TWI280079B - Surface-treated copper foil having grayed surface, process for producing the same and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display wherein use is made of the surface-treated copper foil - Google Patents

Description

1280079 ^ 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 .本發明係有關具有灰色化處理面之表面處理銅箔及使 用該表面處理銅箱之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導 電性網片。特別是提供適於製造電聚顯示器前面板用的電 • 磁波遮蔽導電性網片之表面處理鋼箱。 【先前技術】 φ 電漿顯示器面板的遮薇用導電性網片，由金屬化纖維 織造物變遷為導電性網片。於此導電性網片的製造已有數 種方法被確立。其一為將表面處理鋼箔層疊貼合於pet薄 膜，使用光蝕刻法製造之。接著，另一係以光蝕刻法同時 蝕刻表面處理銅箔與支撐基材，其後，剝離支撐基材而得 知表面處理銅箔單體之導電性網片。 進而，近年來由於省電力化的要求，開發目標係使電 漿產生訊號電壓由200V降低至50V程度，伴此而有隨著該 參電壓的降低之亮度減少、使導電性網片的電路寬幅細窄 化、藉由導電性網片減少前面玻璃面板的覆蓋率等嘗試 因此，也使導電性網片的厚度變薄，而使蝕 旨” 、y 鄉刻加工更容易 進行。其中一種作法係藉由濺射蒸鍍法形成 % 1下為雷梦沾# 子（啟始處）之薄片層，其後以電解銅電鍍等形、广、一 k層，以光蝕刻法，進行使網片線寬幅微細道成薄的銅 '的製造。 之導電性網片 無論以哪一種方法製造導電性網片，

、 τ电性網片自I 都被組入前面板之中而可通過前面玻璃而 却辰面視覺確 2213-6894-PF;Ahddub 5 1280079 認’該行業業者間都使用具備黑色化處理表 化處理表面的表面處理銅箱木褐色 (現行之具備黑色化處理表面的表面處理鋼爷） 於此導電性網片被加卫的表面處理銅 理為黑色使透過光的亮度拉高。從前，於此處理轉用：： 了提南多層印刷電路板之内層電路與樹脂 了為 成氧化銅層之黑化處理等。 接〖生而形 然而，上述的黑化處理有重大的問題 表面附著很多銅的黑色氧化物時，〜p，於銅箔 面。然而’形成於銅落表面的銅的里色氧：：好的黑色化 多就越容易從黑色化面脫落，亦即引 ,、：：量越 黑化處理面容易受損傷，處理變 叔現象，使 調安定性也有所缺乏。 、。此外，黑色的色 發生落粉現象的話，脫落的黑 所，在供使與前面面板玻璃一體化明:入無用之處 散於透明黏著劑層而成為使透明度劣化的理因時，會分 另一方面，作為可以形成良好的 ” 理，亦有被檢討一般的里…、色化面之黑色化處 取幻黑色鎳電鍍、 等，但是存有不能夠以通常的銅餘刻‘由、里、-、録電鐘 側蝕刻加工的問題。特 壬序由…色化處理面 的黑色化處理面的表面處：銅箱使：：錦充裕(―)析出 大量使用昂貴的錄等的緣故 ：、法解決落粉的問題’ (現行之具備茶褐色化處理表面之成/昂貴的製品。 另一方面，電 。之表面處理銅箱） 要求具有良好黑色晝面的表面處理=技術成熟，從前僅 術及管理的高度化，並不必二/自，但伴隨著製造技 來向水準之電磁波遮蔽網 2213-6894-PF;Ahddub 1280079 片的黑濃度，反而是具有低價格容易加工而透光度安定之 高開口率的網片圖案的電磁波遮蔽網片為市場所需要。 亦即’在現在市場上流通的鈷之黑色系電鍍覆膜之銅 猪’產生要使用銅之蝕刻劑進行鈷層之蝕刻加工會很困難 的問題’而有減少異種金屬之量而改採茶褐色色調者之嘗 的確，要考慮到滿足低價的條件，且要容易進行蝕刻， ==檢討減少把表面處理銅羯的表面到達黑色化：前 的木褐色狀態的鈷等之附著量予以減少而供給至市場之情 但是，從前之具有茶褐色表面的表面處理銅箔的缺 點，是其茶褐色面之顏色並不均勻，在全面產生不均勻 (miira)。亦即，於同一面内無法達成茶褐色處理的均勻化， 因而成為蝕刻所得的網片的剖面形狀產生差異的原因。而 且，=茶褐色面，僅只要輕輕摩擦其表面就容易受到損傷。 ★因此，在市場上虽需具備帶有均句茶褐色的茶褐色化 處理層，且可更容易蝕刻加工的表面處理銅猪。 #^而’具備上述黑色化處理面及茶褐色化處理面的銅 、思白’都有色調安定性的問題，為了縮小各製造批次間的差 ς驟=須要嚴密進行製造條件管自，而必須要耗費魔大的 :e理勞力與費用’因而要降低製品價格供給至市場有 ς極限。一般被認為相關的先行技術，例如有以下的pDp pj ?技術動向’曰立化成技術報告第33號(1 999-7)，特 汗卜186785號公報等顯示出技術水準的相關文獻。 价^ 上述之具備黑色化處理面及茶褐色處理面的銅 泊’疋以在鋼箱的狀態下可以確認的色調為問冑，並未考 22l3-6894-PP;Ahddub ? 1280079 -慮到被加工為電磁波遮蔽導電性網片，被組入電聚顯示器 的前面板時之色調。 . 在此概略說明最一般化的前面濾波器（fiiter)的製造 方法。在製造間距’線寬下的導電性網片 -15的場合，如第U(a)圖所示準備PET薄膜，藉由在盆矣 面設黏著劑層2〇成為顯示於第14(b)圖的狀態。接著，如 ，第⑷e)®所示在歸劑2G之上制㈣法、無電解電链 法等形成一以下的金屬遮蔽層s，其後，如第i4(d)‘ 籲所不藉由電解銅電鍍形成3/Zm以下程度的銅層c。 接著，於該銅層c之上，如第14(e)圖所示形成阻餘 (etchmg 1^8;181：)層R，於該阻餘層R，如第圖所示 •曝光導電性網片圖案’如第15(g)圖所示顯影、蝕刻成為第 15(h)圖所示之狀態，藉由剝離阻蝕層R成為第⑸ 示之狀態。 n 接者，藉由黑色化處理導電性網片15的表面，如第 15(j)圖所示成為在導電性網片的表面形成黑色化處理岸 的狀態❶接著，此黑色化處理結束時，把構成前面濾二 m的第1透明基板19a如第16(k)圖所示抵接按壓於已經累 色化處理的導電性網片5’，而如第16⑴圖所示把已經,愛、 色化處理的導電性網片15，壓入黏著劑層2〇㈣行透明 ，處理。接著，如第16(m)圖所示拉剥開PET薄膜。最後如 第16(n)圖所不，貼合黏著劑層2〇與第2透明基板， 完成前面濾波器1 } 〇 —由以上步驟可知，即使在透明化處理前進行黑色化或 t褐色化而看不見者，只要可以在透明化處理後與透明樹 脂或者與透明基板黏著的狀態黑色化而視覺確認導電性網 2213-6894-PF;Ahddub 〇 1280079 片表面者即可。 將來，無線電視的數位化已預定進行，書係 達速度的高速化也無可避免，考慮到對人體的影 其他電子機器的影響，可想像會對電磁波遮蔽有 法規限制，對使用導電性網片提供電磁波遮蔽性 面濾波器的要求，會更加提高，市場上亟需廉價 的導電性網片。 【發明内容】 在此，本案發明人等，經過銳意研究的結果 用以下所述之具備灰色化處理面的表面處理銅箔 磁波遮蔽用導電性網片。藉由使用此具備灰色化 表面處理銅箔，於電漿顯示器面板之前面濾波器 序之透明化處理前，電磁波遮蔽用導電性網片表 係灰色，在透明化處理後電磁波遮蔽用導電性網 色化而可以視覺確認。 〈具備灰色化處理面之表面處理銅箱〉 相關於本件發明的具備灰色化處理面的表 箔，可分為不具備防銹處理層的場合，與具備防 的場合。亦即，防銹處理層並非必要，但為了確 理銅箔的長期保存性係屬必要。以下，說明相關 明的表面處理銅箱。 第1表面處理銅箔：相關於本件發明的表面處 係「於電解銅箔的粗面上具備灰色化處理面的表 箔’該灰色化處理面，係設於銅箔層的單面之重 20 0mg/m2〜3 5 0mg/m2之硫酸鈷鍍層，且其灰色化處 訊號的傳 響，與對 更強化的 優異的前 且南品質 ，想到使 ，製造電 處理面的 的製造程 面的色調 片表面黑 面處理銅 錄處理層 保表面處 於本件發 l理銅箔， 面處理鋼 量厚度為 理面的剖 2213-6894-PF；Ahddub 9 1280079 面高度在20Onm以下為特徵之表面處理銅箔（以下稱為「第 1表面處理銅箔」）。第1圖係概略顯示此表面處理銅箱1 a 之剖面層構成。 於此第1圖，概略記載著以在電解銅箔7的粗面形成 硫酸鈷鍍層4，在松反面（在電解銅箔的場合相當於光澤面） • 以微細銅粒3施以粗化處理的狀態的表面處理銅箔1 &為一 例。然而’此時使用的銅箔的相反面，無論進行粗化處理 或者不進行粗化處理皆可。在此於第2圖，概略顯示相反 鲁面省略粗化處理的場合之表面處理銅箔丨b。以微細銅粒3 構成的粗化處理層2係以改善與基材等之黏著性等為目的 、而被形成的，只要應需要而形成即可。形成此粗化處理層2 的場合的方法，可以採用如上述附著形成微細銅粒的方 法，使附著微細的氧化銅等方法，並不特別限定於粗化處 理方法。 接著，於此銅结居 7 > 1七 ^ J泊層/之具有一定凹凸的粗化面設硫酸 鈷鍍層4。此處’粗面所具有的粗糙度，以該當於公稱厚度 以下的厚度的電解銅荡的粗面之粗糙度最為適當，以 探針先端部的曲率丰彳⑦為？" Ττ〇 牛位為2/^之探針式粗度計測定時之

•HS β 060 1所定的平均粗度（R .,^ 在 1 m 以下，10 點平 句粗度（Rz)為4. 〇 # m以下的範圍去鈐灶 尸人^ ^ , 魏圍者較佳。比此粗度還粗的 二’灰色化的表面處理銅落欠缺色調的安定性，餘刻加

、蔽用導電性網片的製造良率變品質的電磁波遮 均粗度⑽為0 5^以下1〇的傾向。接著，更佳的平 以下}矣“…下10點平均粗度(RZ)為2.8P 高：電ί:銅㈣灰色的色調安定性可飛躍地提 在電漿顯不器面板的前面面板製造步驟進行透明化處 2213-6894-PF;Ahddub ln J280079 理後的黑色的色調也少有差異。 此處所謂硫酸鈷鍍層4，意味著使用硫酸話溶液以電鍵 法形成之層。接著’此硫酸錄鍍層4，在表面處理銅箔的狀 態可以視覺確認為灰色。然而，在上述之電漿顯示器面板 的前面面板製造步驟進行透明化處理，成為在灰色化處理 表面之上覆蓋樹脂薄膜或者黏著劑樹脂等的狀態之後，成 為可視覺確認為黑色者。這樣的色調變化，就像是濃色調 的西服以水浸濕後，原本應該為粗糙不光滑的狀態的衣服 表面被形成水幕，因為形成光滑的表面而抑制了所照射到 的光的亂反射，而可以視覺確認為更濃色調的原理是相同 的。 此硫酸鈷鍍層4,採用後述的製造方法作為重量厚度 2〇〇mg/m2〜350mg/m2者，可得對銅蝕刻液溶解性優显，且可 :形成灰色化的表面。從前之使用飴層之具備黑色系電鍍 |膜之銅泊的㈣’其重量厚度為前後，算是非 常厚’而在鍍層的溶解性之品質上有所不$。結果，因有 厚由銅钱刻液來溶解的速度變慢同時鈷這個元素自身 以咼浪度蓄積於銅蝕刻液 ’、 成為蝕刻液之力價降低的重要 箱溶解於酸溶液，藉由電漿發光 刀先刀析法荨求出單位面積相當之鈷 銅箔每1平方米相當之重量。 換π為表面處理 此外，亦瞭解到鈷鍍屏θ 、 隨著進行鈷電鍍時的電二：f於溶解在銅蝕刻液，會 採用後述之本件二；=而受到报大的影響。亦即， 的钻電鍍覆膜具有最佳的勉刻：：…造方法時所得到 2213-6894-PF；Ahddub -1280079 相關於本發明的表面處理鋼箱所具有的第2特色，是 =化處理面的表面形狀並非極粗者，該灰色化處理面 '的剖面高度在2〇〇nm以下為重要的特徵。亦即，可 :稱之為極滑的灰色化處理面。丨中，為了避免誤解而在 ::以私明的是·'通常的製造步驟的範圍内當然會存在著 異，不需要在所有的位置的剖面高度都在2〇〇nm以下， ;亦會出現在反映出製造步驟的差異的程度下存在有超過 nm ^剖面高度的場合。為了敎相關於本件發明的表面 理銅治1之硫酸鈷鍍層4的剖面高度，使用FIB分析裝 置觀察到的剖面之FIB觀察影像顯示於第3圖。於此第3 圖顯不在電解銅箔的光澤面形成灰色化處理面者。又， 此FIB觀察影像係由對被觀察面夾以6〇。角度的方向所觀 由此第3圖可知，灰色化處理面的剖面存在有一定的 :凸是报明顯的，監測這樣的凹凸的場合，一般使用觸針 二、表面粗度计。然而，由第3圖的比例尺可知，其係不可 =以表面粗度計正確測定粗度的等級的凹凸。在2，本發 月把FIB觀察影像的視野中的山部與谷部之最大差當作「剖 面尚度」，作為對應於以表面粗度計所測量時的Rmax。此 第3圖之中顯示r d」的處所，係第3圖的剖面高度所在， 可以判斷約為8〇nm。而且，於第3圖，硫酸鈷鍍層4係以 極為均勻的厚度沿著銅箔表面的形狀形成的，維持與下底 ^鋼泊表面完全密接的狀態，並未見到硫酸鈷鍍層4浮起 等不良處所’也未見會被預測有落粉的處所。 、對此，形成於從前的銅箔表面的黑色化處理面，與上 述相同由剖面進行FIB觀察時，成為如第4、5圖所示的結 22l3-6894~PF；Ahddub 12 1280079 果。亦即，可知構成黑色化♦ 而成為由下底的銅箔 :理面的形狀成長為樹枝狀， 時的剖面高度(d)時第目:程度的狀態。亦即，測定此 場合W，可==合”權，而第5圖的 樣的帶有樹枝形狀的黑色化/相S粗趟的表面。而且，這 可稱為容易受到損傷 < 面，其樹枝狀部容易折斷 當然會發生落粉，而、Α，而且，折斷的斷月脫落的話 曰私王洛物，而被認為田 視確認的色斑的原因。 由…、色化處理表面目 以上所述之相關於本發明 的FIB剖面觀窣玛德γ 衣面處理銅泊，由第3圖 朴 J面觀察衫像可以理解其具有極為蛀 者，此灰色化處理面之Lab表色系之[值在二面在： 如同記載為43以下，JL上卩p 4 下。在此 左右為下限。T八上限並未特別限定，經驗上以38 此外，相關於本件發明&志&+ m ^ 面，且有—…：：的表面處理銅箱的灰色化處理 产來：… ' 其光澤的程度，以使用光澤 又來表不較I。相關於本發明的灰色化處理面 在電解銅箱的粗面形成該灰色化處理面的結果，以光；产 [Gs(6〇。）]為i。以下較佳。光澤度若為ι〇以上，合有二 謂金屬光澤變得醒目。又’在此也不定出光澤度的下限值， 但由經驗來說0.5左右為下限。更佳者為〇 5〜"之範 圍。此範圍之具有光澤度的場合之灰色的色調#定性最好。 以上所述之表面處理銅落之灰色化處理面，其表面密 接配置透明樹脂覆膜時，可以視覺確認為黑色。直接觀察 此時的灰色化處理面時黑濃度係0· 7〜h 2(測定條件’·、 StatusT，Sampling aperture 1·5 X 2mm，無偏光濾光鏡）， 此灰色化處理面的表面密接配置透明樹脂覆膜時1黑濃度 2213-6894-PF；Ahddub 13 -1280079 :广4以上(經驗值之上限為u程度）。從a 漿顯示器面板的電磁波遮i網片 “，使用於電 處理面的黑濃度…接觀察以銅荡的黑色化 為1. °以上(本件發明之發明人等測定可在市t之黑濃度約 品時為1.H.67)’於此黑色化處理面=取得的製 明樹脂覆膜時，里濃度為i 5 面枪接配置透

定可在市(本件發明之發明人等測 疋了在市％上取得的製品時為14〇〜 寻J

:於本，灰色化處理面之表面二此二具 、此表面抬接配置透明樹脂覆膜時黑濃度約為id以二 的話’可說是成為充分的黑濃度。又，本件發 隸據川心2〇，爪"622來敎者，採用上；；3 定條件。 第2表面處理銅箔：此表面處理銅箔，係在上述第1 表面處理銅箔的表面形成供確保長期保存性之用的防銹處 理層。第6圖係概略例示兩面具備防銹處理層5的表面處 理銅箔1 c之剖面構成。接著，於第7圖，顯示單面省略粗 化處理的場合之表面處理銅箔ld。作為銅箔之限僅有防錄 目的下’可以廣泛使用口米嗤（imidazole)、苯并三tr坐 (benzotriazole)等有機防錄、或一般所使用的藉由鋅或者 黃銅等鋅合金之無機防銹等。此外，於單面形成硫酸姑層 的場合之防銹處理層，至少應該設於相關於本件發明的表 面處理銅箔的設有硫酸鈷鍍層之相反面，但是設於雙面亦 ‘ 可0 然而，於其雙面設防銹處理層 5的話，這些防銹處理 層，發揮作為粗化處理層2的防止微細銅粒脫落以及作為 硫酸鈷層4的保護層的功能，同時也發揮橫跨長期間維持 1 Λ 2213-6894-PF;Ahddub A280079 表面處理銅箔的外觀的 〜鎳合金層或者敍」 錄處理層5’以設有鋅 為藉由C —銘層尤佳。這些防錄處理層5, -般認 鍍層4時菸η4組合使用’可以在蝕刻溶解疏酸鈷 鍍層4單獨亡作為Τ解保護層的功能。亦即，比起硫酸鈷 者，1碚萨J在的場合，具備辞—鎳合金層或者鋅-鈷層 ’丨L酉夂鈷鍍層4的溶解更迅速進行。 與鉻二，r第8、9圖概略顯示於雙面具備防錢處理層5 槿出r ate)處理層6的表面處理鋼箱ic之剖面層 鱼旦借分別對比第6圖與第8圖、第7圖與第9圖可知， 酸層5的表面處理銅猪之差異，僅在具備鉻 麗处理層6這一點而已，其他構成則相同。 鉻馱鹽處理層6,在形成以鋅—鎳合金或者辞—鈷合 社#構成的防銹處理層5之後，於單面或者雙面形成者。 由於此鉻酸鹽處理層6的存在，使表面處理銅箱的 、氧化特性顯著提高，彳以有效防止氧化變色等裝飾性的 腐蝕。 j _〈具備灰色化處理面的表面處理銅箔之製造方法> (第1表面處理銅箔之製造方法） 上述之第1表面處理銅箔之製造方法，最好是採用包 含以下所述的步驟之製造方法。此製造方法，以採用攪拌 浴為前提。 • 相關於本件發明的表面處理銅箔之製造方法所使用的 • 銅箱，不管在如上述於形成硫酸鈷鍍層的相反面是否進行 粗化處理。此處特別予以記載，但是施以粗化處理的場合 之條件並未有特別限定，例如，於此形成極微細鋼粒的場 合，一般可能使用含砷的銅電解液。例如，採用硫酸銅系 2213-6894-PF;Ahddub 15 J280079 溶液’其中鋼濃度5〜1〇g/;[、硫酸濃度1〇〇〜 12〇g/1、氯 濃度 20 〜30ppm、9-苯基吖啶（9-phenylacridine)50 〜 30 0mg/：l、液溫3〇〜4(rc、電流密度5〜2〇A/dm2之條件等。 在a)之步騍，於上述之銅箔的粗面，使用含有硫酸鈷 (7水和物）1〇δ/1〜 4〇g/；[、pH值為4· 〇以上、液溫3(rc以 下之硫目文始電鑛液作為攪拌浴，以4A/dm2以下的電流密度 電解，形成灰色之硫酸鈷鍍層。亦即，此處與第丨表面處 理銅/1的製造方法A之根本上的差異，在於進行硫酸鈷電 鍍時，持續攪拌前述硫酸鈷電鍍液而進行電解這一點。此 硫酸鈷濃度，有硫酸鈷的濃度越低越可以做出良好的灰色 化狀態的傾向。然而，硫酸鈷電鍍液中的硫酸鈷（7水和物） 成為不滿l〇g/l 4，採用攪拌浴形成的硫酸銘鍍層的電著 速度變慢，而且硫酸鎳層的厚度變成不均勻的傾向變強， 招致工業上生產性欠缺的結果。對此，硫酸鈷（7水和物） 超過40g/l呀，被形成的硫酸鈷鍍層不易形成緻密的凹凸， 結果變成不是良好的灰色狀態。 此外，此時的硫酸鈷電鍍液的溶液酸鹼值係以4 〇以 上的範圍為目標進行調整較佳。接著，更佳者為4 5〜5 $ 的範圍。於此範圍’生產性良好’可以得到良好的灰色的 鈷鍍層。要進行此酸鹼值的調整，添加氫氧化鈉 化斜等其他電解值的作法並不受歡迎。因為會使始錢 灰色容易添上金屬色澤。 亦即，溶液酸鹼值，藉由 一定，結果可以使其安定化在 般使溶液中的鈷離子濃度安定 電極而以溶解的方式補充供給 使溶液中的金屬濃度維持於 4· 〇，上的範圍。為了如此 化，最好是使用溶解性的鈷 電鍵附著的鈷離子，或者是 2213-6894-PF;Ahddub 16 .1280079 以連續監視金屬離子濃度而適當添加使用氮氧化始，而使 始離子濃度安定化的手法等。 接著，此時之液溫越低，越有可得良好的灰色化處理 面的傾向。將液溫設定為抓以下的話，以上述第i表面 .處理㈣的製造方法A，可能得到比在未粗化處理的銅荡表 •面施以黑色化處理更好的灰色化處理面。 此時之攪拌，最好是使攪拌後的溶液流速達到2〇cm/s 二t〇cm/s的範圍較佳。溶液流速不滿2〇cm/s的場合，於上 _ j溶液組成，對使電著的鈷的被著面之離子供給變慢，電 著所而要的日守間變長，而且所得的灰色化處理表面的色調 也谷易產生差異。另一方面，溶液的流速超過4〇cm/s的場 a由於攪拌所導致的離子供給速度太大，而使得灰色化 處理表面接近黑色化，而且金屬光澤變強，變成不是本件 發明的目的的灰色化處理表面。 進打電解時的電流密度，使用4A/dm2以下的電流。於 此範圍，即使銅箔表面不粗化處理，也可以形成與有機材 _等之岔接性佳的具有良好微細凹凸之硫酸鈷鍍層。通常， 要知到有凹凸的黑色係的電鍍表面，採用通入過剩的燒鍍 區域内的電解電流的方法。然而，在此使用於電解的電解 密度越小者’越有可以進行安定的良好灰色化處理的傾 向。亦即，採用可能限度下的最小電流密度即可，但是考 慮到工業上的生產性的話，可以判斷應該以電流密度 • 0· 5A/dm2為下限值。另一方面，電流密度超過4A/dm2的話， 有可得接近黑色化處理的色調的傾向，而失去了採用此製 造方法的意義。而且，在上述的電解密度的範圍所形成的 灰色化處理表面，並未有過落粉現象。 2213-6894-PF；Ahddub 17 1280079 在）的V騍’將經過以上步驟的銅箔予 得到將硫酸鈷鍍層作為灰色化處理面的 7 、乾燥， 處的水洗方法、乾燥方法並未有特定，：理鋼箱。此 慮到的方式。 ^用通常會考 (第2表面處理鋼箔的製造方法） 於第2表面處理銅箔的場合，與上述之 銅猪的製造方法相同，製造將硫酸㈣ 面處理 面的表面處理銅箱’其後，進行防銹處理曰’:二色化處理 製造流程為「U)於銅羯的光澤面形成 (b)在形成灰色的硫酸鈷鍍層的銅箔的 ^ 者卓面形Λ 防錢處，層。（c)其後，進行水洗、乾燥。」的過程。亦即， 只有在第1表面處理銅箔的製造方法上再增加防銹處理声 的形成步驟而已。 m 因而，在此僅說明關於防銹處理層的形成步驟。係在 結束灰色的硫酸鈷鍍層的形成之後的銅箔之雙面戋單面， 形成防銹處理層。關於從前所習知的使用味唾 籲（imidazole)、苯并三唑（benzotriazole)等有機防銹、戋 一般所使用的藉由鋅或者黃銅等辞合金之無機防錄的場 合，並不需要特別說明只要依照常法進行即可，在此省略 詳細的說明。 以下，說明關於使用鋅一鎳合金電鍍液或者辞—鈷合 金電鍍液電鍍處理而形成的場合。首先，說明關於鋅—鐵 合金電鍍。此處所使用的辞一鎳合金電鍍液並未特別限 定，例如可以使用硫酸鎳，其中鎳濃度1〜2· 5g/l、使用焦 磷酸鋅其中辞濃度0· 1〜lg/Ι、焦磷酸鈣50〜500g/l、液 溫20〜50°C、酸鹼值8〜11、電流密度0· 3〜ΙΟΑ/dm2之條 2213-6894-PF/Ahddub 18 .1280079 ' 件等。 其二欠， 、 +人，說明鋅鈷合金電鍍。此處使用的鋅鈷合金電鍍 液並未牿别又 ,、限定，試舉一例，可採使用硫酸鈷其中鈷濃度 酸鈣50· g/1、使用焦磷酸鋅其中鋅濃度0.1〜1g/1、焦磷 产0 3 5〇0g/l、液溫20〜50°C、S复鹼值8〜11、電流密 1 〇A/dm2之條件等。此鋅鈷合金電鍍與後述之鉻酸 鹽處理组人ζ π 、ϋ而侍之防銹處理層，顯示出特別優異的耐蝕性 能。 於第 9 t ^ _人 、表面處理銅箔的場合，在銅箔的表面形成辞鎳 一 ’或者鋅錄合金層等之後，形成鉻酸鹽的話，可得更 /、=耐蝕性。亦即，在上述之防銹處理層形成之後，設 置鉻酉文鹽處理步驟即可。在此鉻酸鹽處理步驟，不論採用 2 2 ^鹽’谷液與該銅箱表面接觸之置換處理，或是在鉻酸 孤/合液中進行電解而形成鉻酸鹽覆膜的電解鉻酸鹽處理等 各種方法均可。此外，關於此處所使用的鉻酸鹽溶液，可 以，用常法所使用的範圍。接著，在其後進行水洗、乾燥 ⑩而侍到具備灰色化處理面的表面處理銅箔。 〈電磁波遮蔽導電性網片> 以上所述之相關於本件發明的具備灰色化處理面的表 面處理銅箔，沒有由灰色化處理面落粉，而且保持良好的 灰色，其灰色化處理層可以藉由通常的銅蝕刻程序來蝕刻 除去。因而，使用製造印刷電路板的程序，可以容易加工 為任意形狀。考慮到這些情況，可以說是最適於組入電漿 顯示器面板的前面板之電磁波遮蔽導電性網片之用途。 發明效果 22l3-6894-PF;Ahddub 19 •1280079 具備相關於本發明的灰色化處理面的表面處理銅羯， 即使硫酸鈷鍍層非常薄，也呈現堪耐電衆顯示器面板的前 面面板的電磁波遮蔽導電性網片用途之良好的灰色。接 著，因為含錄量很少，所以蝕刻特性良好，而且不會降低 通吊的虱化鐵、硫酸一過氧化氫系的銅鍅刻液的力價，可 以使溶液壽命長期化。 此外，相關於本件發明的表面處理銅箔的製造方法， 可以高生產率地製造上述表面處理銅箔，採用上述製造條 _件形成的硫酸鈷鍍層溶解於銅蝕刻液的效率最佳。 【實施方式】 以下’顯示製造具備上述之灰色化處理面的表面處理 銅箔，使用銅蝕刻液製造電磁波遮蔽導電性網片的結果。 第1實施例 在本實施例，製造第1圖所示的第1表面處理銅箔1 a， 以蝕刻法試驗製造電磁波遮蔽導電性網片形狀確認蝕刻性 •能。 在本實施形態，使用藉由電解硫酸銅溶液所得到的公 稱厚度1 5 /z m的銅绪。接著使用硫酸濃度1 5 〇g/ 1、液溫3 0 C的稀硫酸溶液將銅猪浸潰於此溶液3 〇秒進行表面的清淨 化。 接著對公稱厚度1 5 // m的電解銅箔的光澤面施以粗化 • 處理。此時的粗化處理，係將此微細銅粒3附著形成於銅 箔7的單面，使用硫酸銅系溶液，其中銅濃度1 〇 g /1、硫酸 濃度100g/l、氯濃度20〜30ppm、氯濃度25ppm、9-苯基吖 啶（9-phenylacridine)140mg/l、液溫 38。(：、電流密度 2213-6894-PF;Ahddub 20 •1280079 15A/dm2、電解時間2秒電解條件。第1〇圖顯示其粗化處理 後之銅箔表面。 作為（a)步驟，於該電解銅箔之粗面上形成硫酸鈷鍍 =。硫酸鈷鍍層的形成，係使用硫酸鈷（7水和物）為2〇以卜 -=鹼值調為5· 5、液溫為27°C之硫酸鈷電鍍液作為攪拌浴， •藉由以1A/dm2的電流密度電解12秒鐘，形成灰色的硫酸鈷 .鍍層（換算厚度為270mg/m2)。此時，溶液中的的鈷離子濃 度的調整並未特地進行。因為短時間電解所以認為不需要 春2整金屬離子的濃度。第11及12圖顯示形成的硫酸鈷鍍 曰第U圖係以低倍率觀察的掃描型電子顯微鏡影像，第 1 2圖係以南倍率觀察到的掃描型電子顯微鏡影像。由此第 1 2圖可知，可以明確把握下底的電解銅箔的粗面形狀亦可 理解灰色化處理層自身極薄。 作為（b)步驟，以充分的純水進行淋浴洗淨，藉由 器將環境溫度加熱至15(rc使滯留在乾燥爐内4秒鐘，去: 得到具備非常良好的色調之灰色化處理面之表面處理 •水二：又’於上述之各步驟間，原則設有15秒鐘之純水 尺冼步驟，防止帶入前處理步驟之溶液。 〈表面處理銅箔之物性〉 ”具備經過以上步驟所得到的灰色化處理® #表面處理 銅箱的剖面以FIB裂置觀察的結果，得到如第3圖所示的 剖面’該灰色化處理面的剖面高度⑷為8〇nm 理的表色系^值為41，光澤度[Gs⑽。）]為色2化5處 此外灰色化處理面未見色斑，在該表面貼上黏 再將其撕開之膠帶㈣也確减有落粉。 勝帶 進而，所得到的表面處理銅箱的灰色化處理面，被加 2213 -6894-PF;Ahddub 21 1280079 為：漿顯不器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 二Γ 否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 f色化處理面的黑渡度為0 9,採用此灰色化處理 環氧系樹脂作I】秀日H Μ匕胃 _透月树知覆膜，乾燥使硬化，透過硬化的 々氧樹脂層觀容亦& /μ _田 姓 祭及色化處理面的色調改變之所謂的代替 / 。結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度i 5的黑色。 〈電漿顯不器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 如以上所述得到的表面處理銅落的雙面貼合作為阻蝕 ，僅對灰色化處理面側之乾膜，重疊供試做 遮蔽導電性網片之用的試驗用遮罩膜，網片間距200 網片線幅1〇“、網片偏角45。、周圍以紫外線曝光 具備網片電極部的導電性網片圖案。此時，同時於相反面 :阻姓層之全面’藉由紫外線曝光’成為無法藉 顯影而：去者。其後，使用驗溶液顯影，形成敍刻圖案。 接者，使用銅银刻液之氯化鐵姓刻液，由灰色化處理 ==銅韻刻，其後’藉由剝離阻敍層，製造電磁波遮 Μ = °結果’沒有㈣殘留，進行非常良好的银 刻。於苐13圖’顯示供評估蝕刻性之用的 f幅的：路)的靖態。由此第"圖可知，沒有钱刻殘 邊，可得到蝕刻參數極為優異的漂亮電路。 第2實施例 本實施例，如第6圖所示’製造具備鋅錦合金層作為 防錄處理層之第2表面處理銅箱lc’以儀刻法試驗製造電 磁波遮蔽導電性網片形狀確認蝕刻性能。亦即，直到藉 硫酸鈷鍍層形成灰色化處理層為止，與第i實施例心 因此僅說明防錄處理條件。又，灰色的硫酸始鐘層:換曾 2213-6894-PF；Ahddub 22 1280079 厚度與第1實施例相同均為27〇mg/m, h在第1實施例之單面結束形成灰色的硫酸鈷鍍層 後 ㈣雙面上’使用鋅鎳合金錢液電鏡處理，於雙 ::〇 /1鎳。金層。，鋅鎳合金層，使用硫酸鎳其中鎳濃度 ’、、、.g、使用焦磷酸鋅其中鋅濃度為0 5g/1、焦磷酸鈣 25 0g / 1、液溫 35。「、, Λ L 齔鹼值1〇、電流密度5A/dm2之條件電 解5 ί/鐘’在雙面上均勻而且平滑地電析。

接：，與第1實施例同樣以充分的純水淋浴洗淨，藉 由電=器在墩境溫度i 5 〇 〇c的乾燥爐内滯留4秒鐘，去除水 分丄付到具備非常良好的色調之灰色化處理面的表面處理 銅’泊1C又，於上述之各步驟間，原則上設有i 5秒鐘的純 水水洗步冑’防i前處理步㈣溶液被帶入。/ <表面處理銅箔之物性> _ /、備經過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 銅箱的剖面以FIB裝置觀察的結果，得到與第3圖所示相 同的剖面，該灰色化處理面的剖面高度為75nm，該灰色化 處理的Lab表色系之L值為39，光澤度[Gs(6〇。）]為2.5。 又色化處理面未見色斑，在該表面貼上黏著性膠帶 再將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 進而’所得到的表面處理銅箔的灰色化處理面，被加 工為電漿顯示器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 處理日守可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 灰色化處理面的黑濃度為〇· 9，採用與第1實施例相同的代 替法坪價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度1 · 6的黑 色0 < f聚顯不器用的電磁波遮蔽網片的製造> 2213-6894-PF；Ahddub 23 1280079 與第1實施例同樣，使用得到的表面處理銅猪試做電 磁波遮蔽導電性網片。結果即使存在有防銹處理層也對蝕 刻操作不妨礙’沒有钱刻殘留，進行非常良好的钱刻。 第3實施例 本實施例，如第8圖所示，製造作為防銹處理層具備 鋅鎳合金層及鉻酸鹽處理層之第2表面處理銅箔le，以蝕 刻法試驗製造電磁波遮蔽導電性網片形狀確認其蝕刻性 能。亦即，直到藉由硫酸鈷鍍層形成灰色化處理層為止， _與第1實施例共通，因此僅說明防銹處理條件。又，灰色 的硫酸鈷鍍層之換算厚度與第i實施例同樣為27〇mg/m2。 防銹處理層的形成，與第2實施例同樣，使用辞—鎳 合金電鍍液，於雙面形成鋅鎳合金層後，於雙面進行鉻酸 鹽處理。此處採用電解鉻酸鹽處理，電解條件為鉻酸 5.〇g/l、液溫35°C、酸鹼值U.5、電流密度8A/dm2之條件 電解5秒鐘。 接著，結束鉻酸鹽層的形成後，以充分的純水淋浴洗 鲁甲，藉由電熱器在環境溫度15(rc的乾燥爐内滯留4秒鐘， 去除水分，得到具備非常良好的色調之灰色化處理面的表 面處理銅fl lc。又，於上述之各步驟間，原則上設有Η 秒鐘的純水水洗步驟，防止前處理步驟的溶液被帶入。 〈表面處理銅箔之物性> 具備經過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 .銅箱的剖面以FIB裝置觀察的結果，得到與第3圖所示相 同的剖面’該灰色化處理面的剖面高度$ 75nm，該灰色化 處理的Lab表色系之l值為4〇，光澤度[Gs(6〇。）]為2· 3。 此外’灰色化處理面未見色斑，在該表面貼上黏著性膠帶 2213-6894-PF；Ahddub 0/1 1280079 再將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 進而’所传到的表面處理銅箱的灰色化處理面，被加 工為電聚顯示器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 處理時可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 "灰色化處理面的黑濃度為〇· 9，採用與第1實施例相同的代 •-替法評價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度1 · 5的黑 色。 〈電藥顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 φ 與第1實施例同樣，使用得到的表面處理銅箔試做電 磁波遮蔽導電性網片。結果，即使存在有防銹處理層也對 蝕刻操作不妨礙，沒有蝕刻殘留，進行非常良好的蝕刻。 第4實施例 本只知例’如第6圖所示，製造作為防銹處理層具備 鋅鈷合金層之第2表面處理銅箔1 c，以蝕刻法試驗製造電 磁波遮蔽導電性網片形狀確認其钱刻性能。亦即，直到藉 由硫酸鈷鍍層形成灰色化處理層為止，與第1實施例共通， 鲁因此僅說明防銹處理條件。又，灰色的硫酸鈷鍍層之換算 厚度與第1實施例同樣為27〇mg/m2。 此處在第1實施例之光澤面結束形成灰色的硫酸鈷鍍 層後之銅箔的雙面上，使用辞鈷合金電鍍液電鍍處理，於 雙面形成鋅鈷合金層。鋅鈷合金層，使用硫酸鈷其中鈷濃 度為2· Og/Ι、使用焦磷酸辞其中鋅濃度為〇· 5g/1、焦磷酸 鈣250g/l、液溫35它、酸鹼值1()、電流密度5A/dm2之條 件電解5秒鐘，在雙面上均勻而且平滑地電析。 接著，與第1實施例同樣以充分的純水淋浴洗淨，藉 由電熱器在環境溫度15(rc的乾燥爐内滯留4秒鐘，去除水 2213-6894-PF；Ahddub 1280079 刀，侍到具備非常良好的色調之 銅箔lc。又，於上诚少々止 π表面處理 水水洗步驟，防止前虛田 、里的純 別處理步驟的溶液被帶入。 〈表面處理銅箱之物性〉 具備經過以上步驟i w 少驟所侍到的灰色化處理面的表 銅箔的剖面以FIB裝晉邈鉸从a 刃表面處理 裝置観察的結果，得到與第3圖所干相 =的剖面，該灰色化處理面的剖面高度為8_，該灰’色化 处理的Lab表色系之L值為4〇，光澤度[Gs(6〇。 此外，灰色化處理面未見多 六社主 马2. 5。 丨 見色斑，在該表面貼上黏著 再將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 > 進而，所得到的表面處理銅箱的灰色化處理面，被加 =為電i顯示器収電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 :二：否看到'色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 :A理面的黑濃度為〇_ 93，採用與第i實施例相同的 代替法評價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度U 黑色。 〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 與第1實施例同樣，使用得到的砉 讲、士、命π省兩 j的表面處理銅治試做電 磁波遮蔽導電性網片。結果，即使存 σ 1 1文仔在有防銹處理層也對 蝕刻操作不妨礙，沒有蝕刻殘留，進 第5實施例 好的^。 本實施例，如第8圖所示，製造作為防錄處理層且備 辞鈷合金層及鉻酸鹽處理層之第2表面處理銅箱k，：蝕 刻法試驗製造電磁波遮蔽導電性網片形狀確認其钕刻性 能。亦即’直到藉由硫酸⑽層形成灰色化處理層為止， 與第1實施例共通，因此僅說明防錄處理條件。又，灰色 2213-6894-PF；Ahddub 26 1280079 的硫酸鈷鍍層之換算厚度與第1實施例同樣為27〇1^/«12。 人方錄處理層的形成’與第4實施例同樣’使用舞—録 :電鑛液，於雙面形成料合金層冑，於雙面進行鉻酸 ，處理。、此處採用電解絡酸鹽處理，電解條件為絡酸 • g/卜液溫35t、酸驗值115、電流密度8"心2之 電解5秒鐘。 一接著、纟Ό束鉻酸鹽層的形成後，以充分的純水淋浴洗 淨’藉由電熱器在環境溫度15(rc的乾燥爐内滞留4秒鐘， 去除水分’得到具備非常良好的色調之灰色化處理面的表 面處理銅le。又，於上述之各步驟間，原則上設有15 秒鐘的純水水洗步驟，防止前處理步驟的溶液被帶入。 〈表面處理銅羯之物性〉 具備經過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 銅箱的剖面以FIB裝置觀察的結果，得到與第3圖所示相 同的剖面，該灰色化處理面的剖面高度為82nm，該灰色化 處理的Lab表色系之L值為41，光澤度[Gs(6〇。）]為2 4。 此外，灰色化處理面未見色斑，㈣表面貼上黏著性膠帶 再將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 進而，所得到的表面處理銅箔的灰色化處理面，被加 工為電漿顯不器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 處理時可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 灰色化處理面的黑濃度為〇·9,採用與第厂實施例相同的代 替法评價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度i · 6的黑 色。 〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 與第1實施例同樣，使用得到的表面處理銅箱試做電 2213-6894-PP；Ahddub 27 .1280079 .磁波遮蔽導電性網片。結果，即使存在有防錢處理層也對 蚀刻操作不妨礙，沒有姓刻殘留，進行非常良好的餘刻。 第6實施例 在本實施例，與帛6實施例不對t解銅绪的粗面 施以粗化處理，對電解銅猪的粗面進行灰色化處理，製造 第2圖所示之第2表面處理㈣lb，與第丄實施例進行= 樣的評估。亦即，因為步驟之說明與第1實施例重複的緣 故，在此省略記載。又，灰色之硫酸鈷鍍層，換算厚度為 鲁268mg/m2。形成之硫酸鈷度層的形態相同於第n及12圖所 觀察到的。 〈表面處理銅箔之物性> ，具備經過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 銅箔的剖面以FIB裝置觀察的結果，得到如第3圖所示的 剖面，該灰色化處理面的剖面高度為78nm，該灰色化處理 的Lab表色系之L值為42 ,光澤度[Gs(6〇。）]為2· 5。此 外，灰色化處理面未見色斑，在該表面貼上黏著性膠帶再 _將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 進而，所得到的表面處理銅箔的灰色化處理面，被加 工為電漿顯示器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 處理時可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 灰色化處理面的黑濃度為〇9,採用此灰色化處理面上塗布 環氧系樹脂作為透明樹脂覆膜，乾燥使硬化，透過硬化的 環氧樹脂層觀察灰色化處理面的色調改變之所謂的代替 法。結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度丨.6的黑色。 〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 與弟1實施例同樣，使用得到的表面處理銅箔試做電 2 213 -68 94 -PF;Ahddub 28 1280079 磁波遮蔽導電性網片。結果對餘刻接从 哪刎輙作不妨礙，沒有蝕刻 殘留，進行非常良好的蝕刻。 第7實施例 在本實施例，與第1實施例不同，不對電解銅箱的光 澤面施以粗化處理，以下與第i實施例相同，在電解銅箱 的粗面側藉由硫酸錢層形成灰色化處理層，製造第2圖 所示之第i表面處理銅猪lb，以餘刻法試驗製造電磁波遮 蔽導電性網片形狀確認其蝕刻性能。 ^在本實施形態，使用藉由電解硫酸鋼溶液所得到的公 稱厚度15" m的銅箔。接著使用硫酸濃度i5〇g/i、液溫別 °C的稀硫酸溶液將銅荡浸潰於此溶液3〇秒進行表面的清淨 化0 接著，作為（a)步驟，於該電解銅箱之粗面上形成硫酸 鈷鍍層。硫酸鈷鍍層的形成，係使用硫酸鈷（7水和物）為 =/卜酸驗值調為5.5、液溫為2rc之硫酸敍電鑛液作為 見拌冷，藉由以2A/dm2的電流密度電解6秒鐘，形成灰色 的硫酸鈷鍍層(換算厚度為275mg/m2)。此時，溶液中的的 :離子濃度的調整並未特地進行。因為短時間電解所以認 盘:需要調整金屬離子的濃度。形成的硫酸銘度層的形態 弟11及12圖所示同樣地被觀察到。 作為（b)步驟，以充分的純水進行淋浴洗 :將咐度加熱至15(rc使滞留在乾燥爐内“少=; :仔到具備非常良好的色調之灰色化處理 銅箔1 b。又，访u、+、 ^ ;上述之各步驟間，原則設有1 5秒鐘之純水 / Y驟，防止帶入前處理步驟之溶液。 〈表面處理銅箔之物性〉 22l3-6894>pF；Ahddub 29 J280079 銅猪過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 叫面，、行^ Πβ裝置觀察的結果，得到如第3圖所示的 理的Lab表色糸t『Μ )為8〇nm’該灰色化處 '、L值為39，光澤度j；Gs(6〇。幻為2· 2。 - 此外’灰色化處理面未見色斑，Αt _ 見色斑在該表面貼上黏著性膠帶 • ^ 3之勝帶測試也確認沒有落粉。 —、填而’所得到的表面處理銅箔的灰色化處理面，被加 為：漿顯不态用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 泰地理¥可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 灰色化處理面的黑濃度為",採用與第ι實施例相同的代 替法評價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度16的黑 色0 〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 、與第ι κ施例同樣，使用得到的表面處理銅箔試做電 磁波遮蔽導電性網片。結果對蝕刻操作不妨礙，沒有蝕刻 殘留，進行非常良好的蝕刻。 第8實施例 在本κ施例’與第6實施例同樣不對電解銅箔的光澤 面施以粗化處理，對粗面進行灰色化處理，製造第2圖所 不之第1表面處理銅箔1 b，以蝕刻法試驗製造電磁波遮蔽 導電性網片形狀確認其蝕刻性能。 在本實施形態，使用藉由電解硫酸銅溶液所得到的公 稱厚度15// m的銅箔。接著使用硫酸濃度15〇g/1、液溫3〇 C的稀硫酸溶液將銅箔浸潰於此溶液3 〇秒進行表面的清淨 化0 接者’作為（a )步驟，於該電解鋼箔之粗面上形成硫酸 2213-6894-PF；Ahddub 30 1280079 又"硫酸銘鑛層的形成，係使用硫酸姑（7水和物）為 攪拌么、酸驗值調為5.5、液溫為27°c之硫酸録電鑛液作為 的〜紅藉由卩1A/dm2的電流密度電解12秒鐘，形成灰色 :離=錄層(換算厚度為268mg/ffi2)e此時，溶液中的的 為不：辰度的調整並未特地進行。因為短時間電解所以認 與：要調整金屬離子的濃度。形成的硫酸鈷度層的形態 ^ 及12圖所示同樣地被觀察到。 考脾ί為（b)步驟，以充分的純水進行淋浴洗淨，藉由電熱 1=境溫度加熱至i5〇°c使滯留在乾燥爐内4秒鐘，去水 1二得到具備非常良好的色調之灰色化處理面之表面處理 、、。又，於上述之各步驟間，原則設有1 5秒鐘之純水 水洗步騍’防止帶入前處理步驟之溶液。 〈表面處理銅箔之物性〉 #具備經過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 T箔的剖面以FIB裝置觀察的結果，得到如第3圖所示的 J面該灰色化處理面的剖面高度為7 8nm，該灰色化處理 春的Lab表色系之L值為4〇，光澤度[gs(6〇。}]為2·6。此 外，灰色化處理面未見色斑，在該表面貼上黏著性膠帶再 將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 進而所传到的表面處理銅箱的灰色化處理面，被加 工為電漿顯示器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 處理時可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 灰色化處理面的黑濃度為〇 · 9，採用與第1實施例相同的代 替法評價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度1. 5的黑 色0 〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造> 2213-6894-PF;Ahddub 31 -1280079 與第1貫施例同樣，推用溫壬丨& w 便用传到的表面處理銅箔試做電 磁波遮蔽導電性網片。妹旲斟铋| 〜禾對儀刻刼作不妨礙，沒有蝕刻 殘留，進行非常良好的蝕刻。 第9實施例 在本實施例，如第7圖所示，製造作為防錄處理層具 備鋅銘口金層的第2表面處理銅猪ld，以姓刻法試驗製造 電磁波遮蔽導電性網片形狀硿切 4 A々狀磾5忍其蝕刻性能。亦即，直到 形成硫酸錄鑛層之灰色化虛搜爲盔 人巴化處理層為止，與第7實施例共通， 因此僅說明防銹處理條侔。 扣 彳汆件又灰色的硫酸鈷鍍層的換算 厚度與第7實施例同為268mg/m2。 在此對第7實施例的單面結束形成灰色的硫酸始鐘層 之後的銅荡的雙面，以與第4實施例同樣的條件，於雙面 形成舞凝合金層。接签，&够1 ^ 、 者與第1實施例同樣以充分的純水 進行淋浴洗淨，藉由電埶琴將 w …、斋肘％境，撤度加熱至J 5 〇 t使滯留 在乾燥爐内4秒鐘，丰士八 ^ « μ 去水分，付到具備非常良好的色調之 火色化處理面之表面處理銅箔 j iQ又於上述之各步驟間， 原則設有1 5秒鐘之純水欠、、条+驟 人水冼步驟，防止帶入前處理步驟之 }谷液0 〈表面處理銅箔之物性〉 具備經過以上步驟％ p ¢,丨γ $ 灰色化處理面的表面處理 銅泊的剖面以FIB裝置_竅的砝| r， 置觀察的釔果，付到如第3圖所示的 剖面，該灰色化處理面的古 囬的。彳面同度為80nm，該灰色化處理 、a表色系之L值為41，光澤度[Gs(6〇。）]為2· 4。 化處理面未見色斑’在該表面貝占上黏著性膠帶再 將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 進而’所得到的表面處理銅箔的灰色化處理面，被加 2213-6894-PF;Ahddub 32 -1280079 工為電漿顯示器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 处里夺了否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 灰色化處理面的黑濃度為〇· 9，採用與第丨實施例相同的代 替法評價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度丨· 5的黑 • 色。 •〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 與第1貫施例同樣，使用得到的表面處理銅箔試做電 磁波遮蔽導電性網片。結果對蝕刻操作不妨礙，沒有蝕刻 殘留，進行非常良好的蝕刻。 第10實施例 在本實施例，如第9圖所示，製造作為防銹處理層具 備鋅始合金層及鉻酸鹽處理層的第2表面處理銅箔1 f，以 蝕刻法試驗製造電磁波遮蔽導電性網片形狀確認其蝕刻性 能。亦即，直到形成硫酸鈷鍍層之灰色化處理層為止，與 第7實施例共通，因此僅說明防銹處理條件。又，灰色的 硫酸始鍍層的換算厚度與第7實施例同為27〇mg/m2。 防銹處理層的形成，與第4實施例同樣，使用鋅—鈷 合金電鍍液，於雙面形成辞一始合金層後，對雙面進行與 第5實施例同樣的鉻酸鹽處理。 接著，結束形成鉻酸鹽層時，以充分的純水進行淋浴 洗淨’藉由電熱器將環境溫度加熱至1 5 Q t使滯留在乾燥爐 内4秒鐘，去水分，得到具備非常良好的色調之灰色化處 理面之表面處理銅箔1 f。又，於上述之各步驟間，原則設 有15秒鐘之純水水洗步驟，防止帶入前處理步驟之溶液。 〈表面處理銅箔之物性〉 具備經過以上步驟所得到的灰色化處理面的表面處理 2213-6894-PF;Ahddub 33 1280079 2的剖面以FIB裝置觀察的結果，得到如第3圖所示的 二，該灰色化處理面的剖面高度為78nm，該灰色化處理 ab表色系之L值為4〇，光澤度[Gs(6〇。）]為2· *。此 脸甘Λ色化處理面未見色斑，在該表面貼上黏著性膠帶再 -將其撕開之膠帶測試也確認沒有落粉。 ·、、進而，所得到的表面處理銅箔的灰色化處理面，被加 工為1漿顯示器用之電磁波遮蔽網片，進行在施以透明化 處理蛉可否看到黑色化之判斷。形成透明樹脂覆膜之前的 _火色化處理面的黑濃度為〇 · 9，採用與第^實施例相同的代 替法評價的結果，灰色化處理面的觀察得黑濃度1 · 6的黑 色。 〈電漿顯示器用的電磁波遮蔽網片的製造〉 與第1實施例同樣，使用得到的表面處理銅箔試做電 磁波遮蔽導電性網片。結果即使存在防錢處理層也對钕刻 操作不妨礙，沒有蝕刻殘留，進行非常良好的蝕刻。 •產業上利用可能性 具備相關於本件發明之灰色化處理面的表面處理銅 4，沒有灰色化處理面的色斑，而且也不會由該表面落粉， 而且可以使用通常的銅蝕刻液進行蝕刻加工，藉由使用於 電漿顯示器面板之前面面板的電磁波遮蔽導電性網片，可 以形成無色斑的高品質黑色遮罩。此外，可以供給作為具 備灰色化處理面的表面處理鋼箔的話，可以省略前面面板 製造程序中的黑色化處理步驟。進而，具備此灰色化處理 面的表面處理銅箔’藉由採用上述製造方法，可以應用從 鈿的銅、冶的表面處理程序不需要新的製造設備。亦即，因 2213-6894-PF；Ahddub 34 1280079 為可以高良率地製造高品質無色斑的製品，所 產成本。 【圖式簡單說明】 第1圖係概略顯示具備灰色化處理面的表 的剖面層構成之圖。 第2圖係概略顯示具備灰色化處理面的表 的剖面層構成之圖。 第3圖係具備灰色化處理面的表面處理銅 構成之FIB觀察影像。 第4圖係具備灰色化處理面的表面處理銅 構成之FIB觀察影像。 第5圖係具備灰色化處理面的表面處理銅 構成之FIB觀察影像。 第6圖係概略顯示具備灰色化處理面的表 之剖面層構成之圖。 第7圖係概略顯示具備灰色化處理面的表 之剖面層構成之圖。 第8圖係概略顯示具備灰色化處理面的表 之剖面層構成之圖。 第 9圖係概略顯；曰Λ & 分顒不具備灰色化處理面的表 之剖面層構成之圖。 第10圖係粗化虚μ . . 处理後之銅珀表面的掃描型 影像。 第11圖係以低供、玄 σ率觀察灰色的硫酸鈷鍍層 子顯微鏡影像。 2213-6894-PF;Ahddub 以可降低生 面處理鋼鶴 面處理鋼箔 箔的剖面層 箔的剖面層 箔的剖面層 面處理銅箔 面處理鋼箔 面處理鋼n 面處理鋼箔 電子顯微鏡 之掃插型電 35 1280079 第1 2圖係以高倍率觀察灰色的硫酸鈷鍍層之掃描型電 子顯微鏡影像。 第1 3圖係蝕刻測試圖案之掃描型電子顯微鏡影像。 第14(a)圖至第14(e)圖係從前之電漿顯示器面板之前 面板的製造流程之概略圖。 第1 5 ( f )圖至第1 5 (j )圖係從前之電漿顯示器面板之前 面板的製造流程之概略圖。 第16(k)圖至第16(n)圖係從前之電漿顯示器面板之前 面板的製造流程之概略圖。 【主要元件符號說明】 2〜粗化處理層； 3〜微細銅粒； 4〜硫酸鈷鍍層； 6〜鉻酸鹽處理層； 7〜銅箔層； la、lb、lc、Id、le、If〜表面處理銅箔； 5〜防銹處理層（辞鎳合金層或鋅鈷合金層）。

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Claims (1)

1280079 色化處理面設透明樹脂覆膜時之黑濃度為丨· 2以上。 —種表面處理銅箔之製造方法，具備灰色化處理面 之表面處理銅箔之製造方法， 其特徵在於具備以下（a)、（b)步驟： (a) 在銅箔的粗面，使用含有硫酸録（7水和物）l〇g/L 〜40g/L，pH值4· 0以上，液溫30°C以下之硫酸鈷電鍍液 的攪拌洛’以4A/dm2以下之電流密度電解，形成灰色之硫 酸始鍍層；以及 (b) 其後，進行水洗、乾燥。 U· 一種表面處理銅箔之製造方法，具備灰色化處理面 之表面處理銅箔之製造方法， 其特徵在於具備以下（a)、（b)、（c)步驟： (a)在銅箔的粗面，使用含有硫酸始（7水和物）1 〇 g / [ 〜40g/L’ pH值4·0以上，液溫30°C以下之硫酸銘電鍍液 的擾拌浴，以4A/dm2以下之電流密度電解，形成灰色 '濟 酸結鍍層； 一

(b )在形成灰色的硫酸始鍍層之銅箔的兩面或單面，形 成防錄處理層；以及 (c )其後，進行水洗、乾燥。 1 2 · —種電磁波遮蔽導電性網片，其特徵在於：使用J ^申請專利範圍第i項所述之灰色化處理面的表面處理4 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性網片。 1 3· —種電磁波遮蔽導電性網片，其特徵在於··使用」 備申請專利範圍f 2項所述之灰色化處理面的表面處理‘ 箱形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性網片。 14. -種電磁波遮蔽導電性網片，其特徵在於：使用】 2213-6894-PF；Ahddub 1280079 備申請專利範圍第3項所述之灰色化處理面的表面 落形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 15· 一種電磁波遮蔽導電性網片，其特徵在於： 備申請專利範圍第4項所述之灰色化處理面的表面 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 16· 一種電磁波遮蔽導電性網片，其特徵在於： 備申請專利範圍第5項所述之灰色化處理面的表面 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 1 7 · —種電磁波遮蔽導電性網片，其特徵在於： 備申請專利範圍第6項所述之灰色化處理面的表面 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 1 8 · —種電磁波遮蔽導電性網片’其特徵在於： 備申請專利範圍第7項所述之灰色化處理面的表面 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 1 9 · 一種電磁波遮蔽導電性網片’其特徵在於： 備申請專利範圍第8項所述之灰色化處理面的表面 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 > 20· —種電磁波遮蔽導電性網片’其特徵在於： 備申請專利範圍第9項所述之灰色化處理面的表面 箔形成之電漿顯示器前面板用的電磁波遮蔽導電性 處理銅 網片。 使用具 處理銅 網片。 使用具 處理銅 網片。 使用具 處理銅 網片。 使用具 處理銅 網片。 使用具 處理銅 網片。 使用具 處理銅 網片。 39 2213-6894-PF;Ahddub 1280079

第2圖 7