TWI252619B - Semiconductor laser device - Google Patents
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Description
1252619 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種半導體雷射裝置。 【先前技術】 近年來,隨著個人電腦及多媒體機器之高性 為處理對象之資訊量也顯著增加。隨著資訊量之增力口,’ 開發了對應大容量化及資訊處理的 ^ 及其驅動裝置。 尤子。己錄媒體 尤其是在可對光學記錄媒體進行讀寫之 CD一R(C⑽pact DlskRec〇rdable’可記 動口。 M〇(m_eto0ptlcalDlsk: =.犯動益、 v 兹九磲)驅動為、DVD(Digital 動穿置中6 1S .數位影音光碟)驅動器等光學記錄媒體驅 力裒置中,已使用半導體雷射裝置。 發井::广本專利特開2〇° "3°5。2號公報所揭示之 置中,於支持半導體雷射元件之支持體上設置有具 ^性之複數隻針腳(ριη)。該複數隻針腳分別透過導線 2到各半導體雷射元件之_電極及P側電極。藉此, σ半導月且雷射兀件之n侧電極與P側電極之間施加電壓 、!^向形成於各半導體雷射元件内之活性層注入電流,透 匕兒洞與電子之再結合進行發光。 =是:於上述發光裝置中,由於射出紅色光之紅色半 帝田射兀件之n侧電極與射出紅外線光之紅外線半導體 元件之n侧電極形成共用,》工色半導體雷射元件之P \¥與射出藍紫色光之藍紫色半導體雷射元件之η侧電 316782 5 1252619 ,極形成共用,故難於單獨 線半導俨+舢-从, 匕干今月丑田射兀件、紅外 杯立 件及I紫色半導體雷射元件之夂-… 任意電麼。 丁心合兔極施加 【發明内容】
:#、本^之目的在於提供—種具有複數個半導體雷射― '且可複數個輕體 H 之半導體雷射裝置。(各半導體兩射元株t甲‘極施加電愿 中之—妒兔 Va千冷月且田射兀件具有兩個電極,苴 %為-方電極,另—稱為另一方電極) ' 本表明之一恐樣之半導體雷射裝置係包括 具有導電性;基座,$晋 ·框月豆, 月楚q山 D又置於框體而具有導電性,·第i、第? 及笫3编子,設置於框體、且 弟 置於框體、且電性連接至Α;ί . 4’弟4端子,設 包旺遝接至基座,以及第j、 導體雷射元件,設置於基座上、且分別具有一方半 ' / 弟2端子係沿第1方向配置,第3" 及:4端子係沿與第1方向交叉之第2方向配置】Γ 第及第3半導體雷射元件,係配置成使第二二射 兀:之:方電極比第2及第3半導體雷射元件之—二= 更罪近弟1端子,使第2半導體雷射元件之一 二 1及第3半導體雷射元件之—方電極 甩子匕弟 第3半導體雷射元件之—方電極之至少一部;:第子)方使 位於第^導體雷射元件之一方電極與第2半導體雷身= 件之一方電極之間,而第丨 盥 、兀 ^ ^ L /、昂1牛導體雷射元株夕 -方電極透過第1導線連接,第2端子與第2半導= 元件之一方電極透過第2導線 月旦田射 兮、.果運接,弟3端子與第3半導 316782 ^252619 體雷射元件之一方電極透過第3導線連接,第3半導體雷 射元件復包括有電性連接至基座之另一方電極。 且田 於該半導體雷射裝置中,第!端子與第】半導體雷射 之一方電極透過第丨導線連接,第2 3體半雷,件之-方電極透過第_接,第;:= 4 =射元件之一方電極透過第3導線連接,從而可 件及第3半導體雷射2 件、弟2半導體雷射元 另外,因第1半導體雷射元件一 + 及第3半導體雷射元件方电極位於比第2 置,故第1半導體::之杜方:極更靠近第1端子之位 且簡單地透過第! <》電極與第1端子可單純 处、弟i ¥線連接。因 方電極位於比第!及第3半導 +卜射-件之- 近第2端子之位置,故第 二千兀之—方電極更靠 第2端子可單純且簡單地透件之-方電極與 體雷射元件之—方# 蜍線連接。因第3半導 半導體雷射元件之至〃部分在帛1方向位於第1 柯兀件之—方電極與第2 ⑽之間,故第3半導體雷射 二射元件之-方 可單❹簡單地透過第3導線連接。笔極與第3端子 第1半導體雷射元件及第 於第3半導體雷射- V體雷射元件最好設置 射7L件上。此時,々 導體雷射元件之各雷射光之間隔。…、W、第2及第3 弟3半導體雷射元 件之一方電極側之资括有形成於第3半導體雷射元 “、以及形成於脊部側面之絕緣膜, 316782 7 1252619 脊部亦可設置於第i半導體雷射元件與 件之間。此時,第3丰 冷月且田射元 子可更加料且二U元件之-方電極與第3端 早、,屯且間早地透過第3導線連接。 較好是將第1導線與第 之第1連接位置、第3導後 =射兀件之—方電極 電極之第3連接位置及第導體雷射元件之一方 置及弟2蛉線與第2半導俨φ射生 -方電極之第2連接位置 〜田射兀件之 第2端子側之順序配置。2 =,從第1端子側至 導線交叉。 i 1日此,可防止第】、第2及第3 弟3連接位置相較於繁 連接位置,#定於盘〜、及弟2連接位置中至少一個 口又疋於與弟1、第2及第3 雷射光之射出側之相反侧亦可。夢此射::, 口“小」故形成可高速驅動第3半導體雷射元件。 六、^# 2 A第3端子係以沿與第1方向及第2方向 又之第3方向自一侧向另一側延伸,第卜第2及第3 ^導體雷射元件沿第3方向向另一側射出主要雷射光的方 _ ^ 弟2 + V肢雷射元件分別復包括有另 帝方电極’在比乐1連接值置更靠第1半導體雷射元件之 田射光之射出侧位置,將第i半導體雷射元件之另一方電 極透過第4導線電性連接至基座亦可。此時,邛透過第4 ‘泉將第1半‘體雷射元件之另-方電極與第3半導體雷 射兀件之另一方電極共同連接到基座。 在比第2連接位置更靠第2半導體雷射元件之雷射光 之射出側位置,將第2半導體雷射元件之另一方電極透過 8 316782 1252619 磉 I 2 5 ‘次ι性連接至基座亦可。此時,可透過第5導線將 第導月豆雷射元件之另一方電極與第3半導體雷射元件 之另一方電極共同連接到基座。 _ 明之另一態樣之半導體雷射裝置,包括有··框體, :¥ =性,基座,設置於框體,具有導電性,·第1、第2 : 而子6又置於框體、且與框體絕緣;第4端子,設 置於框體、且電性卓技 連接至基座,以及第1、第2及第3半 脰雷射元件,巧罟 〃 °又置於基座上、且分別具有一方電極;其 “山二1'子及第2端子沿第1方向配置’第3端子及第 方向交又之第2方向配置,第-第2及第 方m: 70件’係配置成使第1半導體雷射元件之- 方电極比弟2及第3半導麵+ 1端子,使第2丰莫上 方電極更靠近第 主、曾财 體雷射元件之一方電極比第1及第3 半導體雷射元妹夕 ^ ^ 〇 耵兀件之一方電極更靠 體雷射元件之—方雷〇 U3+導 ,u 万电極與基座之間復包括有副支座 (submount),第3半導 从 體雷射元件突出的一方電極自第3半導
半導體雷射元件之—古* 弟1鳊子與第J 方甩極izL過第1導線連接 與第2半導體雷射元件之 =連接,弟2端子 3端子與第3半導體帝 从 ¥、、表逑接,第 第3導線連接,第3 。支座上透過 基座之另一方電極。^射兀件復包括有電性連接至 於該半導體雷射裝置中,第!端子 兀件之一方電極透過第 + ¥奴雷射 弟1導線連接,第2端子與第2半導 316782 9
I 1252619 ,體雷射元件之一方電極透過第2導線連 3半導體雷射元件之-方電極透過第3導後二而子與第 分別單獨地驅動第1半導體番 ,、厂連接,從而可 件及第3半導體雷射元件射兀件、第2半導體雷射元 另外,因第1半導體雷射元件一帝 :及第3半導體雷射元件之 極於比第2 置,故第!半導體雷射元件之―方^“1端子之位 且簡單地透過第1導線連接。子可單純 方電極位於比第1及第3半導體雷射元件二::牛之- ΐ 故第2半導體雷射元件之-方4: 弟2端子可單純且簡單地 免極,、 體雷射元件之一方電極以向第妾。因第3半導 式形成於副支座上,故第3半元件突出的方 第3端子可於副支座上單純且簡單地透:第T導與 第1及第2半導體雷射元件之少—部分最好比 此,第3半導$極更靠近第3端子。藉 簡單地透過第3導線連接。 4 3古而子可早純且 弟1半導體雷射元件及裳9山 於第3半導體雷射元件上。:時 半導”射元件之各雷射光之_可減小弟卜第2及第3 最好將第1導線與第i半導+ 第1連接位置、第3導㈣第射兀件之一方電極之 極之第3連接位著 半導體雷射元件之-方電 連接位置,及第2導線與第2半導體雷射元件之 316782 10 1252619 ·—方電極之第2連接位置,在第1方向從第!端子侧向第 而子/則依序配置。藉此,防止第卜第2及第3導線交又。 第3連接位置可設定於比第丨及第2連接位置中 妾位置,更靠近與第卜第2及第3半導體雷射: 件之Μ射光之射出側相對之相反側。藉此,第3導線 感成二因為變小’故形成可高速驅動第3半導體雷射元件。 丄弟2、第2及第3端子係以沿與第1方向及第2方向 交叉之第3方向自一側向另一側延伸,第1、第2及第3 2導體雷射元件沿第3方向向另一側射出主要雷射光的方 二力=配置’第i及第2半導體雷射元件分別復包括有另 -方電極’帛i、第2及第3半導體雷射元件之另一方電 極=相電性連接,在比第丄連接位置更靠第工半導體雷射 之雷射光之射出側位置,將第3半導體雷射元件之另 —方電極透過第4導線電性連接至基座亦可。 雨此時,因第1、第2及第3半導體雷射元件之另一方 鲁甩極互相%性連接,故可透過第4導線將第卜第2及第3 半導體雷射元件之另一方電極共同連接到基座。 名2月之又悲樣之半導體雷射裝置,包括有:框體, 八有導电性,基座,设置於框體,具有導電性;第1、第2 及第3端子,設置於框體、且與框體絕緣;帛4端子,設 且電性連接至基座;第1、第2及第3半導體 :㈣,設置於基座上、且分別具有一方電極;其中, 弟1端子及第2端子沿第i方向配置,第3端子及第4端 子沿與第1方向交叉之第2方向配置,將第工半導體雷射 336782 11 1252619 ,兀件之發光部、第3半導體帝 體雷射元件之發光部,在第7方:從二=及第2半導 子側依序配置,第3半導體雷射元= 向第2端 向,延伸到比第2端子侧之筮9 * 电極於第1方 '近第2端子之位置,第以二丰導體雷射元件側面更靠 方电極透_〗導線連接,第 %件之- :之:方電極透過第3導線連接,第3:二導= 田:兀件之—方電極透過第2導線連接,第3半^ 广咖長比第1及第2半導體雷身元二;導, 光,同時復包括有電性連接至基座 ^丑之雷射 於該半導體雷射裝置中,射 ^方琶極。 體雷射元件都短之雷射光之第^波長比弟1及第2半導 於第1方向,設置於第丨半導體::體:射元件之發光部 半導體雷射元件之發 Z =之發光部與第2 件位於框體之中央部。藉此,I:透:= 可提高第3半導體雷射元件之發雷射光時, 另外第3半導體雷射元件之一方:極之先之利用率。 伸到比第2端子側之第2半導體雷射:件向,延 端子之位置,從而可縮短連接射出^側面更罪近第2 體雷射元件都短之雷射光之第3半導,;1: 1及第2半導 極與第2端子之第3導線長度。藉此之-方電 分因變小,從而形成可高速㈣第3半:=線之電感成 另外第1半導體雷射元件之一方月^射兀件。 純且簡單地透過第1導線連接,第3 =與第1端子可單 弟d +導體雷射元件之— 316782 12 1252619 二與第2端子可單純且簡 2 +導體雷射元件之 、弟3 I泉連接,| 透過第2導線連接。电° Λ弟3端子可單純且簡單地 第1、第2及第3端子沪盥笛 之第3方6白y σ一乐1方向及第2方向交叉 、昂J方向自-側向另一側延伸 又又 :體雷射元件係以沿第3方向向另—:二弟2:第3半導 式加以配置,第丨及第 、出主要盂射光的方 H 切體雷射元件分別復包括有另 k方$極,在比第1導線與第丨 ^括有另 極之第!連接位置更靠近第1半導;:射:件之-方電 射出側位置,將第i半導體雷射兀=雷射光之 4導線電性連接至基座亦可。 另-方琶極透過第 此時,可透過第4導線將第 方電極與第3半導體雷射元件 :⑽射兀件之另- 座。 方電極共同連接到基 在比第2導線與第2半 _ 2連接位置更靠第2半導體 置’將第2半導體雷射元件 性連接至基座亦可。 ,體雷射元件之—方電極之第 田射元件之雷射光之射出侧位 之另一方電極透過第5導線電 半導體雷射元件之另一 一方電極共同連接到基 此時,可透過第5導線將第2 方電極與第3半導體雷射元件之另 座0 第2連接位置可設定在 第3半導體雷射元件之一方 個連接位置,更靠近於與第 =乐1連接位置及第3導線與 兒極之第3連接位置中至少一 1、乐2及第3半導體雷射元 316782 13 1252619 件之雷射光之身 感成分因變小…側相反之相反側。藉此,第3導線之電 自第攸而形成可高速驅動第3半導體雷射元件。 第卜第2 、看見々第1、第2及第3半導體雷射元件時, 且簡單地進行^弟山4導線最好各不交叉。藉此,可單純 —延仃书椏、端子及基座之配線。 之活雷!;件可包括有由氮化物系半導體構成 紫色光。 了 第3半導體雷射元件之活性層射出藍 第端子之長度比第1及第2端子的長度短,第卜 :二=端子沿與第1方向及第2方向交叉之第3方向 側延伸,第卜第2及第3半導體雷射元件 μ彳、a 向另一側射出主要雷射光的方式加以配置, ^ 2及弟3半導體雷射元件於第1方向配置於第丨 2端!之間,第3端子之長度可設定為於第3方 ° ”弟1、$ 2及第3半導體雷射元件之雷射光之射出 ㈣側之端面重疊。藉此’可不受第3端子干擾 間早將弟卜第2及第3半導體雷射元件安裝於基座上。 本發明之再另一態樣之半導體雷射裝置,包括有:框 月^具有導電性;基座,設置於框體,具有導電性;第i 及第2端子,設置於框體、且與框體絕緣;以及第丨及第 2半導體雷射元件,設置於基座上、且分別具有—方電極 及另-方電極;其中,S i半導體雷射元件設置於第2半 :體雷射元件上,f 1端子及第2端子沿第)方向配置, 第1纟而子與第1半導體雷射元件之一方電極透過第1導線 316782 14 1252619 1 、 第2、子與第2半導體雷射元件之一方# 2導線連接,第丨 鱗帝 ^ 电極透過第 之至少-方之另方:"、兀4及弟2半導體雷射元件 座。 之另―方電極係透過基座料線電性連接至基 •於該半導體雷射裝置中,第2端子與第她… _:之-方電極透過第!導線連第广雷射 體雷射元件之一方#托味、μ 罘^而子與第2半導 獨地驅動第j丰導:&過弟2導線連接,從而可分別單 第體雷射元件及第2半導體雷射元件 置於比第2古 射元件於第2半導體雷射元件上最好# 二:端子更靠近第1端子之位置。此時,第Τ1: 1導線連接,同時也可 m心地透過苐 第2半導體雷射元與第如 之活性層。此時,自第2半;=氦:物系半導體構成 紫色光。 豆由射兀件之活性層射出藍 \連接在:二導Γ與第1半導體雷射元件之-方電極之第 上逆接位置或弟2導線盥 电让之弟 之第2連接位置,更靠近體雷射元件之—方電極 射出側位置,將第1及第2半射元件之雷射光之 另-方電極透過基座側導線性::::::至少-方的 可防止基座侧導線分別 賴至基㈣可。此時, 藉由第1至第3之^導線及第2導線交叉。 體雷射元件、第2半導俨 V分別早獨地驅動第I半導 同時第】、第2及第及:咖 由射兀件之各一方電極與各 J5 3Ϊ678? 1252619 , 端子也可透過導線單純且簡單地進行連接。 另外,藉由第4發明,可分別單獨地驅動第i半導體 雷射兀件及第2半導體雷射元件,同時第i及第2半導體 雷射元件之各-方電極與各端子也可透過導線單純且 地進行連接。 ‘【實施方式】 以下參照圖式説明本實施形態之半導體雷射裝置。 (弟1實施形態) •帛1圖為第1實施形態之半導體雷射裝置的一例 意剖視圖。 不 本實施形態之半導體雷射裝置100 約為650删之雷射光之半導 耵出波長 導… 件(下面稱為紅色半 ===件)卜射出波長約為氣^雷射光 :射兀件(τ面稱為紅外線㈣體雷射元件)2及射出波 長約為400随之雷射光之半導體雷射元件(下 势 #色半導體雷射元件)3。再者,餘 _ 舟為 包括有由氮化物系半導P構成雷射7^件3 干今月且構成之活性層(未圖示)。 於本實施形態中,誃紫 —
GaN其妃l ^, 凰”色半¥月豆运射元件3係透過於 及體::s成。紅色半導趙雷射元件1' 體層而射兀件2係透過於㈣基板上形成丰導 如第1圖所示,藍紫色半 :條狀之输。藍紫色半導二= 形成有絕緣膜4,以包覆输之上面的二二 ]6 316782 1252619
P電極32,下面张Λ、I q π 士士 &成有n電極35。藍紫多主… =成有作為㈣半導體與η型半導切體雷射元件 面30。 尘牛之接合面之Ρη接合 紅色半導體雷射元件1之上 形成有ρ電極i 2。 乂有n電極1 3,下面 半導體與η型半導〜=體雷射元件1形成有作為" 紅外線本t: 接合面之,接合面1。。 一 面形成有P電田Γ:件、2之上面形成有n電極23,下 P型半導體與n型半導二導體雷射元件2形成有作為 誌紫声车、首¥肽之接合面之卯接合面20。 4色+¥體雷射元件3之 分隔形成^型焊塾(pad)電極心%。上與Ρ電極犯 P型焊墊電極12a、22a之上面分別 曰 色半導體雷射元件彳 ^ ^成有焊膜Η。紅 墊電極12a上^ =極12透過焊膜《接合至Ρ型焊 上 另外,紅外線半導护φ私-22透過焊膜η接入$ ,牛¥版田射兀件2之ρ電極 一 ^胰Η接合至ρ型焊墊電極22&上。 弟曰此、、、工色半導體雷射元件1之p電極 電極12a電性挂姑,, f 2與P型焊墊 盘, 接,紅外線半導體雷射元件2之p 與P型焊塾電極22a電性連接。 ^極22 ^於第1 W中’如箭頭X、Y、Z所轉互相垂直之3個 方向設為X方向、Υ方向及Ζ方向。χ方向及$個 紫色半導體雷射元件3、紅色半導卜射元丄方向係與監 半W射1 0 千^田射兀件1及紅外線 2方向=:,接合面3°、1〇、2。為平行的方向。 及紅外線半導體雷射元件2之_接合面 Π 316782 1252619 直的方向。 #紅色半導體雷射元件i、紅外線半導體雷射 監紫色半導體雷射元件3,係配置成沿χ 主要雷射光。 χ方向向一侧射出 π透過於藍紫色半導體雷射元件3之P電極32與〇電掩 之間施加電壓’使從prl接合面3〇 .5 r 工π 4 # 會部R1下方區域 (下面%為監紫色發光點)3 1向X方 之雷射光。 Μ出波長約為40〇nm 透過於紅色半導體雷射元件電極 13之間施加電壓,使從pn接合面1〇之預定區域;;: 為紅色發光咖向χ方向射出波長約為65。随之= ==線半導體雷射元件2之?電極電極 23之叫電壓,使從pn接合面2〇之預定區域( :紅外線發光點)21向乂方向射出波長約為78〇·之雷射 无0 弟2圖(a)為第)圖之半導體雷射裝置!⑽組裝至基 座上時之示意剖視圖1 2圖⑴為 裝請組裝至基座上時之俯視圖。 “ “射 Μ弟]圖之半導體雷射裝置100用於光讀取裝置時,如 :2圖/a)所示,將半導體裝置100安裝於由Cu、CuW =A1寺金屬構成之導電性的基座500上。且,使用導線 Μ、lWa、lWb、2Wa、^ 2仏’進行P電極32、12a、22a及η 電極13、23之配線。 再者,此時η電極35接合至基座5〇〇之上面。藉此, 316782 1252619 η電極35與基座500電性連接。 、紅色半導體雷射7件1之η電極! 3透過導線1 Wb電性 連接至基座5GG之上面。紅外線半導體雷射元件2之n電 極23透過導線2Wb電性連接至基座5〇〇。 藉此’基座500成為藍紫色半導體雷射元件3、紅色 半導體雷射元件i及紅外線半導體雷射元件2之共用η電 極,可實現陰極共用之接線。 女衣有半導體雷射裝置1〇〇之基座5〇〇上設置有導電 性之底座(stem)501。 底座5 0 1 置有繁1 *山1 D 。 又乐1知子1P、第2端子2p、第3端子 3 P 及弟 4 端子 4 P 〇 Jk ^ ^ 者弟3 ‘子3Ρ之長度比第1端子 1Ρ及第2端子2Ρ短。
第1端子1Ρ利用絕緣環π與底座5〇1絕緣,第2端 子2Ρ利用絕緣環21與底m絕緣,第3端子3Ρ利用絕 緣壞3ί與底座501絕緣。再者,第4端子4p設置於基座 500内,與基座500電性導通。 第"而子1P及帛2端子2P沿Y方向配置,第3浐 3P及第4端子4P則沿與γ方向相交之z方向配置。另而外, 弟1端子1P、第2端子2P及第3端子3MX方向自 向另一側延伸。 目侧 ^紅色半導體雷射元件1、紅外線半導體雷射元件 監糸色半導體雷射元件3,係於γ方向配置於第1沪 與第2端子2Ρ之間。 第3端子3Ρ之長度可設定為於χ方向不蛊 /、、、、Χ色半導體 316782 19 1252619 田射兀件1 k外線半導體雷射元件2及藍紫色半導體φ 件3之射出主要雷射光之端面射出側之相反侧端面; 在 所明射出主要雷射光之端面係指與相反侧端面 相比射出光之光I I彡彡 、 夕之'而面(以下稱之為射出侧端面)。 在此,呪明ρ型焊墊 、 ^ 备'色4^^射讀3之卩電極32與第 端子2P及第3端子3P之位置關係。 子1P弟2 邮P型:^電極12a tb p型焊塾電極22a及藍紫 月豆雷射兀件3之p電極32更靠 T · 極22a比D刑、Ρ乱予 文菲、弟1糕子1Ρ,ρ型焊墊電 土予上-电極12a及藍紫色半導體雷 :電極32更靠近第2端子2p,分別配置紅色半導體:二之 卜紅外線半導體雷射元件2及藍紫色半導體田: 3,以使藍紫色半導俨n Q》已牛¥肢雷射兀件 巴千¥肢雷射兀件3之p電 於Ρί焊塾電極…與P型焊塾電極22a之間。向位 • ’曰此、’如弟2圖(b)所示,第1端子1P與P型焊墊 曼極12 a透過導碎1 μ 于塑1
泉1Wa早純且簡單地連接,第2踹早9P 輿P型焊墊電極22诱岛1 子2P 3端子3P與藍紫色半導單純且簡單地連接,第 ㈣單純且簡單=射兀件電極32透過導 另外自2方向觀察紅色半導體雷 導體雷射元件2及6 卜'、泉丰 smw,。 雷射元件3時,導線】^、 n mb分別不交叉。 如上所述,於本實施形態令,透過於基座5〇〇與導線 316782 20 1252619 w之間施加電壓,從而可動誌 it ^ ^ ^ ^ 1^系邑牛導體雷射元件3, 。、土坐500與導線1 Wa之間施加電壓 色半導俨+斜—μ 兒土 攸而可驅動紅 千^月豆每射兀件】,透過於基座 加電屙,产品叮一 ¥線2Wa之間施 "攸而可驅動紅外線半導體雷射元件2。 女此’可分別單獨地驅動藍紫声 紅色半導俨H, 》一色切體雷射元件3、 牛射兀件丨及紅外線半導體雷射元件2。 "Γ-卜!出波長比紅色半導體雷射元件1及紅外線半導 妙多於止射先的監紫色半導體雷射元件3之藍 本土光點31於Υ方向設於紅色半導 發光點η與紅外線半導^射^,田射兀件1之紅色 之間,丄 之紅外線發光點21 、首門仗而用於光讀取裝置等光學裝置時,可將該 v體雷射元件3容易定位於透鏡之中央部。一 紫色ΐϊ二:=鏡周邊部之像差之影響,且提高藍 千¥月豆每射兀件3之光利用率。 另外,最好將導線1Wa與紅色半 型焊墊電極12a之連接位置、導㈣盘―:射兀件1之p 元件3之p電極32之連丄?、,紫色半導體雷射 ^ 〇 之連接位置及導線2Wa與紅外線半導 而W向弟2端子侧依序配置。藉此,可防止導線 IWa、2Wa、3W 交叉。 V、、果
卜第3端子3P之長度比第1端子1P及第2端子2P
的長度短,红声丰導妒+如-加 而子2P 、色牛¥肢雷射兀件1、紅外線半導體雷射-件2及藍紫色丰導娜兩斛-从π 守版田射兀 1Dp "色+ ¥肢田射兀件3於y方向配置於第】 】P與弟2端子?p夕門工^々斤。 而子 之間,而弟3端子3P之長度係設定為於 316782 21 1252619 不與紅色半導體雷射元件1、紅外線半導體雷射元件 =監紫色半導體雷射元件3之雷射光之射出側端面之相 反側端面重疊,從而可將藍紫色半導體雷射元件3之p電 極32與第3端子3p透過導線別單純且簡單地連接。电 山再者’監紫色半導體雷射元件3之p電極犯與第3 古而子3P之連接位置最好設定於比紅色半導體雷射元件1 =型焊墊電極12a與第之連接位置及紅外線半 V脰雷射元件2之?型焊墊電極22a與 I 立置t至少-個連接位置,更靠近紅色半導體雷射元^接 、·工外線半導體雷射元件2及藍紫色半導體雷射元件3 ::: 光之射出側之相反側。藉&,可減短導線 =⑽之電感成分,從而可高速驅動藍紫色半導體雷射元 2Ρ、Π二第2圖(a)所示,第1端子1P、第2端子 弟3^子3P及第4端子4p於支座5{)1上,最好 I為大致同心圓狀。藉此,可防止 : 各端子之各導線交又。 l+h由射几件與 2^=^;半料㈣元件1及紅外料㈣雷射元件 乙I 口又罝位置可以相反。 另外紅色半導體雷射元件j及紅外 2還可具有單片(細QUtk)結構。 ^t7L# ^者藍紫色半導體雷射元件3與基座_之間還可* 置由石反切或氮化銘等構成之副支座。此時, : 色半導體雷射元件3之散熱。 '見監糸 316782 22 1252619 (第2實施形態) 立第3圖為第2實施形態之半導體雷射裝置的一例之示 思剖視圖。第4圖(a)為第3圖之半導體雷射裝置組裝至 基座上時之示意剖視圖,第4圖(b)為第3圖之半導^兩 射裝置組裝至基座上時之俯視圖。 、 、本實施形態之半導體雷射裝置2〇〇與第〗實施形態之 半導體雷射裝置100之不同點如下所述。 “
一如帛3圖所示,本實施形態之半導體雷射裝置200中, 藍紫色半導體雷射元件3 m午3之p电極3 2於Y方向延伸到比第 Z令而子2P側之紅外線丰導辦φ ▲ 土 9 %^月豆苗射兀件2之側面更靠近第2 端子2 Ρ之位置。 另外於Ρ電極32上隔著絕緣膜4b形成有?型焊塾電 = 型焊墊電極22a上隔著焊膜_成有紅 +導體雷射元件2。 、_再且,如第4圖⑷及第4圖U)所示,紅外線半 ^豆雷射兀件2之?型焊墊電極22a與第3端子3p透過導 賴a連接,藍紫色半導體雷射元件3之口電極32與第2 立而子2P透過導線3W連接。 如上料,於本實施形態中,透過於基座500與導線 3'丨之間施加電歷,可驅動藍紫色半導體雷 於基座5。。與導線1Wa之間施加電墨, 彻 雷射元们,透過於基座500與導線%之間施加電墨: 可驅動紅外線半導體雷射元件2。 如上所述,可分別單獨地驅動藍紫色半導體雷射元件 316782 1252619 3、紅色半導體雷射元们及紅外線半導體雷射元件2。 Π I出波長比紅色半導體雷射元件1及紅外線半導 ^射兀件2短之雷射光的藍紫色半導體 = 糸色發光點31係於γ方^j f 【 之红多恭止 °°又置於紅色半導體雷射元件】 -點21之間、田射兀件2之紅外線發光 -色半導Hr先_置^學裝置時,可將藍紫 巴千^雷射件3空 — 仟J奋易疋位於透鏡之中央部。 其結果,可減少透鏡周邊部之 、,仏一 a 紫色半導體帝射开杜q S ,亚提向藍 ,版田射兀件3之光利用率。 另外藍紫色半導體雷射元件3之 柚5丨丨μ卜结Ο , 〜Ρ电往V於Υ方向延 弟2令而子2Ρ侧之紅外線半導^ 靠近第2端HP之位置,ϋΓ 之側面更 半導體+ 置仗而可減短連接射出波長比紅色 千¥肢每射兀件1及紅外線 的“^本道一, 雷射兀件2短之雷射光 皿’、色+ V肢运射兀件3之ρ電極盥 導線3W長度。藉此,導:、弟“而子卯之 叮^ ± 忒dW之電感成分形成變小,從而 >问速驅動藍紫色半導體雷射元件3。 第^工色半導體雷射元件1之13型焊塾電極12a與 導/射一杜可透過導線1Wa單純且簡單地連接,藍紫色半 單二,=、LtP電極32與第2端子2P可透過導賴 十:早地連接,紅外線半導體雷射元件2之?刑焊墊 电極22a與第3端子3P可透過導砷?w -从 土十塾 而丁 π」還過V線2Wa早純且簡單地連接。 且’相較於紅色半導體雷射元件 與第 1 *山工 1 D >、土 ^ ^ ^ 12a ^ 而 、接位置及監紫色半導體雷射元件;3之!3 ”弟2鳊子2P之連接位置中至少一個連接位置, 316782 24 1252619 、夕丨線半導體雷射元件2之p型焊墊電極22a與第3端子 、P、=連接位置取好設定於紅色半導體雷射元件1、紅外線 半導雷射兀件2及藍紫色半導體雷射元件3之雷射光之 射出侧之相反側。據此,防止導線1Wa、2Wa、3W交叉。 再者,紅色半導體雷射元件卜紅外線半導體雷射元 山2及監紫色半導體雷射元件3之設置位置可設定為以第 而子3P之長度方向為中心,左右對稱之結構。 另外,紅色半導體雷射元件1及紅外線半導體雷射 件2亦可具有單片結構。 者監紫色半導體雷射幻牛3與基座500之間亦可設 _有由炭化梦或氮化料構成之副支座 守,可實現藍紫色半導體雷射元件3之散熱。 〜1實施形態及第2實施形態中,導線…相 :二導線2恥相當於第2導線,導線3W相當於 5導I庄導線1W1?當於第4導線,導線哪相當於第
2 ,於上述帛1實施形態及第2實施形態中,導 線lWb、2Wb相當於基座側之導線。 V 相二T士述第1實施形態及第2實施形態中,Y方向 二二向,Z方向相當於第2方向,“向相當於第 :第:丰2體雷射元件,紅外線半導體雷射元件2相當 第3半導“射元/ 一色+ ^雷射兀件3相當於 態中,P型焊 且,於上述第1實施形態及第2實施形 316782 25 1252619 墊電極12a相當於第1半導體雷射元件之一方電極,p型 焊墊電極22a相當於第2半導體雷射元件之一方電極,p 型電極32相當於第3半導體雷射元件之一方電極,η電極 1 3相當於第1半導體雷射元件之另一方電極,η電極23 相當於第2半導體雷射元件之另一方電極,η電極35相當 ’於第3半導體雷射元件之另一方電極。 " (第3實施形態) 第5圖為第3實施形態之半導體雷射裝置的一例之示 鲁意剖視圖。 如第5圖所示,本實施形態之半導體雷射裝置300與 第1實施形態之半導體雷射裝置100之不同點為沒有設置 紅外線半導體雷射元件2、焊膜Η(但是紅色半導體雷射元 件1之焊膜Η除外)及ρ型焊墊電極22a。 第6圖(a)為第5圖之半導體雷射裝置30 0組裝至基 座上時之示意剖視圖,第6圖(b)為第5圖之半導體雷射 $裝置300組裝至基座上時之俯視圖。 如第6圖(a)及第6圖(b)所示,將本實施形態之 半導體雷射裝置300組裝至基座500上而製成之光讀取裝 置與將第1實施形態之半導體雷射裝置1 00組裝至基座 5 0 0上而製成之光讀取裝置之不同點如下所述。 底座501電性連接光電二極體50。該光電二極體50 與第3端子3P透過導線4W連接。另外,藍紫色半導體雷 射元件3之ρ電極32與第2端子2P透過導線3W連接。 在此,對ρ型焊墊電極1 2a及藍紫色半導體雷射元件 316782 1252619 P电極32與第〗端子]p、第2端子 之位罟μ /么上 久乐而子3Ρ <祖置關係加以說明。 刀別配置紅色半導,帝身 元件3,伯*丨牛蜍虹田射兀件1及藍紫色半導體雷射 m Ρ::塾電極12&比藍紫色半導體雷射元件3 之二^近第1端子1ρ,藍紫色半導體雷射元件3 电 比Ρ型焊塾電極⑶更靠近第2端子2Ρ。 ,此,第1端子1?與?型焊整電極12a可 1 Wa單純且簡單地連接,第2端 °, 件3之ρ _ 32可透過導線⑽單純且簡單地連接。 導二射於IS觀察紅色半導體雷射元件1及藍紫色半 运射兀件3蚪,導線1Wa、3W、m、4W分別不交叉。 ㈣如上所述’於本實施形態中,透過於基座500盘導線 3W之間施加電壓,從而可驅動藍紫色半導體雷射元件 =於基座500與導線1Wa之間施加電壓,從而可驅動红 色+導體雷射元件1 °如此,可分別單獨地驅動藍紫色半 導體雷射元件3及紅色半導體雷射元件丨。 〃 另外最好於Υ方向,自第1端子IP侧向第2端子2ρ 側依序配置導線IWa與紅色半導體雷射元件工之ρ型焊塗 電極12a之連接位置、以及導線3W與藍紫色半導體兩^元 件3之P電極3 2之連接位置。藉此,可防止導線丄:與兀 3W交叉。 再者,如第6圖(a)所示,第i端子lp、第2端子 2P、第3端子3P及第4端子4P於底座50丨上,最好設置 為大致同心圓形狀。藉此,可防止連接各半導體雷射:件 316782 27 1252619 與各端子之各導線交又。 再者監紫色半導體雷射元件3與基座500之間冰 f有由碳化矽或氮化紹等構成之副支座。此時,可二可設 紫色半導體雷射元件3之散熱。 %現藍 亦可取代紅色半導體雷射元件1設晋红外# '體雷射元件。 .-置'、,工外線半導 =上述第3實施形態中’導線iWa相當於第 1 Υ方向相’ s U ^泉,¥線1 w b相#於基座側之導線, 當於第3二 2方向相當於第2方向,X方向相 件1相米於y底座501相當於框體,紅色半導體雷射元 田灰弟1半導體雷射元件,藍紫 3相當於第2半導體雷射元件。“體雷射元件 於上述第3實施形態中,p型焊| 於第1半導體雷射元件之一方、墊'極12“目當 2半導體P型電極32相當於第 田射兀件之一方電極,η電極13^彳·! t 體雷射亓杜夕兄 _ •^相§於第1半導 射元件之另一方電極。 才目…2半導體雷 (第4實施形態) 第7圖為第4實施形態之半導 意剖視圖。 町衣置的一例之不 第^第7圖所示,本實施形態之半導體雷卿置4〇〇與 1貝靶形態之半導體雷射裝置i 〇〇 ^ ^ ^ , I不同點如下所池。 知“Μ之上面及脊部Ri之兩
4,而以包覆該各絕緣膜4的方式有W v^成P電極32。因此, 316782 28 1252619 於本實施形態中,不設置幽 且於該P電極32上之兩 極2…。 半導體雷射元件〗&者焊膜Η形成有紅色 如此,於本實上:,雷射元件2。 々、+只知形恶之半導髀恭 連接紅色半導體f射元件、裝置彻中,電性 :射元件電極22及藍紫色半=、紅外線半導體雷 32。 ’ 雷射元件3之p電極 *且,上述藍紫色半導體雷射 ,設置有絕緣性副支座6〇。 件3與基座500之間 在此,監糸色半導體雷射北 性副支座60上分別+佑古、曾+ 月面之電極上及絕緣 丄刀另J塗佈有導電性黏著 黏著劑互相貼合,黏著藍紫色丰導二;j透過该寺導電性 副支座60。於本實施妒能;t ^射元件3與絕緣性 面之+ β «、·· '八^中,監紫色半導體雷射元件3背 电極及導電性黏著劑形成η電極35。 ηΐϋ所述’於將η電極35黏合於絕緣性副支座6〇時, ,之;式::端部係向藍紫色半導體雷射元件3之外側突出 :8圖(a)為第7圖之半導體雷射裝置400組裝至基 ^番日Γ示意剖視圖,第8圖⑴為第7圖之半導體雷射 衣置4〇2組裝至基座上時之俯視圖。 士第8圖⑷及第8 ® ( b)所示,將本實施形態之 ::::射衣置4。。組裝至基座5。〇上而製成之光讀取裝 置/、爿寸第1 λ施形態之半導體雷射裝置i 〇〇組裝至基座 500上而製成之光讀取裝置之不同點如下所述。 316782 29 1252619 如上所述,透過於藍紫色半導體雷射元件3之n電極 35與基座500之間設置絕緣性副支座6〇,從而n電極% 與基座5 0 0透過絕緣性副支座6 〇達成絕緣。 且,紅色半導體雷射元件1之η電極13與第1端子 1Ρ透過導線1 Wa連接,紅外線半導體雷射元件2之η電極 23與第2端子2Ρ透過導線2Wa連接,藍紫色半導體雷射 兀件3之η電極35與第3端子3P透過導線3W連接。 再者,藍紫色半導體雷射元件3之ρ電極32與基座 500通過導線IWb連接。在此,導線_相#於基座侧之 藉由上述構成,於Z方向觀察紅色半導體雷射元件卜 紅外線半導體雷射元件2及藍紫色半導體雷射元件3時, 導線lWa、2Wa、3W、1Wb分別不交又。 \上所述,於本實施形態巾,透過於基座500與導線 3 W之間施加電麼,你 # 、 -me 攸而了驅動監紫色半導體雷射元件3, =土 f 5〇0與導線1Wa之間施加電麼,從而可驅動έ工 色:導體雷射元件卜透過於基座5◦。與導線2Wa之=: 加电塵,從而可驅動紅外線半導體雷射元件2。 & 如此’可分別單獨地驅動藍紫 紅色丰導騁+ μ —, 卞夺妝田射兀件3、 已牛v脰羞射几件2及紅外線 另外射Ψ +目 f版田射兀件2。 體雷射元件2短之+ b 兀件】及紅外線半導 紫色發光點3! w方肢雷射兀件3之藍 色笋光又置灰紅色半導體雷射元件1之红 色“點]]輿紅外線半導體雷 午i之、..工 十Z之紅外線發光點 316782 30 1252619 21之間,攸而用於光讀取裝置等光學 ^ 體雷射元件3可交易宏办认+ 乂 τ ’監紫色半導 卞J J办易疋位於透鏡之中央部。 十 =果’可減少透鏡周邊部之像差之影 監I色半導體雷射元件3之光利用率。B且可扶高 另外最好於y方向,自第】端子]p# 之連接位置、導線3W與藍紫色半導體雷射 ^13 35之連接位置及導绰 之η电極 p電極23之連接位f。茲* _ 田对丁兀件2in 叉。 置错此,可防止導線^、.、⑽交 且透過弟3端子3P之長度比篦】— 子2P之長度短,紅色半導而 及弟2端 射元件2及誌紫色丰紅外線半導體雷 俨;1P p 語射元件3於Y方向配置於第1 X而方向不It 2端子2Ρ之間,第3端子扑之長度設定為於 二二、、”工色半導體雷射元件1、紅外線半導體雷射元件 f及監山糸色半導體雷射元件3之雷射光之射出側端面之相 :側端面相重疊,從而可將藍紫色半導體雷射元件3之^ 電極35與第3端子3ρ透過導線⑽單純且簡單地連接。 ^者’如第8圖(a)所示,第1端子1P、第2端子 2P、第3端子3P及第4端子4p於底座5〇ι上,最好設置 為大交同u圓形狀。藉此,可防止連接各半導體雷射元件 與各端子之各導線相交。 另外紅色半導體雷射元件1與紅外線半導體雷射元件 2之設置位置可以相反。 316782 31 1252619 且,紅色半導體雷射元件1及紅外線半導體雷射元件 2亦可包括有單片結構。 於上述第4實施形態中,導線1 Wa相當於第1導線, 導線2Wa相當於第2導線,導線3W相當於第3導線,導線 lWb相當於第4導線。
: 於上述第4實施形態中,Y方向相當於第1方向,Z _方向相當於第2方向,X方向相當於第3方向,底座501 相當於框體,紅色半導體雷射元件1相當於第1半導體雷 _射元件,紅外線半導體雷射元件2相當於第2半導體雷射 元件,藍紫色半導體雷射元件3相當於第3半導體雷射元 件。 且,於上述第4實施形態中,η電極13相當於第1半 導體雷射元件之一方電極,η電極23相當於第2半導體雷 射元件之一方電極,η電極35相當於第3半導體雷射元件 之一方電極,Ρ電極12相當於第1半導體雷射元件之另一 g方電極,ρ電極22相當於第2半導體雷射元件之另一方電 極,ρ電極32相當於第3半導體雷射元件之另一方電極。 (第5實施形態) 第9圖為第5實施形態之半導體雷射裝置組裝至基座 上時之示意剖視圖。 本實施形態之半導體雷射裝置550與第1實施形態之 半導體雷射裝置1 0 0之不同點如下所述。 如第9圖所示,藍紫色半導體雷射元件3於下面侧具 有帶狀之脊部R1。於該脊部R i之兩側形成有絕緣膜4,而 32 316782 1252619 以包覆脊部…下面的方 有n電極35。藍紫色半導 P:& 32 ’於上面形成 導體與”半導體之接合面H3形成有作為p型半 工色半導體雷射元件心接;面3〇。 :形成有P電極12。紅色半導:形成有η電極13,上面 半導體與η型半導體 :―兀件】形成有作為^ 紅外嗖丰1姊+ 0 之卯接合面10。 Π +導體雷射元件2 f面形成有Ρ電極22。紅外線半導體雷:成有η電極23,上 ρ型半導體與η型半導體之八田,%件2形成有作為 紅色半導體雷射:面之卯接合面20。 別隔者焊膜Η形成於藍 一射元件2分 上。 肢由射兀件3之1!電極35 如此,於本實施形態之半導杂 連接紅色半導體雷射:田射裝置550中,電性 射开杜9 之η電極W、紅外線半導俨+ 射兀件2之η電極23及藍紫色半導 又牛¥粗每 35。 千¥肢雷射兀件3之η電極 將本實施形態之半導體雷射裝置55{)組裝至基座 上而製成光讀取裝置與將第丨實施彤能之 二 1。。組裝至基座50。上而製成:’…射裝置 所述。 衣成之4取裝置之不同點如下 於藍紫色半導體雷射元件3之Ρ電極32與基座50〇 之間設置絕緣性副支座60。藉此,ρ電極32與基座5。。 之間透過絕緣性副支座60達成絕緣。 且紅色半導體雷射兀件(之口電極12與第丄端子 316782 33 1252619 -1P透過導線1Wa連接,紅外線半導體雷射Tt件2之P電極 22與第2端子2P透過導線2Wa連接,藍紫色半導體雷射 元件3之p電極32與第3端子3p透過導線㈣連接。 再者k糸色半導體雷射元件3之n電極Μ與基座 ,500透過導線m連接。在此,導線目當於某座彻丨之 、導線。 —·’ 藉由上述構成,於2方向觀察紅色半導體雷射元件1、 紅夕卜線+導體雷射元件2及藍紫色半導體雷射元件3時, 攀¥線1^、^,、別分別不交叉。 如上所述,於本實施形態中,透過於基座500盘導線 、秀W、:::加電麗,從而可驅動藍紫色半導體雷射元件3, 5導二與導線^之間施加電麼,從而可驅動紅 = 元件^透過於基座5°°與導她之間施 私i仅而可驅動紅外線半導體雷射元件2。 色二:Γ別單獨驅動藍紫色半導體雷射元件3、紅 #色丰¥㈣射元件!及紅外線半導體雷射元件2。 料Πt波長比紅色半導體雷射元件1及紅外線半導 月豆苗射兀件2短之雷射井之萨4匕洛*、旨a 紫色發先二 導體雷射元件3之藍 2== 置於紅色半導體雷射元件I之紅 21= 導體雷射元件2之紅外線發光點 之間’仗而用於光讀取裝置等光學裝置時,藍紫 月以射兀件3可容易定位於透鏡之中央部。 ' v 其結果,可減少透鏡周邊部之像差之影塑,且可^
監糸色半導體雷射元件3之光利用率。 W 316782 34 1252619 力外喪好於γ方向 側依序並列配置導線lw f而子1Ρ侧向第2端子2Ρ 極12之連接位署首,與'色半導體雷射元件1之Ρ電 Ρ電極32的φ ¥矣3W與藍紫色半導體雷射元件3之 -2之币 接位置及導線2Wa肖紅外線半導體雷射元件 .3W=電極一 ^ 子2P之吾透二弟3螭子3P之長度比第1端子1P及第2端 丁 β之長度短,紅色丰導,+ ^ 7t # ? ^ ^ ¥月且田射兀件1、紅外線半導體雷 :=== /、矛Zi而子2P之問,楚 X方向不與紅色半導”射二^子3?之長度設定為於 2及!…丄· 件卜紅外線半導體雷射元件 反側Γ面重雷射元件3之雷射光之射出側端面之相 == 〜而藍紫色半導體雷射元件3之?電極32 而子3Ρ可透過導線3W單純且簡單地連接。 再者’如第9圖所示,第i端子lp、第2端子2ρ、第 >二。Ρ4Ρ於底座5(Π上’最好設置為大致 子之各導線相交。 接各切體雷射元件與各端 另外紅色半導體雷射元件i與紅外線半導體雷射元件 2之设置位置可以相反。 且,紅色半導體雷射元们及紅外線半導體雷 2逛可包括有單片結構。 + 於上述第5實施形態中,導線1Wa相當於第】導線, 導線2Wa相當於第2導線,導線3W相當於帛3導,線,導線 336782 35 1252619 lWb相當於第4導線。 於上述第5實施形態中,Y方向相當於第1方向,Z 方向相當於第2方向,X方向相當於第3方向,底座501 相當於框體,紅色半導體雷射元件1相當於第1半導體雷 <射元件,紅外線半導體雷射元件2相當於第2半導體雷射 —元件,藍紫色半導體雷射元件3相當於第3半導體雷射元 件。 且,於上述第5實施形態中,p電極1 2相當於第1半 籲導體雷射元件之一方電極,P電極22相當於第2半導體雷 射元件之一方電極,p電極32相當於第3半導體雷射元件 之一方電極,η電極13相當於第1半導體雷射元件之另一 方電極,η電極23相當於第2半導體雷射元件之另一方電 極,η電極35相當於第3半導體雷射元件之另一方電極。 【圖式簡單說明】 第1圖為第1實施形態之半導體雷射裝置的一例之示 φ意剖視圖; 第2圖(a)為第1圖之半導體雷射裝置組裝至基座上 時之示意剖視圖; 第2圖(b)為第1圖之半導體雷射裝置組裝至基座上 時之俯視圖; 第3圖為第2實施形態之半導體雷射裝置的一例之示 意剖視圖; 第4圖(a)為第3圖之半導體雷射裝置組裝至基座上 時之不意剖視圖, 36 316782 1252619 為第3圖之半導體雷射裝置組裳至基座 時之俯視圖; 上 第5圖為第q& 例之示 意剖視圖; 之半導體雷射裝置的- 第6圖(a)為第 時之示意剖視圖; 圖之半導體雷射裝置組裝至基座 上 上 時之⑴為第5圖之半導體雷射裝置組裝至基座 意剖=圖為第4實施形態之半導體雷㈣置的—例之示 上 時之= 為第7圖之半導體雷射裝置組裝至基座 犄之不思剖視圖; 上 弟8圖(b)為第7圖之半導體雷射裝置組 時之俯視圖;以及 忒主丞压 第9圖為第5實施形態之半導體雷射裝置組 上時之示意剖視圖。 才土压 【主要元件符號說明】 1 紅色半導體雷射元件 2 纟工外線半導體雷射元件 3 監紫色半導體雷射元件 4、4b絕緣膜 1〇、2〇、3〇 pn 接合面 11 紅色發光點 12、22、32 p 電極 316782 37 1252619 12a、22a P型焊墊電極 13、23、35 n 電極 316782 21 紅外線發光點 31 藍紫色發光點 50 光電二極體 100、 200 、 300 、 400 、 500 半導體雷射裝 500 基座 501 底座 lWa、 lWb 、 2Wa 、 2Wb 、 3W、4W 導線 Ri 脊部 1P 第1端子 2P 第2端子 3P 第3端子 4P 第4端子 1卜 21、31絕緣環
Claims (1)
1252619 十、申請專利範圍: 1. 一種半導體雷射裝置,包括有: 框體,具有導電性; 基座,設置於前述框體,具有導電性; 第1、第2及第3端子,設置於前述框體,且與 前述框體絕緣; 第4端子,設置於前述框體,且電性連接至前述 基座;以及 第1、第2及第3半導體雷射元件,設置於前述 基座上,且分別具有一方電極;其中, 前述第1端子及前述第2端子沿第1方向配置; 前述第3端子及前述第4端子沿與前述第1方向 交叉之第2方向配置; 且配置前述第1、第2及第3半導體雷射元件, 使前述第1半導體雷射元件之前述一方電極比前述第 2及第3半導體雷射元件之前述一方電極更靠近前述 第1端子,使前述第2半導體雷射元件之前述一方電 極比前述第1及第3半導體雷射元件之前述一方電極 更靠近前述第2端子,使前述第3半導體雷射元件之 前述一方電極之至少一部分在前述第1方向位於前述 第1半導體雷射元件之前述一方電極與前述第2半導 體雷射元件之前述一方電極之間; 前述第1端子與前述第1半導體雷射元件之前述 一方電極透過第1導線連接,前述第2端子與前述第 2半導體雷射元件之前述一方電極透通過第2導線連 39 316782 U52619 接,前述第 鳊子與前述第 方電極透過第3導線;:J半導體雷射元件之前述 箣述第3半導體命身 述其广々P 田射70件復包括有電拇4立 , 迷基座之另一方電極; 巧兔性連接至前 削述弟1半導辦帝έ 一 元件設置於前述第件及前述第2半導體雷射 2.如申請專利範圍=2雷射元件上。 述第半導體雷射裝置,复中,1 雷射元件之一方+朽彳目丨 有形成於雨述第3半導體 側面之絕緣膜; 之脊部、以及形成於前述脊部 月ίι述脊部係設置於前 3述第2半導體雷射元件之間弟1〜“射-件與前 •如申請專利範圍第丨項 述第1導線與前述第i半導二 之二?中,前 極之第1連接位置、4 运射件之刚述一方電 雷射元件 置別述弟3導線與前述第3半導體 :处$電極之第3連接位置及前述第2 〇^與刚述弟2半導體雷射元件之前述一方電極之第 价接^位置,係在前述第1方向從前述第1端子侧向 乐2端子侧依序配置。 、^月專利範圍帛3項之半導體雷射裝置,其中,前 1第3連接位置係設定於比前述第1及第2連接位置 中個連接位置,更靠近前述第1、第2及第3 半導體雷射元件之雷射光之射出側之相反側。 5·如申請專利範圍第3項之半導體雷射裝置,其中, 則述第1、第2及第3端子係沿著與前述第1方 40 316782 1252619 向及前述第2方向交叉之第3方向 伸; 侧向另一侧延
述第 置; 前述第1、第 3方向向前述 2及第3半導體 另一側射出主要 田射元件係以沿前 田射光的方式配 前述第1及第2半導體雷射 一方電極, 元件分別復包括有另 在比前述第1連接位置更靠近前、成〜 射元件之雷射光之射出侧位置,將前f 1半導體雷 射元件之前述另一方電極透過第4=第1半導體雷 述基座。 、表電性連接至前 6·如申請專利範圍第5項之半導體雷射壯 比前述第2連接位置更靠近前述苐2^、f,其中,在 之雷射光之射出側位置,將前述苐生‘體雷射兀件 之前述另一方電極透過第5導線“導體雷射元件 座。 性連接至前述基 _ 7· —種半導體雷射裝置,包括有: 框體,具有導電性; 基座,設置於前述框體, 第1、第2及第3端子, 前述框體絕緣; 具有導電性; &置於前述框體 且與 第4端子,設置於前述框體, 基座;以及 且電性連接至前述 第1、第2及第3 基座上,且分別具有一 方电極及另一方電極;其中 316782 41 51< 交 如述弟1端子及前述第 前述第3端子及前述第 叉之第2方向配置; 2端子沿第i 4端子沿與前 方向配置; 述第1方向 前述第1、第2及第3主& 半$體雷射元杜 # 成使前述第1半導體雷射元件—^… L件,係配置 第2及第3半導體雷射元件 笔極比前述 丁义W述一方命4 述第1端子,使前述第2丰墓^ 兔亟更罪近前 電極比前述第1及第3半導於命 ^ 之削述一方 極更靠近前述第2端子; 則述一方電 方電極與前 方電極自前述 前述副支座 於前述第3半導體雷射元件之前述 4基座之間復包括有副支座; 元件之前述一 的方式形成於 前述第3半導體雷射 第3半導體雷射元件突出 上; 刚述弟1端子與前述第I 一方電極透過第1導線連接,么^ =田射7件之前述 2半導體雷射元件之前述一方:=2端子與前述第 接,前述第〜子與前述第了 = 線連 -方電極於前述副支座上透過第“之前述 珂述第3半導體雷射元件之前越另―’ 性連接至前述基座。 电極係電 如申請專利範圍第7項之半導體雷射 述第3半導體雷射元件之前 二置,其中,前 ,第1及第2半導體雷射元件:ί:至少-部分 Λ近前述第3端子。 刖处方電極更 316782 42 1252619 9’如申请專利範圍第 述第1半導顺干6 卞今月丑田射I置,其中,珂 置於前二^射元件及前述第2半導體雷射元件設 置方' 則述弟3半導體雷射元件上。 10·如申!=範圍第取半導體雷射裝置,其中, -方々線與前編半導體雷射元件之前述 半導體帝射$連接位置、前述第3導線與前述第3 丁守版田射凡件之前述一方 述第2導&盘1 乃电極之弟3連接位置及前 極之第tit述第2半導體雷射元件之前述-方電 η子側向前述第2端子側依序配置。方向一弟1端 ·=:青專利範圍第10項之半導體雷 弟3連接位置相較於前述請第 位中 導體雷射元設定於前述第卜第2及第3半 U.如申这i 41〜每射光之射出側之相反側。 二專利乾圍第10項之半導體雷射裝置,其 <+、珂述第b第2及第3端子沿與前述第/方^ 刖逑篦? 士人丄 、矛1万向及 :、2:向父又之第3方向自-側向另—側延伸; 3方剐述弟1、第2及第3半導體雷射元件 > 前、f „ 3方向a今 u 1卞/口刖述第 置;D則述另-側射出主要雷射光的方式予以配 前述第]、第2及第3半導體雷射元 -方電極互相電性連接; 彳之刚述另 :比前述第!連接位置更靠近前述 射^ ,先之射出侧位置,將前述第3半導 月J i另一方電極透過第4導線電性連接至前 316782 43 1252619 述基座。 13.—種半導體雷射裝置,包括有: 框體,具有導電性; 基座,設置於前述框體,具有導電性; —第卜第2及第3端子,設置於前述框體,且盘 珂述框體絕緣; 且電性連接至前述 第4端子,設置於前述框體, 基座;以及
,设置於前述 1方向配置; 前述第1方向 第丨、第2及第3半導體雷射元件 基座上’且分別具有一方電極;其中, 前述第1端子及前述第2端子沿第 W述第3端子及前述第4端子沿與 父叉之第2方向配置; 則述第1半導體雷射元件之發光部、前述第3 導體雷射元件之發光部及前述第2半導體雷射元件 ί ΐ::係於前述第1方向,從前述第1端子側向前 u弟2蜢子侧依序配置; ^第3半導體雷射元件之前述—方電極於前述 "’延伸到比前述第2端子侧之前述第2生… 體雷^元相面更靠近前述第2端子之位置;+導 月,J述弟1端子與前述第1半導體雷射 一方電極透汛曾 1十之則述 導料接,前❹2端子與前述第 、, 田、凡件之前述一方電極透過第3導约、击 接七述第3端子與前述第2半導體雷射元件之 一方電極透過第2導線連接; 3】6782 44 1252619 剛述第3半導體雷射元 第2半導體雷射元件都短之I:出波長比前述第1及 性連接至前迷基座之另—方先,同時復包括有電 Μ·如申请專利範圍第13項之半盏触 前述第1、$2及%+肢雷射裝置’其中, 前述第2方向交叉之第V:自沿與前述第1方向及 前述第1、第2及Μ ^ :自—側向另一側延伸; 述第3方向向H黑一半導體雷射元件係以沿前 配置; Μ、 W射出主要雷射光的方式加以 -方電=1及弟2半導體雷射元件分別復包括有另 在比刖14第1導線與前述第 珂述一方電極之第丨 牛寺版田射兀件之 雷射元件之雷射光J 罪近前述第1半導體 雷射元件之;3 側位置,將前述第1半導體 前述…-方電極透過第4導線電性連接至 ·15·::請專利範圍第14項之半導體雷射裝置, =第!導線與前述第2半導體雷射元件:前述 元件二::2 ί接位置更靠近!述第2半導體雷射 元件之:η之士出側位置,將雨述第2半導體雷射 基座]述另-方電極透過第5導線電性連接至前述 16·如申請專利範圍第]5項之半導體雷射裝置,立 接:置係設定在比前述第1連接位置及前 弗3蛉線與月述第3半導體雷射元件之前述一#極 316782 45 i、第2 中至乂 —個連接位置,更靠,^ 弟2及弟3半導體雷 更罪近丽述第 相反側。 件之雷射光之射出側之 女申-月專利範圍第5 前述第2方向觀察前述第^ 兀件時,前述第1、第9 ^ 及罘3半導體雷射 1 8.如申嘈阜 弟3及第4導線各不交叉。 、十、心圍第1項之半導體雷射裝置,^ 乂 处弟3半導體雷射元件包括有:中,則 之活性層。 另田11化物系+導體構成 19.如申:利範圍第〗項之半導體雷射裝置, 度短?述第3端子之長度比前述第1及第2端子的長
前述第1、 前述第2方向交 前述第1、 述第3方向向前 配置 苐2及苐3端子沿與前述第1方向及 叉之第3方向自一側向另一侧延伸; 弟2及弟3半導體雷射元件係以沿前 述另一侧射出主要雷射光的方式加以 W述第1、第2及第3半導體雷射元無在前述第 1方向配置於前述第1端子與前述第2端子之間; 前述第3端子之長度係設定為於前述第3方向不 與Μ述第1、第2及第3半導體雷射元件之雷射光之 射出侧之相反侧之端面重疊。 20·—種半導體雷射裝置,包括有: 框體’具有導電性; 基座’設置於前述框體,具有導電性; 46 316782 1252619 且與前述框 第1及第2端子,設置於前述框體 體絕緣;以及 第1及第2半導體雷射元件,設置於前述基座上, 且分別具有一方電極及另一方電極;其中, ^ 前述第1半導體雷射元件設置於前述第2半導體 ' 雷射元件上; W述第1端子及庸述第2端子沿第i方向配置; 前述第1端子與前述第1半導體雷射元件之一方 • 電極透過第1導線連接,前述第2端子與前述第2半 體雷射元件之一方電極透過第2導線連接; 别述第1及第2半導體雷射元件之至少一個的另 一方電極係透過基座侧之導線電性連接至前述基座。 21·如申請專利範圍第20項之半導體雷射裝置,立中, 前述第1半導體雷射元件於前述第2半導體雷射元件 上設置於比前述第2端子更靠近前述第丨端子之 置。 22·如申請專利範圍第2〇項之半導體雷射裝置,直 ,編半導體雷射元件包括有由氮導 成之活性層。 卞守版稱 23.如申:專利範圍第2〇項之半導體雷射裝置, 相較於珂述第丨導線與前述第丨半 :甲> 述一方電極之第1連接仞罢$、且田、兀件之刖 义弟運接位置或蚵述第2導衅* 乂、+、斤 2半導體雷射亓#之箭、+、 弟2 V、、泉與刖述弟 田耵兀件之刖述一方電極之第2 於丽述第1半導體雷射元 , 刖述弟1及第2半導體雷射元環立置 干之至少一個的前述另 316782 47 1252619 一方電極係透過前述基座侧之導線電性連接至前述 基座。
48 316782
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US5465266A (en) * | 1994-06-28 | 1995-11-07 | Xerox Corporation | Index-guided laser on a ridged (001) substrate |
JP3419930B2 (ja) * | 1994-12-21 | 2003-06-23 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置とこの半導体レーザ装置を備えた光ディスク装置 |
US5703896A (en) * | 1995-06-07 | 1997-12-30 | The Regents Of The University Of Colorado | Silicon quantum dot laser |
US5917847A (en) * | 1997-09-26 | 1999-06-29 | Xerox Corporation | Independently addressable semiconductor laser arrays with buried selectively oxidized native oxide apertures |
US6144683A (en) * | 1998-01-07 | 2000-11-07 | Xerox Corporation | Red, infrared, and blue stacked laser diode array by wafer fusion |
US6136623A (en) * | 1998-05-06 | 2000-10-24 | Xerox Corporation | Multiple wavelength laser arrays by flip-chip bonding |
JP2000223791A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-11 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
US6410904B1 (en) * | 1999-11-22 | 2002-06-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Multi-beam emitting device |
JP3486900B2 (ja) * | 2000-02-15 | 2004-01-13 | ソニー株式会社 | 発光装置およびそれを用いた光装置 |
JP2002299765A (ja) * | 2001-04-03 | 2002-10-11 | Sony Corp | 半導体レーザ素子及びその作製方法 |
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