TWI307822B - - Google Patents
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Description
經濟部智慧財產局員工消资合作社印製 1307822 A7 _B7__ 五、發明説明(,) 技術領域 本發明係有關具有優良耐熱性及耐鹼性之感光性樹脂 組成物,以及使用其製造圖型之方法及電子零件。 背景技術 近年來電子零件所使用之保護膜或絕緣膜爲,聚醯胺 樹脂或聚醯亞胺樹脂。但,該膜形成圖型之步驟中,需備 有於膜表面形成光阻膜、對一定場所進行曝光顯像、利用 鈾刻等去除不要部分、剝離光阻材及洗淨基板表面等煩雜 作業。因此,寄望利用曝光顯像形成圖型之光阻膜,能直 接作爲保護膜或絕緣膜用之感光材料開發》 目前已開發各種感光性聚醯亞胺樹脂,廣泛使用爲半 導體裝置之保護膜、絕緣膜。但,多數感光性聚醯亞胺樹 脂於形成圖型後,需以3 0 0 °C溫度進行醯亞胺化,故無 法適用於不進行高溫處理之電子零件。又,對要求耐鹼性 之特殊電子零件的保護膜及絕緣膜,感光性聚醯亞胺樹脂 之耐鹼性將不足。 發明揭示 本發明之目的爲,提供適用爲無法高溫處理之電子零 件及需耐鹼性之電子零件的保護膜或絕緣膜材料,且能形 成圖型之感光性樹脂組成物,以及使用其製造圖型之方法 及電子零件。 本發明第一方面係提供含有,具有下列一般式(I ) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇Χ:29·7公釐〉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-4- 1307822 A7 B7五、發明説明(2 ) 所示重覆單位(u 1 )之聚醯胺樹脂(A)及具有一般式 (Π )所示重覆單位(U 2 )之聚醯胺醯亞胺樹脂(B ) 中之至少一方之感光性樹脂,與具有光聚合性不飽和鍵之 矽烷偶合劑(C )及含有分子內具有5個以上光聚合性不 飽和性鍵之單體(d 1 )的光聚合性不飽和單體(D )中 至少一方之光聚合性化合物的感光性樹脂組成物。 一般式(I ):
(式中,X1爲具有芳香環之3價有機基;Y1爲具有芳香 環之2價有機基;R1爲具有感光性基之1價有機基) 一般式(Π ): (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-呑 Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
HIK
XIC °2 h
/ \ OHC CHO K ο儿 (式中,X2及Y2爲具有芳香環之3價有機基;R2爲具 有感光性基之1價有機基) 本發明第二方面係提供,含下列步驟之圖型製造法: i )將本發明之感光性樹脂組成物所形成的感光層層 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS〉A4規格(2〗〇X297公釐)
-5- 1307822 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 A7 B7_ 五、發明説明(3 ) 合於基板上之步驟; ϋ )以畫像狀照射活性光線,使感光層之曝光部光硬 化的步驟; 迅)利用選擇性顯像去除感光層之未曝光部,以形成 圖型之步驟。 本發明第三方面係提供,具有本發明之感光性樹脂組 成物所形成之感光層的電子零件。 圖面簡單說明 圖1爲,本發明圖型製造方法之—步驟例的模式圖。 圖2爲,本發明電子零件之一實施形態的多層配皞構 造中,半導體裝置之一製造步驟例的模式圖。 實施發明之最佳形態 下面將詳細說明本發明之實施形態。 本發明之感光性樹脂組成物爲,含有上述感光性樹脂 (Α)及/或(Β )與上述光聚合性化合物(C)及/或 (D )。又,感光性樹脂爲(A )及(Β )中至少一方, 且光聚合性化合物爲(C )及(D )中至少一方下,其組 合可隨意,例如可含(A)至(D)之所有成分,或含( A)及(B)雙方與(C)或(D),或含(C)及(D )雙方與(A)或(B)。 - 首先將說明本發明所使用之感光性樹脂。本發明所使 用之感光性樹脂爲,下列所示聚醯胺樹脂(A )及聚醯胺 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(21〇X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-6 - 1307822 A7 B7 五、發明説明(4 ) 醯亞胺樹脂(B )中至少—方或雙方。 聚醜胺樹脂(A)爲,具有下列一般式(I )所示重 覆單位(U1)之聚合物。 Η Μ Ο 〇 I I II , II N-C-Y—C- 、x I c cf 'R1 (I) (式中,X1爲具有芳香環之3價有機基;Y1爲具有芳香 環之2價有機基;R1爲具有感光性基之1價有機基) 就耐鹼性觀點,實施形態較佳爲,聚醯胺樹脂(A) 另具有下列一般式(瓜)所示重覆單位(U 3 )。 Η -Ν-Ζ1- Η Ο Ο I II , II -Ν—·C一V—C- (m) 經濟部智毡坷產局w工消費合作社印製· (式中,Y1及z1爲具有芳香環之2價有機基) 聚醯胺醯亞胺樹脂(B)爲,具有下列一般式(Π 所示重覆單位(U2)之聚合物。 中 式 Η—Ν x—c Η one2Y- o=cy /c=o
具 爲 2 R 基 機 有 價 3 之 環 香 芳 有 具 爲 2 Y 及 2 X 本紙張尺度適用中國國家標準(CMS ) A4規格(2】〇X297公釐) (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)
1307822 附件·第091114760號夺科年普案------------Ί 中文說明書修正頁民國叫年4月16日 Α7 R7 五、發明説明(5 ) 有感光性基之1價有機基) 就耐鹼性觀點,實施形態較佳爲,聚醯胺醯亞胺樹脂 (B)另具有下列一般式(jv)所示重覆單位(lJ4)。
OHC i /〆 OHC cHo y 21 z I HIN IV ί\ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中,Υ 爲具有芳香環之3價有機基;Ζ2爲具有芳香 環之2價有機基) 聚醯胺樹脂(A )中,重覆單位(υ 1 )爲將感光性 賦予樹脂之必要成分,聚醯胺醯亞胺樹脂(B )中,重覆 單位(U 2 )爲將感光性賦予樹脂之必要成分,且對各自 重覆單位總量1 0 0莫耳%較佳爲2 0至9 0莫耳%,更 佳爲3 0至8 5莫耳%。重覆單位(U 1)及(U2)各 自少於2 0莫耳%時,會因減少樹脂中感光性基之比率而 降低靈敏度,故而使感光特性變差之傾向,又,多於9 0 莫耳%時,反應溶液易凝膠化,而有難合成樹脂之傾向。 因此,後述聚醯胺樹脂(A )及聚醯胺醯亞胺樹脂(B ) 合成時,對所使用之二胺總量1 0 0莫耳%,後述一般式 (V)或(VI)所示芳香族二胺使用量較佳爲2 0至9 0 莫耳%,更佳爲3 0至8 5莫耳%。 聚醯胺樹脂(A)含有上述重覆單位(U 3)時,( U1)與(U3)之莫耳比較佳爲,(Ul) : ( U 3 ) = 2:8 至 9:1,更佳爲 3: 7 至 8. 5: 1.5。聚 (請先閲讀背面之注意事項寫本頁) 裝- 、?τ 樣 本纸張尺度適用中國國家橾準(CNS ) Α4規格(21〇>< 297公釐) -8- 1307822 經濟部智总財產局@(工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(6 ) 醯胺醯亞胺樹脂(B)含有上述重覆單位(U4)時,( U2)與(U4)之莫耳比較佳爲,(U 2 ) : ( U 4 ) = 2:8 至 9:1,更佳爲 3:7 至 8. 5:1.5。( Ul) + (U3)中(U1)比率及(U2) + (U4) 中(U2)比率低於2時,會因減少樹脂中感光性基比率 ,而有降低靈敏度之傾向。又,超過9時,易凝膠化而有 難合辑樹脂之困難。因此,合成後述聚醯胺樹脂(A)及 聚醯胺醯亞胺樹脂(B)時,後述一般式(v)或(VI) 所不芳香族二胺與一般式(X I )或(ΧΠ)所示芳香族 二胺之使用比率較佳爲2 : 8至9 : 1,更佳爲3 : 7至 8.5:1.5° 上述一般式(I)中,X1爲具有芳香環之3價有機基 ,即一般與二羧酸或其衍生物反應形成醯胺而得之芳香族 二胺殘基。一般式(I )中,X2爲具有芳香環之3價有機 基,即,一般與三羧酸或其衍生物反應形成醯胺醯亞胺而 得之芳香族二胺殘基。 X1及X2之芳香環如,苯環、萘環等,又,因易取得 ,故X1及X2所含碳總數各自較佳爲6至4 0。又,各自 3個鍵結部位較佳爲,均存在於芳香環上。具體例如,苯 環、萘環、蒽環及其2至6個芳香環係介有單鍵、氧原子 、硫原子、硫醯基、亞硫醯基、伸甲基、2,2 —伸丙基 、羰基、二甲基矽烷基、矽氧烷構造等鍵結之基。又,該 芳香環上可存在取代基用之碳數1至4烷基。 上述一般式(I )之R1及一般式(Π)之R2爲,具 (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
訂 線 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4规格(2IOX 297公釐) -9- [307822 A7 B7五、發明説明(7 ) 有感光性基之1價有機基,該感光性基如,具有可利用光 聚合之碳碳雙鍵之基。具體例如,烯丙基氧基、丙烯醯氧 基烷氧基、甲基丙烯醯氧基烷氧基、馬來醯亞胺基烷氧基 、丙烯醯基氧基烷基胺基、甲基丙烯醯氧基烷基胺基、馬 來醯亞胺基烷基胺基、烯丙基、丙烯醯氧基烷基、甲基丙 烯醯基氧基烷基、乙炔基等。較佳如,下列一般式(VH) 至(X )所示1價有機基。
? R5 0—R^-〇—C — C=C V 〇 R5 —N—R^-0—C—C=C’ (W) 一0—R—
R7 II C、
S
Ra (W) 〇
(X) 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 (式中,R3爲2價有機基;R4、R5、R6、R7及R8 各自獨立爲氫原子、碳數1至4之烷基、苯基、乙烯基或 丙烯基) 就耐熱性觀點,R 3所示2價有機基較佳爲,伸甲基、 伸乙基、伸丙基等碳數1至4之伸烷基。 上述一般式(W)或一般式(珊)所示1價有機基中 ,特別是R3爲碳數1至4之伸烷基、R4爲氫原子或甲基 、R5及R6爲氫原子之有機基具有高靈敏度而爲佳。又, —般式(K )或一般式(X )所示1價有機基中,特別是 R3爲碳數1至4之伸烷基、R7及R8爲氫原子之有機基 具有高靈敏度而爲佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -10 - 經濟部智祛財產局員工消費合作社印¾ 1307822 Αν ___ Β7 __ 五、發明説明(8 ) 上述一般式(I )之γ1、一般式(m)之γ1及Z1 、一般式(iv)之z2各自爲具有芳香環之2價有機基,該 芳香環如,苯環、萘環等,又,y1、z1及z2所含碳總 量就易取得性,各自較佳爲6至4 0。聚醯胺樹脂(A ) 中,一般式(I )之γ1及一般式(m)之y1可相同或相 異》Y1、Z1及Z2之2個鍵結部位較佳爲,均存在於芳 香環上。具體例如,苯環、萘環、蒽環及其2至6個芳香 環係介有單鍵、氧原子、硫原子、硫醯基、亞硫醯基、伸 甲基、2, 2-伸丙基、羰基、二甲基矽烷基、矽氧烷構 造、醯胺鍵等鍵結之基。又,芳香環上可存在取代基用之 碳數1至4烷基。 上述一般式(Π)及(IV)之Y2爲,具有芳香環之3 價有機基,該芳香環如,苯環、萘環等,又,Y2所含碳總 數就易取得性,較佳爲6至4 0。聚醯胺醯亞胺樹脂(B )中,一般式(Π)之Y2及一般式(IV)之Y2可相同或 相異° Y 2之3個鍵結部位較佳爲,均存在於芳香環上。又 ,Y2所示芳香環之具體例同上述y1、Z1及Z2例示。 具有上述重覆單位(U1),較佳爲另具有(U3) 之聚醯胺樹脂(A )例如較佳由,芳香族二胺與芳香族二 羧酸或其反應性衍生物反應而醯胺化之方法合成。該芳香 族二羧酸之反應性衍生物係指,芳香族二羧酸之二鹵化物 ,例如二氯化物或二溴化物、二酯等。芳香族二胺對芳香 族二羧酸或其反應性衍生物之總量1 〇 〇莫耳%的使用量 較佳爲,總量下8 0至1 2 0莫耳%,更佳爲9 5至 本纸張尺度刺中關家料(CNS) A4規格(2H)x297公楚) ~ ' — 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -11 -
經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 1307822 A7 Αν B7 五、發明説明(9 ) 1 0 5莫耳%。二胺總量少於8 0莫耳%時或多於1 2 0 莫耳時,會降低所得聚醯胺樹脂(A )之分子量,而使 耐鹼性或耐藥性變差。 具體上聚醯胺樹脂(A)可由,含芳香族二羧酸或其 反應性衍生物之酸成分與含一般式(V): cf V (V) (式中,X1及R1同上述一般式(I )之X1及R1) 所示芳香族二胺之鹼成分反應合成而得。 具有上述重覆單位(U2),更佳爲另具有(U4) 之聚醯胺醯亞胺樹脂(B )例如較佳由,含芳香族三羧酸 酑或其反應性衍生物之酸成分與含下列一般式(VI ): h2n nh2
I cfC、R2 (VI) (式中,X2及R2同上述一般式(Π)之X2及R2) 所示芳香族二胺之鹼成分反應而醯胺醯亞胺化製得。該芳 香族三羧酸酐之反應性衍生物係指,芳香族三羧酸酐之鹵 化物,例如氯化物或溴化物、酯等,較佳爲偏苯三酸氯化 物等。就所得樹脂分子量及耐鹼性、耐藥性觀點,鹼成分 對酸成分100莫耳%之使用量較佳爲,總量80至 120莫耳%,更佳爲95至105莫耳%。 —般式(V )及(VI )之二胺具體例較佳如, 本纸張尺度適用中國國家榇準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)
-12- 1307822 Α7 Β7 五、發明説明(10)
ο '〇-(:H2-CH2-CH2-CH2-〇-C-CH-CH2 ^〇-CHrCHrCHrCH2-〇-C-C«CHi CH3
---------裝-- (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 又,該二胺可2種以上倂用,以合成重覆單位(ul)或 (U 3 )。 聚醯胺樹脂(A)之合成原料中,除上述一般式(V )所示二胺外,所使用之鹼成分較佳爲芳香族二胺,例如 線 下列一般式(X I ): (XI) Η 2 N 一 Ζ 1 — Ν Η 2 (式中,Ζ1同上述一般式(瓜)之Ζι) 所示二胺。又,較佳係倂用一般式(χ之二胺,以合 成具有重覆單位(U 3)之聚醯胺樹脂(Α)。 聚醯胺醯亞胺樹脂(Β)之合成原料中,除上述一般 式(VI )所示二胺以外,所使用之鹼成分較佳爲芳香族二 (X Π 肢,如下列一般式(χ n ): Η 2 N - Z 2 - Ν Η 2 本紙張尺度適用中國國家榇準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) -13- 1307822 A7 Αν B7 五、發明説明(h) (式中,Z 2同上述一般式(IV )之Z 2 ) 所示二胺。又,較佳係倂用一般式(X E )之二胺,以合 成具有上述重覆單位(U4)之聚醯胺醯亞胺樹脂(B) 〇 —般式(X I )及(ΧΠ)之二胺如,苯二胺、甲苯 二胺、二甲苯二胺、萘二胺、4, 4’ —二胺基二苯基甲 烷、4, 4’ —二胺基二苯基硕、4, 4’ _二胺基二苯 基醚、4.,4’ —二胺基苯醯苯胺、4, 4’ 一二胺基二 苯甲酮、3, 3’ -二胺基二苯基硕、3, 3’ , 5, 5’ 一四甲基—4,4’ 一二胺基二苯基甲烷、3,3’ ,5, 5’ 一四異丙基-4, 4’ 一二胺基二苯基甲烷、 1,4 —雙(4 —胺基枯基)苯、1,3 —雙(4 一胺基 枯基)苯、1,4_雙(4 —胺基苯氧基)苯、1,4 — 雙(3-胺基苯氧基)苯、1,3-雙(3_胺基苯氧基 )苯、2, 2-雙〔4—(4一胺基苯氧基)苯基〕丙烷 、2,2 -雙〔4 — (3-胺基苯氧基)苯基〕丙烷、雙 〔4 — (4 —胺基苯氧基)苯基〕碩、雙〔4 一(3_胺 基苯氧基)苯基〕碾、雙〔4_ (4 一胺基苯氧基)苯基 〕醚、雙〔4 一(4 —胺基苯氧基)苯基〕聯苯等。又, 可倂用2種以上該二胺以合成重覆單位(U 3 )或(U4 )« 合成聚醯胺樹脂(A)時,與芳香族二胺反應之芳香 族二羧酸可爲,下列一般式(ΧΙΠ)所示二羧酸。 HOOC-Y'-COOH ( X HI ) 本紙張尺度適用中.國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) I 11 i 11 裝 I 訂— 11111 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14 - t齊郎一工消費合泎ΪΑ印製 1307822 A7 _ B7五、發明説明(12 ) (式中,Y1同上述一般式(I)及(瓜)之Y 1 ) 一般式(ΧΠΙ)之二羧酸如,對苯二甲酸、間苯二甲 酸、雙(4 一羧基苯基)硕、4,4’ 一聯苯二羧酸、1 ,5 -萘二羧酸等,又,可2種以上倂用。其中就易取得 及廉價性,又以對苯二甲酸及間苯二甲酸爲佳。就所生成 之聚醯胺樹脂的溶解性,特佳爲使用對苯二甲酸及間苯二 甲酸之混合物。 合成聚醢胺醯亞胺樹脂(B )時,與芳香族二胺反應 之芳香族三羧酸酐較佳爲,具有與胺基反應可生成醯亞胺 基之酸酐基的下列一般式(XIV)所示之物。 0 II HOOC— II 〇 (XIV) (式中,Υ2同上述一般式(Π)及(IV)之Υ2) 就耐熱性及經濟性,又以使用偏苯三酸酐爲佳。又, 可使用2種以上芳香族三羧酸酐。 上述酸成分除上述芳香族三羧酸酐外,可含有芳香族 二羧酸、芳香族四羧酸二酐。芳香族二羧酸如,對苯二甲 酸、間苯二甲酸、雙(4_羧基苯基)醚、雙(4 一羧基 苯基)硕、4, 4’ -聯苯二羧酸、1, 5-萘二羧酸等 ,又,可2種以上倂用。該二羧酸又可作爲酯、自化物等 之反應性衍生物用。 芳香族四羧酸二酐如,均苯四酸二酐、3, 3’ , 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 訂 線 本紙張尺度適用中.國國家標準(CNS ) A4規格(210>〇97公釐) -15- 1307822 A7 B7 五、發明説明(13) ,4’ 一二苯甲酮四羧酸二酐、3, 3, ,4,4,一聯 苯四羧酸二酐、2, 2 —雙酞酸六氟異亞丙基二野、雙( 3,4 —二羧基苯基)碩二酐、4,4,—雙(3,4 — 二羧基苯氧基)二苯基硕二酐、2,2 —雙〔4— (3, 4 -二竣基苯氧基)苯基〕丙焼二酐、乙二醇雙偏苯酸酯 二酐、十甲二醇雙偏苯三酸酯二酐、雙酚A雙偏苯三酸醋 二酐、2,2_雙〔4 一(3,4~二羧基苯基苯醯氧基 )苯基〕六氟丙烷二酐、4,4’ —〔1,4_伸苯基雙 (1 一甲基亞乙基)〕雙苯基雙偏苯三酸酐二肝等,又, 可2種以上倂用。該四羧酸二酐又可作爲游離酸(四缓酸 )、酯、鹵化物等之衍生物用》 上述聚醯胺樹脂(A)及聚醯胺醯亞胺樹脂(b )之 合成方法、反應條件等並無特別限制,可採用—般方法。 聚醯胺樹脂(A )可由,極性溶劑中8 〇 r以下,使上述 酸成分及鹼成分反應而得。酸成分爲二翔酸時,可使用脫 水劑用之乙酸酐、丙酸酐、安息香酸酐等酸酐物,或二環 己基碳化二亞胺等碳化二亞胺化合物等。又,必要時可使 屈脫水觸媒用之吡啶、異喹啉、三甲基胺、胺基吡啶、咪 唑等。脫水劑或脫水觸媒對二羧酸1莫耳之使用量各自較 佳爲1至8莫耳。酸成分爲鹵化物時,又以摻合酸捕捉劑 用之三乙基胺、丙烯氧化物等爲佳。酸捕捉劑對酸成分1 莫耳之使用量爲1至8莫耳。聚醯胺醯亞胺樹脂(β)可 由,極性溶劑中8 0 °C以下,使上述酸成分及鹼成分反應 後,將所生成之醯胺酸脫水閉環而得。脫水閉環係以 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) A4規格(21〇χ297公f ) ---------^— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
.1T 線 經濟部智蛙財產局員工消費合作社印製 -16- 1307822 A7 B7 _ 五、發明説明(14) 1 2 0至2 5 0°C熱處理之方法(熱醯亞胺化)或使用脫 水劑之方法(化學醯亞胺化)進行。以1 2 0至2 5 0乞 熱處理時,可同時將脫水反應所生成之水除去系外及進行 反應而爲佳。此時又可利用苯、甲苯、二甲苯等將水共沸 去除。使用脫水劑進行脫水閉環之方法時,所使用之脫水 劑較佳爲,乙酸酐、丙酸酐、安息香酸酐等酸酐,或二環 己基碳化二亞胺等碳化二亞胺化合物等。又,必要時可使 用脫水觸媒用之吡啶、異喹啉、三甲基胺、胺基吡啶、咪 唑等。脫水劑或脫水觸媒對具有酸酐基之3價羧酸1莫耳 的使用量各自較佳爲1至8莫耳。 合成聚醢胺樹脂(A)及聚醯胺醯亞胺樹脂(B)時 ,爲了防止感光性基之暗反應,可摻合自由基聚合禁止劑 或自由基聚合抑制劑。自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑 制劑如,P _甲氧基苯酣、二苯基一 P —苯醌、2,2 ’ —伸甲基雙(4 —乙基—6—t — 丁基苯酚)、6 — t — 丁基一 2, 3 —二甲苯酚、焦掊酚、吩噻嗪、間苯二酚、 〇 —二硝基苯、P_二硝基苯、m -二硝基苯、菲醌、N 一苯基—1 一萘基胺、N—苯基一 2 -萘基胺、銅鐵靈、 丹寧酸、p —苄基胺基苯酚、維他命E、亞硝胺類等,又 ,可單獨使用或2種以上倂用。自由基聚合禁止劑或自由 基聚合抑制劑對一般式(V )或(VI )所示二胺之總量 100莫耳%的使用量較佳爲〇·〇1至20莫耳%,更 佳爲0 · 0 5至10莫耳%。少於〇 · 0 1莫耳%時,反 應溶液會凝膠化,又,多於20莫耳%時會有降低靈敏度 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐] I I I I I I I |批衣— I I I I I I I I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -17- 1307822 A 7 _B7 五、發明説明(15 ) 之傾向。 合成聚醯胺樹脂(A)及聚醯胺醯亞胺樹脂(B )時 ,所使用之有機溶劑較佳爲,能完全溶解所生成之樹脂的 極性溶劑,例如N —甲基_ 2 —吡咯烷酮、N,N —二甲 基乙醯胺、N,N —二甲基甲醯胺、二甲基亞硕、7 —丁 內酯、環丁碾等。又,除該極性溶劑外,可使用嗣類、酯 類、醚類、脂肪族化合物類、芳香族化合物類及其鹵化物 等,例如丙酮、二乙基酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、 環己酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、二乙基醚、乙二醇二甲基 醚、二乙二醇二甲基醚、四氫呋喃、二氯甲烷、1, 2— 二氯乙烷、氯苯、己烷、庚烷、辛烷、甲苯、二甲苯。該 有機溶劑可單獨使用或2種以上倂用。 所得聚醯胺樹脂(A )及聚醯胺醯亞胺樹脂(B )可 直接以反應溶液形成塗膜(感光層),或將反應溶液投入 弱溶劑後析出樹脂再精製使用。 就耐熱性、耐藥性、未曝光部之顯像性,本發明所使 用之聚醯胺樹脂(A )及聚醯胺醯亞胺樹脂(B )的重量 平均分子量較佳爲8,000至200, 000,更佳爲 1 0, 000至180,000。重量平均分子量小於 8, 000時,會有耐熱性、耐藥性變差之傾向,又,大 於2 0 0,0 0 0時,會降低未曝光部之顯像性而易產生 顯像殘渣。重量平均分子量係利用凝膠滲透色譜法測定後 ,以標準聚苯乙烯換算而得。 其次將說明本發明所使用之光聚合性化合物。本發明 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝.
.1T 線 -18- 晚齊郎智达时產局員工消費合作社印製 1307822 A7 B7 五、發明説明(16 ) 所使用之光聚合性化合物爲,具有光聚合性不飽和鍵之矽 烷偶合劑(C )及含有分子內具有5個以上光聚合性不飽 和鍵之單體(d 1 )的光聚合性不飽和單體(D )中至少 一方或雙方。 使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )之目 的爲,提升感光性樹脂組成物之耐鹼性。所選擇之光聚合 性化合物爲矽烷偶合劑(C )時,對感光性樹脂全量(由 聚醯胺樹脂(A )及/或聚醯胺醯亞胺樹脂(B )所形成 之感光性樹脂的全量,以下均同)100重量份之摻合量 較佳爲0 . 1至20重量份,更佳爲1至15重量份。少 於0.1重量份時,會降低對基材之密合性、交聯密度, 而有降低耐鹼性、耐藥性之傾向。又,多於2 0重量份時 ,易因暗反應而產生凝膠化,故有降低保存安定性之傾向 〇 該矽烷偶合劑(C)如,乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯 基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙酸基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)矽烷、乙烯基三氯矽烷、乙烯基矽烷基三 異氰酸酯、3—甲基丙烯醯基氧丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯基氧丙基二甲氧基甲基矽烷、3-甲基丙烯醯 基氧丙基三甲氧基矽烷、三(甲基丙烯醯基氧乙氧基)甲 基矽烷。該矽烷偶合劑(C )可單獨使用或2種以上倂用 〇 爲了提高對基材之密合性,實施形態較佳爲,單獨摻 合(僅選用(D)作爲光聚合性化合物而未含(C)時) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2】0X297公釐) ---------參------1T------.^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •19- 1307822 A7 ______B7_____ 五、發明説明(17 ) 上述矽烷偶合劑(C )以外之偶合劑,或與矽烷偶合劑( c ) 一起摻合。(C )以外之偶合劑對感光性樹脂全量 1 0 0重量份之摻合量較佳爲0 . 1至1 5重量份,更佳 爲0 . 3至1 0重量份。該(C)以外之偶合劑較佳爲矽 烷偶合劑(即,不具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑) ,例如r-環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷、r-毓基丙基 三甲氧基矽烷、r_胺基丙基三乙氧基政.烷、7-脲基丙 基三乙氧基矽烷、N — /3 —胺基乙基-r —胺基丙基三甲 氧基矽烷。 光聚合性不飽和單體(D)係使用分子內具有5個以 上光聚合性不飽和鍵之單體(dl)。因此,可提升感光 性樹脂組成物之感光特性及大幅提升耐溶劑性,特別是耐 鹼性。就交聯密度及耐鹼性,對光聚合性不飽和單體(D )100重量%之單體(dl)含量較佳爲30至100 重量%,更佳爲50至100重量%。 就感光特性等方面,所使用上述單體(d 1 )以外之 光聚合性不飽和單體較佳爲,分子內具有2至4個光聚合 性不飽和鍵之單體(d 2 )。以單體(d 1 )作爲光聚合 性化合物用時,可倂用該單體(d 2 )及(d 1 ),又, 未使用單體(d 1 )時(選擇上述矽烷偶合劑(C)作爲 光聚合性化合物時),可倂用該單體(d 2 )及矽烷偶合 劑(C ) 〇 選擇含單體(d 1 )之光聚合性不飽和單體(D )作 爲光聚合性化合物時,對感光性樹脂全量1 0 0重量份之 本紙張尺度適用中.國國家標準(CNS ) A4规格(2】0X297公釐) n |批衣 I I 訂— I I I I 各 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -20- 1307822 A7 B7 18 五、發明説明( (D)摻合量(即,含單體(dli)及必要時之單體( d 2 )的光聚合性不飽和單體總置),就提升靈敏度較佳 爲1重量份以上,就保存安定性較佳爲5 〇 〇重量份以下 ,更佳爲3至300重量份。又,未使用單體(dl)而 使用單體(d 1 )以外之光聚合性不飽和單體(單體( d 2 )等)時,光聚合性不飽和單體(d)之較佳摻合量 亦相同。例如,光聚合性化合物僅含有矽烷偶合劑(C ) 時,對感光性樹脂全量1 〇 〇重量份之單體(d 2 )摻合 量較佳爲1至500重量份,更佳爲3至300重量份。 所使用之單體(d 1 )較佳爲,分子內具有5個以上 丙烯醯基或甲基丙烯醯基之單體,但非限於該單體。特佳 如,二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、具 有一般式(X V ): (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 I c H2c=c—CO-O-R;.ίο R1
cr r-o-co-c=ch2 R /、 H;;C=C—CO-O-R^O^ I H^O-R^-O-CO-C^CHtH:ic=c—co-o—、〇—RL〇-CO-C=CH2 R1 線 R1 B1( (XV) (式中,6個R9各自獨立爲碳數1至5之偶烷基;6個 R1Q各自獨立爲甲基或氫原子) 所示膦嗪骨架之六丙烯酸酯及六甲基丙烯酸酯、一般式( X VI ): 本纸張尺度適用中.國國家標準(CMS ) 規格(210X297公釐) -21 - 14 (XW) 14 1307822 A7 B7 __ 1 五、發明説明(19)
RlW〇^CH^C〇f〇-CHa
Rl^O^CH^CO^o-CHs-C-CHi-O-CHz-C-CHz-O-fCO-^CHz^R11
巧0 十 CH4C〇t〇-CH2 CH2-〇-(-CO-(CH2^〇^-R (XVI) (式中,5個R11各自獨立爲丙嫌醯基或甲基丙儀酿基’ R12爲丙烯醯基、甲基丙烯醯基或氫原子;?爲3至10 之整數;f、 g、 h、 i、 j及k各自獨立爲〇至5之整 數) 所示二季戊四醇之內酯改性物的六丙烯酸酯、六甲基丙烯 酸酯、五丙烯酸酯及五甲基丙烯酸酯、一般式(XVtt): R^f0--R^0-CH2 CHz-O-fR^-O^R14
R-^0—R-^0-CH2-C-CH2-〇-CH2-C-CH2-〇-(-R~〇)^R R—(ci—R^)~i〇-CH2 CH2- 0-f R—0-)j^R (式中,複數個R13各自獨立爲伸乙基或伸丙基;5個 R 14各自獨立爲丙烯醯基或甲基丙烯醯基;R15爲丙烯醯 基、甲基丙烯醯基或氫原子;fl、 gl、 hi、 il、 j 1及kl各自獨立爲0至5之整數) 所示二季戊四醇之環氧化物附加物的六丙烯酸酯、六甲基 丙烯酸酯、五丙烯酸酯及五甲基丙烯酸酯等。該單體可單 獨使用或2種以上倂用。 單體(d 2 )並無特別限制,例如,二乙二醇二丙烯 酸酉旨、三乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、二乙 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) 裝------訂------線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -22- 1307822 A7 B7 五、發明説明(20) 二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二 醇二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、三羥甲基 丙烷三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、三羥甲 基丙烷三甲基丙烯酸酯、1, 4-丁二醇二丙烯酸酯、1 ,6 —己二醇二丙烯酸酯、1,4_丁二醇二甲基丙烯酸 酯、1,6 -己二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸 酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季 戊四醇四甲基丙烯酸酯、二乙烯苯、1,3-丙烯醯基氧 基—2 —羥基丙烷、1,3 —甲基丙烯醯基氧基一2_羥 基丙烷、伸甲基雙丙烯醯亞、甘油二甲基丙烯酸酯、新戊 二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇之二丙烯酸酯、聚乙二醇之二 甲基丙烯酸酯、聚丙二醇之二丙烯酸酯、聚丙二醇之二甲 基丙烯酸酯、三(甲基丙烯氧基乙基)異氰酸酯、一般式 (X 珊): 〇 .~v ch3 _, ο h2c=〒「,-{o-r气卜<^>-0妒〇七各-〒『广2 CXVD1) (式中,複數個R16各自獨立爲伸乙基或伸丙基;2個 R17各自獨立爲甲基或氫原子;ml及η 1各自獨立爲1 至2 0之整數) 所示雙酚Α之環氧化合物附加物的二丙烯酸酯及二甲基丙 烯酸酯、一般式(XK): 本紙張尺度適用中.國國家標準(CNS ) A4規格(2丨0X297公釐) 裝 訂 n 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本I) -23- 1307822 A7 B7 五、發明説明( 21 〇 OH ._. CH3/, OH 〇 H2C=C-C^0-CH2CHCH2^P^Q^C^Q^-0|CHzCHCH2-0^-C-^CHz R18 (XIX) (式中,2個R18各自獨立爲甲基或氫原子;m2及η 2 各自獨立爲1至1 0之整數) 所示雙酚Α之環氧氯丙烷改性物的二丙烯酸酯及二甲基丙 烯酸酯、雙酚A二甲基丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯、一 般式(X X ): 〇〇0 H2C^C-C-(-〇-R^p-P-〇^-R^-〇A-C-c=CH2 fl20 OH R20 (XX) (式中,複數個R19各自獨立爲伸乙基或伸丙基;2個 R2°各自獨立爲甲基或氫原子;m3及η 3各自獨立爲1 至2 0之整數) 所示磷酸之環氧化物附加物的二丙烯酸酯及二甲基丙烯酸 酯、一般式(X X I ): Ο ΟΗ 0 R21 C- Ο CH2CHCH2- 0 -V- C — C=CH2Γ〇Τ 、C-〇--(-CH2CHCH2-〇^-C—c=ch2 0 OH 0 RU (XXI) (式中,2個R21各自獨立爲甲基或氫原子;m4及η 4 各自獨立爲1至1 0之整數) 所示酞酸之環氧氯丙烷改性物的二丙烯酸酯及二甲基丙輝 酸酯 般式(X X Π ) 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(21〇Χ:297公釐) -訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -24 1307822 A7 B7 五、發明説明( 22 Ο OH OH 0 H.2C=C-C^O-CH2CHCH2^p-(-CH2->-〇-{-CH2CHCH2-〇-^C-C=CH2 R之2 R (ΧΧΠ) (式中,2個R22各自獨立爲甲基或氫原子;m5及η 5 各自獨立爲1至2 0之整數) 所示1,6 _己二醇的環氧氯丙烷改性物的二丙烯酸酯及 二甲基丙烯酸酯、一般式(ΧΧΠΙ): 0 0=Ρ- O-fR—o-}-c-c=ch: m6 ^24 (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本I) -裝· (xxm)
.1T (式中,複數個R23各自獨立爲伸乙基或伸丙基;3個 R24各自獨立爲甲基或氫原子;3個m6各自獨立爲1至 2 0之整數) 所示磷酸之環氧化物附加物的三丙烯酸酯及三甲基丙烯酸 酯、一般式(X X IV ): ,26 Ο FT ch2-〇-(r—〇-^-c-c=ch2 26 ch2 O"^R—O*^ OR II I · · C—C-CH2 (XXIV) ~Cfc*C==CH2 1 6 R26 (式中,複數個R 2 5各自獨立爲伸乙基或伸丙基;3個. R26各自獨立爲甲基或氫原子;r、s及t各自獨立爲1 至2 〇之整數) 所示三羥甲基丙烷之環氧化物附加物的三丙烯酸酯及三甲 中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐 -25- 1307822 A7 B7 五、發明説明( 23 基丙烯酸酯、一般式(XXV) 0 R29" rQ _ CH3 _ p2B ^ CH3 II H Ο Ο (XXV) (式中,複數個R27各自獨立爲伸乙基或伸丙基;2個 R28及2個R29各自獨立爲氫原子、碳數1至4之烷基、 苯基、乙烯基或丙烯基;m7及η 7各自獨立爲1至2 0 之整數)所示雙酚Α之環氧化物附加物的雙馬來醯亞胺、 —般式(X X VI ):
f丨 Fl3V ^ \-C:H2CH2^〇-CH2CHCH2^〇/(^\c^(^\〇^CH2CHCH2-〇^CHaCHr^ ^ 31ί " λ~f CHa^—7 * /Γ 0 1¾一齊郎铉络时產苟員工消費合作社印裝 (XXVI) (式中,2個R3°及2個R31各自獨立爲氫原子、碳數1 至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基;m8及n8各自獨 立爲1至1 0之整數) 所示雙酚A之環氧氯丙烷改性物的雙馬來醯亞胺、一般式 (X X VB ): 0 0 32 I n n n n I I I I n n n n I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
R 33/ 匕、 C、C,R 各 ^,M-CH2-Cli2~〇'-^CH2"^-~0—CH2_CH2-N ^ 0 (XXVD) (式中,2個R32及2個R33各自獨立爲氫原子、碳數1 本纸張尺度適用中國國家摇準(CNS)A4規格(210x297公验) -26- 1307822 Α7 Β7 五、發明説明(24) 至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基;m9爲2至20之 整數)所示鏈烷二醇之雙馬來醯亞胺、一般式(XXVID) oh 〇h ^ ^N'CHgCHg-fO-CHzCHCHz-^OlCHe-^O^-CHzCHCHs-O^CMiCHi·^ ^ ’〆 m" 6 1〇 ί (XXW)
R 0 B35 (式中,2個R34及2個R35各自獨立爲氫原子、碳數1 至4之烷基、苯基、乙烯基或丙烯基;ml 0及η 1 〇各 自獨立爲1至2 0之整數) 所示1,6 -己二醇之環氧氯丙烷改性物的雙馬來醯亞胺 、2,2 —雙(ρ —馬來醯亞胺基苯氧基苯基)丙烷等。 該單體可單獨使用或2種以上倂用。 除上述所說明之各成分(A)、 (Β D )外,本發明之感光性樹脂組成物較佳 引發劑(Ε)。就靈敏度及圖型形成性, (Ε )對感光性樹脂全量1 0 0重量份之 重量份以下,就密合性較佳爲8 0重量份 7 0重量份爲佳,更佳爲3至5 0重量份。 上述光聚合引發劑(Ε )並無特別限 酮、Ν, Ν’ —四乙基一4, 4’ 二胺 一甲氧基—4’ -二甲基胺基二苯甲酮、 二乙氧基乙醯苯、苯偶因、苯偶因甲基醚 醚、苄基二甲基縮酮、α-羥基異丁基苯 )、(C )及( 爲,含有光聚合 該光聚合引發劑 摻合量較佳爲1 以下,又以3至 制,例如二苯甲 基二苯甲酮、4 苄基、2,2 — 、苯偶因異丁基 酮、噻噸酮、2 I 訂"™ 1111 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2】0Χ 297公釐) -27- 1307822 A7 _B7 五、發明説明(25 ) —氯噻噸酮、1-羥基環己基苯基酮、2-甲基-1—〔 4 —(甲基硫)苯基〕—2 —嗎啉基—1—丙酮、t — 丁 基蒽醌、1 —氯蒽醌、2,3 —二氯蒽醌、3 —氯-2 — 甲基蒽醌、2 —乙基蒽醌、1 , 4 —萘醌、9, 1 0 -菲 醌、1, 2 —苯并蒽醌、1,4 —二甲基蒽醌、2 _苯基 蒽醌、2_ (〇_氯苯基)—4,5_二苯基咪唑二聚物 。該光聚合引發劑可單獨使用或2種以上併用。 本發明之感光性樹脂組成物的較佳實施形態爲,另含 有溶劑。該溶劑並無特別限制,例如丙酮、甲基乙基酮、 環戊酮、環己酮等酮化合物;甲基溶纖劑、乙基溶纖劑、 丁基溶纖劑、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、丁 基溶纖劑乙酸酯、3-甲基一3 -甲氧基丁基乙酸酯、乙 二醇單丙基醚、乙二醇單己基醚、乙二醇二甲基醚、二乙 二醇乙基醚、二乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二 醇單乙基醚、丙二醇單丙基醚、丙二醇單丁基醚、丙二醇 單甲基醚乙酸酯、二乙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇乙基 醚乙酸酯、二乙二醇丙基醚乙酸酯、二乙二醇異丙基醚乙 酸酯、二乙二醇丁基醚乙酸酯、二乙二醇—t 一丁基醚乙 .酸酯、三乙二醇二甲基醚、三乙二醇甲基醚乙酸酯、三乙 二醇乙基醚乙酸酯、三乙二醇丙基醚乙酸酯、三乙二醇異 丙基醚乙酸酯、三乙二醇丁基醚乙酸酯、三乙二醇-t — 丁基醚乙酸酯等烯烴二醇醚化合物;甲醇、乙醇、丙醇、 丁醇等醇化合物;己烷、庚烷、辛烷等脂肪族化合物;氯 仿、二氯甲烷、1,2 -二氯乙烷、氯苯等脂肪族化合物 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) 規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線 -28- 1307822 A7 _____B7 五、發明説明(26) •芳香族化合物之鹵化物;乙酸乙酯、乙酸丁酯等酯化合 物;乙基醚、四氫呋喃、二噁烷等醚化合物;苯、甲苯、 二甲苯等芳香族化合物;N, N-二甲基乙醯胺、N, N -二甲基甲醯胺、N —羥基甲基_ 2 -吡咯烷酮等醯胺化 合物;r 一丁內酯、N-甲基—2 —吡咯烷酮、環丁硕、 二甲基亞硕等非質子性極性溶劑等有機溶劑。該有機溶劑 可單獨使用或2種以上倂用。有機溶劑摻合量並無特別限 制,一般對感光性樹脂全量10 0重量份較佳爲5 0至 5 0 0 0重量份。 本發明之感光性樹脂組成物爲了提高保存安定性,實 施形態較佳爲,摻合自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制 劑。該自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑如,P-甲 氧基苯酚、二苯基-P -苯醌、苯醌、2,2’ -伸甲基 雙(4 一乙基一6 — t — 丁基苯酚)、6 — t — 丁基—2 ,3 -二甲苯酚、焦掊酚、吩噻嗪、間苯二酚、〇 —二硝 基苯、p -二硝基苯、m —二硝基苯、菲醌、.N—苯基一 1 一萘基胺、N —苯基—2 -萘基胺、銅鐵靈、丹寧酸、 P -苄基胺基苯酚、維他命E、亞硝胺類》其可單獨使用 或2種以上倂用。 對成分(A)及/或(B)所形成之感光性樹脂與成 分(C)及/或(D)所形成之光聚合性化合物之總量 100重量份,自由基聚合禁止劑或自由基聚合抑制劑之 使用量,就感光性樹脂組成物之安定性較佳爲0 . 0 1重 量份以上,就靈敏度較佳爲3 0重量份以下,更佳爲 本紙張尺度適用中.國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 經濟部智慈財產局員工消費合作社印裝 -29- 陘齊郎智慈財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 A7 __B7___ 五、發明説明(27) 0·05至10重量份。 爲了更進一步提升本發明之感光性樹脂組成物的密合 性、塗膜硬度等諸特性,必要時可摻合硫酸鋇、鈦酸鋇、 二氧化矽、滑石、燒成高嶺土、碳酸鎂、氧化鋁、氫氧化 鋁、雲母等已知之無機塡料1種以上,其摻合量對感光性 樹脂組成物總量100重量份較佳爲0.1至80重量份 ,更佳爲0 . 5至50重量份。又,必要時可使用酞菁藍 、酞菁綠、碘綠、二重氮黃、庫斯等、氧化鈦、碳黑、萘 黑等已知之著色劑;皂土、蒙脫石等增粘劑;聚矽氧烷系 、氟系、乙烯樹脂系之消泡劑等已知的慣用摻合劑。其可 單獨使用或2種以上組合使用。 例如可利用滾輥混煉機、管狀混煉機等,將上述摻合 成分均勻混煉、混合,而得本發明之感光性樹脂組成物後 ,可利用浸漬法、噴霧法、網版印刷法、旋轉塗布法等方 法,將其塗布於矽網、金屬基板、陶瓷基板等基材上,再 加熱去除溶劑,而形成由本發明感光性樹脂組成物中不揮 發成分所形成之塗膜。又,去除溶劑用之加熱溫度較佳爲 6 0至1 5 0 °C。該塗膜膜厚並無特別限制,但就顯像性 等觀點較佳爲1至5 0 //m,更佳爲2至4 0 //m,特佳 爲 2 至 3 0 // m。 下面將參照圖1所示步驟例之一的模式圖說明本發明 之圖型製造法《 首先,步屬(i )如圖1 ( a )所示,將上述本發明 之感光性樹脂組成物所形成之感光層(塗膜)2 0層合於 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 裝------訂------線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -30- 1307822 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 A7 __B7五、發明説明(28 ) 彈性印刷配線板等基板1 0上。又,層合方法可隨意,但 以利用浸漬法、噴霧法、網版印刷法、旋轉塗布法等塗布 後去除溶劑爲佳。 結束層合感光層2 0後利用步驟(ϋ ),以畫像狀照 射活性光線,使感光層之曝光部(即,曝光部分之感光層 )光硬化。又,活性光線係指,紫外線、X線、電子線、 放射線、離子束等電磁波及粒子線。將活性光線照射爲畫 像狀之方法如圖1 (b)所示,通過描繪所需圖型之圖罩 3 0,將活性光線以畫像狀照射在感光層2 〇上,而使曝 光部之感光層2 0光硬化。所使用之圖罩3 0可爲一般所 使用之負型或正型物。曝光時之光量較佳爲1 〇 〇至 3 0 0 〇m J / cm2。光源並無特別限制,可使用碳極電 弧燈、氙燈、低壓水銀燈、高壓水銀燈、超高壓水銀燈、 金屬鹵素燈等。又,可不使用圖罩,直接以激光直接描繪 曝光。 曝光後以步驟(iii ),利用選擇性顯像去除感光層之 未曝光部(即,未曝光部分之感光層)。所使用之顯像液 如,N,N —二甲基甲醯胺、N,N —二甲基乙醯肢、n —甲基_2—吡咯院酮、r一丁內酯、二乙二醇二甲基醚 、三乙二醇二甲基醚、二甲基亞硕等良好溶劑、該良好溶 .劑與低級醇、酮、水、脂肪族化合物、芳香族化合物、丁 基溶纖劑乙酸酯等烯烴二醇醚化合物等弱溶劑之混合溶液 。顯像方式如,沾浸方式、噴霧方式、沖洗、拍打等。必 要時,顯像後可利用水或弱溶劑進行漂洗,再以1 8 0 t 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29·?公釐) ----------辦衣----Ί--1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -31 - A7 1307822 B7 五、發明説明(29 ) 左右乾燥,而如圖1 ( c )所示,得由本發明之感光性樹 脂組成物所形成之,具有所需圖型之塗膜2 1 (即,由本 發明之感光性樹脂組成物所形成的圖型2 1 )。必要時可 利用60至25CTC之加熱處理或0 . 2至l〇J/cni 之曝光處理,使顯像後之塗膜(圖型)2 1更進一步硬化 〇 所得由本發明之感光性樹脂組成物所形成的具有所需 圖型之塗膜.,可使用於半導體裝置及多層配線板等各種電 子部件上。具體例如,形成塗覆於半導體元件、引線框、 基板等半導體裝置上之接合被膜、緩衝被膜、α線遮斷膜 等表面保護膜或層間絕緣膜、多層配線基板之層間絕緣膜 等。 本發明之電子部件爲,具有例如上述表面保護膜或層 間絕緣膜用等,由本發明之感光性樹脂組成物所形成的塗 膜,即感光層。具體該感光層下,.其他條件並無特別限制 ,可採用各種構造。 下面將參照圖2具體說明電子部件一例之半導體裝置 的製造步驟例。 具有回路元件之矽基板等的半導體基板1係於去除回 路元件之一定部分後,以矽氧化膜等保護膜2被覆,再於 曝露之回路元件上形成第1導體層3。其後利用旋轉塗布 法等,於半導體基板上形成由聚醯亞胺樹脂等所形成之層 間絕緣膜層4 (圖2 ( a )、步驟(a ))。 其次,以旋轉塗布法於層間絕緣膜層4上形成由環化 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) - III·1 JI 訂 i 11 n 各 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -32- 絰濟部智鲒財產局員工涓費合作社印製 1307822 A7 _B7_五、發明説明(30 ) 橡膠系樹脂、苯酚酚醛淸漆系樹脂等所形成之感光性樹脂 層5後,利用已知之照相蝕刻技術使一定部分之層間絕緣 膜層4曝露般,設置窗6A (圖2 (b)、步驟(b)) 0 接著,利用使用氧、四氟化碳等氣體之乾蝕刻法,對 曝露於窗6 A之層間絕緣膜層4進行選擇性蝕刻,得窗 6 B後使用不腐蝕曝露於窗6 B之第1導體層3而僅腐蝕 感光性樹脂層5之蝕刻溶液,完全去除感光性樹脂層5 ( 圖 2(c),步驟(c))。 其後,利用已知之照相蝕刻技術形成第2導體層7, 再與第1導體層3進行完全性電氣接連(圖2 (d),步 驟(d ))。 又,形成3層以上之多層配線構造時,可重覆上述步 驟而形成各層。 最後形成表面保護膜層8。圖2中,表面保護膜層8 係由本發明之感光性樹脂組成物所形成。即,先以旋轉塗 布法將感光性樹脂組成物塗布乾燥後,由一定部分描繪窗 6 C形成用之圖型的圖罩上照射活性光線,再以顯像液去 除未曝光部分進行顯像,得圖型(圖2 (e),步驟(e ))。 又,上述製造步驟例亦可使用本發明之感光性樹脂組 成物形成層間絕緣膜層4。 本發明之感光性樹脂組成物因含有感光性樹脂(A ) 及/或(B),與光聚合性化合物(C)及/或(D), ^纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
,1T 線 -33- 1307822 A7 B7 五、發明説明(31 ) (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 對可形成耐熱性優良,且無需超過3 0 0 °C般高溫處理下 ,使用其可得到優良耐溶劑性,特別是耐鹼性之圖型(具 有圖型之塗膜),又,適用爲不進行高溫處理般電子部件 之保護膜或絕緣膜材料。 本發明之圖型製造法因係使用本發明之感光性樹脂組 成物,而具有優良耐熱性、耐鹼性,故既使作爲保護膜或 絕緣膜用,亦能形成圖型。又,因使用本發明之感光性樹 脂組成物,故感光層可直接作爲保護膜及絕緣膜,因此可 以良好作業性及生產性提供本發明之電子部件。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 下面將參照實施例詳細說明本發明。實施例中,樹脂 之重量平均分子量爲,利用凝膠滲透色譜(GPC)以洗 提液:0 · 05mo 1/L磷酸NMP、液速度:12/ 分、檢驗:UV檢驗器(250nm)條件所得之値(標 準聚苯乙烯換算)。又,下列表中,(dl)爲分子內具 有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體,(d2)爲分子內 具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體,(E)爲光聚合 引發劑,(C)爲具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑。 表中各成分之摻合量爲,對感光性樹脂(聚醯胺樹脂及/ 或聚醯胺醯亞胺樹脂)總量1 0 0重量份之値。 〔合成感光性樹脂〕 (1 )合成聚醯樹脂(A — 1 ) 分別將2,2 -雙〔4 一(4 —胺基苯氧基)苯基〕 丙烷(以下稱爲「BAPP」)30.6g、4, 4’ — 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公茇) -34- 1307822 A7 ___B7_ 五、發明説明(32 ) 二胺基二苯基醚(以下稱爲「DDB」)1 . 7g、3 , 5 -二胺基安息香酸2 -甲基丙烯醯基氧乙基醋21 . 9 S ' 2,2 —伸甲基雙(4—乙基一6 - t_ 丁基苯酌 )3 · 3g、N —甲基—2 —吡咯烷酮(以下稱爲「 NMP」)419 · 8g加入備有攪拌機、溫度計、氮氣 導入管及氯化釣管之5 0 0m£4 口燒瓶中,氮(氣下攪梓的 同時冷卻至0 t後加入丙烯氧化物2 7 . 8 g,再加入間 苯二甲酸氯化物1 6 _ 2 g及對苯二甲酸氯化物1 6 . 2 g,室溫下攪拌1小時進行反應。將所得反應溶液注入水 中,利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥,得重覆單位(U 1 ) /(U3)爲50/50 (莫耳比)之聚醯胺樹脂(Α — 1 )粉末。所得樹脂(A_l )之重量平均分子量爲 1 5 0,0 0 0。 (2)合成聚醯胺樹脂(Α — 2) 除了使用 ΒΑΡΡ 1 2 · 3 g . DDE 0 . 7 g 、3,5 -二胺基安息香酸2 —甲基丙烯醯基氧乙基酯 35. 0g、 2, 2’ 一伸甲基雙(4 一乙基一6 — t — 丁基苯基)5 . 3g及NMP 381 5g外,其他同 上述聚醯胺樹脂(A-1)合成,得重覆單位(U1)/ (U3)爲80/20 (莫耳比)之聚醯胺樹脂(A - 2 )粉末。所得樹脂(A_2)之重量平均分子量爲 1 0 7,0 0 0。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝.
.1T -35- 1307822 A7 B7 五、發明説明(33 ) (3)合成聚醯胺樹脂(A — 3) 除了使用 BAPP 42.9g、DDE 2 · 3 g 、3, 5—二胺基安息香酸2-甲基丙烯醯基氧乙基酯 13 . lg、 2, 2’ -伸甲基雙(4 -乙基—6— t-丁基苯酚)2 . Og及NMP 445 . 2g外,其他同 上述聚醯胺樹脂(A- 1 )合成,得重覆單位(U 1 ) / (U3)爲30/70 (莫耳比)之聚醯胺樹脂(A— 3 )粉末。所得樹脂(A - 3 )之重量平均分子量爲 9 8,0 0 0。 (4 )合成聚醯胺樹脂(X) 將 BAPP 61.2g、DDE 3.3g 及 NMP 483 . 5g加入備有攪拌機、溫度計、氮氣導 入管及氯化鈣管之50024口燒瓶中,氮氣下攪拌的同 時冷卻至0 °C後加入丙烯氧化物2 7 . 8 g,再加入間苯 二甲酸氯化物1 6 _ 2g及對苯二甲酸氯化物1 6 . 2g ,室溫下攪拌1小時進行反應。將所得反應溶液注入水中 ,利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥,得重覆單位(U 1 ) / (U3)爲0/100 (莫耳比)之聚醯胺樹脂(X)粉 末。所得樹脂(X)之重量平均分子量爲1〇2,000 〇 (5 )合成聚醯胺醯亞胺樹脂(b - 1 ) 將BAPP 53 .6g、 3, 5 -二胺基安息香酸 本纸張尺度適用中國國家樣準(CNS ) A4規格(210X 297公楚) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂
經濟部智慧財產局員工消費合作社卬製 -36- 1307822 A7 ____________ B7 五、發明说明(34 ) 2 -甲基丙嫌醯基氧乙基酯34 _5g、2, 2,一伸甲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 基雙(4 —乙基—6 — t -丁基苯酚)5 · 2g及NMP 5 7 2 . 2 g加入備有攪拌機、溫度計、氮氣導入管及 冷卻管之1 0 0 〇 d 4 口燒瓶中,氮氣下攪拌的同時冷卻 至〇C後加入偏苯三酸酐氯化物55.0g,室溫下再擾 拌1小時進行反應。將三乙基胺31.加入所得反應 溶液後,室溫下攪拌1小時,再加入乙酸酐1 33 . 3g 及吡啶4 1 . 3 g,8 0 °C下攪拌1 2小時進行反應。將 所得反應溶液注入水中,利用攪拌器粉碎後水洗再乾燥, 得聚醯胺醯亞胺樹脂(B — 1 )粉末。所得樹脂(B — 1 )之重量平均分子量爲120, 000。 (6) 合成聚醯胺醯亞胺樹脂(B — 2) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 除了使用BAPP 23 · 4g、3,5 —二胺基安 息香酸2 —甲基丙烯醯基氧乙基酯60 . 2g、2,2’ —伸甲基雙(4 —乙基一 6— t — 丁基苯酚)9 . lg、 Ν Μ P 574 · 3g,偏苯三酸酐氯化物60 · 0g、 三乙基胺34.6g、乙酸酐145.4g及吡啶 45 . 0g外,其他同上述聚醯胺醯亞胺樹脂(B—1) 合成,得聚醯胺醯亞胺樹脂(B - 2 )粉末。所得樹脂( B — 2)之粉末之重量平均分子量爲100,000。 -37- 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 1307822 A7 _T.__ 五、發明説明(35 ) 息香酸2-甲基丙烯醯基氧乙基酯20.7g、 2, 2f —伸甲基雙(4_乙基一6—t — 丁基苯酚)3 · lg、 Ν Μ P 602. 7g、偏苯三酸酐氯化物55. 〇g、 三乙基胺31 . 7g、乙酸酐133 . 3g及吡啶 41 . 3g外,其他同上述聚醯胺醯亞胺樹脂(B — 1) 合成,得聚醯胺醯亞胺樹脂(B - 3 )粉末。所得樹脂( B — 3)之重量平均分子量爲1 1 3, 000。 (8 )合成聚醯胺醯亞胺樹脂(Y ) 將 BAPP 77.9g 及 NMP 471. 6g 加 入備有攪拌機、溫度計、氮氣導入管及冷卻管之1000 J4 口燒瓶中,氮氣下攪拌的同時冷卻至0°C後加入偏苯 三酸酐氯化物4 0 · 0g,室溫下攪拌1小時進行反應。 將三乙基胺2 3 · 0 g加入反應溶液中,室溫下攪拌1小 時後加入乙酸酐9 6 . 9 g及吡啶3 0 . 0 g , 8 0 °C下 再攪拌1 2小時進行反應。將所得反應溶液注入水中,利 用攪拌器粉碎後水洗再乾燥,得聚醯胺醯亞胺樹脂(Y ) 粉末。所得樹脂(Y )之重量平均分子量爲 1 2 5,0 0 0 ° 〔塗膜之評估方法〕 塗膜特性之評估方法如下所示。 (1 )解像度
以顯微鏡觀察圖型化之塗膜,並以線&空間(L / S 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
IT -38- 1307822 A7 B7 五、發明説明(36 ) )之圖型寬幅相同的最小値(# m)爲解像度》 (2 )耐鹼性 對形成Η型化塗膜之薄片進行〇.1當量之氫氧化鈉 水溶液中,12l°c、〇.2MPa(2atm)、10 小時之加壓鍋試驗(p c T )後,觀察塗膜表面狀態。 (3 )耐酸性 將形成圖型化塗膜之薄片浸漬於6 〇。(:之〇 . 1當量 鹽酸水溶液中,進行2小時超音波振動(周波數:42 kHz)後,觀察塗膜表面狀態。 (4 )耐有機溶劑性 將形成圖型化塗膜之薄片浸漬於6 0。(:之NMP中, 進行2小時超音波振動(周波數:42kHz)後,觀察 塗膜表面狀態。 (5 ) 5 %重量減少溫度 空氣中,利用差示熱天平以10t/分之升溫速度測 定。 〔實施例〕
實施例1 A 將具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )用的乙 烯基三甲氧基矽烷(東連股份公司製s Z 6 3 0 0 ;以下 稱爲「SZ6300j ) 0 · 218g、分子內具有2至 4個光聚合性不飽和鍵之單體(d 2 )用的三羥甲基丙院 三甲基丙烯酸酯(新中村化學工業股份公司製N K酯 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2]0Χ297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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-39- 1307822 五、發明説明(37 Λ7 B7 TMPT ;以下稱爲「TMpT」)2 合引發劑(Ε )用之二苯甲酮丄/ 〇丄 四乙基一4,4,一二胺基 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製
6 8 8 g、光聚 g、N,N ’ - 、 苯甲酮0 . 335g、有機 溶劑用之二乙二醇一甲基酿(.丨、)> 跑一甲垂腿(以下稱爲「DMDG」) I2.53g 及 1 〇 M F 12.53g加入聚醯胺樹脂( A 1 )粉末2 · 1 7 9 g中,混合後得感光性樹脂組成 物。 以旋轉塗布法將所得感光性樹脂組成物塗布於5英寸 矽薄片(表面:S i )上,& 9 〇。。加熱乾燥3分鐘後得 塗膜。利用超局壓水銀燈以通適負型圖罩方式,對所得塗 膜進行畫像狀10 〇 〇m J / Crrf曝光,再利用三乙二醇 二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯(6〇/4〇)(重量比) 進行顯像。以水洗淨塗膜後,以丨8 〇 〇c乾燥機乾燥i小 時,得具有圖型且乾燥後膜厚爲3. 0;/111之塗膜。 實施例2 A 除了以3 —甲基丙烧醯基氧丙基三甲氧基矽烷(東連 股份有限公司製SZ6030 ;以下稱爲「SZ6030 」)作爲矽烷偶合劑(C )用外,其他同實施例1 a摻合 各成分,得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 · 6/zm之塗膜。 實施例3 A 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2]〇x297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝. 訂 線 -40- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 _____B7_ 五、發明説明(38 ) 除了使用TMPT 〇.623g、二苯甲酮 〇.234g、Ν’ Ν’ -四乙基一4, 4,—二胺基二 苯甲酮 0 . 077g、DMDG 6 · 22g 及 NMP 6 . 2 2 g外,其他同實施例1 A得感光性樹脂組成物》 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 · 6 //m之塗膜。
實施例4 A 除了使用TMPT 0.129g、二苯甲酮 0 · 1 9 3 g > N , N '—四乙基一4,4’ —二胺基二 苯甲酮0.064g、 DMDG 6.73g及NMP 6 . 7 3 g外,其他同實施例1 A得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0//m之塗膜。
實施例5 A 除了使用聚醯胺樹脂(A- 2)外,其他同實施例 3 A得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 之塗膜。
實施例6 A 除了使用聚醯胺樹脂(A - 3 )外,其他同實施例3 A得感光性樹脂組成物。 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
-41 - 1307822 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(39 ) 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 5 # m之塗膜。 比較例1 A 除了使用聚醯胺樹脂(X )粉末外,其他同實施例 1 A之方法製作感光性樹脂組成物。使用該感光性樹脂組 成物同實施例1 A之方法形成塗膜後,進行曝光、顯像, 但無法得到具有圖型之塗膜。 比較例2 A 除了未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )成分外,其他同實施例1A得感光性樹脂組成物。使用 該感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得具有圖型且 膜厚(乾燥後)2 · 5/zm之塗膜。 比較例3 A 除了以.r —環氧丙氧基丙基三甲氧基矽烷(東連股份 有限公司製SH6040 ;以下稱爲「SH6040」) 取代具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )外,其他 同實施例1 A得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0/i m之塗膜。 實施例1 A至6 A及比較例1 A至3 A所得之感光性 樹脂組成物的摻合量,聚醯胺樹脂之重量平均分子量( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T t -線-- 本纸張尺度適用中國國家標準(CMS ) A4規格(210X W7公釐) -42- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 A7 B7 五、發明説明(40 ) M w )如表1所示。所得塗膜之評估結果如表2所示。 〔表1〕 聚醯胺樹脂 參合量(1 i量份) (U1)/(U3) Mw (d2) (E) (C) 其他偶合劑 實施例1Α 50/50 150,000 123 62 10 0 實施例2Α 50/50 150,000 123 62 10 0 實施例3Α 50/50 150,000 29 14 10 0 實施例4Α 50/50 150,000 6 12 10 0 實施例5Α 80/20 107,000 29 14 10 0 實施例6Α 30/70 98,000 29 14 10 0 比較例1 A 0/100 102,000 123 62 10 0 比較例2 A 50/50 150,000 123 62 0 0 比較例3A 50/50 150,000 123 62 0 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1Τ
本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) -43- 1307822 A7 B7 五、發明説明(41 ) 〔表2〕 解像度 塗膜表面 狀態 5%重量 (U m ) 耐鹼性 耐酸性 耐有機溶劑性 減少溫度 實施例1A 42 無變化 無變化 無變化 295°C 實施例2A 45 無變化 無變化 無變化 286t: 實施例3A 25 無變化 無變化 無變化 27 7 "t 實施例4A 22 無變化 無變化 無變化 290〇C 實施例5A 28 無變化 無變化 無變化 282〇C 實施例6A 36 無變化 無變化 無變化 3 03。。 比較例1A -*1 一 _ _ _ 比較例2A 32 . 剝離 無變化 無變化 302〇C 比較例3A 28 表面粗糙 無變化 無變化 29 2 〇C 1無法得到圖型 I---------裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、va 線 實施例1 A至6 A可得到具有優良耐溶劑性,特別是 耐鹼性及良好耐熱性之具有圖型的塗膜。比較例1 A因使 用未含重覆單位(U 1 )之聚醯胺樹脂,故感光性差而無 法得到具有圖型之塗膜》比較例2A及3A因未使用具有 光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C),故塗膜之耐鹼性 差,PCT後塗膜會剝離或使表面粗糙》
實施例1 B 將分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體( d1)用的二季戊四醇五丙烯酸酯及二季戊四醇六丙烯酸 本纸張尺度適用中國國家標隼(CNS ) A4規格(21〇X297公釐) -44- 1307822 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印2衣 A7 B7 五、發明説明(42 ) 酯之混合物(日本化藥股份公司製KAYARAD DPHA ;以 下稱爲「DPHAj ) 2 · 688g、光聚合引發劑(E )用之二苯甲酮1 .016g、Ν,Ν’ 一四乙基一4, 4’ 一二胺基二苯甲酮〇.335g、有機溶劑用之 DMDG 12.53g 及 NMP 12.53g 加入聚 醯胺樹脂(A - 1 )粉末2 . 1 7 9 g中,混合後得感光 性樹脂組成物。 以旋轉塗布法將所得感光性樹脂組成物塗布於5英寸 矽薄片(表面:S i )上,9 Q t下加熱乾燥3分鐘後得 塗膜。利用超高壓水銀燈以通過負型圖罩方式,對所得塗 膜進行畫像狀1 0 〇 〇m J/ciri曝光,再以三乙二醇二 甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯(60/40)(重量比)進 行顯像。以水洗淨塗膜後,以1 8 0 °C乾燥機乾燥1小時 ,得具有圖型且乾燥後膜厚3. 2/zm之塗膜。
實施例2 B 除了使用光聚合性不飽和單體用之分子內具有2至4
個光聚合性不飽和鍵之單體(d 2 )的TMPT 、 0.538g及,分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵 之單體(dl)的DPHA 2 . 150g外,其他同實 施例1 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0//m之塗膜。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2]〇X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-45- 1307822 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
五、發明説明(43 ) 實施例3 B 除了使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 1.344g及DPHA 1.344g外,其他同實施 例1 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 之塗膜。 實施例4 B 除了摻合DPHA 0 . 623g、二苯甲酮 0.234g、Ν,Ν’ 一四乙基 _4,4,—二胺基二 苯甲酮 0 . 077g、DMDG 6 . 22g 及 NMP 6 . 2 2 g外,其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0 # m之塗膜。 實施例5 B 除了摻合DPHA 0 . 129g、二苯甲酮 0 . 193g、Ν,Ν’ 一四乙基-4,4’ 一二胺基二 苯甲酮0.064g、DMDG 6.73g及NMP 6 . 7 3 g外,其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 5//m之塗膜。. 實施例6 B (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2丨0X297公釐) -46- 1307822 A7 B7 經濟部智慧財產局員工湞費合作社印製 五、發明説明(44 ) 除了使用聚醯胺樹脂(A - 2 )粉末外,其他同實施 例4 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 6#m之塗膜。 實施例7 B 除了使用聚醯胺樹脂(A - 3 )粉末外,其他同實施 例4 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 · 0//m之塗膜。 比較例1 B 除了使用聚醯胺樹脂(X)粉末外,其他同實施例 1 B得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 B之方法形成塗 膜後,進行曝光、顯像,但無法得到具有圖型之塗膜。 比較例2 B 除了未使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 2 . 6 8 8 g外,其他同實施例1 B得感光性樹脂組成物 〇 使用該感光性樹脂組成物同實施例1B之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 · 0//m之塗膜。 實施例1 B至7 B及比較例1 B至2 B所得樹脂組成 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210><297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝.
.II ·· -47 1307822
7 7 A B 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(45 ) 物之摻合量,聚醯胺樹脂之重量平均分子量(Mw)如表 3所示。所得塗膜之評估結果如表4所示。 〔表3〕 聚醯j 按樹脂 摻合量(重量份) (U1)/(U3) Mw (d2) (dl) (E) 實施例1B 50/50 150,000 0 123 62 實施例2B 50/50 150,000 24.6 98.4 62 實施例3B 50/50 150,000 61.5 61.5 62 實施例4B 50/50 150,000 0 29 14 實施例5B 50/50 150,000 0 6 12 實施例6B 80/20 107,000 0 29 14 實施例7B 30/70 98,000 0 29 14 比較例1B 0/100 102,000 0 123 62 比較例2B 50/50 150,000 123 0 62 I n n 枯衣 Ί 訂 I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉隼(CNS ) Ad規格(210X297公釐) -48- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A7 B7 五、發明説明(46 ) 〔表4〕 解像度 (U τη) 塗膜表面 狀態 5%重量 減少溫度 耐鹼性 耐酸性 耐有機溶劑性 實施例1B 48 無變化 無變化 無變化 295〇C 實施例2B 46 無變化 無變化 無變化 286〇C 實施例3B 45 無變化 無變化 無變化 277 °C 實施例4B 20 無變化 無變化 無變化 290〇C 實施例5B 26 無變化 無變化 無變化 282°C 實施例6 R 35 無變化 無變化 無變化 303〇C 實施例7 B 40 無變化 無變化 無變化 288。。 比笔,1B -*1 _ 一 _ _ 比較例2B 40 剝離 無變化 無變化 292t 1無法得到圖型 實施例1 B至7 B可得具有優良耐鹼性及良好耐熱性 之具有圖型的塗膜。比較例1 B因使用未含重覆單位( U1)之聚醯胺樹脂,故感光特性差而無法得到具有圖型 之塗膜。比較例2 B因未使用光聚合性不飽和單體用之單 ^ ( d 1 ),故塗膜之耐鹼性差,P C T後塗膜會剝離。 實施例1 c 將單體(dl)用之DPHA 2 688g、光聚 合引發劑(E)用二苯甲酮l.〇16g、N,N,—四 乙基一 4,4’ -二胺基二苯甲酮0.335g、有機溶 劑用之 DMDG 12.53g 及 NMP 12.53g 本紙張尺度通用中國國家標隼(CNS ) A4規格(210X297公釐) I 11 : 訂 . 11 i (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -49- 1307822 A7 B7 五、發明説明(47 ) 加入聚醯胺醯亞胺樹脂(B - 1)粉末2 · 179g中, 混合後得感光性樹脂組成物。 以旋轉塗布法將該感光性樹脂組成物塗布於5英寸矽 薄片(表面:Si)上,90 °C下加熱乾燥3分鐘後,得 膜厚4.Oem之塗膜。利用超高壓水銀燈以通過負型圖 罩方式,對所得塗膜進行畫像狀1 000mJ/cirf曝光 ,再以三乙二醇二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯(6 0/ 40)(重量比)進行顯像。以異丙醇洗淨塗膜後,以 1 8 0°C乾燥機乾燥1小時,得具有圖型且膜厚3 . 2 A m之塗膜。
實施例2 C
除了使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 0 · 538g、DPHA 2 . 150g外,其他同實施 例1 C得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0//m之塗膜。
實施例3 C
除了使用光聚合性不飽和單體用之TMP T 1 · 344g、DPHA 1 . 344g外,其他同實施 例1 C得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 之塗膜。 本紙張尺度適用中國國家禕準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·· i裝|
*1T 線 經濟部智祛財產局員工涓費合作社印製 -50- 1307822 A7 B7____ 五、發明説明(48 )
實施例4 C C请先閲讀背面之注意事項再填寫本X > 除了摻合DPHA 0.623g、二苯甲酮 0.234g、 N, Ν’ -四乙基_4, 4’ 一二胺基二
苯甲酮 0.077g、DMDG 6.22g 及 NMP 6 . 2 2 g外,其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0//m之塗膜。
實施例5 C 除了摻合DPHA 0.129g、二苯甲酮 0 · 193g、N,N,一四乙基一4,4,一二胺基二 苯甲酮 0 . 064g、DMDG 6 · 73g 及 NMP 6 . 7 3 g外,其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。
使用該感光性樹脂組成物同實施例1C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 5vm之塗膜。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
實施例6 C 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂(B - 2 )粉末外,其他 同實施例4 C得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 9//m之塗膜。
實施例7 C 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ----- -51 - 1307822 A7 B7 五、發明説明u9 ) 除了使用聚醯胺醭亞胺樹脂(B - 3 )粉末外,其他 同實施例4 C得感光性樹脂組成物^ 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 7/zm之塗膜。
比較例1 C 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂(Y )粉末外,其他同實 施例1 C得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1C之方法形成塗 膜後,進行曝光、顯像,但無法得到具有圖型之塗膜。
比較例2 C 除了以TMPT 2 . 6 88g作爲光聚合性不飽和 單體用外,其他同實施例1 C得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 C之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 之塗膜。 實施例1 C至7 C及比較例1 C至2 C所得樹脂組成· 物之摻合量,聚醯胺醯亞胺樹脂之重量平均分子量(Mw )如表5所示。所得塗膜之評估結果如表6所示。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2I0X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -'-•
-52- 1307822 A7 Β7 五、發明説明(50 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔表5〕 聚醯胺II 丨亞胺樹脂 摻合量(重量份) (U2)/(U4) M w (d2) (dl) (E) 實施例1C 50/50 120,000 0 123 62 實施例2C 50/50 120,000 24.6 98.4 62 實施例3C 50/50 120,000 61.5 61.5 62 實施例4C 50/50 120,000 0 29 14 實施例5C 50/50 120,000 0 6 12 實施例6C 80/20 100,000 0 29 14 實施例7C 30/70 113,000 0 29 14 比較例1C 0/100 125,000 0 123 62 比較例2C 50/50 120,000 123 0 62 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
*1T
本紙張尺度適用中國國家標準(CMS ) Α4規格(2Ι0Χ 297公釐) -53- 1307822 A7 A7 B7 五、發明説明(51 )
〔表6 ] 解像度 1 t膜表面 狀態 5%重量 (// m ) 耐 鹼 性 耐 酸 性 耐有機溶劑性 減少溫度 實 施 例 1C 80 無 變 化 Λττ m 變 化 AnL m 變 化 310°C 實 施 例 2C 60 Art m 變 化 jfrrt m 變 化 Ant, 無 變 化 307〇C 實 施 例 3C 55 無 變 化 Arrf M 變 化 ^nr. Μ 變 化 305〇C 實 施 例 4C 40 Art. 撕 變 化 AaL m 變 化 Arrt. Μ 化 301°C 實 施 例 5C 35 Arr ~lll 變 化 Arrt 挑 變 化 無 變 化 302〇C 實 施 例 6C 50 > 1、、 化 dnC 無 變 化 <fnr· Μ 變 化 309 °C 實 施 例 7C 50 姐 變 化 Μ 變 化 Μ 變 化 297°C 比 較 例 1C -*1 —— 一 — 一 比 較 例 2C 50 剝離 ifnC, 變 化 -fnr 挑 變 化 303°C (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁〕
Γ 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 * 1無法得到圖型 實施例1 C至7 C可得具有優良耐鹼性及良好耐熱性 之具有圖型的塗膜。比較例1 C因使用未含重覆單位( U 2 )之聚醯胺醯亞胺樹脂,故感光性差而無法得到具有 圖型之塗膜。比較例2 C因未使用光聚合性不飽和單體用 之單體(d 1 ),故塗膜之耐鹼性差,P C T後塗膜會剝 離。
實施例1 D 將具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )用的 SZ6300 〇.218g、單體(d2)用之 - --- · - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -54 - 1307822 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明(52 ). Τ Μ P T 2 . 688g、光聚合引發劑(Ε)用之二苯 甲酮 1 .0l6g、Ν’ Ν’ —四乙基一 4, 4’ 一二胺 基二苯甲酮〇 · 3 3 5 g、有機溶劑用之DMDG 1 2 . 5 3g及NMP 1 2 · 53g加入聚醯胺醯亞胺 樹脂(B-1)粉末2 · 179g中,混合後得感光性樹 脂組成物。 以旋轉塗布法將該感光性樹脂組成物'塗布於5英寸政 薄片(表面:S i )上,9 0°C下力Π熱(乾燥3分鐘後,形 成膜厚3 . 8 μ m之塗膜。利用超高壓.水銀燈以通過負型 圖罩方式,對所得塗膜進行畫像狀1 〇 0 〇m J/cms曝 光,再以三乙二醇二甲基醚/丁基溶纖劑乙酸酯(6 0/ 4 0)(重量比)進行顯像。以異丙醇洗淨塗膜後,利用 1 8 0°C乾燥機乾燥1小時,得具有圖型且膜厚3 · 0 A m之塗膜。 實施例2 D 除了以S Z 6 0 3 0作爲矽烷偶合劑(C )用外,其 他同實施例1 D摻合各成分,得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 6/^111之塗膜。 除了使用TMPT 0 . 623g、二苯甲酮 0 . 234g、Ν , Ν’ 一四乙基 一 4,4’ 一二胺基二 苯甲酮 0 . 〇77g、DMDG 6 · 22g 及 NMP 6 . 2 2 g外,其他同實施例1 D得感光性樹脂組成物。 -- ---身-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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A 本紙乐尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2】OX 297公釐) -55- 1307822 Α7 Β7 五、發明説明(53 ) 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 6 # m之塗膜。
實施例4 D 除了使用TMPT 0.129g、二苯甲酮 〇.193g、N,Ν’ —四乙基—4,4’ 一二胺基二 苯甲酮 0 . 064g、DMDG 6 . 73g 及 NMP 6 . 7 3 g外,其他同實施例1 D得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0//m之塗膜。
實施例5 D 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂(B-2)粉末外,其他 同實施例3 D得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . O/zm之塗膜。
實施例6 D 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂(B- 3)粉末外,其他 同實施例3 D製作感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 · 5//m之塗膜。
比較例1 D 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210Χ 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝— I I I. 訂 線
铿濟郎智Μ財產局員工消費合作社印製 -56- 1307822 經濟部智慧財是局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(54 ) 除了使用聚醯胺醯亞胺樹脂(Y )粉末外,其他同實 施例1 D得感光性樹脂組成物》 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法形成塗 膜後,進行曝光、顯像,但無法得到具有圖型之塗膜。
比較例2 D 除了未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )成分外,其他同實施例1D得感光性樹脂組成物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得具 有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 5μπι之塗膜。
比較例3 D 除了以S Η 6 0 4 0取代具有光聚合性不飽和鍵之砂 烷偶合劑(C )外,其他同實施例1 D得感光性樹脂組成 物。 使用該感光性樹脂組成物同實施例1 D之方法,得具 有圖型之膜厚(乾燥後)3 . 0 V m之塗膜。 實施例1 D至6 D及比較例1 D至3 D感光性樹脂組 成物之摻合量,聚醯胺醯亞胺樹脂之重量平均分子量( M w )如表7所示。所得塗膜之評估結果如表8所示。 本紙張尺度適用中國國家標準(CMS ) Α4规格(yOx29?公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-57- 1307822
A B 五、發明説明(55 ) 〔表7〕 聚醯胺醯亞胺樹脂 f參合量(重量份) (U2)/(U4) M w (d2) (E) (C) 其他偶合劑 實施例1D 50/50 120,000 123 62 10 0 實施例2D 50/50 120,000 123 62 10 0 實施例3D 50/50 120,000 29 14 10 0 實施例4D 50/50 120,000 6 12 10 0 實施例5D 80/20 100,000 29 14 10 0 實施例6D 30/70 113,000 29 14 10 0 比較例1D 0/100 125,000 123 62 10 0 比較例2D 50/50 120,000 123 62 0 0 比較例3D 50/50 120,000 123 62 0 10 ---------裝----:---訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2】0X297公釐) -58- 1307822 五、發明説明(56 )
7 7 A B 〔表8〕 解像度 塗膜表面 狀態 5 %重量 (μ m ) 耐鹼性 耐 酸 性 耐有機溶劑性 減少溫度 實 施 例 1D 55 無變化 /frlT- m 變 化 4mi m 變 化 305。。 實 施 例 2D 50 無變化 ΙΙΙΤΤ 變 化 te •μ、、 變 化 302°C 實 施 例 3D 35 無變化 Arrf (!ΙΓ 變 化 dnL 無 變 化 301 °C 實 施 例 4D 30 無變化 4iit 1ΠΤ~ 變 化 無 變 化 301°C 實 施 例 5D 30 無變化 Arrr ΙΓΙI* J\\\ 變 化 frrf Μ 變 化 309〇C 實 施 例 6D 40 無變化 4mi inr •a、、 變 化 ffrrr 變 化 302°C 比 較 例 1D -*1 __ _ 一 — 比 較 例 2D 50 剝離 4πΤ- J\\\ 變 化 無 變 化 303 °C 比 較 例 3D 50 表面粗糙 ^ΓΠ* Μ 變 化 賊 變 化 302°C Μ無法得到圖型 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •澤·
-一β 1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 實施例1 D至6 D可得具有優良耐溶劑性,特別是耐 鹼性及良好耐熱性之具有圖型的塗膜。比較例1 D因使用 未含重覆單位(U2)之聚醯胺醯亞胺樹脂,故感光性差 而無法得到具有圖型之塗膜。比較例2 D及3 D因未使用 具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C),故塗膜之耐 鹼性差,P C Τ後塗膜會剝離或使表面粗糙。 實施例1 Ε 將矽烷偶合劑(C)用之SZ6030 0.218 g、分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之單體(d 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21 OX 297公t ) -59- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 Λ7 Α7 ____Β7 _ 五、發明説明(57 ) )用的DPHA 0 . 623g、光聚合引發劑用之二苯 甲酮 0.234g、Ν,Ν’ 一四乙基一4, 4’ 一二胺 基二苯甲酮〇 . 077g、有機溶劑用之DMDG 6 · 22g及NMP 6 . 22g加入聚醯胺樹脂(A-1)粉末1 . 090及聚醯胺醯亞胺樹脂(B-1)粉末 1 . 0 9 0 g中,混合後得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 8//m之塗膜。
實施例2 E 除了以分子內具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體 (d2)用的TMPT 0 . 623g取代單體(dl) 外,其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型之膜厚(乾燥後)2 · 7#m之塗膜。
實施例3 E 除了未使用具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合劑(C )成分外,其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 7//m之塗膜。
實施例4 E 除了以聚醯胺樹脂(A— 1)粉末2 . 179g作爲 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) I I 裝 n J— I I n — 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -60-
7 7 A B 1307822 五、發明説明(58 ) 感光性樹脂用外,其他同實施例1 E得感光性樹脂組成物 〇 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)2 . 8/zm之塗膜。
實施例5 E 除了以聚醯胺醯亞胺樹脂(B— 1)粉末2 . 179 g作爲感光性樹脂用外,其他同實施例1 E得感光性樹脂 組成物。 使用所得感光性樹脂組成物同實施例1 A之方法,得 具有圖型且膜厚(乾燥後)3 . 0#m之塗膜。 實施例1 E至5 E所得感光性樹脂組成物之摻合量如 表9所示。所得塗膜之評估結果如表1 0所示。 〔表9〕 實施例 (A-D/(B-1) (dl) (d2) (E) (C) 1Ε 50/50 29 0 14 10 2Ε 50/50 0 29 14 10 3Ε 50/50 29 0 14 0 4Ε 100/0 29 0 14 10 5Ε 0/100 29 0 14 10 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇Χ 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ Γ -61 -
Claims (1)
130_2 A8 B8 C8 D8 件;;仏 六、申請專利範圍 第91 1 14760號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國9 2年4月16日修正 1 . 一種感光性樹脂組成物,其係含有具有下列一般 式(I ): HI / 0 X——c R one 1 HIN γ1- OHC (讀先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 煩請委員明示,本案印製 0 II C. o II (式中,X1爲具有芳香環之3價有機基;Y1爲具有芳香 環之2價有機基;R 1爲具有感光性基之〗價有機基) 所示重覆單位(U 1 )之聚醯胺樹脂(a )及具有下列一 般式(Π ): Η Vx2/<c/ i & c/、R2 (式中,x2及Y2爲具有芳香環之3價有機基;R2爲具 有感光性基之1價有機基) 所示重覆單位(U 2 )之聚醯胺醯亞胺樹脂(B )中至少 一方的感光性樹脂,與具有光聚合性不飽和鍵之矽烷偶合 劑(C)及含有分子內具有5個以上光聚合性不飽和鍵之 單體(d 1 )的光聚合性不飽和單體(D)中至少—方之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210 X 297公釐) -1 8 8 8 8 ABCD 1307822 六、申請專利範圍 光聚合性化合物;其中,若含有矽烷偶合劑(C )時,其 摻合量爲對感光性樹脂全量1 〇 0重量份爲1〜2 0重量 份’若含有光聚合性不飽和單體(D)時,其摻合量爲對 感光性樹脂全量1 00重量份爲1〜500重量份。 2 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物,其 中,聚醯胺樹脂(A )另含有一般式(皿): 'H HO 0 \ --N—Z—N—C-Y1—C-- \· (m) 基 機 有 價 2 之 環 香 芳 有 具 爲 1 Z 及 TA Y 中 式 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) % B OMMOW ^cno 圍 Cκ 範 旨2 y pa 2 和樹 I U專胺 {請亞 位申醯 單如胺 覆 ·醯 重 3 聚 示 , 所 中 3 HIN 物 成 組 匕曰 月 樹 性 光 感 之 項 TS 其 式 般 1 有 含 另 IV OHC IV 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中,Y2爲具有芳香環之3價有機基;Z 2爲具有芳香 環之2價有機基) 所示重覆單位(U 4 )。 4 .如申請專利範圍第2項之感光性樹脂組成物,其 中所含重覆單位(U1 )與(U3)之莫耳比爲(U1 ) :(U3)=2:8 至 9:1。 5 ·如申請專利範圍第3項之感光性樹脂組成物,其 中,所含重覆單位(U2)與(U4)之莫耳比爲(U2 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4说格(210Χ_25>7公釐) ~ 1307822 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍3 ):(U4)=2:8 至 9:1。 6 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物,其 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 中,聚醯胺樹脂(A)之重量平均分子量爲8, 000至 2 0 0,〇 〇 〇。 7 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物,其 中,聚醯胺醯亞胺樹脂(B )之重量平均分子量爲 8,000S200,000° 8 ·如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物,其 中,光聚合性不飽和單體(D )中單體(d 1 )之比率爲 30至1〇〇重量%。 9 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物,其 另含有分子內具有2至4個光聚合性不飽和鍵之單體( d 2 )。 1 〇 ·如申請專利範圍第9項之感光性樹脂組成物, 其中僅以矽烷偶合劑(C )作爲光聚合性化合物用時,係 含有單體(d 2 )。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之感光性樹脂組成物 ,其中,單體(d 2 )對感光性樹脂全量1 〇 〇重量份之 摻合量爲1至5 0 0重量份。 1 2 ·如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物, 其另含有光聚合引發劑(E)。 1 3 ·如申請專利範圍第1 2項之感光性樹脂組成物 ,其中,對感光性樹脂總量1 〇 〇重量份,係含有光聚合 引發劑(E ) 1至8 0重量份。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 1307822 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 4 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物, 其中,聚醯胺樹脂(A)係由含芳香族二羧酸或其反應性 衍生物之酸成分,與含一般式(V ): h2nn nh2 I c/ 'R1 (V) (式中,X1爲具有芳香環之3價有機基;R1爲具有感光 性基之1價有機基) 所示芳香族二胺之鹼成分反應而得。 1 5 .如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物, 其中,聚醯胺醯亞胺樹脂(B )係由含芳香族三羧酸酐或 其反應性衍生物之酸成分,與含一般式(VI ): ΗςΚ ΝΗ2 I cf V (Vi) (式中,X2爲具有芳香環之3價有機基;R2爲具有感光 性基之1價有機基) 所示芳香族二胺之鹼成分反應而得。 1 6 · —種製造圖型之方法,其係包含下列步驟·· i )將如申請專利範圍第1項之感光性樹脂組成物所 形成的感光層層合於基板上之步驟; ϋ )以活性光線照射成畫像狀,使感光層之曝光部分 光硬化的步驟; iii )藉由顯像選擇性去除感光層未曝光部分,以形成 本紙張尺度適用中國國家標準(€奶)六4規格(2丨0父297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、π 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1307822 A8 B8 C8 D8 -5- T、申請專利範圍圖型之步驟。 申 如 有 具 至 第 圍。 ifE層利光 專感 My 靑白 成 所 物 成 系組 —匕日 苴 i/樹 , 性 件光 零感 子之 電項 二 3110 - 一任 . 中 7 項 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ιδτ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)
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