TWI304813B - - Google Patents

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TWI304813B
TWI304813B TW092112441A TW92112441A TWI304813B TW I304813 B TWI304813 B TW I304813B TW 092112441 A TW092112441 A TW 092112441A TW 92112441 A TW92112441 A TW 92112441A TW I304813 B TWI304813 B TW I304813B
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TW
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dielectric constant
electronic component
frequency electronic
low dielectric
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TW092112441A
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Satoru Amou
Akira Nagai
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Description

1304813ιΐ244ΐ號專利申請案 中文說明書替換頁(97年f月）
ZL
頻訊號之低介質損耗角正切樹脂 用電子零件。 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於為對應高 組合物作為絕緣層之高頻 【先前技術】 料’PHS、行動電話等之f訊通訊機器之訊號帶域， 月匈之CPU時脈達GHz，高頻化被進行。電機訊號之介電損 失係，形成電路之絕緣層之相對介電常數之平方根，盘介 質損耗角正切及電氣訊號之頻率之積成比例。因此所使用 之《之頻率越高介電損失越大。介電損失之增大將電氣 «衣減有損訊號之可靠度’為抑制此於介電層需要選定 介電常數，介質損耗角正則、的H於材料之低介電常 ’低介質損耗角正切化以去除分子結構中的極性基為有 效，氟樹脂、硬化聚烯烴、氰酸脂系樹脂、硬化性聚苯醚、 2烯變性聚苯醚、聚乙烯节基醚樹脂、二乙烯苯或二乙烯 恭所變性之聚醚醯亞胺等被提案。 广氟化乙婦(删)所代表之氟樹脂，其介電常數及介 ^貝耗角正切均低，作為應用高頻訊號之各種電子零件之 絕緣層使用。對此，可溶於有機溶劑而加工性佳之非氣系 之低介電常數、介質損耗角正切樹脂亦種種被研究。例如 ㈣平8-細56號所記載之聚丁二婦等之二婦系聚合物含 次於破璃布以過氧化物硬化之例；特開平1(M58337號所纪 载之冰片料附加型聚合體導人環氧基之環狀聚· ^ 例，特開平洲號所記载之氰酸脂、二婦系聚合物及 84579-970721.doc -7- 1304813 加熱環氧樹脂B階化之例；特開平9-11 8759號所記載之聚苯 醚、及二烯系聚合物及異氰酸三丙烯等所成之樹脂組合物 之例；特開平9-246429號所揭示之烯丙基化聚苯醚及三晞 丙基異氰酸酯等所構成之樹脂組合物之例；特開平 5-156159號所記載之聚醚醯亞胺與聚苯乙烯、二乙烯苯或 二乙烯莕合金化之例；特開平5-78552號，特開2001-247733 號所記載之具有乙烯苯醚基之熱硬化性樹脂與各種添加劑 所成之樹脂組合物之例等多數可舉。該等低介電常數、低 介質損耗角正切樹脂組合物係因有必要可耐回銲、金線接 合等電子零件製造步驟，故均設計作為熱硬化樹脂。 利用低介電常數、低介質損耗角正切樹脂組合物之絕緣 層除減低高頻訊號之介電損失之外，有可得高速傳送，高 特性阻抗之特徵。 另外，於高頻電路之絕緣層，有形成延遲電路、於低阻 抗電路之配線基板之阻抗整合、配線圖案之細密化、於基 板本身内建電容之複合電路化等需求，有絕緣層之高介電 常數化之需求之情形。因此，例如特開2000-91717號所記 載之利用高介電常數而低介質損耗角正切絕緣層之電子零 件之例；特開2001-247733號、特開200 1-345212號記載之複 合高介電常數層與低介電常數之電子零件被提案。高介電 常數且低介質損耗角正切之絕緣層係將前述之低介電常 數、低介質損耗角正切絕緣層分散陶瓷粉、施有絕緣處理 之金屬粉等高介電常數絕緣材料所形成。 【發明内容】 84579-931022.doc 1304813 [發明所欲解決之問題] 如可述於高頻用電子零件，其 照所形成之 電路性質控制，，、=之介電常數需要依 緣層之低介質損耗角正切化係於任損失之減低絕 本發明之目的係提供，具有較先前之事项。 電特性之含有多官能苯乙婦化合物之低二=越的介 合物之交聯結構體用於絕緣層之介電以^角正切组 零件。 ”夭小 < 鬲頻用電子 [解決課題之手段] 上述目的由下述之本發明達成。 本發明之高頻用電子零件，其特徵在於具有：傳送 0·3~100 GHz之電氣訊號之導體配線及熱硬化樹脂組合物 之硬化物之絕緣層，絕緣層利用可以下述之一般式⑴表示 <含有交聯成分之樹脂組合物形成絕緣層。藉此，可得較 先前之由熱硬化樹脂所形成之絕緣層低介質損耗角正切之 絕緣層，可得較先前之高頻用電子零件介電損失小的高效 率南頻用電子零件。
84579-931022.doc 1304813 (式中’ R為表示碳氫骨架，Ri為表示相同或相異之氫或碳 數1〜2〇<锬氫基，R2、尺3及R4為表示相同或相異之氫原子 或碳數1〜6之碳氫基，m為表示1〜4之整數，η為表示2以上 之整數。） 本發明基本上可以上述一般式⑴所表示之低介電常數、 低介質損耗角正切之多官能苯乙烯化合物之交聯結構體使 用於向頻用電子零件之絕緣層以達成。該硬化物於1 GHz 之介電常數為約未滿2.6 ’介質損耗角正切為未滿0 〇〇25， 比起先前之材料具有極為低的低介質損耗角正切^此為起 因於本發明之多官能苯乙缔化合物不含醚基、羰基、胺基 等極性基於結構中。先前之材料之一例則為得到同樣的效 果使用二乙烯苯作為交聯成分使用被研究，但因二乙缔苯 具有揮發性，有於樹脂組合物之乾燥’硬化步驟揮發難以 控制硬化物之特性之問題。 再者本發明，藉由於多官能笨乙埽化合物混合介電常數 相異之有機、無機之絕緣體，可邊抑制介質損耗角正切之 激劇增大，控制絕緣層之介電常數。藉此可製造賦予高速 傳送、小型化等之特性之高頻用電子零件。 【實施方式】 [發明之實施形態] 以下，詳細說明本發明。本發明之電子零件係，本有. 傳送0.3〜100 GHz之電氣訊號之導體配線及可以—般式⑴ 表示之含有交聯成分之交聯結構體之絕緣層所成之高頻用 電子零件。作為交聯成分藉由利用不含極性基之多官能苯 84579-931022.doc • 10- 1304813 乙婦化合物可形成具有極為低介電常數及低介質損耗角正 切<絕緣層。由於本交聯成分不具有揮發性，各不會如二 乙婦苯因揮發產生絕緣層特性之離散，藉此可得安定之高 頻用電予零件之低介電損失性。交聯成分之重量平均分子 T(GPC ’苯乙埽換算值）為1000以下為佳。藉此可改善交聯 成分之溶融溫度之低溫化，成型時之流動性提升，硬化溫 度之低溫化，與種種的聚合物，單體，填充材之相溶性之 提升等特性，成冨於加工性之低介質損耗角正切樹脂組合 物。藉此可容易地製造種種形態的高頻用電子零件。作為 父聯成分之適宜例為，丨，2-二（P-乙烯苯基）乙烷、1,2-二 乙缔苯基）乙烷、1-(?_乙埽苯基）_2_(m•乙婦苯基）乙烷、丨，4_ 一（P-乙烯苯基乙基）苯、匕心二加·乙婦苯基乙基）苯、1，3_ 一（P-乙烯苯基乙基）苯、13-二（m_乙烯苯基乙基）苯、丨-③一 乙缔苯基乙基）-3-(m-乙缔苯基乙基）苯、二乙締苯基乙基甲 烷、1，6-(二乙埽苯基）己烷及側鏈具有乙缔基之二乙缔苯聚 合體（寡聚物）等可例舉。 則述义多官能苯乙婦化合物之交聯體具有極為低的介質 損耗角正切，雖依雜質含量有所變動，於丨GHz之介質損耗 角正切值為0.0005〜0.0025。藉此，本發明之高頻用電子零 件 < 絕緣層雖會受添加之其他成份之影響而低介質損耗角 正切會有所變動，但可將於丨GHz之介質損耗角正切值調整 為0.0005~0_0025之極低值。 於本發明藉由於絕緣層分散高分子量體，可於絕緣層賦 丁強度，延性，對導體配線之接著力，薄膜形成能。藉此 84579-931022.doc n 1304813
可製作將於作多層配線板所需之預浸材料，導體猪與預浸 材料層合硬化之具有付有導體箔之層合板（以下，略稱為層 合板）之外，亦可製作藉由薄膜製程之高密度多層配線基 板。前述高分子量體為分子量在50 00以上為佳， 10000〜100000更佳，進一步15000-60000為更佳。分子量小 時，機械強度之改善有不充分的情形，分子量太大時則， 清漆化時黏度變高，混合攪拌、成膜變困難。作為高分子 量體之例為，丁二烯、異丙缔、苯乙晞、乙基苯乙烯、二 乙烯苯、N-乙烯苯基馬來醯胺、丙烯酸酯、丙埽腈所選擇 之單體之單獨或共聚物，亦可具有取代基之聚苯醚、環狀 聚烯烴、聚矽氧烷、醚醯亞胺等可舉。其中因聚苯醚、環 狀聚烯烴因高強度且低介質損耗角正切而佳。
本發明係包含於前述交聯成分具有將種種介電常數相異 之絕緣材料分散之絕緣層之高頻用電子零件。藉由如此之 構成，可邊抑制介質損耗角正切之增加，容易地調整介電 常數。於本發明之樹脂組合物藉由混合之高分子量體之種 類，添加量可將在1 GHz之介電常數於2.3〜3.0左右的範圍調 整。進一步於絕緣層分散了在1 GHz之介電常數於1.0〜2.2 之低介電常數絕緣體之高頻用電子零件則，可將絕緣層之 介電常數調整於1.5〜2.2左右。藉由減低絕緣層之介電常 數，電氣訊號可更一層之高速傳送。此為因電氣訊號之傳 送速度與介電常數之平方根之倒數成比例關係，絕緣層之 介電常數越低傳送速度越高。前述，作為低介電常數絕緣 體以低介電常數樹脂粒子、中空樹脂粒子、中空玻璃氣球、 84579-931022.doc -12- 1304813 空隙（空氣）為佳，該粒子之尺寸由絕緣層強度、絕緣可靠度 的觀點，平均粒徑0.2〜1 00 /nn，為0.2〜60 μηι則更佳。作為 低介電常數樹脂粒子，聚四氟乙烯粒子、聚苯乙晞-二乙晞 苯交聯粒子可舉，作為中空粒子，中空苯乙烯-二乙烯苯交 聯粒子，二氧化矽氣球、玻璃氣球、矽酸玻璃氣球等可舉。 低介電常數絕緣層適合於高速傳送性被需求之半導體裝置 之封裝樹脂及將晶片間電性連接之MCM基板等之配線，高 頻用晶片電感等之電路之形成。 另一方面，於本發明藉由在絕緣層分散於1 GHz之介電常 數為3.0〜10000之高介電常數絕緣體可邊抑制介質損耗角 正切之增大，製作具有介電常數為3.1〜20之高介電常數絕 緣層之高頻用電子零件。藉由提高絕緣層之介電常數可將 電路小型化、電容的高容量化，可貢獻於高頻用電子零件 之小型化等。高介電常數、低介質損耗角正切絕緣層適於 形成電容器、共振電路用電感、遽波器、天線等。作為用 於本發明之高介電常數絕緣體有，陶瓷粒子或絕緣處理之 金屬粒子可舉。具體地有，氧化矽、氧化鋁、氧化#、陶 瓷粒子；例如 MgSi04、Al2〇3、MgTi03、ZnTi03、ZnTi04、 Ti02、CaTi03、SrTi03、SrZr03、BaTi205、BaTi409、 Ba2Ti9O20、Ba(Ti， Sn)9O20、ZrTi04、（Zr， Sn)Ti04、 BaNd2Ti5014、BaSmTi014、Bi203-Ba0-Nd203-Ti02 系、 La2Ti207、BaTi03、Ba(Ti, Zr)03 系、（Ba, Sr)Ti03 系等高介 電常數絕緣體可舉，同樣地絕緣處理之金屬微粒子；例如 金、銀、I巴、銅、鎳、鐵、钻、鋅、Mn-Mg-Zn系，Ni-Zn 84579-931022.doc -13- 1304813 系Μη Zn系、羰鐵、Fe_Si系、Fe_Ai_si系、系等可 舉…I私系數絕緣體之粒子，以破碎、造粒法或將熱分 织土 It 熱處理製造金屬微粒子之喷霧熱分 解法（特么日〇 63-31522號、特開平6_1728〇2號、特開平 6 279816號）等製作。於噴霧熱分解法以金屬化合物作為起 始材料，例如羧酸鹽、鱗酸鹽、硫酸鹽等，與形成之金屬 反應而陶Μ之硼酸、錢、磷酸，或者藉由混合於氧化 後陶资化之各種金屬鹽進行噴霧熱分解形成於表面具有絕 緣層之金屬粒子。高介電常數絕緣體之平均粒徑以0.2〜100 ㈣為佳H緣層之強度、絕緣可靠度的觀點，平均粒徑 以0.2〜6G/im為更佳。當粒#變小則與樹脂組合物之混練成 困難’而太大則呈分散不均，成為絕緣崩潰之起點，而招 致絕緣可靠度降低之，障形 丄入 -形°问介電常數粒子之形狀為球 形、破碎、鬚狀均可。 月ϋ巧低1电系數絕緣體或高介電常數絕緣體之含有量 為對交聯成分與高分子量成八命X A i ^ 重成*刀昇低介電常數絕緣體或高介 電常數絕緣體之總量為1 〇〜玄I 0/ & a 巧 糾谷葛％為佳，為10〜65容量％則 更佳。於此以下則介電常數之*敕 數《凋整成困難，於此以上則有 產生絕緣可靠度降低、加工性陁彳 f生降低 < 情形。於前述範圍内 可調整為所期望之介電常數。 再者，於本發明亦可以將Η坡璃、E玻璃、ne玻璃、〇玻 璃等各種玻_維編織之玻璃布、芳香族㈣胺不織布或 LPC不織布等各種不織布含浸前述低介質損耗角正切樹脂 組合物，將其硬化形成絕緣層。破璃布、不織布除貢獻於 84579-931022.doc -14- 1304813 調整絕緣層之介電常數之外，㈣緣層之硬化前後 加該絕緣層之強度之作用。 曰 於本發明，由高頻用電子零件之安全性之觀點，亦可八 散阻燃射則述、纟e緣層1燃劑之種類並無特別限制 重視介質損耗角正切時利用紅磷粒予 記載之有機阻燃劑為佳。_此， 又7 〜（I)所 與絕緣層之阻燃效果，確保高頻肖錢 Μ。 于零件對火災之安全
84579-931022.doc -15- 13048號專利申請案 中文說明書替換頁(97年7月）
(式中，R5、Re為氫或碳數1〜20之相同或相異均可之有機殘 基）。 於本發明之阻燃劑適宜之調合量為，形成絕緣層之交聯 ^分相同分子量體及其他有機成分之總量作為1〇〇重量 ’ 1〜100重置部之範圍，而作為更適宜之範圍為1〜5〇重量 邛。依阻燃劑之阻燃效果於前述範圍内調整其調合量為 佳。阻燃劑之量太多則有招致降低介質損耗角正切之情 形。為進-步提升阻燃性作為阻燃劑亦可添加三氧化錄、 四氧化銻、五氧化銻、銻酸蘇達等之銻系化合物或，三聚 氰胺 '三丙烯基·三氮苯_2,3,4·(1Η，3H，5H)_三嗣、 2,4,6-三丙烯氧基-i，3,5-三氮苯等含氮化合物。 於本發明’在介電特性所允許的範圍亦可將通用硬化樹 脂作為第二交聯成分添加。作為通用硬化樹脂之例可舉齡 _、環氧樹脂、氛酸樹脂、乙料基物旨、熱硬化聚 本驗樹脂等。由於通用熱硬化樹脂於分子内具有極性基可 提升導體配線與絕緣層之接著性、絕緣層之機械強度。 :本：明將前述低介電常數絕緣層與高介電常數絕緣層 t路而求之特性組合，可製作同時具有低介電常數絕緣 S4579-970721.doc -16- 1304813 絕緣層亦可存在於 層。萨、面内，亦可多層化而每存在於各 化。猎此了兩互電子零件之小型化與更高一層之高速傳送 電=件基於各電子零件所需求之需求特性說明本發明之 (1)半導體裝置 先削，而頻半導^^ + ^土 之配線間靜·容：為減低成為高頻動作之障礙 如圖1所示射制作為絕緣層之密封 、:在’裝製造。於本發明以特定調合比之交聯成分，其 二般式⑴所表示、低介電常數絕緣粒子、依需要高分; =势阻燃劑及第二交聯成分、脫模劑、著色劑等之低介 A吊且低介質損耗角正切之樹脂組合物於有機溶劑或者 狀態混合分散’以該低介電常數、低介質損耗角正 入树月g，且口物覆i半導體晶片，依需要藉由乾燥、硬化低 介電常數、低介質損耗角正切樹脂層絕緣保護製作半導體 裝置。孩低介電常數、低介質損耗角正切樹脂組合物可以 验24〇c之加熱進行。於圖2表示本發明之高頻用半導 體裝置之-例，惟其形狀並非特別限定為此者。依,昭本發 明可藉由便宜料模成料，製作傳送速度高、介電敎 小而高效率之高頻用半導體裝4。料本發明之低介電常 數、低介質損耗角正切絕緣層之形成方法，有傳送沖壓、 填缝等’可對應半導體裝置之形狀適當選擇。雖半導體裝 置 < 形態並不特別限定，有例如捲帶式封裝、半導體晶片 於配線基板上裸晶構裝之半導體裝置等可例舉。 84579-931022.doc -17- 1304813 (2)多層基板 與先前之熱硬化樹脂組合物比較以一般式（I)所表示之交 聯成分之低介質損耗角正切較低。因此將本交聯成分使用 於絕緣層之配線基板成介電損失少高頻特性優越的配線基 板。以下，說明多層配線基板之製作方法。於本發明，成 為多層配線基板之起始材料之預浸材料或者付有絕緣層之 導體箔，以特定調合比之以一般式（I)表示之交聯成分、高 分子量體、依照需要低介電常數絕緣粒子、或高介電常數 絕緣粒子、阻燃劑及第二交聯成分、脫模劑、著色劑等之 低介質損耗角正切之樹脂組合物於溶劑中混練漿化後塗布 於玻璃布、不織布、導體箔等基材，乾燥製作。預浸材料 可作為層合板之核心材、層合板與層合板或導體箔之接著 層兼絕緣層使用。所謂本發明之核心材為，將付有絕緣層 之導體箔擔持、補強之基材，玻璃布、不織布、片材、陶 瓷基板、玻璃基板、環氧樹脂等通用樹脂基板、通用層合 板等可例舉。使用於漿化之溶劑，以調合之交聯成分、高 分子量體、阻燃劑等之溶劑為佳，作為其例有二曱基曱醯 胺、甲乙酮、甲基異丁基酮、二氧陸圜、四氫呋喃、甲苯、 氯仿等可舉。預浸材料、付有絕緣層之導體箔之乾燥條件 (B階化）依使用之溶劑，塗布之樹脂層之厚度調整。例如利 用甲苯，形成乾燥膜厚約50 μιη之絕緣層時，以80〜130°C乾 燥30〜90分為宜。依必要絕緣層之厚度以50〜300 μιη為佳， 依照用途或需求特性調整（配線圖案尺寸、直流電阻）。 以下，表示多層配線基板之製作例。於圖3表示第一之 84579-931022.doc -18- 1304813 例。圖3(A):疊特定厚度之預浸材料丨〇與導體箔丨丨。使用 之導體箔為金、銀、銅、鋁等導電率佳者中任意選擇。其 表面形狀有必要提高與預浸材料之接著力時利用凹凸大的 箔，有必要將高頻特性更高一層提升則利用具有相對較平 滑表面之箔。導體箔之厚度於蝕刻加工性的觀點以9〜35^m 者為佳。圖3(B):藉由將預浸材料與導體箔邊壓著加熱之 沖壓加工接著、硬化，可得於表面具有導體層之層合板丨3。 加熱條件以120〜24(TC、1_0〜5MPa、卜3小時為佳。又，沖 壓加工之溫度、壓力於上述範圍内多階段亦可。本發明所 仵 < 層合板起因於絕緣層之低介質損耗角正切非常低顯示 優越的高頻傳送特性。 接著說明兩面配線基板之製作例。圖3(c):於先製作之 層合板之特定位置藉由鑽孔加工形成貫穿孔14。圖 藉由鍍敷於貫穿孔内形成鍍敷膜15，將正反面之導體箔電 性連接。圖3(E):將兩面之導體搭圖案化形成導體配線16。 接著說明多層配線基板之製作例。圖4(A):利用特性厚 度之預浸材料與導體n製作層合板13。圖4(B):於積板層 之兩面形成導體f|16。圖4(c):於圖案形成祕層合板^ 疊預浸材料H)與導體㈣。圖4(D):加熱加壓㈣層形成 導體簿。圖4⑻：於特定位置藉由鐵孔加工形成貫穿:…。 圖4(F):於貫穿孔内形成鍍敷膜15，將層間電性連接。圖 4(G).將外層之導體㉝施以圖案化形成導體配線^。 接著表示利用付有絕緣層之銅㈣之多層配線基板之製作 例。圖5(A):於導體落U將本發明之樹脂組合物之清漆塗 84579-931022.doc -19- 1304813 l 布，乾燥製作具有為硬化之絕緣層17之付有絕緣層之導體 vl 18。圖5(B):將核心材19與付有絕緣層之導體箔18重疊。 圖（）藉由冲壓加工將核心材19與付有絕緣層之導體箔 18接著，形成層合板13。藉由預先將核心材之表面結合處 理或粗化處理以提升核心材與絕緣層之接著性。圖: 圖案化層合板13之導體箔11形成導體配線16。圖5(E):於 /成配泉之層合板丨3疊付有絕緣層之導體箔18。圖5(F): 藉由冲壓加工將層合板13與付有絕緣層之導體辖18接著。 圖〜(G广於特定位置形成貫穿孔14。圖5(h) :於貫穿孔“ 内开/成鍍敷膜15。圖5(1):將外層之導體络（丄圖案化形成導 體配線16。 接著表示以絲網印刷之多層基板之製作例。圖6㈧：將 層口板13《圖案化導體箱，作導體配線16。圖6(B):將本 發明<樹脂組合物之清漆以絲網印刷塗布，乾燥形成絕緣 層”。此時’藉由絲網印刷將介電常數相異之樹脂组合物 2刀地塗布’可於與絕緣層17同—面内形成具有相異介電 吊數《，，·邑緣層。圖6(c):於絕緣層17將導體㈣重疊，藉 由沖壓加工接著。圖6⑼：於特定位置形成貫穿孔14。圖 6⑻:於貫穿孔内形成鍍敷㈣。晴):將外 11圖案化形成導體配線16。 於本發明’不《前述之例，可形成種種的配線基板。 施以配線形成之複數層合板經由預浸材料-口氣 二合二：多層化或，以藉由雷射加工或者乾式蝕刻加工形 成 <目㈣可製作將層間電性連接之表面層合多層配線基 S4579-931022.doc -20- 1304813 =於多層配線基板之製作，可任意選擇各絕緣層之介電 吊數介質損耗角正切’混載相異特性之絕 低介電損失、古、φ搞、、， , J對應 宅谓天阿速傳送、小型化、低價化等目的組合。 精由將本發明之低介質損耗角正㈣脂組合物作為絕缘 胃使用可得介電損失小高頻特性優越之高頻用電子究件。 再者藉由如前述之多層配線基板之製作方法將元件圖案内 建於導體配線内，可得具有種種功能之高性能高頻用電子 零件。作為一例，可製作至少具有電容器、電感器、：線 之種功把之多層配線基板。又，例如，依需要藉由組合 =種安裝零件，可製作，變壓電路、濾波電路、耦合器： %壓控制發訊器、功率放大器、RF模組等。 (實施例） 以下，基於各電子零件所需求之需求特性說明本發明之 電子零件。 於表1、表2表示本發明使用之樹脂組合物之組成及其特 性。表中之組成比以重量比表示。以下說明於實施力所使 用之4劑之名稱、合成方法、清漆之調製方法及硬化物之 評價方法。 U)l，2-二（乙缔苯基）乙烷（Bvpe)之合成 1，2-二（乙埽苯基）乙烷（BVPE)以如下所示之習知方法合 成。於500 ml之三口瓶取格林那反應用粒狀鎂（關東化學 製）5_36 g(220 mm〇l) ’裝上滴液漏斗，氮氣導入管及橡皮 蓋。於氮氣流下，以攪拌子邊攪拌鎂粒子，將系全體以吹 風機加熱脫水。以針筒取乾燥之四氫呋喃3〇〇 m卜通過橡 S4579-93l022.doc -21- 1304813 皮蓋注入。將溶液冷卻為-5°C後，利用滴液漏斗將乙烯芊 基氯（VBC，東京化成製）30.5 g (200 mmol)花約4小時滴下。 滴下終了後，以〇°C /20小時，繼續攪拌。反應終了後，將 反應溶液過遽去除殘餘之鎂，以減塵濃縮機濃縮。將濃縮 溶液以己垸稀釋，以3.6 %鹽酸水溶液洗淨1次，純水洗淨3 次，接著以硫酸鎂脫水，將脫水溶液通矽膠（和光純藥製和 光膠C300)/己烷之短層析管柱精製，真空乾燥得BVPE。所 得BVPE為m-m體（液狀），m-p體（液狀），p-p體（結晶）之混合 物，產率為90%。以1H-NMR調查結構其值與文獻值一致（6H-乙烯基：α-2Η，6.7，/3-4H，5.7、5.2 ; 8H-芳香族：7.1〜7.35 ; 4Η-亞曱基：2.9)。 將該BVPE作為交聯成分使用。 (2)其他試劑 其他的高分子量體，作為交聯成分，使用以下所示者。 高分子量體： PPE : Aldrich製，聚-2,6-二甲基-1,4-苯醚 PBD : Aldrich製，聚-1，4-丁二晞，液狀高分子量體
StBu : Aldrich製，苯乙晞-丁二烯共聚物 硬化觸媒： 25B :日本油脂製，2,5-二曱基-2,5-二（過氧化叔丁基）-3-己炔（過氧化己炔25B) 阻燃劑： 荸薺防護（HISIGARD，商品名）：曰本化學工業製，紅磷 粒子（HISIGARD TP-A10)，平均粒徑 20 μηι 84579-931022.doc -22- 1304813 * 有機不織布： 可樂麗（Kuraray)公司製貝克特蘭MBBK(VectranMBBK : 商品名）（約50 μπι厚） 低介電常數絕緣體： Ζ-36 :東海工業製，硼酸玻璃氣球（平均粒徑56 /xm) 高介電常數絕緣體：
Ba-Ti系：於1 GHz之介電常數70，密度=5.5 g/cm3，平均 粒子1.5 μπι之欽酸鋇系之無機充填劑 (3) 清漆之調製方法 將以特定量之組成之樹脂組合物藉由以氯仿或者無溶劑 狀態混合，分散製作樹脂組合物之清漆。 (4) 樹脂板之製作 將前述，含有溶劑之清漆塗布於PET膠片乾燥後，將此剝 離，於聚四氟乙烯（以下，簡稱PTFE)製之間隔板内放入特 定量，經由聚亞醯胺膜及鏡板，於真空下，加熱及加壓作 為硬化物得到樹脂板。加熱條件為，120°C/30分，150°C/30 分，180°C/100分，沖壓壓力1.5 MPa之多斷加熱。樹脂板之 大小為 7〇x7〇x1.5 mm。 上述無溶劑系之清漆流入PTFE製間隔板内，在氮氣氣流 下以120°C/30分、150°C/30分、180°C/100分之加熱條件硬 化，得到樹脂板。樹脂板的大小為7 0 X 7 0 X 1.5 mm。 (5) 預浸材料之製作 於實施例所製作之預浸材料全部都是，將樹脂组合物之 清漆含浸於特定之有機不織布，藉由於室溫約1小時，以9 0 84579-931022.doc -23 - 1304813 °C乾燥60分鐘製作。 (6)預浸材料硬化物之製作 為了解作成層口板時之預浸材料特性，將以前述方法製 作《預&材料於真$下，加熱及加壓製作模擬基板。加敎 條件為 120°C/30分，ι5(Γγ。 ’、 iDUC/30分，i80°c/100分，沖壓壓力 MMPa之多斷加熱。模擬基板之大小為7㈡㈣5贿。 ⑺介電常數及介質損耗角正切之測定 介电吊數、介質損耗角正切以空腔共振法（安捷倫科技製 8722ES型網路分析儀，關東電子應用開發製空腔共振器）， 觀測1 GHz之值。 (8)阻燃性 mm3之試樣遵從ul-94評 阻燃性利用樣品尺寸7〇χ3χ15 價。
84579-931022.doc -24- 1304813 介電損耗 0.0008 0.0011 0.0012 0.0013 0.0015 0.0025 0.004 角正切 阻燃性 無 VO VO VO VO VO VO 備註 低e， 低e， 低e， 低e， 高e， 而6 ’ 低tan δ 低 tan δ 低 tan δ 低 tan δ 低 tan δ 低 tan δ 低 tan δ 表2 實施例8 實施例9 實施例10 實施例11 BVPE 50 50 50 70 PPE 50 50 20 0 StBu 0 0 30 0 PBD 0 0 0 30 25B 0.5 0.5 0.5 0.5 Ba-Ή 系 0 440 0 0 Z36 10 0 10 10 不織布 50 15 0 0 介電常數 2.2 12 2 1.8 介質損耗角正切 0.0015 0.0025 0.002 0.002 備註 低e，預浸材料 高e，預浸材料 成型用 封裝用 (實施例1) 實施例1為本發明之高頻用電子零件之絕緣層之一例。因 作為交聯成分利用多官能苯乙烯化合物之BVPE，具有極低 的介電常數與低介質損耗角正切。藉由利用本發明之樹脂 組合物，可製作介電損失小的高頻用電子零件。 84579-931022.doc -25 - 1304813 (實施例2) 實施例2為於貫施例1添加作為阻燃劑之紅磷粒子之樹脂 組合物。藉由添加阻燃劑可將樹脂組合物阻燃化，可提升 才对脂組合物之安全性。 (實施例3、4) 實施例3 4為於實施例2之樹脂組合物添加作為低介電常 緣體《玻璃氣球（Z36)之例。伴隨Z36之添加量的增加 :電常數由2.6降低為i.8。將本樹脂組合物料絕緣層之高 相^子料成介電損失小、而高速傳送性提高。 (實施例5〜7) 數=:5〜7為於實施例2之樹脂組合物添加作為高介電 ==陶'粒子(B，)。隨著—含有率之增 (實施例8) _幻型^頻用電子零件‘
實施例8為以有機不織布作為 ㈣的方式製作之預浸材料。本^㈣含有I成 接著層。利用Hi ^可料作為層合板與層合板之 數、介質損耗角I 預浸材料製作之絕緣層因介電' 男耗角正切低可製作高速 頻用電子零件。 、低介電損失之f (實施例9) λ施例9為以有機不織布作為基 wt〇/〇的方式製作之預产 ,"^吏樹脂含有量成1 84579-931022.d〇〇 一 〇預浸材科，可與鋼箔層g -26- 1304813 接著作成層合板。 ，、 接著層。利用本實施例、:用於作為層合板與層合板之間 數高可使電路小型化，Γ材科製作之畴層因介電常 損失之高頻用電=件介質損耗角正切低可製作低介電 (實施例I 〇) 實施例10為熱硬化性刑 實施例之組合物可加工種種：型品脂之例。利用本 物因介電常數、介質Γ 树脂組合物之硬化 所形成之絶缘声、! 均低’故具有由該組合物 失性之高頻用電子零件。傳輕、低介電損 (實施例11) 實她例11為形成低介電常 物之液狀樹脂组合物。液狀耗角正切之硬化 下注模。又，且有由H &物，可於常溫且低壓 之高頻用電予:=樹脂组合物所製作之絕緣層 高速傳送、低介雪f生、上 -1貝扣耗角正切而成 _ I電知失《咼頻用電子零件。 於本發明，可利用如前述之各種: 組合物，製作億接姑β展 低4負抽耗角正切樹脂 1作傳运特性優越的高頻 組合物所形成之絕緣層因介質損耗角正切二=: 電損尖柹Α古、 刀低而成具有低介 、 间政率之鬲頻用電子零件。 (實施例12) 樹脂封裝型之半導 7(A) . . m 置乂如以下的方式製作。圖 心導=具有導線端子26之絕緣基材2。上經由接著劍 麵伽2.d。/ 3搭載。圖7⑻：導線端子26與半導體晶^ ^ 1304813 <電極以金線配線7連接。圖7(c):留下導線專子之一部分 利用實施例ίο之樹脂組合物鑄模成型。硬化條件為壓力^5 MPa、12(TC/30分、15(rc/3()分、⑽。⑼⑼分多階段加散。 本半導體裝置因覆蓋配線之絕緣層為低介電常數、低介質 損耗角正切，故訊號的傳送速度高’且起因於介電損失之 訊號衰減也少。 (實施例13) 樹脂封裝型半導體裝置以如以下的方式製作。圖“A): 藉由將實施例8之低介電常數預浸材料22與銅箔21基層沖 壓加工製作層合板。圖8(B):於層合板之正反面形成配線 23。圖8(C):於特定之位置形成貫穿孔14，於貫穿孔“内 形成鍍敷膜15將層合板之正反面電性連接。圖8(D):將半 導體晶片3之電極與層合板上之配線以金凸塊24接合。圖 8(E):將特定形狀之低介電常數預浸材料22與銅箔21之層 合體以沖壓加工層合接著。圖8(F):以實施例灯之樹脂組合 物將半導體晶片3覆蓋，加熱，形成低介電常數絕緣層8。 圖8(G):將外層之銅箔21圖案化形成外層配線。如此地於 多層配線積板内將半導體晶片嵌入則因無不需利用打線， 而傳送距離變短，可進一層的低介電損失化。再者，於多 層配線積板内及表面可形成後述之各種元件。藉此可將高 頻用電子零件進一層的小型化。 (實施例14) 樹脂封裝型半導體裝置以如以下的方式製作。圖9(a): 將以自動接合（TAB)法生產之例示於圖9。圖9(A):以由不 84579-931022.doc -28- 1304813 織布與實施例1之樹脂組合物所成之在承載帶25(樹脂含有 率30〜50 wt%)與銅箔21重疊沖壓加工，製作自動接合捲 帶。沖壓條件為18(TC/100分，1.5 MPa。承載帶之膜厚，因 耑賦予自動接合捲帶彈性而為30〜1〇〇 。圖9(B):將自動 接合捲帶上之銅膜21圖案化形成導線端子26。圖9(c):將 半導體晶片3上之電極與自動接合捲帶上之導線端子％以 金凸塊24連接。圖9(D):將半導體晶片3以實施例丨丨之低介 電常數樹脂組合物8覆蓋硬化。硬化條件為12(rc /3〇分，15〇 C /30分，180°C /100分多階段加熱。本半導體裝置因承載帶 及封裝樹脂之介電常數、介質損耗角正切均低而成低損失 之承載帶型封裝。 以上，表示半導體封裝之製作粒，惟其封裝方法、封裝 形狀、配線方法、連接方法可任意選定。本發明之主幹為 利用低介質損耗角正切之樹脂組合物保護、絕緣半導體晶 片及週邊之配線，藉此可低介電損失且高速傳送者。 (實施例15) 以下表示電感（線圈）之製作方法。圖1〇(A):於實施例8 之低介電常數預浸材料22與銅落21所成之層合板之特定位 置形成貫穿孔14，於貫穿孔14内形成鍍敷膜15。接著將銅 泊21圖案化，於兩面形成線圈電路28與墊27。圖i〇(b):將 低介電常數預浸材料22與銅箔21重疊藉由沖壓加工層合接 著。圖io(c):於特定位置形成貫穿孔14，於貫穿孔14内形 成鍍敷膜丨5。圖10(1)):將外層之鋼箱21圖案化形成配線 23。線圈圖案可經由貫穿孔進一步層合，亦可於同一面内 84579-931022.doc 1304813 形成複數之線圈圖案，以配線結合。本電感因以低介電常 數、低介質損耗角正切絕緣層覆蓋，成介電損失非常小而 高效率之電路。 (實施例16) 以下表示電容（電容器）之製作方法。圖11(A):將實施例9 之兩介電常數預浸材料29與銅箔21重疊，藉由沖壓加工製 作層合板。圖11(B):將層合板之兩面圖案化形成電容圖案 44與墊27。圖ll(C):將具有電容圖案之層合板、高介電常 數預浸材料29、實施例8之低介電常數預浸材料22與銅箔21 重疊藉由沖壓加工層合接著。硬化條件為18〇它/1〇〇分，L5 MPa。圖ll(D):於特定位置形成貫穿孔14，於貫穿孔“内 形成鍍敷膜15。圖11(E):將外層之銅箔圖案化形成配線 23。電容圖案可進一部多層化，亦可透過外層配線並聯。 藉此可調整容量。本電容可因起因於介質損耗角正切低而 減低介電損失。又，藉由高介電常數化可將圖案面積縮小， 導致可貢獻於電子零件之小型化。 (實施例17) 以下表示可變傳感器之製作例。利用實施例9之高介電常 數預浸材料與銅箔製作圖12〜圖18所示配線積板a〜g。示於 圖12〜圖14之配線積板a ’ c具有謀求與接地3〇及内層配線連 接之墊27’配線積板b於兩面具有接地層。圖15〜圖18所示 配線積板d，e，f，g具有訊號波長λ之四分之一之長度之螺 旋狀配線23、以與外部端子之連接為目的之墊27及配線 23。將a〜g之配線基板經由高介電常數預浸材料層合接著的 84579-931022.doc -30- 1304813 同時，將螺旋狀配線，構成圖19之等價電路的方式以貫穿 孔等連接’形成圖2()之可變傳感^。圖Η之3㈠續應於具 有長度<螺旋狀電路。本發明之可變傳感器，因利用 ^介電常數之絕緣層而波長縮短效果高，可貢獻於高頻用 電子零件之小型化。又，本高介電常數絕緣層因低介質損 耗角正切非g小故顯示介電損失小而優越的高顏特性。 (實施例18) 、以下表示層合濾波器之製作例。於圖21表示等價電路， 於圖22表示構成構件。利用實施例9之高介電常數預浸材料 29與鋼强21製作對應於圖21之等價電路之零件之層合板。 本層合板為具有帶狀電路36、電容電路37之配線基板(圖 22⑷、⑻）。接著將高介電常數預浸材料經由層合板a、匕 層合接著’製作圖22⑷所示層合滤波器。該層合滤波器之 各電路透過端面與外部電極38及接地3〇連接。再者，於圖 22則接地30與帶狀電路36之連接電路省略。藉由本層合濾 波器可得所期望之傳輸特性。本發明之層合遽波器其絕緣 層之介質損耗角正切非常小，優於高頻特性，可將帶狀線 共振器之介電損失抑制於低。 (實施例19) 以下表示耦合器之製作例。圖23為構成構件，圖24為耦 合器之剖面圖，圖25為内層電路之配線圖，圖26為表示等 價電路。圖23(a)、⑷為具有與接地3G及外部端子或内部配 線連接之墊27之配線基板。圖23(b)、（c)為具有鍍敷膜15之 冠穿孔14連接之螺旋狀配線23與配線23之末端形成之具有
84579-931022.doc -3U 1304813 墊27之配線基板。將各構件如圖以所示地經由本發明之預 浸材料22或29層合，藉由沖壓加工接著。接著，形成將内 層與外層連接之貫穿孔14及鍍敷膜15。如圖25所示配線 圖，配線23及接地30經由施有鍍敷膜15之貫穿孔丨々連接於 層合基板表面之墊27。兩個螺旋狀的配線23為線圈，藉此 开/成可k傳感器。藉由使之成如此之結構，可製作與圖％ 之等價電路對應之耦合器。本耦合器要高頻變化時，可使 用實施例8的低介電常數預浸材料，要㈣合器小型化時， 可使用實施例9的高介電常數預浸材料。本發明的轉合器中 所使用的絕緣層具有極低的介質損耗角正切。因此，本發 明之耦合器為介電損失小的高效率耦合器。 (實施例20) 以下表示天線電路之製作例。⑨圖27表示天線之製作 驟。圖27(A):將本發明之預浸材料22或者29與鋼搭21藉， 沖壓加工層合接著。圖27(B):於兩端形成具有塾27之成/
天線用之崎23。於本實施聽成為天線長度為使用頻; 之約V4之電抗元件，形成為曲折狀。圖27(c):於形成天名 之配線23上層合㈣材料22或者29及㈣21，藉由沖壓j 工層合接著。® 27(D):於㈣之特定位置形成貫穿孔二 於貫穿孔14内形成鍍敷膜15。圖27⑻：將外層銅辖敍刻 形成與外部端予謀求連接之初。於天、線電路之絕緣層牙 用實施例8之低介電常數預浸材料22時，可對應於廣帶❹ 訊號。另一方面，作為絕緣層利用實施例9之高介電常 浸材料時，藉由波長縮短硬化可將電路小型化。本發明々 84579-931022.doc -32- 1304813 ^泉电路’因介質損耗角正切非常的低而成介電損失少而 高效率之天線。 、 (實施例21) 表示電壓控制發振器（V〇c)之製作例。#圖财示剖面 圖於圖29表7F等^電路。多層配線板係由電源或者訊號 之配線23、電感電路39、電容電路37、帶狀電路36、接地 刊、外邵電極38、謀求連接層間的貫穿孔配線（圖中省略） 等形成°進—步將半導體裝置、電阻等電子零件40裝上， 形成圖29所示之電路。於各配線之絕緣層對應電路之性質 選擇。於電感電路39、配線23之絕緣層以介電常數、介質 "、耗角正切低之絕緣層為佳於本例則利用實施例8之低介 電常數預浸材料22，形成電容電路37、共振器之帶狀線％ 之絕緣層利用實施例10之高介電常數預浸材料29。藉由作 成如此之構成可製作介電損失極小、小型而高性能的電壓 控制發振器。 (實施例22) 表示功率放大器的製作。於圖3〇表示等價電路，於圖31 表π剖面圖。功率放大器系將電容、電感、半導體、電阻 等電子零件40搭載於外層或形成，將帶狀電路％、接地％、 電源電路（圖中省略），分別之電路結合之貫穿孔（圖中省 略），藉由將配線23形成於多層基板内及表面形成以製作。 方；本裝置之絕緣層利用低介電常數之預浸材料22時，施行 高速傳送、低介電損失，而利用高介電常數預浸材料29時， 施行電路之小型化、低介電損失化。 84579-931022.doc -33 - 1304813 (貫施例23) 表示RF模组之製作例。於圖32表示剖面圖。灯模組係藉 由將電容電路37、電感電路39、天線電路4卜帶狀電路^ 半導體42、電阻43設置於多層基板之内層或外層並將各愛 件以配線23、貫穿孔(圖中省略)連接以形成。藉由本裝置： 絕緣體利用低介電常數預浸材料22施以高速傳送、低介電 損失化：另-方面，藉由利用高介電常數預浸材料29,2 行電路之小型化、低介電損失化。 依照以上之實施例’可製造優於高頻特性之低介質損耗 角正切樹脂组合物作為絕緣層之各種高頻用電子零件。本 電子零件因其絕緣層介質損耗角正切低而成介電損失小效 ^佳的高頻用電子零件。又，藉由將低介質損㈣正切樹 脂組合物高介電常數化可將高頻用電子零件小型化。 [發明之效果] 依照本發明，可得以優於高頻特性之低介質損耗角正切 樹脂组合物作為絕緣層之各種高頻用電子零件。 【圖式簡單說明】 圖1 :先前之高頻用半導體裝置之結構例。 圖2 :本發明之高頻用半導體裝置之結構例。 圖3(A)〜3⑻：表示本發明之多層配線基板之製作例之 圖0 圖4(A)〜4(G):表示本發明之多層配線基板之製作例之 圖。 圖5(A)〜5(1):表示本發日狀多層㈣基板之製作例之圖。 84579-931022.doc -34- 1304813 圖6(A)〜6(F):表示本發明之多層配線基板之製作例之圖。 圖7(A)〜7(C):表示本發明之樹脂封裝型高頻用半導體裝 置之製作例之圖。 圖8(A)〜8(G):表示本發明之樹脂封裝型高頻用半導體裝 置之製作例之圖。 圖9(A)〜9(D):表示本發明之樹脂封裝型高頻用半導體裝 置之製作例之圖。 圖10A)〜10(D):表示本發明之電感器之製作例之圖。 圖11(A)〜11(E):表示本發明之電容器之製作例之圖。 圖12:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖13:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖14:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖15:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖16:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖Π:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖18:表示形成本發明之可變傳感器之層合板之圖。 圖19 :表示本發明之可變傳感器之等價電路之圖。 圖20:表示本發明之可變傳感器之圖。 圖21 :表示本發明之層合濾波器之等價電路之圖。 圖22(a)〜22(c):表示本發明之層合遽波器之構成構件之 圖。 圖23(a)〜23(d):表示本發明之耦合器之構成構件之圖。 圖24·表示本發明之搞合器之圖。 圖25 :表示本發明之搞合器之内裝配線圖之圖。 84579-931022.doc -35- 1304813 圖26:表示本發明之偶合器之等價電路之圖。 圖27(A)〜27(E):表示本發明之天線之製作例之圖。 圖28 :本發明之電壓控制發振器之圖。 圖29:本發明之電壓控制發振器之等價電路之圖。 圖30:本發明之功率放大器之等價電路之圖。 圖31 :本發明之功率放大器之圖。 圖32 :本發明之RF模組之圖。 【圖式代表符號說明】 1 基材 2 凹部 3 半導體晶片 4 蓋子 5 密封件 6 端子 7 金線配線 8 低介電常數絕緣層 9 導線架 10 預浸材料 11 導體箔 13 層合板 14 貫穿孔 15 鍍敷層 16 導體配線 17 絕緣層 84579-931022.doc -36- 1304813 18 付有絕緣層之導體箔 19 導線端子 20 絕緣基材 21 銅箱 22 低介電常數預浸材料 23 配線 24 金凸塊 25 承載帶 26 導線端子 27 墊 28 線圈電路 29 高介電常數預浸材料 30 接地 31 帶狀電路 32 帶狀電路 33 帶狀電路 34 帶狀電路 35 接地端子 36 帶狀電路 37 電容電路 38 外部電極 39 電感電路 40 電子零件 41 天線電路 -37- 84579-931022.doc 1304813 42 半導體 43 電阻 44 電容圖案 84579-931022.doc

Claims (1)

1304¾ i3m44i號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(97年7月）U:.. ' 拾、申請專利範圍：^一^ i·:種高頻用電子零^^#@送〇.3〜i〇〇GHz之電 氣訊號之導體配線及熱硬化樹脂組合物之硬化物之絕 緣層者，前述絕緣層包含：於丨GHz之介電常數為未滿 2-6、介質損耗角正切為未滿〇 〇〇25、且可以下述之一般 式⑴表示之交聯成分之交聯結構體：
(式中’R為表示碳數2〜57之烴骨架，R丨為表示相同或相 異之氫或碳數1〜20之烴基’U3及R4為表示相同或相 異之氫原子或碳數!〜6之烴基，m為表示卜4之整數， 為表示2以上之整數）。 2. 3. 4. 如申凊專利範圍第丨項之高頻用電子零件，其中前述絕 緣層於1 GHz之介質損耗肖正切之值狀⑼㈣〇〇25。 申。月專利fe圍第1項之高頻用電子零件，其中前述絕 緣層含有重量平均分子量5000以上之高分子量體。 申°月專利fe圍第1項之高頻用電子零件，立中前述絕 緣層係由介電常數相異之複數絕緣材料所構成之複合 84579-97072l.doc 1304813 材料。 5. 6. 7. 8. 9. 10 如申請專利範圍第1項之高頻用電子零件，其中具有於i GHz之介電常數為1.5〜3.0之絕緣層。 士申明專利範圍第5項之高頻用電子零件，其中前述絕 緣層含有至少一種由平均粒徑〇.2〜100 μηι之低介電常數 树月曰粒子、中空樹脂粒子、中空玻璃氣球及空隙所選擇 之低介電常數相。 如申請專利範圍第丨項之高頻用電子零件，其中具有於i GHz之介電常數為之絕緣層。 如τ s月專利範圍第7項 -.« v兮ΊΤ，丹r珂述絕 緣層含有平均粒徑〇·2〜1〇〇 μιη之陶竟粒子或已施行絕綠 處理之金屬粒子。 其中前述絕 如申請專利範圍第1項之高頻用電子零件 緣層含有阻燃劑。 如申請專利範圍第9項之高頻用電子零 ” 燃劑為紅鱗粒子或下述—般式（1 ⑴述阻 燃劑之任一者： ）所表示之有機阻 84579-970721.doc 2- 1304813
(式中，R5、R6為氫或碳數1〜20之相同或相異均可之有機 殘基）。 11.如申請專利範圍第1項之高頻用電子零件，其中前述絕 84579-970721.doc -3- 1304813 、’層含有㈣脂、環氧樹脂、氰酸樹脂、乙㈣基喊樹 =、或熱固性聚苯_脂之任—者作為第二交聯成分。 7種高頻用電子零件，其係將半導體晶片以絕緣層封 裝，其特徵在於：前述絕緣層包含：於丨咖之介電常 數為未滿2.6、介質損㈣正切為未滿〇 〇〇25、且可：下 述之—般式⑴表示之交聯成分之交聯結構體：
(式中’ R為表示碳數2〜57之煙骨架，〜為 :之氯或碳數㈣之煙基，一 為表示二 :、之虱原子或碳數卜6之烴基，m為表示w之整數，^ 為表示2以上之整數）。 U.如申請專利範㈣12項之高㈣電子零件，其中該高頻 用電子零件為捲帶式封裝。 ’ 14.如申請專利範圍第]2項 道蝴θ 一用電子零件，其中前述半 導體日日片於配線基板上裸晶構裝。 ]5.=ΤΓ件，其係具有由絕緣層與導體配線所 I _結構之電子零件，其特徵在於·· 緣層包含：於】他之介電常數為未滿26、介質損耗角 84579-970721.doc -4- 1304813 正切為未滿0.0025、 成分之交聯結構體： 且可以下述之一 般式（I)表 示之交聯
(式中’ R為表示碳數2〜57之烴骨架，R达 1為表示相 異之氫或碳數1〜20之烴基，R2、R3&r 或相 a # 〜為表示相同或相 '、之虱原子或碳數1〜6之煙基，m為表千 .# 4之整數，η 马表不2以上之整數）。 16. 17. 18. 如申請專利範圍第15項之高頻用電子零件，其中至，丨、且 有電容、電感、天線之一種功能。 如申請專利範圍第16項之高頻用電子零件，其中形成有 可變傳感電路、濾波電路、耦合器、電壓控制發振器、 功率放大或RF模組之任〆者。 如申請專利範圍第1 5項之高頻用電子零件，其中作為前 述絕緣層混載介電常數相異之絕緣層。 84579-970721.doc -5- 1304813 柒、指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：第（2 )圖。 (二) 本代表圖之元件代表符號簡單說明： 3 半導體晶片 7 金線配線 8 低介電常數絕緣層 9 導線架 捌、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：
84579-931022.doc
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