JP3941556B2 - 感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、パターン製造法及び電子部品 - Google Patents
感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、パターン製造法及び電子部品 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐アルカリ性に優れる感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品に用いられる保護膜や絶縁膜としてポリアミドやポリイミドが用いられている。しかし、これらの膜にパターンを形成する工程は、膜表面へのレジスト材の造膜、所定箇所の露光、現像、エッチング等による不要箇所の除去、レジスト材の剥離、基板表面の洗浄作業などからなり煩雑である。そのために、露光、現像によりパターンを形成したレジストを保護膜や絶縁膜としてそのまま使用できる感光材料の開発が望まれている。
【０００３】
半導体装置に用いられる保護膜、絶縁膜としては感光性ポリイミドが開発され、広く使用されている。しかしながら、多くの感光性ポリイミドはパターン形成後に３００℃くらいの温度でイミド化を行う必要があり、高温処理が行えないような電子部品には適用できなかった。
また、耐アルカリ性を必要とする特殊な電子部品の保護膜、絶縁膜としては、感光性ポリイミドの耐アルカリ性では不十分であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高温処理ができないような電子部品や耐アルカリ性を必要とする電子部品の保護膜、絶縁膜の材料として好適な感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下記の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品に関する。
（１） 一般式（Ｉ）
【化４】
（式中、Ｘ及びＹは芳香環を有する３価の有機基を表し、Ｒ1は感光性基を有する１価の有機基を表す）で表される繰り返し単位を有するポリアミドイミド樹脂、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを含む光重合性不飽和モノマー及び光重合開始剤を含有してなる感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
【０００６】
（２） ポリアミドイミド樹脂が、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位及び一般式（ＩＩ）
【化５】
（式中、Ｙは芳香環を有する３価の有機基を表し、Ｚは芳香環を有する２価の有機基を表す）で表される繰り返し単位を有するものである前記（１）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
（３） 一般式（Ｉ）で示される繰り返し単位／一般式（ＩＩ）で示される繰り返し単位が２０／８０〜９０／１０（モル比）の比率である前記（２）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
【０００７】
（４） ポリアミドイミド樹脂の重量平均分子量が、８，０００〜２００，０００である前記（１）、（２）又は（３）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
（５） ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して光重合性不飽和モノマーが１〜５００重量部である前記（１）、（２）、（３）又は（４）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
【０００８】
（６） ポリアミドイミド樹脂が、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体を含む酸成分と一般式（Ｉ−ａ）
【化６】
（式中、Ｘは芳香環を有する３価の有機基を表し、Ｒ１は感光性基を有する１価の有機基を表す）で表される芳香族ジアミン及びその他の芳香族ジアミンからなる塩基成分を反応させて得られるポリアミドイミド樹脂である前記（１）〜（５）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
【０００９】
（７） 光重合性不飽和モノマーが、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを３０〜１００重量％含む前記（１）〜（６）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
（８） 前記（１）〜（７）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて感光層を基板上に形成し、マスクを通して露光及び現像するパターン形成工程を含むパターン製造法。
（９） 前記（１）〜（７）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成される層を有してなる電子部品。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に用いるポリアミドイミド樹脂は、前記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位を有する化合物である。この繰り返し単位と共に前記一般式（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有するものであることが好ましい。この場合、一般式（Ｉ）／一般式（ＩＩ）が２０／８０〜９０／１０（モル比）の比率であることが好ましく、３０／７０〜８５／１５（モル比）であることがより好ましい。一般式（Ｉ）／一般式（ＩＩ）の比率が２０／８０よりも小さい場合、樹脂中の感光性基の割合が減少するために、感度が低下し、感光特性が劣る傾向があり、９０／１０よりも大きい場合、ゲル化し易くなるために、ポリアミドイミド樹脂の合成が困難になる傾向がある。
【００１１】
上記一般式（Ｉ）におけるＸは芳香環を含む３価の有機基であり、一般にトリカルボン酸又はその誘導体と反応してアミドイミドを形成し得る芳香族ジアミン残基である。芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられ、Ｘに含まれる炭素の総数は６〜４０であることが好ましい。また、３つの結合部位は、いずれも芳香環上に存在することが好ましい。具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、それらの芳香環の２〜６個が単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、スルフィニル基、メチレン基、２，２−プロピレン基、カルボニル基、ジメチルシリル基、シロキサン構造等を介して結合している基、これらの環上に炭素数１〜４のアルキル基が置換基として存在する基などが挙げられる。
【００１２】
上記一般式（Ｉ）におけるＲ1は感光性基を有する１価の有機基であり、感光性基として、光により重合可能な炭素−炭素二重結合を有する基が挙げられ、例えば、アリルオキシ基、アクリロイルオキシアルコキシ基、メタクリロイルオキシアルコキシ基、マレイミジルアルコキシ基、アクリロイルオキシアルキルアミノ基、メタクリロイルオキシアルキルアミノ基、マレイミジルアルキルアミノ基、アリル基、アクリロイルオキシアルキル基、メタクリロイルオキシアルキル基、エチニル基などが挙げられる。好ましいものとしては、一般式（ＩＩＩ）〜（ＶＩ）
【００１３】
【化７】
（式中、Ｒ2は２価の有機基を表し、Ｒ3、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6及びＲ7は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基、ビニル基又はプロペニル基を表す）で表される１価の有機基が挙げられる。Ｒ2で表される２価の有機基としては、メチレン基、エチレン基、プロピレン基等の炭素数１〜４のアルキレン基が好ましい。
【００１４】
上記一般式（ＩＩＩ）又は一般式（ＩＶ）で表される１価の有機基のうち、特に、Ｒ2が炭素数１〜４のアルキレン基であり、Ｒ3が水素原子又はメチル基であり、Ｒ4及びＲ5が水素原子である有機基は、感度が高く、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物に好適である。また、上記一般式（Ｖ）又は一般式（ＶＩ）で表される１価の有機基のうち、特に、Ｒ2が炭素数１〜４のアルキレン基であり、Ｒ6及びＲ7が水素原子である有機基は、感度が高く、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物に好適である。
【００１５】
本発明において、上記一般式（Ｉ）及び一般式（ＩＩ）におけるＹは芳香環を有する３価の有機基であり、芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられ、Ｙに含まれる炭素の総数は６〜４０であることが好ましい（但し、Ｙは一般式（Ｉ）で示されるＸ−ＣＯ−Ｒ1を除くものである）。
また、３つの結合部位は、いずれも芳香環上に存在することが好ましい。具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、それらの芳香環の２〜６個が単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、スルフィニル基、メチレン基、２，２−プロピレン基、カルボニル基、ジメチルシリル基、シロキサン構造等を介して結合している基、これらの環上に炭素数１〜４のアルキル基が置換基として存在する基などが挙げられる。
【００１６】
一般式（ＩＩ）におけるＺは芳香環を有する２価の有機基であり、芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられ、Ｚに含まれる炭素の総数は６〜４０であることが好ましい。
また、２つの結合部位は、いずれも芳香環上に存在することが好ましい。具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、それらの芳香環の２〜６個が単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、スルフィニル基、メチレン基、２，２−プロピレン基、カルボニル基、ジメチルシリル基、シロキサン構造、アミド結合（−ＮＨＣＯ−）等を介して結合している基、これらの環上に炭素数１〜４のアルキル基が置換基として存在する基などが挙げられる。
【００１７】
本発明において、上記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有するポリアミドイミド樹脂の合成方法は、例えば、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体を含む酸成分と前記一般式（Ｉ−ａ）で表される芳香族ジアミン及び必要に応じて用いられるその他の芳香族ジアミンからなる塩基成分を反応させて得られる。一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンの割合は全塩基成分に対して２０〜９０モル％であることが好ましく、３０〜８５モル％であることがより好ましい。一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンの割合が２０モル％よりも低い場合、樹脂中の感光性基の割合が減少するために、感度が低下し、感光特性が劣る傾向があり、９０モル％よりも高い場合、ゲル化し易くなるために、ポリアミドイミド樹脂の合成が困難になる傾向がある。
【００１８】
上記一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンとしては、例えば、
【化８】
等が挙げられ、好適に用いられる。また、これらを２種以上併用してもよい。
【００１９】
上記一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミン以外に塩基成分として用いられるその他の芳香族ジアミンとしては一般式（ＶＩＩ）
【化９】
（式中、Ｚは前記した２価の有機基を表す）で表されるジアミンを用いることができる。
【００２０】
一般式（ＶＩＩ）で表される芳香族ジアミンとしては、例えば、フェニレンジアミン、トルイレンジアミン、キシリレンジアミン、ナフタレンジアミン、４，４′−ジアミノジフェニルメタン、４，４′−ジアミノジフェニルスルホン、４，４′−ジアミノジフェニルエーテル、４，４′−ジアミノベンズアニリド、４，４′−ジアミノベンゾフェノン、３，３′−ジアミノジフェニルスルホン、３，３′，５，５′−テトラメチル−４，４′−ジアミノジフェニルメタン、３，３′，５，５′−テトライソプロピル−４，４′−ジアミノジフェニルメタン、１，４−ビス（４−アミノクミル）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノクミル）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ビフェニル等が挙げられ、これらは２種以上を併用してもよい。
【００２１】
上記ポリアミドイミド樹脂の合成に用いる酸成分には、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体が含まれる。芳香族トリカルボン酸無水物としては一般式（ＶＩＩＩ）
【化１０】
（式中、Ｙは前記した３価の有機基を表す）で表される、アミノ基と反応しイミド基を生成し得る酸無水物基を有する３価のカルボン酸無水物を用いることができる。耐熱性、経済性を考慮すると、トリメリット酸無水物が好適に用いられる。なお、反応性誘導体とは、無水トリメリット酸クロリド等の前記芳香族トリカルボン酸無水物のハライド、エステル等を意味する。
上記酸成分には上記芳香族トリカルボン酸無水物の他に、芳香族ジカルボン酸、芳香族テトラカルボン酸二無水物が含まれてもよい。
【００２２】
上記芳香族ジカルボン酸としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、ビス（４−カルボキシフェニル）エーテル、ビス（４−カルボキシフェニル）スルホン、４，４′−ビフェニルジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸等が挙げられ、これらは２種以上を併用してもよい。これらのジカルボン酸は、エステル、ハライド等の反応性誘導体を使用することもできる。
上記芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３′，４，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビスフタル酸ヘキサフルオロイソプロピリデン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、４，４′−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルホン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、デカメチレングリコールビストリメリテート二無水物、ビスフェノールＡビストリメリテート二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェニルベンゾイルオキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン二無水物、４，４′−［１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン）］ビスフェニルビストリメリテート二無水物等が使用でき、２種以上を併用してもよい。これらのテトラカルボン酸二無水物は、遊離酸（テトラカルボン酸）、エステル、ハライド等の誘導体を使用することもできる。
【００２３】
上記ポリアミドイミド樹脂は、その製造方法に特に制限はなく、通常行われている方法、例えば、上記酸成分と塩基成分を極性溶媒中８０℃以下で反応させ、生成したアミド酸を脱水閉環することによりポリアミドイミド樹脂を得ることができる。脱水閉環は、１２０〜２５０℃で熱処理する方法（熱イミド化）や脱水剤を用いて行う方法（化学イミド化）で行うことができる。１２０〜２５０℃で熱処理する方法の場合、脱水反応で生じる水を系外に除去しながら行うことが好ましい。この際、ベンゼン、トルエン、キシレン等を用いて水を共沸除去してもよい。
【００２４】
脱水剤を用いて脱水閉環を行う方法は、脱水剤として無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸等の酸無水物、ジシクロヘキシルカルボジイミド等のカルボジイミド化合物等を用いるのが好ましい。このとき、必要に応じてピリジン、イソキノリン、トリメチルアミン、アミノピリジン、イミダゾール等の脱水触媒を用いてもよい。脱水剤又は脱水触媒は、酸無水物基を有する３価のカルボン酸１モルに対し、それぞれ１〜８モルの範囲で用いることが好ましい。
【００２５】
塩基成分は、酸成分１００モル％に対して、総量で８０〜１２０モル％使用するのが好ましく、９５〜１０５モル％使用するのがより好ましい。塩基成分の総量が８０モル％より低い場合や１２０モル％より高い場合、得られる樹脂の分子量は低く、耐アルカリ性や耐薬品性に劣る傾向にある。
【００２６】
また、ポリアミドイミド樹脂の合成時に、感光性基の暗反応を防ぐためにラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤を添加することができる。ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン、ベンゾキノン、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、６−ｔ−ブチル−２，３−キシレノール、ピロガロール、フェノチアジン、レゾルシノール、ｏ−ジニトロベンゼン、ｐ−ジニトロベンゼン、ｍ−ジニトロベンゼン、フェナントラキン、Ｎ−フェニル−１−ナフチルアミン、Ｎ−フェニル−２−ナフチルアミン、クペロン、タンニン酸、ｐ−ベンジルアミノフェノール、ビタミンＥ、ニトロソアミン類等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２７】
上記ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤の使用量は、一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンの総量１００モル％に対して０．０１〜２０モル％であることが好ましく、０．０５〜１０モル％であることがより好ましい。０．０１モル％より少ないと反応溶液がゲル化し、２０モル％より多いと感度が低下する傾向にある。
【００２８】
ポリアミドイミド樹脂を合成する有機溶媒としては、生成するポリアミドイミド樹脂が完全に溶解する極性溶媒が好ましく、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、スルホラン等が挙げられる。これらの極性溶媒以外に、ケトン類、エステル類、エーテル類、脂肪族化合物類、芳香族化合物類、及びそれらのハロゲン化物などを使用することもでき、例えば、アセトン、ジエチルケトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、１，２−ジクロロエタン、クロロベンゼン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、トルエン、キシレン等が挙げられる。これらの有機溶媒は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
以上のようにして合成したポリアミドイミド樹脂は、反応溶液のまま用いてもよいし、貧溶媒に反応溶液を投入し、樹脂を析出させ、精製して用いてもよい。本発明で使用されるポリアミドイミド樹脂は、重量平均分子量が、８，０００〜２００，０００であることが好ましい。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリスチレン換算で算出することができる。
【００２９】
本発明においては、光重合性不飽和モノマーとして、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを必須成分として使用する。これにより、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の感光特性の他、耐溶剤性や、特に耐アルカリ性を大幅に向上させることができる。
また、光重合性不飽和モノマーとして、上記の重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマー以外を併用する場合は、光重合性不飽和結合を分子内に２〜４個有するモノマーを併用することが感光特性等の面から好ましい。
光重合性不飽和モノマーとしての配合量は、ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して１〜５００重量部が好ましく、３〜３００重量部がより好ましい。１重量部より少ないと、感光性基の密度が低くなるために感度が低下する傾向にあり、５００重量部より多いと、感光性基の密度が高くなりすぎるために、暗反応によりゲル化が生じやすくなり、保存安定性が劣る傾向にある。
【００３０】
また、光重合性不飽和モノマー１００重量％の内、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーが３０〜１００重量％含まれることが好ましく、５０〜１００重量％含まれることがより好ましい。３０重量％より少ないと架橋密度が低下し、耐アルカリ性が劣る傾向にある。
【００３１】
上記光重合性不飽和結合を分子内に２〜４個有するモノマーとしては、特に制限はなく、例えば、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジビニルベンゼン、１，３−アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロパン、１，３−メタクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロパン、メチレンビスアクリルアミド、グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールのジアクリレート、ポリエチレングリコールのジメタクリレート、ポリプロピレングリコールのジアクリレート、ポリプロピレングリコールのジメタクリレート、トリス（メタクリロキシエチル）イソシアヌレート、一般式（ＩＸ）
【化１１】
（式中、Ｒ8はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ9はメチル基又は水素原子を表し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表されるビスフェノールＡのアルキレンオキシド付加物のジアクリレート及びジメタクリレート、一般式（Ｘ）
【化１２】
（式中、Ｒ10はメチル基又は水素原子を表し、ａ及びｂはそれぞれ独立に、１〜１０の整数を表す）
で表されるビスフェノールＡのエピクロルヒドリン変性物のジアクリレート及びジメタクリレート、ビスフェノールＡジメタクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、一般式（ＸＩ）
【化１３】
（式中、Ｒ11はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ12はメチル基又は水素原子を表し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表されるリン酸のアルキレンオキシド付加物のジアクリレート及びジメタクリレート、一般式（ＸＩＩ）
【化１４】
（式中、Ｒ13はメチル基又は水素原子を表し、ａ及びｂはそれぞれ独立に、１〜１０の整数を表す）で示されるフタル酸のエピクロルヒドリン変性物のジアクリレート及びジメタクリレート、一般式（ＸＩＩＩ）
【化１５】
（式中、Ｒ14はメチル基又は水素原子を表し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表される１，６−ヘキサンジオールのエピクロルヒドリン変性物のジアクリレート及びジメタクリレート、一般式（ＸＩＶ）
【化１６】
（式中、Ｒ15はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ16はメチル基又は水素原子を表し、３個のｍはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表されるリン酸のアルキレンオキシド付加物のトリアクリレート及びトリメタクリレート、一般式（ＸＶ）
【化１７】
（式中、Ｒ17はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ18はメチル基又は水素原子を表し、ｌ、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表されるトリメチロールプロパンのアルキレンオキシド付加物のトリアクリレート及びトリメタクリレート、一般式（ＸＶＩ）
【化１８】
（式中、Ｒ21はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ22及びＲ23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基、ビニル基又はプロペニル基を表し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表されるビスフェノールＡのアルキレンオキシド付加物のビスマレイミド、一般式（ＸＶＩＩ）
【化１９】
（式中、Ｒ24及びＲ25は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基、ビニル基又はプロペニル基を表し、ａ及びｂはそれぞれ独立に、１〜１０の整数を表す）で表されるビスフェノールＡのエピクロルヒドリン変性物のビスマレイミド、一般式（ＸＶＩＩＩ））
【化２０】
（式中、Ｒ26及びＲ27は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基、ビニル基又はプロペニル基を表し、ｃは２〜２０の整数を表す）
で表されるアルカンジオールのビスマレイミド、一般式（ＸＩＸ）
【化２１】
（式中、Ｒ28及びＲ29は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜４のアルキル基、フェニル基、ビニル基又はプロペニル基を表し、ｍ及びｎはそれぞれ独立に、１〜２０の整数を表す）で表される１，６−ヘキサンジオールのエピクロルヒドリン変性物のビスマレイミド、２，２−ビス（ｐ−マレイミジルフェノキシフェニル）プロパン等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３２】
光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーとしては、アクリロイル基又はメタクリロイル基を分子内に５個以上有するモノマーが好ましく、特に好ましいものとして、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、一般式（ＸＸ）
【化２２】
（式中、Ｒ19は炭素数１〜５のアルキレン基を表し、Ｒ20はメチル基又は水素原子を表す）で表されるホスファゼン骨格を有するヘキサアクリレート及びヘキサメタクリレート、一般式（ＸＸＩ）
【化２３】
（式中、Ｒ30はアクリロイル基又はメタクリロイル基を表し、Ｒ31はアクリロイル基、メタクリロイル基又は水素原子を表し、ｎは３〜１０の整数を表し、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ及びｋはそれぞれ独立に０〜５の整数を表す）で表されるジペンタエリスリトールのラクトン変性物のヘキサアクリレート、ヘキサメタクリレート、ペンタアクリレート及びペンタメタクリレート、一般式（ＸＸＩＩ）
【化２４】
（式中、Ｒ32はエチレン基又はプロピレン基を表し、Ｒ33はアクリロイル基又はメタクリロイル基を表し、Ｒ34はアクリロイル基、メタクリロイル基又は水素原子を表し、ｆ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ及びｋはそれぞれ独立に０〜５の整数を表す）
で表されるジペンタエリスリトールのアルキレンオキシド付加物のヘキサアクリレート、ヘキサメタクリレート、ペンタアクリレート及びペンタメタクリレート等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３３】
本発明において、光重合開始剤の配合量は、ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して、１〜８０重量部であることが好ましく、３〜７０重量部であることがより好ましく、３〜５０重量部であることがさらに好ましい。１重量部より少ないと、感度が低下するためにパターンの形成が困難になり、８０重量部より多いと、密着性が低下する傾向にある。
【００３４】
上記光重合開始剤としては、特に制限はなく、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、ベンジル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン、ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２，３−ジクロロアントラキノン、３−クロル−２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、１，２−ベンゾアントラキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体などが挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３５】
本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物には一般に溶剤が含まれる。この溶剤としては、特に制限はなく、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン化合物、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールイソプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール−ｔ-ブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールイソプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコール−ｔ−ブチルエーテルアセテート等のアルキレングリコールエーテル化合物、メタノール、エタノール、プロピルアルコール、ブチルアルコール等のアルコール化合物、ヘキサン、ヘプタン、オクタン等の脂肪族化合物、クロロホルム、ジクロロメタン、１，２−ジクロロエタン、クロロベンゼン等の脂肪族化合物・芳香族化合物のハロゲン化物、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル化合物、エチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル化合物、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族化合物、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル−２−ピロリドン等のアミド化合物、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の非プロトン性極性溶剤等の有機溶剤が挙げられる。これらの有機溶剤は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
有機溶剤の配合量は、特に制限はなく、通常、ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して５０〜５０００重量部とすることが好ましい。
【００３６】
本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物には、保存安定性を高めるために、ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤を添加することができる。ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン、ベンゾキノン、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、６−ｔ−ブチル−２，３−キシレノール、ピロガロール、フェノチアジン、レゾルシノール、ｏ−ジニトロベンゼン、ｐ−ジニトロベンゼン、ｍ−ジニトロベンゼン、フェナントラキノン、Ｎ−フェニル−１−ナフチルアミン、Ｎ−フェニル−２−ナフチルアミン、クペロン、タンニン酸、ｐ−ベンジルアミノフェノール、ビタミンＥ、ニトロソアミン類等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３７】
上記ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤の使用量は、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位を有するポリアミドイミド樹脂と光重合性不飽和モノマーの総量１００重量部に対して０．０１〜３０重量部であることが好ましく、０．０５〜１０重量部であることがより好ましい。０．０１重量部より少ないと感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の安定性が低下し、３０重量部より多いと感度が低下する傾向にある。
【００３８】
本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を、浸漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、スピンコート法等の方法によりシリコンウエハ、金属基板、セラミック基板等の基材上に塗布し、溶剤を加熱除去することにより本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の不揮発成分からなる塗膜を形成できる。溶剤を除去するための加熱は、６０〜１５０℃で行なうことが好ましい。この塗膜の膜厚は、特に制限するものではないが、現像性等の点から、１〜５０μｍであることが好ましく、２〜４０μｍであることがより好ましく、２〜３０μｍであることが特に好ましい。本発明のパターンの製造法は、この塗膜上に、所望のパターンが描かれたマスクを通して活性光線又は化学線を照射するなどしてパターン状に露光した後、未露光部分を適当な現像液で現像して除去することにより、所望のパターンを有する塗膜が得られる。露光時の光量は、１００〜３０００ｍＪ／ｃｍ２が好適である。光源としては、特に制限はなく、例えばカーボンアーク灯、キセノン灯、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等を用いることができる。
【００３９】
現像液としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジメチルスルホキシド等の良溶媒、前記良溶媒と低級アルコール、ケトン、水、脂肪族化合物、芳香族化合物、ブチルセロソルブアセテート等のアルキレングリコールエーテル化合物等の貧溶媒の混合溶液が挙げられる。現像後に、必要に応じて水又は貧溶媒でリンスを行い、１８０℃前後で乾燥することにより、所望のパターンを有する本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物から形成される塗膜が得られる。
このようにして得られる本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物から形成される塗膜は、半導体素子などの電子部品に用いられるジャンクションコート膜、バッファーコート膜、アルファ線遮蔽膜などの表面保護膜や層間絶縁膜の形成等に用いられる。
【００４０】
このようにして得られる本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物から形成される塗膜は、半導体装置や多層配線板等の電子部品に使用することができる。具体的には、半導体素子、リードフレーム、基板等の半導体装置にコーティングされるジャンクションコート膜、バッファーコート膜、アルファ線遮蔽膜などの表面保護膜や層間絶縁膜や、多層配線基板の層間絶縁膜の形成等に用いられる。
本発明の電子部品は、所望のパターンを有する本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物からなる塗膜を前記表面保護膜や層間絶縁膜として有するが、それ以外は、特に制限はなく、様々な構造をとることができる。
【００４１】
本発明の電子部品の一例である半導体装置の製造工程の一例を以下に説明する。
図１は多層配線構造の半導体装置の製造工程図である。回路素子を有するSi基板等の半導体基板１は、回路素子の所定部分を除いてシリコン酸化膜等の保護膜２で被覆され、露出した回路素子上に第１導体層３が形成されている。この半導体基板上に、スピンコート法等でポリイミド樹脂等の層間絶縁膜層４を形成する（工程（ａ））。
【００４２】
次に環化ゴム系やフェノールノボラック系等の感光性樹脂層５を、前記層間絶縁膜層４上にスピンコート法で形成し、公知の写真食刻技術によって所定部分の層間絶縁膜層４が露出するように窓６Ａを設ける（工程（ｂ））。
前記窓６Ａに露出した層間絶縁膜層４を、酸素、四フッ化炭素等のガスを用いるドライエッチング手段によって選択的にエッチングし、窓６Ｂをあける。次いで窓６Ｂから露出した第１導体層３を腐食することなく、感光性樹脂層５のみを腐食するようなエッチング溶液を用いて、感光性樹脂層５を完全に除去する。（工程（ｃ））。
【００４３】
さらに公知の写真食刻技術を用いて、第２導体層７を形成し、第１導体層３との電気的接続を完全に行なう（工程（ｄ））。
３層以上の多層配線構造を形成する場合は、上記の工程を繰り返して行ない、各層を形成することができる。
【００４４】
次に、表面保護膜層８を形成する。この図の例では、この表面保護膜層８を本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成する。まず、感光性ポリアミドイミド樹脂組成物をスピンコート法にて塗布乾燥し、所定部分に窓６Ｃを形成するパターンを描いたマスク上から光を照射した後、現像液にて未露光部分を除去して現像してパターンを形成する（工程（ｅ））。
なお、上記例において、層間絶縁膜層を本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成することもできる。
【００４５】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
実施例１
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管及び冷却管を備えた１０００ｍｌ四つ口フラスコに、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン（以下ＢＡＰＰと略記する）を５３．６ｇ、３，５−ジアミノ安息香酸 ２−メタクリロイルオキシエチルエステルを３４．５ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）を５．２ｇ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（以下ＮＭＰと略記する）を５７２．２ｇ加え、窒素雰囲気下、攪拌しながら０℃まで冷却した後、無水トリメリット酸クロリドを５５．０ｇ加え、室温で１時間攪拌して反応させた。反応溶液にトリエチルアミンを３１．７ｇ加えて室温で１時間撹拌した後、無水酢酸を１３３．３ｇ、ピリジンを４１．３ｇ加え、８０℃で１２時間撹拌して反応させた。反応溶液を水に注ぎ、これをミキサーで粉砕し、水洗した後、乾燥して、ポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をゲルパーミエーションクロマトグラフィー（以下、ＧＰＣと略す；溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１２０，０００であった。
【００４６】
このポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物（重量比：１／１）（日本化薬株式会社製ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；以下ＤＰＨＡと略す）を２．６８８ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤としてジエチレングリコールジメチルエーテル（以下、ＤＭＤＧと略す）を１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。
【００４７】
この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を５インチシリコンウエハ（表面：Ｓｉ）上にスピンコート法により塗布し、９０℃で３分間加熱乾燥して膜厚４．０μｍの塗膜を形成した。得られた塗膜に、ネガマスクを通して超高圧水銀灯により画像状に１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光を行い、次いで、トリエチレングリコールジメチルエーテル／ブチルセロソルブアセテート（６０／４０）（重量比）により現像を行った。塗膜をイソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡと略す）で洗浄した後、１８０℃の乾燥機で１時間乾燥して、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が３．２μｍの塗膜を得た。
【００４８】
実施例２
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、トリメチロールプロパントリメタクリレート（新中村化学工業株式会社製ＮＫエステルＴＭＰＴ；以下ＴＭＰＴと略す）を０．５３８ｇ、ＤＰＨＡを２．１５０ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が３．０μｍの塗膜を得た。
【００４９】
実施例３
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ＴＭＰＴを１．３４４ｇ、ＤＰＨＡを１．３４４ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．８μｍの塗膜を得た。
【００５０】
実施例４
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ＤＰＨＡを０．６２３ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを０．２３４ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．０７７ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを６．２２ｇ、ＮＭＰを６．２２ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が３．０μｍの塗膜を得た。
【００５１】
実施例５
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ＤＰＨＡを０．１２９ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを０．１９３ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．０６４ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを６．７３ｇ、ＮＭＰを６．７３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．５μｍの塗膜を得た。
【００５２】
実施例６
ＢＡＰＰを２３．４ｇ、３，５−ジアミノ安息香酸 ２−メタクリロイルオキシエチルエステルを６０．２ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）を９．１ｇ、ＮＭＰを５７４．３ｇ、無水トリメリット酸クロリドを６０．０ｇ、トリエチルアミンを３４．６ｇ、無水酢酸を１４５．４ｇ、ピリジンを４５．０ｇ用いた以外は実施例１と同様の操作を行い、ポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をＧＰＣ（溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１００，０００であった。
【００５３】
得られたポリアミドイミド樹脂を実施例１のポリアミドイミド樹脂の代わりに用いた以外は実施例４と同様の操作を行い、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．９μｍの塗膜を得た。
【００５４】
実施例７
ＢＡＰＰを７５．０ｇ、３，５−ジアミノ安息香酸 ２−メタクリロイルオキシエチルエステルを２０．７ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）を３．１ｇ、ＮＭＰを６０２．７ｇ、無水トリメリット酸クロリドを５５．０ｇ、トリエチルアミンを３１．７ｇ、無水酢酸を１３３．３ｇ、ピリジンを４１．３ｇ用いた以外は実施例１と同様の操作を行い、ポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をＧＰＣ（溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１１３，０００であった。
【００５５】
得られたポリアミドイミド樹脂を実施例１のポリアミドイミド樹脂の代わりに用いた以外は実施例４と同様の操作を行い、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．７μｍの塗膜を得た。
【００５６】
比較例１
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管及び冷却管を備えた１０００ｍｌ四つ口フラスコに、ＢＡＰＰを７７．９ｇ、ＮＭＰを４７１．６加え、窒素雰囲気下、攪拌しながら０℃まで冷却した後、無水トリメリット酸クロリドを４０．０ｇ加え、室温で１時間攪拌して反応させた。反応溶液にトリエチルアミンを２３．０ｇ加えて室温で１時間撹拌した後、無水酢酸を９６．９ｇ、ピリジンを３０．０ｇ加え、８０℃で１２時間撹拌して反応させた。得られた反応溶液を水に注ぎ、これをミキサーで粉砕し、水洗した後、乾燥してポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をＧＰＣ（溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１２５，０００であった。得られたポリアミドイミド樹脂を実施例１のポリアミドイミド樹脂の代わりに用いた以外は実施例１と同様の操作を行い、感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を作製した。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、塗膜を形成し、露光、現像を行ったが、パターンを有する塗膜が得られなかった。
【００５７】
比較例２
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和結合を分子内に３個有するモノマーとして、ＴＭＰＴを２．６８８ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、パターンを有する膜厚が３．０μｍの塗膜を得た。
【００５８】
表１に実施例１〜７及び比較例１〜２で作製した樹脂組成物の配合量、ポリアミドイミド樹脂の重量平均分子量をまとめた。表中、モノマーとは光重合性不飽和結合を分子中に２個以上有するモノマーを示す。５官能以上のモノマーとは光重合性不飽和結合を分子中に５個以上有するモノマーを示し、その割合は光重合性不飽和結合を分子中に２個以上有するモノマー１００重量％に対する割合を示す。また、配合量はポリアミドイミド樹脂の総量１００重量部に対する配合量を示す。
【００５９】
【表１】
表２に実施例１〜７及び比較例１〜２で作製した塗膜の評価結果をまとめた。塗膜の評価方法は、以下のとおりである。
解像度： パターン化した塗膜を顕微鏡で観察し、ライン＆スペースのパターン幅が同じである最小値を解像度とした。
耐アルカリ性： パターン化した塗膜を形成したウェハに０．１規定の水酸化ナトリウム水溶液中での１２１℃、０．２ＭＰａ（２ａｔｍ）、１０時間のプレッシャークッカーテスト（ＰＣＴ）を行った後、塗膜の表面状態を観察した。
耐酸性： パターン化した塗膜を形成したウェハを６０℃の０．１規定塩酸水溶液中に浸漬し、更に２時間超音波振動（周波数：４２ｋＨｚ）を与えた後、塗膜の表面状態を観察した。
耐有機溶剤性： パターン化した塗膜を形成したウェハを６０℃のＮＭＰ中に１時間浸漬し、更に２時間超音波振動（周波数：４２ｋＨｚ）を与えた後、塗膜の表面状態を観察した。
５％重量減温度： 示差熱天秤を用いて空気中、昇温速度１０℃／分で測定した。
【００６０】
【表２】
【００６１】
実施例１〜７では、本発明で規定した感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いたために、耐アルカリ性に優れる、パターンを有する塗膜が得られた。
比較例１では、本発明で規定したジアミンを用いずに合成したポリアミドイミド樹脂を用いたために、感光特性が劣り、パターンを有する塗膜が得られなかった。
比較例２では、本発明で規定した光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを用いなかったために耐アルカリ性に劣り、ＰＣＴ後、塗膜が剥離した。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物は、高温処理を必要とせずに、耐熱性、耐アルカリ性に優れた、パターンを有する塗膜を形成することができ、高温処理ができないような電子部品や耐アルカリ性を必要とする電子部品に用いられる保護膜や、絶縁膜の材料として好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】多層配線構造の半導体装置の製造工程図である。
【符号の説明】
１ 半導体基板
２ 保護膜
３ 第１導体層
４ 層間絶縁膜層
５ 感光性樹脂層
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ 窓
７ 第２導体層
８ 表面保護膜層
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐アルカリ性に優れる感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品に用いられる保護膜や絶縁膜としてポリアミドやポリイミドが用いられている。しかし、これらの膜にパターンを形成する工程は、膜表面へのレジスト材の造膜、所定箇所の露光、現像、エッチング等による不要箇所の除去、レジスト材の剥離、基板表面の洗浄作業などからなり煩雑である。そのために、露光、現像によりパターンを形成したレジストを保護膜や絶縁膜としてそのまま使用できる感光材料の開発が望まれている。
【０００３】
半導体装置に用いられる保護膜、絶縁膜としては感光性ポリイミドが開発され、広く使用されている。しかしながら、多くの感光性ポリイミドはパターン形成後に３００℃くらいの温度でイミド化を行う必要があり、高温処理が行えないような電子部品には適用できなかった。
また、耐アルカリ性を必要とする特殊な電子部品の保護膜、絶縁膜としては、感光性ポリイミドの耐アルカリ性では不十分であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高温処理ができないような電子部品や耐アルカリ性を必要とする電子部品の保護膜、絶縁膜の材料として好適な感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、下記の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物、これを用いたパターン製造法及び電子部品に関する。
（１） 一般式（Ｉ）
【化４】
【０００６】
（２） ポリアミドイミド樹脂が、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位及び一般式（ＩＩ）
【化５】
（３） 一般式（Ｉ）で示される繰り返し単位／一般式（ＩＩ）で示される繰り返し単位が２０／８０〜９０／１０（モル比）の比率である前記（２）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
【０００７】
（４） ポリアミドイミド樹脂の重量平均分子量が、８，０００〜２００，０００である前記（１）、（２）又は（３）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
（５） ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して光重合性不飽和モノマーが１〜５００重量部である前記（１）、（２）、（３）又は（４）記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
【０００８】
（６） ポリアミドイミド樹脂が、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体を含む酸成分と一般式（Ｉ−ａ）
【化６】
【０００９】
（７） 光重合性不飽和モノマーが、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを３０〜１００重量％含む前記（１）〜（６）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
（８） 前記（１）〜（７）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて感光層を基板上に形成し、マスクを通して露光及び現像するパターン形成工程を含むパターン製造法。
（９） 前記（１）〜（７）のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成される層を有してなる電子部品。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に用いるポリアミドイミド樹脂は、前記一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位を有する化合物である。この繰り返し単位と共に前記一般式（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有するものであることが好ましい。この場合、一般式（Ｉ）／一般式（ＩＩ）が２０／８０〜９０／１０（モル比）の比率であることが好ましく、３０／７０〜８５／１５（モル比）であることがより好ましい。一般式（Ｉ）／一般式（ＩＩ）の比率が２０／８０よりも小さい場合、樹脂中の感光性基の割合が減少するために、感度が低下し、感光特性が劣る傾向があり、９０／１０よりも大きい場合、ゲル化し易くなるために、ポリアミドイミド樹脂の合成が困難になる傾向がある。
【００１１】
上記一般式（Ｉ）におけるＸは芳香環を含む３価の有機基であり、一般にトリカルボン酸又はその誘導体と反応してアミドイミドを形成し得る芳香族ジアミン残基である。芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられ、Ｘに含まれる炭素の総数は６〜４０であることが好ましい。また、３つの結合部位は、いずれも芳香環上に存在することが好ましい。具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、それらの芳香環の２〜６個が単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、スルフィニル基、メチレン基、２，２−プロピレン基、カルボニル基、ジメチルシリル基、シロキサン構造等を介して結合している基、これらの環上に炭素数１〜４のアルキル基が置換基として存在する基などが挙げられる。
【００１２】
上記一般式（Ｉ）におけるＲ1は感光性基を有する１価の有機基であり、感光性基として、光により重合可能な炭素−炭素二重結合を有する基が挙げられ、例えば、アリルオキシ基、アクリロイルオキシアルコキシ基、メタクリロイルオキシアルコキシ基、マレイミジルアルコキシ基、アクリロイルオキシアルキルアミノ基、メタクリロイルオキシアルキルアミノ基、マレイミジルアルキルアミノ基、アリル基、アクリロイルオキシアルキル基、メタクリロイルオキシアルキル基、エチニル基などが挙げられる。好ましいものとしては、一般式（ＩＩＩ）〜（ＶＩ）
【００１３】
【化７】
【００１４】
上記一般式（ＩＩＩ）又は一般式（ＩＶ）で表される１価の有機基のうち、特に、Ｒ2が炭素数１〜４のアルキレン基であり、Ｒ3が水素原子又はメチル基であり、Ｒ4及びＲ5が水素原子である有機基は、感度が高く、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物に好適である。また、上記一般式（Ｖ）又は一般式（ＶＩ）で表される１価の有機基のうち、特に、Ｒ2が炭素数１〜４のアルキレン基であり、Ｒ6及びＲ7が水素原子である有機基は、感度が高く、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物に好適である。
【００１５】
本発明において、上記一般式（Ｉ）及び一般式（ＩＩ）におけるＹは芳香環を有する３価の有機基であり、芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられ、Ｙに含まれる炭素の総数は６〜４０であることが好ましい（但し、Ｙは一般式（Ｉ）で示されるＸ−ＣＯ−Ｒ1を除くものである）。
また、３つの結合部位は、いずれも芳香環上に存在することが好ましい。具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、それらの芳香環の２〜６個が単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、スルフィニル基、メチレン基、２，２−プロピレン基、カルボニル基、ジメチルシリル基、シロキサン構造等を介して結合している基、これらの環上に炭素数１〜４のアルキル基が置換基として存在する基などが挙げられる。
【００１６】
一般式（ＩＩ）におけるＺは芳香環を有する２価の有機基であり、芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環等が挙げられ、Ｚに含まれる炭素の総数は６〜４０であることが好ましい。
また、２つの結合部位は、いずれも芳香環上に存在することが好ましい。具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、それらの芳香環の２〜６個が単結合、酸素原子、硫黄原子、スルホニル基、スルフィニル基、メチレン基、２，２−プロピレン基、カルボニル基、ジメチルシリル基、シロキサン構造、アミド結合（−ＮＨＣＯ−）等を介して結合している基、これらの環上に炭素数１〜４のアルキル基が置換基として存在する基などが挙げられる。
【００１７】
本発明において、上記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）で表される繰り返し単位を有するポリアミドイミド樹脂の合成方法は、例えば、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体を含む酸成分と前記一般式（Ｉ−ａ）で表される芳香族ジアミン及び必要に応じて用いられるその他の芳香族ジアミンからなる塩基成分を反応させて得られる。一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンの割合は全塩基成分に対して２０〜９０モル％であることが好ましく、３０〜８５モル％であることがより好ましい。一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンの割合が２０モル％よりも低い場合、樹脂中の感光性基の割合が減少するために、感度が低下し、感光特性が劣る傾向があり、９０モル％よりも高い場合、ゲル化し易くなるために、ポリアミドイミド樹脂の合成が困難になる傾向がある。
【００１８】
上記一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンとしては、例えば、
【化８】
【００１９】
上記一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミン以外に塩基成分として用いられるその他の芳香族ジアミンとしては一般式（ＶＩＩ）
【化９】
【００２０】
一般式（ＶＩＩ）で表される芳香族ジアミンとしては、例えば、フェニレンジアミン、トルイレンジアミン、キシリレンジアミン、ナフタレンジアミン、４，４′−ジアミノジフェニルメタン、４，４′−ジアミノジフェニルスルホン、４，４′−ジアミノジフェニルエーテル、４，４′−ジアミノベンズアニリド、４，４′−ジアミノベンゾフェノン、３，３′−ジアミノジフェニルスルホン、３，３′，５，５′−テトラメチル−４，４′−ジアミノジフェニルメタン、３，３′，５，５′−テトライソプロピル−４，４′−ジアミノジフェニルメタン、１，４−ビス（４−アミノクミル）ベンゼン、１，３−ビス（４−アミノクミル）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、２，２−ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］エーテル、ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］ビフェニル等が挙げられ、これらは２種以上を併用してもよい。
【００２１】
上記ポリアミドイミド樹脂の合成に用いる酸成分には、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体が含まれる。芳香族トリカルボン酸無水物としては一般式（ＶＩＩＩ）
【化１０】
上記酸成分には上記芳香族トリカルボン酸無水物の他に、芳香族ジカルボン酸、芳香族テトラカルボン酸二無水物が含まれてもよい。
【００２２】
上記芳香族ジカルボン酸としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、ビス（４−カルボキシフェニル）エーテル、ビス（４−カルボキシフェニル）スルホン、４，４′−ビフェニルジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸等が挙げられ、これらは２種以上を併用してもよい。これらのジカルボン酸は、エステル、ハライド等の反応性誘導体を使用することもできる。
上記芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３′，４，４′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３′，４，４′−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビスフタル酸ヘキサフルオロイソプロピリデン二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン二無水物、４，４′−ビス（３，４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルスルホン二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェノキシ）フェニル］プロパン二無水物、エチレングリコールビストリメリテート二無水物、デカメチレングリコールビストリメリテート二無水物、ビスフェノールＡビストリメリテート二無水物、２，２−ビス［４−（３，４−ジカルボキシフェニルベンゾイルオキシ）フェニル］ヘキサフルオロプロパン二無水物、４，４′−［１，４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン）］ビスフェニルビストリメリテート二無水物等が使用でき、２種以上を併用してもよい。これらのテトラカルボン酸二無水物は、遊離酸（テトラカルボン酸）、エステル、ハライド等の誘導体を使用することもできる。
【００２３】
上記ポリアミドイミド樹脂は、その製造方法に特に制限はなく、通常行われている方法、例えば、上記酸成分と塩基成分を極性溶媒中８０℃以下で反応させ、生成したアミド酸を脱水閉環することによりポリアミドイミド樹脂を得ることができる。脱水閉環は、１２０〜２５０℃で熱処理する方法（熱イミド化）や脱水剤を用いて行う方法（化学イミド化）で行うことができる。１２０〜２５０℃で熱処理する方法の場合、脱水反応で生じる水を系外に除去しながら行うことが好ましい。この際、ベンゼン、トルエン、キシレン等を用いて水を共沸除去してもよい。
【００２４】
脱水剤を用いて脱水閉環を行う方法は、脱水剤として無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸等の酸無水物、ジシクロヘキシルカルボジイミド等のカルボジイミド化合物等を用いるのが好ましい。このとき、必要に応じてピリジン、イソキノリン、トリメチルアミン、アミノピリジン、イミダゾール等の脱水触媒を用いてもよい。脱水剤又は脱水触媒は、酸無水物基を有する３価のカルボン酸１モルに対し、それぞれ１〜８モルの範囲で用いることが好ましい。
【００２５】
塩基成分は、酸成分１００モル％に対して、総量で８０〜１２０モル％使用するのが好ましく、９５〜１０５モル％使用するのがより好ましい。塩基成分の総量が８０モル％より低い場合や１２０モル％より高い場合、得られる樹脂の分子量は低く、耐アルカリ性や耐薬品性に劣る傾向にある。
【００２６】
また、ポリアミドイミド樹脂の合成時に、感光性基の暗反応を防ぐためにラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤を添加することができる。ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン、ベンゾキノン、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、６−ｔ−ブチル−２，３−キシレノール、ピロガロール、フェノチアジン、レゾルシノール、ｏ−ジニトロベンゼン、ｐ−ジニトロベンゼン、ｍ−ジニトロベンゼン、フェナントラキン、Ｎ−フェニル−１−ナフチルアミン、Ｎ−フェニル−２−ナフチルアミン、クペロン、タンニン酸、ｐ−ベンジルアミノフェノール、ビタミンＥ、ニトロソアミン類等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００２７】
上記ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤の使用量は、一般式（Ｉ−ａ）で表されるジアミンの総量１００モル％に対して０．０１〜２０モル％であることが好ましく、０．０５〜１０モル％であることがより好ましい。０．０１モル％より少ないと反応溶液がゲル化し、２０モル％より多いと感度が低下する傾向にある。
【００２８】
ポリアミドイミド樹脂を合成する有機溶媒としては、生成するポリアミドイミド樹脂が完全に溶解する極性溶媒が好ましく、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、スルホラン等が挙げられる。これらの極性溶媒以外に、ケトン類、エステル類、エーテル類、脂肪族化合物類、芳香族化合物類、及びそれらのハロゲン化物などを使用することもでき、例えば、アセトン、ジエチルケトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジクロロメタン、１，２−ジクロロエタン、クロロベンゼン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、トルエン、キシレン等が挙げられる。これらの有機溶媒は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
以上のようにして合成したポリアミドイミド樹脂は、反応溶液のまま用いてもよいし、貧溶媒に反応溶液を投入し、樹脂を析出させ、精製して用いてもよい。本発明で使用されるポリアミドイミド樹脂は、重量平均分子量が、８，０００〜２００，０００であることが好ましい。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定し、標準ポリスチレン換算で算出することができる。
【００２９】
本発明においては、光重合性不飽和モノマーとして、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを必須成分として使用する。これにより、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の感光特性の他、耐溶剤性や、特に耐アルカリ性を大幅に向上させることができる。
また、光重合性不飽和モノマーとして、上記の重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマー以外を併用する場合は、光重合性不飽和結合を分子内に２〜４個有するモノマーを併用することが感光特性等の面から好ましい。
光重合性不飽和モノマーとしての配合量は、ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して１〜５００重量部が好ましく、３〜３００重量部がより好ましい。１重量部より少ないと、感光性基の密度が低くなるために感度が低下する傾向にあり、５００重量部より多いと、感光性基の密度が高くなりすぎるために、暗反応によりゲル化が生じやすくなり、保存安定性が劣る傾向にある。
【００３０】
また、光重合性不飽和モノマー１００重量％の内、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーが３０〜１００重量％含まれることが好ましく、５０〜１００重量％含まれることがより好ましい。３０重量％より少ないと架橋密度が低下し、耐アルカリ性が劣る傾向にある。
【００３１】
上記光重合性不飽和結合を分子内に２〜４個有するモノマーとしては、特に制限はなく、例えば、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジビニルベンゼン、１，３−アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロパン、１，３−メタクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロパン、メチレンビスアクリルアミド、グリセロールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールのジアクリレート、ポリエチレングリコールのジメタクリレート、ポリプロピレングリコールのジアクリレート、ポリプロピレングリコールのジメタクリレート、トリス（メタクリロキシエチル）イソシアヌレート、一般式（ＩＸ）
【化１１】
【化１２】
で表されるビスフェノールＡのエピクロルヒドリン変性物のジアクリレート及びジメタクリレート、ビスフェノールＡジメタクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、一般式（ＸＩ）
【化１３】
【化１４】
【化１５】
【化１６】
【化１７】
【化１８】
【化１９】
【化２０】
で表されるアルカンジオールのビスマレイミド、一般式（ＸＩＸ）
【化２１】
【００３２】
光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーとしては、アクリロイル基又はメタクリロイル基を分子内に５個以上有するモノマーが好ましく、特に好ましいものとして、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、一般式（ＸＸ）
【化２２】
【化２３】
【化２４】
で表されるジペンタエリスリトールのアルキレンオキシド付加物のヘキサアクリレート、ヘキサメタクリレート、ペンタアクリレート及びペンタメタクリレート等が挙げられる。これらのモノマーは、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３３】
本発明において、光重合開始剤の配合量は、ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して、１〜８０重量部であることが好ましく、３〜７０重量部であることがより好ましく、３〜５０重量部であることがさらに好ましい。１重量部より少ないと、感度が低下するためにパターンの形成が困難になり、８０重量部より多いと、密着性が低下する傾向にある。
【００３４】
上記光重合開始剤としては、特に制限はなく、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、ベンジル、２，２−ジエトキシアセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシイソブチルフェノン、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−１−プロパノン、ｔ−ブチルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２，３−ジクロロアントラキノン、３−クロル−２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、１，２−ベンゾアントラキノン、１，４−ジメチルアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体などが挙げられる。これらの光重合開始剤は単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３５】
本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物には一般に溶剤が含まれる。この溶剤としては、特に制限はなく、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン等のケトン化合物、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールイソプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール−ｔ-ブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールイソプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコール−ｔ−ブチルエーテルアセテート等のアルキレングリコールエーテル化合物、メタノール、エタノール、プロピルアルコール、ブチルアルコール等のアルコール化合物、ヘキサン、ヘプタン、オクタン等の脂肪族化合物、クロロホルム、ジクロロメタン、１，２−ジクロロエタン、クロロベンゼン等の脂肪族化合物・芳香族化合物のハロゲン化物、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル化合物、エチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル化合物、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族化合物、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル−２−ピロリドン等のアミド化合物、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の非プロトン性極性溶剤等の有機溶剤が挙げられる。これらの有機溶剤は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
有機溶剤の配合量は、特に制限はなく、通常、ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して５０〜５０００重量部とすることが好ましい。
【００３６】
本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物には、保存安定性を高めるために、ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤を添加することができる。ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤としては、例えば、ｐ−メトキシフェノール、ジフェニル−ｐ−ベンゾキノン、ベンゾキノン、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、６−ｔ−ブチル−２，３−キシレノール、ピロガロール、フェノチアジン、レゾルシノール、ｏ−ジニトロベンゼン、ｐ−ジニトロベンゼン、ｍ−ジニトロベンゼン、フェナントラキノン、Ｎ−フェニル−１−ナフチルアミン、Ｎ−フェニル−２−ナフチルアミン、クペロン、タンニン酸、ｐ−ベンジルアミノフェノール、ビタミンＥ、ニトロソアミン類等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３７】
上記ラジカル重合禁止剤又はラジカル重合抑制剤の使用量は、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位を有するポリアミドイミド樹脂と光重合性不飽和モノマーの総量１００重量部に対して０．０１〜３０重量部であることが好ましく、０．０５〜１０重量部であることがより好ましい。０．０１重量部より少ないと感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の安定性が低下し、３０重量部より多いと感度が低下する傾向にある。
【００３８】
本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を、浸漬法、スプレー法、スクリーン印刷法、スピンコート法等の方法によりシリコンウエハ、金属基板、セラミック基板等の基材上に塗布し、溶剤を加熱除去することにより本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の不揮発成分からなる塗膜を形成できる。溶剤を除去するための加熱は、６０〜１５０℃で行なうことが好ましい。この塗膜の膜厚は、特に制限するものではないが、現像性等の点から、１〜５０μｍであることが好ましく、２〜４０μｍであることがより好ましく、２〜３０μｍであることが特に好ましい。本発明のパターンの製造法は、この塗膜上に、所望のパターンが描かれたマスクを通して活性光線又は化学線を照射するなどしてパターン状に露光した後、未露光部分を適当な現像液で現像して除去することにより、所望のパターンを有する塗膜が得られる。露光時の光量は、１００〜３０００ｍＪ／ｃｍ２が好適である。光源としては、特に制限はなく、例えばカーボンアーク灯、キセノン灯、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等を用いることができる。
【００３９】
現像液としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジメチルスルホキシド等の良溶媒、前記良溶媒と低級アルコール、ケトン、水、脂肪族化合物、芳香族化合物、ブチルセロソルブアセテート等のアルキレングリコールエーテル化合物等の貧溶媒の混合溶液が挙げられる。現像後に、必要に応じて水又は貧溶媒でリンスを行い、１８０℃前後で乾燥することにより、所望のパターンを有する本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物から形成される塗膜が得られる。
このようにして得られる本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物から形成される塗膜は、半導体素子などの電子部品に用いられるジャンクションコート膜、バッファーコート膜、アルファ線遮蔽膜などの表面保護膜や層間絶縁膜の形成等に用いられる。
【００４０】
このようにして得られる本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物から形成される塗膜は、半導体装置や多層配線板等の電子部品に使用することができる。具体的には、半導体素子、リードフレーム、基板等の半導体装置にコーティングされるジャンクションコート膜、バッファーコート膜、アルファ線遮蔽膜などの表面保護膜や層間絶縁膜や、多層配線基板の層間絶縁膜の形成等に用いられる。
本発明の電子部品は、所望のパターンを有する本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物からなる塗膜を前記表面保護膜や層間絶縁膜として有するが、それ以外は、特に制限はなく、様々な構造をとることができる。
【００４１】
本発明の電子部品の一例である半導体装置の製造工程の一例を以下に説明する。
図１は多層配線構造の半導体装置の製造工程図である。回路素子を有するSi基板等の半導体基板１は、回路素子の所定部分を除いてシリコン酸化膜等の保護膜２で被覆され、露出した回路素子上に第１導体層３が形成されている。この半導体基板上に、スピンコート法等でポリイミド樹脂等の層間絶縁膜層４を形成する（工程（ａ））。
【００４２】
次に環化ゴム系やフェノールノボラック系等の感光性樹脂層５を、前記層間絶縁膜層４上にスピンコート法で形成し、公知の写真食刻技術によって所定部分の層間絶縁膜層４が露出するように窓６Ａを設ける（工程（ｂ））。
前記窓６Ａに露出した層間絶縁膜層４を、酸素、四フッ化炭素等のガスを用いるドライエッチング手段によって選択的にエッチングし、窓６Ｂをあける。次いで窓６Ｂから露出した第１導体層３を腐食することなく、感光性樹脂層５のみを腐食するようなエッチング溶液を用いて、感光性樹脂層５を完全に除去する。（工程（ｃ））。
【００４３】
さらに公知の写真食刻技術を用いて、第２導体層７を形成し、第１導体層３との電気的接続を完全に行なう（工程（ｄ））。
３層以上の多層配線構造を形成する場合は、上記の工程を繰り返して行ない、各層を形成することができる。
【００４４】
次に、表面保護膜層８を形成する。この図の例では、この表面保護膜層８を本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成する。まず、感光性ポリアミドイミド樹脂組成物をスピンコート法にて塗布乾燥し、所定部分に窓６Ｃを形成するパターンを描いたマスク上から光を照射した後、現像液にて未露光部分を除去して現像してパターンを形成する（工程（ｅ））。
なお、上記例において、層間絶縁膜層を本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成することもできる。
【００４５】
【実施例】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
実施例１
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管及び冷却管を備えた１０００ｍｌ四つ口フラスコに、２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］プロパン（以下ＢＡＰＰと略記する）を５３．６ｇ、３，５−ジアミノ安息香酸 ２−メタクリロイルオキシエチルエステルを３４．５ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）を５．２ｇ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（以下ＮＭＰと略記する）を５７２．２ｇ加え、窒素雰囲気下、攪拌しながら０℃まで冷却した後、無水トリメリット酸クロリドを５５．０ｇ加え、室温で１時間攪拌して反応させた。反応溶液にトリエチルアミンを３１．７ｇ加えて室温で１時間撹拌した後、無水酢酸を１３３．３ｇ、ピリジンを４１．３ｇ加え、８０℃で１２時間撹拌して反応させた。反応溶液を水に注ぎ、これをミキサーで粉砕し、水洗した後、乾燥して、ポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をゲルパーミエーションクロマトグラフィー（以下、ＧＰＣと略す；溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１２０，０００であった。
【００４６】
このポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物（重量比：１／１）（日本化薬株式会社製ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；以下ＤＰＨＡと略す）を２．６８８ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤としてジエチレングリコールジメチルエーテル（以下、ＤＭＤＧと略す）を１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。
【００４７】
この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を５インチシリコンウエハ（表面：Ｓｉ）上にスピンコート法により塗布し、９０℃で３分間加熱乾燥して膜厚４．０μｍの塗膜を形成した。得られた塗膜に、ネガマスクを通して超高圧水銀灯により画像状に１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光を行い、次いで、トリエチレングリコールジメチルエーテル／ブチルセロソルブアセテート（６０／４０）（重量比）により現像を行った。塗膜をイソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡと略す）で洗浄した後、１８０℃の乾燥機で１時間乾燥して、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が３．２μｍの塗膜を得た。
【００４８】
実施例２
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、トリメチロールプロパントリメタクリレート（新中村化学工業株式会社製ＮＫエステルＴＭＰＴ；以下ＴＭＰＴと略す）を０．５３８ｇ、ＤＰＨＡを２．１５０ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が３．０μｍの塗膜を得た。
【００４９】
実施例３
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ＴＭＰＴを１．３４４ｇ、ＤＰＨＡを１．３４４ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．８μｍの塗膜を得た。
【００５０】
実施例４
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ＤＰＨＡを０．６２３ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを０．２３４ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．０７７ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを６．２２ｇ、ＮＭＰを６．２２ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が３．０μｍの塗膜を得た。
【００５１】
実施例５
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和モノマーとして、ＤＰＨＡを０．１２９ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを０．１９３ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．０６４ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを６．７３ｇ、ＮＭＰを６．７３ｇ加えて混合し、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．５μｍの塗膜を得た。
【００５２】
実施例６
ＢＡＰＰを２３．４ｇ、３，５−ジアミノ安息香酸 ２−メタクリロイルオキシエチルエステルを６０．２ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）を９．１ｇ、ＮＭＰを５７４．３ｇ、無水トリメリット酸クロリドを６０．０ｇ、トリエチルアミンを３４．６ｇ、無水酢酸を１４５．４ｇ、ピリジンを４５．０ｇ用いた以外は実施例１と同様の操作を行い、ポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をＧＰＣ（溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１００，０００であった。
【００５３】
得られたポリアミドイミド樹脂を実施例１のポリアミドイミド樹脂の代わりに用いた以外は実施例４と同様の操作を行い、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．９μｍの塗膜を得た。
【００５４】
実施例７
ＢＡＰＰを７５．０ｇ、３，５−ジアミノ安息香酸 ２−メタクリロイルオキシエチルエステルを２０．７ｇ、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）を３．１ｇ、ＮＭＰを６０２．７ｇ、無水トリメリット酸クロリドを５５．０ｇ、トリエチルアミンを３１．７ｇ、無水酢酸を１３３．３ｇ、ピリジンを４１．３ｇ用いた以外は実施例１と同様の操作を行い、ポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をＧＰＣ（溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１１３，０００であった。
【００５５】
得られたポリアミドイミド樹脂を実施例１のポリアミドイミド樹脂の代わりに用いた以外は実施例４と同様の操作を行い、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて得られるパターンを有する膜厚が２．７μｍの塗膜を得た。
【００５６】
比較例１
攪拌機、温度計、窒素ガス導入管及び冷却管を備えた１０００ｍｌ四つ口フラスコに、ＢＡＰＰを７７．９ｇ、ＮＭＰを４７１．６加え、窒素雰囲気下、攪拌しながら０℃まで冷却した後、無水トリメリット酸クロリドを４０．０ｇ加え、室温で１時間攪拌して反応させた。反応溶液にトリエチルアミンを２３．０ｇ加えて室温で１時間撹拌した後、無水酢酸を９６．９ｇ、ピリジンを３０．０ｇ加え、８０℃で１２時間撹拌して反応させた。得られた反応溶液を水に注ぎ、これをミキサーで粉砕し、水洗した後、乾燥してポリアミドイミド樹脂の粉末を得た。得られたポリアミドイミド樹脂粉末をＧＰＣ（溶離液は０．０５ｍｏｌ／Ｌリン酸ＮＭＰ溶液、液速度は１ｍｌ／分、検出はＵＶ検出器（２５０ｎｍ））を用いて測定したところ、重量平均分子量は標準ポリスチレン換算で１２５，０００であった。得られたポリアミドイミド樹脂を実施例１のポリアミドイミド樹脂の代わりに用いた以外は実施例１と同様の操作を行い、感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を作製した。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、塗膜を形成し、露光、現像を行ったが、パターンを有する塗膜が得られなかった。
【００５７】
比較例２
実施例１で得られたポリアミドイミド樹脂粉末２．１７９ｇに、光重合性不飽和結合を分子内に３個有するモノマーとして、ＴＭＰＴを２．６８８ｇ、光重合開始剤として、ベンゾフェノンを１．０１６ｇ、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノンを０．３３５ｇ、有機溶剤として、ＤＭＤＧを１２．５３ｇ、ＮＭＰを１２．５３ｇ加えて混合し、感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を得た。この感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を実施例１の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物の代わりに用いて、実施例１と同様の操作により、パターンを有する膜厚が３．０μｍの塗膜を得た。
【００５８】
表１に実施例１〜７及び比較例１〜２で作製した樹脂組成物の配合量、ポリアミドイミド樹脂の重量平均分子量をまとめた。表中、モノマーとは光重合性不飽和結合を分子中に２個以上有するモノマーを示す。５官能以上のモノマーとは光重合性不飽和結合を分子中に５個以上有するモノマーを示し、その割合は光重合性不飽和結合を分子中に２個以上有するモノマー１００重量％に対する割合を示す。また、配合量はポリアミドイミド樹脂の総量１００重量部に対する配合量を示す。
【００５９】
【表１】
解像度： パターン化した塗膜を顕微鏡で観察し、ライン＆スペースのパターン幅が同じである最小値を解像度とした。
耐アルカリ性： パターン化した塗膜を形成したウェハに０．１規定の水酸化ナトリウム水溶液中での１２１℃、０．２ＭＰａ（２ａｔｍ）、１０時間のプレッシャークッカーテスト（ＰＣＴ）を行った後、塗膜の表面状態を観察した。
耐酸性： パターン化した塗膜を形成したウェハを６０℃の０．１規定塩酸水溶液中に浸漬し、更に２時間超音波振動（周波数：４２ｋＨｚ）を与えた後、塗膜の表面状態を観察した。
耐有機溶剤性： パターン化した塗膜を形成したウェハを６０℃のＮＭＰ中に１時間浸漬し、更に２時間超音波振動（周波数：４２ｋＨｚ）を与えた後、塗膜の表面状態を観察した。
５％重量減温度： 示差熱天秤を用いて空気中、昇温速度１０℃／分で測定した。
【００６０】
【表２】
実施例１〜７では、本発明で規定した感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いたために、耐アルカリ性に優れる、パターンを有する塗膜が得られた。
比較例１では、本発明で規定したジアミンを用いずに合成したポリアミドイミド樹脂を用いたために、感光特性が劣り、パターンを有する塗膜が得られなかった。
比較例２では、本発明で規定した光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを用いなかったために耐アルカリ性に劣り、ＰＣＴ後、塗膜が剥離した。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物は、高温処理を必要とせずに、耐熱性、耐アルカリ性に優れた、パターンを有する塗膜を形成することができ、高温処理ができないような電子部品や耐アルカリ性を必要とする電子部品に用いられる保護膜や、絶縁膜の材料として好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】多層配線構造の半導体装置の製造工程図である。
【符号の説明】
１ 半導体基板
２ 保護膜
３ 第１導体層
４ 層間絶縁膜層
５ 感光性樹脂層
６Ａ、６Ｂ、６Ｃ 窓
７ 第２導体層
８ 表面保護膜層
Claims (9)
- 一般式（Ｉ）
- ポリアミドイミド樹脂が、一般式（Ｉ）で表される繰り返し単位及び一般式（ＩＩ）
- 一般式（Ｉ）で示される繰り返し単位／一般式（ＩＩ）で示される繰り返し単位が２０／８０〜９０／１０（モル比）の比率である請求項２記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
- ポリアミドイミド樹脂の重量平均分子量が、８，０００〜２００，０００である請求項１、２又は３記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
- ポリアミドイミド樹脂１００重量部に対して光重合性不飽和モノマーが１〜５００重量部である請求項１、２、３又は４記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
- ポリアミドイミド樹脂が、芳香族トリカルボン酸無水物又はその反応性誘導体を含む酸成分と一般式（Ｉ−ａ）
- 光重合性不飽和モノマーが、光重合性不飽和結合を分子内に５個以上有するモノマーを３０〜１００重量％含む請求項１〜６のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物。
- 請求項１〜７のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて感光層を基板上に形成し、マスクを通して露光及び現像するパターン形成工程を含むパターン製造法。
- 請求項１〜７のいずれかに記載の感光性ポリアミドイミド樹脂組成物を用いて形成される層を有してなる電子部品。
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