槪略圖。 第3(1)圖至第3 (4)圖是表示搬運基板裝配裝置後 ,裝配時的前工程的圖式。 第4(1)圖至第4(4)圖是表示搬運基板裝配裝置後 ,裝配時的後工程的圖式。 第5圖是表示使用其他搬運工模時的圖式。 【主要元件符號說明】 1 :架台 2 :下軸 3 :下腔 4 :下台 5 :上框 6 :上軸 7 :支撐軸 8 :上腔 9 :上台 -14 - 1333932
ίο : 11: 12 : 20 : 25 : 32 : 33 : 40 : 41 : 42 : 43 : 上下軸 Z軸驅動電動機 滾珠螺絲 上腔單元 下腔單元 支撐架台 上腔單元支撐部 支撐架 暫時放置架台 保持部 吊起配件 鎖緊構件
-15

Claims (1)

1333932
十、申請專利範圍 l 一種基板裝配裝置的搬運方法,屬於將基 裝置從裝置裝配工廠搬運至面板製造工廠的搬運方 特徵爲: 將基板裝配裝置二分成上腔單元與下腔單元, 載於搬運車而予以搬運時,上述下腔單元是保持其 予以搬運,上述上腔單元是將上腔單元的上框固定 下可移動的搬運工模而予以搬運,而且也將上述搬 使用作爲裝置裝配工模。 2. —種基板裝配裝置的搬運工模,屬於將基 裝置二分成上腔單元與下腔單元的上下,而用以搬 上腔單元的搬運工模,其特徵爲: 上述搬運工模是作成以螺栓鎖緊設於上述上腔 上框的固定座的構造,而上下地可移動地構成上述 元。 3. 如申請專利範圍第2項所述的基板裝配裝 運工模,其中,上述上腔單元是至少具備:上框, 於上述上框的上腔,及設於上述上腔內的上台。 4-如申請專利範圍第2項所述的基板裝配裝 運工模,其中,上述下腔單元是至少具備:架台, 上述架台上的下腔,及設於上述下腔內的下台,及 下移動上述上框的上下軸,及驅動上述上下軸的Z 機構。 5.如申請專利範圍第2項所述的基板裝配裝 板裝配 法,其 分別裝 狀態而 於朝上 運工模 板裝配 運上述 單元的 上腔單 置的搬 及安裝 置的搬 及設於 用以上 軸驅動 置的搬 -16- 1333932 運工模,其中,作成在將設於上述下 上下的上下軸,及設於上述上腔單元 座之間予以分割的構成。 6. 如申請專利範圍第2項所述 運工模,其中,作成以接頭可分離、 腔單元的空氣機器的配管及對於電氣 7. —種基板裝配裝置的搬運方 裝置從裝置裝配工廠搬運至面板製造 特徵爲: 將基板裝配裝置二分成上腔單元 載於搬運車而予以搬運時,上述下腔 予以搬運,上述上腔單元是作爲搬運 框的固定座部固定於暫時放置架台, 不會因振動而移動般地被保持在上述 8. —種基板裝配裝置的搬運工 裝置二分成上腔單元與下腔單元的上 上腔單元的搬運工模,其特徵爲: 上述搬運工模是設於上述上腔單 栓鎖緊在與下腔單元的上下軸鎖緊的 設置防止上述上腔與上台的移動的定. 9 ·如申請專利範圍第8項所述 運工模,其中,在上述固定座構成可 的吊起配件。 '腔單元側的上框予以 ,側的上述上框的固定 ;的基板裝配裝置的搬 結合對於設於上述上 機器的配線的構成。 法,屬於將基板裝配 工廠的搬運方法,其 與下腔單元,分別裝 單元是保持其狀態而 工模將上腔單元的上 而令上述上腔與上台 暫時放置架台。 模,屬於將基板裝配 下,而用以搬運上述 元的上框而作成以螺 固定座的構造,作成 位用的保持具。 的基板裝配裝置的搬 安裝用以藉吊車搬運 -17-
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