TWI275609B - Composition having permittivity being radiation-sensitively changeable and method for forming permittivity pattern - Google Patents

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TWI275609B
TWI275609B TW091116756A TW91116756A TWI275609B TW I275609 B TWI275609 B TW I275609B TW 091116756 A TW091116756 A TW 091116756A TW 91116756 A TW91116756 A TW 91116756A TW I275609 B TWI275609 B TW I275609B
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aryl
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Isao Nishimura
Nobuo Bessho
Atsushi Kumano
Kendzi Yamada
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Description

1275609 ΑΊ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 ) 一、 發明所屬之技術領域 本發明係關於感放射線性介電率變化性組成物、介電 率圖案之形成方法、介電率圖案及具有介電率圖案之裝置 。更詳細係有關可提供作爲電路基板之絕緣材料或電容器 使用之介電率圖案的新穎感放射線性介電率變化性組成物 、介電率圖案之形成方法、介電率圖案及具有介電率圖案 之裝置。 二、 先前技術 半導體爲了配合高速化，而繼續硏究縮短配線之長度 或降低層間膜之低介電率及縮短閘長度等之技術。這些維 持半導體之性能，且可作爲系統使用狀態之實際安裝技術 領域非常落後。因而硏究改良之實裝結構，即使在實裝技 術領域也進行硏究縮短配線之長度/降低層間膜之低介電率 之技術。 以往之實裝技術中，如記憶1C等在1C端子附近配置旁 路電容器或輸入、輸出電容器等保持性能。但是隨著高速 化，而檢討在元件附近必須設置這些元件，或隨著高速化 之縮短配線之長度，而檢討以往設置於遠離1C之被動元件 之配置位置儘可能接近該IC ,結果發展如E m b e d d e d P a s s i v e 之基板構造。 這種實裝技術在以往形成具有兩種不同之介電率差之 分布時，首先形成其中之一的材料，然後再全面堆積介電 率不同之材料。其後以感光性材料等在形成圖案後藉由貪虫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -4- 1275609 A7 B7 五、發明説明（2 ) (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 刻除去不要之堆積部分的方法來形成。此方法有多階段之 步驟，且所得之膜之膜厚偏差大，因此，層合材料宜使用 膜厚之面內均勻性高的材料。 高集成電路之層合時，爲了防止配線間因交擾產生延 遲所使用之層間絕緣膜必須爲高集成化及低介電率材料。 在此檢討使用各種有機或無機之材料降低介電率。其中一 例爲以多孔質化降低介電率，例如Mat. Res. Soc. Symp. Proc·， Vol. 5 1 1, 105( 199 8), Electrochemical and Solid-
State letters, Vol. 2, 77( 1 999)， Proc. DUMIC Santa
Clara, 25 ( 1 998)、第61回應用物理學會學術講演會草稿集 4a-P4-20(2000)、第61回應用物理學會學術講演會草稿集43-P4-27(2000) ' Proc. of the 2000 IITC, 143 (2000)。以此多 孔質化降低密度可形成比介電率爲2以下之膜。但是如此降 低膜密達成低介電率化，同時直接影響膜強度降低，因此， 要開發具有比以往之層間絕緣膜之強度更高之層間絕緣膜 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，欲以最低介電率之空氣所構成之中空構造作爲 高集成電路之構造，來達成配線低容量化，例如特開昭63-268254 、Microprocessor report， Aug. 4,14(1997)、Symp·
On VLSI Technology, 82 (1996) 、DUMIC Conference， 1 39( 1 997)、IEEE Electron Device Letters，Vol. 19，No· 1， 1 6( 1 99 8)。但是這種中空構造在層合時要求非常高的精度等 ，製成方面之問題多，仍無法達到實用化。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5 - 1275609 A7 B7 五、發明説明（3 ) 三、〔發明之揭示〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有鑑於以往技術之上述問題所完成的。換言 之，本發明之目的係以簡易的方法使材料之介電率變化， 同時該變化之介電率差爲非常大的値，且不論其後使用的 條件皆可提供安定之介電率圖案之感放射線性介電率變化 性組成物。 本發明之其他目的係提供藉由放射線照射形成微細之 空孔，且形成之微細空孔可維持穩定，即使具有許多微細 之空孔也具備堅強的膜強度之介電率圖案的感放射線性介 電率變化性組成物。 本發明之其他目的係提供由本發明之上述組成物形成 介電率圖案的方法。 本發明之其他目的係提供藉由本發明之上述方法所製 造之介電率圖案或具有該介電率圖案的裝置。 本發明之其他目的及優點如下述。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 依據本發明時，本發明之上述目的及優點，第1係藉由 含有（A )分解性化合物、（b )非分解性化合物、（C )感放射線分解劑及（D )安定化劑之感放射線性介電率 變化性組成物來達成。 本發明之上述目的及優點，第2係藉由將放射線照射於 含有（A )分解性化合物、（B )非分解性化合物、（C )感放射線分解劑及（D )安定化劑之感放射線性介電率 變化性組成物，接著加熱使（D )安定化劑與（A )分解 性化合物反應爲特徵之形成介電率圖案的方法來達成。 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x 297公釐） 1275609 A7 B7 五、發明説明（4 ) 依據本發明時，本發明之上述目的及優點，第3係藉由 將放射線照射於含有（A )分解性化合物、（B )非分解 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 性化合物、（C )感放射線分解劑之介電率變化材料後， 以（D )女定化劑處理爲特徵之形成介電率圖案的方法來 達成。 依據本發明時，本發明之上述目的及優點，第4係藉由 經由圖案光罩，將放射線照射於含有（A )分解性化合物 、（B )非分解性化合物、（C )感放射線分解劑之介電 率變化材料後，進行加熱處理分解未曝光部之分解性化合 物爲特徵之形成介電率圖案的方法來達成。 本發明之上述目的及優點，第5係藉由上述形成介電率 圖案的方法所形成之介電率圖案來達成。 本發明之上述目的及優點，第6係藉由具有上述介電率 圖案之裝置來達成。 本發明中，「介電率圖案」係指由不同介電率領域所 構成之介電率分布型材料。 經齊部智慧財產局員工消費合作社印製 以下詳細說明本發明之形成介電率圖案的方法所使用 之介電率變化材料之各成分。 (A )分解件化合物 本發明使用的（A )分解性化合物，可爲酸分解性化 合物或鹼基分解性化合物。 酸分解性化合物例如具有以下述式（1 )〜（6 )或（ 10 )表示之結構中之至少一種結構之化合物。這些化合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一飞- 1275609 A7 B7 五、發明説明（5 ) 可單獨使用或同時使用二種以上 Γ 0-C-R1-C-0-R2· II II Ο 0 (1) (式（1 )中R 1爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或伸芳基 ，R 2爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽 烷基或烷基亞鍺烷基）。 (2) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} •裝.
Rc 、·ιτ 線 (式（2)中Μ爲S i或Ge、R3爲伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基、R 4爲 氧原子、伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基或單鍵結 、R5、R6、R7及R8係各自獨立之氫原子、烷基、芳基 、烷氧基或硫代烷基，m爲0至2之整數）。 〇 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 〇-C-〇^r9-〇.c^〇_rio (3) (式（3 )中R 9及R 1 G係各自獨立的伸烷基、伸焼基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基）。 r 11 (4)
R 12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2.10Χ297公釐） .8 - 1275609 ΑΊ B7 五、發明説明（6 ) (式（4 )中R 1 1係羥伸烷基或單鍵結 院基、伸烷基伸芳基伸烷基或芳基）。
* CH2 —CH S
R 13 (5) (式（5)中R13係氫原子、烷基或芳基）。 -CH—〇—〇Η—0- (6) Μ衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9 /{\ 或 (式（6)中R14係以伸烷基或下述式 )表示的結構）。 訂-
17 (7) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（7 )中R 1 5、R 1 6、R i ’及R i 8係相互獨立的氫原 子、碳數1〜6之鏈狀院基、氯原子、溴原子、碘原子、 羥基、锍基、羧基、碳數1〜6之烷氧基、碳數1〜6之烷 硫基、碳數1〜6之鹵化烷基、碳數1〜6之鹵化烷氧基 、碳數1〜6之鹵化烷硫基、碳數1〜6之羥烷基、碳數 1〜6之锍基烷基、碳數1〜6之羥基烷氧基、碳數1〜 6之酼基烷基硫基、碳數6〜1 0之芳基或碳數7〜1 1 之芳烷基）。 一〇一 R 1 9 —〇 (8) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2]ΟΧ297公釐） -9 - 1275609 A7 B7 五、發明説明（7 ) (式（8)中R1 9係伸烷基） NH — R20 — NH — (9) (式（9 )中R 2 °係伸烷基） -C-0-C-R II II Ο 0 21 (10) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（10 )中R 2 1係伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、或伸 芳基）。 具有以上述式（1 )〜（6 )及（10 )表示之結構之酸 分解性化合物係以感放射線酸分解劑受放射線照射所生成 的酸產生分解。此時分解生成之低分子化合物在常溫下爲 氣體，例如二氧化碳之化合物或可以高溫處理以氣體形態 蒸發或昇華之化合物。氣體揮散後，形成微細之空孔。 酸分解性化合物（A )尙可使用 (i )分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至少 一個苯酚性羥基爲萘醌二疊氮磺醯酯，例如形成1，2-萘醌 二疊氮-5-磺醯酯基之苯酚樹脂， (ii )至少一個苯酚性羥基爲萘醌二疊氮磺醯酯，例如形成 1，2-萘醌二疊氮-5-磺醯酯基之酚醛樹脂， (iii )分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至 少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之苯酚樹脂， (iv )至少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之酚醛樹 脂， (v )至少一個羧基被酸分解性保護基保護之含羧基樹脂。 I--------抑衣----Ί--,玎-------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -1〇 - 1275609 A7 五、發明説明（8 ) 這些樹脂（i )〜（v )可使用一種或同時使用兩種以上 上述（i )〜（v )之酸分解性化合物係感放射線酸分解 劑受放射線照射所生成的酸產生分解，生成鹼可溶性樹脂 之苯酚樹脂、酚醛樹脂或含羧基樹脂。生成之這些驗可溶 性樹脂係以鹼水溶液萃取除去，萃取後殘留微細之空孔。 因此5以上述（i )〜（v )之酸分解性化合物作爲（A )成 分時，如上述以鹼水溶液萃取，因此，（B )成分即酸分解 性化合物宜使用對於鹼水溶液爲非溶解性之聚合物，例如 有不含羧基或苯酚性羥基之聚合物。 鹼分解性化合物例如具有以下述式（1 1 )〜（1 3 )或 (1 4 )表示之結構中之至少一種的化合物。這些化合物可 單獨使用或同時使用二種以上。 R24^! I -C-
-R (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
R 25
22 R ,27^ j -S——R 23 (11) —^1» 1 _ - ί 1-1 I - - I -- -、〆 ^ 1 I --二- I - 8 -- -1-« 二 j -
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (12) (式（11 )中R 22爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 23爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、院基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 24、R 25、R 20及R 27係各自獨 立之氫原子、院基、芳基、焼氧基或院硫基，i及j係分別爲〇 或1 ) -S-C~R26-C-S-R2s II I! Ο 0 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210乂29*7公釐） · _ 1275609 ΑΊ B7 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式（12 )中R 28爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 29爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基） r 0 0、 --nh-c-s-r30-s-c-nh-r31-- (13) (式（13 )中R 3°及R 31係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 烷基） o-c~s-r32-s-c-o-r33—— (14) (式（14 )中R 32及R 33係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 烷基） 上述所有之伸烷基伸芳基伸烷基係分別爲獨立之例如 以下述式（1 5 )或（1 6 )表示之結構。
R
C
—3P 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 5 (式（]5)中R34、R35、R36及R37係各自獨立之氫原子、 碳數1〜6之鏈狀烷基或碳數6〜10之芳基，R”、R39、 及R 41係各自獨立之氫原子、氯原子、溴原子、羥基、酼基 、元氧基、院硫基、院基醋基、院基硫代|旨基、芳基、氰 -12- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X297公釐） 1275609 A7 ___ B7五、發明説明（10 ) 基或硝基） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
R, —c. —R
A1
6 (式（16 )中R 42、R 43、R 44及R 45係各自獨立之氫原子、 碳數1〜6之鏈狀烷基或碳數6〜10之芳基，R46、R47、R48 、R 49、R 5()、R 51、R 52及R 53係各自獨立之氫原子、氯原 子、溴原子、羥基、酼基、烷氧基、烷硫基、烷基酯基、 烷基硫代酯基、芳基、氰基或硝基、A1爲、-0-、S〇2-、-C〇-、-C〇〇-、·〇<：〇〇-、-CH2-或-C ( R54 ) 2-， R54係碳數1〜6 之鏈狀烷基） 上述所有之伸芳基係分別爲獨立之例如以下述式（17 )表示之結構。 R55 R56 R59 R60 (17) r57 r58 R61 R62 (R 55〜R 62係各自獨立之氫原子、氯原子、溴原子 '羥基 、巯基、烷氧基、烷硫基、烷基酯基、烷基硫代酯基、芳 基、氰基或硝基，A2爲-3-、-0-、$〇2-、-<1!〇-、-(1!〇0-、-〇C〇〇-、-CH2K ( R63) 2-， R63係碳數1〜6之鏈狀烷基） 上述所有之烷基亞矽烷基係分別爲獨立之例如以下述式 (1 8 )表示之結構。 R -Si- 64
R 65 R -Si- 66、 (18) 并¾-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、·!· 67 本紙張尺度適用中國國家標準（匚1^).六4規格（210/297公釐） -13- 1275609 A7 B7 五、發明説明（11 (R 64、R 65、R 66及R 67係各自獨立之氫原子、碳數1〜6之 鏈狀烷基或碳數6〜10之芳基，A3爲-0-、伸烷基或伸芳基， a爲0或1之整數） 上述所有之烷基亞鍺烷基係分別爲獨立之例如以下述 式（19)表不之結構。
R 68 -A4-
R70^-gU (19)
R 69 R7Vb (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (R 68、R 69、R 7Q及R 71係各自獨立之氫原子、碳數1〜6之 鏈狀烷基或碳數6〜10之芳基，A4爲·0…伸烷基或伸芳基， b爲0或1之整數） 上述式（1 8 )及（1 9 )之伸烷基係分別獨立之碳數1〜 10之直鏈 '支鏈或環狀的伸烷基，例如有亞甲基、1，2-伸 乙基、1，3-三亞甲基、1，10-十亞甲基等，這些伸烷基之氫 原子例如可被氯原子、溴原子、羥基、酼基、烷硫基、烷 基酯基、烷基硫代酯基、芳基或氰基取代。 上述所有的烷基、烷氧基、烷硫基、烷酯基及烷基硫 代酯基中之烷基係彼此獨立，例如碳數1〜1 0之直鏈、支鏈 或環狀的烷基，這些伸烷基之氫原子可被氯原子、溴原子 、經基、毓基、烷氧基、烷硫基、烷基酯基、烷基硫代酯 基、芳基或氰基取代者。 上述所有的芳基例如有分別獨立之苯基、萘基、蒽基 或聯苯基等，這些芳基之氫原子可被溴原子、羥基、毓某 ； 訂 線
本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（21〇X：297公釐） · 14 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ______B7___ 五、發明説明（12 ) 、院氧基、院硫基、院基酯基、院基硫代酯基、氰基或硝 基取代者。 具有例如以本發明之分別以上述式（1 )〜（6 )及（ 10 )表示之結構之重複單元之酸分解性化合物之製造方法 爲公知。 具有以上述式（1 )表示之結構之化合物的製造方法係 揭示於 Polymer Bull·，1，199(1978)，日本特開昭 62 — 136628 號公報、E P 225，454、美國專利806,597、日本特開平4一 3 03 843號公報及日本特開平7 - 563 54號公報等。 具有以上述式（2 )表示之結構之化合物的製造方法係 揭示於 Macromolecules 29， 5529( 1 996)， Polymer 17, 1086( 197 6)及日本特開昭60-37549號公報等。 具有以上述式（3 )表示之結構之化合物之製造方法係 揭示於Electrochem. Soc·，Solid State Sci. Technol.，133(1) 1 8 1 ( 1 9 86)、J. Imaging Sci·，30(2) 59( 1 986)及 Macromol·
Chem” Rapid Commun·，7· 121 (1986)等。 具有以上述式（4 )表示之結構之化合物之製造方法係 揭示於美國專利第3，8 9 4，2 5 3號，日本特開昭 6 2 — 1 9 02 1 1號公報、日本特開平2 — 146 54 4 號公報，Marcomol. Chem.，23,16(1957)，日本特開昭 6 3 — 9 7 9 4 5 號公報，PolymerSci·, A - 1，8， 2375(1970)，美國專利第4，247， 號說明書，EP 41，657，日本特開昭57 -3 1 6 7 4號公報，曰本特開昭6 4 - 3 6 4 7號公報及 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 ____B7五、發明説明（13 ) 曰本特開昭5 6 — 1 7 3 4 5號公報等。 具有以上述式（5 )表示之結構之化合物之製造方法係 揭不於 Prepr. Eur. Disc Meet. Polymer Sci·, Strasbourg, Pl〇6( 1978) Macromol· Chem·，179，1 689( 1 978)等。 具有以上述式（6)表示的構造之化合物之製造方法係 揭示於美國專利第3，8 9 4，2 5 3號說明書，美國專 利第3，9 4 0，5 0 7號說明書及日本特開昭6 2 - 1 9 〇 2 1 1號公報等。 具有以上述式（10 )表示的構造之化合物之製造方法 ，係予揭示於 J. Am. Chem. Soc·, 54，1 5 7 9( 1 932)、J. Polym. Sci·，29，343( 1 95 8)，J· Polym. Sci·，PartA，Polym. Chem·，25, 3373 ( 1 95 8) 、 Macromolecules, 25， 1 2,(1992), Macro molecules, 20， 705， 705(1997)， Macro molecules, 2 1,1 9 25, ( 1 9 9 8 ) 5 Macromol. Chem., Rapid Commun., 11, 83 (1990 )等。 具有例如以上述式（11 )〜（1 4 )表示之結構之重複 單元之鹼分解性化合物之製造方法也爲公知。 具有以上述式（11 )表示的構造之化合物之製造方法 ，係予揭示於 M a c r 〇 m ο 1 · C h e m ·，R a p i d C 〇 m m u η ·，5，1 5 1 ( 1984 ) ，Macromol. Chem.， 189，2229(1988)，Macromol· Chem.，1 87, 2525( 1 986)，Polym· J·, 22, 803(1 990)等。 具有以上述式（12)表示的構造之化合物之製造方法 ，係予揭示於 J· Polym. Sci·，47，1 523( 1 993)，J. Appl. Polym· Sci., 35, 85(1985), J. Polym. Sci., Pol ym.Chem.Ed., 22, 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ π _ ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 ______B7 五、發明説明（14 ) 1 579( 1 984), J. Polym. Sci., Poly m.Chem.Ed., 1 4, 655( 1 976), J. Polym. Sci·， Polym.Chem.Ed·，17, 2429( 1 979)等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 具有以上述式（1 3 )表示的構造之化合物之製造方法 ’係予揭示於 J.Macromol. Sci·，Chem.，A9，1 265(1975)等。 具有以上述式（14)表示的構造之化合物之製造方法 ’係予揭示於 Polymer Bull·，14，85( 1 985)，Macromol. Chem” 189，1 323(1988)等。 分解性化合物（A )之重覆單位數理想爲1〜5,〇〇〇者。 非分解件化合物 本發明用所用的（Β )非分解性化合物係對於酸或鹼 爲安定的材料。（Β )成分之比介電率係視用途而可任意 3受疋及調整的較佳値。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (Β )非分解性化合物例如有丙烯酸酯系樹脂、胺基 甲酸酯系樹脂、聚酯系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、原冰片稀 系樹fl曰、本乙烯系樹脂、聚醚硕系樹脂、聚砂氧樹脂、聚 醯胺樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚矽氧烷系樹脂、氟系樹脂、 聚丁一烯系樹脂、乙烯基醚系樹脂、乙烯基酯系樹脂、聚 芳麟系聚合物、聚伸芳系聚合物、聚醯胺系聚合物、聚醯 亞胺系聚合物、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯系聚合物、聚 方知系聚合物、聚醯胺系聚合物、聚醯胺醯亞胺系聚合物 '聚硕系聚合物、聚醚砸系聚合物、聚醚酮系聚合物、聚 苯醚系聚合物、聚醚醯亞胺系聚合物、聚醯胺醯亞胺系聚 合物 '聚酯醯亞胺系聚合物、變性聚苯醚系聚合物、聚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公楚） 1275609
並曙唑系聚合物、聚丙烯酸系聚合物、馬來醯胺系聚合物 、曈琳系樹脂、苯並環丁烯系樹脂、聚對二甲苯系樹脂、 環氧樹脂、丙烯酸樹脂、酚醛樹脂、苯乙烯樹脂、苯酚樹 脂、尿樹脂、異氰酸酯樹脂、雙馬來醯胺樹脂、氰酸酯樹 脂 '烴系樹脂、有機SOG、熱硬化性PPE樹脂及這些之氫原 子之一部分被氟原子取代者、氟化聚矽氧系聚合物、環全 氟碳系聚合物、氟碳、全氟乙烯醚、鐵氟隆（註冊商標） 、氟化芙（fullerene)等。 (B )非分解性聚合物之具體例，可舉出下述聚合物 例如聚偏氟乙烯、聚二甲基矽氧烷、聚甲基丙烯酸三 氟乙酯、聚環氧丙烷、聚乙烯基異丁基醚、聚乙烯基乙基 醚、聚環氧乙烷、聚乙烯基丁基醚、聚乙烯基戊醚、聚乙 烯基己醚 酯、聚（ 、聚（4 一甲基一 1 一戊燒）、纖維素乙酸酯丁 4 一氟—2 —三氟甲基苯乙烯）、聚乙烯基辛基 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 醚、聚（乙烯基一 2 -乙基己基醚）、聚乙烯基癸基醚、 聚（2 —甲氧基乙基丙烯酸酯）、聚丙烯酸丁酯、聚（甲 基丙烯酸第三丁基酯）、聚乙烯基十二基醚、聚（丙烯酸 3-乙氧基丙酯）、聚氧基羰基環丁烷、聚丙酸乙烯酯、 聚乙酸乙烯基酯、聚乙烯基甲基醚、聚丙烯酸乙酯、乙烯 —乙酸乙烯基酯共聚物（8 0 %〜2 0 %乙酸乙烯酯）纖 維素丙酸酯、纖維素乙酸酯丙酸酯、苄基纖維素、苯酚-甲 醛樹脂、纖維素三乙酸酯、聚乙烯基甲基醚（等規）、聚 (丙烯酸3 -甲氧基丙酯）、聚（丙烯酸2 -乙氧基乙酯） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 18 - 1275609 Α7 Β7 五、發明説明（16 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Μ丙烯酸甲酯、聚甲基丙儲酸異丙酯 '聚（1 一癸嫌） 、聚丙烯（等規，密度0 · 8 5 7 5 g / c m 3 )、聚（乙 烯基第一丁基醚）（等規）、聚甲基丙烯酸十二烷基酯、 μ氧化乙烯氧基琥珀酸醯、（聚伸乙基琥珀酸酯）聚十四 基甲基丙烯酸酯、乙烯-丙烯共聚物（EPR 一橡膠）、 聚甲基丙烯酸十六酯、聚甲酸乙烯基酯、聚（甲基丙烯酸 2-氟乙酯）、聚甲基丙燃酸異丁酯、乙基纖維素、聚乙 烯基縮醛、纖維素乙酸酯、纖維素三丙酸酯、聚甲醛、聚 乙烯基縮丁醛、聚（甲基丙烯酸正己酯）、聚（甲基丙條 酸正丁酯）' 聚二甲基丙烯酸亞乙酯、聚（甲基丙烯酸2 -乙氧基乙酯）、聚氧化乙烯氧基順丁烯二醯、（聚順丁 少布一酸乙烯酯）聚（甲基丙燒酸正丙酯）、聚（甲基丙燦 酸3 ，3 ，5 —三甲基環己酯）、聚甲基丙烯酸乙酯、聚 (甲基丙烯酸2-硝基-2—甲基丙基酯）、聚甲基丙烯 酸三乙基乙烯酯、聚（甲基丙烯酸1 ，1 一二乙丙酯）、 聚甲基丙烯酸甲酯、聚（2 —癸基—1 ，3 — 丁二燒）、 聚乙烯醇、聚甲基丙烯酸乙基甘二醇酯、聚（甲基丙烯酸 3 -甲基環己酯）、聚（丙_酸環己基2〜乙氧基酯）、 甲基纖維素（低黏度）、聚（甲基丙烯酸4 -甲基環己酯 )、聚二甲基丙烯酸十亞甲二醇酯、聚胺酯、聚（1，2 —丁二烯）、聚乙烯基甲醛、聚（2 -溴一4 一三氟甲基 苯乙烯）、纖維素硝酸酯、聚（第二丁基α -氯丙烯酸酯 )、聚（2 —己基—1，3 — 丁二烯）、聚（乙基α -氯 丙烯酸酯）、聚（2 —異丙基一 1 ，3 丁二烯）、聚（2 請 先 閱 讀 背 面 之 注 項 再 填 寫 本 頁 裝 訂 礫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐） -19- 1275609 Α7 Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（17 ) -甲基環己基甲基丙烯酸酯）、聚丙烯（密度 0·9075g/cm3)、聚異丁烯、聚甲基丙烯酸原冰 片基酯、聚（2 —第三丁基一 1 ，3— 丁二烯）、聚二甲 基丙烯酸乙二醇酯、聚甲丙烯酸環己I旨、聚（1 ，4 —二 甲基丙烯酸環己烷二醇酯）、丁基橡膠（未加硫）、聚（ 甲基丙烯酸四氫呋喃基酯）、古塔波膠（石）、聚乙條離 子絡聚體、聚環氧乙烷（高分子量）、聚乙燒（密度 0.914g/cm3)、（密度 0.94 〜0.945g /cm3)、（密度0. 965g/cm3)、聚（甲基丙 燒酸1 一甲基環己酯）、聚（甲基两燒酸2 —經乙酉旨）、 聚乙傭基氣乙酸酷、聚丁嫌（等規）、聚甲基丙纟希酸乙儲 酯、聚（N — 丁基一甲基丙烯醯胺）、杜仲膠（guttapercha )(^ )、萜烯樹脂、聚（1 ，3 - 丁二儲）、虫膠、聚 (甲基α —氯丙烯酸酯）、聚（2 -氯乙基甲基丙烯酸酯 )、聚（甲基丙烯酸2 —二乙基胺基乙基酯）、聚（2 — 氯環己基甲基丙烯酸酯）、聚（1，3 -丁二烯）（35 %順式；56%反式 1 . 5180 ; 7%1 ，2 -含量 )、天然橡膠、聚甲基丙烯酸烯丙酯、聚氯乙烯+40% 苯二甲酸二辛酯、聚丙烯腈、聚甲基丙烯腈、聚（1 ，3 一 丁二烯）（富含順型）、丁二烯一丙烯腈共聚物、聚甲 基異丙烯基酮、聚異戊二烯、聚酯樹脂硬質物（約5 0 % 苯乙烯）、聚（Ν -（2 -甲氧基乙基）丙烯醯胺）、聚 (2，3 —二甲基丁二烯）（甲基橡膠）、氯乙烯-乙酸乙 烯酯共聚物（9 5/5〜90/10)、聚丙烯酸、聚（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） · 2〇 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ B7五、發明説明（18 ) 甲基丙烯酸1 ，3 -二氯丙酯）、聚（甲基丙烯酸2 -氯 —1一（氯甲基）乙酯）、聚丙烯醛、聚（1 一乙烯基一 2 -吡咯烷酮）、氫氯酸化橡膠、耐綸6 ;耐綸6，6 ; 耐綸6，1 0 (成型物）、丁二烯一苯乙烯共聚物（約 3 0%苯乙烯）'嵌段共聚物聚（環己基α —氯丙烯酸酯 )、聚（2-氯乙基α -氯丙烯酸酯）' 丁二烯一苯乙烯共 聚物（約7 5 / 2 5 )、聚（甲基丙烯酸2 —胺乙酯）、 聚甲基丙烯酸呋喃酯、聚甲基丙烯酸丁基巯基酯、聚（甲 基丙燒酸1 一苯基正戊酯）、聚（Ν —甲基一甲基丙儲醯 胺）、纖維素、聚氯乙烯、脲甲醛樹脂、聚（第二丁基α 一溴丙烯酸酯）、聚（環己基^ 一溴丙烯酸酯）、聚（甲 基丙烯酸2-溴乙酯）、聚二氫松香酸、聚松香酸、聚甲 .基丙烯酸乙基锍基酯、聚（Ν -烯丙基甲基丙烯醯胺）、 聚（甲基丙烯酸1 -苯基乙基酯）、聚乙烯基呋喃、聚（ 2—乙烯基四氫呋喃）、聚（氯乙烯）+40%磷酸三甲 酚酯、聚（曱基丙烯酸對甲氧基酯）、聚甲基丙烯酸異丙 酯、聚（對異丙基苯乙烯）、聚氯丁二烯、聚（氧化乙烯 一 α —苯甲酸酯一 ω —甲基丙烯酸酯）、聚（p，p，— 苯二甲基二甲基丙烯酸酯）、聚（1 一苯基烯丙基甲基丙 烯酸酯）、聚（對環己基苯基甲基丙烯酸酯）、聚（2 — 苯基乙基甲基丙燃酸醋）、聚（趨基鑛氧基- 1 ，4 一伸 苯基一 1 —丙基）、聚（1 一（鄰—氯苯基）乙基甲基丙 烯酸酯）、苯乙烯-順丁烯二酐共聚物、聚（甲基丙烯酸 1 一苯基環己酯）、聚（羥基羰氧基一 1，4 一伸苯基一 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公着) Γ21 : " ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 B7 五、發明説明（19 ) 1 ，3 —二甲基一亞丁基〜丄，4 一伸苯基）、聚（甲基 ^ -溴基丙燒酸醋）、聚甲基丙烯酸苄酯）、聚（甲基丙 烯酸間甲酚醋）、苯乙烯〜丙烯腈共聚物（約7 5 / 2 5 )、聚（羥基羰氧基〜1 ，4 —伸苯基異亞丁基一 1 ，4 -伸苯基）、聚（甲基丙烯酸鄰甲氧基苯基酯）、聚甲基 丙烯酸苯基醋、聚（甲基丙烯酸鄰甲酚酯）、聚苯二甲酸 二烯丙酯、聚（甲基丙烯酸2，3 一二溴丙酯）、聚（羥 基羰氧基一 1 ，4 —伸苯基一^ 一甲基一亞丁基一 ]_，4 —伸苯基）、聚（氧基，6 —二甲基伸苯基）、聚（ 氧化乙烯氧基對苯二甲醯基）（不定形）、聚對苯二甲酸 乙二醇酯、聚（苯甲酸乙烯基酯）、聚（羥基羰氧基一 1 ，4 一伸苯基亞丁基一 1 ，4 一伸苯基）、聚（甲基丙條 酸1 ，2 -二苯基乙酯）、聚（甲基丙烯酸鄰氯苄基酯） 、聚（羥基羰氧基—1，4 一伸苯基-第二亞丁基一 1 ，4 -伸苯基）、聚（氧基季戊四醇氧基苯二甲醯基）、聚（ 甲基丙烯酸間硝基苄酯）、聚（羥基羰氧基一 1 ，4 -伸 苯基異亞丙基一 1 ，4一伸苯基）、聚（N -（2 -苯基 乙基）甲基丙烯醯胺）、聚（4 一甲氧基一2 —曱基苯乙 烯）、聚（鄰甲基苯乙烯）、聚苯乙烯、聚（羥基羰氧基 —1 ，4 一伸苯基環亞己基一 1 ，4 一伸苯基）、聚（鄰 甲氧基苯乙烯.）、聚甲基丙烯酸二苯基甲酯、聚（羥基羰 氧基一 1 ，4 一伸苯基亞乙基一 1，4 一伸苯基）、聚（ 甲基丙烯酸對溴苯酯）、聚（N -苄基甲基丙烯醯胺）、 聚（對甲氧基苯乙烯）、聚偏氯乙烯、聚硫醚（“ Thiokol 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 22 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝----：---訂------線
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（20 ) ”)、聚（甲基丙烯酸鄰一氯二苯酯）、聚（羥基羰氧基 〜1 ，4 — (2，6 -二氯）伸苯基一異亞丙基一 1，4 一 （2 ，6 -二氯）伸苯基）、聚（羥基羰氧基雙（1 ， 4一 （3 ，5 -二氯伸苯基）））聚丙條酸五氯苯基甲基 酉旨、聚（鄰一氯苯乙烯）、聚（α —溴丙烯酸苯酯）、聚 (對二乙烯基苯）、聚（Ν -乙烯基苯二甲醯亞胺）、聚 (2 ，6 —二氯苯乙烯）、聚（甲基丙烯酸/3 —萘酯）、 聚（甲基丙烯酸α -萘基烴甲基酯）、聚（甲基丙烯酸α 一萘酯）、聚（羥基羰氧基一1，4 一伸苯基二苯基一亞 甲基一 1 ，4一伸苯基）、聚乙烯基苯基硫醚、丁基酚甲 醛樹脂、脲-硫脲-甲醛樹脂、聚乙烯基萘、聚乙烯基咔 唑、萘一甲醛樹脂、酚-甲醛樹脂、聚甲基丙烯酸五溴苯 基酯等。 本發明使用之（Β )成分可使用至少一種選自由以下述 式（20)表示之烷氧基金屬及以下述式（21)表示之金屬 鹵化物之化合物的水解物。 M〇 (OR) tYu . . . (20) M〇Xt. . . (2 1) (但是上述式（20)及（21)之M。爲+2〜5價之原子，R爲烷 基或芳基，Y爲氫原子、烷基、氯原子 '芳基、羥基、烷氧 基或芳氧基，X爲鹵原子，t及u爲〇或1以上之整數，但是t十u 等於原子W之原子價數）。 上述水解物係包括原料中之可被水解部分之全部被水 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·
、1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Ad規格（2ΐ〇χ 297公釐） -23- 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（21 ) 解者及其一部分被水解，一部分未被水解殘留者。 上述式（2q)及（21)之+2〜5價之原子M。例如有B、 Si、P或金屬原子。金屬原子例如有週期表2A族、3B族及過 渡金屬。 上述所有的烷基及烷氧基中所含有之烷基可爲碳數1〜 10之直鏈、支鏈或環狀之烷基，這些中含有之氫原子之一 部分可被氟原子取代或這些中含有之氫原子之一部分或全 部可被氯原子、溴原子、全氟烷基、羥基、酼基、烷硫基 、烷氧基、全氟烷氧基、烷酯基、.烷硫酯基、全氟烷酯基 、氰基、硝基或芳基取代者。 上述所有的芳基及芳氧基中之芳基例如有分別獨立之 苯基、萘基、蒽基或聯苯基及這些芳基之氫原子可被氯原 .子、溴原子、羥基、锍基、烷氧基、烷硫基、烷基酯基、 院基硫代醋基、氰基或硝基取代者。 鹵原子例如有氟、氯及溴。 以上述式（20 )表示的化合物，例如矽化合物例如有 四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷（通稱TEOS )、四正丙氧基 矽烷、四異丙氧基矽烷、四正丁氧基矽烷之四烷氧基矽烷 ;甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、甲基三正丙氧 基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、環己基三乙氧基矽烷之單烷 基三烷氧基矽烷；苯基三乙氧基矽烷、萘基三乙氧基矽烷 、4-氯三乙氧基矽烷、4-氰基苯基三乙氧基矽烷、4-胺基苯 基三乙氧基矽烷、4-硝基苯基三乙氧基矽烷、4-甲基苯基三 乙氧基矽烷、4-羥基苯基三乙氧基矽烷之單芳基三烷氧基矽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 24 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（22 ) 烷；苯氧基三乙氧基矽烷、萘氧基三乙氧基矽烷、4-氯苯氧 基三乙氧基矽烷、4-氰基苯基三氧基乙氧基矽烷、4-胺基苯 氧基三乙氧基矽烷、4-硝基苯氧基三乙氧基矽烷、4-甲基苯 氧基三乙氧基矽烷、4-羥基苯氧基三乙氧基矽烷之單芳氧基 三烷氧基矽烷；一羥基三甲氧基矽烷、一羥基三乙氧基矽 烷、一羥基三丙氧基矽烷之一羥基三烷氧基矽烷；二甲基 二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、二甲基二正丙氧基 矽烷、甲基（乙基）二乙氧基矽烷、甲基（環己基）二乙 氧基矽烷之二烷基二烷氧基矽烷；甲基（苯基）二乙氧基 矽烷之單烷基單芳基二烷氧基矽烷；二苯基二乙氧基矽烷 之二芳基二烷氧基矽烷；二苯氧基二乙氧基矽烷之二芳氧 基二烷氧基矽烷；甲基（苯氧基）二乙氧基矽烷之單烷基 .單芳氧基二烷氧基矽烷；苯基（苯氧基）二乙氧基矽烷之 單芳基單芳氧基二烷氧基矽烷；二羥基二甲氧基矽烷、二 羥基二乙氧基矽烷、二羥基二正丙氧基矽烷之二羥基二烷 氧基矽烷；甲基（羥基）二甲氧基矽烷之單烷基單羥基二 烷基矽烷；苯基（羥基）二甲氧基矽烷之單芳基單羥基二 烷基矽烷；三甲基甲氧基矽烷、三甲基乙氧基矽烷、三甲 基正丙氧基矽烷、二甲基（乙基）乙氧基矽烷、二甲基（ 環己基）乙氧基矽烷之三烷基單烷氧基矽烷；二甲基（苯 基）乙氧基矽烷之二烷基單芳基單烷氧基矽烷；甲基（二 苯基）乙氧基矽烷之單烷基二芳基單烷氧基矽烷；三苯氧 基乙氧基砂院之二芳氧基單院氧基砂院；甲基（一苯氧基 )乙氧基矽烷之單烷基二芳氧基單烷氧基矽烷；苯基（二 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） :25- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 kl 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（23 ) 苯氧基）乙氧基矽烷之單芳基二芳氧基單烷氧基矽烷；二 甲基.（苯氧基）乙氧基矽烷之二烷基單芳氧基單烷氧基矽 烷；二苯基（苯氧基）乙氧基矽烷之二芳基芳氧基單烷氧 基矽烷；甲基（苯基）（苯氧基）乙氧基矽烷之單烷基單 芳基芳氧基單烷氧基矽烷；三羥基甲氧基矽烷、三羥基乙 氧基矽烷、三羥基正丙氧基矽烷之三羥基單烷氧基矽烷； 及四甲氧基矽烷之2〜5聚物之上述化合物之低聚物等。 以上述式（2 1 )表示之化合物之矽化合物之具體例， 例如四氯矽烷、四溴矽烷、四碘矽烷、三氯溴矽烷、二氯 二溴矽烷之四鹵矽烷；甲基三氯矽烷、甲基二氯溴矽烷、 環己基三氯矽烷之單烷基三鹵矽烷；苯基三氯矽烷、萘基 三氯矽烷、4 -氯苯基三氯矽烷、苯基二氯溴矽烷之單芳 基三鹵矽烷；苯氧基三氯矽烷、苯氧基二氯溴矽烷之單芳 氧基三鹵矽烷；甲氧基三氯矽烷、乙氧基三氯矽烷之單烷 氧基三鹵矽烷；二甲基二氯矽烷、甲基（乙基）二氯矽烷 、甲基（環己基）二氯矽烷之二烷基二鹵矽烷；甲基（苯 基）二氯矽烷之單烷基單芳基二鹵矽烷；二苯基二氯矽烷 之二芳基二鹵矽烷；二苯氧基二氯矽烷之二芳氧基二鹵矽 烷；甲基（苯氧基）二環矽烷之單烷基單芳氧基二鹵矽烷 :苯基（苯氧基）二氯矽烷之單芳基單芳氧基二鹵矽烷； 二乙氧基二氯矽烷類之二烷氧基二鹵矽烷；甲基（乙氧基 )二氯矽烷之單烷基單烷氧基二氯矽烷；苯基（乙氧基） 二氯矽烷之單芳基單乙氧基二氯矽烷；三甲基氯矽烷、二 甲基（乙基）氯矽烷、二甲基（環己基）氯矽烷之三烷基 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 26 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 __ B7_五、發明説明（24 ) 單鹵矽烷；二甲基（苯基）氯矽烷之二烷基單芳基單鹵矽 烷；甲基（二苯基）氯矽烷之單烷基二芳基單鹵矽烷；三 苯氧基氯矽烷之三芳氧基單鹵矽烷；甲基（二苯氧基）氯 矽烷之單烷基二芳氧基單鹵矽烷；苯基（二苯氧基）氯矽 烷之單芳基二芳氧基單鹵矽烷；二甲基（苯氧基）氯矽烷 之二烷基單芳氧基單鹵矽烷；二苯基（苯氧基）氯矽烷之 二芳基單芳氧基單鹵矽烷；甲基（苯基）（苯氧基）氯矽 烷之單烷基單芳基單芳氧基單鹵矽烷；三乙氧基氯®7焼之 三乙氧基單鹵矽烷；及四氯矽烷之2〜5聚物之上述化合物 之低聚物等。 以上述式（20 )或上述式（2 1 )表示之化合物，其他例如 有二乙氧基鈹、二氯鈹、三乙氧基硼、Η氯硼、二乙氧基 鎂、二氯鎂、三乙氧基鋁、三氯鋁、二乙氧基磷、二氯磷 、五乙氧基磷、五氯磷、二乙氧基鈣、二氯銘、三乙氧基 銃、三氯銃、四乙氧基鈦、四氯鈦、二乙氧基錳、二氯猛 、二乙氧基鐵、二氯鐵、三乙氧基鐡、三氯鐵、二乙氧基 鈷、二氯鈷、二乙氧基鎳、二氯鎳、二乙氧基鋅、二氯鋅 、三乙氧基鎵、三氯鎵、四甲氧基鍺、四乙氧基鍺、四氯 鍺、二乙氧基緦、二氯緦、三乙氧基釔、三氯釔、四甲氧 基鉻、四乙氧基鉻、四氯銷、二乙氧基鎘、二氯鎘、三乙 氧基銦、三氯銦、四乙氧基締、三氯締、二乙氧基鋇、二 氯鋇、三乙氧基鑭、三氯鑭、三乙氧基鉚、三氯_、三乙 氧基鏡、三氯鏡、六乙氧基鎢、六氯鎢、五乙氧基钽 '五 氯鉬、二乙氧基鉛、二氯鉛、三乙氧基鉍、三氯鉍、三乙 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） _ 27 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 _B7_五、發明説明（25 ) 氧基钍、三氯社之烷氧基金屬及鹵化物。 這些當中較理想者爲四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷之 四烷氧基矽烷；三乙氧基鋁之三烷氧基鋁；四氧基鈦之四 烷氧基鈦；四氯矽烷之四鹵矽烷；三氯鋁之三鹵鋁；四氯 鈦之四鹵鈦等。更理想爲四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷之 四烷氧基矽烷；三乙氧基鋁之三烷氧基鋁；四氯矽烷之四 鹵石夕院。最理想爲四乙氧基砂院之四院氧基砂院。可以任 意組成倂用這些例示之化合物中任意多種。 將上述化合物進行水解反應可成爲本發明使用之（B ) 成分。水解反應理想爲在適當之溶劑中進行。這種溶劑例 如有甲醇、乙醇·、正丙醇、異丙醇、正丁醇' 異丁醇、第 三丁醇、丙酮、四氫呋喃、二卩f烷、乙睛之水性溶劑或這 些之水溶液。 這些水性溶劑係在其後之步驟被除去，因此，甲醇、 乙醇、正丙醇、異丙醇、丙酮、四氫呋喃等沸點較低者較 佳，從原料溶解性的觀點，甲醇 '乙醇、正丙醇、異丙醇 等之醇類較佳，最理想爲乙醇。 合成（B )成分之水解反應係如下述，在水及適當之觸 媒存在下進行。 具體而言，將以上述式（2〇)或上述式（21)表示之 化合物溶解於適當的有機溶劑中，以間斷或連續的將水添 加至此m液內。此時，觸媒可預先溶解或分散於有機溶劑 中’或先溶解或分散於所添加的水中。 又，水解反應的溫度通常爲〇〜i t，理想爲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -28- 1275609 A7 B7 五、發明説明（26 ) 1 5 〜8 0 °C。 水解反應的水無特別限定，但採用離子交換水爲佳。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 水之使用量係以上述式（20 )或（21 )表示之化合物 中之烷氧基與鹵原子之合計每一莫耳時，使用0.25〜3莫耳 的量，特別理想爲0.3〜2.5莫耳之量。 水解反應的觸媒，可使用金屬螯合物化合物、有機酸 '無機酸、有機鹼、無機鹼等。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲觸媒使用之金屬螯合物化合物之具體例，可舉出 :三乙氧基•單（乙醯基醋酮酸酯）鈦、三正丙氧基•單 (乙醯基醋酮酸酯）鈦、三異丙氧基•單（乙醯基醋酮酸 酯）鈦、三正丁氧基•單（乙醯基醋酮酸酯）鈦、三第二 丁氧基•單（乙醯基醋酮酸酯）鈦、三第三丁氧基•單（ 乙醯基醋酮酸酯）鈦、二乙氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯） 鈦、二正丙氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯）鈦、二異丙氧基 •雙（乙醯基醋酮酸酯）鈦、二正丁氧基•雙（乙醯基醋 酮酸酯）鈦、二第二丁氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯）鈦、 二第三丁氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯）鈦 '單乙氧基•參 (乙醯基醋酮酸酯）鈦 '單正丙氧基•參（乙醯基醋酮酸 酯）鈦、單異丙氧基•參（乙醯基醋酮酸酯）鈦、單正丁 氧基·參（乙醯基醋酮酸酯）鈦、單正丁氧基•參（乙醯 基醋酮酸酯）.鈦、單第二丁氧基•參（乙醯基醋酮酸酯） 鈦、單第三丁氧基·參（乙醯基醋酮酸酯）鈦、肆（乙醯 基醋酮酸酯）鈦、三乙氧基•單（乙基醋酮酸酯）鈦、三 正丙氧基•單（乙基醋酮酸酯）鈦、三第二丁氧基•單（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -29- 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____B7_ 五、發明説明（27 ) 乙基醋酮酸酯）鈦、三第三丁氧基•單（乙基醋酮酸酯） 鈦、二乙氧基•雙（乙基醋酮酸酯）鈦、二正丙氧基•雙 (乙基醋酮酸酯）鈦、二異丙氧基•雙（乙基乙酸乙醯酯 )鈦、二正丁氧基•雙（乙基乙酸乙醯酯）鈦、二第二丁 氧基•雙（乙基乙酸乙醯酯）鈦、二第三丁氧基•雙（乙 基乙酸乙醯酯）鈦、單乙氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鈦 、單正丙氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鈦、單異丙氧基· 參（乙基乙酸乙醯酯）鈦、單正丁氧基•參（乙基乙酸乙 醯酯）鈦、單第二丁氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鈦、單 第三丁氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鈦、肆（乙基乙酸乙 醯酯）鈦、單（乙醯基醋酮酸酯）鈦參（乙基乙酸己醯酯 )鈦、雙（乙醯基醋酮酸酯）雙（乙基乙酸乙醯酯）鈦、 參（乙醯基醋酮酸酯）單（乙基乙酸乙醯酯）鈦等鈦螯合 物化合物； 參乙氧基•單（乙醯基醋酮酸酯）銷、參正丙氧基· 單（乙醯基醋酮酸酯）锆、參異丙氧基•單（乙醯基醋酮 酸酯）锆、三正丁氧基•單（乙醯基醋酮酸酯）鉻、三第 二丁氧基•單（乙醯基醋酮酸酯）鉻、三第三丁氧基•單 (乙醯基醋酮酸酯）锆、二乙氧基•單（乙醯基醋酮酸酯 )鍩、二正丙氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯）鉻、二異丙氧 基•雙（乙醯基醋酮酸酯）鍩、二正丁氧基•雙（乙醯基 醋酮酸酯）鍩、二第二丁氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯）鉻 、二第三丁氧基•雙（乙醯基醋酮酸酯）錐、單乙氧基· 參（乙醯基醋酮酸酯）鍩、單正丙氧基•參（乙醯基醋酮 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -30- 12756〇9 Α7
Β7 '臀明説明（28 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 酸酉旨）銷、單異丙氧基•參（乙醯基醋酮酸酯）鉻、單正 丁氧基•參（乙醯基醋酮酸酯）锆、單第二丁氧基•參（ 乙_基醋酮酸酯）鍩、單第三丁氧基•參（乙醯基醋酮酸 _)韜、肆（乙醯基醋酮酸酯）鉻、三乙氧基•參（乙基 乙酸乙醯酯）鍩、三正丙氧基•單（乙基醋酮酸酯）鉻、 二異丙氧基•單（乙基醋酮酸酯）銷、三正丁氧基•單（ 乙基醋酮酸酯）鉻、三第二丁氧基•單（乙基醋酮酸酯） 銷、Η第三丁氧基•單（乙基醋酮酸酯）鉻、二乙氧基· 雙（乙基乙酸乙醯酯）銷、二正丙氧基•雙（乙基乙酸乙 _酯）鉻、二異丙氧基•雙（乙基乙酸乙醯酯）鉻、二正 丁氧基•雙（乙基乙酸乙醯酯）锆、二第二丁氧基•雙（ 乙基乙酸乙醯酯）锆、二第三丁氧基•雙（乙基乙酸乙· 酯）鉻、單乙氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鉻、單正丙氧 基•參（乙基乙酸乙醯酯）锆、單異丙氧基•參（乙基乙 酸乙醯酯）鍩、單正丁氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鉻、 單第二丁氧基•參（乙基乙酸乙醯酯）鉻、單第三丁氧基 •參（乙基乙酸乙醯酯）鉻、肆（乙基乙酸乙醯酯）鉻、 單（乙醯基醋酮酸酯）參（乙基乙酸乙醯酯）锆、雙（乙 醯基醋酮酸酯）雙（乙基乙酸乙醯酯）锆、參（乙醯基醋 酮酸酯）單（乙基乙酸乙醯酯）鉻等的鉻螯合物化合物； 參（乙醯基醋酮酸酯）鋁、參（乙基乙酸乙醯酯）鋁等的 鋁螯合物化合物等。 作爲觸媒使用之有機酸之具體例，例如有乙酸、丙酸 、丁酸、戊酸、己酸、辛酸、庚酸、壬酸、癸酸、草酸、 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） __ 31 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ B7_ 五、發明説明（29 ) 順丁烯二酸、甲基蘋果酸、己二酸、癸二酸、沒食子酸、 酪酸、苯均四甲酸、花生酸、2 -己基己酸、油酸、硬酯酸 、亞麻仁酸、亞麻酸、水楊酸、安息香酸、對胺基安息香 酸、對甲苯磺酸、苯磺酸、單氯醋酸、二氯醋酸、三氯醋 酸、三氟醋酸、蟻酸、蘋果酸、磺酸、苯二甲酸、順丁儲 二酸、檸檬酸、酒石酸等。 作爲觸媒使用之無機酸之具體例，例如有鹽酸、硝酸 、硫酸、氫氟酸、磷酸等。 作爲觸媒使用之有機鹼之具體例，例如有吡陡、哦略 、哌畊、六氫1:1比卩定、哦咯院、甲基吼卩定、三甲基胺、三乙 基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、二甲基單乙醇胺、單甲基二 乙醇肢三乙醇胺、二氮雜聯環辛烷、二氮雜聯環壬烷、二 氮雜環十一烯、氫氧化四甲基銨等。 作爲觸媒使用之無機鹼，例如有氨、氫氧化鈉、氫氧 化鉀、氫氧化鋇、氫氧化15等。 這些之中，以金屬螯合物化合物、有機酸或無機酸作 爲觸媒使用爲佳，更理想爲鈦螯合物化合物或有機酸。 這些的化合物係可單獨一種或組合二種以上作爲觸媒 使用。 又觸媒之使用量係對於已換算成s i 0 2之以上述式（ 20)或（21)表示之化合物100重量份時，通常使用〇.〇〇 }〜 10重量份，理想爲0.01〜10重量份之範圍。 以上述式（20 )或（2 1 )表示之化合物進行水解後， 應除去殘存的水分及反應副產物之醇類。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32 - 1275609 A7 B7 五、發明说明（30 非分解性化合物（B )係非常適用於以下述式（22 )表 示之梯形聚倍半噚烷。
RyO-
Ry〇"
Rx 'Ry
Ry (2 2) 經濟部智慧財產局Μ工消費合作社印製 (.式中Rx爲一價之有機基，Ry爲氫原子或一價之有機基， Rx及Ry可相同或不同，η係與分子量對應之正整數） 上述式（22 )中，一價之有機基例如有烷基、芳基、 烯丙基、縮水甘油基等。烷基例如有甲基、乙基、丙基等 ，理想爲碳數1〜5，這些之烷基可爲鏈狀，或枝鏈。芳基 例如有苯基、萘基、甲苯基等。又這些烷基、芳基、烯丙 基、縮水甘油基之氫原子可被氯原子、溴原子等之鹵原子 、經基、疏基、丨兀執基、硫代焼基、院基醒基、院基硫代 酯基或芳基取代。 具有以上述式（22 )表示之構造之化合物的製造方法 係揭示於日本特開昭5 6 — 1 57 885號公報、特開昭57 — 40526 號公報、特開昭5 8 - 692 17號公報等。這些市售品例如有 GH00、GR- 65 0、GR- 9 08、GR-950 (以上爲昭和電工（股 )製）等。 (Β )成分可使用以上述式（22 )表示之化合物可使 用其水解物及縮合物，該水解反應及縮合反應可使用與以 上述式（20 )、（ 2 1 )表示之化合物之水解反應之反應條 件類似之條件（觸媒、水、反應溫度）。以上述式（22 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) a4規格（2】0/297公酱） -33- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁j 1275609 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _____ B7五、發明説明（31 ) 表示之化合物其重量平均分子量係以聚苯乙烯換算重量平 均分子量爲500〜500，000者較理想，500〜300，000者更理想 〇 本發明可與上述樹脂一同使用無機氧化物粒子。這種 無機氧化物粒子例如有對於由後述之（C )感放射線 分解劑所產生之酸或鹼爲穩定之粒子。氧化物粒子之介電 率可使用依其用途任意選擇適當之數値者。 這種氧化物粒子可使用例如含有Be、Mg、Ca、Sr、Ba 、Sc、Y、La、Ce、Gd、Tb、Dy、Yb、Lu、Ti、Zr、Hf、 Nb、Mo、W、Zn、B、Al、Si、Ge、Sn、Pb、Bi、Te 等原 子之氧化物，更理想之具體例如BeO、MgO、CaO、SrO、 B a Ο、Sc2〇3、Υ：2〇3、La2〇3、Ce2〇3、Gd2〇3、Tb2〇3、 Dy2〇3、Yb2〇3、Lll2〇3 v Ti〇2、Zr〇2、Hf〇2 ' Nt>2〇5、M〇〇3 、W03、ZnO、B203、AI2O3、Si〇2、Ge〇2、Sn〇2、PbO、 Bi203、Te02之氧化物及含有這些氧化物之複合氧化物、如 Al2〇3-MgO、Al2〇3-Si〇2、ZnO-Y2〇3、Zr〇2-Ce2〇3、Zr〇2- Ti〇2-Sn〇2、Te〇2-BaO-ZnO、Te〇2-W〇3-Ta2〇5、Te〇2-W〇3- Bi203 、Te02-Ba0-Pb0、CaO-Al2〇3、C a 0 - A12 0 3 - B aO、 CaO-Al203-Na2〇、CaO-Al203-K2〇、CaO-AI2〇3-Si〇2、PbO-Bi2〇3-BaO、PbO-Bi2〇3-ZnO、PbO-Bi203、PbO-Bi2〇3-BaO-ZnO、PbO-Bi2〇3-CdO-Al2〇3、Pb〇，Bi203-Ge〇2、PbO-Bi203-Ge〇2-Tl2〇、BaO-PbO-Bi2〇3、BaO-PbO-Bi2〇3-ZnO、 Bi2〇3-Ga2〇3-PbO 、 B i 2 〇3 - Ga2 〇3 - C d 0 、 Bi2〇3-Ga2〇3- (Pb，CD)0 等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 _B7_五、發明説明（32 ) 無機氧化物粒子理想爲比使用本發明之介電率變化性 組成物之膜厚更小者爲佳，例如可爲〇· 2 μ m以下，更理想爲 Ο.ίμηι以下。粒徑超過〇·2μηι時，以製得之介電率變化性組 成物爲膜時之表面狀態有時會產生問題。 上述氧化物粒子可藉由與矽烷偶合劑、界面活性劑、 或具有配位於構成氧化物之金屬原子之配位能之配位性化 合物等接觸，將粒子表面改質後來使用。 無機氧化物粒子係對於水解生成物1 00重量份時，理想 爲使用500重量份以下，更理想爲300重量份以下。 (Β )非分解性化合物之重量平均分子量理想爲200〜 1，000,000，更理想爲 200 〜500,000。 (Β)成分係與（Α)成分之合計爲1〇〇重量份時，（Β .)成分理想爲5重量份〜90重量份，更理想爲1〇重量份〜70 重量份。（Β )成分爲5重量份以下時，介電率變化材料容 易變脆，又超過90重量份時，所得之介電率差容易降低。 可個別製造（Β )成分與上述（A )成分來使用，當然 也可以製造（A )成分時，預先混合製造完成之（B )成 分，或也可以製造（B )成分時，預先混合製造完成之（A )成分，或將（A)成分與（B)成分在同一反應體系內 一起製造來使用。 C )感放射線分解劑 本發明所用的（C )感放射性分解劑可爲感放射線性 酸發生劑或感放射線性鹼發生劑。此時，（A )分解性化 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -35- 1275609 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 __B7_五、發明説明（33 ) 合物使用酸分解性化合物時，（C )感放射性分解劑使用 感放射性酸發生劑，（A )分解性化合物使用鹼分解性化 合物時，（C )感放射性分解劑宜使用感放射線性鹼發生 劑。 上述感放射線酸發生劑可使用例如三氯甲基- S -三 嗪類、二芳香基碘鑰鹽類、三芳香基锍鹽類、四級銨鹽類 、磺酸酯類等。 上述三氯甲基一 S —三嗪類，例如有三（2，4，6-三氯 甲基）一 S —三嗪、2 —苯基一雙（4，6 —三氯甲基） —S —三嗪'2 — (4 —氯苯基）—雙（4，6 —三氯甲 基）—S —三嗪、2— (3 —氯苯基）一雙（4，6 -三 氯甲基）一 S —三嗪、2 -（2 -氯苯基）一雙（4 ’ 6 —三氯甲基）—S —三嗪、2— (4 —甲氧基苯基）一雙 (4 ，6 —三氯甲基）—S —三嗪、2 —（3 —甲氧基苯 基）—雙（4，6 —三氯甲基）—S -三嗪、2 — (2 — 甲氧基苯基）一雙（4 ，6 —三氯甲基）一 S —三嗪、2 一 （4 一甲基苯硫基）一雙（4，6 —三氯甲基）一 S -三嗪、2— (3 —甲基苯硫基）—雙（4，6 —三氯甲基 )—S —三嗪、2— (2 —甲基苯硫基）一雙（4，6 -三氯甲基）一 S —三嗪、2— (4 —甲氧基萘基）一雙（ 4，6 —三氯甲基）一 S —三嗪、2— (3 -甲氧基萘基 )一雙（4 ’ 6 —二氯甲基）一S —二曝、2 — （2 -甲 氧基萘基）一雙（4，6 —三氯甲基）一 S -三嗪、2 -(4 一甲氧基一石一苯乙烯基）一雙（4，6 —三氯甲基 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 36 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（34 ) )一 S —三嗪、2 — (3 —甲氧基一—苯乙烯基）一雙 (4 ，6 —三氯甲基）—S —三嗪' 2— (2 —甲氧基一 石一苯乙烯基）一雙（4 ，6 —三氯甲基）一S —三嗪、 2 — (3 ，4 ，5 —三甲氧基一 /3 —苯乙烯基）一雙（4 ，6 —三氯甲基）一 S —三嗪、2— (4 —甲基硫代一点 一苯乙烯基）一雙（4，6 -三氯甲基）一 S —三嗪、2 一 （3 —甲基硫代一石一苯乙烯基）一雙（4，6 -三氯 甲基）一S —三嗪、2 — (3 —甲基硫代一/3 —苯乙烯基 )一雙（4，6 —三氯甲基）—S —三嗪、2 —胡椒基一 雙（4，6 -三氯甲基）—S —二嗪、2 —〔2 —(卩夫喃 一 2 —基）乙烯基〕一雙（4，6 —三氯甲基）一 S —三 嗪、2 — 〔2 — (5 -甲基呋喃一 2 —基）乙烯基〕—雙 (4 ，6 —三氯甲基）—S —三嗪、2 —〔2 — （4 —二 乙基胺基一 2 —甲基苯基）乙烯基〕一雙（4，6 -三氯 甲基）一 S —三嗪等。 上述二芳基碘鑰鹽類例如有二苯基碘鑰四氟硼酸酯、 二苯基碘鐡六氟膦酸酯、二苯基碘鑰六氟砷酸酯、二苯基 碘鑰三氟甲烷磺酸酯、二苯基碘鑰三氟乙酸酯、二苯基碘 鑰對甲苯磺酸酯、二苯基碘鑰丁基三（2，6 -二氟苯基 )硼酸酯、二苯基碘鑰己基三（對氯苯基）硼酸酯、二苯 基碘鐵己基三（3 -三氟甲基苯基）硼酸酯' 4 -甲氧基 苯基确;鐵四戴砸酸醋、4 -甲氧基本基本基硕錄截鱗酸 酯、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰六氟砷酸酯、4 -甲氧基苯 基苯基碘鐵三氟甲烷磺酸酯、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰三 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!0Χ297公釐） -37 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 經濟部智慧財產局W工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（35 ) 氟乙酸酯、4 -甲氧基苯基苯基碘鐵-對-甲苯磺酸酯、 4 一甲氧基苯基苯基碘鑰丁基三（2，6 -二氟苯基）硼 酸酯、4 -甲氧基苯基苯基碘鑰己基三（對-氯苯基）硼 酸酯、4 -甲氧基苯基苯基碘鐵己基三（3 -三氟甲基苯 基）硼酸酯、雙（4 -第三丁基苯基）碘鐡四氟硼酸酯、 雙（第三丁基苯基）碘鑰六氟胂酸酯、雙（4 -第三丁基 苯基）碘鑰三氟甲烷碘酸酯、雙（4 -第三丁基苯基）碘 鑰三氟乙酸酯、雙（4 -第三丁基苯基）碘鑰對甲苯磺酸 酯、雙（4 一第三丁基苯基）碘鑰丁基三（2，6 -三氟 苯基）硼酸酯、雙（4 -第三丁基苯基）碘鑰丁基三（對 -氯苯基）硼酸酯、雙（4 -第三丁基苯基）碘鑰己基三 (3-三氟甲基苯基）硼酸酯。 上述三芳基銃鹽類，例如有三苯基銃四氟硼酸酯、三 苯基銃六氟膦酸酯、三苯基銃六氟胂酸酯、三苯基銃二氟 甲烷磺酸酯、三苯基銃三氟乙酸酯、三苯基锍-對-甲苯 磺酸酯、三苯基锍丁基三（2，6 -二氟苯基）硼酸酯、 三苯基銃基三（對氯苯基）硼酸酯、三苯基锍己基三（3 -三氟甲基苯基）硼酸酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃四氟 硼酸酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃六氟膦酸酯、4 一甲氧 基苯基二苯基銃六氟砷酸酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃三 氟甲烷磺酸酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃三氟乙酸酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃-對-甲苯磺酸酯、4 -甲氧基苯 基二苯基銃丁基三（2，6 —二氟苯基）硼酸酯、4 -甲 氧基苯基二苯基銃己基三（對氯苯基）硼酸酯、4 -甲氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 38 - (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7五、發明説明（36 ) 基苯基二苯基銃己基三（3 -三氟甲基苯基）硼酸酯、4 -苯基硫代苯基二苯基統四氟硼酸酯、4 -甲基硫代苯基 二苯基銃六氟膦酸酯、4 -苯基硫代苯基二苯基銃六氟胂 酸酯' 4 -苯基硫代苯基二苯基锍三氟甲院磺酸酯、4 -苯基硫代苯基二苯基銃三氟乙酸酯、4 -苯基硫代苯基二 苯基銃-對-甲苯磺酸酯、4 -苯基硫代苯基二苯基毓丁 基三（2，6 —二氟苯基）硼酸酯、4 一苯基硫代苯基二 苯基銃己基三（對-氯苯基）硼酸酯、4 -苯基硫代苯基 二苯基疏己基三（3 -三籤甲基苯基）硼酸酯、4 一經基 —1 —萘醯基（naphthalenyl )二甲銃四氟硼酸酯、4 —羥 基—1 一萘醯基一甲基硫六氟胂酸酯、4 -經基—1 -萘 醣基一甲基鏡六氟砷酸酯、4 一經基- 1 -萘醯基二甲基 銃二氟甲烷磺酸酯、4 -羥基一 1 -萘醯基二甲基銃三氟 乙酸酯、4 一羥基一 1 一萘醯基二甲基銃一對一甲苯磺酸 酯、4 一羥基一 1 一萘醯基二甲基銃丁基三（2，6 -二 氟苯基）硼酸酯、4 -羥基-1 -萘醯基二甲基銃己基三 (對一氯苯基）硼酸酯、4 一羥基一 1 一萘醯基二甲基硫 己基三（3 -三氟甲基苯基）硼酸酯等。 上述四級銨鹽類例如有四甲銨四氟硼酸酯、四甲鏡六 氟膦酸酯、四甲銨六氟胂酸酯、四甲銨三氟甲烷磺酸酯、 四甲銨三氟乙酸酯、四甲銨對甲苯磺酸酯、四甲錶丁基三 (2，6 -二氟苯基）硼酸酯、四甲銨己基三（對氯苯基 )硼酸酯、四甲銨己基三（3 -三氟甲基苯基）硼酸酯、 四丁 I女四氟硼酉曰、四丁鏡六氟膦酸_、四丁銨六砷酸 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格Y210>< 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
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酯、四丁銨三氟甲烷磺 對甲苯磺酸酯、四丁銨 酉旨、四丁銨己基三（對 3 —三氟甲基苯基）硼 棊三甲銨六氟膦酸酯、 銨三氟甲烷磺酸酯、苄 對甲苯磺酸酯、苄基三 硼酸酯、苄基三甲銨己 三甲銨己基三（3 —三 酸酯、 丁基三 氯苯基 酸酯、 苄基三 基三甲 甲銨丁 基三（ 氟甲基 四丁銨三氟乙 (2，6 -二 )硼酸酯、四 苄基三甲銨四 甲銨六氟砷酸 銨三氟乙酸酯 基 2 酸酯、四丁銨 氟苯基）硼酸 丁鏡己基三（ 氟硼酸酯、苄 酯、苄基三甲 、苄基三甲銨 一二氟苯基） 對-氯苯基）硼酸酯、苄基 銨四 苯銨 二甲 、苄 苄基 苯錢 乙基 、N 基苯 氟硼酸 六氟胂 基苯銨 基二甲 二甲基 己基三 酯、苄基 酸酯、苄 三氟乙酸 基苯銨丁 苯銨己基 (3 —三 苯基）硼酸酯 二甲基苯銨六氟膦酸 基二甲基苯銨三氟甲 基二甲基苯銨對一甲苯磺酸 、苄基二甲基 酯、苄基二甲 烷磺酸酯、苄 經濟部晳慧財產局員工消費合作社印製 苯銨四氟硼酸酯 -亞肉桂基乙基 銨三氟甲烷磺酸 N —亞肉桂基乙 酯、苄 基三（ 三（對 氟甲基 、N — 苯基銨 酯、N 基苯基 (2 ， 2 ’ 6 —二氟苯基）硼酸酯 氯苯基）硼酸 苯基）硼酸酯 亞肉桂基乙基 /\ 氟砷酸酯 酯、苄基二甲 ' N —亞肉桂 苯銨六氟膦酸 N -亞肉桂基 基苯銨三氟乙 肉桂基乙基苯錢丁基三 /亞肉桂基乙基苯銨己基三（ _桂基乙基苯銨己基三 上述磺酸酯類例如 -亞肉桂基乙 銨對一甲苯磺酸酯、N -亞 6-二氟苯基）硼酸酯、n 對氯苯基）硼酸酯、N -亞 .氟甲基苯基） 羥甲基苯偶因 羥甲基苯偶因-三氟甲烷磺酸酯、α :3 -三 有α — 硼酸酯等。 對甲苯磺酸酯 -羥甲基苯偶 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） _ 40 1275609 A7 B7 五、發明説明（38 ) 因甲烷磺醇酯、焦掊酸一二（對甲苯磺酸）酯、焦掊酚三 (三氟甲烷磺酸）酯、焦掊酚三甲烷磺酸酯、2 ，4 一二 硝基苄基一對苯磺酸酯、2，4 -二硝基苄基一三氟甲烷 磺酸酯、2，4 一二硝基爷基一甲苯磺酸酯、2，4 一二 硝基苄基一 1 ，2 -萘醒一疊氮一 5 一磺酸酯、2，6 — 二硝基苄基一對一甲苯磺酸酯、2，6 —二硝基苄基一三 氟甲院擴酸酯、2 ’ 6 一一硝基节基甲院磺酸酯、2 ’ 6 一二硝基苄基一 1 ，2 -萘醌二疊氮—5 -磺酸酯、2 — 硝基；基一對一甲苯擴酸酯、2 -硝基苄基一三一氟甲院 磺酸酯' 2 -硝基苄基一甲院磺酸酯、2 -硝基苄基- 1 ，2 -萘醌二疊氮一 5 一礦酸酯、4 一硝基苄基一對一甲 苯磺酸酯、4 -硝基苄基一三氟甲院磺酸酯、4 -硝基苄 基一甲烷磺酸酯、4 一硝基苄基一 1 ’ 2 -萘醌二疊氮一 5 -磺酸酯' N -經基苯二甲醯亞胺—對一甲苯磺酸酯、 N -羥基苯二甲醯亞胺一三氟甲烷磺酸酯、N 一羥基苯二 甲醯亞胺甲烷磺酸酯、N 一羥基一 5 -原冰片烯一 2，3 —二羧甲醯亞胺-對一甲苯磺酸酯、N —羥基一 5 -原冰 片烯—2 ，3 —二竣甲醯亞胺一二氟甲院擴酸酉旨、N —經 基一 5 —原冰片烯一 2，3 -二羧甲醯亞胺—甲烷磺酸酯 、2，4，6，3’ ，4’ ，5’ —六經基~苯基酮〜1 ，2 —萘醌二疊氮一 4 —磺酸酯、1 ，1，1 —三（對羥 苯基）乙烷—1，2 -萘醌二疊氮一 4 一磺酸酯等。 這些化合物中，三氯甲基- S -三嗪類例如有2〜（ 3 —氯苯基）一雙（4，6 —三氯甲苯）一 嗪、2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐Ϊ . 41 - ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝·
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（39 ) 一 （4 一甲氧基苯基）一雙（4，6 —三氯甲苯）—S — 三嗪、2 — （4 —甲基硫代苯基）一雙（4 ，6 —三氯甲 苯）一 S —三嗪、2 — （4 一甲氧基—/3 —苯乙烯基）— 雙（4，6 —三氯甲苯）一 S -三嗪、2 —胡椒基一雙（ 4，6 —三氯甲苯）—S —三嗪、2 —〔2 —(呋喃—2 一基）乙烯基〕一雙（4，6 —三氯甲苯）一S —三嗪、 2 —〔2 —（5 —甲基呋喃一 2 -基）乙烯基〕一雙（4 ，6 —三氯甲苯）—S —三嗪、2 —〔2 — (4 —二乙基 胺基一 2 —甲基苯基）乙烯基〕一雙（4，6 —三氯甲苯 )—S -三嗪或2 — (4 -甲氧基萘基）—雙（4，6 -二氯甲苯）一 S —二曉； 二芳基碘鑰鹽類例如有二苯基碘鑰三氟乙酸酯、二苯 .基碘鑰三氟甲烷磺酸酯、4 -甲氧基苯基苯基碘鐵三氟甲 院磺酸酯或4 -甲氧基苯基苯基碘_三氟乙酸酯； 三芳基毓鹽類例如有三苯基銃三氟甲烷磺酸酯、三苯 基毓三氟乙酸酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃三氟甲烷磺酸 酯、4 -甲氧基苯基二苯基銃三氟乙酸酯、4 -苯基硫代 苯基二苯基銃三氟甲烷磺酸酯或4 -苯基硫苯基二苯基锍 三氟乙酸酯； 四級銨鹽類例如有四甲銨丁基三（2，6 -二m苯基 )硼酸酯、四甲銨己基三（對氯苯基）硼酸酯、四甲銨己 基三（3 -三氟甲基苯基）硼酸酯、苄基甲基苯銨丁基三 (2，6 —二氟苯基）硼酸酯、苄基二甲基苯銨己基三（ 對氯苯基）硼酸酯、苄基二甲基苯銨己基三（3 —三氟甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) .42 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 ~ ~— ----—1275609 A7 五、發明説明（40 ) 基苯基）硼酸酯； 磺酸酯類例如有2，6 -二硝基苄基對-甲苯磺酸酯 、2 ，6 -二硝基苄基一三氟甲烷磺酸酯、N -羥基萘二 甲醯亞胺對一甲苯磺酸酯、N -羥基萘二甲醯亞胺、三氟 甲烷磺酸酯。 上述感放射線鹼發生劑可使用記載於日本特開平4 -330444號公報，「高分子」第242—248頁， 4 6卷第6期（1 9 9 7年），美國專利第 5 ，6 2 7，0 1 0號公報等者。然而，其功能只要是藉 由放射線照射發生驗時，則不受這些所限定。 本發明之理想的感放射線鹼發生劑例如有三苯基甲醇 、苄基胺基甲酸酯及苯偶因胺基甲酸酯等光活性的胺基甲 酸酯；鄰-胺基甲醯基羥基醯胺、鄰-胺基甲醯基肟、芳 香族磺胺、α -內醯胺及N -（ 2 -烯丙基乙炔基）醯胺等 的醯胺及其他醯胺；肟酯、α -胺基苯乙酮、鈷配位化合 物等。 感放射線鹼發生劑例如有以下述式（23 )〜（33 )表 示的化合物。 c讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·
、1T 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
(式中R 72係碳數1〜6之烷基、碳數1〜6之烷氧基、碳 數1〜6之j:完硫基、碳數1〜6之一丨元基胺基、_ D定基、 硝基、羥基、疏基、碳數2〜6之鏈細基或炔基、碳數6〜 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0\297公釐） -43 - 1275609 Μ _______Β7 五、發明説明（41 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 20之芳基、氟原子、氯原子或溴原子、k爲〇〜3之整數 ’ R 爲氫原子、碳數1〜6之院基、碳數2〜6之鏈纟希基 或炔基、碳數6〜20之芳基，R 74及r 75係各自獨立的氫原子 、碳數1〜6之烷基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基或碳數6 〜20之芳基、或苄基或R 74及R 75可互相鍵結，與這些鍵結 之氮原子一同形成碳數5〜6之環狀結構）。 NR77 H R78 R76一H一Ο一C—(24) (式中R 70係碳數1〜6之烷基、碳數1〜6之烷氧基、碳 數1〜6之烷硫基、碳數1〜6之二烷基胺基、哌啶基、 硝基、羥基、毓基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6〜 20之芳基，R 77爲氫原子、碳數1〜6之烷基、碳數2〜6 之鏈燒基或炔基、碳數6〜20之芳基，R 78及R 79係各自獨立 的氫原子、碳數1〜6之烷基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基 、碳數6〜20之芳基、或苄基或R 78及R 79可形成碳數5〜6 之環狀結構）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 p81
80 II R80—S—N (25) 、82 (式中RS()係碳數1〜6之焼基、碳數2〜6之鏈燒基或炔 基、碳數6〜20之芳基’ R S1及R S2係各自獨立的氫原子、碳 數1〜6之院基、碳數2〜6之鏈燒基或炔基、碳數6〜20 之芳基或苄基或R 81與R 82可形成碳數5〜6之環狀結構） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -小^ 1275609 Α7 Β7 五、發明説明（42 ) 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製
Re3-CH^N.R84 ( 26 ) (式中R 83及R S4係各自獨立的碳數1〜6之烷基、碳數2〜 6之鏈烯基或炔基、碳數6〜20之芳基）。 OR86 r85-c-n-ch=ch-r87 ( 27 ) (式中R 85、R 86及R 87係各自獨立的碳數1〜6之烷基、碳 數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6〜20之芳基）。 NR89 〇 R90 只⑽上〇HR91 (28) R92 (式中Rss係碳數1〜6之烷基、碳數1〜6之烷氧基、碳 數1〜6之烷硫基、碳數1〜6之二烷基胺基、哌啶基、 硝基、羥基、锍基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6〜 20之芳基，R 89爲氫原子、碳數1〜6之烷基、碳數2〜6 之鏈烯基或炔基、碳數6〜20之芳基，R μ、R 91及R 92係各 自獨立的氫原子、碳數1〜6之烷基、碳數2〜6之鏈烯基 或炔基、碳數6〜20之芳基或苄基）。 〇 R94 9693 II I ，96 R —C—C—Ν (29) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝----τ--訂------線
本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（2】0X29*7公釐） -45 - 1275609 A7 B7 五、發明説明（43 ) (式中R 93係碳數1〜6之烷基、碳數1〜6之烷氧基、碳 數1〜6之烷硫基、碳數1〜6之二烷基胺基、哌啶基、 硝基、羥基、酼基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6〜 20之芳基，R 94及R 95係各自獨立的氫原子、羥基、酼基、 氰基、苯氧基、碳數1〜6之烷基、氟原子、氯原子、溴 原子、碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6〜20之芳基’ R9< 及R 97係各自獨立的氫原子、碳數1〜6之烷基、碳數2〜 6之鏈烯基或炔基 '碳數6〜20之芳基或节基或R 96及R97可 形成碳數5〜6之環狀結構）。 ---------裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
〇 II
R 100 ,102 Ο
R98—C——C -A5 —C——C——R99 (30) ,101
R 103 ij (式中R 98及R 99係各自獨立的碳數1〜6之烷基、碳數1 〜6之院氧基、碳數1〜6之院硫基、碳數1〜6之二院 基胺基、哌啶基、硝基、羥基、酼基、碳數2〜6之鏈烯基 或炔基 '碳數6〜20之芳基，R 1()°〜R m爲各自獨立的氫原 子、經基、蔬基、氰基、苯氧基、碳數1〜6之焼基、氟 原子、氯原子、溴原子、碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數 6〜20之芳基，A 5爲單烷基胺、哌啶、芳香族二胺或除去與 脂肪族二胺之一個或二個氮原子鍵結之二個氫原子所生成 的二價原子團.）。 線 經 濟 部 智 % 財 產 局 涓 費 合 作 社 印 製
R 〇 104 -ϋ- r106 c —A€ r107o I -c. -f - ϋ-Η 105 (31) N/10 本纸张尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X 297公釐〉 _ 46 - 1275609 A7 —_B7_ 五、發明説明（44 ) (式中R 1(14及R 1()5係各自獨立的碳數1〜6之烷基 '碳數1 〜6之烷氧基、碳數1〜6之烷硫基、碳數1〜6之二烷 基胺基、哌啶基、硝基、羥基、酼基、碳數2〜6之鏈烯基 或炔基、碳數6〜20之芳基，R 1()6及R 1(57係各自獨立的氫原 子、經基、疏基、氰基、苯氧基、碳數1〜6之院基、氟 原子、氯原子、溴原子碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6 〜20之芳基，R1Q8〜係各自獨立的氫原子、碳數1〜6 之烷基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基、碳數6〜20之芳基或 苄基或R 1()8與R 11)9或r η。與r η!可形成碳數5〜6之環狀結 構，A 6係碳數1〜6之伸烷基、伸環己基、伸苯基或單鍵 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·
訂 線 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 (式中R 112〜R 114係各自獨立的氫原子、氟原子、氯原子' 溴原子、碳數1〜6之烷基、碳數2〜6之鏈烯基或炔基' 碳數6〜20之芳基）。
LnCo34 · 3 [ (R115)3Rn6 ] *......... ( 33 ) (式中L係選.自氨、吡啶、咪唑、乙二胺、三亞甲二胺、 四亞甲二胺、六亞甲二胺、丙二胺、1 ，2 —環己烷二胺 、N，N —二乙基乙二胺及二乙三胺中之至少一種的配位 基，η爲2〜6之整數，R 115係碳數2〜6之鏈烯基或炔基、 本纸張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210χ 297公楚）-47 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（46 ) _LD )安定化劑 本發明所使用之（D )安定化劑係具有使殘留於放射 線照射後之介電率變化材料內之（A )分解性化合物安定 化，賦予對於酸或鹼之安定性的功能。藉由此安定化處理 ’以本發明方法所形成之介電率圖案，即使在爲了使介電 率變化所使用之波長附近之光通過的條件下使用，其介電 率也不會變化，且不會劣化。 上述（D )安定化劑例如有胺基化合物、環氧化合物 、硫化乙烯化合物、氮雜環丁烷化合物、烷氧基甲基化三 聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化合物、烷氧基甲基化 苯並鳥糞胺化合物 '烷氧基甲基化脲化合物、異氰酸酯化 合物、氰酸酯化合物、吗唑啉化合物、噚嗪化合物及矽燒 化合物（鹵化甲矽烷化合物、其他的甲矽化合物）等。 上述胺基化合物例如有三乙胺、三丙胺、三丁胺、三 戊胺、三己胺、三環己胺、三苯基胺、三苄基胺、苯胺、 乙二胺、二乙三胺、三乙四胺、五乙五胺、1 ，3一二胺 基丙烷、1 ，4 一二胺基丁烷、1 ，5-二胺基戊烷、1 ，6 -二胺基己烷、1 ，7 —二胺基庚烷、1，8 -二胺 基辛烷、1 ，9 —二胺基壬烷、1 ，1〇 一二胺基癸烷' 1 ，11—二胺基十一烷、1，12 —二胺基十二烷、1 ，4 —二胺基環己烷、1，3 —環己烷雙（甲基胺）、工 ，3 —丙烷—2 —醇、2，2， ，2” 一三胺三乙基胺、 1 ，4 —二胺基—2，2，3，3 -四氟戊烷、1 ，5 — 二胺基—2，2，3，3，4，4 一六氟戊烷、三聚氰胺 ___ — - — - — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） — 裝 J 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 49- 1275609
、本 並鳥糞胺 乙醞鳥糞胺、丙烯鳥糞胺、對苯二胺 五、發明説明（47 米酚 苯基 一 S 苯胺 甲苯 一 1 p，-二胺基二 月女基萘、3，5 、間伸苯基二酚、對伸苯二胺、p 甲烷、二胺基二苯基硕、i ，8 胺基—1 ，2，4 —三唑、2 —氯一 4，6 —二胺a _三嗪、2，6 -二胺基吡啶、3，3 ,—二胺基聯 、雙（4 一胺基苯基）醚、間伸二甲苯基二胺、對二 基二胺、1 ，2，4，5 -苯四胺、2，4 一二胺基 ’ 3，5 - 二嗪、4，4 ’ —二胺基二苯酮、3，3 ，，4，4，—四胺基二苯酚、三胺基苯、4，4，一硫 代一本胺、2 ，3 ，5 ，6 —四溴—對二甲苯二胺、2， 3，5，6 —四氯對一二甲苯二胺、4，5 —亞甲二氧基 1 ’ 2本一胺、2 ’ 2，-雙（5 -胺基吡啶基）硫 醚等。 上述環氧化合物若顯示雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型 環氧樹脂、苯酚醛淸型淸環氧樹脂、甲酚酚醛淸漆型環氧 樹脂、環式脂肪族環氧樹脂之市售品時，例如有雙酚A型 環氧化合物、脂肪族聚縮水甘油基醚等。 追些巾售品例如有以下所述者。雙酣A型環氧樹脂例 如有 Epikote 1001、Epikote 1002、Epikote 1〇〇3、Epikot( 1004、Epikote 1 007、Epikote 1009、Epikote 1010、Epikot< 828 (以上均爲油化Shell epoxy (股）製造）等，雙酚F型 環氧樹脂例如有Epikote 807 (油化Shell epoxy (股）製造） 等，酚醛型環氧樹脂例如有Epikote 152、EPikote 1 5 4 ( 以上均爲油化Shell epoxy (股）製造）、EPPN 2 0 1 、 裝 ： 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5〇 - 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（48 ) EPPN 202 (以上爲日本化藥（股）製）等，甲酚酚醛淸 漆型環氧樹脂例如有E〇C N — 1 0 2、E〇C N — 1 0 3 5 、E〇CN— 104S、 E〇cN — 1020、 E〇CN— 1 025 、E〇CN— 1 027 (以上爲日本 化藥（股）製），EPikote 1 8 0 S 7 5 (油化 Shell epoxy (股）製造），環脂肪族環氧樹脂例如有C Y 175、 CY177、CY179 (以上 CibA — GEIGY A.G製），ERL-4234、ERl - 4299、 ERL — 4221、ERL — 4206 (以上 U.C.C 公司製造），Shodine 509 (昭和電工（股）製造）’ Araldite C'Y—182、CY—192、CY—184( 以上，C I B A — G E I G Y A · G ·製造），Epiclon 200，4 00 (以上大日本ink工業（股）製造）， EPikote 8 7 1、8 7 2 (以上油化 Shell epoxy (股）製造 )，ED — 5661、ED — 5662 (WlCelanese Coating (股）製造）等，脂肪族聚縮水甘油醚例如有 Epolite 1 0 0 M F (共榮社化學（股）製造），Epyol Τ Μ P (日本油脂（股）製造）等。 除上述以外，苯基縮水甘油醚、丁基縮水甘油醚、3 ，3，3 -三氟甲基環氧丙烷、氧化苯乙烯、六氟環氧丙 烷、氧化環己烯、Ν -縮水甘油基苯二甲醯亞胺、（九氟 - Ν -丁基）環氧化物、全氟乙基縮水甘油醚、表氯醇、 表溴醇、Ν，Ν —二縮水甘油基苯胺、3 -〔 2 —(全氟 己基）乙氧基〕- 1 ，2 -環氧丙烷等可作爲環氧化合物 ^紙張尺度適用中國國家標準U：NS ) Α4規格（210X297公釐） :5「:~" (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝.
*1T 線 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（49 ) 使用。 上述硫化乙烯化合物例如可使用如j· 〇rg. Chem· 28, 229 ( 1963 )所示將上述環氧化合物之環氧基取代爲乙硫基 者。 上述環氧丙烷化合物例如有雙〔（3 -乙基- 3 -氧 雜丁環基（oxetanyl)甲氧基）甲基〕苯（商品名「XDO 」東亞合成（股）製造），雙〔（3 -乙基—3 -氧雜丁 環基甲氧基）甲基一苯基〕甲烷、雙〔（3 —乙基—3 一 氧雜丁環基甲氧基）甲基一苯基〕醚、雙〔（3 -乙基一 3一氧雜丁環基甲氧基）甲基一苯基〕丙烷、雙〔（3-乙基—3 -氧雜丁環基甲氧基甲基一苯基〕硕、雙〔（ 3-乙基一3-氧雜丁環基甲氧基）甲基一苯基〕酮、雙 〔（3 —乙基一 3 -氧雜丁環基甲氧基）甲基―苯基〕六 丙院、三〔（3—乙基一3-氧雜丁環基甲氧基）甲基 〕苯、四〔（3一乙基一3一氧雜丁環基甲氧基）甲基〕 苯等。 上述院氧基甲基化二聚氰胺化合物、焼氧基甲基化苯 並鳥糞胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化合物及烷氧基甲基 化脲化合物係分別將羥甲基化三聚氰胺化合物、羥甲基化 苯並鳥糞胺化合物、羥甲基化甘脲化合物及羥甲基化脲化 合物之羥甲基取代成烷氧基甲基而得到。此烷氧基甲基之 種類並未予特別限定，例如可爲甲氧基甲基、乙氧基甲基 、丙氧基甲基、丁氧基甲基等。 這些市售品例如有Cymel3 00，301，303， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -52- 裝 ： 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 B7 五、發明説明（50 ) 370，325，327，701，266，267， 238，1141，272，202，1156， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1158，1123，1170，1174，Cymel U F R 6 5，Cymel 3 0 0 (以上均爲三井 Cynamide (股） 製造）、Nikkalac Mx — 750、Mx— 032、Mx — 706、Mx — 708、Mx — 4〇、Mx — 31、Ms — 1 1、M w — 3 0 (以上均爲三和Chemical (股）製造）。 上述異氰酸酯化合物例如有苯撐- 1 ，3 -二異氰酸 酯、苯撐一1 ，4 —二異氰酸酯、1 一甲氧基苯撐—2， 4 —二異氰酸酯、1—甲基苯撐一 2，4 一二異氰酸酯、 2 ，4 一甲苯二異氰酸酯' 2 ，6 —甲苯二異氰酸酯、1 ，3 —二甲苯二異氰酸酯、1 ，4 一二甲苯二異氰酸酯、 聯苯撐一4，4 ’ 一二異氰酸酯、3，3， 一二甲氧基聯 苯撐一 4，4， 一二異氰酸酯、3，3，—二甲氧基聯苯 撐—4，4’ 一二異氰酸酯、二苯基甲烷—2，4’ 一二 異氰酸酯、二苯基曱烷一 4，4 ’ 一二異氰酸酯、3， 3’ —二甲氧基二苯基甲烷一 4，4’ 一二異氰酸酯、3 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 ，3’ 一二甲基二苯基甲烷一 4，4’ —二異氰酸酯、萘 撐一 1 ，5 —二異氰酸酯、環丁撐一 1 ，3 -二異氰酸酯 、環戊撐一 1，3 —二異氰酸酯、環己撐—1 ，3 -二異 氰酸酯、環己撐—1 ，4 一二異氰酸酯、1 一甲基環己撐 一 2，4 一二異氰酸酯、1 一甲基環己撐一 2，6 —二異 氰酸酯、1—異氰酸酯—3 ，3，5，5 —三甲基—5 — 異氰酸酯甲基環己烷、環己烷一 1 ，3 -雙（甲基異氰酸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -53 - _ 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（51 ) 酯）、環己烷一 1 ，4 一雙（甲基異氰酸酯）、異佛爾酮 二異氰酸酯、二環己基甲烷一2，4’ 一二異氰酸酯、二 環己基甲烷一4，4’ 一二異氰酸酯、乙撐異氰酸酯、四 甲撐—1 ，4 一二異氰酸酯、六甲撐一 1 ，6 —二異氰酸 酯、十二甲撐一1 ， 12—二異氰酸酯、賴胺酸二異氰酸 酯甲酯等、或這些之有機二異氰酸酯之化學計量之過剩量 與含有二官能活性氫之化合物反應所得之兩終端異氰酸酯 預聚物等。 有時上述二異氰酸酯可與例如苯基- 1 ，3 ，5 -三 異氰酸酯、二苯基甲烷一 2，4，4 ’ —三異氰酸酯、二 苯基甲烷一 2 ，5 ，4， 一三異氰酸酯、三苯基甲烷_2 ，4 ’ ，4 ” —三異氰酸酯、三苯基甲烷—4，4，， 4” 一三異氰酸酯、二苯基甲烷一2，4，2， ，4’ — 四異氰酸酯、二苯基甲烷一 2，5 ，2， ，5，一四異氰 酸酯、環己烷—1 ，3，5 -三異氰酸酯、環己烷_ 1 ， 3 ，5 —三（甲基異氰酸酯）、3 ，5 —二甲基環己烷— 1 ，3 ，5 —三（甲基異氰酸酯）、1 ，3 ，5 —三甲基 環己烷一 1 ，3 ，5 —三（甲基異氰酸酯）、二環己基甲 烷—2，4，2’ —三異氰酸酯、二環己基甲烷—2 ，4 ，4’ -三異氰酸酯等三官能以上之有機聚異氰酸酯、或 這些之三官能以上之有機聚異氰酸酯之化學計量之過剩量 與含有二官能性活性氫之化合物反應所得之兩終端異氰酸 酯預聚物等倂用。 上述異氰酸酯化合物例如有1 ，3 -二氰醯苯、1 ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） -54- 裝----^----訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（52 ) 4 一二氰醯苯、1 ，3 ，5 -二氰醯苯、1 ，3 - 1 ，4 —1 ，6 — 1 ，8 — 2，6 —或 2 ，7 —二氰醯萘、1 ， 3，6-三氰醯萘、2，2’ 一或4，4， 一二氰醯聯苯 、雙（4 一氰醯苯基）甲烷、2，2 -雙（4 一氰醯苯基 )丙烷、2，2’ —雙（3，5 -二氯—4 一氰醯苯基） 丙烷' 2，2 —雙（4 一氰醯苯基）乙烷、雙（4 —氰醯 苯基）醚、雙（4 一氰醯苯基）硫醚、雙（4 一氰醯苯基 )硕、1 ，1 ，1 ，3，3，3 -六氟—2，2 -雙（4 -氰醯苯基）丙烷、三（4 一氰醯苯基）亞磷酸酯、三（ 4 -氰醯基苯基）磷酸酯、及由苯酚樹脂及鹵化氰之反應 所得之苯多核體之聚異氰酸酯化合物（例如日本特公昭 45—11712號及55—9433號公報）等。由容 易取得，且成形性及對於最終硬化物提供良好的特性的觀 點，可使用由如2 ，2 -雙（4 —氰醯苯基）丙烷之雙酚 所衍生之二價氰酸酯化合物。也可使用使鹵化氰與苯酚與 甲醛之初期縮合物反應所得之聚氰醯。 上述鳄唑啉化合物例如有2，2 ’ -雙（2 -曙唑啉 )、4 —呋喃一 2 —基亞甲基—2 —苯基一 4H — π琴唑一 5 -酮、1，4 —雙（4，5 -二氫—2 -噚唑基）苯、 1 ，3 —雙（4，5 —二氫一 2 —曙唑基）苯、2，3 - 雙（4 一異丙.烯基2 —噚唑啉一 2 —基）丁烷、2，2’ 一雙一 4 一苄基—2 —哼唑啉、2，6 -雙（異丙基一 2 一噚唑啉一 2 —基）哦啶、2，2 ’ 一異亞丙基雙（4 一 第三丁基一 2 -噚唑啉）、2，2’ 一異亞丙基雙（4一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -55- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線. 1275609 A7 B7 五、發明説明（53 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本基〜2 — nf唑啉）、2，2’ —亞甲基雙（4 一第三丁 基等唑啉）、2，2’ 一亞甲基雙（4 一苯基一 2 一喂唑啉）等。 上述噚嗪化合物例如有2，2 ’ —雙（2 - nf嗪）、 4 —呋喃—2 —基亞甲基—2 —苯基—4H —腭嗪基一 5 —酮、1 ，4 —雙（4，5 -二氫一 2 -噚嗪基）苯、1 ，3 -雙（4，5 -二氫—2 —曙嗪基）苯、2，3 —雙 (4 一異丙烯基—2 -鳄嗪一 2 —基）丁烷、2，2’ 一 雙〜4 一苄基—2 -噚嗪、2，6 -雙（異丙基一 2 -腭 嗪一 2 -基）吡啶、2，2’ —異亞丙基雙（4 一苯基— 2 -噚嗪）、2，2 ’ 一亞甲基雙（4 一第三丁基一 2 — 噚嗪）、2，2， 一亞甲基雙（4 一苯基—2 —噚嗪）等 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述鹵化矽烷基化合物例如有四氯矽烷、四溴矽烷、 四碘矽烷、三氯溴矽烷、二氯二溴矽烷等四鹵矽烷類、甲 基三氯矽烷、甲基二氯溴矽烷、環己基三氯矽烷等單烷基 三鹵矽烷類、苯基三氯矽烷、萘基三氯矽烷、4 -氯苯基 三氯矽烷、苯基二氯溴矽烷等單芳基三鹵矽烷類、苯氧基 三氯矽烷、苯氧基二氯溴矽烷等的單芳氧基三鹵矽烷類、 甲氧基三氯矽烷、乙氧基三氯矽烷等單烷氧基三鹵矽烷類 、二甲基二氯矽烷、甲基（乙基）二氯矽烷、甲基（環己 基）二氯矽烷等之二烷基二鹵矽烷類、甲基（苯基）二氯 矽烷等之單烷基單芳基二鹵矽烷類、二苯基二氯矽烷等之 二芳基二鹵矽烷類、二苯氧基二氯矽烷等之二芳氧基二鹵 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） · 56 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（54 ) 石夕院類、甲基（苯氧基）二環砂院等之單焼基單芳氧基二 鹵砂烷類、苯基（苯氧基）二氯矽院等之單芳基單芳氧基 二鹵矽烷類、二乙氧基二氯矽烷類等之二烷氧基二鹵矽烷 類、甲基（乙氧基）二氯矽烷等之單烷基單烷氧基二氯矽 烷類、苯基（乙氧基）二氯矽烷等之單芳基單乙氧基二氯 矽烷類、三甲基氯矽烷、二甲基（乙基）氯矽烷、二甲基 (環己基）氯矽烷等之三烷基單鹵矽烷類、二甲基（苯基 )氯矽烷等之二烷基單芳基單鹵矽烷類、甲基（二苯基） 氯矽烷等之單烷基二芳基單鹵矽烷類、三苯氧基氯矽烷等 之三芳氧基單鹵矽烷類、甲基（二苯氧基）氯矽烷等之單 烷基二芳氧基單鹵矽烷類、苯基（二苯氧基）氯矽烷等之 單芳基二芳氧基單鹵矽烷類、二甲基（苯氧基）氯矽烷等 之二烷基單芳氧基單鹵矽烷類、二苯基（苯氧基）氯矽烷 等之二芳基單芳氧基單鹵矽烷類、甲基（苯基）（苯氧基 )氯矽烷等之單烷基單芳基單芳氧基單鹵矽烷類、三乙氧 基氯矽烷等之三乙氧基單鹵矽烷類、及四氯矽烷之2〜5 聚物等之上述化合物之寡聚物等。 上述其他砍院基化合物例如有六甲基二砂氮院、第三 丁基二甲基氯矽烷、雙（三甲基矽烷基）三氟乙醯胺、二 乙基胺基三甲基矽烷、三甲基矽烷醇、六甲基二矽氧烷、 氯甲基二甲基乙氧基矽烷、乙醯基三苯基矽烷、乙氧基三 苯基矽烷、三苯基矽烷醇、三乙基矽烷醇、三丙基矽氧烷 、三丁基矽氧烷、六乙基二矽氧烷、三甲基甲氧基矽烷、 二甲基乙氧基:&夕院、二乙基甲氧基砂院、二乙基乙氧基石夕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袭· 訂 線 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1275609 A7 B7 五、發明説明（55 ) 烷、乙醯氧基乙基二甲基氯矽烷、1 ，3 -雙（羥丁基） 四甲基二矽氧烷、1 ，3 -雙（羥丙基）四甲基二矽氧院 、r—胺丙基甲氧基矽烷、r -胺丙基乙氧基矽烷、N-万（胺乙基）一 7 —胺丙基三甲氧基石夕院、N 8 (胺乙 基）—T —胺丙基甲基二甲氧基石夕院、N —苯基一 τ* 一胺 丙基三甲氧基矽烷、7 -苯胺基丙基三甲氧基矽烷、 二丁基胺丙基三曱辜基矽烷、r- 基丙基三乙氧基矽院 、N —泠（N —乙燒基；基胺乙基）—r 一胺丙基三甲氧 基矽烷•鹽酸鹽、7 -甲基丙烯醯氧丙基三甲氧基矽烷、 r -甲基丙烯醯氧丙基三乙氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽 烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三氯矽烷、乙烯基三（ 冷-甲氧基乙氧基）矽烷、r -環氧丙氧基丙基甲基二乙 基矽烷、r —環氧丙氧基丙基三乙氧基矽烷、r — (3， 4 -環氧基環己基）乙基三甲氧氧基砂院、r -環氧丙氧 基丙基三甲氧基矽烷、r-锍基丙基三甲氧基矽烷、r -氯丙基三甲氧基矽烷、三甲基氯矽烷、六甲基二矽胺烷、 N —三甲基甲矽烷基咪唑、雙（三甲基甲矽基）脲、三甲 基甲矽烷基乙醯胺、雙三甲基甲矽烷基乙醯胺、三甲基甲 矽院基異氰酸酯、三甲基甲氧基矽烷、三甲基乙氧基矽烷 、甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、二甲基二甲氧 基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、第三丁基二甲基氯矽烷、 第三丁基二苯基氯砂烷、三異丙基氯矽烷、正丙基三甲氧 基矽烷、異丁基三甲氧基矽烷、正己基三甲氧基矽烷、正 癸基三甲氧基矽烷、正十六烷基三甲氧基矽烷、1 ，6 - 批衣-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） —58 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（56 ) 雙（三甲氧基甲矽烷基）己烷、二甲基甲矽烷基二異氰酸 酯、甲基甲矽烷基異氰酸酯、苯基三甲氧基矽烷、二苯基 二甲氧基矽烷、及苯基甲矽烷基三異氰酸酯等。 本發明所用的（D )安定化劑可使用上述中之胺基化 合物、環氧化合物、硫化乙烯化合物、氮雜環丁烷化合物 、噚唑啉化合物、鳄嗪化合物、甲矽烷基化合物、異氰酸 酯化合物、氰酸酯化合物，其中更理想爲使用胺基化合物 、環氧化合物、硫化乙烯、氮雜環丁烷化合物、nf啉化合 物及鸣嗪化合物。其中理想爲使用乙二胺、苯基縮水甘油 醚、3 —苯氧基丙撐硫醚、3，3 ，3 -三氟環氧丙烷、 六甲基二砍氨院、7 -胺丙基甲氧基砂院、7" -環氧丙氧 基丙基三甲氧基矽烷、甲基甲矽烷基三異氰酸酯等。 這些（D )安定化劑可單獨使用或組合二種以上使用 。又（D )成分之使用比例係可過量使用使（A )分解性 化合物之殘存部分充分反應，但是通常對於（A )成分 1 0 0重量份時，可使用1 0重量份以上，理想爲3 0重 量份以上。（D)成分之量爲10重量份以下時，反應不 足，有時介電率化材料之安定性不足。 又可同時使用（D )安定化劑與觸媒。使用觸媒可促 進（D )成分與（A )分解性化合物之殘存部分之反應。 此種觸媒例如有酸觸媒、鹼觸媒、第四鑰鹽類等。 上述酸觸媒例如有醋酸、甲烷磺酸、對甲苯磺酸、三 氟醋酸、三氟甲烷磺酸類之有機酸、或如鹽酸、硫酸、硝 酸類之無機酸，上述鹼觸媒例如有碳酸鈉、碳酸鉀或碳酸 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X 297公釐） :59- ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、^1 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（57 ) 鋰之鹼金屬碳酸鹽類；如碳酸氫鈉、碳酸氫鉀或碳酸氫鋰 之鹼金屬重碳酸鹽類；如醋酸鈉之鹼金屬醋酸鹽類；氫化 鋰、氫化鈉或氫化鉀之鹼金屬氫化物類；氫氧化鈉、氫氧 化鉀或氫氧化鋰之鹼金屬氫氧化物類；甲醇鈉、乙醇鈉、 第三丁醇鉀或甲醇鋰之鹼金屬醇鹽類；甲基硫醇鈉或乙基 硫醇鈉之硫醇鹼金屬類；三乙胺、三丁胺、二異丙基乙胺 、N —甲基嗎啉、吡啶、4 — ( N，N —二甲基胺基）吡 啶、N，N —二甲基苯胺、N，N—二乙基苯胺、1 ，5 —二氮雜雙環〔4 · 3 · 0〕壬一 5 -儲、1 ，4 —二氮 雜雙環〔2 · 2 . 2〕辛烷（DABCO)或 1 ，8 -二 氮雜雙環〔5 · 4 . 0〕十——7 -烯（D B U )之有機 胺類；甲基鋰、乙基鋰或丁基鋰之烷基鋰類；鋰二異丙基 醯胺或鋰二環己基醯胺之鋰烷基醯胺類等，上述第四鐵鹽 類例如有氯化四丁銨、溴化四丁銨、碘化四丁銨、乙酸四 丁銨、氯化四丁鱗、溴化四丁鱗、溴化十六基三甲銨、溴 化四丙銨、氯化苄基三乙銨 '其他。也可組合1 8 -冠烷 一 6 -醚與氯化鉀、溴化鉀、碘化鉀、氯化鈽、鉀酚鹽、 鈉酚鹽、苯甲酸鉀等之鹽類作爲觸媒使用。 這些當中較理想之觸媒例如有對甲苯磺酸、鹽酸、硫 酸、氫氧化鈉、第三丁醇鉀、三乙胺、D B U、溴化四丁 銨、溴化四丁鱗、1 8 -冠烷一 6 -醚/鉀酚鹽。 這些觸媒之使用量係（D )成分使用胺基化合物、烷 氧基甲基化三聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘 化合物、 烷氧基甲基化苯並鳥糞胺化合物、烷氧基甲基化脲化合物 I 辦衣 ^1T^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -60 - 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（58 ) 、及鹵化甲矽烷化合物時，對於（D )成分1當量時，理想 爲使用2莫耳以下的使用量。 (D )成分使用環氧化合物、硫化乙烯化合物、氮雜 瓌丁烷化合物、異氰酸酯化合物、氰酸酯化合物、uf唑啉 化合物、-嗪化合物、其他之甲矽烷化合物時，對於（D )成分1當量時，理想爲使用0.2莫耳以下的使用量。 (D )成分之使用當量數係對（D )成分之使用量（ 莫耳）乘以該（D )成分中所含的反應性基之數所得之數 値，反應性基之數係依據（D )成分之種類而定義如下述 〇 胺基化合物時：氮原子之數量 環氧化合物時：環氧基之數量 硫化乙烯化合物時··環硫乙烷基之數量 氧雜環丁烷化合物時：氧雜環丁烷基之數量 烷氧基甲基化三聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化 合物、烷氧基甲基化苯並鳥糞胺化合物及烷氧基甲基化脲 化合物時：烷氧基甲基之數量 異氰酸酯化合物時：異氰酸酯基之數量 氰酸酯化合物時：氰酸酯基之數量 腭唑啉化合物時：Df嗪啉基之數量 鳄嗪化合物時：Df嗪基之數量 鹵化甲矽烷基化合物：矽原子所鍵結之鹵原子之數量 其他甲矽烷基化合物：矽原子之數量 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線 I --- 1 - - - !- 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公慶j -61 - 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（59 ) <其他成分> 於本發明所使用的介電率變化材料中在不損及本發明 目的的範圍內，可含有其他之添加劑。此種添加劑例如有 紫外線吸收劑、增感劑、界面活性劑、耐熱性改良劑、接 著助劑等。 上述紫外線吸收劑例如有苯并三唑類、水楊酸鹽類、 二苯酮類、取代丙烯腈類、咕噸類、香豆素類、黃酮類、 芳基丙烯醯芳烴類化合物等之紫外線吸收劑。具體而言， 有 Ciba Specialty Chemicals公司製造的 Tinuvin 234 ( 2 — (2 —羥基—3，5 —雙（α，α —二甲基苄基）苯基） —2 Η -苯幷三唑）、Tinuvin 571 (羥基苯基苯并三唑衍生 物）、Tinuvin 1 1 30 (甲基一 3 —（3 —第三丁基一 5 一（2 Η -苯并三唑—2 -基）一 4 —羥基苯基）丙酸酯 與聚乙二醇（分子量3 0 0 )之縮合物），1，7 -雙（4 一羥基—3 — ·甲基苯基）—1，6 -庚二燦—3，5 —二 酮、二苄叉丙酮等。 藉由添加紫外線吸收劑，隨著本發明之介電率變化材 料之放射線照射部之表面起算的深度變深時，可慢慢減少 來自（C )成分之酸或鹼發生量。這些紫外線吸收劑之使 用比例係封於（A )成分與（Β )成分之合計1 〇 〇重量份， 理想爲使用30重量份以下，更理想爲2〇重量份以下。 上述增感劑例如可使用在第3位置及/或第7位置上具 有取代基之香豆素類、黃酮類、二苄叉丙酮類、芳基丙烯 醯芳烴類、咕噸類、硫咕噸類、卟啉、酞菁類、吖啶類' 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -62- 裝丨----τ--訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 ^__B7 五、發明説明（60 ) 蒽類等。 增感劑之使用比例係對於（A )成分與（B )成分之 合計100重量份時，理想爲使用30重量份以下，更理想爲20 重量份以下。 爲了改善塗佈性例如防止條紋或改良顯影性，可添加 上述界面活性劑。 界面活性劑可使用例如聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯 硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙 烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚類 、聚氧乙烯二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二醇 二烷基脂類之非離子系界面活性劑；以E F T〇P EF301、EF303，EF352 (以上均爲新秋田 化成（股）製造）、MegafacF171、F172、 F173 (以上均爲大日本油墨工業（股）製造），
Flolard FC43〇、FC431 (以上，住友 3M (股） 製造），Asahi guard A G 7 1 0、Surflon S - 3 8 2、 SC -101 ' SC-l〇2'SC-l〇7'SC-1 04、SC — 1 05、SC - 1 0 6 (以上均爲旭玻璃 (股）製造）等之商品名上市販賣之氟系界面活性劑；以 有機矽氧烷聚合物K P 34 1 (信越化學工業（股）製造）、 丙烯酸系或甲基丙烯酸系（共）聚合物p〇ly fl〇w N〇.57 、9 5 (共榮社化學（股）製造）等之商品名上市販售之其 他界面活性劑。
這些界面活性劑之使用比例係對於（A )成分與（B 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -63- 裝 ： 訂 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 B7 五、發明説明（61 ) )成分之分計量1 〇〇重量份時，理想爲使用2重量份以下， 更理想爲1重量份以下。 可添加上述接著助劑改良與基板之密著性，接著助劑 理想爲使用矽烷偶合劑。 上述耐熱性改良劑可添加多價丙烯酸酯等的不飽 和化合物等。 本發明使用的介電率變化材料，必要時可添加抗靜電 劑、貯藏安定劑、抗暈光劑、消泡劑、顏料、熱酸發生劑 等。 <介電率圖案之形成> 本發明中，藉由使用上述之介電率變化性組成物，例 如如下述方式可形成介電率圖案。 首先，將介電率變化性組成物溶解或分散於溶劑內， 形成例如固形分之濃度爲5〜70重量％，製備組成物溶液。 必要時，可以孔徑約〇· 1〜10 // m之過濾器過濾後再使用。 其後，將此組成物塗佈於矽晶圓等之基板表面上，藉 由加預烘烤去除溶劑以形成介電率變化性組成物之塗膜。 接著，所形成之塗膜上，例如介於圖案光罩，對其一部分 進行放射線照射處理，以加熱使放射線照射部形成微細之 氣孔，經固定後，形成介電率變化性組成物之放射線照射 部與放射線未照射部之介電率差。 藉由放射線之照射由（C )成分之感放射線性分解劑 生成酸或鹼，此酸或鹼與（A )成分作用，分解（A )成 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） - 64- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 ____B7五、發明説明（62 ) 分，此分解物在常溫下爲氣體之物質時，主要於放射線照 射後之加熱時逸散形成空孔。 此分解物在常溫下爲固體之物質時，藉由加熱時升高 之溫度加熱，以氣體形態蒸發或昇華逸散，形成空孔，或僅 萃取分解物形成空孔。結果放射線照射部與放射線未照射 部之間形成介電率差。 上述加熱時，未與酸或鹼反應而殘留之（A)成分， 當與酸或鹼反應之（D)成分不存在時，進一步加熱將殘 留之（A )成分分解。分解時進行加熱避免分解物形成空 上述加熱時，未與酸或鹼反應而殘留之（A )成分， 當（D)成分存在時，與（D)成分反應使形成之介電率 .圖案達到安定。 調製含有本.發明用之介電率變化性組成物之組成物的 溶劑，例如可使用將上述（A ) 、( B ) 、（ C )及任意 添加之（D )成分或其他添加劑之各成分均勻溶解，且不 會與各成分反應者。 具體而言，例如有甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、丁醇 、乙二醇、丙二醇等醇類；四氫呋喃類的醚類，·乙二醇單 甲醚、乙二醇單乙醚等甘醇醚類；2 —甲氧基乙醇乙酸酯 、2 -乙氧基乙醇乙酸酯等的乙二醇烷基醚乙酸酯類；二 乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙 二醇二乙基甲醚等的二乙二醇類；丙二醇甲醚、丙二醇乙 醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚等的丙二醇單烷基醚類；丙 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）六4規袼（210父297公釐）_65- I--------批衣----Ί--1T-----—線、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（63 ) 二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯 丙二醇單醚乙酸酯等的丙二醇烷基醚乙酸酯類；丙二醇甲 醚丙酸酯' 丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、 丙二醇丁基醚丙酸酯等的丙二醇烷基醚乙酸酯類；甲苯、 二甲苯等芳香族烴類；甲乙基酮、環己酮、4 一羥基一 4 一甲基一 2 —戊酮等酮類；及乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸 丙酯、乙酸丁酯、2 —羥基丙酸乙酯、2 -羥基一 2 —甲 基丙酸甲酯、2 -羥基一 2 —甲基丙酸酯、羥基乙酸甲酯 、羥基乙酸酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳 酸丙酯、乳酸丁酯、3 -羥基丙酸甲酯、3 -羥基丙酸乙 酯、3 —羥基丙酸丁.酯、2 -羥基—3 —甲基丁烷酸甲酯 、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、 .甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸·乙酯、乙 氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧 基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基 乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙 酸丁酯、2 —甲氧基丙酸甲酯、2 —甲氧基丙酸乙酯、2 -甲氧基丙酸丙酯、2 -甲氧基丙酸丁酯、2 -乙氧基丙 酸甲酯、2 —甲氧基丙酸乙酯、2 —乙氧基丙酸丙酯、2 -乙氧基丙酸丁酯、2 —丁氧基丙酸甲酯、2 -丁氧基丙 酸乙酯、2 - 丁氧基丙酸丙酯、2 -丁氧基丙酸.丁酯、3 一甲氧基丙酸甲酯、3 -甲氧基丙酸乙酯、3 —甲氧基丙 酸丙酯、3 —甲氧基丙酸丁酯、3 —乙氧基丙酸甲酯、3 -乙氧基丙酸乙酯、3 -乙氧基丙酸丙酯、3 —乙氧基丙 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（210X 297公釐）~ I I, I I私衣 ^ 訂 I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A7 B7 全氟二甲基環己烷、 1 ，2 —三氯-1，2 分之反應性及塗膜形 、甘醇醚類、乙二醇 酯類、酮類、酯類及 五、發明説明（64 酸丁酯、3 -丙氧基丙酸甲酯、3 -丙氧基丙酸乙酯、3 -丙氧基丙酸丙酯、3 -丙氧基丙酸丁酯、3 -丁氧基丙 酸甲酯、3 -丁氧基丙酸乙酯、3 - 丁氧基丙酸丙酯、3 一丁氧基丙酸丁酯等酯類；三氟甲基苯一 1 ，3 一雙（三 氟甲基）苯、六氟苯、六氟環己烷、 全氟甲基環己烷、八氟十氫苯、1， ，2—三氟乙烷等含有氟原子之溶劑。 這些溶劑中，從溶解性，與各成 成之容易度的觀點，理想爲使用醇類 烷基醚乙酸酯類、丙二醇烷基醚乙酸 二乙二醇類。 前述溶劑也可倂用高沸點溶劑。可倂用之高，點溶劑 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
、1T 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 例如有N —甲基甲醯胺、N，N -二 基甲醯苯胺、N -甲基乙醯 、N —甲基吡咯烷酮、二甲 醚、乙醯丙酮、異佛爾酮、 壬醇、苄醇、醋酸苄酯、苯 烯二酸二乙酯、r 一 丁內酯 苯基乙氧基乙醇乙酸酯等。 本發明所使用之介電率變化性組 ，在考慮用途上可形成各種形狀。例 長板狀、球狀、薄膜狀、透鏡狀等， 。其成形方法亦可使用通常使用的方 、壓縮成形、吹塑成形、擠壓成形、 甲基甲醯胺、N —甲 苯胺、N 基亞硕、 己酸、辛酸、1 一辛醇、1 一 甲酸乙酯 、碳酸乙 ’ N —二甲基乙醯胺 苄基乙基醚、二己基 、草酸二乙酯、順丁 烯酯、碳酸丙烯酯、 成物係照射放射線時 如有桿狀、纖維狀、 但是不受這些所限定 法。例如有射出成形 箱框內聚合法、切削 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 67- 1275609 A7
五、發明説明（65 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 法、展延法、加熱冷卻法、C V D蒸鍍法、燒結法、掃瞄 法等。又依光學成形體之用途可採用旋轉塗佈法、細縫法 、棒塗法、溶劑流延法、L B法、噴塗法、輥塗法、凸版 印刷法、網版印刷法等。 此成形處理時進行加熱處理（以下稱作「預烘烤」） 較理想。其加熱條件係因本發明之材料之配合組合，各添 加劑之種類等而不同，理想爲30〜200°C，更理想爲40〜150 °C ’可使用加熱板或烘箱，紅外線等來加熱。 放射線照射處理所使用的放射線例如有波長 3 6 5 n m 之 i 線，4 0 4 n m 之 h 線，4 3 6 n m 之 g 線，氙燈等廣範圍波長光源等之紫外線，波長2 4 8 n m 之K r F準分子雷射，波長1 9 3 nm之A r F準分子雷 射等之遠紫外線，同步加速器放射線等之X射線或電子射 線等之荷電粒子線，可見光及這些的混合射線等。這些中 紫外光及可見光較理想。照度雖因照射波長等而異，但是 以0 . 1 m W / c m 2〜1 〇 〇 m W / c m 2在反應效率上 最佳。經由圖案光罩照射這些放射線，可將感放射性介電 率變化性組成物形成圖案。圖案精確度會受使用之光源等 影響，可製造具有約0.2 // m之解像性之介電率變化分佈之 介電率圖案。 在本發明在曝光後進行加熱處理（放射線照射後烘烤 (PEB ))較理想。其加熱時可使用與上述預烘烤相同的裝 置，其條件可任意設定。理想之加熱溫度爲3 0〜1 5 0 t，更理想爲3 0〜1 3 0 °C。接著放射線照射後烘烤或· 裝----r--訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 68 - 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（66 ) 個別進行使殘存的（A )成分及（D )成分反應之安定化 的加熱處理爲宜。安定化之加熱處理宜爲3 5〜2 0 0 °C ’較理想爲較P E B之溫度高1 〇 °C以上的溫度，更理想 爲較P E B之溫度高2 0 °C以上的溫度。 將殘存於放射線未照射部之（C )成分等分解，爲了 更進一步提高材料之安定性可進行再曝光處理。 例如可以相同的曝光量將使介電率變化之步驟所使用 之放射線相同波長的放射線，照射於圖案全面來進行再曝 光處理。 必要時可再進行加熱處理，提高材料之安定性。於此 時之加熱可使用與材料成形時之預烘烤相同的裝置，其條 件係可任意設定的。 又，若依本發明時，本發明之介電率圖案形成法係經 由圖案光罩，將放射線照射至由上述（A )成分，（b ) 成分及（C )成分所構成之介電率變化性組成物，接著以 (D )安定化劑處理形成介電率圖案。 利用安定化劑（D )之處理，宜在實施曝光後烘烤後 進行。 (D )安定化劑係使殘存於放射線照射後的介電率變 化材料之（A )分解性化合物達到安定化，具有賦予對酸 或鹼之安定性的功能。藉由此安定化處理藉由此安定化處 理，以本發明之方法所形成的介電率圖案，即使在使介電 率變化所使用之波長附近之光通過的條件下使用，也不會 產生介電率之變化，也無劣化。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ^4規格（210X297公釐） · 1275609 A7
7 B 五、發明説明（67 ) (D )安定化劑除前述具體例外，可使用氨或三乙基 胺類之低沸點化合物。 安定化處理之放射線照射後的介電率雙化材料與（D )安定化劑之接觸可採用適當的方法，例如（D )成分及 視形將觸媒彳谷解於適當的溶劑內’以溶液狀態介電率 變化材料接觸，或（D )成分在接觸條件下爲液體或氣體 時，以（D )成分Γ 〇 〇 %狀態下直接接觸。 上述（D )安定化劑與（A )成分反應時，使用溶劑 時之溶劑係溶解（D )成分及任意添加的觸媒，以不溶解 (A )成分者爲佳。選擇此種溶劑時，所得的介電率圖案 之表面上不會粗糙。 這種溶劑例如有水；甲醇、乙醇、異丙醇、正丙醇、 正丁醇、異丁醇、第三丁醇、環己醇、乙二醇、丙二醇、 二乙二醇等醇類；二乙醚、四氫呋喃等醚類；乙二醇單甲 醚、乙二醇單乙醚等甘醇醚類；2 -甲氧基乙醇乙酸酯、 2 -乙氧基乙醇乙酸酯等的乙二醇烷基醚乙酸酯類；二乙 二醇‘單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚等的二乙 二醇類；丙二醇甲醚、丙二醇乙醚等丙二醇單烷醚類；丙 二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯等丙二醇烷醚乙酸酯 類；丙二醇單醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚 丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷醚乙酸酯類；甲苯 、二甲苯等芳香族烴類；正己烷、正庚烷、正辛烷等的脂 肪族烴類；甲乙酮、環己酮、甲異丁酮、甲戊酮、4 —羥 基- 4 一甲基- 2 -戊酮等酮類；及醋酸乙酯、醋酸丙酯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 70 - ---批衣-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 B7 五、發明説明（68 ) 、醋酸丁酯、2 -羥基丙酸乙酯、2 -羥基—2 —甲基丙 酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸丙酯、乳酸 丁酯' 3 —羥基丙酸甲酯、2 -羥基一 3 -甲基丁酸甲酯 、甲氧基醋酸乙酯、甲氧基醋酸丁酯、2 —甲基丙酸乙酯 、2 —甲基丙酸丁酯、2 -乙氧基丙酸丁酯、2 — 丁氧基 丙酸丁酯、3 —甲氧基丙酸丁酯、3 -乙氧基丙酸丁酯、 3 -丙氧基丙酸丁酯、3 -丁氧基丙酸丁酯等酯類；三氟 甲基苯、1，3 -雙（二氟甲基）苯、六氟苯、六氟環己 烷、全氟二甲基環己烷、全氟甲基環己烷、八氟十氫萘、 1 ，1 ，2 -三氯—1，2，2 —三氟乙烷等含氟之溶劑 〇 這些溶劑中使用水、醇類、甘醇醚類、乙二醇烷基醚 乙酸酯類、及含氟之溶劑較理想。 (D )安定化劑與（A )分解性化合物之殘存部分反 應時之反應溫度，通常可設定爲〇〜1 3 0 °C，反應時間 通常可設定爲10秒〜1小時。 將殘存於放射線未照射部之（C )成分等分解，爲了 更進一步提高材料之安定性可進行再曝光處理。 關於含有上述安定化處理之介電率圖案形成法之未記 載之事項可直接或熟悉該項技藝者所週知的狀態下，適用 如前述介電率圖案形成法所記載之事項。 依據本發明時，本發明之介電率圖案形成法係經由圖 案，將放射線照射至由上述（A )成分，（B )成分及（ C )成分所構成之介電率變化性組成物，接著加熱分解未 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）-71 - ¾-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（69 ) 曝光部之分解性化合物。 上述加熱處理理想爲較P E B之溫度高1 〇 °C以上的 溫度。例如170°C以上之溫度，更理想爲20(TC以上的溫度。 藉由上述加熱殘存於未曝光部之分解性化合物（A ) 係利用分解或昇華去除，理想爲實質上不形成空孔。 不含（D )成分時之上述介電率圖案形成法之未記載 之事項可直接或熟悉該項技藝者所週知的狀態下，適用如 前述介電率圖案形成法所記載之事項。 如上述所形成的本發明之介電率圖案其放射線照射部 之介電率宜低於放射線未照射部之介電率。更理想爲放射 線照射部之介電率爲放射線未照射部之介電率之90%以下， 更理想爲75%以下之數値。 又’放射線照射部之空隙率理想爲1 〇〜9 9 . 9 % ，更理想爲1 5〜9 9 . 9 %，特別理想爲2 0〜 9 9.9%。 放射線照射部及未照射部之彈性率各自宜爲 ◦ · 3 G P a以上及1 G P a以上，更理想爲 〇·5GPa以上及3GPa以上。 如上述本發明之組成物例如形成膜狀，可任意形成由 具有不同介電率之多個區域所構成之圖案。因此，僅使膜 Φ之必要部份產生低介電化，作爲電路基板之絕緣材料使 時，其強度明顯高於在膜整體具有空孔之以往有機系低 介電絕緣材料。 由本發明之組成物所形成之介電率圖案可作爲電容器 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) M規格（210X29?公釐） -72- 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7_五、發明説明（70 ) 使用，可作爲被動元件內藏LSI或安裝於被動元件內藏基板 之輸入、輸出電容器或旁路電容器使用。本發明之組成物 用於電容器時，可形成比使用以往習知之材料之電容器更 輕、更薄，可爲任意形狀，因此，被動元件陣列化時，有助 於提高單位容積之容量，大幅提高陣列設計之自由度。 〔實施方式〕 藉由以下實施例說明本發明，但是本發明不受此限定 〇 以下，各化合物之聚苯乙燒換算平均分子量係採用昭 和電工（股）製之G P C色譜層析儀S Y S T E Μ — 2 1 測定。 〔（A )成分之合成例〕 _ (_ A )成分之合成例1 在氬氣氣氛下，在500ml之三口燒瓶內將對苯二甲酸 49· 84g與苯基甲基二氯矽烷57.34g溶解於N —甲基吡咯烷酮 200 g中。將吡啶23.73g溶解於N -甲基吡咯烷酮50 g之溶 '液在攪拌及冰冷狀態下，以1小時添加於前述溶液中。添加 結束後’將反應液加熱至6(TC，以24小時進行聚合。聚合結 束後’將反應液注入2L之甲醇中使之沉澱，然後再溶解於 200ml之N —甲基吡咯烷酮中，投入2L之甲醇中，再度沉澱 精製。 將析出之聚合物過濾後，以50 °C進行真空乾燥得到 本紙張尺度適财卿家辟（CNS ) M規格（21QX 297公釐）_ _ 一 I 裝 ； 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ________B7 五、發明説明（71 ) 7〇.80g之化合物（A - 1)。所得之化合物之重量平均分子 量爲 26，000。 _( A ) 成分之合成例2 將作爲單體之鄰苯二甲醛5〇g及四氫呋喃500 g投入氮取 代之1 L之燒瓶內，冷卻至-78°C。添加第三丁氧基鉀41.83g， 在氮氣氛下，以-78°C冷卻下攪拌48小時。 將醋酐45.67g與吡啶35.38g在冷卻狀態下添加於上述製 得之反應溶液中，接著以-78°C攪拌2小時。反應液在減壓下 ，加熱至60°C使反應液全量濃縮至l〇〇ml後，溶解於1 L之醋 酸乙酯，以離子交換水洗淨3次，將醋酸乙酯濃縮後，以50 °C進行真空乾燥得到45 g之化合物（A - 2 )。所得的化合 .物藉由"H — NMR由1.2 - 1.3 ppm之第三丁基所產生之質子 及7.2 - 7.3ppm之芳香族所產生之質子之積分比，得知第三 丁氧基鉀所產生之第三丁基及鄰苯二甲醛所產生之芳基之 比例爲1比1。 (A)成分之合成例3 在氬氣氛下，於500ml之三口燒瓶內使對苯二甲酸氯 49.84 g溶解於150ml之氯仿內，然後添加1，4一苯硫醇33.05 g及氫氧化鉀16.83 g溶解於150ml之離子交換水之溶液，經 攪拌、進行界面聚縮合。反應4小時後，以四氫呋喃-甲醇 進行二次再度沈澱精製。 將析出之化合物過濾後，以50°C進行真空乾燥，得到 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -74 - ---------批衣----Ί---IT------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7_五、發明説明（72 ) 5 6.55 g之化合物（A -3)。所得的化合物之重量平均分子 量爲7, 600。 (A)成分之合成例4 將2，2·偶氮雙（2，4-二甲基戊腈）8g、二乙二醇二甲 醚200g投入500ml之三口燒瓶內。接著添加甲基丙烯酸-第三 丁酯100g，經氮取代後，開始緩慢攪拌。使溶液之溫度上昇 至90 °C，此溫度下保持3小時得到聚合物（A - 4 )。所得 的聚合物溶液之固形份濃度爲31.0重量％，聚合物之重量平 均分子量爲5, 500。 (B )成分之合成例 —(B ) 成分之合成例1 在1L之三口燒瓶內秤取甲基三甲氧基矽烷50g，添加 1-乙氧基-2-丙醇100g使之溶解，所得之溶液利用磁性攪拌 器攪拌加熱至60°C。將離子交換水19.85 g以1小時連續添加 於該混合溶液內。然後以6(TC反應4小時後，將製得之反應 液冷卻至室溫。 然後從反應液中將反應副產物之甲醇減壓餾去，濃縮 至溶液之固形份濃度成爲20重量％，得到含有化合物（B 一 1 )之溶液。化合物（B - 1 )之重量平均分子量爲2，200 裝 ^ 訂 · 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (B )成分之合成例2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-75 - 1275609 A7 B7 五、發明説明（73 在1L之三口燒瓶內，將四丁氧基鈦2〇〇g溶解於無水甲 苯中，調製溶液，此溶液加熱至8 5 °C。接著將離子交換水 2〇·1 g與正丁醇400g之混合溶液以85°C，以1小時滴入前述 溶液中，滴液結束後，再以85 °C攪拌3小時。如此製得之反 應生成液在減壓下（O.lmmHg)，加熱至150°C餾去揮發成 分。添加卜乙氧基-2-丙醇500g，溶液之固形份濃度濃縮至20 重量％，得到含有化合物（B - 1 )之溶液。此化合物（B 一 2)之重量平均分子量爲2, 200。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 實施例1 將含有（A )成分之化合物（A — 1 ) 50重量份、（ B )成分之化合物（B-1 )之溶液（相當於化合物（B-1 ) 50 重量份（固形份））、及（C )成分之4 一苯硫基苯基聯 苯基鎏三氟甲烷磺酸酯1重量份溶解於二乙二醇乙基甲醚中， 使全體之固形分濃度成爲20%後，以孔徑〇·2μπι之薄膜過濾 器過濾，調製介電率變化材料之組成物。 訂 線 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 _(__1 )塗膜之形成 使用旋轉塗佈器將上述溶液塗佈於矽基板後，以1 30°C 在熱板上預烘烤2分鐘，形成膜厚1·〇μιη之塗膜。 (2)介電率圖案之形成 在上述製得之塗膜上，使用NSR 1 5 0 5 i 6Α縮 小投影曝光機（（股）N I Κ Ο N製，N A = 〇 . 4 5 ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29*7公釐） · 76 - 1275609 A7 B7 五、發明説明（74 ) λ = 3 6 5 n m )之最適當焦點深度，以曝光量5 〇 m j / c 111 2進行放射線照射處理。接著以1 〇〇°c進行2分鐘之曝 光後烘烤處理’在放射線照射部及放射線未照射部形成不 同介電率之介電率圖案。以下針對所形成之介電率圖案而 言’放射線照射部稱作「曝光部」，放射線未照射部稱作 「未曝光部」。 (3 )安定化處理 將上述所形成之矽基板上及玻璃基板上之介電率圖案 以100C浸漬於加熱至100°C之（D )成分之苯基縮水甘油 基醚150ml (含有反應觸媒之溴化四丁基銨〇.lmin〇i )中2分 鐘後，以超純水洗淨1分鐘。 接著以Canon P L A — 501 F但用過濾器，對圖案全面 以4.5m W / c m 2進行1分鐘之再曝光處理，再以烘箱之2〇〇 °C加熱10分鐘，進行介電率圖案之安定化處理。 _L_4)以BET法測定表面積 使用 COULTER公司製、0MNIS0RP 100/360 SERIES以 BET法測定上述形成之介電率圖案之曝光部及未曝光部之表 面積。 丄5 )使用水銀孔率計測定空隙率 使用水銀孔率計（（股）島津製作所a u t ο ρ 〇 a r 9 2 0 0、最 小可測定34人）測定上述形成之介電率圖案之曝光部及未曝 光部之空隙率。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210乂297公釐） I---------批衣II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（％ ) 定計，以CV法測定該塗膜之比介電率。 實施例2 除了使用（A)成分之化合物（A - 2) 50重量份，步 驟（2 )(介電率圖案之形成）之曝光後烘烤之溫度如表1 所述，步驟（3)(安定化處理）之（D)成分之種類及安 定化處理溫度如表2所述外，其餘同實施例1的方法操作， 然後進行評估。結果如表1及表2所示。 實施例3 除了使用（A)成分之化合物（A— 3) 50重量份，（ C)成分之N— (2 -硝基苄氧基羰基）吡咯烷5重量份， 步驟（2 )(介電率圖案之形成）之曝光後烘烤之溫度如表 1所述’步驟（3)(安定化處理）之（D)成分之種類及 安定化處理溫度如表2所述外，其餘同實施例1的方法操作， 然後進行評估。結果如表1及表2所示。 實施例4 除了使用（B )成分之含有化合物（b - 2 )之溶液（相 當於化合物（B-2 ) 50重量份（固形份））外、其餘同實施 例1的方法操作，然後進行評估。結果如表1及表2所示。 實施例5 除了使用（A)成分之化合物（a — 4) 50重量份，步 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X 297公着） -79- 1275609 A7 ___ B7 五、發明説明（77 ) 驟（2)(介電率圖案之形成）之曝光後烘烤之溫度如表1 所述，其後之安定化處理前，浸漬於2.38%四甲基氫化銨水 溶液1分鐘，萃取A成分。接著步驟（3 )(安定化處理） 之（D )成分之種類及安定化處理溫度如表2所述外，其餘 同實施例1的方法操作，然後進行評估。結果如表1及表2所 示0 實施例6 步驟（2 )(介電率圖案之形成）爲止與實施例i相同， 其後未進行安定化處理，以200°C燒結5分鐘，再以350°C燒 結1小時。步驟（4 )〜（丨〇 )係與實施例丨相同，然後進行 評估。結果如表1及表2所示。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} .裝·
iT 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表1 誘電率圖案形成條件 安定化處理條件 放射線照射量 (m J / c m2) 露光後烘烤 溫度（°C ) (D)成分種 處理溫度 實施例1 80 100 D-1 80 實施例2 60 100 D-2 20 實施例3 100 100 D-1 80 實施例4 100 100 D-1 80 實施例5 80 150 D-1 80 實施例6 80 100 to 80 但是表1中，（D)成分之符號分別表示下述者。 D-1 ;苯基苄基醚（添加l〇mol%四丁基溴化銨） D-2 ;對苯二甲基二胺之1°/。水溶液 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X 297公釐） _ 80 1275609 A7 B7 五、發明説明（78 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CN漱 比介電率 未曝光部 ρ CO p r—H VO 丨曝光部 cn CN 50.0 On 彈性模數 i未曝光部 i 6.9 GPa o VO vd 7.5 GPa _1 o 〇〇 〇6 6.4 GPa 5.1 GPa 曝光部 2.3GPa ¢2 0 1 i 2.9 GPa 2.6 GPa i 2.4 GPa _1 1 ! 1.2 GPa 折射率 ί_ 未曝光部 1.54 名 τ—H 〇〇 v〇 f" H VO oq r < r-H 贅· i r-H 曝光部 r-H CO f 1 \ 1.27 cn cn r-H g r 1 i CO cn r—^ f—H | u § ^ 1 ίΐ |電子顯微 鏡觀察 o 〇 〇 〇 o o 1 BJH法 o o 〇 〇 o o 空隙率 未曝光部 ί L .. 疹 o o o o g o 曝光部 28% 38% 22% 21% 1 25% | 1 28% 表面積 1 - 未曝光部 1 ^ 1 1 1 1 曝光部 510 m2/g O 450 m2/g 450 m2/g 500 m/g ε vn 實施例1 實施例2 實施例3 實施例4 實施例5 實施例6 I 裝 ； 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -81 - 1275609 A7 ________B7 五、發明説明（79 ) 使用上述實施例1〜6製得之介電率圖案可製作具有良 好層間絕緣膜特性之裝置或電容器。 以本發明之方法所形成之介電率圖案具有非常大的介 電率差，且形成之介電率差對於光、熱安定，因此，非常 適合作爲用於光電或顯示器領域使用之層間絕緣膜材料使 用。本發明之介電率圖案可用於其他電容器等之實裝材料 I--------裝----Ί--II-----—^1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210父297公釐） — -82-

Claims (2)

  1. A8 B8 C8 D8 Ι275β®ν(修正 六、申請專利範圍 第9 1 1 1 6756號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (請先閲·#背面之注意事項再填寫本頁) 民國95年10月14曰修正 1 · 一種感放射線性介電率變化性組成物，其特徵爲含有 (A )分解性化合物、（B )非分解性化合物、（C )感 放射線分解劑及視情況含有（D )安定化劑，其中各成分 之含量：（A)成分係對於（A)成分與（B)成分之合 計100重量份時，含有10〜95重量份， (B )成分係對於（A )成分與（B )成分之合計100 重量份時，含有5〜90重量份，（C )成分係對於（A )成 分與（B )成分之合計100重量份時，含有0.01〜30重量份 ，含有（D)成分時，（D)成分係對於（A)成分100重 量份時，含有1〇重量份以上， 其中該（A )分解性化合物係至少一種具有以下述式（1 ) 〜（6 )或（1 0 )表示之結構中之至少一種結構的化合物， --0-C-R1 -C-0~R2 ~ /η λ II II ⑴ I 0 0 J 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（1 )中R 1爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或伸芳基 ，R 2爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽 垸基或垸基亞錯垸基） 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-1 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 r5 r f -r3-o-m-4-r4-m r6 R8-^n ·〇· (2) (式（2)中M爲S i或Ge ，R3爲伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基’ R 4爲 氧原子、伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基或單鍵’ R5、R6、R7及R8係各自獨立之氫原子、烷基、芳基、 院氧基或硫代院基’ Hi爲0至2之整數） 〇 O-C-O-R^O-C-O-R1 °4- (3) _.—.---；---— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5-T» (式（3 )中R 9及R 1 0係各自獨立的伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基） -CH- >11 (4) L2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（4 )中R 1 1係羥基伸烷基或單鍵，R 烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或芳基） -CH2—CH-S ix3 (5) 爲氫原子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-2 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (式（5)中R13係氫原子、烷基或芳基） r λ,
    --CH—Ο-CH--Ο-- / ς. \ I.--·---：----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式（6 )中R 1 4係以伸烷基或下述式（7 ) 、（ 8 )或（9 )表示的結構）
    經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（7 )中R 1 5、R 1 6、R 1 7及R 1 8係相互獨立的氫原 子、碳數1〜6之鏈狀院基、氯原子、溴原子、碘原子、 羥基、锍基、竣基、碳數1〜6之烷氧基、碳數1〜6之 烷硫基、碳數1〜6之鹵化院基、碳數1〜6之鹵化院氧 基、碳數1〜6之鹵化烷基硫基、碳數1〜6之羥院基、 碳數1〜6之锍基烷基、碳數1〜6之羥基烷氧基、碳數 1〜6之疏基院基硫基、碳數6〜1 〇之芳基或碳數7〜 1 1之芳烷基） —〇 一 R 1 9 —〇—.........（8) (式（8 )中R 1 9係伸烷基） —NH — R20 — NH — ......... (9) (式（9 )中R 2 Q係伸烷基） 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）- 3 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 21 (10) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (式（1 0 )中R 2 1係伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、或伸 芳基）； 或該（A )分解性化合物係至少一種選自由（i )〜（ v )所成群的化合物， (i)分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至少 一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之苯酚樹脂， (Π)至少一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之酚醛樹 脂， (iii )分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至 少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之苯酚樹脂， (iv )至少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之酚醛樹 脂， (v )至少一個羧基被酸分解性保護基保護之含羧基樹脂； 或 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該（A )分解性化合物爲至少含有一種具有以下述式（n )〜（1 3 )或（1 4 )表示之結構中之至少一種結構的化合 物， r ，R24) r κ2Ί —S — —C— Lr22 —ί — 、i25> i 乙 -S — R23· (11) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-4 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (式（11 )中R 22爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 23爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 24 R 2 5 27 R 26及R 2/係各自獨 立之氫原子、烷基、芳基、烷氧基或烷硫基，i及j係分別爲 〇或1 ) ^ -S-C-R20-C-S-R29- II 〇 II 〇 (12) (式（12)中R 28爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 29爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基） λ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) nh-c-s-r30-s-c-nh-r31- (13) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（13 )中R 3G及R 31係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 院基） r 〇 〇 II ” || •o-c-s-r32-s«c-〇-r33. (14) (式（14 )中R 32及R 33係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）-5 - 1275609 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 院基）， 其中該（B )非分解性化合物係對於酸或鹼安定的非分解 性化合物， 該（C )感放射線分解劑爲三氯甲基一 S -三嗪類、二芳 香基碘鑰鹽類、三芳香基銃鹽類、四級銨鹽類、磺酸酯類 中之至少一種， 該（D )安定化劑至少一種選自由胺基化合物、環氧化合 物、硫化乙烯化合物、氮雜環丁烷化合物、烷氧基甲基化 三聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化合物、烷氧基甲基 化苯並鳥糞胺化合物、烷氧基甲基化脲化合物、異氰酸酯 化合物、氰酸酯化合物、哼唑啉化合物、鸣嗪化合物及矽 烷化合物所成群者。 2.如申請專利範圍第1項之組成物，其中放射線照射部 之介電率爲具有放射線未照射部之介電率之90%以下之數 値。 3 .如申請專利範圍第1或2項之組成物，其中（A )分解 性化合物爲酸分解性化合物，（B )非分解性化合物爲酸 非分解性化合物，（C )感放射線性分解劑爲感放射線性 酸發生劑。 4.如申請專利範圍第3項之組成物，其中（A )酸分解 性化合物爲至少一種具有以下述式（1 )〜（6 )或（1 〇 ) 表示之結構中之至少一種結構的化合物， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-6 - l·——^--------ΜΨ----^-I1T------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 Γ - O-C-^-C-O-R2 II Π V 0 0 Λ (1) (式（1 )中R 1爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或伸芳基 ，R 2爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽 院基或烷基亞鍺烷基）
  2. 5 - RIMIR - o - 3 R i R RIMIR ο 2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（2)中Μ爲S i或Ge ，R3爲伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基’ R 4爲 氧原子、伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基或單鍵’ R5、R6、R7及R8係各自獨立之氫原子、烷基、芳基、 院氧基或硫代院基’ m爲0至2之整數） _〇-C-0-R9-〇-C-〇-R10 () (式（3 )中R 9及R 1 ^係各自獨立的伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基） 、r12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-7 - l·—^----—----'—------01 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 8 888 ABCD 六、申請專利範圍 (式（4 )中R 1 1係羥基伸烷基或單鍵，R 1 2爲氫原子 院基、伸院基伸芳基伸院基或芳基） •CH2—CH——S 'l3 5) (式（5)中R13係氫原子、烷基或芳基） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) "CH—0-CH 0- (6) -5T» 8 )或（9 (式（6 )中R 1 4係以伸烷基或下述式（7 )表示的結構）
    R 1Θ (7) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（7)中R15、R16、R17及Ris係相互獨立的氫原 子、碳數1〜6之鏈狀烷基、氯原子、溴原子、稱原子、 羥基、锍基、羧基、碳數1〜6之烷氧基、碳數丨〜6之 烷硫基、碳數1〜6之鹵化烷基、碳數χ〜6之齒化院氧 基、碳數1〜6之鹵化院基硫基、碳數1〜6之巧丨完其、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-8 - 1275609 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 碳數1〜6之巯基烷基、碳數1〜6之羥基烷氧基、碳數 1〜6之疏基院基硫基、碳數6〜1 〇之芳基或碳數7〜 1 1之芳院基） —〇一R 1 9 —〇 一 .........(8 ) (式（8 )中R 1 9係伸烷基） —N Η — R 2 0 - N Η — ......... ( 9 ) (式（9 )中R 2 °係伸烷基） tri'RT ⑽ (式（1 0 )中R 2 1係伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、或伸 芳基）。 5·如申請專利範圍第1或2項之組成物，其中（A )酸分 解性化合物爲至少一種選自由（i )〜（v )所成群的化合物 (i)分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至少 —個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之苯酚樹脂， (ii )至少一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之酚醛樹 脂， (ii〇分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至 少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之苯酚樹脂， (iv )至少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之酚醛樹 脂， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-9 - 1.--------ΜΨ----卜-I、野------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (V )至少一個羧基被酸分解性保護基保護之含羧基樹脂。 6·如申請專利範圍第1〜2項中任一項之組成物，其中（ A )分解性化合物爲鹼分解性化合物，（B )非分解性化 合物爲鹼非分解性化合物，（C )感放射線性分解劑爲感 放射線性鹼發生劑。 7·如申請專利範圍第6項之組成物，其中（A )分解性 化合物爲至少含有一種具有以下述式（11)〜（13)或（ 1 4 )表示之結構中之至少一種結構的化合物， ，R24) η y R22- _h 一 一s—R23 — 〇 — Ir25^ 士 27 V κ ^ j 」 (11) (式（11 )中R 22爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 23爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 24、R 25、R 26及R 27係各自獨 立之氫原子、烷基、芳基、烷氧基或烷硫基，i及j係分別爲 〇或1 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -s-c-r20-c-s-r2 · II II 0 0 (12) (式（12 )中R 28爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 29爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 石夕院基或院基亞錯院基） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-10 - 1275609 A8 B8 C8 D8 、申請專利範圍 0 0 nh-c-s-r30-s-c-nh-r31- (13) (式（13)中R 及R 3 1係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 # €基' 伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 烷基） 〇-C-S-R32-S-C-〇-r33. (14) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（14 )中R 32及R 33係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 院基）。 8. 如申請專利範圍第！或2項之組成物，其中（D )安定 化劑爲至少一種選自由胺基化合物、環氧化合物、硫化乙 烯化合物、氮雜環丁烷化合物、烷氧基甲基化三聚氰胺化 合物、烷氧基甲基化甘脲化合物、烷氧基甲基化苯並鳥糞 胺化合物、烷氧基甲基化脲化合物、異氰酸酯化合物、氰 酸酯化合物、鸣唑啉化合物、鳄嗪化合物及矽烷化合物所 成群者。 9. 如申請專利範圍第1項之組成物，其係含有（D )安 定化劑，進一步含有使（A )分解性化合物與（D )安定 化劑反應之觸媒。 10. —種形成介電率圖案的方法，其特徵爲經由圖案光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-11 - 1275609 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 罩將放射線照射於含有一種感放射線性介電率變化性組成 物，其特徵爲含有（A )分解性化合物、（B )弗分解性 化合物、（C )感放射線分解劑及（D )安定化劑’其中 各成分之含量：（A)成分係對於（A)成分與（B)成 分之合計100重量份時，含有1〇〜95重量份，（B)成分 係對於（A )成分與（B )成分之合計100重量份時’含 有5〜90重量份，（C )成分係對於（A )成分與（B ) 成分之合計100重量份時，含有0.01〜30重量份，含有（ D )成分時，（D )成分係對於（A )成分100重量份時 ，含有1 〇重量份以上之感放射線性介電率變化性組成物， 接著加熱使未曝光部之安定化劑（D )與分解性化合物（ A )反應，其中該（A )分解性化合物係至少一種具有以下 述式（1 )〜（6 )或（1 0 )表示之結構中之至少一種結構 的化合物， L. ^ ：---·裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 广- O-C-Ri-C-O-R2 II II (1) .4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（1 )中R 1爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或伸芳基 ，R 2爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽 烷基或烷基亞鍺烷基） R5 -R3-0-M- R6 R( -Μ——〇-- (2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）-12 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (式（2)中Μ爲S i或Ge ，R3爲伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基’ R 4爲 氧原子、伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基或單鍵’ R5、R6、R7及R8係各自獨立之氫原子、烷基、芳基、 烷氧基或硫代烷基，m爲0至2之整數） 〇 〇 〇-c-o-r9-〇-c-o-r10 (3) (式（3 )中R 9及R 1 ^係各自獨立的伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基） -CH- >11 (4) (式（4 )中R 1 1係羥基伸烷基或單鍵，R 烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或芳基） 爲氫原子 l·：--------管----^-I1T------0 (請先閱#背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 CH2—CH S (5) (式（5)中R13係氫原子、烷基或芳基） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-13 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 r --CH—Ο CH Ο-- (6) ^ J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式（6)中R14係以伸烷基或下述式（7) 、（8)或（9 )表示的結構）
    (式（7)中R15、R16、R17及R18係相互獨立的氫原 子、碳數1〜6之鏈狀烷基、氯原子、溴原子、碘原子、 羥基、锍基、羧基、碳數1〜6之烷氧基、碳數1〜6之 烷硫基、碳數1〜6之鹵化烷基、碳數1〜6之鹵化烷氧 基、碳數1〜6之鹵化烷基硫基、碳數1〜6之羥烷基、 碳數1〜6之锍基烷基、碳數1〜6之羥基烷氧基、碳數 1〜6之锍基烷基硫基、碳數6〜1 0之芳基或碳數7〜 1 1之芳烷基） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 —〇—R 1 9 —〇一.........（8) (式（8 )中R 1 9係伸烷基） —NH — R 2 0 — NH — ......... ( 9 ) (式（9 )中R 2 13係伸烷基） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-14 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 C-0-C-R II II 0 0 21 (10) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（1 0 )中R 2 1係伸院基、伸院基伸芳基伸院基、或伸 芳基）； 或該（A )分解性化合物係至少一種選自由（i )〜（v )所 成群的化合物， (i)分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至少 一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之苯酚樹脂， (ii )至少一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之酚醛樹 脂， (iii )分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至 少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之苯酚樹脂， (iv )至少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之酚醛樹 脂， (v )至少一個羧基被酸分解性保護基保護之含羧基樹脂； 或 該（A )分解性化合物爲至少含有一種具有以下述式（Π )〜（1 3 )或（1 4 )表示之結構中之至少一種結構的化合 物， r r R24^ ，R2, 卜i— Ld22 c 一R23 — 一S — 一匕— V R .....Ο 上、 (11) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）-15 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 (式（11)中R 22爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 23爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 24、R 25、R 26及R 27係各自獨 立之氫原子、烷基、芳基、烷氧基或烷硫基，丨及』係分別爲 〇或1 ) -S-C-R20 - C-S-R』 II II 0 0 (12) (式（12)中R 28爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 29爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基） r 〇 0 -nh-c-s-r30-s-c-nh-r31- (13) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（13)中R3Q及R31係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 院基） 0 〇 •〇-c-s-r32-s-c-o-r33· (14) (式（14)中R 32及R 33係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐）-16 - --------.——----*--訂------0J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 烷基）， 其中該（B )非分解性化合物係對於酸或鹼爲安定的非分 解性化合物， 該（C )感放射線分解劑爲三氯甲基一 s -三嗪類、二芳 香基碘鑰鹽類、三芳香基銃鹽類、四級銨鹽類、磺酸酯類 中之至少一種， 該（D )安定化劑至少一種選自由胺基化合物、環氧化合 物、硫化乙烯化合物、氮雜環丁烷化合物、烷氧基甲基化 三聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化合物、烷氧基甲基 化苯並鳥糞胺化合物、烷氧基甲基化脲化合物、異氰酸酯 化合物、氰酸酯化合物、噚唑啉化合物、Df嗪化合物及矽 烷化合物所成群者。 1 1 ·如申請專利範圍第1 〇項之方法，其中介電率圖案爲 由具有1 〇〜99·9%之空隙之曝光部與實質上不具有空隙之未 曝光部所構成。 1 2. —種形成介電率圖案的方法，其特徵爲經由圖案光 罩將放射線照射於含有（A )分解性化合物、（B )非分 解性化合物及（C )感放射線分解劑，其中各成分之含量 :(A )成分係對於（A )成分與（B )成分之合計1〇〇重 量份時，含有10〜95重量份，（B )成分係對於（A )成 分與（B )成分之合計100重量份時，含有5〜90重量份， (C )成分係對於（A )成分與（B )成分之合計1〇〇重量 份時，含有〇·〇1〜30重量份之介電率變化材料後，以（D ) 安定化劑處理使未曝光部之（A )分解性化合物與（D ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-17 - mi mu —Lr m m HI ttmmmtm mi n (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 安定化劑反應， 其中該（A )分解性化合物係至少一種具有以下述式（1 ) 〜（6 )或（1 0 )表不之結構中之至少一種結構的化合物’ 2 R - ο CHO I X K c=o 一 〇 J-^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（1 )中R 1爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或伸芳基 ，R 2爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽 院基或烷基亞鍺烷基）Γ R： ---r3-o-m IL R (式（2)中M爲S i或Ge ，R3爲伸院基、伸院基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 4爲 氧原子、伸院基、伸院基伸芳基伸院基、伸芳基或單鍵， R5、R6、R7及R8係各自獨立之氫原子、烷基、芳基、 烷氧基或硫代烷基，m爲0至2之整數） 〇-c.〇-r9>o-c>o-R10 (3) (式（3 )中R 9及R 1 ^係各自獨立的伸烷基、伸烷基伸芳
    本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）-18- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝. 、τ 4 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基） r 、 11 -CH-〇-R1 R12 (4) (式（4)中R11係羥基伸烷基或單鍵，R12爲氫原子 烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或芳基） •CH2——CH ——S 5) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 13 (6) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 R (式（5)中R13係氫原子、烷基或芳基） "CH—0-CH 0- (式（6 )中R 1 4係以伸烷基或下述式（7 ) 、（ 8 )或（9 )表示的結構）
    R 18 (7) (式（7 )中R 1 5、R 1 6、R 1 7及R 1 8係相互獨立的氫原 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-19 - !275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 子、碳數1〜6之鏈狀烷基、氯原子、溴原子、碘原子、 羥基、锍基、羧基、碳數1〜6之烷氧基、碳數1〜6之 焼硫基、碳數1〜6之鹵化烷基、碳數1〜6之鹵化烷氧 基、碳數1〜6之鹵化烷基硫基、碳數1〜6之羥烷基、 碳數1〜6之锍基烷基、碳數1〜6之羥基烷氧基、碳數 1〜6之锍基烷基硫基、碳數6〜1〇之芳基或碳數7〜 1 1之芳烷基） 〜〇一R19 —〇一.........（8) (式（8 )中R 1 9係伸烷基） 〜NH — R20 — NH — .........（9) (式（9 )中R 2 Q係伸烷基） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) k裝·
    、言 (式（1 0 )中R 2 1係伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、或伸 芳基）； 或該（A )分解性化合物係至少一種選自由（i )〜（v )所 成群的化合物， (〇分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至少 一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之苯酚樹脂， (ii )至少一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之酚醛樹 脂， (Πί)分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐）-20 - 4 經、濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之苯酚樹脂， (iv )至少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之酚醛樹 脂， (v )至少一個羧基被酸分解性保護基保護之含羧基樹脂； 或 該（A )分解性化合物爲至少含有一種具有以下述式（1 1 )〜（1 3 )或（1 4 )表示之結構中之至少一種結構的化合 物， (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 一裝· 訂 ——S — I 一C— -R22 - -iJ Ls—R23 — (ID p25 V Η ^ i j 〉 (式（1 1 )中R 22爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 23爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、|完基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 24、R 25、R 26及R 27係各自獨 立之氫原子、烷基、芳基、烷氧基或烷硫基，i及j係分別爲 〇或1 ) -4—S-C-R20-C-S-R29~A— (!2) II II 1 ] L 〇 〇 J (式（12)中R 28爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，r 29爲伸 院基、伸芳院基、伸芳基、伸院基伸芳基伸院基、丨完基亞 石夕院基或院基亞錯院基） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-21 - .4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 r 〇 〇 nh-c-s-r30-s-c-nh-r33 (13) (式（13 )中R 3Q及R 31係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 烷基） ? 0 〇-C-S-R32-S-C-0-R33· (14) (式（I4 )中R 32及R 33係各自獨立之伸烷基、 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基 烷基）， 其中該（B )非分解性化合物係對於酸或鹼爲安定的非分 解性化合物， 該（C )感放射線分解劑爲三氯甲基一 S -三嗪類、二芳 香基碘鑰鹽類、三芳香基銃鹽類、四級銨鹽類、磺酸酯類 伸芳烷基或 或烷基亞鍺 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 中之至少一種， 該（D )安定化劑至少一種選自由胺基化合物 物、硫化乙烯化合物、氮雜環丁烷化合物、烷 三聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化合物、 化苯並鳥糞胺化合物、烷氧基甲基化脲化合物 化合物、氰酸酯化合物、鳄唑啉化合物、噚嗪 烷化合物所成群者。 、環氧化合 氧基甲基化 烷氧基甲基 、異氰酸酯 化合物及矽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-22 - Α8 Β8 C8 D8 1275609 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 13. 如申請專利範圍第12項之方法，其中介電率圖案爲 由具有10〜99.9%之空隙之曝光部與實質上不具有空隙之未 曝光部所構成。 14. 一種形成介電率圖案的方法，其特徵爲經由圖案光 罩將放射線照射於含有（A )分解性化合物、（B )非分 解性化合物及（C )感放射線分解劑，其中各成分之含量 :(A )成分係對於（A )成分與（B )成分之合計100重 量份時，含有1〇〜95重量份，（B )成分係對於（A )成 分與（B )成分之合計100重量份時，含有5〜90重量份， (C)成分係對於（A)成分與（B)成分之合計1〇〇重量 份時，含有〇.〇1〜3 0重量份介電率變化材料後，加熱處理使 未曝光部之分解性化合物分解， 其中該（A )分解性化合物係至少一種具有以下述式（1 ) 〜（6 )或（1 0 )表示之結構中之至少一種結構的化合物， —C— 0 ~ C - R1 - C - Ο - R - / η \ II II l ο o J 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（1 )中R 1爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或伸芳基 ，R 2爲伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽 烷基或烷基亞鍺烷基） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇Χ297公釐）-23 1275609 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 R'-M—-Ο· (2) (式（2)中M爲S i或Ge ，R3爲伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 4爲 氧原子、伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、伸芳基或單鍵， R5、R6、R7及R8係各自獨立之氫原子、烷基、芳基、 烷氧基或硫代烷基，m爲0至2之整數） 0 -c-o-r9-o-c-o-r10 (3) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) i裝. (式（3 )中R 9及R 1 系各自獨立的伸烷基、伸烷基伸芳 基伸烷基、伸芳基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺烷基） r -CH- >11. (4) 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（4 )中R 1 1係羥基伸烷基或單鍵 烷基、伸烷基伸芳基伸烷基或芳基） •CH2—CH S ,13 R 爲氫原子 λ (5： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-24 - 8 8 8 8 ABCD 1275609 六、申請專利範圍 (式（5)中R13係氫原子、烷基或芳基） r (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) --CH——Ο——CH——Ο-t—— (6) (式（6)中R14係以伸烷基或下述式（7) 、（8)或（9 )表示的結構）
    經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式（7)中R15、R16、R17及R18係相互獨立的氫原 子、碳數1〜6之鏈狀烷基、氯原子、溴原子、碘原子、 羥基、锍基、羧基、碳數1〜6之烷氧基、碳數1〜6之 烷硫基、碳數1〜6之鹵化烷基、碳數1〜6之鹵化烷氧 基、碳數1〜6之鹵化烷基硫基、碳數1〜6之羥烷基、 碳數1〜6之锍基烷基、碳數1〜6之羥基烷氧基、碳數 1〜6之锍基烷基硫基、碳數6〜10之芳基或碳數7〜 1 1之芳烷基） —〇一R 1 9 —〇一.........(8 ) (式（8 )中R 1 9係伸烷基） 一 NH — R 2 0 — N Η — ......... (9) (式（9 )中R 2 °係伸烷基） 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）-25 - 1275609 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 十 (ι〇) L 〇 〇 J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (式（1 0 )中R 2 1係伸烷基、伸烷基伸芳基伸烷基、或伸 芳基）； 或該（A )分解性化合物係至少一種選自由（i )〜（v )所 成群的化合物， (i )分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至少 一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之苯酚樹脂， (ii )至少一個苯酚性羥基形成萘醌二疊氮磺醯酯之酚醛樹 脂， (iii )分子內分別具有2個以上之苯酚性羥基與苯基，且至 少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之苯酚樹脂， (iv )至少一個苯酚性羥基被酸分解性保護基保護之酚醛樹 脂， (v )至少一個羧基被酸分解性保護基保護之含羧基樹脂； 或 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 該（A )分解性化合物爲至少含有一種具有以下述式（1 1 )〜（1 3 )或（1 4 )表示之結構中之至少一種結構的化合 物， 广 广 R24) R2^ ——s — R22 一 —i — 卜S —R23」 (11) Ir25, IK J J 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-26 - 1275609 A8 B8 C8 D8 (12) 六、申請專利範圍 (式（1 1 )中R 22爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 23爲伸 烷基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 矽烷基或烷基亞鍺烷基，R 24、R 25、R 26及R 27係各自獨 立之氫原子、烷基、芳基、烷氧基或烷硫基，i及j係分別爲 〇或1 ) -s-c-h20-c-s-r2 II II 0 0 (式（12)中R 28爲伸烷基、伸芳烷基或伸芳基，R 29爲伸 院基、伸芳烷基、伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞 砂烷基或烷基亞鍺烷基） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 0 0 II II 31 nh-c-s-r30-s-c-nh-r31- (13) d 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (14) (式（13 )中R 及R 31係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 烷基） 〇 〇 o-c-s-r32-s-c-〇.r33· (式（14)中R32及R33係各自獨立之伸烷基、伸芳烷基或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）-27 - 1275609 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 伸芳基、伸烷基伸芳基伸烷基、烷基亞矽烷基或烷基亞鍺 院基）， 其中該（B )非分解性化合物係對於酸或鹼爲安定的 非分解性化合物， 該（C )感放射線分解劑爲三氯甲基一 S -三嗪類、 二芳香基碘鐵鹽類、三芳香基锍鹽類、四級銨鹽類、磺酸 酯類中之至少一種， 該（D )安定化劑至少一種選自由胺基化合物、環氧 化合物、硫化乙烯化合物、氮雜環丁烷化合物、烷氧基甲 基化三聚氰胺化合物、烷氧基甲基化甘脲化合物、烷氧基 甲基化苯並鳥糞胺化合物、烷氧基甲基化脲化合物、異氰 酸酯化合物、氰酸酯化合物、噚唑啉化合物、鸣嗪化合物 及矽烷化合物所成群者。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之方法，其中介電率圖案爲 由具有10〜99.9%之空隙之曝光部與實質上不具有空隙之未 曝光部所構成。 16. —種介電率圖案，其特徵係藉由如申請專利範圍第 10、12或14項之方法所形成。 17. 如申請專利範圍第16項之介電率圖案，其係由具有 10〜99.9%之空隙之第1區域與實質上不具有空隙，且具有 高於第1區域之介電率之介電率的第2區域所構成。 18. 如申請專利範圍第17項之介電率圖案，其中第1區域 具有比第2區域低之彈性模數。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 4 本紙張尺度逋用中國國家標準（〇呢）八4規格（210父297公釐）-28-
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