JP2004200277A - 複合発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板上に積層した半導体薄膜層の一方の面に一対の電極4,5を形成したGaN系化合物を有する半導体発光素子2と、半導体発光素子2の下側に配置され、上面に2つの電極7,8を備え、2つの電極7,8に半導体発光素子2の一対の電極をそれぞれ導通状態に接合したサブマウント素子3とを備え、このサブマウント素子3の熱伝導率を、125W/m・K以上とした複合発光素子であり、サブマウント素子3の熱伝導率を125W/m・K以上にしたので、放熱特性が向上する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、放熱特性に優れた複合発光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
GaN,GaAlN,InGaNおよびInAlGaN等のGaN系化合物半導体を利用した青色発光の発光ダイオード(以下、「LED」と記す)は、一般に絶縁性のサファイアを基板とし、この基板に積層した化合物半導体の表面側にp側およびn側の電極を形成し、これらの電極面を表面実装するいわゆるフリップチップ型の発光素子として用いられる。このようなフリップチップ型の発光素子は、基板のサファイアが光透過性であるため、基板を発光方向側に向かせた姿勢として導通基板に実装し、基板の表面(電極形成面と反対側)を主光取出し面として使うことができる。そして、近来では、発光素子のチップを機器の導通基板に実装搭載するのに代えて、たとえばツェナーダイオードによる静電気保護を目的としたSiサブマウント素子に搭載した半導体発光素子が有効な発光源として利用されている。
【0003】
図5(A)、(B)に示すように、従来の複合発光素子70は、Siサブマウント素子71上に、半導体発光素子72を搭載し、蛍光体を含有した樹脂ペースト76でモールドしたものである。
【0004】
Siサブマウント素子71は、n型シリコン基板を素材としたもので、一部からp型不純物イオンを注入して拡散させて、図5(B)に点線で示すように、p型半導体領域を部分的に形成しツェナーダイオードとしたものである。n型半導体領域に相当する部分にn側電極及びp型半導体領域に相当する部分にp側電極をそれぞれ形成している。すなわち電極73は、Siサブマウント素子71の素子搭載面に拡がってワイヤボンディング領域を形成し、電極74は、Siサブマウント素子71の素子搭載面とは逆側面のAu電極75にn型半導体領域を介して接続されている。
【0005】
半導体発光素子72は従来例と同様にGaN系化合物半導体を用いた青色発光のフリップチップ型のものであって、サファイアの基板にp型層及びn型層を積層するとともに、これらの層の表面にp側電極及びn側電極を蒸着法によって形成したものである。そして、この半導体発光素子72をマイクロバンプ77,78を介してSiサブマウント素子上に搭載接合させる。Siサブマウント素子71(ツェナーダイオード)は、半導体発光素子72と逆極性に接続することによって静電気保護の機能を付加することができる。
【0006】
すなわち、このような逆極性の接続によって、電極73,74に高電圧による過電流が印加されたときには、半導体発光素子72に印加される逆方向電圧はSiサブマウント素子71の順方向電圧付近すなわち0.9Vでバイパスが開く。また、半導体発光素子72に印加される順方向電圧はSiサブマウント素子71のツェナー電圧Vzを10V付近に設定することにより、その電圧でバイパスが開き、それぞれ過電流が逃がされる。したがって、静電気による半導体発光素子72の破壊を確実に防ぐことができる。
【0007】
Siサブマウント素子71はその底面のn側電極75が実装基板79の配線パターン上に導通搭載され、その上面のp側電極73が実装基板の配線パターンにワイヤ(図示せず)ボンディングされる。
【0008】
半導体発光素子72のp側電極は、マイクロバンプ78、Siサブマウント素子71のn型半導体領域、裏側の電極75を介して実装基板79の配線パターンに電気的に接続され、またn側電極はマイクロバンプ77、Siサブマウント素子71のp側電極73、そしてワイヤを介して配線パターンに電気的に接続されている。このような導通構造によって、電源側と複合発光素子70とが導通し、通電によって活性層からの発光が得られる。
【0009】
なお、半導体発光素子72の活性層から発生する熱は、マイクロバンプ77,78を介してSiサブマウント素子71に移動し、さらに電極75を介して実装基板79に移動する。
【0010】
近年では、複合発光素子に流す電流をIF=20mAから100mAに増やして、輝度を増加させようとしている。
【0011】
なお、このような複合発光素子として、例えば、特許文献1に示すものがある。
【0012】
【特許文献1】
特開2000−208822号公報(第2−11頁、第2図)
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、IF=100mAの大電流になると、一般的な砲弾型LEDやチップLEDでは放熱特性が十分でないため、熱による発光効率の低下や信頼性の低下が著しい。
【0014】
また、サブマウント素子の材料としてアルミナセラミックを用いることもあったが、この場合には放熱特性が悪化する傾向にあった。
【0015】
図6は、LEDデバイスに流す電流と輝度(IF=20mAのときの輝度を100%として表した相対輝度)の関係をプロットしたグラフである。図6において、Aは、図5で示す従来の複合発光素子70を用いたチップ型LEDのパッケージ、Bは、従来から用いられている砲弾型LED(鉄製リードフレームを使用したもの)のパッケージを、それぞれ表したものである。
【0016】
従来のパッケージA,Bでは、サブマウント素子に熱伝導率のよいSiを用いても相対輝度は電流とともに飽和し、IF=100mAでは輝度が大きく下がってしまうことがわかる。これは、従来のパッケージは駆動電流がIF=20mA程度であることを念頭に設計されたものであるからである。
【0017】
また、図6のDは、パッケージの放熱の影響をなくすために、図5で示す従来の複合発光素子70を用いたチップ型LEDのパッケージに対して、銅のブロックで治具を作製し、放熱が十分に行われるようにしたものである。このように構成することにより、パッケージDは、IF=100mAでの相対輝度の低下がなくなっている。また、電流をIF=20mAの5倍にしたときには、相対輝度は3倍になっていることがわかる。
【0018】
これに対して、図6のCは、サブマウント素子としてアルミナセラミックを用いたものである。パッケージCの相対輝度は、IF=100mA以上では飽和して下がりかけた状態となっており、このときの輝度はIF=20mAのときの2.2倍にしかなっていない。
【0019】
これらの結果から分かるように、パッケージの放熱を十分に考慮しても、サブマウント素子の種類によってIF=100mAのときの輝度は、大きく左右されるという問題がある。ここで、Siの熱伝導率は、常温で125W/m・K、セラミックサブマウントの熱伝導率は、常温でSiの4分の1程度の33W/m・Kである。
【0020】
そこで本発明は、放熱特性を向上させ、大電流時の輝度を向上させる複合発光素子を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明の複合発光素子においては、サブマウント素子の熱伝導率を常温で125W/m・K以上としたものである。複合発光素子に流す電流をIF=100mAまで増加させるときに、熱伝導率が33W/m・Kのアルミナセラミックを用いた場合は、途中で輝度が飽和し、さらに電流を増加させると輝度が減少してしまうが、熱伝導率が常温で125W/m・KのSiサブマウント素子を用いた場合は、電流の増加とともに輝度が向上する。また、電流を、一般の複合発光素子で使用されている電流量IF=20mAの5倍にすると、相対輝度が3倍以上になる。
【0022】
従って、この発明によれば、半導体発光素子から発生する熱が迅速に移動し、放熱特性がよく、流す電流に応じて光量を増加させる複合発光素子が得られる。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、透明基板上に積層した半導体薄膜層の一方の面に一対の電極を形成したGaN系化合物を有する半導体発光素子と、前記半導体発光素子の下側に配置され、上面に2つの電極を備え、前記2つの電極に前記半導体発光素子の前記一対の電極をそれぞれ導通状態に接合したサブマウント素子とを備え、このサブマウント素子の熱伝導率を、常温で125W/m・K以上とした複合発光素子であり、サブマウント素子の熱伝導率を125W/m・K以上にしたので、放熱特性が向上するという作用を有する。
【0024】
ここで、熱伝導率を125W/m・K以上に限定したのは、125W/m・Kより小さい場合にはIF=100mAまで電流を増加させた場合に輝度が途中で飽和してしまうためであり、125W/m・K以上にすることにより、電流の増加とともに輝度を向上させることができ、また、IF=20mAのときの輝度の3倍以上の輝度を得ることができるからである。
【0025】
なお、常温とは、5〜25℃の範囲をいうものとする。
【0026】
請求項2に記載の発明は、前記半導体発光素子を、前記サブマウント素子上に複数設け、それぞれの前記一対の電極を、前記サブマウント素子の前記2つの電極に直接又は補助配線を介して接合したことを特徴とする請求項1に記載の複合発光素子としたものであり、複数の半導体発光素子を設けるので、光量が増加し、また、サブマウント素子を大型化して放熱経路を1つにまとめることができるという作用を有する。
【0027】
請求項3に記載の発明は、前記サブマウント素子は、SiまたはSiCを主成分とする結晶基板からなり、上面にn型半導体領域とp型半導体領域を形成したダイオードで、前記2つの電極は前記n型半導体領域に形成されたn側電極とp型半導体領域に形成されたp側電極からなり、下面には絶縁膜を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の複合発光素子としたものであり、サブマウント素子がSiまたはSiCを主成分とする結晶基板からなるので、熱伝導率を高くできると共にツェナーダイオードを形成でき、逆極性に接続することにより発光素子の静電気保護を行うことができるという作用を有する。また、下面に絶縁膜を形成したので、放熱経路と導電経路を分離するという作用を有する。
【0028】
請求項4に記載の発明は、前記サブマウント素子は、SiまたはSiCを主成分とする結晶基板、またはAl、Cu、Au、Agまたはこれらの合金からなる金属基板で、上面に絶縁膜を形成し、この絶縁膜の上に前記2つの電極を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の複合発光素子としたものであり、サブマウント素子がSiまたはSiCを主成分とする結晶基板、またはAl、Cu、Au、Agまたはこれらの合金からなる金属基板からなるので、熱伝導率を高くできるという作用を有する。特に、金属基板を用いたときの熱伝導率は200W/m・Kにすることができる。
【0029】
また、上面に絶縁膜を形成したので、放熱経路と導電経路を分離するという作用を有する。
【0030】
請求項5に記載の発明は、前記サブマウント素子は、AlNを主成分とするセラミック基板で、上面に前記2つの電極を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の複合発光素子としたものであり、サブマウント素子が、AlNを主成分とするセラミック基板からなるので、熱伝導率を高くでき、絶縁膜を別途設けなくても容易に絶縁を行って放熱経路と導電経路を分離することができるという作用を有する。
【0031】
以下、本発明の実施の形態について、図1から図4を用いて説明する。
【0032】
(実施の形態1)
図1(A)は本発明の第1の実施の形態に係る複合発光素子の平面図、(B)は同複合発光素子の正面図である。
【0033】
図1(A)、(B)に示すように、複合発光素子1は、半導体発光素子2と、これを搭載したサブマウント素子3とを有している。
【0034】
半導体発光素子2は、サファイアの透明基板上にn型及びp型のGaN系化合物半導体薄膜層を積層したGaN系青色発光素子で、積層した半導体薄膜層の下面(一方の面)に一対の電極(p電極とn電極)4,5をそれぞれ形成している。半導体発光素子2は、サブマウント素子3の上面の長手方向両側に備えられた2つの電極7,8にそれぞれ接続されている。そして、蛍光体を含有した樹脂ペースト12で一体的にモールドされ白色に発光する。なお、一対の電極(n電極とp電極)4,5は、平面視して、樹脂ペースト12と同じ程度の大きさに形成されている。
【0035】
サブマウント素子3は、SiまたはSiCを主成分とする結晶基板からなり、上面にn型半導体領域とp型半導体領域を形成したダイオードで、n型半導体領域に形成されたn側電極7とp型半導体領域に形成されたp側電極8を備え、この2つの電極7,8に半導体発光素子2の一対の電極4,5を接合し、上面及び下面には例えばSiO2からなる絶縁膜6,9を形成している。サブマウント素子の熱伝導率は、125W/m・K以上である。
【0036】
半導体発光素子2から発生する熱は、サブマウント素子3を介して絶縁膜9の下側に設けられる他の部材に伝達される。一方、電流は、n側電極7及びp側電極8から図示しないワイヤを介して他の回路に流れる。このように、放熱経路と導電経路を別に設けているので、複合発光素子の温度上昇を防止することができ、また、ノイズの発生を防止することができる。
【0037】
(実施の形態2)
図2(A)は第2の実施の形態に係る複合発光素子の平面図、(B)は同複合発光素子の正面図、(C)は同複合発光素子に用いられるサブマウント素子の平面図である。
【0038】
図2に示すように、第2の実施の形態に係る複合発光素子13は、サブマウント素子14上に4つの半導体発光素子2を設け、各半導体発光素子2のそれぞれ一対の電極4,5を、サブマウント素子14の2つの電極15,16に補助配線17を介して2つずつ並列に接続している。そして、サブマウント素子14の裏面には、絶縁膜18が設けられている。
【0039】
4つの半導体発光素子2を1つのサブマウント素子14上に配置するので、輝度を向上させることができる。
【0040】
なお、サブマウント素子上の補助配線をなくして両電極の形状を変え、4つの半導体発光素子を1つずつ並列に接続することができ、また、補助配線の数を増やして両電極の形状を変え、4つの半導体発光素子を直列に接続することも可能である。
【0041】
(実施の形態3)
図3(A)は本発明の第3の実施の形態に係る複合発光素子の平面図、(B)は同複合発光素子の正面図である。
【0042】
第3の実施の形態に係る複合発光素子19のサブマウント素子20は、Al、Cu、Au、Agまたはこれらの合金からなる金属基板で、上面に絶縁膜21を形成し、この絶縁膜の上に2つの電極22,23を形成したもので、他の部分の構造は、前述した第1の実施の形態に係る複合発光素子1と同じであるので、同一部材には同一番号を付して説明は省略する。
【0043】
複合発光素子19を金属基板で形成することによって、サブマウント素子の熱伝導率は、200W/m・K以上になる。
【0044】
(実施の形態4)
図4(A)は本発明の第4の実施の形態に係る複合発光素子の平面図、(B)は同複合発光素子の正面図である。
【0045】
第4の実施の形態に係る複合発光素子24のサブマウント素子25は、AlNを主成分とするセラミック基板で、上面に2つの電極26,27を形成したもので、他の部分の構造は、前述した第1の実施の形態に係る複合発光素子1と同じであるので、同一部材には同一番号を付して説明は省略する。
【0046】
複合発光素子24をAlNを主成分とするセラミック基板で形成することによって、サブマウント素子の熱伝導率は、125W/m・K以上になる。また、絶縁膜を別途設ける必要がなくなる。
【0047】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、次の効果を奏する。
【0048】
(1)サブマウント素子の熱伝導率を125W/m・K以上にしたので、放熱特性が向上して、流す電流に応じて光量を増加させることができる複合発光素子が得られる。
【0049】
(2)複数の半導体発光素子を設けることにより、1つの複合発光素子が発する光量を増加させ、また、サブマウント素子を大型化して放熱経路を1つにまとめることができ、部品点数を少なくすることができる。
【0050】
(3)サブマウント素子を、SiまたはSiCを主成分とする結晶基板で構成すると、熱伝導率を高くして電流量に応じた輝度を得ることができ、また、ダイオードを形成できるので、発光素子と逆極性に接続することにより静電気保護機能を付加することができる。
【0051】
(4)下面に絶縁膜を形成することにより、放熱経路と導電経路を分離してノイズを減らすことができる。
【0052】
(5)サブマウント素子をAl、Cu、Au、Agまたはこれらの合金からなる金属基板で構成することにより、熱伝導率を高くして電流量に応じた輝度を得ることができる。特に金属基板の場合には、熱伝導率を200W/m・k以上にすることができ、大電流時の輝度をさらに向上させることができる。
【0053】
(6)サブマウント素子をAlNを主成分とするセラミック基板で構成することにより、熱伝導率を高くして電流量に応じた輝度を得ることができ、絶縁膜を別途設けなくても容易に絶縁を行って放熱経路と導電経路を分離してノイズを減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明の第1の実施の形態に係る複合発光素子の平面図
(B)は同複合発光素子の正面図
【図2】(A)は本発明の第2の実施の形態に係る複合発光素子の平面図
(B)は同複合発光素子の正面図
(C)は同複合発光素子に用いられるサブマウント素子の平面図
【図3】(A)は本発明の第3の実施の形態に係る複合発光素子の平面図
(B)は同複合発光素子の正面図
【図4】(A)は本発明の第4の実施の形態に係る複合発光素子の平面図
(B)は同複合発光素子の正面図
【図5】(A)は従来例に係る複合発光素子の平面図
(B)は同複合発光素子の正面図
【図6】半導体発光装置の順方向電流に対する相対輝度の関係を示すグラフ
【符号の説明】
1 複合発光素子
2 半導体発光素子
3 サブマウント素子
4,5 電極(半導体発光素子の電極)
6 絶縁膜
7 n側電極
8 p側電極
9 絶縁膜
12 樹脂ペースト
13 複合発光素子
14 サブマウント素子
15,16 電極(n側電極、p側電極)
17 補助配線
18 絶縁膜
19 複合発光素子
20 サブマウント素子
21 絶縁膜
22,23 電極(n側電極、p側電極)
24 複合発光素子
25 サブマウント素子
26,27 電極(n側電極、p側電極)
Claims (5)
- 透明基板上に積層した半導体薄膜層の一方の面に一対の電極を形成したGaN系化合物を有する半導体発光素子と、
前記半導体発光素子の下側に配置され、上面に2つの電極を備え、前記2つの電極に前記半導体発光素子の前記一対の電極をそれぞれ導通状態に接合したサブマウント素子とを備え、
このサブマウント素子の熱伝導率を、常温で125W/m・K以上としたことを特徴とする複合発光素子。 - 前記半導体発光素子を、前記サブマウント素子上に複数設け、それぞれの前記一対の電極を、前記サブマウント素子の前記2つの電極に直接又は補助配線を介して接合したことを特徴とする請求項1に記載の複合発光素子。
- 前記サブマウント素子は、SiまたはSiCを主成分とする結晶基板からなり、上面にn型半導体領域とp型半導体領域を形成したダイオードで、前記2つの電極は前記n型半導体領域に形成されたn側電極とp型半導体領域に形成されたp側電極からなり、下面には絶縁膜を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の複合発光素子。
- 前記サブマウント素子は、SiまたはSiCを主成分とする結晶基板、またはAl、Cu、Au、Agまたはこれらの合金からなる金属基板で、上面に絶縁膜を形成し、この絶縁膜の上に前記2つの電極を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の複合発光素子。
- 前記サブマウント素子は、AlNを主成分とするセラミック基板で、上面に前記2つの電極を形成したことを特徴とする請求項1または2に記載の複合発光素子。
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