TWI307822B

TWI307822B -

Info

Publication number: TWI307822B
Application number: TW091114760A
Authority: TW
Inventors: Tomohiro Nagoya; Hidekazu Matsuura; Takehiro Shimizu
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date: 2001-07-03
Filing date: 2002-07-03
Publication date: 2009-03-21
Also published as: WO2003005127A1; US20040180286A1; KR20040004370A; KR100805134B1; CN100347611C; CN1522388A; US6849385B2

Description

經濟部智慧財產局員工消资合作社印製 1307822 A7 _B7__ 五、發明説明（，）技術領域本發明係有關具有優良耐熱性及耐鹼性之感光性樹脂組成物，以及使用其製造圖型之方法及電子零件。背景技術近年來電子零件所使用之保護膜或絕緣膜爲，聚醯胺樹脂或聚醯亞胺樹脂。但，該膜形成圖型之步驟中，需備有於膜表面形成光阻膜、對一定場所進行曝光顯像、利用鈾刻等去除不要部分、剝離光阻材及洗淨基板表面等煩雜作業。因此，寄望利用曝光顯像形成圖型之光阻膜，能直接作爲保護膜或絕緣膜用之感光材料開發》目前已開發各種感光性聚醯亞胺樹脂，廣泛使用爲半導體裝置之保護膜、絕緣膜。但，多數感光性聚醯亞胺樹脂於形成圖型後，需以3 0 0 °C溫度進行醯亞胺化，故無法適用於不進行高溫處理之電子零件。又，對要求耐鹼性之特殊電子零件的保護膜及絕緣膜，感光性聚醯亞胺樹脂之耐鹼性將不足。發明揭示本發明之目的爲，提供適用爲無法高溫處理之電子零件及需耐鹼性之電子零件的保護膜或絕緣膜材料，且能形成圖型之感光性樹脂組成物，以及使用其製造圖型之方法及電子零件。本發明第一方面係提供含有，具有下列一般式（I ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：29·7公釐〉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-4- 1307822 A7 B7五、發明説明（2 ) 所示重覆單位（u 1 )之聚醯胺樹脂（A)及具有一般式 (Π )所示重覆單位（U 2 )之聚醯胺醯亞胺樹脂（B ) 中之至少一方之感光性樹脂，與具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )及含有分子內具有5個以上光聚合性不飽和性鍵之單體（d 1 )的光聚合性不飽和單體（D )中至少一方之光聚合性化合物的感光性樹脂組成物。一般式（I ):

(式中，X1爲具有芳香環之3價有機基；Y1爲具有芳香環之2價有機基；R1爲具有感光性基之1價有機基）一般式（Π ): (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-呑 Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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/ \ OHC CHO K ο儿 (式中，X2及Y2爲具有芳香環之3價有機基；R2爲具有感光性基之1價有機基）本發明第二方面係提供，含下列步驟之圖型製造法： i )將本發明之感光性樹脂組成物所形成的感光層層本纸張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（2〗〇X297公釐）

-5- 1307822 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 A7 B7_ 五、發明説明（3 ) 合於基板上之步驟； ϋ )以畫像狀照射活性光線，使感光層之曝光部光硬化的步驟；迅）利用選擇性顯像去除感光層之未曝光部，以形成圖型之步驟。本發明第三方面係提供，具有本發明之感光性樹脂組成物所形成之感光層的電子零件。圖面簡單說明圖1爲，本發明圖型製造方法之—步驟例的模式圖。圖2爲，本發明電子零件之一實施形態的多層配皞構造中，半導體裝置之一製造步驟例的模式圖。實施發明之最佳形態下面將詳細說明本發明之實施形態。本發明之感光性樹脂組成物爲，含有上述感光性樹脂 (Α)及/或（Β )與上述光聚合性化合物（C)及/或 (D )。又，感光性樹脂爲（A )及（Β )中至少一方，且光聚合性化合物爲（C )及（D )中至少一方下，其組合可隨意，例如可含（A)至（D)之所有成分，或含（ A)及（B)雙方與（C)或（D)，或含（C)及（D )雙方與（A)或（B)。 - 首先將說明本發明所使用之感光性樹脂。本發明所使用之感光性樹脂爲，下列所示聚醯胺樹脂（A )及聚醯胺本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（21〇X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-6 - 1307822 A7 B7 五、發明説明（4 ) 醯亞胺樹脂（B )中至少—方或雙方。聚醜胺樹脂（A)爲，具有下列一般式（I )所示重覆單位（U1)之聚合物。 Η Μ Ο 〇 I I II , II N-C-Y—C- 、x I c cf 'R1 (I) (式中，X1爲具有芳香環之3價有機基；Y1爲具有芳香環之2價有機基；R1爲具有感光性基之1價有機基）就耐鹼性觀點，實施形態較佳爲，聚醯胺樹脂（A) 另具有下列一般式（瓜）所示重覆單位（U 3 )。 Η -Ν-Ζ1- Η Ο Ο I II , II -Ν—·C一V—C- (m) 經濟部智毡坷產局w工消費合作社印製· (式中，Y1及z1爲具有芳香環之2價有機基）聚醯胺醯亞胺樹脂（B)爲，具有下列一般式（Π 所示重覆單位（U2)之聚合物。中式 Η—Ν x—c Η one2Y- o=cy /c=o

具爲 2 R 基機有價 3 之環香芳有具爲 2 Y 及 2 X 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2】〇X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

1307822 附件·第091114760號夺科年普案------------Ί 中文說明書修正頁民國叫年4月16日 Α7 R7 五、發明説明（5 ) 有感光性基之1價有機基）就耐鹼性觀點，實施形態較佳爲，聚醯胺醯亞胺樹脂 (B)另具有下列一般式（jv)所示重覆單位（lJ4)。

OHC i /〆 OHC cHo y 21 z I HIN IV ί\ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Υ 爲具有芳香環之3價有機基；Ζ2爲具有芳香環之2價有機基）聚醯胺樹脂（A )中，重覆單位（υ 1 )爲將感光性賦予樹脂之必要成分，聚醯胺醯亞胺樹脂（B )中，重覆單位（U 2 )爲將感光性賦予樹脂之必要成分，且對各自重覆單位總量1 0 0莫耳％較佳爲2 0至9 0莫耳％，更佳爲3 0至8 5莫耳％。重覆單位（U 1)及（U2)各自少於2 0莫耳％時，會因減少樹脂中感光性基之比率而降低靈敏度，故而使感光特性變差之傾向，又，多於9 0 莫耳％時，反應溶液易凝膠化，而有難合成樹脂之傾向。因此，後述聚醯胺樹脂（A )及聚醯胺醯亞胺樹脂（B ) 合成時，對所使用之二胺總量1 0 0莫耳％，後述一般式 (V)或（VI)所示芳香族二胺使用量較佳爲2 0至9 0 莫耳％，更佳爲3 0至8 5莫耳％。聚醯胺樹脂（A)含有上述重覆單位（U 3)時，( U1)與（U3)之莫耳比較佳爲，（Ul) ： ( U 3 ) = 2:8 至 9:1，更佳爲 3: 7 至 8. 5: 1.5。聚 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝- 、?τ 樣本纸張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（21〇>< 297公釐） -8- 1307822 經濟部智总財產局@(工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（6 ) 醯胺醯亞胺樹脂（B)含有上述重覆單位（U4)時，（ U2)與（U4)之莫耳比較佳爲，(U 2 ) : ( U 4 ) = 2:8 至 9:1，更佳爲 3:7 至 8. 5:1.5。（ Ul) + (U3)中（U1)比率及（U2) + (U4) 中（U2)比率低於2時，會因減少樹脂中感光性基比率，而有降低靈敏度之傾向。又，超過9時，易凝膠化而有難合辑樹脂之困難。因此，合成後述聚醯胺樹脂（A)及聚醯胺醯亞胺樹脂（B)時，後述一般式（v)或（VI) 所不芳香族二胺與一般式（X I )或（ΧΠ)所示芳香族二胺之使用比率較佳爲2 : 8至9 : 1，更佳爲3 : 7至 8.5:1.5° 上述一般式（I)中，X1爲具有芳香環之3價有機基，即一般與二羧酸或其衍生物反應形成醯胺而得之芳香族二胺殘基。一般式（I )中，X2爲具有芳香環之3價有機基，即，一般與三羧酸或其衍生物反應形成醯胺醯亞胺而得之芳香族二胺殘基。 X1及X2之芳香環如，苯環、萘環等，又，因易取得，故X1及X2所含碳總數各自較佳爲6至4 0。又，各自 3個鍵結部位較佳爲，均存在於芳香環上。具體例如，苯環、萘環、蒽環及其2至6個芳香環係介有單鍵、氧原子、硫原子、硫醯基、亞硫醯基、伸甲基、2，2 —伸丙基、羰基、二甲基矽烷基、矽氧烷構造等鍵結之基。又，該芳香環上可存在取代基用之碳數1至4烷基。上述一般式（I )之R1及一般式（Π)之R2爲，具 (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂線本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（2IOX 297公釐） -9- [307822 A7 B7五、發明説明（7 ) 有感光性基之1價有機基，該感光性基如，具有可利用光聚合之碳碳雙鍵之基。具體例如，烯丙基氧基、丙烯醯氧基烷氧基、甲基丙烯醯氧基烷氧基、馬來醯亞胺基烷氧基、丙烯醯基氧基烷基胺基、甲基丙烯醯氧基烷基胺基、馬來醯亞胺基烷基胺基、烯丙基、丙烯醯氧基烷基、甲基丙烯醯基氧基烷基、乙炔基等。較佳如，下列一般式（VH) 至（X )所示1價有機基。

? R5 0—R^-〇—C — C=C V 〇 R5 —N—R^-0—C—C=C’ (W) 一0—R—

R7 II C、

S

Ra (W) 〇

(X) 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 (式中，R3爲2價有機基；R4、R5、R6、R7及R8 各自獨立爲氫原子、碳數1至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基）就耐熱性觀點，R 3所示2價有機基較佳爲，伸甲基、伸乙基、伸丙基等碳數1至4之伸烷基。上述一般式（W)或一般式（珊）所示1價有機基中，特別是R3爲碳數1至4之伸烷基、R4爲氫原子或甲基、R5及R6爲氫原子之有機基具有高靈敏度而爲佳。又， —般式（K )或一般式（X )所示1價有機基中，特別是 R3爲碳數1至4之伸烷基、R7及R8爲氫原子之有機基具有高靈敏度而爲佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -10 - 經濟部智祛財產局員工消費合作社印¾ 1307822 Αν ___ Β7 __ 五、發明説明（8 ) 上述一般式（I )之γ1、一般式（m)之γ1及Z1 、一般式（iv)之z2各自爲具有芳香環之2價有機基，該芳香環如，苯環、萘環等，又，y1、z1及z2所含碳總量就易取得性，各自較佳爲6至4 0。聚醯胺樹脂（A ) 中，一般式（I )之γ1及一般式（m)之y1可相同或相異》Y1、Z1及Z2之2個鍵結部位較佳爲，均存在於芳香環上。具體例如，苯環、萘環、蒽環及其2至6個芳香環係介有單鍵、氧原子、硫原子、硫醯基、亞硫醯基、伸甲基、2， 2-伸丙基、羰基、二甲基矽烷基、矽氧烷構造、醯胺鍵等鍵結之基。又，芳香環上可存在取代基用之碳數1至4烷基。上述一般式（Π)及（IV)之Y2爲，具有芳香環之3 價有機基，該芳香環如，苯環、萘環等，又，Y2所含碳總數就易取得性，較佳爲6至4 0。聚醯胺醯亞胺樹脂（B )中，一般式（Π)之Y2及一般式（IV)之Y2可相同或相異° Y 2之3個鍵結部位較佳爲，均存在於芳香環上。又，Y2所示芳香環之具體例同上述y1、Z1及Z2例示。具有上述重覆單位（U1)，較佳爲另具有（U3) 之聚醯胺樹脂（A )例如較佳由，芳香族二胺與芳香族二羧酸或其反應性衍生物反應而醯胺化之方法合成。該芳香族二羧酸之反應性衍生物係指，芳香族二羧酸之二鹵化物，例如二氯化物或二溴化物、二酯等。芳香族二胺對芳香族二羧酸或其反應性衍生物之總量1 〇〇莫耳％的使用量較佳爲，總量下8 0至1 2 0莫耳％，更佳爲9 5至本纸張尺度刺中關家料（CNS) A4規格（2H)x297公楚） ~ ' — 裝訂線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 -

經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 1307822 A7 Αν B7 五、發明説明（9 ) 1 0 5莫耳％。二胺總量少於8 0莫耳％時或多於1 2 0 莫耳時，會降低所得聚醯胺樹脂（A )之分子量，而使耐鹼性或耐藥性變差。具體上聚醯胺樹脂（A)可由，含芳香族二羧酸或其反應性衍生物之酸成分與含一般式（V): cf V (V) (式中，X1及R1同上述一般式（I )之X1及R1) 所示芳香族二胺之鹼成分反應合成而得。具有上述重覆單位（U2)，更佳爲另具有（U4) 之聚醯胺醯亞胺樹脂（B )例如較佳由，含芳香族三羧酸酑或其反應性衍生物之酸成分與含下列一般式（VI ): h2n nh2

I cfC、R2 (VI) (式中，X2及R2同上述一般式（Π)之X2及R2) 所示芳香族二胺之鹼成分反應而醯胺醯亞胺化製得。該芳香族三羧酸酐之反應性衍生物係指，芳香族三羧酸酐之鹵化物，例如氯化物或溴化物、酯等，較佳爲偏苯三酸氯化物等。就所得樹脂分子量及耐鹼性、耐藥性觀點，鹼成分對酸成分100莫耳％之使用量較佳爲，總量80至 120莫耳％，更佳爲95至105莫耳％。 —般式（V )及（VI )之二胺具體例較佳如，本纸張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

-12- 1307822 Α7 Β7 五、發明説明（10)

ο '〇-(：H2-CH2-CH2-CH2-〇-C-CH-CH2 ^〇-CHrCHrCHrCH2-〇-C-C«CHi CH3

---------裝-- (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂又，該二胺可2種以上倂用，以合成重覆單位（ul)或 (U 3 )。聚醯胺樹脂（A)之合成原料中，除上述一般式（V )所示二胺外，所使用之鹼成分較佳爲芳香族二胺，例如線下列一般式（X I ): (XI) Η 2 N 一 Ζ 1 — Ν Η 2 (式中，Ζ1同上述一般式（瓜）之Ζι) 所示二胺。又，較佳係倂用一般式（χ之二胺，以合成具有重覆單位（U 3)之聚醯胺樹脂（Α)。聚醯胺醯亞胺樹脂（Β)之合成原料中，除上述一般式（VI )所示二胺以外，所使用之鹼成分較佳爲芳香族二 (X Π 肢，如下列一般式（χ n ): Η 2 N - Z 2 - Ν Η 2 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -13- 1307822 A7 Αν B7 五、發明説明（h) (式中，Z 2同上述一般式（IV )之Z 2 ) 所示二胺。又，較佳係倂用一般式（X E )之二胺，以合成具有上述重覆單位（U4)之聚醯胺醯亞胺樹脂（B) 〇 —般式（X I )及（ΧΠ)之二胺如，苯二胺、甲苯二胺、二甲苯二胺、萘二胺、4, 4’ —二胺基二苯基甲烷、4， 4’ —二胺基二苯基硕、4， 4’ _二胺基二苯基醚、4.，4’ —二胺基苯醯苯胺、4, 4’ 一二胺基二苯甲酮、3， 3’ -二胺基二苯基硕、3， 3’ ， 5， 5’ 一四甲基—4，4’ 一二胺基二苯基甲烷、3，3’ ，5， 5’ 一四異丙基-4, 4’ 一二胺基二苯基甲烷、 1，4 —雙（4 —胺基枯基）苯、1，3 —雙（4 一胺基枯基）苯、1，4_雙（4 —胺基苯氧基）苯、1，4 — 雙（3-胺基苯氧基）苯、1，3-雙（3_胺基苯氧基 )苯、2， 2-雙〔4—(4一胺基苯氧基）苯基〕丙烷、2，2 -雙〔4 — (3-胺基苯氧基）苯基〕丙烷、雙〔4 — (4 —胺基苯氧基）苯基〕碩、雙〔4 一（3_胺基苯氧基）苯基〕碾、雙〔4_ (4 一胺基苯氧基）苯基〕醚、雙〔4 一（4 —胺基苯氧基）苯基〕聯苯等。又，可倂用2種以上該二胺以合成重覆單位（U 3 )或（U4 )« 合成聚醯胺樹脂（A)時，與芳香族二胺反應之芳香族二羧酸可爲，下列一般式（ΧΙΠ)所示二羧酸。 HOOC-Y'-COOH ( X HI ) 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） I 11 i 11 裝 I 訂— 11111 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14 - t齊郎一工消費合泎ΪΑ印製 1307822 A7 _ B7五、發明説明（12 ) (式中，Y1同上述一般式（I)及（瓜）之Y 1 ) 一般式（ΧΠΙ)之二羧酸如，對苯二甲酸、間苯二甲酸、雙（4 一羧基苯基）硕、4，4’ 一聯苯二羧酸、1 ，5 -萘二羧酸等，又，可2種以上倂用。其中就易取得及廉價性，又以對苯二甲酸及間苯二甲酸爲佳。就所生成之聚醯胺樹脂的溶解性，特佳爲使用對苯二甲酸及間苯二甲酸之混合物。合成聚醢胺醯亞胺樹脂（B )時，與芳香族二胺反應之芳香族三羧酸酐較佳爲，具有與胺基反應可生成醯亞胺基之酸酐基的下列一般式（XIV)所示之物。 0 II HOOC— II 〇 (XIV) (式中，Υ2同上述一般式（Π)及（IV)之Υ2) 就耐熱性及經濟性，又以使用偏苯三酸酐爲佳。又，可使用2種以上芳香族三羧酸酐。上述酸成分除上述芳香族三羧酸酐外，可含有芳香族二羧酸、芳香族四羧酸二酐。芳香族二羧酸如，對苯二甲酸、間苯二甲酸、雙（4_羧基苯基）醚、雙（4 一羧基苯基）硕、4， 4’ -聯苯二羧酸、1， 5-萘二羧酸等，又，可2種以上倂用。該二羧酸又可作爲酯、自化物等之反應性衍生物用。芳香族四羧酸二酐如，均苯四酸二酐、3， 3’ ， 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 訂線本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210>〇97公釐） -15- 1307822 A7 B7 五、發明説明（13) ，4’ 一二苯甲酮四羧酸二酐、3， 3，，4，4，一聯苯四羧酸二酐、2, 2 —雙酞酸六氟異亞丙基二野、雙（ 3，4 —二羧基苯基）碩二酐、4，4，—雙（3，4 — 二羧基苯氧基）二苯基硕二酐、2，2 —雙〔4— (3, 4 -二竣基苯氧基）苯基〕丙焼二酐、乙二醇雙偏苯酸酯二酐、十甲二醇雙偏苯三酸酯二酐、雙酚A雙偏苯三酸醋二酐、2，2_雙〔4 一（3，4~二羧基苯基苯醯氧基 )苯基〕六氟丙烷二酐、4，4’ —〔1，4_伸苯基雙 (1 一甲基亞乙基）〕雙苯基雙偏苯三酸酐二肝等，又，可2種以上倂用。該四羧酸二酐又可作爲游離酸（四缓酸 )、酯、鹵化物等之衍生物用》上述聚醯胺樹脂（A)及聚醯胺醯亞胺樹脂（b )之合成方法、反應條件等並無特別限制，可採用—般方法。聚醯胺樹脂（A )可由，極性溶劑中8 〇 r以下，使上述酸成分及鹼成分反應而得。酸成分爲二翔酸時，可使用脫水劑用之乙酸酐、丙酸酐、安息香酸酐等酸酐物，或二環己基碳化二亞胺等碳化二亞胺化合物等。又，必要時可使屈脫水觸媒用之吡啶、異喹啉、三甲基胺、胺基吡啶、咪唑等。脫水劑或脫水觸媒對二羧酸1莫耳之使用量各自較佳爲1至8莫耳。酸成分爲鹵化物時，又以摻合酸捕捉劑用之三乙基胺、丙烯氧化物等爲佳。酸捕捉劑對酸成分1 莫耳之使用量爲1至8莫耳。聚醯胺醯亞胺樹脂（β)可由，極性溶劑中8 0 °C以下，使上述酸成分及鹼成分反應後，將所生成之醯胺酸脫水閉環而得。脫水閉環係以本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（21〇χ297公f ) ---------^— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

.1T 線經濟部智蛙財產局員工消費合作社印製 -16- 1307822 A7 B7 _ 五、發明説明（14) 1 2 0至2 5 0°C熱處理之方法（熱醯亞胺化）或使用脫水劑之方法（化學醯亞胺化）進行。以1 2 0至2 5 0乞熱處理時，可同時將脫水反應所生成之水除去系外及進行反應而爲佳。此時又可利用苯、甲苯、二甲苯等將水共沸去除。使用脫水劑進行脫水閉環之方法時，所使用之脫水劑較佳爲，乙酸酐、丙酸酐、安息香酸酐等酸酐，或二環己基碳化二亞胺等碳化二亞胺化合物等。又，必要時可使用脫水觸媒用之吡啶、異喹啉、三甲基胺、胺基吡啶、咪唑等。脫水劑或脫水觸媒對具有酸酐基之3價羧酸1莫耳的使用量各自較佳爲1至8莫耳。合成聚醢胺樹脂（A)及聚醯胺醯亞胺樹脂（B)時，爲了防止感光性基之暗反應，可摻合自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑。自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑如，P _甲氧基苯酣、二苯基一 P —苯醌、2，2 ’ —伸甲基雙（4 —乙基—6—t — 丁基苯酚）、6 — t — 丁基一 2， 3 —二甲苯酚、焦掊酚、吩噻嗪、間苯二酚、〇 —二硝基苯、P_二硝基苯、m -二硝基苯、菲醌、N 一苯基—1 一萘基胺、N—苯基一 2 -萘基胺、銅鐵靈、丹寧酸、p —苄基胺基苯酚、維他命E、亞硝胺類等，又，可單獨使用或2種以上倂用。自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑對一般式（V )或（VI )所示二胺之總量 100莫耳％的使用量較佳爲〇·〇1至20莫耳％，更佳爲0 · 0 5至10莫耳％。少於〇 · 0 1莫耳％時，反應溶液會凝膠化，又，多於20莫耳％時會有降低靈敏度本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐] I I I I I I I |批衣— I I I I I I I I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 1307822 A 7 _B7 五、發明説明（15 ) 之傾向。合成聚醯胺樹脂（A)及聚醯胺醯亞胺樹脂（B )時，所使用之有機溶劑較佳爲，能完全溶解所生成之樹脂的極性溶劑，例如N —甲基_ 2 —吡咯烷酮、N，N —二甲基乙醯胺、N，N —二甲基甲醯胺、二甲基亞硕、7 —丁內酯、環丁碾等。又，除該極性溶劑外，可使用嗣類、酯類、醚類、脂肪族化合物類、芳香族化合物類及其鹵化物等，例如丙酮、二乙基酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環己酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙基醚、乙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚、四氫呋喃、二氯甲烷、1， 2— 二氯乙烷、氯苯、己烷、庚烷、辛烷、甲苯、二甲苯。該有機溶劑可單獨使用或2種以上倂用。所得聚醯胺樹脂（A )及聚醯胺醯亞胺樹脂（B )可直接以反應溶液形成塗膜（感光層），或將反應溶液投入弱溶劑後析出樹脂再精製使用。就耐熱性、耐藥性、未曝光部之顯像性，本發明所使用之聚醯胺樹脂（A )及聚醯胺醯亞胺樹脂（B )的重量平均分子量較佳爲8，000至200, 000，更佳爲 1 0, 000至180，000。重量平均分子量小於 8， 000時，會有耐熱性、耐藥性變差之傾向，又，大於2 0 0，0 0 0時，會降低未曝光部之顯像性而易產生顯像殘渣。重量平均分子量係利用凝膠滲透色譜法測定後，以標準聚苯乙烯換算而得。其次將說明本發明所使用之光聚合性化合物。本發明本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝.

.1T 線 -18- 晚齊郎智达时產局員工消費合作社印製 1307822 A7 B7 五、發明説明（16 ) 所使用之光聚合性化合物爲，具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )及含有分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體（d 1 )的光聚合性不飽和單體（D )中至少一方或雙方。使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )之目的爲，提升感光性樹脂組成物之耐鹼性。所選擇之光聚合性化合物爲矽烷偶合劑（C )時，對感光性樹脂全量（由聚醯胺樹脂（A )及/或聚醯胺醯亞胺樹脂（B )所形成之感光性樹脂的全量，以下均同）100重量份之摻合量較佳爲0 . 1至20重量份，更佳爲1至15重量份。少於0.1重量份時，會降低對基材之密合性、交聯密度，而有降低耐鹼性、耐藥性之傾向。又，多於2 0重量份時，易因暗反應而產生凝膠化，故有降低保存安定性之傾向〇該矽烷偶合劑（C)如，乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙酸基矽烷、乙烯基三（2-甲氧基乙氧基）矽烷、乙烯基三氯矽烷、乙烯基矽烷基三異氰酸酯、3—甲基丙烯醯基氧丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯基氧丙基二甲氧基甲基矽烷、3-甲基丙烯醯基氧丙基三甲氧基矽烷、三（甲基丙烯醯基氧乙氧基）甲基矽烷。該矽烷偶合劑（C )可單獨使用或2種以上倂用〇爲了提高對基材之密合性，實施形態較佳爲，單獨摻合（僅選用（D)作爲光聚合性化合物而未含（C)時）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） ---------參------1T------.^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •19- 1307822 A7 ______B7_____ 五、發明説明（17 ) 上述矽烷偶合劑（C )以外之偶合劑，或與矽烷偶合劑（ c ) 一起摻合。（C )以外之偶合劑對感光性樹脂全量 1 0 0重量份之摻合量較佳爲0 . 1至1 5重量份，更佳爲0 . 3至1 0重量份。該（C)以外之偶合劑較佳爲矽烷偶合劑（即，不具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑），例如r-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、r-毓基丙基三甲氧基矽烷、r_胺基丙基三乙氧基政.烷、7-脲基丙基三乙氧基矽烷、N — /3 —胺基乙基-r —胺基丙基三甲氧基矽烷。光聚合性不飽和單體（D)係使用分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體（dl)。因此，可提升感光性樹脂組成物之感光特性及大幅提升耐溶劑性，特別是耐鹼性。就交聯密度及耐鹼性，對光聚合性不飽和單體（D )100重量％之單體（dl)含量較佳爲30至100 重量％，更佳爲50至100重量％。就感光特性等方面，所使用上述單體（d 1 )以外之光聚合性不飽和單體較佳爲，分子內具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體（d 2 )。以單體（d 1 )作爲光聚合性化合物用時，可倂用該單體（d 2 )及（d 1 )，又，未使用單體（d 1 )時（選擇上述矽烷偶合劑（C)作爲光聚合性化合物時），可倂用該單體（d 2 )及矽烷偶合劑（C ) 〇選擇含單體（d 1 )之光聚合性不飽和單體（D )作爲光聚合性化合物時，對感光性樹脂全量1 0 0重量份之本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4规格（2】0X297公釐） n |批衣 I I 訂— I I I I 各 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20- 1307822 A7 B7 18 五、發明説明（ (D)摻合量（即，含單體（dli)及必要時之單體（ d 2 )的光聚合性不飽和單體總置），就提升靈敏度較佳爲1重量份以上，就保存安定性較佳爲5 〇〇重量份以下，更佳爲3至300重量份。又，未使用單體（dl)而使用單體（d 1 )以外之光聚合性不飽和單體（單體（ d 2 )等）時，光聚合性不飽和單體（d)之較佳摻合量亦相同。例如，光聚合性化合物僅含有矽烷偶合劑（C ) 時，對感光性樹脂全量1 〇〇重量份之單體（d 2 )摻合量較佳爲1至500重量份，更佳爲3至300重量份。所使用之單體（d 1 )較佳爲，分子內具有5個以上丙烯醯基或甲基丙烯醯基之單體，但非限於該單體。特佳如，二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、具有一般式（X V ): (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 I c H2c=c—CO-O-R；.ίο R1

cr r-o-co-c=ch2 R /、 H；；C=C—CO-O-R^O^ I H^O-R^-O-CO-C^CHtH:ic=c—co-o—、〇—RL〇-CO-C=CH2 R1 線 R1 B1( (XV) (式中，6個R9各自獨立爲碳數1至5之偶烷基；6個 R1Q各自獨立爲甲基或氫原子）所示膦嗪骨架之六丙烯酸酯及六甲基丙烯酸酯、一般式（ X VI ): 本纸張尺度適用中.國國家標準（CMS ) 規格（210X297公釐） -21 - 14 (XW) 14 1307822 A7 B7 __ 1 五、發明説明（19)

RlW〇^CH^C〇f〇-CHa

Rl^O^CH^CO^o-CHs-C-CHi-O-CHz-C-CHz-O-fCO-^CHz^R11

巧0 十 CH4C〇t〇-CH2 CH2-〇-(-CO-(CH2^〇^-R (XVI) (式中，5個R11各自獨立爲丙嫌醯基或甲基丙儀酿基’ R12爲丙烯醯基、甲基丙烯醯基或氫原子；？爲3至10 之整數；f、 g、 h、 i、 j及k各自獨立爲〇至5之整數）所示二季戊四醇之內酯改性物的六丙烯酸酯、六甲基丙烯酸酯、五丙烯酸酯及五甲基丙烯酸酯、一般式（XVtt): R^f0--R^0-CH2 CHz-O-fR^-O^R14

R-^0—R-^0-CH2-C-CH2-〇-CH2-C-CH2-〇-(-R~〇)^R R—(ci—R^)~i〇-CH2 CH2- 0-f R—0-)j^R (式中，複數個R13各自獨立爲伸乙基或伸丙基；5個 R 14各自獨立爲丙烯醯基或甲基丙烯醯基；R15爲丙烯醯基、甲基丙烯醯基或氫原子；fl、 gl、 hi、 il、 j 1及kl各自獨立爲0至5之整數）所示二季戊四醇之環氧化物附加物的六丙烯酸酯、六甲基丙烯酸酯、五丙烯酸酯及五甲基丙烯酸酯等。該單體可單獨使用或2種以上倂用。單體（d 2 )並無特別限制，例如，二乙二醇二丙烯酸酉旨、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、二乙本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）裝------訂------線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -22- 1307822 A7 B7 五、發明説明（20) 二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、1, 4-丁二醇二丙烯酸酯、1 ，6 —己二醇二丙烯酸酯、1，4_丁二醇二甲基丙烯酸酯、1，6 -己二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二乙烯苯、1，3-丙烯醯基氧基—2 —羥基丙烷、1，3 —甲基丙烯醯基氧基一2_羥基丙烷、伸甲基雙丙烯醯亞、甘油二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇之二丙烯酸酯、聚乙二醇之二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇之二丙烯酸酯、聚丙二醇之二甲基丙烯酸酯、三（甲基丙烯氧基乙基）異氰酸酯、一般式 (X 珊）：〇 .~v ch3 _, ο h2c=〒「,-{o-r气卜<^>-0妒〇七各-〒『广2 CXVD1) (式中，複數個R16各自獨立爲伸乙基或伸丙基；2個 R17各自獨立爲甲基或氫原子；ml及η 1各自獨立爲1 至2 0之整數）所示雙酚Α之環氧化合物附加物的二丙烯酸酯及二甲基丙烯酸酯、一般式（XK): 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐）裝訂 n 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本I) -23- 1307822 A7 B7 五、發明説明（ 21 〇 OH ._. CH3/, OH 〇 H2C=C-C^0-CH2CHCH2^P^Q^C^Q^-0|CHzCHCH2-0^-C-^CHz R18 (XIX) (式中，2個R18各自獨立爲甲基或氫原子；m2及η 2 各自獨立爲1至1 0之整數）所示雙酚Α之環氧氯丙烷改性物的二丙烯酸酯及二甲基丙烯酸酯、雙酚A二甲基丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯、一般式（X X ): 〇〇0 H2C^C-C-(-〇-R^p-P-〇^-R^-〇A-C-c=CH2 fl20 OH R20 (XX) (式中，複數個R19各自獨立爲伸乙基或伸丙基；2個 R2°各自獨立爲甲基或氫原子；m3及η 3各自獨立爲1 至2 0之整數）所示磷酸之環氧化物附加物的二丙烯酸酯及二甲基丙烯酸酯、一般式（X X I ): Ο ΟΗ 0 R21 C- Ο CH2CHCH2- 0 -V- C — C=CH2Γ〇Τ 、C-〇--(-CH2CHCH2-〇^-C—c=ch2 0 OH 0 RU (XXI) (式中，2個R21各自獨立爲甲基或氫原子；m4及η 4 各自獨立爲1至1 0之整數）所示酞酸之環氧氯丙烷改性物的二丙烯酸酯及二甲基丙輝酸酯般式（X X Π ) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（21〇Χ：297公釐） -訂線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -24 1307822 A7 B7 五、發明説明（ 22 Ο OH OH 0 H.2C=C-C^O-CH2CHCH2^p-(-CH2->-〇-{-CH2CHCH2-〇-^C-C=CH2 R之2 R (ΧΧΠ) (式中，2個R22各自獨立爲甲基或氫原子；m5及η 5 各自獨立爲1至2 0之整數）所示1，6 _己二醇的環氧氯丙烷改性物的二丙烯酸酯及二甲基丙烯酸酯、一般式（ΧΧΠΙ)： 0 0=Ρ- O-fR—o-}-c-c=ch： m6 ^24 (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本I) -裝· (xxm)

.1T (式中，複數個R23各自獨立爲伸乙基或伸丙基；3個 R24各自獨立爲甲基或氫原子；3個m6各自獨立爲1至 2 0之整數）所示磷酸之環氧化物附加物的三丙烯酸酯及三甲基丙烯酸酯、一般式（X X IV ): ,26 Ο FT ch2-〇-(r—〇-^-c-c=ch2 26 ch2 O"^R—O*^ OR II I · · C—C-CH2 (XXIV) ~Cfc*C==CH2 1 6 R26 (式中，複數個R 2 5各自獨立爲伸乙基或伸丙基；3個. R26各自獨立爲甲基或氫原子；r、s及t各自獨立爲1 至2 〇之整數）所示三羥甲基丙烷之環氧化物附加物的三丙烯酸酯及三甲中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐 -25- 1307822 A7 B7 五、發明説明（ 23 基丙烯酸酯、一般式（XXV) 0 R29" rQ _ CH3 _ p2B ^ CH3 II H Ο Ο (XXV) (式中，複數個R27各自獨立爲伸乙基或伸丙基；2個 R28及2個R29各自獨立爲氫原子、碳數1至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基；m7及η 7各自獨立爲1至2 0 之整數）所示雙酚Α之環氧化物附加物的雙馬來醯亞胺、 —般式（X X VI ):

f丨 Fl3V ^ \-C：H2CH2^〇-CH2CHCH2^〇/(^\c^(^\〇^CH2CHCH2-〇^CHaCHr^ ^ 31ί " λ~f CHa^—7 * /Γ 0 1¾一齊郎铉络时產苟員工消費合作社印裝 (XXVI) (式中，2個R3°及2個R31各自獨立爲氫原子、碳數1 至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基；m8及n8各自獨立爲1至1 0之整數）所示雙酚A之環氧氯丙烷改性物的雙馬來醯亞胺、一般式 (X X VB ): 0 0 32 I n n n n I I I I n n n n I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

R 33/ 匕、 C、C，R 各 ^,M-CH2-Cli2~〇'-^CH2"^-~0—CH2_CH2-N ^ 0 (XXVD) (式中，2個R32及2個R33各自獨立爲氫原子、碳數1 本纸張尺度適用中國國家摇準（CNS)A4規格（210x297公验） -26- 1307822 Α7 Β7 五、發明説明（24) 至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基；m9爲2至20之整數）所示鏈烷二醇之雙馬來醯亞胺、一般式（XXVID) oh 〇h ^ ^N'CHgCHg-fO-CHzCHCHz-^OlCHe-^O^-CHzCHCHs-O^CMiCHi·^ ^ ’〆 m" 6 1〇 ί (XXW)

R 0 B35 (式中，2個R34及2個R35各自獨立爲氫原子、碳數1 至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基；ml 0及η 1 〇各自獨立爲1至2 0之整數）所示1，6 -己二醇之環氧氯丙烷改性物的雙馬來醯亞胺、2，2 —雙（ρ —馬來醯亞胺基苯氧基苯基）丙烷等。該單體可單獨使用或2種以上倂用。除上述所說明之各成分（A)、 (Β D )外，本發明之感光性樹脂組成物較佳引發劑（Ε)。就靈敏度及圖型形成性， (Ε )對感光性樹脂全量1 0 0重量份之重量份以下，就密合性較佳爲8 0重量份 7 0重量份爲佳，更佳爲3至5 0重量份。上述光聚合引發劑（Ε )並無特別限酮、Ν, Ν’ —四乙基一4， 4’ 二胺一甲氧基—4’ -二甲基胺基二苯甲酮、二乙氧基乙醯苯、苯偶因、苯偶因甲基醚醚、苄基二甲基縮酮、α-羥基異丁基苯 )、（C )及（爲，含有光聚合該光聚合引發劑摻合量較佳爲1 以下，又以3至制，例如二苯甲基二苯甲酮、4 苄基、2，2 — 、苯偶因異丁基酮、噻噸酮、2 I 訂"™ 1111 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2】0Χ 297公釐） -27- 1307822 A7 _B7 五、發明説明（25 ) —氯噻噸酮、1-羥基環己基苯基酮、2-甲基-1—〔 4 —(甲基硫）苯基〕—2 —嗎啉基—1—丙酮、t — 丁基蒽醌、1 —氯蒽醌、2，3 —二氯蒽醌、3 —氯-2 — 甲基蒽醌、2 —乙基蒽醌、1 , 4 —萘醌、9， 1 0 -菲醌、1， 2 —苯并蒽醌、1，4 —二甲基蒽醌、2 _苯基蒽醌、2_ (〇_氯苯基）—4，5_二苯基咪唑二聚物。該光聚合引發劑可單獨使用或2種以上併用。本發明之感光性樹脂組成物的較佳實施形態爲，另含有溶劑。該溶劑並無特別限制，例如丙酮、甲基乙基酮、環戊酮、環己酮等酮化合物；甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、丁基溶纖劑、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、丁基溶纖劑乙酸酯、3-甲基一3 -甲氧基丁基乙酸酯、乙二醇單丙基醚、乙二醇單己基醚、乙二醇二甲基醚、二乙二醇乙基醚、二乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇單甲基醚乙酸酯、二乙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇乙基醚乙酸酯、二乙二醇丙基醚乙酸酯、二乙二醇異丙基醚乙酸酯、二乙二醇丁基醚乙酸酯、二乙二醇—t 一丁基醚乙 .酸酯、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇甲基醚乙酸酯、三乙二醇乙基醚乙酸酯、三乙二醇丙基醚乙酸酯、三乙二醇異丙基醚乙酸酯、三乙二醇丁基醚乙酸酯、三乙二醇-t — 丁基醚乙酸酯等烯烴二醇醚化合物；甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇化合物；己烷、庚烷、辛烷等脂肪族化合物；氯仿、二氯甲烷、1，2 -二氯乙烷、氯苯等脂肪族化合物本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂線 -28- 1307822 A7 _____B7 五、發明説明（26) •芳香族化合物之鹵化物；乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯化合物；乙基醚、四氫呋喃、二噁烷等醚化合物；苯、甲苯、二甲苯等芳香族化合物；N, N-二甲基乙醯胺、N， N -二甲基甲醯胺、N —羥基甲基_ 2 -吡咯烷酮等醯胺化合物；r 一丁內酯、N-甲基—2 —吡咯烷酮、環丁硕、二甲基亞硕等非質子性極性溶劑等有機溶劑。該有機溶劑可單獨使用或2種以上倂用。有機溶劑摻合量並無特別限制，一般對感光性樹脂全量10 0重量份較佳爲5 0至 5 0 0 0重量份。本發明之感光性樹脂組成物爲了提高保存安定性，實施形態較佳爲，摻合自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑。該自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑如，P-甲氧基苯酚、二苯基-P -苯醌、苯醌、2，2’ -伸甲基雙（4 一乙基一6 — t — 丁基苯酚）、6 — t — 丁基—2 ,3 -二甲苯酚、焦掊酚、吩噻嗪、間苯二酚、〇 —二硝基苯、p -二硝基苯、m —二硝基苯、菲醌、.N—苯基一 1 一萘基胺、N —苯基—2 -萘基胺、銅鐵靈、丹寧酸、 P -苄基胺基苯酚、維他命E、亞硝胺類》其可單獨使用或2種以上倂用。對成分（A)及/或（B)所形成之感光性樹脂與成分（C)及/或（D)所形成之光聚合性化合物之總量 100重量份，自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑之使用量，就感光性樹脂組成物之安定性較佳爲0 . 0 1重量份以上，就靈敏度較佳爲3 0重量份以下，更佳爲本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂經濟部智慈財產局員工消費合作社印裝 -29- 陘齊郎智慈財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 A7 __B7___ 五、發明説明（27) 0·05至10重量份。爲了更進一步提升本發明之感光性樹脂組成物的密合性、塗膜硬度等諸特性，必要時可摻合硫酸鋇、鈦酸鋇、二氧化矽、滑石、燒成高嶺土、碳酸鎂、氧化鋁、氫氧化鋁、雲母等已知之無機塡料1種以上，其摻合量對感光性樹脂組成物總量100重量份較佳爲0.1至80重量份，更佳爲0 . 5至50重量份。又，必要時可使用酞菁藍、酞菁綠、碘綠、二重氮黃、庫斯等、氧化鈦、碳黑、萘黑等已知之著色劑；皂土、蒙脫石等增粘劑；聚矽氧烷系、氟系、乙烯樹脂系之消泡劑等已知的慣用摻合劑。其可單獨使用或2種以上組合使用。例如可利用滾輥混煉機、管狀混煉機等，將上述摻合成分均勻混煉、混合，而得本發明之感光性樹脂組成物後，可利用浸漬法、噴霧法、網版印刷法、旋轉塗布法等方法，將其塗布於矽網、金屬基板、陶瓷基板等基材上，再加熱去除溶劑，而形成由本發明感光性樹脂組成物中不揮發成分所形成之塗膜。又，去除溶劑用之加熱溫度較佳爲 6 0至1 5 0 °C。該塗膜膜厚並無特別限制，但就顯像性等觀點較佳爲1至5 0 //m，更佳爲2至4 0 //m，特佳爲 2 至 3 0 // m。下面將參照圖1所示步驟例之一的模式圖說明本發明之圖型製造法《首先，步屬（i )如圖1 ( a )所示，將上述本發明之感光性樹脂組成物所形成之感光層（塗膜）2 0層合於本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）裝------訂------線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 1307822 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 A7 __B7五、發明説明（28 ) 彈性印刷配線板等基板1 0上。又，層合方法可隨意，但以利用浸漬法、噴霧法、網版印刷法、旋轉塗布法等塗布後去除溶劑爲佳。結束層合感光層2 0後利用步驟（ϋ )，以畫像狀照射活性光線，使感光層之曝光部（即，曝光部分之感光層 )光硬化。又，活性光線係指，紫外線、X線、電子線、放射線、離子束等電磁波及粒子線。將活性光線照射爲畫像狀之方法如圖1 (b)所示，通過描繪所需圖型之圖罩 3 0，將活性光線以畫像狀照射在感光層2 〇上，而使曝光部之感光層2 0光硬化。所使用之圖罩3 0可爲一般所使用之負型或正型物。曝光時之光量較佳爲1 〇〇至 3 0 0 〇m J / cm2。光源並無特別限制，可使用碳極電弧燈、氙燈、低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵素燈等。又，可不使用圖罩，直接以激光直接描繪曝光。曝光後以步驟（iii )，利用選擇性顯像去除感光層之未曝光部（即，未曝光部分之感光層）。所使用之顯像液如，N，N —二甲基甲醯胺、N，N —二甲基乙醯肢、n —甲基_2—吡咯院酮、r一丁內酯、二乙二醇二甲基醚、三乙二醇二甲基醚、二甲基亞硕等良好溶劑、該良好溶 .劑與低級醇、酮、水、脂肪族化合物、芳香族化合物、丁基溶纖劑乙酸酯等烯烴二醇醚化合物等弱溶劑之混合溶液。顯像方式如，沾浸方式、噴霧方式、沖洗、拍打等。必要時，顯像後可利用水或弱溶劑進行漂洗，再以1 8 0 t 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29·?公釐) ----------辦衣----Ί--1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -31 - A7 1307822 B7 五、發明説明（29 ) 左右乾燥，而如圖1 ( c )所示，得由本發明之感光性樹脂組成物所形成之，具有所需圖型之塗膜2 1 (即，由本發明之感光性樹脂組成物所形成的圖型2 1 )。必要時可利用60至25CTC之加熱處理或0 . 2至l〇J/cni 之曝光處理，使顯像後之塗膜（圖型）2 1更進一步硬化〇所得由本發明之感光性樹脂組成物所形成的具有所需圖型之塗膜.，可使用於半導體裝置及多層配線板等各種電子部件上。具體例如，形成塗覆於半導體元件、引線框、基板等半導體裝置上之接合被膜、緩衝被膜、α線遮斷膜等表面保護膜或層間絕緣膜、多層配線基板之層間絕緣膜等。本發明之電子部件爲，具有例如上述表面保護膜或層間絕緣膜用等，由本發明之感光性樹脂組成物所形成的塗膜，即感光層。具體該感光層下，.其他條件並無特別限制，可採用各種構造。下面將參照圖2具體說明電子部件一例之半導體裝置的製造步驟例。具有回路元件之矽基板等的半導體基板1係於去除回路元件之一定部分後，以矽氧化膜等保護膜2被覆，再於曝露之回路元件上形成第1導體層3。其後利用旋轉塗布法等，於半導體基板上形成由聚醯亞胺樹脂等所形成之層間絕緣膜層4 (圖2 ( a )、步驟（a ))。其次，以旋轉塗布法於層間絕緣膜層4上形成由環化本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐) - III·1 JI 訂 i 11 n 各 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -32- 絰濟部智鲒財產局員工涓費合作社印製 1307822 A7 _B7_五、發明説明（30 ) 橡膠系樹脂、苯酚酚醛淸漆系樹脂等所形成之感光性樹脂層5後，利用已知之照相蝕刻技術使一定部分之層間絕緣膜層4曝露般，設置窗6A (圖2 (b)、步驟（b)) 0 接著，利用使用氧、四氟化碳等氣體之乾蝕刻法，對曝露於窗6 A之層間絕緣膜層4進行選擇性蝕刻，得窗 6 B後使用不腐蝕曝露於窗6 B之第1導體層3而僅腐蝕感光性樹脂層5之蝕刻溶液，完全去除感光性樹脂層5 ( 圖 2(c),步驟（c))。其後，利用已知之照相蝕刻技術形成第2導體層7，再與第1導體層3進行完全性電氣接連（圖2 (d)，步驟（d ))。又，形成3層以上之多層配線構造時，可重覆上述步驟而形成各層。最後形成表面保護膜層8。圖2中，表面保護膜層8 係由本發明之感光性樹脂組成物所形成。即，先以旋轉塗布法將感光性樹脂組成物塗布乾燥後，由一定部分描繪窗 6 C形成用之圖型的圖罩上照射活性光線，再以顯像液去除未曝光部分進行顯像，得圖型（圖2 (e)，步驟（e ))。又，上述製造步驟例亦可使用本發明之感光性樹脂組成物形成層間絕緣膜層4。本發明之感光性樹脂組成物因含有感光性樹脂（A ) 及/或（B)，與光聚合性化合物（C)及/或（D)， ^纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

,1T 線 -33- 1307822 A7 B7 五、發明説明（31 ) (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 對可形成耐熱性優良，且無需超過3 0 0 °C般高溫處理下，使用其可得到優良耐溶劑性，特別是耐鹼性之圖型（具有圖型之塗膜），又，適用爲不進行高溫處理般電子部件之保護膜或絕緣膜材料。本發明之圖型製造法因係使用本發明之感光性樹脂組成物，而具有優良耐熱性、耐鹼性，故既使作爲保護膜或絕緣膜用，亦能形成圖型。又，因使用本發明之感光性樹脂組成物，故感光層可直接作爲保護膜及絕緣膜，因此可以良好作業性及生產性提供本發明之電子部件。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製下面將參照實施例詳細說明本發明。實施例中，樹脂之重量平均分子量爲，利用凝膠滲透色譜（GPC)以洗提液：0 · 05mo 1/L磷酸NMP、液速度：12/ 分、檢驗：UV檢驗器（250nm)條件所得之値（標準聚苯乙烯換算）。又，下列表中，（dl)爲分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體，（d2)爲分子內具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體，（E)爲光聚合引發劑，（C)爲具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑。表中各成分之摻合量爲，對感光性樹脂（聚醯胺樹脂及/ 或聚醯胺醯亞胺樹脂）總量1 0 0重量份之値。〔合成感光性樹脂〕 (1 )合成聚醯樹脂（A — 1 ) 分別將2，2 -雙〔4 一（4 —胺基苯氧基）苯基〕丙烷（以下稱爲「BAPP」）30.6g、4, 4’ — 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公茇） -34- 1307822 A7 ___B7_ 五、發明説明（32 ) 二胺基二苯基醚（以下稱爲「DDB」）1 . 7g、3 , 5 -二胺基安息香酸2 -甲基丙烯醯基氧乙基醋21 . 9 S ' 2，2 —伸甲基雙（4—乙基一6 - t_ 丁基苯酌 )3 · 3g、N —甲基—2 —吡咯烷酮（以下稱爲「 NMP」）419 · 8g加入備有攪拌機、溫度計、氮氣導入管及氯化釣管之5 0 0m£4 口燒瓶中，氮(氣下攪梓的同時冷卻至0 t後加入丙烯氧化物2 7 . 8 g，再加入間苯二甲酸氯化物1 6 _ 2 g及對苯二甲酸氯化物1 6 . 2 g，室溫下攪拌1小時進行反應。將所得反應溶液注入水中，利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥，得重覆單位（U 1 ) /(U3)爲50/50 (莫耳比）之聚醯胺樹脂（Α — 1 )粉末。所得樹脂（A_l )之重量平均分子量爲 1 5 0,0 0 0。 (2)合成聚醯胺樹脂（Α — 2) 除了使用 ΒΑΡΡ 1 2 · 3 g . DDE 0 . 7 g 、3，5 -二胺基安息香酸2 —甲基丙烯醯基氧乙基酯 35. 0g、 2， 2’ 一伸甲基雙（4 一乙基一6 — t — 丁基苯基）5 . 3g及NMP 381 5g外，其他同上述聚醯胺樹脂（A-1)合成，得重覆單位（U1)/ (U3)爲80/20 (莫耳比）之聚醯胺樹脂（A - 2 )粉末。所得樹脂（A_2)之重量平均分子量爲 1 0 7,0 0 0。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝.

.1T -35- 1307822 A7 B7 五、發明説明（33 ) (3)合成聚醯胺樹脂（A — 3) 除了使用 BAPP 42.9g、DDE 2 · 3 g 、3， 5—二胺基安息香酸2-甲基丙烯醯基氧乙基酯 13 . lg、 2， 2’ -伸甲基雙（4 -乙基—6— t-丁基苯酚）2 . Og及NMP 445 . 2g外，其他同上述聚醯胺樹脂（A- 1 )合成，得重覆單位（U 1 ) / (U3)爲30/70 (莫耳比）之聚醯胺樹脂（A— 3 )粉末。所得樹脂（A - 3 )之重量平均分子量爲 9 8,0 0 0。 (4 )合成聚醯胺樹脂（X) 將 BAPP 61.2g、DDE 3.3g 及 NMP 483 . 5g加入備有攪拌機、溫度計、氮氣導入管及氯化鈣管之50024口燒瓶中，氮氣下攪拌的同時冷卻至0 °C後加入丙烯氧化物2 7 . 8 g，再加入間苯二甲酸氯化物1 6 _ 2g及對苯二甲酸氯化物1 6 . 2g ，室溫下攪拌1小時進行反應。將所得反應溶液注入水中，利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥，得重覆單位（U 1 ) / (U3)爲0/100 (莫耳比）之聚醯胺樹脂（X)粉末。所得樹脂（X)之重量平均分子量爲1〇2，000 〇 (5 )合成聚醯胺醯亞胺樹脂（b - 1 ) 將BAPP 53 .6g、 3, 5 -二胺基安息香酸本纸張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X 297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部智慧財產局員工消費合作社卬製 -36- 1307822 A7 ____________ B7 五、發明说明（34 ) 2 -甲基丙嫌醯基氧乙基酯34 _5g、2， 2，一伸甲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基雙（4 —乙基—6 — t -丁基苯酚）5 · 2g及NMP 5 7 2 . 2 g加入備有攪拌機、溫度計、氮氣導入管及冷卻管之1 0 0 〇 d 4 口燒瓶中，氮氣下攪拌的同時冷卻至〇C後加入偏苯三酸酐氯化物55.0g，室溫下再擾拌1小時進行反應。將三乙基胺31.加入所得反應溶液後，室溫下攪拌1小時，再加入乙酸酐1 33 . 3g 及吡啶4 1 . 3 g，8 0 °C下攪拌1 2小時進行反應。將所得反應溶液注入水中，利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥，得聚醯胺醯亞胺樹脂（B — 1 )粉末。所得樹脂（B — 1 )之重量平均分子量爲120， 000。 (6) 合成聚醯胺醯亞胺樹脂（B — 2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製除了使用BAPP 23 · 4g、3，5 —二胺基安息香酸2 —甲基丙烯醯基氧乙基酯60 . 2g、2，2’ —伸甲基雙（4 —乙基一 6— t — 丁基苯酚）9 . lg、 Ν Μ P 574 · 3g，偏苯三酸酐氯化物60 · 0g、三乙基胺34.6g、乙酸酐145.4g及吡啶 45 . 0g外，其他同上述聚醯胺醯亞胺樹脂（B—1) 合成，得聚醯胺醯亞胺樹脂（B - 2 )粉末。所得樹脂（ B — 2)之粉末之重量平均分子量爲100，000。 -37- 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 1307822 A7 _T.__ 五、發明説明（35 ) 息香酸2-甲基丙烯醯基氧乙基酯20.7g、 2， 2f —伸甲基雙（4_乙基一6—t — 丁基苯酚）3 · lg、 Ν Μ P 602. 7g、偏苯三酸酐氯化物55. 〇g、三乙基胺31 . 7g、乙酸酐133 . 3g及吡啶 41 . 3g外，其他同上述聚醯胺醯亞胺樹脂（B — 1) 合成，得聚醯胺醯亞胺樹脂（B - 3 )粉末。所得樹脂（ B — 3)之重量平均分子量爲1 1 3, 000。 (8 )合成聚醯胺醯亞胺樹脂（Y ) 將 BAPP 77.9g 及 NMP 471. 6g 加入備有攪拌機、溫度計、氮氣導入管及冷卻管之1000 J4 口燒瓶中，氮氣下攪拌的同時冷卻至0°C後加入偏苯三酸酐氯化物4 0 · 0g，室溫下攪拌1小時進行反應。將三乙基胺2 3 · 0 g加入反應溶液中，室溫下攪拌1小時後加入乙酸酐9 6 . 9 g及吡啶3 0 . 0 g , 8 0 °C下再攪拌1 2小時進行反應。將所得反應溶液注入水中，利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥，得聚醯胺醯亞胺樹脂（Y ) 粉末。所得樹脂（Y )之重量平均分子量爲 1 2 5,0 0 0 ° 〔塗膜之評估方法〕塗膜特性之評估方法如下所示。 (1 )解像度

以顯微鏡觀察圖型化之塗膜，並以線&空間（L / S 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

IT -38- 1307822 A7 B7 五、發明説明（36 ) )之圖型寬幅相同的最小値（# m)爲解像度》 (2 )耐鹼性對形成Η型化塗膜之薄片進行〇.1當量之氫氧化鈉水溶液中，12l°c、〇.2MPa(2atm)、10 小時之加壓鍋試驗（p c T )後，觀察塗膜表面狀態。 (3 )耐酸性將形成圖型化塗膜之薄片浸漬於6 〇。(：之〇 . 1當量鹽酸水溶液中，進行2小時超音波振動（周波數：42 kHz)後，觀察塗膜表面狀態。 (4 )耐有機溶劑性將形成圖型化塗膜之薄片浸漬於6 0。(：之NMP中，進行2小時超音波振動（周波數：42kHz)後，觀察塗膜表面狀態。 (5 ) 5 %重量減少溫度空氣中，利用差示熱天平以10t/分之升溫速度測定。〔實施例〕

實施例1 A 將具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )用的乙烯基三甲氧基矽烷（東連股份公司製s Z 6 3 0 0 ;以下稱爲「SZ6300j ) 0 · 218g、分子內具有2至 4個光聚合性不飽和鍵之單體（d 2 )用的三羥甲基丙院三甲基丙烯酸酯（新中村化學工業股份公司製N K酯本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2]0Χ297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

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-39- 1307822 五、發明説明（37 Λ7 B7 TMPT ;以下稱爲「TMpT」）2 合引發劑（Ε )用之二苯甲酮丄/ 〇丄四乙基一4，4，一二胺基經濟部智慈財產局員工消費合作社印製

6 8 8 g、光聚 g、N，N ’ - 、苯甲酮0 . 335g、有機溶劑用之二乙二醇一甲基酿（.丨、）> 跑一甲垂腿（以下稱爲「DMDG」） I2.53g 及 1 〇 M F 12.53g加入聚醯胺樹脂（ A 1 )粉末2 · 1 7 9 g中，混合後得感光性樹脂組成物。以旋轉塗布法將所得感光性樹脂組成物塗布於5英寸矽薄片（表面：S i )上，& 9 〇。。加熱乾燥3分鐘後得塗膜。利用超局壓水銀燈以通適負型圖罩方式，對所得塗膜進行畫像狀10 〇〇m J / Crrf曝光，再利用三乙二醇二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯（6〇/4〇)(重量比）進行顯像。以水洗淨塗膜後，以丨8 〇〇c乾燥機乾燥i小時，得具有圖型且乾燥後膜厚爲3. 0;/111之塗膜。實施例2 A 除了以3 —甲基丙烧醯基氧丙基三甲氧基矽烷（東連股份有限公司製SZ6030 ;以下稱爲「SZ6030 」）作爲矽烷偶合劑（C )用外，其他同實施例1 a摻合各成分，得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 · 6/zm之塗膜。實施例3 A 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2]〇x297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝. 訂線 -40- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 _____B7_ 五、發明説明（38 ) 除了使用TMPT 〇.623g、二苯甲酮〇.234g、Ν’ Ν’ -四乙基一4， 4，—二胺基二苯甲酮 0 . 077g、DMDG 6 · 22g 及 NMP 6 . 2 2 g外，其他同實施例1 A得感光性樹脂組成物》使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 · 6 //m之塗膜。

實施例4 A 除了使用TMPT 0.129g、二苯甲酮 0 · 1 9 3 g > N , N '—四乙基一4，4’ —二胺基二苯甲酮0.064g、 DMDG 6.73g及NMP 6 . 7 3 g外，其他同實施例1 A得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0//m之塗膜。

實施例5 A 除了使用聚醯胺樹脂（A- 2)外，其他同實施例 3 A得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 之塗膜。

實施例6 A 除了使用聚醯胺樹脂（A - 3 )外，其他同實施例3 A得感光性樹脂組成物。本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}

-41 - 1307822 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（39 ) 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 5 # m之塗膜。比較例1 A 除了使用聚醯胺樹脂（X )粉末外，其他同實施例 1 A之方法製作感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法形成塗膜後，進行曝光、顯像，但無法得到具有圖型之塗膜。比較例2 A 除了未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )成分外，其他同實施例1A得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 · 5/zm之塗膜。比較例3 A 除了以.r —環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷（東連股份有限公司製SH6040 ;以下稱爲「SH6040」）取代具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )外，其他同實施例1 A得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0/i m之塗膜。實施例1 A至6 A及比較例1 A至3 A所得之感光性樹脂組成物的摻合量，聚醯胺樹脂之重量平均分子量（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T t -線-- 本纸張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X W7公釐） -42- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 A7 B7 五、發明説明（40 ) M w )如表1所示。所得塗膜之評估結果如表2所示。〔表1〕聚醯胺樹脂參合量（1 i量份） (U1)/(U3) Mw (d2) (E) (C) 其他偶合劑實施例1Α 50/50 150,000 123 62 10 0 實施例2Α 50/50 150,000 123 62 10 0 實施例3Α 50/50 150,000 29 14 10 0 實施例4Α 50/50 150,000 6 12 10 0 實施例5Α 80/20 107,000 29 14 10 0 實施例6Α 30/70 98,000 29 14 10 0 比較例1 A 0/100 102,000 123 62 10 0 比較例2 A 50/50 150,000 123 62 0 0 比較例3A 50/50 150,000 123 62 0 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1Τ

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -43- 1307822 A7 B7 五、發明説明（41 ) 〔表2〕解像度塗膜表面狀態 5%重量 (U m ) 耐鹼性耐酸性耐有機溶劑性減少溫度實施例1A 42 無變化無變化無變化 295°C 實施例2A 45 無變化無變化無變化 286t：實施例3A 25 無變化無變化無變化 27 7 "t 實施例4A 22 無變化無變化無變化 290〇C 實施例5A 28 無變化無變化無變化 282〇C 實施例6A 36 無變化無變化無變化 3 03。。比較例1A -*1 一 _ _ _ 比較例2A 32 . 剝離無變化無變化 302〇C 比較例3A 28 表面粗糙無變化無變化 29 2 〇C 1無法得到圖型 I---------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、va 線實施例1 A至6 A可得到具有優良耐溶劑性，特別是耐鹼性及良好耐熱性之具有圖型的塗膜。比較例1 A因使用未含重覆單位（U 1 )之聚醯胺樹脂，故感光性差而無法得到具有圖型之塗膜》比較例2A及3A因未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C)，故塗膜之耐鹼性差，PCT後塗膜會剝離或使表面粗糙》

實施例1 B 將分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體（ d1)用的二季戊四醇五丙烯酸酯及二季戊四醇六丙烯酸本纸張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -44- 1307822 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印2衣 A7 B7 五、發明説明（42 ) 酯之混合物（日本化藥股份公司製KAYARAD DPHA ;以下稱爲「DPHAj ) 2 · 688g、光聚合引發劑（E )用之二苯甲酮1 .016g、Ν，Ν’ 一四乙基一4， 4’ 一二胺基二苯甲酮〇.335g、有機溶劑用之 DMDG 12.53g 及 NMP 12.53g 加入聚醯胺樹脂（A - 1 )粉末2 . 1 7 9 g中，混合後得感光性樹脂組成物。以旋轉塗布法將所得感光性樹脂組成物塗布於5英寸矽薄片（表面：S i )上，9 Q t下加熱乾燥3分鐘後得塗膜。利用超高壓水銀燈以通過負型圖罩方式，對所得塗膜進行畫像狀1 0 〇〇m J/ciri曝光，再以三乙二醇二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯（60/40)(重量比）進行顯像。以水洗淨塗膜後，以1 8 0 °C乾燥機乾燥1小時，得具有圖型且乾燥後膜厚3. 2/zm之塗膜。

實施例2 B 除了使用光聚合性不飽和單體用之分子內具有2至4

個光聚合性不飽和鍵之單體（d 2 )的TMPT 、 0.538g及，分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體（dl)的DPHA 2 . 150g外，其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0//m之塗膜。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2]〇X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-45- 1307822 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

五、發明説明（43 ) 實施例3 B 除了使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 1.344g及DPHA 1.344g外，其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 之塗膜。實施例4 B 除了摻合DPHA 0 . 623g、二苯甲酮 0.234g、Ν，Ν’ 一四乙基 _4，4，—二胺基二苯甲酮 0 . 077g、DMDG 6 . 22g 及 NMP 6 . 2 2 g外，其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0 # m之塗膜。實施例5 B 除了摻合DPHA 0 . 129g、二苯甲酮 0 . 193g、Ν，Ν’ 一四乙基-4，4’ 一二胺基二苯甲酮0.064g、DMDG 6.73g及NMP 6 . 7 3 g外，其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 5//m之塗膜。. 實施例6 B (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐） -46- 1307822 A7 B7 經濟部智慧財產局員工湞費合作社印製五、發明説明（44 ) 除了使用聚醯胺樹脂（A - 2 )粉末外，其他同實施例4 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 6#m之塗膜。實施例7 B 除了使用聚醯胺樹脂（A - 3 )粉末外，其他同實施例4 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 · 0//m之塗膜。比較例1 B 除了使用聚醯胺樹脂（X)粉末外，其他同實施例 1 B得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法形成塗膜後，進行曝光、顯像，但無法得到具有圖型之塗膜。比較例2 B 除了未使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 2 . 6 8 8 g外，其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物〇使用該感光性樹脂組成物同實施例1B之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 · 0//m之塗膜。實施例1 B至7 B及比較例1 B至2 B所得樹脂組成本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝.

.II ·· -47 1307822

7 7 A B 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（45 ) 物之摻合量，聚醯胺樹脂之重量平均分子量（Mw)如表 3所示。所得塗膜之評估結果如表4所示。〔表3〕聚醯j 按樹脂摻合量（重量份） (U1)/(U3) Mw (d2) (dl) (E) 實施例1B 50/50 150,000 0 123 62 實施例2B 50/50 150,000 24.6 98.4 62 實施例3B 50/50 150,000 61.5 61.5 62 實施例4B 50/50 150,000 0 29 14 實施例5B 50/50 150,000 0 6 12 實施例6B 80/20 107,000 0 29 14 實施例7B 30/70 98,000 0 29 14 比較例1B 0/100 102,000 0 123 62 比較例2B 50/50 150,000 123 0 62 I n n 枯衣 Ί 訂 I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉隼（CNS ) Ad規格（210X297公釐） -48- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 B7 五、發明説明（46 ) 〔表4〕解像度 (U τη) 塗膜表面狀態 5%重量減少溫度耐鹼性耐酸性耐有機溶劑性實施例1B 48 無變化無變化無變化 295〇C 實施例2B 46 無變化無變化無變化 286〇C 實施例3B 45 無變化無變化無變化 277 °C 實施例4B 20 無變化無變化無變化 290〇C 實施例5B 26 無變化無變化無變化 282°C 實施例6 R 35 無變化無變化無變化 303〇C 實施例7 B 40 無變化無變化無變化 288。。比笔，1B -*1 _ 一 _ _ 比較例2B 40 剝離無變化無變化 292t 1無法得到圖型實施例1 B至7 B可得具有優良耐鹼性及良好耐熱性之具有圖型的塗膜。比較例1 B因使用未含重覆單位（ U1)之聚醯胺樹脂，故感光特性差而無法得到具有圖型之塗膜。比較例2 B因未使用光聚合性不飽和單體用之單 ^ ( d 1 )，故塗膜之耐鹼性差，P C T後塗膜會剝離。實施例1 c 將單體（dl)用之DPHA 2 688g、光聚合引發劑（E)用二苯甲酮l.〇16g、N，N，—四乙基一 4，4’ -二胺基二苯甲酮0.335g、有機溶劑用之 DMDG 12.53g 及 NMP 12.53g 本紙張尺度通用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） I 11 : 訂 . 11 i (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -49- 1307822 A7 B7 五、發明説明（47 ) 加入聚醯胺醯亞胺樹脂（B - 1)粉末2 · 179g中，混合後得感光性樹脂組成物。以旋轉塗布法將該感光性樹脂組成物塗布於5英寸矽薄片（表面：Si)上，90 °C下加熱乾燥3分鐘後，得膜厚4.Oem之塗膜。利用超高壓水銀燈以通過負型圖罩方式，對所得塗膜進行畫像狀1 000mJ/cirf曝光，再以三乙二醇二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯（6 0/ 40)(重量比）進行顯像。以異丙醇洗淨塗膜後，以 1 8 0°C乾燥機乾燥1小時，得具有圖型且膜厚3 . 2 A m之塗膜。

實施例2 C

除了使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 0 · 538g、DPHA 2 . 150g外，其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0//m之塗膜。

實施例3 C

除了使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 1 · 344g、DPHA 1 . 344g外，其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 之塗膜。本紙張尺度適用中國國家禕準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·· i裝|

*1T 線經濟部智祛財產局員工涓費合作社印製 -50- 1307822 A7 B7____ 五、發明説明（48 )

實施例4 C C请先閲讀背面之注意事項再填寫本X > 除了摻合DPHA 0.623g、二苯甲酮 0.234g、 N， Ν’ -四乙基_4， 4’ 一二胺基二

苯甲酮 0.077g、DMDG 6.22g 及 NMP 6 . 2 2 g外，其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0//m之塗膜。

實施例5 C 除了摻合DPHA 0.129g、二苯甲酮 0 · 193g、N，N，一四乙基一4，4，一二胺基二苯甲酮 0 . 064g、DMDG 6 · 73g 及 NMP 6 . 7 3 g外，其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。

使用該感光性樹脂組成物同實施例1C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 5vm之塗膜。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

實施例6 C 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂（B - 2 )粉末外，其他同實施例4 C得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 9//m之塗膜。

實施例7 C 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----- -51 - 1307822 A7 B7 五、發明説明u9 ) 除了使用聚醯胺醭亞胺樹脂（B - 3 )粉末外，其他同實施例4 C得感光性樹脂組成物^ 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 7/zm之塗膜。

比較例1 C 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂（Y )粉末外，其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1C之方法形成塗膜後，進行曝光、顯像，但無法得到具有圖型之塗膜。

比較例2 C 除了以TMPT 2 . 6 88g作爲光聚合性不飽和單體用外，其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 之塗膜。實施例1 C至7 C及比較例1 C至2 C所得樹脂組成· 物之摻合量，聚醯胺醯亞胺樹脂之重量平均分子量（Mw )如表5所示。所得塗膜之評估結果如表6所示。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -'-•

-52- 1307822 A7 Β7 五、發明説明（50 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〔表5〕聚醯胺II 丨亞胺樹脂摻合量（重量份） (U2)/(U4) M w (d2) (dl) (E) 實施例1C 50/50 120,000 0 123 62 實施例2C 50/50 120,000 24.6 98.4 62 實施例3C 50/50 120,000 61.5 61.5 62 實施例4C 50/50 120,000 0 29 14 實施例5C 50/50 120,000 0 6 12 實施例6C 80/20 100,000 0 29 14 實施例7C 30/70 113,000 0 29 14 比較例1C 0/100 125,000 0 123 62 比較例2C 50/50 120,000 123 0 62 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

*1T

本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（2Ι0Χ 297公釐） -53- 1307822 A7 A7 B7 五、發明説明（51 )

〔表6 ] 解像度 1 t膜表面狀態 5%重量 (// m ) 耐鹼性耐酸性耐有機溶劑性減少溫度實施例 1C 80 無變化 Λττ m 變化 AnL m 變化 310°C 實施例 2C 60 Art m 變化 jfrrt m 變化 Ant，無變化 307〇C 實施例 3C 55 無變化 Arrf M 變化 ^nr. Μ 變化 305〇C 實施例 4C 40 Art. 撕變化 AaL m 變化 Arrt. Μ 化 301°C 實施例 5C 35 Arr ~lll 變化 Arrt 挑變化無變化 302〇C 實施例 6C 50 > 1、、化 dnC 無變化 <fnr· Μ 變化 309 °C 實施例 7C 50 姐變化 Μ 變化 Μ 變化 297°C 比較例 1C -*1 —— 一 — 一比較例 2C 50 剝離 ifnC, 變化 -fnr 挑變化 303°C (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁〕

Γ 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 * 1無法得到圖型實施例1 C至7 C可得具有優良耐鹼性及良好耐熱性之具有圖型的塗膜。比較例1 C因使用未含重覆單位（ U 2 )之聚醯胺醯亞胺樹脂，故感光性差而無法得到具有圖型之塗膜。比較例2 C因未使用光聚合性不飽和單體用之單體（d 1 ),故塗膜之耐鹼性差，P C T後塗膜會剝離。

實施例1 D 將具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )用的 SZ6300 〇.218g、單體（d2)用之 - --- · - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54 - 1307822 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（52 ). Τ Μ P T 2 . 688g、光聚合引發劑（Ε)用之二苯甲酮 1 .0l6g、Ν’ Ν’ —四乙基一 4， 4’ 一二胺基二苯甲酮〇 · 3 3 5 g、有機溶劑用之DMDG 1 2 . 5 3g及NMP 1 2 · 53g加入聚醯胺醯亞胺樹脂（B-1)粉末2 · 179g中，混合後得感光性樹脂組成物。以旋轉塗布法將該感光性樹脂組成物'塗布於5英寸政薄片（表面：S i )上，9 0°C下力Π熱(乾燥3分鐘後，形成膜厚3 . 8 μ m之塗膜。利用超高壓.水銀燈以通過負型圖罩方式，對所得塗膜進行畫像狀1 〇 0 〇m J/cms曝光，再以三乙二醇二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯（6 0/ 4 0)(重量比）進行顯像。以異丙醇洗淨塗膜後，利用 1 8 0°C乾燥機乾燥1小時，得具有圖型且膜厚3 · 0 A m之塗膜。實施例2 D 除了以S Z 6 0 3 0作爲矽烷偶合劑（C )用外，其他同實施例1 D摻合各成分，得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 6/^111之塗膜。除了使用TMPT 0 . 623g、二苯甲酮 0 . 234g、Ν , Ν’ 一四乙基一 4，4’ 一二胺基二苯甲酮 0 . 〇77g、DMDG 6 · 22g 及 NMP 6 . 2 2 g外，其他同實施例1 D得感光性樹脂組成物。 -- ---身-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-**

A 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】OX 297公釐） -55- 1307822 Α7 Β7 五、發明説明（53 ) 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 6 # m之塗膜。

實施例4 D 除了使用TMPT 0.129g、二苯甲酮〇.193g、N，Ν’ —四乙基—4，4’ 一二胺基二苯甲酮 0 . 064g、DMDG 6 . 73g 及 NMP 6 . 7 3 g外，其他同實施例1 D得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0//m之塗膜。

實施例5 D 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂（B-2)粉末外，其他同實施例3 D得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . O/zm之塗膜。

實施例6 D 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂（B- 3)粉末外，其他同實施例3 D製作感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 · 5//m之塗膜。

比較例1 D 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝— I I I. 訂線

铿濟郎智Μ財產局員工消費合作社印製 -56- 1307822 經濟部智慧財是局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（54 ) 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂（Y )粉末外，其他同實施例1 D得感光性樹脂組成物》使用該感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法形成塗膜後，進行曝光、顯像，但無法得到具有圖型之塗膜。

比較例2 D 除了未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )成分外，其他同實施例1D得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 5μπι之塗膜。

比較例3 D 除了以S Η 6 0 4 0取代具有光聚合性不飽和鍵之砂烷偶合劑（C )外，其他同實施例1 D得感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法，得具有圖型之膜厚（乾燥後）3 . 0 V m之塗膜。實施例1 D至6 D及比較例1 D至3 D感光性樹脂組成物之摻合量，聚醯胺醯亞胺樹脂之重量平均分子量（ M w )如表7所示。所得塗膜之評估結果如表8所示。本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4规格（yOx29?公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-57- 1307822

A B 五、發明説明（55 ) 〔表7〕聚醯胺醯亞胺樹脂 f參合量（重量份） (U2)/(U4) M w (d2) (E) (C) 其他偶合劑實施例1D 50/50 120,000 123 62 10 0 實施例2D 50/50 120,000 123 62 10 0 實施例3D 50/50 120,000 29 14 10 0 實施例4D 50/50 120,000 6 12 10 0 實施例5D 80/20 100,000 29 14 10 0 實施例6D 30/70 113,000 29 14 10 0 比較例1D 0/100 125,000 123 62 10 0 比較例2D 50/50 120,000 123 62 0 0 比較例3D 50/50 120,000 123 62 0 10 ---------裝----：---訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） -58- 1307822 五、發明説明（56 )

7 7 A B 〔表8〕解像度塗膜表面狀態 5 %重量 (μ m ) 耐鹼性耐酸性耐有機溶劑性減少溫度實施例 1D 55 無變化 /frlT- m 變化 4mi m 變化 305。。實施例 2D 50 無變化 ΙΙΙΤΤ 變化 te •μ、、變化 302°C 實施例 3D 35 無變化 Arrf (!ΙΓ 變化 dnL 無變化 301 °C 實施例 4D 30 無變化 4iit 1ΠΤ~ 變化無變化 301°C 實施例 5D 30 無變化 Arrr ΙΓΙI* J\\\ 變化 frrf Μ 變化 309〇C 實施例 6D 40 無變化 4mi inr •a、、變化 ffrrr 變化 302°C 比較例 1D -*1 __ _ 一 — 比較例 2D 50 剝離 4πΤ- J\\\ 變化無變化 303 °C 比較例 3D 50 表面粗糙 ^ΓΠ* Μ 變化賊變化 302°C Μ無法得到圖型 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •澤·

-一β 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製實施例1 D至6 D可得具有優良耐溶劑性，特別是耐鹼性及良好耐熱性之具有圖型的塗膜。比較例1 D因使用未含重覆單位（U2)之聚醯胺醯亞胺樹脂，故感光性差而無法得到具有圖型之塗膜。比較例2 D及3 D因未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C)，故塗膜之耐鹼性差，P C Τ後塗膜會剝離或使表面粗糙。實施例1 Ε 將矽烷偶合劑（C)用之SZ6030 0.218 g、分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體（d 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公t ) -59- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 Λ7 Α7 ____Β7 _ 五、發明説明（57 ) )用的DPHA 0 . 623g、光聚合引發劑用之二苯甲酮 0.234g、Ν，Ν’ 一四乙基一4， 4’ 一二胺基二苯甲酮〇 . 077g、有機溶劑用之DMDG 6 · 22g及NMP 6 . 22g加入聚醯胺樹脂（A-1)粉末1 . 090及聚醯胺醯亞胺樹脂（B-1)粉末 1 . 0 9 0 g中，混合後得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 8//m之塗膜。

實施例2 E 除了以分子內具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體 (d2)用的TMPT 0 . 623g取代單體（dl) 外，其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型之膜厚（乾燥後）2 · 7#m之塗膜。

實施例3 E 除了未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C )成分外，其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 7//m之塗膜。

實施例4 E 除了以聚醯胺樹脂（A— 1)粉末2 . 179g作爲本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I I 裝 n J— I I n — 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -60-

7 7 A B 1307822 五、發明説明（58 ) 感光性樹脂用外，其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物〇使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）2 . 8/zm之塗膜。

實施例5 E 除了以聚醯胺醯亞胺樹脂（B— 1)粉末2 . 179 g作爲感光性樹脂用外，其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物。使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法，得具有圖型且膜厚（乾燥後）3 . 0#m之塗膜。實施例1 E至5 E所得感光性樹脂組成物之摻合量如表9所示。所得塗膜之評估結果如表1 0所示。〔表9〕實施例 (A-D/(B-1) (dl) (d2) (E) (C) 1Ε 50/50 29 0 14 10 2Ε 50/50 0 29 14 10 3Ε 50/50 29 0 14 0 4Ε 100/0 29 0 14 10 5Ε 0/100 29 0 14 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ Γ -61 -

Claims

130_2 A8 B8 C8 D8 件;;仏六、申請專利範圍第91 1 14760號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國9 2年4月16日修正 1 . 一種感光性樹脂組成物，其係含有具有下列一般式（I ): HI / 0 X——c R one 1 HIN γ1- OHC (讀先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 煩請委員明示，本案印製 0 II C. o II (式中，X1爲具有芳香環之3價有機基；Y1爲具有芳香環之2價有機基；R 1爲具有感光性基之〗價有機基）所示重覆單位（U 1 )之聚醯胺樹脂（a )及具有下列一般式（Π ): Η Vx2/<c/ i & c/、R2 (式中，x2及Y2爲具有芳香環之3價有機基；R2爲具有感光性基之1價有機基）所示重覆單位（U 2 )之聚醯胺醯亞胺樹脂（B )中至少一方的感光性樹脂，與具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑（C)及含有分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體（d 1 )的光聚合性不飽和單體（D)中至少—方之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） -1 8 8 8 8 ABCD 1307822 六、申請專利範圍光聚合性化合物；其中，若含有矽烷偶合劑（C )時，其摻合量爲對感光性樹脂全量1 〇 0重量份爲1〜2 0重量份’若含有光聚合性不飽和單體（D)時，其摻合量爲對感光性樹脂全量1 00重量份爲1〜500重量份。 2 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中，聚醯胺樹脂（A )另含有一般式（皿）： 'H HO 0 \ --N—Z—N—C-Y1—C-- \· (m) 基機有價 2 之環香芳有具爲 1 Z 及 TA Y 中式 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) % B OMMOW ^cno 圍 Cκ 範旨2 y pa 2 和樹 I U專胺 {請亞位申醯單如胺覆 ·醯重 3 聚示，所中 3 HIN 物成組匕曰月樹性光感之項 TS 其式般 1 有含另 IV OHC IV 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，Y2爲具有芳香環之3價有機基；Z 2爲具有芳香環之2價有機基）所示重覆單位（U 4 )。 4 .如申請專利範圍第2項之感光性樹脂組成物，其中所含重覆單位（U1 )與（U3)之莫耳比爲（U1 ) :(U3)=2:8 至 9:1。 5 ·如申請專利範圍第3項之感光性樹脂組成物，其中，所含重覆單位（U2)與（U4)之莫耳比爲（U2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210Χ_25>7公釐） ~ 1307822 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍3 ):(U4)=2:8 至 9:1。 6 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 中，聚醯胺樹脂（A)之重量平均分子量爲8， 000至 2 0 0，〇〇〇。 7 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中，聚醯胺醯亞胺樹脂（B )之重量平均分子量爲 8，000S200，000° 8 ·如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中，光聚合性不飽和單體（D )中單體（d 1 )之比率爲 30至1〇〇重量％。 9 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其另含有分子內具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體（ d 2 )。 1 〇 ·如申請專利範圍第9項之感光性樹脂組成物，其中僅以矽烷偶合劑（C )作爲光聚合性化合物用時，係含有單體（d 2 )。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之感光性樹脂組成物，其中，單體（d 2 )對感光性樹脂全量1 〇〇重量份之摻合量爲1至5 0 0重量份。 1 2 ·如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其另含有光聚合引發劑（E)。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之感光性樹脂組成物，其中，對感光性樹脂總量1 〇〇重量份，係含有光聚合引發劑（E ) 1至8 0重量份。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1307822 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 4 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中，聚醯胺樹脂（A)係由含芳香族二羧酸或其反應性衍生物之酸成分，與含一般式（V ): h2nn nh2 I c/ 'R1 (V) (式中，X1爲具有芳香環之3價有機基；R1爲具有感光性基之1價有機基）所示芳香族二胺之鹼成分反應而得。 1 5 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物，其中，聚醯胺醯亞胺樹脂（B )係由含芳香族三羧酸酐或其反應性衍生物之酸成分，與含一般式（VI ): ΗςΚ ΝΗ2 I cf V (Vi) (式中，X2爲具有芳香環之3價有機基；R2爲具有感光性基之1價有機基）所示芳香族二胺之鹼成分反應而得。 1 6 · —種製造圖型之方法，其係包含下列步驟·· i )將如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物所形成的感光層層合於基板上之步驟； ϋ )以活性光線照射成畫像狀，使感光層之曝光部分光硬化的步驟； iii )藉由顯像選擇性去除感光層未曝光部分，以形成本紙張尺度適用中國國家標準（€奶）六4規格（2丨0父297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、π 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A8 B8 C8 D8 -5- T、申請專利範圍圖型之步驟。申如有具至第圍。 ifE層利光專感 My 靑白成所物成系組 —匕日苴 i/樹，性件光零感子之電項二 3110 - 一任 . 中 7 項 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ιδτ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）