TWI300052B - - Google Patents

Description

1300052 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關用以搬送液晶面板用玻璃基板等平板狀 搬送物之方法及裝置，尤其是有關大致呈水平狀態置放平 板狀搬送物，支承其下面或上面後進行搬送之平板狀搬送 物的搬送方法及其裝置。 Φ 【先前技術】 一般而言，此種平板狀搬送物係收納於多層的平板架 ，並利用機器臂等搬送裝置搬送至依序的處理裝置，利用 處理裝置施予處理後，再度回到平板架。該平板狀搬送物 的搬送大多是使用日本特開平1 1 -322069號公報所示之由 叉狀的叉指所構成之支承部進行。 在搬送物爲具有如大型的液晶面板用玻璃基板的大面 積’而且厚度爲薄之情況下’因爲由於本身重量所造成之 φ 彎曲量變大，而造成在狹窄的上下間隔，對於使各層兼具 平板架的搬送發生困難等的問題，如上述日本特開平11-3 2 2 0 6 9號公報所示，叉狀的叉指係必須形成爲大致涵蓋平 板狀搬送物之整個領域才能夠支承的大尺寸。 專利文獻1:日本特開平11-322069號公報 【發明內容】 發明揭示 發明欲解決之課題 -4- (2) 1300052 然而，當使載置平板狀搬送物之叉指等爲大 成使機器臂等搬送裝置的搬送負荷變大，而難以 制在正確的位置，並且會導致搬送裝置的大型化 又液晶面板用玻璃基板之類的平板狀搬送物係爲 染，而在搬送時，以儘可能抑制藉由叉指等支承 爲少的情況爲佳。 因此，本發明的目的係以解除前述習知技術 問題點，提供可以使叉指等載置部小型化，而且 平板狀搬送物的接觸變得更少的同時，並且抑制 重量所造成之平板狀搬送物的彎曲變得更小，而 效的搬送之平板狀搬送物的搬送方法及其裝置。 解決課題所用之手段 爲了達成前述目的，本發明係針對在大致以 將平板狀搬送物置放於搬送裝置的載置部，並利 的支承部支承平板狀搬送物的下面或上面的狀態 送之平板狀搬送物的搬送方法，其特徵爲：在支 板狀搬送物的下面或上面之複數個支承部，以既 設置高低差度，並且至少在成爲支承狀態時，利 承部的高低差度，使前述平板狀搬送物被強制彎 支承前述平板狀搬送物之強制彎曲狀態的情況下 述載置部而達到搬送該平板狀搬送物。 又本發明係爲在大致以水平姿勢支承平板狀 狀態下進行搬送之平板狀搬送物的搬送裝置，其 時，會造 迅速且控 等課題。 了避免污 部的接觸 所具有的 可以將對 由於本身 達到更有 水平姿勢 用載置部 下進行搬 承前述平 定的配列 用前述支 曲，並在 ，移動前 搬送物的 係具備： -5- (3) 1300052 使前述平板狀搬送物大致以水平姿勢被置放之載置部；具 有移動前述載置部之機構的搬送裝置之本體部；在前述載 置部上至少成爲2列，並使每列爲複數個配列，而支承前 述平板狀搬送物之支承部，其特徵爲：前述支承部係具備 對於前述平板狀搬送物的上面或下面有不同高度之高低差 度，並且至少在支承狀態時，利用前述支承部的高低差度 ，使前述平板狀搬送物被強制彎曲的手段。 前述支承部係以在朝向前述平板狀搬送物下面或上面 的方向之高度爲低之支承部，具備吸附該下面或上面之吸 附部爲佳，又至少使一部分構成可以進行前述的高度調整 爲佳。再者，前述支承部係構成爲使平板狀搬送物彎曲爲 沿著其長度方向上下的波形、或是使平板狀搬送物彎曲爲 與長度方向垂直之寬度方向的中央爲低的V字型、或者使 中央爲高的山型皆可。 發明效果 本發明係由於構成爲至少在支承狀態時，藉由於支承 前述平板狀搬送物的下面或上面之支承部設置高低差度， 使前述平板狀搬送物被強制彎曲後再進行支承•搬送，可 以減少沿著彎曲的高點或/及低點之方向中的彎曲，並且 可以使叉指等支承部小型化的同時，而且可以抑制對平板 狀搬送物之接觸變得更小。 又將前述彎曲形成爲沿著前述平板狀搬送物之長度方 向上下之波形的話，可以將彎曲量抑制爲更小的同時，而 -6 - (4) 1300052 且可以將前述支承部限定在與長度方向垂直之寬度方向的 中央附近，又可以將前述彎曲限定在前述平板狀搬送物之 與長度方向垂直的寬度方向之兩端附近等。 【實施方式】 爲實施本發明之最佳形態 以下，針對根據本發明之平板搬送物的搬送方法及其 φ 裝置之一實施形態，參照圖面加以說明。 第1圖係爲顯示將本發明適用於以機器臂作爲主體之 搬送裝置的一例者，10爲基台，11爲回轉台，12爲昇降 〜 •旋轉軸，1 3爲第1回轉臂，14爲第2回轉臂，1 5爲手 部’ 1 6係作爲載置搬送物之載置部的叉部。 第1回轉臂1 3、第2回轉臂14係相互反方向回轉而 使手部1 5朝昇降•旋轉軸1 2的半徑方向移動。此時手部 15係連動於第1回轉臂13及第2回轉臂14之回轉而在第 φ 1回轉臂13及第2回轉臂14上面旋轉，使手部15的方向 保持一定。又手部1 5係有別於上述連動，亦可以進行旋 轉。再者，手部1 5係藉由昇降·旋轉軸1 2的昇降而上下 移動，並且藉由回轉台的旋轉而朝昇降•旋轉軸1 2的圓 周方向移動。 第2圖係爲叉部1 6之擴大詳細平面圖，1 7爲載置於 叉部1 6上之由透明玻璃板（例如液晶面板用玻璃基板）所構 成之平板狀搬送物。第3圖係爲由下方所視之叉部1 6的 擴大詳細右側視圖。如第2圖所示，叉部1 6係具有2根 (5) 1300052 叉指16A、16B，兩叉指16A、16B並非位於平板狀搬送物 17之與長度方向（第2圖中之左右方向）垂直的寬度方向（ 第2圖中之上下方向）之兩端部，而是位於寬度方向之比 較中央附近，並且平行於上述長度方向而延伸。因此，叉 部1 6的寬幅係較平板狀搬送物1 7的寬幅更爲狹窄。 於兩叉指16A、16B的上面，係使抵接於平板狀搬送 物1 7的下面並支承此平板狀搬送物之作爲支承部的襯墊 1 8、及對向配置於平板狀搬送物1 7下面之同樣作爲支承 部的吸附部1 9，沿著叉指1 6A、1 6B的長度方向以分別成 列的方式交互配置。吸附部1 9係介由設置在叉指1 6 A、 1 6B及手部1 5內部之未圖示的流路，連接於同樣是未圖 示的真空泵，構成可以真空吸附平板狀搬送物1 7的下面 〇 如第3圖所示，襯墊18係介由墊片20而安裝於叉指 1 6A、1 6B的上面，並且藉由調整墊片20的厚度，可以調 整襯墊18的高度，而構成可以在與吸附部19的吸附面之 間，設定高低差度。另一方面，吸附著1 9係在非吸附狀 態時，將其上端的吸附面設定爲與墊片20上面大致相等 的高度，而在利用真空吸引力吸附平板狀搬送物1 7的下 面時，只下沈1mm至數mm之預先設定的既定量，而構成 對平板狀搬送物1 7施予強制性的彎曲。 其次針對此搬送裝置之作用加以說明。 將叉指1 6 A、1 6 B以第2圖所示的方式插入被收納在 未圖示之平板架內的平板狀搬送物1 7下方後，將叉指 -8- 1300052

16A、16B上昇既定量後，利用襯墊18及吸附部19承受 平板狀搬送物1 7的下面，而將平板狀搬送物1 7從平板架 搬移至叉指16A、16B上。 此時，叉指1 6A、1 6B係由於位在平板狀搬送物1 7之 寬度方向中比較中央附近，因此設置於未圖示之平板架的 支承部係可以形成爲避免與叉指16A、16B之干涉，並且 能夠更確實地支承平板狀搬送物1 7的構造。此係即使是 φ 針對成爲根據該搬送裝置之平板狀搬送物1 7的搬送目的 地之處理裝置等中的平板狀搬送物1 7之支承部亦相同。 其次，藉由未圖示之真空泵使吸附部19動作時，吸 附部1 9係吸附平板狀搬送物1 7的下面，並且藉由該吸附 造成平板狀搬送物的下面下沈既定量。 藉由根據該吸附部1 9之吸附作用的下沈，平板狀搬 送物1 7係被施予在第2圖中之點虛線A所示的部份成爲 高點，點虛線B所示的部份成爲低點的彎曲。換言之，沿 φ 著平板狀搬送物1 7之長度方向，被強制施予上下波形之 彎曲形狀。 如上述所示，被彎曲的平板狀搬送物1 7係減少順著 點虛線A所示的高點及點虛線b所示的低點之方向（寬度 方向）中的彎曲，也就是減少第2圖中之平板狀搬送物1 7 的寬度方向之兩端部分的垂下、及第2圖中之相鄰的叉指 16A、16B之各襯墊18間的平板狀搬送物I?的垂下。 如此一來，若是根據該搬送裝置的話，藉由於平板狀 搬送物1 7強制性地施加波形的彎曲形狀，於平板狀搬送 -9 - (7) 1300052 物1 7中，提高未利用叉指1 6A、1 6B所支撐之朝外側伸出 的周邊部份之韌性，而不易由於本身重量造成彎曲。因此 ，藉由上述彎曲，於第2圖中使上下方向（寬度方向）中之 平板狀搬送物1 7的彎曲量被抑制爲小，又於第2圖中使 左右方向（長度方向）中之平板狀搬送物17之彎曲量係由於 利用襯墊1 8及吸附部1 9所支承而抑制在既定値內，藉由 設置在更狹窄範圍之數量更少的襯墊1 8及吸附部1 9所構 成之支承部，將由於平板狀搬送物17之本身重量所造成 之整體的彎曲量抑制得更小。 第4圖及第5圖係爲顯示本發明之其他實施形態例。 第4圖係爲對應第2圖之另一叉部26的擴大詳細正視圖 。第5圖係爲從右邊看第4圖之叉部2 6的擴大詳細正視 圖。如第4圖所示，叉部26係具有3根叉指26A、26B、 26C ’而中央的叉指26B係位於平板狀搬送物17之與長度 方向垂直之寬度方向的中央，並平行於上述長度方向而延 伸。左右兩叉指26A、26C係位於上述寬度方向之中央與 第4圖中之平板狀搬送物17之上下邊的中間，以上下邊 的附近側爲佳，並且同樣地平行於上述長度方向而延伸。 再者’叉部26之寬幅係較平板狀搬送物1 7之寬幅更爲狹 窄。 上述中央叉指2 6 B之源側端及前側端，係設置與前述 吸附部19相同之吸附部19，而左右的兩叉指26A、26C 之源側端及前側端，同樣地介由墊片2 0，並且以與各吸附 部1 9相同的間隔設置與前述襯墊1 8相同之襯墊1 8。在各 -10- (8) 1300052 叉指26 A、26B、2 6C之源端側及前端側，係分別使襯墊 1 8及吸附部1 9在寬度方向交互配置，分別於第4圖中形 成朝上下方向（寬度方向）延伸的2列，而構成在第4圖中 位於上下位置之襯墊1 8、1 8之間，使吸附部1 9位於其中 。在相鄰的襯墊1 8及吸附部1 9係設置高低差度，並且使 吸附部1 9之吸附面爲低。 襯墊1 8及吸附部1 9之平板狀搬送物1 7的長度方向 位置，係以比較接近該方向之端部，或是接近該方向之中 央與端部的中間位置爲佳。 於本實施形態中，如第5圖所示，使平板狀搬送物1 7 之與長度方向垂直之寬度方向的中央彎曲爲低的V字型。 藉此，可以抑制上述長度方向之平板狀搬送物1 7的彎曲 量爲小，又於第4圖使上下方向（寬度方向）中之平板狀搬 送物1 7之彎曲量係由於利用襯墊1 8及吸附部1 9所支承 而抑制在既定値內，藉由設置在更狹窄範圍之數量更少的 襯墊1 8及吸附部1 9所構成之支承部，將由於平板狀搬送 物1 7之本身重量所造成之整體的彎曲量抑制得更小。 第6圖係爲顯示本發明之另一實施形態例，並且是對 應於第5圖之另一叉部3 6的擴大詳細正視圖。該實施形 態例係與於第4及5圖所示之實施形態例的襯墊1 8及吸 附部1 9的位置相反，構成使平板狀搬送物1 7之中央彎曲 爲高的山型者。若是根據本實施形態例的話，在與第4及 5圖所示之實施形態例相較，雖然使寬度方向中之平板狀 搬送物17的彎曲量變大，但是在產生更大彎曲之長度方 • 11 - (9) 1300052 向中的彎曲量係與第4及5圖所示之實施形態相同，可以 抑制爲小。 在前述的實施形態中，就平板狀搬送物1 7的彎曲例 而言，雖然顯示了沿著平板狀搬送物1 7之長度方向而上 下之波形、與該長度方向垂直之寬度方向的中央爲低之V 字型、及寬度方向的中央爲高之山型，但即使是沿著寬度 方向而上下之波形、長度方向的中央爲低之V字型、及長 度方向的中央爲高之山型等各種彎曲皆可。 又在前述的實施形態中，雖然顯示了將支承平板狀搬 送物1 7下面之襯墊1 8及吸附部1 9所構成的支承部設置 爲2列，但是本發明係不限於此，因應平板狀搬送物1 7 之尺寸及厚度而設置爲3列以上亦可。又支承部亦可藉由 使用下沈量不同的吸附部1 9，並以吸附部代替襯墊1 8而 全部使用吸附部1 9，再者即使是支撐平板狀搬送物1 7之 緣部的夾子式亦可等實施種種變更皆可。 進一步，在前述實施形態例中，雖然顯示了構成爲以 藉由設置於手臂前端之叉部支承平板狀搬送物1 7的下面 之機器臂爲例，但本發明係不限於此，也可以適用於沿著 軌道之類的行進路線，搬送平板狀搬送物之搬送裝置等種 種方式的搬送裝置’又平板狀搬送物1 7的形狀係不限於 四角形，各種形狀亦可。 實施例 使用第2及3圖所示之叉部1 6 ’以同圖所示的方法支 -12- (10) 1300052 承其次之尺寸及厚度的玻璃製平板狀搬送物1 7。但是 平板狀搬送物17之尺寸： 縱 x橫 x厚度=1500mmxl000mm><lmm 叉指16A、16B之間隔=600mm 襯墊1 8及吸附部1 9之間隔=2 4 0 m m 吸附時之襯墊18及吸附部19的高低差度=2mm 此時，平板狀搬送物17之寬度方向的彎曲量=8mm 對應於此，在作爲比較例1者係利用襯墊1 8置換吸 附部1 9，使全部爲相同高度的襯墊1 8，其他的部份係與 上述實施例1相同條件的情況下，寬度方向之彎曲量係爲 9mm 〇 使用第4及5圖所示之叉部26，以同圖所示的方法支 承其次之尺寸及厚度的玻璃製平板狀搬送物i 7。但是 平板狀搬送物1 7之尺寸： 縱 x橫 x厚度=1200mmxl000mmxlmm 叉指 26A、26B、26C 之間隔=300mm 第4圖中襯墊1 8及吸附部1 9之左右方向的間隔 =6 0 0mm 吸附時之襯墊18及吸附部19的高低差度=1 mm 此時，平板狀搬送物17之寬度方向的彎曲量=3 mm 對應於此，在作爲比較例2者係利用襯墊1 8置換吸 附部1 9 ’使全部爲相同高度的襯墊丨8，其他的部份係與 上述實施例2相同條件的情況下，長度方向之彎曲量係爲 4mm 〇 -13- (11) 1300052 產業上之可利用性 本發明係可以廣泛地適用於液晶面板用玻璃基板之類 的形狀爲大且厚度爲薄，並且會由於本身重量而產生比較 大的彎曲之平板狀搬送物的搬送。 明 說 單 簡 式 圖 第1圖係爲顯示本發明之一實施形態例之搬送裝置的 槪要正視圖。 第2圖係爲第1圖所示之搬送裝置的叉部之擴大詳細 平面圖。 第3圖係爲顯示由下方所視之第2圖叉部的吸附狀態 之擴大詳細右側視圖。 第4圖係爲顯示本發明之其他實施形態例的叉部之擴 大詳細平面圖。 第5圖係爲顯示由右方看第4圖之叉部的吸附狀態之 擴大詳細右側視圖。 第6圖係爲顯示本發明之另一實施形態例的叉部之擴 大詳細平面圖。 【主要元件符號說明】 1 0 :基台 1 1 :回轉台 12 :昇降·旋轉軸 -14- (12) (12)1300052 1 3 :第1回轉臂 14 :第2回轉臂 15 :手部 16、26、36:叉部 1 6 A、1 6 B :叉指 26A、26B、26C ：叉指 1 7 :平板狀搬送物 1 8 :襯墊 1 9 :吸附部 20 :墊片

Claims (1)

1. f 1^00052 十、申請專利範圍 第95 1 233 92號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國97年2月22日修正 1 . 一種平板狀搬送物的搬送方法，係針對在大致以 水平姿勢將平板狀搬送物置放於搬送裝置的載置部，並利 用載置部的支承部支承平板狀搬送物的下面或上面的狀態 下進行搬送之平板狀搬送物的搬送方法，其特徵爲： 於支承前述平板狀搬送物的下面或上面之複數個支承 部，以既定的配列設置高低差度， 至少在成爲支承狀態時，利用前述支承部的高低差度 而使前述平板狀搬送物被強制彎曲， 在支承前述平板狀搬送物之強制彎曲狀態的情況下， 移動前述載置部而搬送該平板狀搬送物。 2 .如申請專利範圍第1項所記載之平板狀搬送物的 搬送方法，其中前述平板狀搬送物之彎曲狀態係沿著該平 板狀搬送物的長度方向，使高點與低點交叉且連續上下起 伏的波形。 3 .如申請專利範圍第1項所記載之平板狀搬送物的 搬送方法，其中前述平板狀搬送物之彎曲狀態係爲使該平 板狀搬送物之與長度方向垂直的寬度方向之中央部變低的 V字型。 4.如申請專利範圍第1項所記載之平板狀搬送物的 1300052 搬送方法，其中前述平板狀搬送物之彎曲狀態係爲使該平 板狀搬送物之與長度方向垂直的寬度方向之中央部變高的 山型。 5 ·如申請專利範圍第2至4項中任一項所記載之平 板狀搬送物的搬送方法，其中前述平板狀搬送物係爲液晶 面板用之彩色基板。 6. 一種平板狀搬送物的搬送裝置，係爲在大致以水 平姿勢支承平板狀搬送物的狀態下進行搬送之平板狀搬送 物的搬送裝置，其係具備： 使前述平板狀搬送物大致以水平姿勢被置放之載置部 9 具有移動前述載置部之機構的搬送裝置之本體部； 於前述載置部上至少成爲2列，並使每列爲複數個配 列，而支承前述平板狀搬送物之支承部，其特徵爲： 前述支承部係具備對於前述平板狀搬送物的上面或下 面有不同高度之高低差度，並且至少在支承狀態時，利用 前述支承部的高低差度，使前述平板狀搬送物被強制彎曲 的手段。 7. 如申請專利範圍第6項所記載之平板狀搬送物的 搬送裝置，其中前述支承部係由抵接支承於前述平板狀搬 送物的下面或上面之襯墊、及具有位於較前述襯墊的抵接 面高度更低的吸附面之吸附部所構成。 8·如申請專利範圍第6或7項所記載之平板狀搬送 物的搬送裝置，其中前述支承部係至少使一部份構成爲能 -2 -

   乜00052 夠進行前述的高度調整。 9. 如申請專利範圍第8項所記載之平板狀搬送物的 搬送裝置，其中前述支承部之襯墊係以介由墊片而可進行 高度調整的方式安裝於載置部。 10. 如申請專利範圍第6項所記載之平板狀搬送物的 搬送裝置，其中前述載置部之支承部的襯墊及吸附部係以 沿著前述平板狀搬送物的長度方向，使其彎曲爲上下起伏 之波形的方式交互配列。 11. 如申請專利範圍第7項所記載之平板狀搬送物的 搬送裝置，其中前述載置部之支承部的襯墊及吸附部係以 使前述平板狀搬送物彎曲爲與其長度方向垂直的寬度方向 之中央變低的V字型的方式，交互配列於寬度方向。 12. 如申請專利範圍第7項所記載之平板狀搬送物的 搬送裝置，其中前述載置部之支承部的襯墊及吸附部係以 使前述平板狀搬送物彎曲爲與其長度方向垂直的寬度方向 之中央變高的山型的方式，交互配列於寬度方向。 1 3 .如申請專利範圍第1 0或1 1項所記載之平板狀搬 送物的搬送裝置，其中前述載置部係至少由具有2根叉指 之叉部所構成。 14.如申請專利範圍第13項所記載之平板狀搬送物 的搬送裝置，其中構成前述叉部之各叉指上，係以既定的 間隔交互配列襯墊及吸附部。 1 5 ·如申請專利範圍第1 3項所記載之平板狀搬送物 的搬送裝置，其中前述叉部之叉指係由以一定的間隔配列 -3- 1^00052 襯墊之叉指、及以與前述襯墊相同間隔配列吸附部之叉指 所構成，而且前述襯墊及吸附部係構成在叉部之寬度方向 交互配置的配列。 16. 如申請專利範圍第1 3項所記載之平板狀搬送物 的搬送裝置，其中前述叉部的寬幅係較平板狀搬送物的寬 幅更窄短。 17. 如申請專利範圍第6項所記載之平板狀搬送物的 搬送裝置，其中前述搬送裝置之本體部係由具備在水平面 上旋轉的旋轉臂之機器臂所組成。 -4-