JP2003240734A - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ｘ線発生手段と試料台とを同期的に前後左右
動及び揺動を行う方式としたことで、機構を単純化し、
装置の小型化も可能とする。 【解決手段】 Ｘ線発生手段２と、試料Ｓを載置した試
料支持手段３とを、同期的に同角度同方向に連動揺動さ
せてなる連動揺動機構４を設けると共に、前記試料支持
手段３を昇降調節する昇降機構５を設け、前記試料支持
手段３を昇降機構５により昇降調節すると共に前記連動
揺動機構４の作動下に、前記試料支持手段３上の試料Ｓ
にＸ線発生手段２からＸ線を照射してＸ線透視像を得る
構成とする。前記連動揺動機構４は、支持台８と、この
支持台８上方に、一対の支軸９，９を介して揺動可能に
支持した、Ｘ線発生手段２を載置してなる取付台１０と
を有し、４節平行リンク状に構成する。かかる支持台８
と取付台１０とを、支持台８および取付台１０中間箇所
の軸受１１を中心として駆動手段１４により揺動変位さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば高密度に実
装された基板における内部を、Ｘ線を照射して透視する
ことで検査するＸ線透視検査装置に関し、特に、基板内
部の欠陥の発見を容易にするために上下動、前後左右動
及び揺動を行う、Ｘ線透視検査装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体検査装置として、例えば高
密度に実装された基板における内部を検査するに、Ｘ線
を照射して透視するＸ線透視検査装置が用いられてい
る。かかるＸ線透視検査装置では、通常、Ｘ線発生手段
からのＸ線照射中心線上にＣＣＤカメラの中心線を合わ
せるように設置しているが、前記中心線上に障害物が存
在すると、この障害物によって前記Ｘ線が遮られて観察
が妨げられるので、かかる箇所を観察するには、斜め方
向からＸ線を照射して観察するようにしている。その
際、Ｘ線発生手段から放射状にＸ線が照射され、照射範
囲である１２０度の円錐形の範囲内では、中央部と周辺
部とで、その強度はあまり変わりがないことが解ってい
るので、斜め方向からＸ線を照射して観察する場合に
は、Ｘ線発生源を中心に、ＣＣＤカメラ、またはＸ線発
生手段のいずれかを回転させればよいことになる。

【０００３】そこでこれまでのＸ線透視検査装置として
は、Ｘ線発生手段を固定してＣＣＤカメラを、Ｘ線発生
源を中心に旋回する方法と、Ｘ線発生手段と試料台とを
同時に、Ｘ線発生源を中心に揺動させる方法が採用され
てきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
ＣＣＤカメラを旋回させる方法では旋回半径が大きいの
で、装置全体が大型化する欠点がある。一方、後者のＸ
線発生手段と試料台とを同時に揺動する方法では、Ｘ線
発生手段と試料台との揺動はその機構上、駆動装置を別
個にしなければならず複雑化する。また観察部分の倍率
はＸ線発生源から観察部までの距離とＸ線発生源からＣ
ＣＤカメラまでの距離の比率によって決まるので、Ｘ線
発生手段を回転する場合には、試料とＸ線発生手段の干
渉を防ぐために試料台も同時に回転するのが倍率を大に
するには効果的であるという観点に至っている。本発明
は以上のような背景から提案されたものであって、Ｘ線
発生手段と試料台とを同期的に前後左右動及び揺動を行
う方式としたことで、機構を単純化することができ、し
かも装置の小型化が可能なＸ線透視検査装置を提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記した課題を解決する
ために、本発明では、請求項１において、Ｘ線発生手段
と、試料を載置した試料支持手段とを、同期的に同角度
同方向に連動揺動させてなる連動揺動機構を設けると共
に、前記試料支持手段を昇降調節する昇降機構を設け、
前記試料支持手段を昇降機構により昇降調節すると共に
前記連動揺動機構の作動下に、前記試料支持手段上の試
料にＸ線発生手段からＸ線を照射してＸ線透視像を得る
構成としたＸ線透視検査装置を開示する。また本発明で
は、請求項２において、前記連動揺動機構は、Ｘ線発生
手段を取り付けると共に装置箱体に揺動可能に取り付け
た取付台と、取付台と所定距離離隔して装置箱体に揺動
可能に取り付けた支持台と、これら取付台と支持台とを
互いに平行に且つ揺動可能に連結した一対の支軸と、前
記取付台と支持台との間において、前記一対の支軸に沿
って昇降可能に且つ揺動可能に設けて、前記試料支持手
段を取り付けた昇降台とを備え、前記取付台または支持
台に、取付台と支持台の夫々の揺動中心を中心として、
連動揺動させるための駆動手段を設けたＸ線透視検査装
置を開示する。また本発明では、請求項３において、前
記昇降機構は、支持台または取付台に揺動可能に取り付
けたモータと、モータ軸に連結したねじシャフトと、ね
じシャフトに螺入するナットとを有し、このナットを前
記昇降台に揺動可能に取り付けて前記ねじシャフトをナ
ットを介して螺入してねじシャフト先端を前記モータの
取付箇所と対向する支持台または取付台に揺動可能に取
り付ける構成としたＸ線透視検査装置を開示する。また
本発明では、請求項４において、前記Ｘ線発生手段は、
Ｘ線発生源の中心と、取付台の中心と撮像手段中心とを
結ぶ中心線に一致させるように取付台に取り付けて、Ｘ
線照射中心軸を前記中心線に合わせるようにし、前記試
料支持手段は前記昇降台に、前記中心線に試料をもたら
すように取り付ける構成としたＸ線透視検査装置を開示
する。また本発明では、請求項５において、前記試料支
持手段は、前記Ｘ線照射中心軸に対し、第１の軸方向と
第２の軸方向に位置決め調節する構成としたＸ線透視検
査装置を開示する。また本発明では、請求項６におい
て、前記試料支持手段は、検査すべき試料を前記Ｘ線照
射中心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸方向に位置決
め調節すると共に、Ｘ線照射中心軸を中心に回転位置決
め調節する構成としたＸ線透視検査装置を開示する。さ
らに本発明では、請求項７において、前記試料支持手段
をＸ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節する回転動
作量に対応して、前記第１の軸方向および第２の軸方向
に、夫々移動させて、試料上の観察点の位置を取付台の
中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線上にもたらすように
したＸ線透視検査装置を開示する。

【０００６】請求項１によれば、試料支持手段を昇降機
構により昇降調節して倍率を調節し、連動揺動機構によ
り、Ｘ線発生手段と試料支持手段とを同期的に同角度同
方向に連動揺動させて、前記試料支持手段上の試料にＸ
線発生手段からＸ線を適宜異なった角度方向から照射し
てＸ線透視像を捉えることができる。

【０００７】請求項２によれば、取付台または支持台に
結合した駆動手段により、支持台と取付台とを、取付台
と支持台の夫々の揺動中心を中心として、連動揺動させ
ると共に、これに伴って昇降台も同期的に同角度同方向
に連動揺動させることができる。

【０００８】請求項３によれば、支持台または取付台に
揺動可能に取り付けたモータを起動してねじシャフトを
回転させることで、前記昇降台に揺動可能に取り付けた
ナットがねじシャフト上を移動することで、昇降台を支
軸に沿って昇降させることができる。

【０００９】請求項４によれば、試料支持手段を昇降機
構により昇降調節して倍率を調節しても、試料の透視像
を確実に撮像手段に投影することができる。

【００１０】請求項５によれば、Ｘ線照射中心軸に対
し、検査すべき試料を第１軸または第２軸方向に位置決
め調節することで、取付台の中心と撮像手段中心とを結
ぶ中心線に試料の各所の観察目標点をもたらすことがで
き、検査の便に寄与することができる。

【００１１】請求項６によれば、Ｘ線照射中心軸に対し
て、検査すべき試料を第１軸または第２軸方向に位置決
め調節すると共に、Ｘ線照射中心軸を中心に回転位置決
め調節することで、取付台の中心と撮像手段中心とを結
ぶ中心線に試料の各所の観察目標点をもたらすことがで
き、検査の便に寄与することができる。

【００１２】請求項７によれば、取付台と、支持台とを
傾斜させることで同期的に昇降台を傾斜させても、試料
支持手段をＸ線照射中心軸を中心に回転位置決め調節す
る回転動作量に対応して、前記第１の軸方向および第２
の軸方向に、夫々移動させて、試料上の観察点の位置を
取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線上にもたら
すことができる。

【００１３】

【発明の実施の態様】以下、本発明にかかるＸ線透視検
査装置につき、一つの実施の態様を挙げ、添付の図面に
基づいて説明する。図１にＸ線透視検査装置１を示す。
このＸ線透視検査装置１は、Ｘ線発生手段２と、試料Ｓ
を載置した試料支持手段３とを、同期的に同角度同方向
に連動揺動させてなる連動揺動機構４を設けると共に、
前記試料支持手段３を昇降調節する昇降機構５を設け、
前記試料支持手段３を昇降機構５により昇降調節すると
共に前記連動揺動機構４の作動下に、前記試料支持手段
３上の試料ＳにＸ線発生手段２からＸ線を照射してＸ線
透視像を得る構成としている。すなわちＸ線透視検査装
置１は、装置箱体６内の底部側に配置した撮像手段７
と、この撮像手段７上方に、連動揺動機構４を構成する
支持台８と、この支持台８上方に、一対の支軸９，９を
介して揺動可能に支持した、Ｘ線発生手段２を載置して
なる取付台１０とを設けている。また、これら支持台８
と取付台１０との間において、前記支軸９，９をガイド
軸として、支軸９，９に昇降台１１を昇降可能に配置し
ている。そしてこの昇降台１１には、前記試料支持手段
３を設け、前記Ｘ線発生手段２からのＸ線を前記試料支
持手段３を介し前記試料Ｓを透過させ、前記撮像手段７
において前記試料Ｓの透視像を得るようにしている。

【００１４】前記支持台８と取付台１０とは、一対の支
軸９，９と、回転軸受１２を介して連結して４節平行リ
ンク状に構成している（図２、図３参照）。前記支持台
８は、対向する端辺の中間箇所を前記装置箱体６に、水
平方向に指向するピンＰを回転軸とする軸受１３，１３
を介して揺動可能に取り付けている。一方、前記取付台
１０も、対向する端辺の中間箇所を前記装置箱体６に、
水平方向に指向するピンＰを回転軸とする軸受１３，１
３を介して揺動可能に取り付けている。そして前記支持
台８の端辺の適所に、前記支持台８と取付台１０とを、
支持台８および取付台１０中間箇所の軸受１１を中心と
して揺動変位させるための駆動手段１４の作動軸１４ａ
を取り付けている。なお、駆動手段１４としては、この
他、ウオーム＆ホイールも可能である。

【００１５】前記昇降台１１は、前記支持台８と取付台
１０との間において、一対の支軸９，９をガイドとし
て、直動案内軸受１５を介し、支軸９，９に沿って昇降
可能に装着している。この場合、前記直動案内軸受１５
は、昇降台１１に対し、揺動可能に取り付けている。そ
して前記昇降台１１は、前記試料支持手段３を昇降調節
する昇降機構５によって、所望の高さ位置に調節可能と
している。前記昇降機構５は、モータ５ａとこのモータ
５ａに連結したねじシャフト５ｂと、ナット５ｃとによ
って構成している。前記モータ５ａは、前記支持台８上
に揺動可能に軸止めしてあり、前記ねじシャフト５ｂ
は、前記昇降台１１を貫いて前記取付台１０の下面に先
端を揺動可能に軸止めしている。前記ナット５ｃは、前
記昇降台１１に突設した取付部１６に揺動可能に取り付
けてあり、ナット５ｃを、前記ねじシャフト５ｂに螺入
している。

【００１６】前記Ｘ線発生手段２は、周知の開放型Ｘ線
管（図示省略）を採用したもので、Ｘ線発生源を、前記
取付台１０の中心から昇降台１１の中心を介して支持台
８下方の撮像手段７（ここではＣＣＤカメラ）と一体の
イメージインテンシファイアＩ．Ｉ．の中心を結ぶ中心
線Ｏに合わせるように取付台１０に設置している。また
前記昇降台１１の中心周囲は、後述する試料支持手段３
を設置可能とすると共に、Ｘ線を透過可能なように開口
している。なお、図２に示すようにＸ線発生手段２が鉛
直方向に支持された状態では、前記中心線Ｏと、Ｘ線発
生源のＸ線の照射中心軸Ｚとは一致するようにしてあ
り、Ｘ線発生源から試料支持手段３を介して透過したＸ
線は、支持台８下方の撮像手段７と一体のイメージイン
テンシファイアＩ．Ｉ．中心に、所定範囲に投影される
ようになっている。

【００１７】次に前記試料支持手段３について説明す
る。すなわち試料支持手段３は、詳細に図示はしない
が、前記中心線Ｏを中心に、検査すべき試料Ｓを位置決
め調節する、周知の回転テーブル１７とＸ軸テーブル１
８とＹ軸テーブル１９とで構成している。これら回転テ
ーブル１７とＸ軸テーブル１８とＹ軸テーブル１９は、
いずれも中心箇所、所定範囲開口しており、夫々のいず
れの位置決め動作時においても、Ｘ線の透過が可能なよ
うにしている。

【００１８】前記回転テーブル１７は、図示は省略する
が昇降台１１の中心周りに回転可能な駆動手段（例えば
ウオーム＆ホイール）を備えている。回転テーブル１７
が昇降台１１の中心を通る中心線Ｏ周りに回転すること
で、回転テーブル１７上のＸ軸テーブル１８およびＹ軸
テーブル１９とが連動回転する構成である。

【００１９】前記Ｘ軸テーブル１８とＹ軸テーブル１９
とは、それぞれＸ軸移動用直動アクチュエータ、Ｙ軸移
動用アクチュエータ（図示省略）を備えている。また前
記Ｙ軸テーブル１９上には、検査すべき試料Ｓを載置す
るための試料台（図示省略）を載置するようにしてい
る。

【００２０】かかる構成によって、前記試料支持手段３
は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、およびα方向に試料台を位置
決め調節すると共に、前記した昇降台１１における昇降
機構５によって中心線Ｏ（Ｘ線の照射中心軸Ｚ）方向に
調節可能としている。なお、照射中心軸Ｚ方向の調節
は、試料Ｓの倍率に関係し、これら試料支持手段３にお
ける回転テーブル１７とＸ軸テーブル１８とＹ軸テーブ
ル１９、並びに昇降台１１における昇降機構５への位置
決め調節は、全て、外部に設置したオペレーション手段
である、パソコンによって集中制御するようにしている
（例えばパソコン本体に接続した、キーボード、ジョイ
スティック等の機構操作手段）。このパソコンには、所
定の画像解析、計測等のソフトウェアの他、上記の試料
支持手段３における試料台上の試料Ｓの位置決め制御、
設定のためのソフトウェアを搭載している。

【００２１】ここで、試料支持手段３における試料台上
の試料Ｓの位置決め制御するためのソフトウェアの一例
を挙げて説明する。試料Ｓの位置決め制御するためのソ
フトウェアの一例としては、試料Ｓにおける観察点を、
常時、パソコンにおける表示部であるＣＲＴ中央に表示
させるために、試料支持手段３をＸ線照射中心軸Ｚを中
心に回転位置決め調節する回転動作に対応して、Ｘ軸テ
ーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ
軸方向に位置決め調節する手順が設定されている。

【００２２】なおかかるソフトウェアは、このＸ線透視
検査装置１の機構に基づいて設定している。すなわち、
Ｘ線発生手段２が鉛直方向に支持された状態では、前記
中心線Ｏと、Ｘ線発生源のＸ線の照射中心軸Ｚとは一致
するようにしてあり、Ｘ線発生源から試料支持手段３を
介して透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一
体のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．中心に、所定
範囲に投影されるようになっているので、Ｘ線発生手段
２が鉛直方向に支持された状態で、試料Ｓを観察すると
きは、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれ
ぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を前記
中心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表
示することができる（図４参照）。

【００２３】次に、前記観察点を今度は、斜め方向から
観察するためにＸ線発生手段２および昇降台１１と共に
試料支持手段３を右方に傾けると（図５参照）、前記観
察点はＣＲＴ中央から左方に移動する。もしこの移動量
が大きいと、ＣＲＴ上に表示されなくなる。そこで、Ｘ
軸テーブル１８を操作して試料Ｓを移動し、前記中心線
Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示する
ことができる。なお、回転テーブル１７の位置が当初の
位置、すなわちＹ軸方向が取付台１０の揺動中心軸と平
行状態にあるときはＸ軸テーブル１８のみの操作でよ
い。

【００２４】さらに今度は、回転テーブル１７をα度回
転させるとＸ′−Ｙ′座標上の観察点は移動して、再び
ＣＲＴ中央から外れるので、Ｘ軸テーブル１８およびＹ
軸テーブル１９をそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調
節して、観察点を前記中心線Ｏに合わすことで、前記観
察点をＣＲＴ中央に表示することとなる。この際の、Ｘ
軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９の移動量は Ｘ＝−Ｂ（１−ｃｏｓα）……（１） Ｙ＝−Ｂｓｉｎα………………（２） となる（ただし、Ｂ＝Ａｔａｎθ）。 ここでＡ：Ｘ線発生源から試料Ｓにおける観察点までの
距離、Ｂ：回転テーブル１７の位置が当初の位置、すな
わちＹ軸方向が取付台１０の揺動中心軸と平行状態にあ
るときの観察点の移動量、θ：Ｘ線発生手段２の傾斜
角、α：回転テーブル１７の回転角。

【００２５】以上のような本発明にかかるＸ線透視検査
装置１において、昇降台１１上の試料支持手段３におけ
る試料台に検査すべき半導体基板等の試料Ｓを載置し、
運転開始でＸ線発生手段２のＸ線発生源であるＸ線管か
ら、前記試料支持手段３における試料台上の試料Ｓに向
かってＸ線が照射され、試料支持手段３を介し試料Ｓを
透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一体のイ
メージインテンシファイアＩ．Ｉ．に投影され、この透
視像は撮像手段７から、パソコンにおける表示部である
ＣＲＴ上に表示することができ、観測者は、これによっ
て試料Ｓの内部を捉えることができる（図６参照）。Ｘ
線発生手段２が鉛直方向に支持された状態では、前記中
心線Ｏと、Ｘ線発生源のＸ線の照射中心軸Ｚとは一致す
るようにしてあり、Ｘ線発生源から試料支持手段３を介
して透過したＸ線は、支持台８下方の撮像手段７と一体
のイメージインテンシファイアＩ．Ｉ．中心に、所定範
囲に投影されるようになっているので、Ｘ線発生手段２
が鉛直方向に支持された状態で、試料Ｓを観察するとき
は、Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞ
れＸ軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を前記中
心線Ｏに合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示
することができる（図４参照）。

【００２６】ここで、透視される像の倍率を調節すると
きは、ジョイスティックや、キーボードから指令を出
し、昇降台１１における昇降機構５のモータ５ａを起動
してねじシャフト５ｂを回転させ、ねじシャフト５ｂ上
のナット５ｃを移動させることで、前記昇降台１１を昇
降させて、試料支持手段３の高さ位置を調節すればよ
い。

【００２７】また、試料の比較的表層の箇所だけではな
く、高密度に実装された基板におけるチップ部品の接合
部等を透視するときは、様々な角度からＸ線を試料に照
射することで前記接合部の透視像を捉えることができ
る。そのためには、支持台８の端辺に連結した駆動手段
１４を起動する。駆動手段１４を起動すると、支持台８
と取付台１０とは、４節平行リンク動作をなし、中間箇
所の軸受１３，１３を中心として互いに同角度、傾斜す
る。これに伴って支持台８と取付台１０との間の昇降台
１１も同角度、揺動変位する（図７、図８参照）。すな
わち、支持台８と取付台１０とは、中間箇所の軸受１１
を中心として互いに同角度、傾斜するだけであるから、
取付台１０上のＸ線発生手段２のＸ線発生源であるＸ線
管はぶれることはなく、前記Ｘ線管からのＸ線ビーム
は、照射中心軸Ｚがθ傾斜するだけであり、昇降台１１
上の試料支持手段３も同期して傾斜するので、試料支持
手段３における試料台上の試料からＸ線が外れることは
ない。

【００２８】そして、上述のように試料支持手段３の傾
斜によって試料Ｓにおける観察点を、ＣＲＴ中央に表示
するために、回転テーブル１７の回転角に応じ、パソコ
ンに設定された試料支持手段３における試料台上の試料
Ｓの位置決め制御、設定のためのソフトウェアにおい
て、Ｂ＝Ａｔａｎθ，Ｘ＝−Ｂ（１−ｃｏｓα），Ｙ＝
−Ｂｓｉｎαの演算を行って、Ｘ軸テーブル１８、およ
びＹ軸テーブル１９の移動量を求めて、Ｘ軸テーブル１
８、およびＹ軸テーブル１９を制御動作させることで、
Ｘ軸テーブル１８およびＹ軸テーブル１９をそれぞれＸ
軸、Ｙ軸方向に位置決め調節して、観察点を中心線Ｏに
合わすことで、前記観察点をＣＲＴ中央に表示すること
ができる。

【００２９】以上のように、本発明のＸ線透視検査装置
１では、Ｘ線発生手段２と試料支持手段３とを同期的
に、同角度、揺動変位する機構を採用したことにより、
機構を簡単化することができ、しかも、試料Ｓの観察点
ずれを補正するためのソフトウェアも簡単化することが
できる。

【００３０】

【発明の効果】以上、本発明によれば、Ｘ線発生手段と
試料支持手段とを同期的に、同角度、揺動変位する連動
揺動機構を採用したことにより、機構を単純化すること
ができ、しかも装置の小型化が可能で、試料の観察点ず
れを補正するためのソフトウェアも簡単化することがで
きる。

【００３１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるＸ線透視検査装置の一つの実施
の形態を示す、概略的な斜視説明図である。

【図２】図１に示すＸ線透視検査装置の側面図である。

【図３】図１に示すＸ線透視検査装置の平面図である。

【図４】図１に示すＸ線透視検査装置におけるＸ線発生
手段と、試料支持手段との位置関係を示した、説明図で
ある。

【図５】Ｘ線透視検査装置におけるＸ線発生手段と、試
料支持手段とを傾斜させた際の観察点のずれを補正する
説明のための線図である。

【図６】本発明にかかるＸ線透視検査装置の機構の作用
を説明するための、模式的機構図である。

【図７】本発明にかかるＸ線透視検査装置の機構の作用
を説明するための、模式的機構図である。

【図８】本発明にかかるＸ線透視検査装置の機構の作用
を説明するための、模式的機構図である。

【符号の説明】

１ Ｘ線透視検査装置 ２ Ｘ線発生手段 ３ 試料支持手段 ４ 連動揺動機構 ５ 昇降機構 ５ａ モータ ５ｂ ねじシャフト ５ｃ ナット ６ 装置箱体 ７ 撮像手段 ８ 支持台 ９ 支軸 １０ 取付台 １１ 昇降台 １２ 回転軸受 １３ 軸受 １４ 駆動手段 １４ａ 作動軸 １５ 直動案内軸受 １６ 取付部 １７ 回転テーブル １８ Ｘ軸テーブル １９ Ｙ軸テーブル Ｓ 試料 Ｐ ピン Ｉ．Ｉ． イメージインテンシフ
ァイア

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線発生手段と、試料を載置した試料
   支持手段とを、同期的に同角度同方向に連動揺動させて
   なる連動揺動機構を設けると共に、前記試料支持手段を
   昇降調節する昇降機構を設け、前記試料支持手段を昇降
   機構により昇降調節すると共に前記連動揺動機構の作動
   下に、前記試料支持手段上の試料にＸ線発生手段からＸ
   線を照射してＸ線透視像を得る構成としたことを特徴と
   するＸ線透視検査装置。
2. 【請求項２】 前記連動揺動機構は、Ｘ線発生手段を
   取り付けると共に装置箱体に揺動可能に取り付けた取付
   台と、取付台と所定距離離隔して装置箱体に揺動可能に
   取り付けた支持台と、これら取付台と支持台とを互いに
   平行に且つ揺動可能に連結した一対の支軸と、前記取付
   台と支持台との間において、前記一対の支軸に沿って昇
   降可能に且つ揺動可能に設けて、前記試料支持手段を取
   り付けた昇降台とを備え、前記取付台または支持台に、
   取付台と支持台の夫々の揺動中心を中心として、連動揺
   動させるための駆動手段を設けたことを特徴とする請求
   項１記載のＸ線透視検査装置。
3. 【請求項３】 前記昇降機構は、支持台または取付台
   に揺動可能に取り付けたモータと、モータ軸に連結した
   ねじシャフトと、ねじシャフトに螺入するナットとを有
   し、このナットを前記昇降台に揺動可能に取り付けて前
   記ねじシャフトをナットを介して螺入してねじシャフト
   先端を前記モータの取付箇所と対向する支持台または取
   付台に揺動可能に取り付ける構成としたことを特徴とす
   る請求項１記載のＸ線透視検査装置。
4. 【請求項４】 前記Ｘ線発生手段は、Ｘ線発生源の中
   心と、取付台の中心と撮像手段中心とを結ぶ中心線に一
   致させるように取付台に取り付けて、Ｘ線照射中心軸を
   前記中心線に合わせるようにし、前記試料支持手段は前
   記昇降台に、前記中心線に試料をもたらすように取り付
   ける構成としたことを特徴とする請求項１ないし３記載
   のうち、いずれか１記載のＸ線透視検査装置。
5. 【請求項５】 前記試料支持手段は、前記Ｘ線照射中
   心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸方向に位置決め調
   節する構成としたことを特徴とする請求項４記載のＸ線
   透視検査装置。
6. 【請求項６】 前記試料支持手段は、検査すべき試料
   を前記Ｘ線照射中心軸に対し、第１の軸方向と第２の軸
   方向に位置決め調節すると共に、Ｘ線照射中心軸を中心
   に回転位置決め調節する構成としたことを特徴とする請
   求項４記載のＸ線透視検査装置。
7. 【請求項７】 前記試料支持手段をＸ線照射中心軸を
   中心に回転位置決め調節する回転動作量に対応して、前
   記第１の軸方向および第２の軸方向に、夫々移動させ
   て、試料上の観察点の位置を取付台の中心と撮像手段中
   心とを結ぶ中心線上にもたらすようにしたことを特徴と
   する請求項６記載のＸ線透視検査装置。