TWI247890B - X-ray fluoroscopic apparatus - Google Patents

Description

1247890 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明與一種X射線螢光檢查裝置有關。更特別言之，本 發明與一種適於在監視勞幕上顯示被螢光照射之標的物之 螢光影像或X光線照相術螢光影像之裝置之X射線螢光裝 置有關，並與用以自螢光影像建構CT影像之χ射線CT裝置 有關。 【先前技術】 在X射線螢光裝置如工業用X射線螢光檢查裝置中，相對 於X射線源設-置具影像強化器、CCD攝影機等之又射線攝影 機。一標的物（稱之為樣本）如樣本位於CCD攝影機與义射線 源間。X射線攝影機將樣本之X射線螢光影像拍又光照片。 一般而言，樣本臺位於X射線源及又射線攝影機間。樣本 堂置放樣本，使得所要之樣本上之觀點位於χ射線攝影機之 視野内。樣本臺可於沿臺之表面之平面上之相互垂直之兩 軸（X軸與y軸）中移動。樣本臺可繞义與7軸之ζ軸轉動，亦即 自X射線源發射X射線之光學轴之延伸方向。 此類X射線螢光裝置配備有可於χ射線源發射χ射線之光 學軸方向（ζ軸）中移動χ射線攝影機與樣本臺之機械裝置。 某些類型之X射線螢光裝置進一步配置有可於相對於乂射 線源之光學軸之預定方向上傾斜χ射線攝影機之機械裝置 ，俾使攝影機可以一傾斜角螢光照射於標的物。 具傾斜機械裝置之X射線螢光裝置具有下列問題。操作者 O:\88\88846.DOC4 1247890 將樣本置於樣本臺上，並定位樣本台俾於例如χ射線攝影機 位於X射線之光學軸上之狀態下，在樣本上具有所要之觀點 。接著操作者傾斜X射線攝影機，俾以傾斜角螢光照射於樣 本。此時，在樣本上之觀點移至視野内或不幸移出視野外 。在此情況下，即使於1軸或y軸方向移動樣本臺，使得觀 點落於X射線攝影機之視野内，在攝影機傾斜前，χ射線源 與位於台上之樣本間距離（S0D)仍將與初始距離相異。因此 ’即使X射線源與X射線檢測器間距離（SID)固定，以 SID/SOD表示之螢光放大率仍會與攝影機傾斜前相異。 在用以轉％樣本臺之轉動機械裝置被置於用以於义軸與y 軸方向移動臺之機械裝置上之情況下，會引發下列問題。 當將樣本置於樣本臺上，定位樣本上之觀點使之位於攝影 機之視野中央並轉動臺時，觀點有時會因已於χ軸與y軸方 向移動之樣本臺之旋轉軸（r〇tary shaft)而自χ射線攝影機 之視野中央大幅偏移。在此情況下，當轉動樣本臺時，觀 點會移出視野外，同時造成弧光。 已知具有可解決該問題之技術（見於Jp_A_2〇〇1_249〇86(3 至12頁））。在該技術中，持續計算在χ軸與y軸方向上之樣本 臺之移動修正量，俾於X射線攝影機傾斜或樣本臺轉動時， 維持觀點之初始位置於視野内。利用計算結果驅動χ軸與丫 軸方向移動之移動機械裝置。 在採用此技術處，即使傾斜χ射線攝影機或定位與轉動樣 本至觀點仍貝維持於X射線攝影機之視野内。特別言之 ，付以大幅改善在高放大率下螢光照射樣本之工作效率。 O:\88\88846.DOC4 1247890 但上述相關技藝追蹤技術尚具下列缺點。操作者起初置 放樣本於台上處之一組X與y座標，在攝影機傾斜或臺轉動 後，在X與y方向會因移動量修正量而變。造成操作者不易 以X與y座標值做為在樣本上之螢光視野位置之參考。 【發明内容】 因於上述背景因素，本發明之第一目的在提供一種X射線 螢光裝置，其在X射線攝影機傾斜時，得以維持樣本之觀點 之初始位置於X射線攝影機之視野内，以及維持初始螢光放 大率，並可進一步維持所要位置之乂與乂座標（操作者在X射 線攝影機傾针前設定之樣本觀點）於X射線攝影機之視野内 ’因此得以於攝影機傾斜後使用這些座標。 本發明之第二目的在提供一種x射線螢光裝置，其中即使 當在X射線攝影機傾斜之狀態下，於Z軸方向上移動樣本臺 呀，樣本之觀點之初始位置仍可維持於又射射線攝影機之視 野内不、變，並且在此情況下，可供樣本臺移動後之用。 為達成第一目的，提供第一x射線螢光裝置，其包括： 一 X射線源； 影機； 支擇一樣本 一位於該X射線源發射之x射線入射處之χ射線攝 一位於該X射線源與該又射線攝影機間用 之樣本臺，· 給定傾斜方向之傾斜機 一用以傾斜該X射線攝影機至一 械裝置； -用…㈣本壹之表面之平面上彼此正交之X轴鱼 軸中移動該樣本臺之定位移動機械裝置，俾將一樣本定位y O:\88\88846.DOC4 _8- 1247890 於該x射線攝影機之視野内； 一仿同該定位移動機械裝置使得該 轉動機械裝署 ^ , 至、，凡Z季由轉動之 置，其中該Z軸係於該樣本臺向該又射 移：之方向中延伸，並與I轴及該y軸正交·、、、源來回 二=τ械裝置’其併同該轉動崎置及該 本臺私動機械裝置於與該騎線攝影機傾斜方向移動該樣 該轉::械動::二置，同_置修正移動機械裝置、 樣本臺，·及㈣機械裝置於4方向移動該 蹤機械裝置’其當該X射線攝影機為該傾斜機械 機、依—該狀線攝影機之傾斜角驅動該修 =裝使轴移動機械裝置，但不驅動該定位移動機械 使㈣x射線攝影機傾斜前，得以維持樣本之觀點及 螢光檢查放大率。 个d點及 為達成第二目的，提供第二χ射線螢光裝置，其包括： 一 X射線源； ^ 一位於該X射線源發射之x射線入射處之χ射線攝影機； 一位於該X射線源與該x射線攝影機間用以支撐一 之樣本臺； 一用以傾斜該X射線攝影機至—給定傾斜方向之傾斜機 械裝置； -用以於沿該樣本臺之表面之平面上彼此正交之又軸與y 軸中移動該樣本臺之定位移動機械裝置，俾將一樣本定位 O:\88\88846.DOC4 1247890 於該X射線攝影機之視野内； -併同較位移動機械I置使得該樣本臺繞作轉動之 轉動機«置’其中該z軸係於該樣本臺向該χ射線源來回 移動之方向中延伸，並與該χ軸及該y軸正交； -位置修正移動機械裝置，其併㈣轉動機料置㈣ 定位移動機械裝置於與該料線攝影機傾斜方向移動該樣 本臺； 一 Z軸移動機械裝置’其併㈣位置修正移動機械裝置、 該轉動機械裝置及該定位移動機械裝置於z軸方向移動該 樣本臺；及 一變動放大率（in-changing_magnificati〇n_fact〇r)追蹤機 械裝置，其當該X射線攝影機為該傾斜機械裝置傾斜之狀態 下，該樣本臺於z軸方向移動時，依該樣本臺在2軸方向上 之移動量，驅動該修正移動機械裝置，但不驅動該定位移 動機械裝置，使得在z軸上之該樣本臺之該移動前，得以維 持樣本之觀點。 在本發明中，有所著力之移動機械裝置與用以於义軸與乂 軸方向移動樣本臺之定位移動機械裝置分開。在χ射線攝影 機傾斜時，或在X射線攝影機傾斜之狀態下，於2軸方向移 動樣本臺時，有所著力之移動機械裝置修正樣本臺位置。 與定位移動機械裝置相較，有所著力之移動機械裝置離基 底側較近（當各機械裝置係垂直配置時，其位於定位移動機 械裝置下方。將基底側稱之為”下側”，並將與基底側相對 側稱之為”上側”）。樣本臺之轉動機械裝置位於用以於X軸與 O:\88\88846.DOC4 -10- !24789〇 y輛方向移動臺之定位轉叙 移動機械裝置下方，並位於專供修正 3作用之有所著力之移動機械裝置上方。此外，具有用以 j軸方向移動所有機械裝置之z軸移動機械裝置。 在第-X射線螢光裝置中，當以傾斜機械裝置傾斜χ射線 攝影機時，未驅動用以於,轴與y軸方向移動臺之定位移動 機械裝置，但驅動位於其下方’用以於攝影機之傾斜方向 移動樣本臺之修正移動機械裝置，以及z轴移動機械裝置， 在上述it;兄下，可料觀點及螢光放A率與攝影機傾斜前 ，同。當攝影機傾斜時，由定位移動機械裝置設定之樣本 堂上之座標保:持不變。爰此，維持觀點與螢光放大率用之 初始座標可繼續使用。 在第二X射線螢光裝置中，當以傾斜機械裝置傾斜x射線 攝影機之狀態下，於Ζ軸方向移動樣本臺時，依2軸方向上 之臺移動量驅動修正移動機械裝置，藉以使得樣本觀點維 持與在Ζ軸上移動前相同。在此情況下，樣本臺之初始座標 亦維持不變，因此可使用無誤。 在該等X射線螢光裝置中，臺轉動機械裝置位於定位移動 機械裝置下方。爰此，即使當以定位移動機械裝置於X軸與 y軸方向移動樣本臺時，樣本臺之轉動軸仍可維持不變。因 此’得以避免觀點移出X射線攝影機之視野外。 【實施方式】 即將參閱圖式描述本發明之較佳具體實施例。圖丨顯示本 發明之一具體實施例之配置，其中包含以模型型式顯示之 機械配置，以及以方塊圖型式顯示之電氣配置。 O:\88\88846.DOC4 -11· 1247890 配置具X射線管之X射線源丨使得χ射線之光學軸L(=所 照射之X射線之中央軸）位於垂直方向上（2軸方向）。具有於 水平面（x-y平面）擴展之表面之樣本臺2位於χ射線源丨上。 此外，X射線攝影機3位於樣本臺2上，同時彼此間以預定距 離相間。 可以傾斜機械裝置31使X射線攝影機3繞著沿1軸為中央 軸延伸之軸（IT軸）’並以X射線源丨之焦點做為中央位置，、 亦即於z-y平面上傾斜至所要角度。可於χ射線攝影機3相對 於X射線源1來回移動之方向（Ιζ軸方向）中，藉由攝影機移動 機械裝置32以所要之傾斜角移動χ射線攝影機3。 當刼作者操作在稍後即將描述之操作板7上之樣本臺2下 方之y軸移動機械裝置21與X軸移動機械裝置22時，樣本臺2 可於水平面上彼此正交之χ軸與又軸方向中移動。^轴移動機 械裝置21與X軸移動機械裝置22合作構成用以定位樣本祕 X射線攝影機3之視野内之定位機械裝置。 肖轉動機械裝置23位於7軸移動機械裝置轴移動機械 裝f 22下方。轉動機械裝置23繞著沿z軸之軸（=θ軸）轉動樣 本臺2。當驅動轉動機械裝置23時，樣本臺〕併同^抽移動機 械裝置21與\軸移動機械裝置22繞^軸轉動。 稍後即將描述之yT軸移動機械裝置24位於轉動機械裝置 =下方。yT軸移動機械裝置24係用以修正樣本臺2之位置。 田驅動yT軸移動機械裝置24時，位於奵軸移動機械裝置μ 上方之各構件，亦即樣本臺2、又軸移動機械裝置2卜χ軸移 動機械I置22及轉動機械裝置23均於y軸方向（χ射線攝影 O:\88\88846.DOC4 -12- 1247890 機3為攝影機傾斜機械裝置31傾斜之傾斜方向）移動。 、當驅動2軸移動機械裝置25時，樣本臺2及所有的移動機 械裝置均於Z軸方向（往來於X射線源丨方向）移動。 、以螢光照射之標的物做為樣本s，將其置於樣本臺2上， 並以X射線照射樣本下侧。穿透樣本射線射AX射線攝 影機3。X射線攝影機3係由例如已知之影像強化器與CCD 攝影機之組合所組成。x射線攝影機3之即時輸出影像相繼 饋运至影像處理單元4,接著以顯示裝置5顯示樣本s之榮光

以馬達做，軸移動機械裝置21、χ轴移動機械袭置22 轉動機械裝置23、yT軸移動機械裝置24、£轴移動機械裝 25、傾斜機械裝置31與攝影機移動機械裝置32之驅動源 以上機械裝置均受控於軸控制單元6輸出之控制信號。㈣ 2單元6主要包含CPU及其週邊裝置，並連結至操作者得上 :入各種指令至X料螢光裝置之操作板7。㈣者操料 乍板7以驅動除帅移動機械裝置⑽外之機械裝置，㊃ 所期移動樣本臺2與X射線攝影機3。 轴^制單元6包含用以儲存樣本臺2與為各機械裝置㈣ 、射線攝影機3之目前位置之記憶體，並包含安裝於其中 之視野/放大率維持程式。去χ 旦 本臺2在跟_影機3傾物 I大率 制下自動移動，藉以維持初始収之視野/ 首先，將參_2，描述χ射線攝影機3傾斜時之X射線勞 O:\88\88846.DOC4 -13- 1247890 光裝置操作。當操作者操作操作板7以輸入驅動指令於傾斜 機械裝置31時，軸控制單元6即驅動傾斜機械裝置31以使χ 射線攝影機3傾斜。同時，軸控制單元6驅動針對樣本臺2 設置之yT軸移動機械裝置24與2軸移動機械裝置乃，俾使之 以下列方式操作。因此，該等機械裝置追蹤χ射線攝影機之 傾斜刼作，藉以維持視野及螢光放大率如同χ射線攝影機傾 斜前之初始設定。 假設當下達傾斜指令時，χ射線源1(=焦點。而後應相同 。）與X射線攝影機3間距為SID，且在相同條件下之χ射線 源1與樣本臺？間距為S0D。假定樣本臺2之拱形移動與又射 線攝影機3之傾斜操作同步。則以下列方程式（i)計算樣本臺 2之移動速度"vt，，。 vt= co SOD ⑴ 當X射線攝影機3以速度”vi"傾斜時，角速度為ω(νί=；ω SOD)。 為利用yT軸移動機械裝置24與z軸移動機械裝置乃達成 樣本臺2之拱形移動，利用下列方程式（2)與（3)計算八軸移 動機械裝置24之移動速度”vyt，，與z軸移動機械裝置乃之移 動速度πνζ"。 vyt=vtc〇S(|)t=cocos(|)tSOD (2) vz=vtsin(l)t=cosin(j)tSOD (3) 其中(j)t =即時傾斜角。 給定y軸與z軸方向之樣本臺之移動量，，yt，，與”z"如後 yt=SOD sin(|)t (4) O:\88\88846.DOC4 -14- 1247890 z=SOD(l-c〇s0t) ^ (5) ,=賴作板7以下達指定將χ射線攝影機3傾斜 :角度㈣’傾斜機械裝置31即響應於該傾斜指定摔作。 =時，帅移動機械裝置24與2軸移動機械裝㈣自動 ^與角速^操作1因此，樣本臺2於y軸方向中以移動速 :vyt移動之移動篁為"yt"，於z軸方向中以移動速度z 移動之移動量為” Z "。傾钭趟艸 ± ㈣絲械裝置 24與Z軸移動機械裝置25為軸控制單元6集中管理盥抄制 同時操作者操作操作板7轉動傾斜機械裝置31、仰 機械裝置24與_2軸移動機械裝置25如上述般操作。因此 以顯示裝置5顯示之狀線螢光影像中，僅有螢光照射方向 漸次變化，同時視野中央及螢光放大率維持不變。 為如上述般修正樣本臺2位置，從不驅動又抽移動機械裝 置21 ’俾使操作χ射攝影機前由操作者操作之樣本臺2上之X 與y座標維持不變。爰此，操作者得以利用χ射線攝影機傾 斜後之座標值來定位樣本臺2。 、 為自動修正樣本臺2位置，俾維持初始設定之樣本觀點 與螢光放大率，在傾斜x射線攝影機3時，於上述計算中利 用自X射線源1至樣本臺2之距離s〇D。為更精確維持初始設 定之觀點與螢光放大率，利用自χ射線源i至樣本§之標定部 之距離，亦即真s〇D，取代上揭計算中採用之s〇d。但並 非確知自X射線源丨至樣本S之標定部之距離。故以下列方式 求得真SOD，且其係自動求得。 在以顯示裝置5顯示X射線螢光影像之狀態下，該標定部 O:\88\88846.DOC4 -15- 1247890 係律定於影像上。接著，在此狀態下，於x軸或y軸方向上 移動樣本量2一段距離△，因此，在樣本8内之標定部亦移 2距離△’並且在螢幕上之標^:部亦移動。在螢幕上之標 疋部之移動量σ對距離△之比例係表#定部所在平面上之 螢光放大率。爰可以下列方式精確計算標定部之螢光放大 fP。亦即利用影像處理技術準備程式，使得下達傾斜指令 ¥樣本臺2得以於例如X軸方向移動，造成標定部於螢幕 上移動距離σ，並回到初始位置。亦可檢測在該時間之樣 本臺2之移動量σ。 自X射線源—1至X射線攝影機3之距離SID確屬已知，因為

在1Z方向中，因裝置定值及攝影機移動機械裝置32導致之X 射線攝影機3位置已知。因此，可制下列方程式⑹確實計 算真SOD。 ' ㈣D=SID/P (6) 當將如此計算而得之S0D代入方程式⑴至⑺時，即可傾 斜X射線攝影機3’同時維持觀點及螢光放大率於極精確無 誤之水準。 利用描述影像移動前後之影像資訊間關聯之相關方程式 之計算方法，可用以計算在螢幕上之標定部移動量。 將參閱圖3描述在X射線攝影機3相對於χ射線之光學軸l 傾斜至-給定角度Φ之狀態下’於z軸上下移動樣本臺2時之 X射線螢光裝置操作。 當操作者於X射線攝影機3傾斜之狀態下，操作操作板7 而下達指定以z軸移動機械裝置25於2軸中移動樣本臺2時 O:\88\88846.DOC4 -16- 1247890 ，軸控制單元6響應於該指令並驅動2軸移動機械裝置u。 同時，軸控制單元ό自動驅動奵軸移動機械裝置24以維持 點。 特別言之，在圖3中，於ζ軸移動樣本臺前之觀點維持， 可藉由在y軸上移動樣本臺2—段距離Ayt為之，其中ζ輛移 動機械裝置25於ζ軸中移動樣本臺2之移動量為Δζ。可利用 下列方程式（7)與（8)計算距離△ yt。在圖中， △ S〇D=Az/cos(|) (7) 接著具有 % △yt=Az(sin 一4/cos(|))= Aztan(|) (8) 操作者在X射線攝影機3傾斜之狀態下，操作操作板7而於 ζ軸中移動樣本臺2時，yT軸移動機械裝置24依移動量八冗 自動移動一段距離△”，故得以維持2軸移動前之觀點。具 此功能，即使在ζ軸中移動樣本臺2以於χ射線攝影機3傾斜 之狀態下改變放大率時，X射線攝影機3之視野中央仍維持 不變’僅有螢光影像之放大率改變。 依本具體實施例中之樣本臺2之移動機械裝置間垂直位 置關係，轉動機械裝置23位於y軸移動機械裝置21與χ轴移 動機械裝置22下方，並且併同y軸移動機械裝置21與义軸移 動機械裝置22轉動樣本臺2。因此，即使在操作操作板7以 驅動y軸移動機械裝置21與χ軸移動機械裝置22，俾藉以固 定X射線攝影機3之視野後，轉動機械裝置23轉動，χ射線 攝影機3與轉動機械裝置23間位置關係亦維持不變。此因素 引致視野不隨機械裝置轉動而變之優點。 O:\88\88846.DOC4 -17- 1247890 在上述具體實施例中，χ射線之光學軸L位於垂直方向上 ’樣本臺2之移動機械裝置與轉動機械裝置則垂直配置。戋 者，X射線之光學軸L·位於水平方向上，樣本臺2之移動機 械裝置與轉動機械裝置則橫向（水平）配置。 如前揭可見，設定X射線攝影機之觀點與螢光放大率維持 如同X射線攝影機傾斜前，此係因在x射線攝影機傾斜時， 自動驅動之有所著力之移動機械裝置獨立於在X軸及y軸方 向移動樣本臺之移動機械裝置和2軸移動機械裝置。具此特 徵，當X射線攝影機傾斜時，操作者即無需調整觀點與螢光 放大率此外-，在χ射線攝影機傾斜前，用以定位臺之移動 機械裝置所驅動決定之座標，即使在义射線攝影機傾斜後亦

此外在本务明中，在又射線攝影機傾斜至所要角度之 態下’於Z軸方向移動樣本臺時，藉由獨立於用以在X軸』 軸方向移動樣本臺之移動裝置之外之有所著力之移動機 裝置之自動移動’即可維持樣本之觀點於樣本臺在2軸方 ㈣前之設定。因此，即使㈣者（他/她）在㈣機傾斜 狀恶下’為改變螢光放大率而於z軸移動樣本臺，亦 整樣本觀點。在此情況下，在樣本臺於碓，驅; 與y轴方向定位臺之移動機械裝置而決定之樣心 上之座私，即使在臺移動後，亦適用之。 【圖式簡單說明】 其中包含以模型 示之電氣配置； 圖1顯示本發明之一 型式顯不之機械配置， 具體貫施例之配置， 以及以方塊圖型式顯 O:\88\88846.DOC4 -18- 1247890 圖2係適於解釋當在具體實施例中傾斜χ射線攝影機時， X射線螢光裳置之操作圖；及 圖3係適於解釋當在具體實施例中傾斜X射線攝影機之狀 〜下於Z轴方向移動樣本臺時，χ射線螢光裝置之操作圖。 【圖式代表符號說明】 1 X射線源 2 樣本臺 3 X射線攝影機 4 影像處理單元 5 顯#裝置 6 轴控制單元 7 操作板 21 y軸移動機械裝置 22 χ軸移動機械裝置 23 轉動機械裝置 24 奵軸移動機械裝】 25 z軸移動機械裝置 31 傾斜機械裝置 32 攝影機移動裝置

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Claims (1)

1. !247890 拾、申請專利範圍： 1· 一種X射線螢光裝置，包括： 一 X射線源； -位於該X射線源發射之x射線人射處之χ射線攝影機. 一位於該X射線源與該x射線攝影機間用以支撐—太 之樣本堂， -用以傾斜該X射線攝影機至_給定傾斜方向 機械裝置； Ί -用以於沿該樣本臺之表面之平面上彼此正交之 與y軸中㈣該樣本臺之定位移動機械袭置，俾將— 疋位於該X射線攝影機之視野内； 7 -併同該定位移動機械裝置使得該樣本臺繞Z 之轉動機械裝置，其中該Z軸係於該樣本臺向該X射線二 來：移動之方向中延伸，並與該X軸及該_正交；…、 :位置修正移動機械裝置，其併同該轉動機械 移動機械裝置於與該χ射線攝影機 該樣本臺； U務動 、=轴移動機械裝置’其併同該位置修正移動機械 該樣：機:裝置及該定位移動機械裝置於Ζ轴方向移動 〇A88\88846.D〇C5 械裝置:::機::置，其當該Χ射線攝影機為該傾斜機 移動機械梦射線攝影機之傾斜角驅動該修正 動機械：、置及該_移動機械裝置，但不驅動該定位移 *衣置，使得該Χ射線攝影機傾斜前，得以維持樣本 1247890 之觀點及螢光檢查放大率。 2·如申請專利範圍第丨項之X射線螢光裝置，其中該傾斜追 赖:機；械裝置根據該X射線攝影機之傾斜角，計算該位置声 正移動機械裝置之移動速度與移動量以及該2軸移動機 械裝置之移動速度與移動量，且該傾斜追蹤機械裝置驅 動該位置修正移動機械裝置及該2轴移動機械裝置，使其 依個別计异之移動速動與移動量移動。 3· 一種X射線螢光裝置，包括·· 一 X射線源； 一位於（X射線源發射之x射線人射處之χ射線攝影機； -位，該X射線源與該騎線攝影機間用以支撐—樣本 給定傾斜方向之傾斜 一用以傾斜該χ射線攝影機至一 機械裝置； t , r 一〜丨叫工伋此正交之x ”y由中移動該樣本臺之定位移動機械裝置，俾 定位於該X射線攝影機之視野内； 樣 -併同該定位移動機械裝置使得該樣本 之轉動機械裝置，1中嗲站 轉‘ 來回移mm/ 該樣本臺向該H 移動之方向中延伸，並與該X轴及該y轴正交； : 立置修正移動機械裝置’其併同該 5亥疋位移動機械裝置於與該X射線攝影機料2 該樣本臺； R僻办钱傾斜方向移賃 一 Z軸移動機械裝置， 该位置修正㈣機械裝】 O:\88\88846.DOC5 1247890 、該轉動機械裝置及該定位移動機械裝置於冗抽方向移動 該樣本臺；及 -變動放大率卜㈣吩邮咖咖⑽如㈣追縱 機，裝置，其當該X射線攝影機為該傾斜機械裝置傾斜之 ^心下，该樣本堂於z軸方向移動時，依該樣本臺在z軸方 $上之移動量，㉟動該修正移動機械裝置，但不驅動該 疋位移動機械裝置，使得在ζ軸上之該樣本臺之該移動前 ’得以維持樣本之觀點。 4·如申請專利範圍第3項之χ射線螢光裝置，其中該變動放 大率追縱機:械裝置根據該樣本臺在ζ軸方向上之移動量 ’计鼻該修正移動機械裝置之移動距離，並驅動該修正 移動機械裝置，使其以所計算之移動距離移動。 O:\88\88846.DOC5