1304886 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於承受顯示用基板的工作台的更換裝置及 顯示用基板的檢查裝置* 【先前技術】 液晶顯示面板，或具備薄膜電晶體的玻璃基板等的顯 示用基板，是具有矩形的形狀，又，於對應於矩形的至少 —邊的緣部具備複數電極。 此些顯示用基板，是施以該基板是否如說明書地所製 造的通電試驗（亦即檢查）。一般，此些檢查是使用具備 被推壓在設於顯示用基板的複數電極的複數接觸子（亦即 ，探針）的探針單元來執行。 作爲此種檢查裝置的一裝置，藉由因應於須檢查探針 單元的顯示用面板的種類施以變更，而有將一種檢查裝置 可適用於種類不相同的顯示用基板的檢查者（專利文獻1 )。在該檢査裝置中，探針單元是可更換，惟承受顯示用 面板並加以支持的工作台是作成不能更換。 專利文獻1:日本特開平10-10153號公報 在最近的顯示用面板是混有著尺寸小者及尺寸大者。 以一個檢查裝置適用於尺寸不相同的顯示用面板的檢查時 ，必須至少更換工作台。 但是，在以往，藉由人手執行工作台的更換。因此很 難以一個人來更換大型又具重量的工作台，又，而使可更 -4 -
1304886 第95112316號專利申請案 (2)中文說明書修正頁 民國97年6月6 換，也有損傷工作台之虞。 ，件6月6日修正替換頁 如上所述，在以往，大型又具重量的工作台的 •業，是藉由複數作業人員的共同作業所執行。所以 .在更換作業上需要時間，而且必須準備複數作業人 【發明內容】 本發明的目的是在於提供輔助工作台的更換作 置。 本發明的承受顯示用基板的工作台的更換裝置 :可在地板上移動的台車，及被配設於該台車的搬 ，及執行對於需更換上述工作台的檢查裝置，亦即 工作台所必須的檢查裝置的上述搬運裝置的定位的 位裝置，上述搬運裝置是包括：爲了搬運上述工作 與被承受於上述工作台的顯示用基板平行的面內朝 可移動而被支持於上述台車的搬運框，爲形成內側 搬運框。 依照本發明的更換裝置，在將更換裝置移動至 置的附近的狀態下，可更換工作台。所以，以較少 人員也可容易地執行工作台的更換。 上述搬運框是可在上述台車的外側移動。作成 在將搬運框移動在檢查裝置內的狀態下，可執行更 之間的工作台的交接，因此工作台的交接會安定。 上述搬運裝置是又可包括：被配設於上述搬運 接機構，對於上述檢查裝置執行上述工作台之交接 ,曰修正 更換作 ，不僅 員。 業的裝 是包括 運裝置 將更換 弟一疋 台，將 X方向 空間的 檢查裝 的作業 如此， 換裝置 框的交 的交接 -5- (3) 1304886 機構 上述工作台是被配設於上述內側空間，上述 是包括：共同執行上述工作台的交接的複數交接 與被承受於上述工作台的顯示用基板平行的面內 上述內側空間而被配設在上述搬運框的複數交接 將該交接構件進出於上述內側空間的第一主動器 此，藉由將交接構件，突出於內側空間。就可將 給交接構件而可利用搬運框執行搬運，並利用將 變位至內側空間外面，而將交給交接構件的工作 如檢查裝置的其他裝置。 上述搬運框是具有當上述交接構件被變位至 空間之外面時，容納上述交接構件的凹所構成如 構件不會妨礙到工作台的交接。 上述工作台是可具有：以1對1的形式對應 接構件的複數缺口部，當上述交接構件被變位至 空間內時，容納所對應的交接構件的缺口部，及 的形式對應於上述交接構件的複數抵接部，當上 件被變位至上述內側空間內時，上述複數交接構 些之共同作用把持著上述工作台地，被抵接於所 數交接構件的抵接部。構成如此，將交接構件以 器維持在突出內側空間的狀態，而利用複數交接 著工作台，因此防止來自搬運裝置的工作台脫落 上述台車是可包括：具備複數腳輪的框架， 於該框架的基體構件，及接受可移動上述搬運框 交接機構 構件，在 可進出在 構件，及 。構成如 工作台交 交接構件 台可交給 上述內側 此，交接 於上述交 上述內側 以1對1 述父接構 件藉由此 對應的複 第一主動 構件把持 〇 及被支持 的複數引 -6- 1304886 乃年ί月^曰^正替換頁 (4) 導裝置。在與承受於上述工作台的顯示用基板平行的面內 而在隔著與上述X方向交叉的γ方向，被配設於上述基 體構件的複數引導裝置。 因此在以傾斜狀態配設工作台的檢查裝置可適用更換 裝置。
上述基體構件是角度性地可旋轉被安裝於對於上述框 架朝上述X方向延伸的軸線周圍也可以，又上述台車是又 包括將基體構件角度性地旋轉在朝上述X方向延伸的軸線 周圍的第二主動器。構成如此，以傾斜狀態可搬運搬運框 ，因此在將工作台配設成傾斜狀態的檢查裝置可適用更換 裝置。 上述第二主動器是可包括：具有汽缸及活塞的汽缸機 構，汽缸及活塞的一方被樞軸連結於上述框架且另一方被 樞軸連結於上述基體構件的汽缸機構。 上述台車是又可包括：被配設在上述框架的複數台支 架，接受在與基於將上述工作台與承受於上述工作台的顯 示用基板平行的面交叉的Ζ方向的上述交接機構的接受位 置相同位置的複數台支架。構成如此，可將工作台暫時地 接受於台支架之後，才交給交接裝置。 各引導裝置是包括：具備朝上述X方向延伸的軌道， 及於該軌道朝上述X方向可移動地結合的導件的一對引導 機構，一方的引導機構的軌道或導件的任一方是被安裝於 上述基體構件，另一方的引導機構的軌道及導件的任一方 是被安裝於上述搬運框，一方及另一方的引導機構的軌道 -7- 年6月έ曰修正替換頁
1304886 (5) 及導件的另一方是互相地被結合。構成如此，可將搬運框 完全地引導至台車外面。 上述第一定位裝置是可包括朝上述X方向突出的狀態 下被安裝於上述框架的複數定位銷。 本發明的顯示用基板的檢查裝置，其特徵爲：包括： 筐體，及被配設於該筐體的第二定位裝置，與上述第一定 位裝置一起執行上述更換裝置與該檢查裝置的定位的第二 定位裝置，及被配設於上述筐體的台裝設部，可裝卸地被 安裝於上述工作台的台裝設部，及將該台裝設部朝交叉於 與承受上述工作台的顯示用基板平行的面的方向延伸的Ζ 方向移動的平台。上述筐體是包括基於如上述的更換裝置 的上述工作台可進出的開口或可拆下的板構件。 上述第一定位裝置是可包括在朝上述X方向突出的狀 態下被安裝於上述台車的複數定位銷，又上述第二定位裝 置是可包括具有將上述定位容納於各個銷的複數容納穴的 承窩。構成如此，定位銷插入承窩地藉由移動台車就可執 行更換裝置與檢查裝置的定位，使定位作業成爲容易。又 ，定位銷被配設在更換裝置之一邊，因此檢查期間，定位 銷不會妨礙作業人員的移動。 在本發明的檢查裝置中，裝卸工作台是經由筐體的開 口，或是藉由拆下板構件而經由形成於筐體的開口，藉由 對於檢查裝置進出搬運框來執行。因此，工作台的更換作 業較安定。 檢查裝置是又可包括與承受於上述工作台的顯示用基 -8- 1304886 (6) 巧？年6月6日修正替換頁 板平行的面內，而接受與上述X方向交叉的γ方向的上 述搬運框的端部的框支架，在與從上述台裝設部承受於上 述工作台的顯示用基板平行的面交叉的Z方向隔著間隔而 .被配設於上述筐體的框支架，又上述框支架是可具有抵接 有上述Y方向的上述搬運框的一端的停止件。構成如此， 交接工作台時，搬運框藉由檢查裝置也可接受，因此搬運 框安定地被維持，而工作台的交接較安定，同時成爲容易 【實施方式】 (用語的定義） 在本發明中，將與承受於工作台或台裝設裝置的顯示 用面板平行的面內的搬運框移動方向稱爲X方向（或是左 右方向），而在其面內’將與X方向直角的方向稱爲γ
方向（或是前後方向）；將直角於X及Y方向的方向稱 爲z方向（或上下方向）。 但是，上述方向是因應於實際裝置’ X方向及Y方向 爲決定成爲水平面，對於水平面傾斜面’及垂直於垂直面 的任一面內也可以，或是決定成爲此些面的組合也可以。 (更換裝置的實施例） 首先，參考第1圖至第9圖’來說明更換裝置10的 實施例。 更換裝置10是爲了對於參考以後由第10圖至第15 -9 - (7) 1304886 圖所說明的檢査裝置14進行更換工作台（參考第5圖至 第9圖）被利用。 工作台12是在檢查裝置14中，接受需檢查的顯示用 基板】6(參考第10圖），並將其顯示用基板]6作用作爲 檢查期間支持成無法移動的構件。顯示用基板16是具有 長方形形狀，又具有複數電極。 如由第5圖至第9圖所示地，工作台12是包括具有 與需檢査的顯示用基板16大約相同大小的長方形的框構 件18’及安裝有框構件18的長方形的板狀構件2〇。 板狀構件20是具有外向凸緣的形狀，又將被匹配於 框構件1 8的開口 24具有於中央領域，又將以後所說明的 缺口部26及抵接部26具有於各隅部。 如第6圖所示地’各缺口部26是被開放在板狀構件 20的下方與側方’又如第7圖所示地，各缺口部26的深 底面是作成弧狀的平面形狀。各抵接部28是形成缺口部 26的一面’又朝板狀構件20的長度方向的端部一側（參 考第5圖及第7圖）。 更換裝置10是包括：可移動檢查工廠的地板的台車 3〇，及配設於台車30的搬運裝置32，及進行對於需更換 工作台12的檢査裝置14的搬運裝置32之定位的第一定 位裝置3 4。 搬運裝置32是包括爲了工作台12的搬運，被支持在 可移動於X方向的台車30內外的台車30的搬運框36。 搬運框36是藉由方柱狀的複數較長構件被製作成長方形 -10- (8) 1304886 搬運裝置32是又包括：對於檢査裝置14進行工作台 12的交接地被配設於搬運框36的交接構件。 交接構件是包括：共同進行工作台12的交接地被配 設於搬運框36的複數交接構件38，及如將各交接構件38 進出於搬運框36的內側空間42的旋轉主動器的第一主動 器40。 各交接構件38是被支持於可進行朝Z方向延伸的軸 線周圍的框軸運動的搬運框36的隅部，藉由所對應的第 一主動軸40，在與承受於工作台12的顯示用基板16平行 的面內進出在內側空間42。 搬運框36是具有當交接構件38被後退至內側空間42 之外面時，容納交接構件38的複數凹所44。凹所44是被 開放於內側空間42，又以1對1的形式被對應於交接構件 38 〇 如第6圖所示地，在圖示的例子中，各第一主動器40 是在其輸出軸貫通凹所44的狀態下，被支持在搬運框36 ，各交接構件38是藉由固定具46無法相對地旋轉地安裝 於所對應的第一主動器40的輸出軸。 成對的缺口部26及抵接部28是以1對1的形式對應 於交接構件3 8。各交接構件3 8是當其被突出於內側空間 42內時，被容納於缺口部26，同時被抵接於抵接部28, 而接受工作台1 2。 在圖示例中，在第5圖，左下及右上的各交接構件38 -11 - (9) 1304886 是藉由所對應的第一主動器40,而利用朝順時鐘方向旋轉 _ ，從凹所49突出於內側空間42，利用朝反時鐘方向旋轉 • « ，從內側空間42後退至凹所44內。 * . 對於此，在第5圖，左上及右下的各交接構件38是 藉由所對應的第一主動器40，而利用朝反時鐘方向旋轉， 從凹所49突出於內側空間42，利用朝順時鐘方向旋轉， 從內側空間42後退至凹所44內。 # 此種交接構件3 8是藉由這些突出於內側空間42，被 抵接於所對應的抵接部28而一起把持工作台12。所以， 交接構件38是也作用作爲台把持構件。又交接構件38是 藉由被後退至內側空間42，而進行解除工作台1 2。 所以，交接構件3 8是在從此些所對應的凹所44朝內 側空間42內突出的狀態下，一起承受且支持工作台12。 又，交接構件38是藉由此些朝內側空間42的外面（所對 應的凹所44內）倒退，將所支持的工作台1 2 —起交給如 • 檢查裝置〗4的其他裝置。 台車30,是包括：藉由複數較長構件被裝配成立體地 框形狀的框架50,及被支持在角度性地可旋轉於朝X方 向的延伸的軸線周圍的框架50的框形基體構件52，及朝 X方向可移動地承受搬運框36的複數引導裝置54，及將 ‘基體構件52角度性地旋轉於朝Y方向延伸的軸線周圍的 -第二主動器56。 框架5 0是可將此移動地板上地，將複數腳輪5 8安裝 於下部。基體構件52是藉由較長構件被裝配成平坦的框 -12- (10) 1304886 形。 在圖示例中，一對引導裝置54在與承受於工作台12 的顯示用基板16平行的面內於Y方向隔著間隔狀態下， 被配設於基體構件52。 在圖示例中，第二主動器56,是具有汽缸及活塞的汽 缸機構，又，位於更換裝置〗0的；X方向的中央位置。 第二主動器56的汽缸及活塞中，任一方是樞軸地被 連結於框架50,另一方是樞軸地被連結於基體框件52。 在表示於第3圖的例子中，汽缸被連結於框架50，而活塞 被連結於基體構件52。 基體構件52是當第二主動器56被收縮，則如第2圖 所示地，被維持成水平狀態，而當第二主動器56伸長， 則如第3圖所示地，被維持在對於水平面傾斜的狀態。 在基體構件52被維持在對於水平面傾斜的狀態下的 狀態，與承受於工作台12的顯示用基板16平行的一面對 於水平面呈傾斜之故，因而Y方向是在第3圖中成爲斜上 下方向。 如第4圖所示地，各引導裝置54是包括具備朝X方 向延伸的軌道60及朝X方向可移動地被結合於軌道60的 導件62的一對引導機構。 一方的引導機構的軌道60及導件62的任一方是被安 裝於基體構件52，而另一方的引導機構的軌道60及導件 62的任一方是被安裝於搬運框36。一方及另一方的引導 機構的軌道60及導件62的另一方是互相地被結合成無法 -13- (11) 1304886 相對地移動。 在表示於第4圖的例子中，一方的引導機構的軌道60 被安裝於基體構件52,而另一方的引導機構的軌道60被 安裝於搬運框36。兩引導機構的導件62互相地被結合成 無法相對地移動。 台車30是又包括在將工作台12與基於Z方向的交接 機構的工作台1 2的承受位置相同位置所承受的四件台支 架64。各台支架64是藉由托架66被支持在框架50。 第一定位裝置34是包括從框架50朝X方向的一方側 突出的一對定位銷68。兩定位銷68是在此些隔著間隔於 Y方向的狀態下藉由托架7〇被安裝於框架50的X方向的 一端側的下端部。 (檢査裝置的實施例） 以下，參考第10圖至第15圖，說明檢查顯示用基板 16的檢査裝置14的實施例。 檢查裝置14是包括：筐體72，及與第一定位裝置34 一起定位更換裝置10與檢查裝置14的第二定位裝置74, 及可裝卸地支持工作台12的台裝設裝置76，及移動台裝 設裝置76的平台78，及被配設於框體72的探針裝置8〇 〇 台裝設裝置76，平台78及探針裝置80是在此些的軸 線對於水平面呈傾斜的狀態下被配設在筐體72。 所以在檢查裝置14中’與承受於台裝設裝置76的顯 -14 - (12) 1304886 示用基板16平行的一面對於水平面呈傾斜之故，因而Y 方向是在第3圖中成爲斜上下方向。 筐體72是藉由複數較長構件與複數板構件被製作成 箱形，又將複數腳輪82具備於底面。筐體72的前面上部 是對於水平面作成傾斜的傾斜面84。又筐體72是將X方 向成爲長度方向的長方形開口 86具有於傾斜面84。 形成筐體72的X方向的一端面的板構件88,是爲了 可作成基於更換裝置10的工作台12的更換，作成可拆下 〇 第二定位裝置74.是具備具第一定位裝置34的定位銷 分別嵌合的複數容納穴的承窩90。第二定位裝置72是在 拆下筐體72的板構件78的狀態下，可將第一定位裝置34 的定位銷68容納於承窩90地，被安裝於筐體72。 台裝設裝置76是具備：被支持於平台78的昇降台92 ，及被支持於昇降台92的背面光裝置94，及被安裝於背 面光裝置94的台裝設部96» 昇降台92是藉由平台78至少被移動至Ζ方向。背面 光裝置94是具備背面光單元98。 如第1 5圖所示地，台裝設部9是以複數較長構件組 合成C形。又具備：開放於工作台12側複數螺穴1〇〇，及 朝工作台1 2側突出的複數定位銷1 02。 工作台12是藉由貫通該板狀構件20而被螺合於螺穴 1 00的螺絲構件1 〇4可裝卸地安裝於台裝設部96。定位銷 102是藉由貫通工作台12的板狀構件20，對著台裝設部 -15- (13) 1304886 94被定位。 平台78是將台裝設裝置76而且將台裝設部96，朝X 、丫及Z的三方向移動，同時角度性地旋轉在朝Z方向延 ' 伸的6»軸線周圍。 探針裝置80是具備分別具備複數探針的複數探針單 元。各探針單元是因應於須檢查的顯示用基板16的大小 及種類將對筐體72的安裝位置及探針單元本體可變更地 φ 安裝於筐體72。 如上述的探針裝置80的例如被記載於日本特開2000- 2 86754號公.報。因此省略有關於探針裝置80的詳細說明 〇 如第13圖所示地，檢查裝置14是又包括承受Y方向 的搬運框36的端部而朝X方向引導的一對框支架106 ( 亦即，框導件）。兩框支架106是在Y方向隔著間隔而朝 X方向的狀態下被安裝於框架72。 # 如第14圖所示地，各框支架106是具有朝X方向可 移動地承受搬運框36的L形階段部108，具有Y方向的 搬運框36的一端抵接於該階段部108的停止件1〗〇，而且 具有用以搬運框36的複數軸承112。 在圖示的例子中，階段部1 〇 8是朝向Z方向上方，停 '止件110是朝框支架106的X方向的一面爲朝階段部108 ^ 的一面，軸承〗I 2球。 (更換動作的說明） -16- (14) 1304886 以下針對於更換工作台時的更換裝置1〇及檢查裝置 1 4的動作。 (來自檢査裝置的工作台除去） 事先拆下檢查裝置14的板構件88。 以下’第一定位裝置34的定位銷68被插入在第二定 位裝置74的承窩94地’更換裝置對於檢查裝置14以 手動或藉由動力被移動，使得更換裝置10及檢查裝置14 藉由第一及第二定位裝置34及74被結合。 一直到上述時候爲止，更換裝置10的交接構件38如 在第7圖以兩點鏈線所示地藉由第二主動器40從搬運框 36的內側空間42被倒退，而且基體構件52如第3圖所示 地藉由第二主動器5 6被傾斜。藉由此內側空間42完全地 被開放，而且搬運框36與引導裝置54 —起被傾斜。 又，如在第13圖以實線所示地，檢查裝置14的台裝 設裝置76藉由平台78朝Z方向傾斜地被下降。藉由此， 被裝設於台裝設部96的工作台12也被下降至Z方向傾斜 下方的位置。 接著，搬運框36以手動或藉由動力，朝檢查裝置14 的框支架106進出。藉由此，搬運框36是在將其Y方向 的各端緣部承受於框支架1 0 6的階段部1 〇 8的狀態下，一 直到X方向的前端抵接於框支架106的停止件11〇爲止仍 前進。 在搬運框3 6抵接於停止件Π 〇的狀態下，搬運框3 6 -17- (15) 1304886 是能將工作台1 2容納於內側空間4 2地，位於工作台1 2 . 的上方（參考第13圖）。 接著’台裝設裝置76藉由平台78朝Z方向傾斜地上 • · 昇。藉由此’工作台12是在被裝設於台裝設部96的狀態 下，一直到Z方向的板狀構件20的缺口部26的高度位置 成爲與更換裝置10的交接構件38的高度位置大約相同位 置爲止仍傾斜地上昇，而位於搬運框36的內側空間42內 •。 如上述地交接構件3 8在內側空間4 2外面，亦即在被 .變位於凹所44內的狀態下，當上昇台裝設部96，則交接 構件38不會妨礙台裝設部96的上昇，以及工作台12的 交接。 接著，如在第6圖以實線所示地，各交接構件3 8藉 由第一主動器40進出在搬運框36的內側空間42內。藉 由此，交接構件38是一起承受工作台12而加以把持。 % 接著，藉由螺絲構件104被除去，工作台12是由台 裝設部96被分離。 接著，如在第1 3圖以實線所示地，檢査裝置1 4的台 裝設裝置76再藉由平台76朝Z方向傾斜地被下降。藉由 此，台裝設部96朝Z方向傾斜下方位置被下降，工作台 12在如第13圖以兩點鏈線所示地交給搬運框36。 •接著，搬運框3 6是在被傾斜的狀態下倒退至更換裝 置10內，更換裝置10是被移動至從檢查裝置14離開的 待機位置。搬運框36及更換裝置10的移動期間，工作台 -18- (16) 1304886 12藉由交接構件38被把持之故，因而防止來自搬運框36 的工作台1 2的脫落。 接著’如第2圖所示地，基體構件52藉由第二主動 器56被恢復成水平。藉由此，搬運框36及引導裝置54 也恢復成水平。 接著’各交接構件3 8被倒退至內側空間42外，工作 台12暫時地被交給台支架64。在該狀態下，工作台12是 藉由機器人從更換裝置10被除去。 (新工作台的安裝） 接著，在各交接構件3 8倒退至內側空間42外的狀態 下，新工作台12藉由機器人暫時地交給台支架64。 接著，機器人開放新工作台12，而從更換裝置10離 開。藉由此，新工作台12被交給更換裝置10。 接著，各交接構件38是被進出至內側空間42內，承 受工作台1 2之同時加以把持。 接著，如上述地，更換裝置10對於檢查裝置14被移 動，而更換裝置10及檢查裝置14被結合。 在上述時候爲止，如上所述地，基體構件52如第3 圖所示地，藉由第二主動器56被傾斜。藉由此，搬運框 3 6，引導裝置5 4及新工作台1 2被傾斜。 接著，搬運框36支持新工作台12的狀態下朝檢查裝 置14的框支架106進出。藉由此，搬運框36是在將其Y 方向的各端緣部承受於其γ方向的各端緣部承受於框支架 -19- (17) 1304886 1 06的階段部1 08的狀態下’一直到X方向的前端抵接 框支架106的停止件110爲止執行前進。 上述的情形，搬運框36及更換裝置1〇的移動期間 工作台12藉由交接構件38被把持之故，因而防止來自 運框36的工作台12的脫落。 在搬運框36抵接於停止件110的狀態中，搬運框 是可將工作台1 2容納於內側空間42地，位於台裝設部 上方（參考第13圖）。 接著，台裝設裝置76藉由平台78朝Z方向傾斜地 上昇。藉由此，台裝設部96是傾斜地上昇至在此可承 新工作台12的高度位置。 接著，各交接構件3 8倒退至搬運框3 6的內側空間 內。藉由此，交接構件38開放新工作台12，而新工作 12是交給檢查裝置14。 接著，新工作台12藉由螺絲構件104被安裝於台 設部96。 接著，搬運框36是在被傾斜的狀態下倒退至更換 置10內，而更換裝置10是被移動至從檢査裝置14離 的待機位置。 如上述地依照更換裝置1 0，即使少人數作業人員， 容易地可進行工作台12的更換。又，搬運框36是將從 車30內至檢查裝置14內爲止之期間藉由引導裝置54 完全地引導。 如上述地，搬運框36在被移動至檢查裝置14內的 於 搬 36 96 被 受 42 台 裝 裝 開 也 台 被 狀 -20- (18) 1304886 態’當進行更換裝置10與檢查裝置14之間的工作台12 的交接，則工作台]2的交接會安定。 又’檢查裝置14內的搬運框36的移動時及工作台12 的交接時，則搬運框36藉由檢查裝置14的框支架1〇6也 被承受，能使搬運框36安定地被維持，搬運框36的移動 會安定，而工作台12的交接會安定同時成爲容易。 依照檢査裝置14，工作台12的裝卸，藉由拆下筐體 14的板構件78而經由形成於筐體的開口，將搬運框36利 用對於檢査裝置14執行進出。所以，工作台12的更換作 業會安定。 (針對於顯示用基板） 藉由檢查裝置14被檢査的顯示用基板，是具有長方 形平面形狀。 如第15圖所示地，工作台12是又具備：分別設於對 應於長方形相鄰接的兩邊的框構件18部位的推進件114’ 及分別設於對應於長方形相鄰接的兩端的框構件18部位 的複數停止件Π 6。 如第15圖所示地，顯示用基板是被載置於工作台12 的框構件18，在其狀態下，藉由各推進件n4推向所對應 的停止件116,藉由此被定位。 檢查時，搬運框是工作台〗2藉由平台78被上昇’將 電極推向探針裝置80的探針。 -21 - (19) 1304886 (產業上的利用可能性） 代替可拆下檢査裝置14的板構件88;將搬運框36及 工作台12對於檢查裝置14進出的開口設於板構件78也 可以。 本發明是不僅在液晶顯示面板使用於顯示用基板的檢 查裝置的工作台的更換裝置及其顯示用基板的檢查裝置， 也可適用於使用在如有機EL的其他平板狀顯示用基板的 檢查裝置的工作台的更換裝置及其顯示用基板的檢查裝置 〇 本發明是並不被限定於上述實施例，在未超越其要旨 ，可做各種變更。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明的更換裝置的一實施例的俯視圖 〇 # 第2圖是表示圖示於第1圖的更換裝置的側視圖。 第3圖是表示圖示於第1圖的搬運裝置及引導裝置近 旁的一實施例的側視圖。 第4圖是表示沿著第1圖的4-4線所得到的擴大斷面 圖；爲搬運裝置及引導裝置近旁的一實施例的圖式。 _ 第5圖是表示圖示於第1圖的更換裝置的搬運框與承 -受於此的工作台的一實施例的俯視圖。 第6圖是表示沿著第5圖的6-6線所得到的擴大斷面 圖；爲搬運框及交接機構近旁的一實施例的圖式。 -22- (20) 1304886 第7圖是表示圖示於第1圖的更換裝置的交接構件近 旁的一實施例的仰視圖。 第8圖表示圖示於第1圖的更換裝置的搬運裝置的一 實施例的俯視圖；爲將搬運框施以最大移動的狀態的圖式 〇 第9圖是表示圖示於第8圖的搬運裝置的前視圖。 第10圖是表示本發明的檢查裝置的一實施例的前視 圖。 第11圖是表示沿著圖示於第10圖的11-11線所得到 的前視圖。 第12圖是表示圖示於第10圖的檢查裝置的側視圖。 第13圖是表示將搬運框移動在圖示於第10圖的檢查 裝置內的狀態與第11圖同樣的同樣的圖式。 第14圖是表示第〗3圖的A部分的擴大圖。 第15圖是表示裝配圖示於第10圖的檢查裝置的工作 台與台裝設裝置的狀態的分解立體圖。 【主要元件符號說明】 10 :更換裝置 1 2 :工作台 1 4 :檢查裝置 16 :顯示用基板 1 8 :工作台的框構件 2 0 :工作台的板狀構件 -23- (21) (21)1304886 22、24:工作台的開口 26:工作台的缺口部 2 8 :工作台的抵接部 30 :台車 32 :搬運裝置 34、74 :第一及第二定位裝置 36 :搬運框 38:交接構件（交接機構） 40:第一主動器（交接機構） 42 :搬運框的內側空間 44 :搬運框的凹所 46 :固定具 50 :框架 52 :基體構件 54 :引導裝置 56 :第二主動器 58 、 82 :腳輪 60 :軌道 62 :導件 64 :台支架 66、70 :托架 6 8 :定位銷 72 :筐體 74 :第二定位裝置 -24 - (22) (22)1304886 76 :台裝設裝置 78 :平台 80 :探針裝置 8 4 :傾斜面 86 :開口 88 :板構件 90 :承窩 92 :昇降台 94 :背面光裝置 96 :台裝設部 98 :背面光單元 1 0 0 :螺穴 1 02 :定位銷 1 Q__4 :螺絲構件 106 :框支架 1 〇 8 :階段部 1 1 〇 :停止件 1 1 2 :軸承 1 1 4 :推進件 1 1 6 :停止件 -25-