TWI274887B - Inspection apparatus - Google Patents

Description

1274887 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本‘明，係關於用以檢查矩形顯示用面板的裝置。 【先前技術】 液晶顯示面板之亮燈檢查裝置等用來檢查顯示

的裝置一種是將矩形顯示用面板以檢查載台支 行檢查者（例如，專利文獻1)。 進 此種亮燈檢查裝置，具有第i及第2搬送裝置 已檢查完之顯示用面板從檢查載台移送至交接載台，： 未檢查之顯示用面板從交接載台移送至檢查載台。 弟1及第2搬送裝置，分別具有用以保持顯示用面板 之面板保持機構與移動機構。 構上方，而另 面板保持機構 然而，因一移動機構係位於面板保持機 一移動機構係位於面板保持機構下方，故兩 之形狀為相異。 + 口此h查u之使用者，當面板保持機構破損時， :要索取對應破損之面板保持機構之面板保持機構來做更 面。因此，檢查裝置之製造公司，則需要保持存貨有二種 板保持機構，而使檢查裝置之販售價格昂貴。 專利文獻1 :日本特開2002-14〇47號公報 【發明内容】 本發明之目的在於使檢查裝置之構件種類減少 1274887 本發明之顯示用面板檢杳梦署 忉笪衣置，具有：檢查載台，用 以檢查顯示用面板；及交接載台，用 牧戟口用以父接該顯示用面板。

顯示用面板檢查裝置含第1及箆？ I 及弟2 I迗裝置，能使已檢查 元之顯不用面板攸该檢杳載台銘样$兮a 一戟口牙夕达至该父接載台，並使未 檢查之顯示用面板從該交接葡△梦 按戰σ私达至該檢查載台。該第 1搬送裝置，具有··第1面板伴 板保符機構，用以保持該顯示 用面板；及第1移動機構’用以使該帛1面板保持機構選 擇性地移動至該檢查載台或該交接載台。㈣2搬送裝置， 具有·弟2面板保持機構用/ 戍稱用以保持該顯示用面板；及第 2移動機構’用以使該第2 K ^昂2面板保持機構選擇性地移動至 該檢查載台或該交接載台。該第 /昂1移動機構，具有第1裝 配部’可組裝該第i面板保持機構及該第2面板保持機構： 該第2移動機構’具有帛2裝配部，可組裝該第i面板保 持機構及該第2面板保持機構。兮筮 丁打风偁4弟1裝配部與該第2裝 配部，係相同形狀及尺寸。 該第1面板保持機構及該第2面板保持機構，亦可為 相同形狀及尺寸。 因弟1移動機構，具有可έ奘 ,」姐展弟1面板保持機構及第 2面板保持機構之第丨褒配部，而 弟 移動機構5具有可 組衣弟1面板保持機構及第2 了俄傅汉弟2面板保持機構之第2裝配 故檢查裝置之製造公司，僅需劁 m 適用於第1面板保持 • ®板保持機構的共同之面板保持機構即可，At 減少面板保持機構之種類。 ％ 又，若第1裝配部與第2裝配部，係相同形狀及尺寸， 6 々74887 、弟1面板保持機構及第2面板仵持樯摄 之裝配部即可。藉此’能減少第二棧構，僅需形成共同 板保^機構需加面板保持機構及第2面 則檢杳穿置1衣配部與第2裝配部，係相同形狀及尺寸， 一置’能適用共同之面板保持機構。 【實施方式】 參照圖1 $固 1用面板12之亮丄7,檢查裝f 1〇,係形成長方形之顯示 於矩形中之：双-裝置。在圖示之例中，顯示用面板12， 備有複數個電技θα目對向㈤2個紐邊與1個長邊）之各邊具 邊之長μΓ 於各邊之電極，係在該邊之方向（即， 且沿與該邊正交之方向延伸。 而成之框is 14 複數㈣形構件與複數個板構件製作 體14，於傾斜^ ’收容有亮燈檢查用之各種機器。在框 體座1 8。、/ °相&間隔支撐著沿X方向延伸之-對本 檢查裝置1 〇 面1 6(參照圖2) 面上"卩，形成越上部越向後退之傾斜 在圖示之例中， 平行之面内，圖”糸於檢查裝置10之顯示用面板12 之圖1上下方/之左右方向係x方向，正交於此X方向 裝置ίο之顯示^ Y方向。Z方向，係垂直於支承在檢查 、用面板12之方向（參照圖2)。 檢查裝置 1 ^ 進行顯示用面柘’係含有：面板配設部’對檢查裝置10 12之交付接收；及檢查部，檢查顯示用 7 •1274887 面板12。在一本體座18，於對應面板配設部及檢查部之 F位刀別形成較顯示用面板12大之矩形開口 2 〇及2 2。 在面板配設部，配置：交接載台24，將顯示用面板12 傾斜支承；及2組推進器26，進行所支承之顯示用面板12 之預對準。相對於此，在檢查部，配置··檢查載台28(參 …圖4)，將顯示用面板12傾斜支承；及探針裝置3〇，作 為電氣連接裝置作用。 /交接載台24,包含：面板支承部32,以複數個長形構 开^成用來將顯示用面板12支承成水平；z載台3 4， 支撐面板支承部32，以使所支承之顯示用面板12能沿z 方向移動；及旋轉載台35，用來支撐z載台34。 —疑轉載台35，以能在沿X方向延伸之軸線周圍旋轉既 疋角度之方式受支持台37支承。使旋轉載台35旋轉既定 :度之驅動機構，可配置於旋轉載台35，亦可配置於支持

Z載台34及面板支承部32，依旋轉載台35之旋 ^選擇性地移位至支承之顯示用面板12形成水平之位 或该顯示用面板12對水平面傾斜之位置。 之 在每次對搬送裳置36(將說明於後）進行顯 ’ 交接時均會進行。 扳12 用面板12以面板 用面板12從面板 3 2之顯示用面板 父接載台24，當在將未檢查之顯示 支承部32接收時、與將已檢查完之顯示 支承部32去除時，使支承於面板支承部 1 2維持於水平狀態。 8 J274887 相對於此，交接載台24，杏 交給搬送裝置36而藉由推進心：“查之顯示用面板 查完之h用μ〜作預對準時、與將已檢 … 搬送裝置36接收時，使支承於面 板支承部32之顯示用面板12維持於對水平面2於面 度之狀態。 子於對水千面傾斜既定角 /口 X方向相隔間隔之推進器26 之長形構件上配置成能向彼 ：:“方向延伸 向）移動，而藉由未圖示方向（χ方 相對於此，”方…私動機構使其沿χ方向移動。 向延伸之二：：間隔之推進器1,係…方 向(Υ方向#動 配置成能向彼此靠近、彼此離開之方 ν 乃向）移動，而藉由去闽- 移動。 精由未圖不之移動機構使其沿Υ方向 顯示用面板12，係於 藉由人工或穿卸機、相隔間隔之狀態， 崞亍用面4 1人配置於此推進器26 所配置 〆貝不用面板12，蕻 丨㈡〇置之 移動u 日α、，之推進器26向彼此靠近之方h 矛夕動，使其相對交 非见您方向 準。 乂接载口 24移動，而對檢查裝置作預對 未檢查之顯示用面板12 板支…，在交接載台24藉由推進機之面 由旋轉载纟 *由推進益26作預對準，藉 板12，藉由搬送壯2傾斜既定角度。之後’該顯示用面 檢查部作亮燈檢Γ 圖υ搬送至檢查載台28,在 亮燈檢查，/ 一 燈檢查，但：可Ϊ圖示之例中雖係以作業員目視之目視亮 4使用不圖不之攝影機或影像處理裝置等 9 J274887 之自動亮燈檢查。 已檢查完之顯示用面板12 ’藉由搬送裝置％從柃查 載送至交接載台24，而後藉由人王或裝卸機= 從父接載台24去除，收納於收納用匣。 檢查載台28，使面板吸附面對向於開口 22，以使顯示 用面板 12呈向斜上方古7¾ Μ + 一^ / , " π针上万支承於夾碩（chuck t〇p)38之面板吸 附面。 夾頭38,於面板吸附面具有用來真空吸附顯示用面板 之複數個吸附槽，並且於内部具備用來將顯示用面㈣ 從其背面照明之背光單元。 檢查載台28,具有三維（χ、γ&ζ)載台4〇、42及44, 使向斜上方支承之顯示用面板12，能移動於與此平行之χ 及Υ之2方向、與垂直於所支承之顯示用面板 向，並且具備使其依既Μ度旋轉於& ζ方向延伸之 周圍之Θ載台46。 檢查載台28,以藉由Ζ載台44使夾頭38對探針裝置 30後退（下降）之狀態’從搬送裝置36接收顯示用面板 藉由X及Υ載台40及42之二維移動，並且藉由θ载台μ 旋轉既定角度，使所支承之顯示用面12作精密對準， 且在顯示用面板12之檢查時藉由z載台44使夾頭 探針裝置30前進（上升）。 ' 檢查載台28 ’又’將已檢查完之顯示用面板12交认 搬送裝置36後’以使夹頭38後退之狀態待機。 探針裝置3G，包含：4個底座構件4δ，分別對應於假 10 •1274887 4矩形之各邊；3個探針單元50，分別配置於 件48;及移動機構（未圖示），為了使探針單元座構 將3個底座構件48分別沿對應於此 ：:而 動。 、,長方向）移 各底座構件48,在對應於此之邊之長方向係 形狀，又支撐於本體座 ，、有長板 +版y丄i«月面，將一部分露出於 相鄰之底座構件48，相隔間隔以使彼此互不抵接。。 /菜針單元50’係配置於對向之一對底座構件 盘 此專底座構件4 8相鄰t 1 π & μ > J、 減媸r 底座構件48。相對於此，移 動枝構’ 設置於對向之另—對底座構件Μ 座構件料相鄰之！個底座構件48。 〃此專底 1 H結於移動機構之底座構件48,藉由間隔件（未圖 ^=1 等之複數個緊固具（未圖示），以無法移動之方 式虞δ又於本體座18來支撐。 剩餘之各底座構件48，藉由如線性導件之導引機構（未 圖不），以能沿所齡庫夕嘉 汀對應之邊之長方向移動之方式，裝設於本 體座18而支撐。 各探針單元50,具備：長板狀之探針底座52,以沿所 對應之底座構彳48之長邊方向延伸之狀態裝設；複數個 探針塊54,配置於探針底座52;及複數個探針％，配置 於各探針塊54。 探針底座52’藉由複數個螺检構件（未圖示）堅固地裝 設於，底編48寬度方向之緣部中成為矩形之中心側 (即，前端側）之緣部外側。 J274887 各探針塊54,藉由複數個 設於探針底座52寬产方心义件（未圖不）堅固地裝 見又方向之則端側之緣 %，使用適當機構，以使 各奴針 探針…前端部下面側“方突出之狀態裝設於 底：構件48用之各移動機構’能使用包含：裝設於本 二I、, 由該馬達旋轉之導螺桿、及螺合於導 螺杯之導螺帽等一般機構。 ¥ ^木針56，在搬送至檢查载台28之顯示用面板12之 藉由使夾頭38上升而緊壓於顯示用面板12之恭 極。在該狀態’透過該電極通電至顯示用面板12。" 搬送裝置36，且備：一射> ★

八 對托杀62、64，以能移動於X 向及方、z方向相隔間隔之狀態，配置於一對本體座n 及一對托架移動機構66、68，使_62、64分別朝乂方 11移動此處，托架62與托架64，係相同形狀及尺寸。 托架移動機構66包含底座部66b。底座部66b具有裳 :P 66&此組I托架62及把架64。托架移動機構68包 含底座部68b。底；$部目士* # 丨具有裝配部68a，能組裝托架62 及托架64。 托架62，係藉由例如螺栓69能裝卸地組裝於裝配部 托未64，係藉由例如螺栓69能裝卸地組裝於裝配部 68a 〇 此犄，螺拴69，穿過形成於牦架62、64之托架底座8〇 之貝穿孔而螺合於形成在裝配部66&、68a之複數個螺絲 孔。 12 J274887 •形成於裝配部66a與裝配部68a之複數個螺絲孔係 相同形狀及尺寸。又，在沿x方向及γ方向延伸之平面糸 形成於裝配部66a之複數個螺絲孔與形成於裝配部6^之 複數個螺絲孔之配置關係，係相同形狀。 因此，牦架62，能裝配於托架移動機構68。又，托架 64 ’能裝配於托架移動機構66。藉此，能減少托架之種類。 在下側之各本體座18，將2個導軌72、74，以使此等 導軌沿Z方向相隔間隔而延X方向延伸之狀態裝設。導件 • 76及78，以移動自如之方式分別嵌合於導軌72、74。 在上側之各本體座18 ’將2個導執72、74，以使此等 導軌沿Y方向相隔間隔而延X方向延伸之狀態裝設。導件 76及78，以移動自如之方式分別嵌合於導軌72、74。 底座部66b及68b，係分別裝配於托架62及64之兩 端部。導件76及78 ’係分別裝配於底座部66b及68b。 藉此，托架62可透過導軌72及導件76移動自如地受本 體底座支撐’托架6 4則透過導軌7 4及導件7 8移動自如 地受本體座18支撐。 各托架62及64，藉由一對導軌84及4個導件86，將 於Y方向相隔間隔而向X方向延伸之一對支持臂8 2，配 置於矩形之托架底座80以能於γ方向移動自如。 一對導軌84、84，裝設於所對應之各托架底座8〇，並 形成於X方向相隔間隔而向Y方向平行延伸之狀態。4個 導件86 ’以2個2個於Y方向相隔間隔且能於γ方向移 動自如之方式，嵌合於兩導執84。 13 J274887 各支持臂82，係將導件86 $ _ 各支 茗叹於其兩端部。因此， _ ，形成兩端支持梁狀而支撐於托架底座8〇。 隹各支持臂82，將一對繁！辟c。 組裝，並且將第2 # # 88於X方向相隔間隔 臂88盘第9 設於兩第1臂88之間。兩第1 臂82延伸，开,布縣靜、"支持# 82向對方側之支持 m ^大而支撐於所對應之支持臂82。 谷弟1臂88，藉由適去夕处人μ μ 盥導# 97]λ 、、、° σ機構92(如含導執92a 共¥件92b之線性導件）， ± ^ 此於X方向移動自如地裝設 於所對應之支持臂82。裝 能向狨卟蚩γ 分又符穿82之兩第1臂88， 白彼此罪近、彼此離開之方向(x方向)移動。 各第2臂9〇’以無法 臂82。各第19〇之前㈣戶對叙支持

方向彼此朝相反方向延伸 山 t基部沿X 々 、呷之2個别端側。 各第1臂88，將X保持具94 山 於此，各第2 # on ^ 放叹方《其刚螭部。相對 合弟2 # 90，將γ保持 之狀態裝設於兩^彳Λ Μ X方向相隔間隔 分別抵接保持具94及兩Y保持具96， 刀刎牴接方；顯不用面板 1個緣部，夢此丑兩緣部及丫方向之 猎此共冋支撐顯示用面板12。 X保持具94及γ保持具96， 12以對向之伴# 勺，糟由將顯示用面板 卡止於卡止片來支撐，再者…猎由將顯不用面板12 支承片來支撐。 肖由將顯示用面板12以 各托架移動機構66、68，將沪 旋轉自如地Φ P D X方向延伸之滾珠螺桿 轉自如地支揮於本體座18，將螺合於滾珠螺桿10。 14 J274887 累帽(未圖示)裝配於托架…〇。滚珠螺桿1〇〇，藉由 托架用馬達104使其旋轉。 牦架移動機構66及68之托架用馬達104及104,彼 此朝相反方向同步;^ ^ ^ ^紋轉。糟此，兩托架62及64,分別從 父接載台24移動至檢杳藝a ^ , 交接載台24。 —载。8’或從仏查載台28移動至 以托架移動機構66及68搬送顯示用面板 =之㈣面板12及未檢查之顯示用面板12,係以維 持方；既疋之傾斜角度之妝能 12夕精此，能使顯示用面板 ^ ^曲！減少，能使當已檢查完之顯示用Μ 12與未 私查之顯示用面板12交錯時所需之彼此間距離變小。 及1〇^1’/先使第2臂％及％藉由Υ移動機構⑽ 〜㈣於Υ方向。其次，第1臂88及88，分別 错由X移動機構106及106，同步移動於χ方向。 機構⑽，包含：χ驅動源⑽，如電動馬 二第1皮帶輪ιΐ2,藉由χ驅動請旋 ρ .及i山/，114’於Χ方向與第1皮帶輪112相隔間 W ’‘、、、…116,掛設於第1及第2皮帶輪112及114。 亡側之第1臂88係装設於無端皮帶116之上側處，下 f 88係裝設於無端皮帶U6之下側處，因此， 之方二 朝另—方向旋轉，則朝互相離開 ^夕動。藉此’兩第lf 88及88，進行顯示用 15 1 2之把持與解除把持。 反 •1274887 Y移動機構108，包今.^ • Υ .驅動源1 2 0，如|私 般之能反轉者；軸122，摔 电動馬達 稽田Υ驅動源12〇而旋 方向延伸之軸線之周圍；第 疋轉於朝Υ 固，弟1皮帶輪122a、122a，以 相對旋轉之方式裝設於軸 乂不月匕 ，弟2皮帶輪d 122b,於Y方向由第工皮 反π輪I22a相隔間隔；及盔 帶122c、122c,掛設於第 “、、碥％ 及弟2皮帶輪122a及122K 導軌 72、74、84、％ ❿。 及導件 76、78、86、

使用線性導件。 可 在圖示之例中，上相| 側之支持臂82係裝設於無端環 1 2 2 c之上側處，下側之古姓 支持’ 82則裝設於無端環帶122c 之下側處。因此，若將V断知、π， 右肘Υ驅動源120朝一方向旋轉，兩支 持臂82及82則朝互相靠近之方向移動，若朝另-方向旋 轉：則朝互相離開之方向移動。藉此，兩支持臂82及δ2， 進行顯示用面板12之把持與解除把持。 檢查裝置10中，在檢查載台28檢查面板之期間，進 行：藉由托架62(或64)將已檢查完之面板搬送及配置於交 接載台24 ;從交接載台24去除已檢查完之面板；將未檢 查之顯不用面板1 2配置於交接載台24 ;將該未檢查之面 板作預對準；及將其未檢查之面板配置於托架62(或64)。 檢查結束後’交接載台24側之未檢查之面板則保持於 一方之托架62(或64)，檢查載台28側之已檢查完之面板 則保持於另一方之托架62(或64)，將此等面板分別搬送至 檢查載台28及交接載台24。 分別使托架移動機構6 6及6 8彼此朝相反方向旋轉， 16 J274887 精此進行托架62 A 64對未檢查及已檢杳 送。 ~凡之面板之搬 使X驅動源"〇、11〇及γ驅動源Η" 並使X伴括1 〇 方向疑轉’ 更保持具94、94 Α Υ保持具96、 向移動，彳*加t 谈此罪近之方 π才夕動以使保持具94、94、96、％ 之緣部，藉此谁〜 牙15，、示用面板12 稭匕進仃以托架62、64對顯示用；4 上述之^ 了”、貝不用面板12之把持。 砍之、、、口果，在交接載台24，藉 未檢杳之而缸 猎由托木62及64把持 2使該未檢查之面板定心’以進行預對準。 伴持呈9:及：、64進行顯示用面板12之搬送，係以使X 保持.、94及γ保持具％分 處（於丫方…… 』-接於X方向各緣部之複數 X方向相ppm M各緣°卩之複數處（於 相^間！^ )，以將顯示用面板1 2以处备2 ^ L丄 狀態來進行。因…解除地支撐之 、 口此，顯不用面板12之支持可安定化。 :=62、64對顯示用面板12之解放，係使χ驅動 ;且94…驅動源120朝另-方向旋轉，以使X保 94及Υ保持具96、96朝其等彼此離開之 動來進行。 =接載台24及檢查載台28，每於對托架62、64進行 面板又接％ ’使面板支承部32及夾頭向ζ方向至少往復 移動一次。 如檢查裝置10 ’若將顯示用面板12以4個緣部(分別 對應於矩形之4個邊）支樓，即使是大型之面板’ X方向中 :領域之面板之彎曲及Y方向中央領域之面板之彎曲，能 藉由Y方向緣部之支樓及X方向緣部之支樓而防止。其結 17 J274887 果’能使大型之面板不損傷而安定地搬送。 參照圖8(A)、(B)、(C)'(D),保持具13〇，係將[字 狀=保持具片132,以使L字狀之凹處成為面板支持側之 狀態裝設於第i臂88、或成為面板卡止側之狀態裝設於第 2臂90’將用以防止顯示用面板12掉落之掉落防止片134， 設置於固定框132a(設置於保持具片132之下端）之面板卡 止側，將抵接於顯示用面板12之彈性塊136，藉由如螺栓 之緊固構件138裝配於保持具片132之[字狀凹處。 、掉洛防止片m之厚度尺寸(垂直於紙面方向之尺仆 係为別比保持具片13 2之厚产+。强从 序度小。弹性塊130，係以如氨 基甲酸酿橡滕等橡膠材料製作。表示於圖！至圖 例所使用之保持具94、96，係保持具13〇。 、 上述保持具130，皆藉由佶顧+困二』 於彈性嬙m , 1，肩不用面板12之緣部抵接 於弹丨生塊130，以使顯示用面板 來去#。& θ 四败12摩擦卡合於彈性塊136 支承片支撐等其他型式者。了為猎由將顯示用面板12以 於Λ?置36，若為對檢查载台28將交接载台24配置 十 一 情形，亦可具備··將面板搬 迗至一方之交接載台與檢香# a 囬极叛 之六拉此 笪戴σ之托架’·及搬送至另一方 父接載台與檢查載台之托_ 、 早又仏係相同形狀及尺寸。 π死木 如圖9所示’將2個導軌& 隔而朝X方内ΜU X W Ζ方向相隔間 朝:方向延伸之狀態裝設在上側之各本體座】 及78，係分別以移動自如& 寺件 動自如的方式嵌合於導軌72、74。 18 •1274887 保持托架62上部之底座部66b與保持托架64上部之 底座部68b，係相同形狀及尺寸。藉此，因保持托架上 部之底座部66b、與保持托架64上部之底座部68b能適用 共同之底座部，故能使檢查裝置低成本化。 本發明，不僅能適用於液晶顯示面板，亦能適用於液 •晶顯示面板用之玻璃基板、有機EL等、其他顯示用面板 之電氣連接裝置。 φ 本發明，未限定於上述實施例，只要不脫離其主旨， 能變更為各種樣式。 【圖式簡單說明】 圖1，係表示使用本發明之電氣連接裝置之檢查裝置 之一實施例的前視圖。 圖2 ’係圖】所示之檢查裝置的右側視圖，表示局部 内部。 _ 圖3 ’係圖2所示之檢查裝置的局部放大圖。 圖4 ’係圖1所示之檢查裝置的左側視圖，表示局部 内部。 圖5 ’係圖1所示之檢查裝置的前視圖，用以說明托 架裝置。 圖6，係沿圖5之6-6線之截面圖。 圖7 ’係沿圖5之7-7線之截面阍。 圖8’係表示於圖1所示之檢查裝置之搬送裝置所使 用之保持具之實施例的圖。 19 J274887 實施例之局部放 圖9，係圖1所示之檢查裝置之另一 大圖 主要元件符號說明 10 檢查裝置 12 顯示用面板 18 本體座 24 交接載台 28 檢查載台 30 探針裝置 36 搬送裝置 38 夾頭 60 架 62、64 托架 66、68 托架移動機構 66a λ 68a 裝配部 66b λ 68b 底座部 72 、 74 、 84 、 92a 導執 76 ' 78 、 86 、 92b 導件 80 托架底座 82 支持臂 88、90 第1及第2臂 98 結合機構 94 X保持具 20 J274887 96 Y保持具 100 滾珠螺桿 106 X移動機構 108 Υ移動機構 110 X驅動源 112 、 114 皮帶輪 116 無端環帶 120 Υ驅動源 122 軸 124 螺帽 130 、 140 、 150 保持具

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Claims (1)

1. .1274887 十、申請專利範圍： 1. 一種顯示用面板檢查裝置，係呈 '、〆、令用以檢杏号一 面板之檢查載台、及用以交接該顯示用一頌不用 其特徵在於： 乂接载台， 包含第1及第2搬送裝置’能使已檢查 _ 板從該檢查載台移送至該交接載台，並使未檢查二用面 面板從该父接載台移送至該檢查載台· 、，、一用 該第1搬送裝置具有：第1面:保持機構，用以伴持 該顯示用面板；及！i移動機構，使該第1面 機媒 選擇性地移動至該檢查載台或該交接載台； 、、 該第2搬送裝置具有:第2面板保口持機構，用以伴持 該顯示用面板；及第2移動機構，使該第2面板保持機構 選擇性地移動至該檢查載台或該交接載台； 該第"多動機構，具有f i裝配部，其可紐裝該第i 面板保持機構及該第2面板保持機構； 該第2移動機構，具有f 2裝配部，其可組裝該第工 面板保持機構及該第2面板保持機構； 忒第1裝配部與該第2裝配部，係相同形狀及尺寸。 2·如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中，該第1 面板保持機構與該第2面板保持機構，係相同形狀及尺寸。 十一、圖式： 如次頁 22