JP2001281168A - Ｘ線透視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 透視の傾斜角を変更しても被検体の注目個所
が透過像視野からずれることのないＸ線透視検査装置を
提供する。 【解決手段】 旋回アーム９に取り付けられたＸ線源１
およびＸ線検出器２と、被検体４をＸ線ビーム内に位置
決めするテーブル５と、このテーブルをテーブル面に沿
って移動させる第１のスライド機構６と、テーブルを回
転させる回転機構７と、旋回アーム９によって取り付け
られたＸ線源１およびＸ線検出器２を旋回させる旋回機
構と、旋回に伴って、被検体上の注目位置が、透過像視
野からはずれないようにテーブル５をスライドさせるｘ
ｙスライド機構と、を有することを特徴とするＸ線透視
検査装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に非破壊検査に
使用するＸ線透視検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】非破壊検査法は、周知のように、被検体
を破壊することなく、その内部構造を検査するもので、
なかでもＸ線透視検査装置は、様々な製品の非破壊検査
において利用されている。

【０００３】このような非破壊検査が利用されている製
品の一つに、電子、電気機器がある。これは、電子機器
の小型、軽量化に伴い、電子部品の実装技術において、
リードフレームなどを用いず、基板に直接電子部品を実
装する技術が開発され、目視では部品と基板との接合点
を確認することが出来なくなって来ているために、近
年、特に多く利用されているものである。

【０００４】例えば、基板に電子部品を実装するときＢ
ＧＡ（ボールグリッドアレイ）を用いた高密度実装技術
では、電子部品と基板の間にボール状のハンダを縦横ア
レイ状にならべて接合し、基板上の配線と電子部品の端
子とを電気接続をするものである。

【０００５】このような高密度実装された製品の検査に
用いられる従来のＸ線透視検査装置を図９に示す。

【０００６】電子部品の実装技術において、その検査に
用いられるＸ線透視検査装置、特にＢＧＡ品の検査に用
いるＸ線透視検査装置は、ボールのつぶれ具合や、浮き
などを検査するため基板面垂直方向だけでなく、傾斜し
た方向からの透視が必要である。このため、被検体を傾
斜させた方向から透視できるようにするための旋回機構
が備えられている。

【０００７】図９に示す装置では、Ｘ線管１０１から放
射されたＸ線ビーム１０３が被検体１０４を透過し、上
方に固定された２次元の検出器１０２で検出され透過像
が得られる。Ｘ線管１０１と検出器１０２は、図示して
いない旋回機構によって一体で旋回されて透視角度を変
更する。被検体１０４は、テーブル１０５に載置され
る。テーブル１０５は、ＸＹスライド機構１０６でテー
ブル面に沿って移動される。このＸＹ移動は被検体１０
４の検査個所を透過像視野に入れるために使用される。
傾斜する方位は、回転機構１０７によって被検体とＸＹ
スライド機構全体を回転させることで変更される。ま
た、Ｘ線管１０１と検出器１０２は、それぞれ図示して
いない昇降機構で昇降でき、透過像の拡大率が変更でき
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このように構成された
従来のＸ線透視検査装置では、まず、旋回軸１０８が常
に被検体１０４の注目面上にくるわけではないので、傾
斜させたときに注目個所が視野からずれてしまう問題が
ある。

【０００９】次に、傾斜なしの状態で回転中心が視野中
心になるように機構調整しておいても、傾斜させた場合
に注目面上の回転中心が視野中心からずれてしまう。し
たがって、傾斜透視時に傾斜方位を変更すると注目個所
が視野からずれてしまう問題がある。また、Ｘ線管１０
１と検出器１０２の昇降機構の調整が悪いと、拡大率変
更のとき視野ずれが生じる問題もある。

【００１０】本発明は上記のような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、透視の傾斜角を変
更しても被検体の注目個所が透過像視野からずれること
のないＸ線透視検査装置を提供することにある。また、
他の目的は、透視の拡大率を変更しても被検体の注目個
所が透過像視野からずれることのないＸ線透視検査装置
を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに請求項１記載の発明は、Ｘ線透視検査装置におい
て、Ｘ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出する
Ｘ線検出器と、被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めす
るテーブルと、前記Ｘ線検出器で得られたデータから前
記被検体の透過像を表示する表示部と、前記テーブルを
テーブル面に沿って移動させる第１のスライド機構と、
前記テーブルをテーブル面に沿って回転させる回転機構
と、前記回転の軸を前記テーブル面に沿って移動させる
第２のスライド機構と、前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出
器のうち、少なくとも前記Ｘ線検出器を前記テーブル面
に沿った軸に対し旋回させる旋回機構と、前記旋回にと
もなって前記被検体上の注目位置が、この注目位置を設
定するためのデータと予め求められている較正量とに基
づいて、前記透過像視野からはずれないように前記第２
のスライド機構によって前記テーブルを移動させる視野
ずれ補正手段と、を有することを要旨とする。

【００１２】この発明は、補正手段が、旋回を行ったと
きの被検体の注目面上の視野中心の動きを計算し、これ
にあわせて回転中心を第２のスライド機構により移動さ
せることで常に回転中心が注目面上の視野中心に合わせ
るようにしたものである。したがって、第１のスライド
機構で被検体の注目位置を回転中心に、一度合わせれば
旋回および回転を行っても注目位置は透過像視野からず
れない。なお、ここで注目面とは、注目位置（点）を通
ってテーブル面に平行な面のことである。

【００１３】上記の課題を解決するために請求項２記載
の発明は、Ｘ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検
出するＸ線検出器と、被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置
決めするテーブルと、前記テーブルをテーブル面に沿っ
て移動させる第１のスライド機構と、前記テーブルをテ
ーブル面に沿って回転させる回転機構と、前記Ｘ線源お
よび前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前記Ｘ線検出器
を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回させる旋回機構
と、前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の
透過像を表示する表示部と、前記回転と前記旋回にとも
なって前記被検体の注目位置が、この注目位置を設定す
るためのデータと予め求められている較正量とに基づい
て、透過像視野からはずれないように前記第１のスライ
ド機構により前記テーブルをスライド移動させる視野ず
れ補正手段と、を有することを要旨とする。

【００１４】この発明は、回転および旋回したときの被
検体の注目面上の視野中心の動きを計算し、これに合わ
せて被検体をスライド機構により移動させることで常に
注目面上の注目位置が視野中心に合わせられるようにし
たものである。したがって、スライド機構で被検体の注
目位置を視野中心に一度あわせれば旋回および回転をお
こなっても注目位置は透過像視野からずれないようにで
きる。

【００１５】また、請求項３記載の発明は、前記請求項
１または２記載の構成において、前記旋回機構が、前記
Ｘ線源および前記Ｘ線検出器の両方を一体的に旋回させ
ることを要旨とする。

【００１６】この発明は、請求項１または２の構成にお
いて、Ｘ線源およびＸ線検出器の両方を一体的に旋回さ
せるようにした場合でも、旋回および回転を行ったとき
に注目位置が透過像視野からずれないようにしようとす
るものである。

【００１７】上記の課題を解決するために請求項４記載
の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線透視
検査装置において、前記較正量が、少なくとも３つの旋
回角において、被検体の注目点が透過像画面上の同一位
置にくるように第１のスライド機構または第２のスライ
ド機構を移動させて、旋回角とそのときのスライド機構
の移動量と当該被検体の注目点を設定するためのデータ
とに基づいて旋回軸の位置較正量として得られることを
要旨とする。

【００１８】この発明は、旋回機構によって旋回される
角度範囲の中の少なくとも３つの旋回角において、画面
の同一位置と注目面上の注目点とのずれを、スライド機
構の移動量として読み取り、この読み取り値を用いて方
程式を解いて旋回軸の位置較正量として装置に記憶させ
る。そして、装置の実使用時に視野ずれ補正手段は、こ
の旋回軸の位置較正量を用いて自動的に視野中心の動き
を計算し、第１または第２のスライド機構によりスライ
ドを移動させることで、正確に、かつ確実に視野ずれを
補正することができる。

【００１９】上記の課題を解決するために請求項５の記
載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線透
視検査装置において、前記Ｘ線源を前記被検体に接近離
反させる第１の昇降機構と、前記Ｘ線検出器を前記被検
体に接近離反させる第２の昇降機構と、予め記憶された
第１および第２の昇降機構による接近離反の位置の複数
の組み合わせに対する透過像の視野のずれ量をもとに、
該第１および第２の昇降機構による接近離反の位置から
視野のずれ量を計算し、前記被検体の注目位置が視野か
らずれないように、前記テーブルを前記スライド機構に
よりスライド移動させる拡大率視野ずれ補正手段と、を
有することを要旨とする。

【００２０】この発明は、接近離反の位置ｚｓ、ｚｄを
任意に選択して、透過像の拡大率を変更しても接近離反
の位置ｚｓ、ｚｄの複数の組み合わせから例えば補間に
よりその位置に最適な視野中心のずれ量を計算して、注
目位置が透過像視野からずれないようにしたものであ
る。

【００２１】上記の課題を解決するために請求項６記載
の発明は、請求項１，２，４，５のいずれかに記載のＸ
線透視検査装置において、前記較正量が、被検体のテー
ブル面から距離の異なる２つの注目点について、Ｘ線検
出器のみを旋回させたときの２つの角度において、それ
ぞれ該２つの注目点が表示されている透過像画面の同一
位置にくるように前記スライド機構をスライド移動させ
たときの移動量と当該注目点を設定するためのデータと
に基づいてＸ線源の位置較正量として得られることを要
旨とする。

【００２２】この発明は、Ｘ線検出器のみが旋回される
構成において、テーブル面からの距離が既知で互いに異
なる２つの注目点に対し、それぞれ同一の旋回時のスラ
イド移動量を求め、その比から幾何的にテーブル面とＸ
線源の距離を計算して、Ｘ線源の位置較正量として装置
に記憶させるようにしたものである。これにより、正確
にＸ線源の位置が求められる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して、
本発明の実施の形態を説明する。

【００２４】［第１の実施の形態］ （第１の実施の形態の構成）図１は、本発明を適用した
第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概略構成を
示す図面である。

【００２５】図１に示すＸ線透視検査装置は、大別し
て、Ｘ線を被検体に照射してその透過像を検出するため
の機構部分と、機構部分の動作を制御し、また各種デー
タを処理する制御部分からなる。

【００２６】機構部分は、Ｘ線を照射するＸ線管１、Ｘ
線を検出する検出器２、被検体４を載置するテーブル
５、テーブル５をテーブル面に沿った方向に移動させる
ＸＹスライド機構６、テーブル５をテーブル面に沿って
回転させる回転機構７、回転の軸をテーブル面に沿った
方向に移動させるｘｙスライド機構８、およびＸ線管１
と検出器２を旋回させる旋回アーム９によって構成され
ている。

【００２７】一方、制御部分は、照射するＸ線を制御す
るＸ線制御部１４、各機構の動作を制御する機構制御部
１５、各種データの処理や各部の制御と後述する視野ず
れの補正計算、および較正のための計算を行なうデータ
処理部１６、および透過像の表示を行なう表示部１７に
よって構成されている。

【００２８】このＸ線透視検査装置においては、Ｘ線管
１と検出器２は旋回アーム９上に対向して取り付けられ
ており、旋回軸１１に対して一体で旋回される。旋回ア
ーム９は、図示しない旋回機構によって旋回される。

【００２９】また、Ｘ線管１と検出器２は、旋回アーム
９上で、それぞれ独立した昇降機構（不図示）によって
昇降位置ｚｓ、ｚｄ方向に昇降され、Ｘ線ビーム３内に
保持された被検体４に対して、それぞれ近づけたり、遠
ざけたりすることができ、この昇降位置の変更によって
撮影倍率が変更できるようになっている。また、Ｘ線管
１は、Ｘ線焦点Ｆ（Ｘ線発生点）が数ないし数十μｍの
マイクロフォーカスＸ線管を用いている。

【００３０】このＸ線透視検査装置において、被検体４
は、水平なテーブル５に載置される。そして、テーブル
５はＸＹスライド機構６によりＸ、Ｙ２つの水平方向に
スライド移動される。またテーブル５はＸＹスライド機
構６ごと、回転機構７により水平面に沿って回転され、
さらにテーブル５はＸＹスライド機構６および回転機構
７ごと、ｘｙスライド機構８によりｘ、ｙ２つの水平方
向にスライド移動される。

【００３１】ＸＹ移動は、被検体中の検査個所の変更
に、旋回は透視角度の傾斜に、回転は傾斜方位の変更に
使用される。

【００３２】検出器２は、Ｘ線像増強管とテレビカメラ
を組み合わせたもので、２次元の透過像を映像信号とし
て出力する。映像信号はデータ処理部１６に取り込まれ
表示部１７に表示される。

【００３３】Ｘ線制御部１４は、データ処理部１６から
の指令によってＸ線管１の管電圧と管電流の制御、およ
びＸ線のＯＮ／ＯＦＦを制御する。

【００３４】機構制御部１５は、データ処理部１６から
の指令で機構部を制御するとともに、機構部の状態をデ
ータ処理部１６に送る。

【００３５】データ処理部１６および表示部１７は、通
常のパソコンに代表されるコンピュータを利用したもの
で、インターフェース、メモリ、ディスク、マウス、キ
ーボードなどを備えている。またデータ処理部１６は、
操作者の指令で各機構の動作やＸ線のＯＮ／ＯＦＦの指
令を出すとともに透過像の処理や記憶を行なうように、
所定のソフトウエアによって動作する。そして、本実施
の形態ではデータ処理部１６が下記補正式にしたがっ
て、自動的に位置補正を行うための計算を行っている。

【００３６】なお、図１ではＸ線遮蔽部材や、機構部分
の支持部材など、直接発明の構成に関わらない部分は省
略した。

【００３７】（第１の実施の形態の作用）次に、図１を
参照して本実施の形態における作用を説明する。

【００３８】操作者は、被検体４をテーブル５に載置
し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄ
を入力する。その後、Ｘ線をＯＮすると表示部１７に透
過像が表示される。操作者はさらに、ＸＹ移動で注目位
置を透過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更する
ことで透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視
角度を傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。

【００３９】〈旋回視野ずれ補正〉図２を参照して、旋
回視野ずれ補正を説明する。図２ａは正面図、図２ｂは
平面図である。

【００４０】データ処理部１６は、Ｘ線管１と検出器２
が旋回アーム９によって旋回するにつれて、被検体４上
の注目位置が透過像視野からずれないようにするための
位置補正値ｘ、ｙを算出する。ｘ、ｙは次式により計算
される（導出省略）。

【００４１】 η＝ｘ０−ｘ００ …（１） ΔＬ＝（δ−ｄ）・ｔａｎθ＋η・（１／ｃｏｓθ−１） …（２） ｘ＝ｘ０＋ΔＬ …（３） ｙ＝ｙ０ …（４） 各式中、ｄは操作者の入力した値、θは旋回角、δ、ｘ
００、ｘ０、およびｙ０は較正量である。図２を参照し
て、各値をさらに説明すると、ｄはテーブル５の上面と
被検体４の注目面１８との距離、θは垂直からの旋回
角、δはテーブル面基準の旋回軸１１の高さ、ηはＸ線
焦点Ｆと検出器中心Ｄを結ぶ中心線１９のθ＝０°のと
きの旋回軸からのずれ、ｘ０、ｙ０は中心線１９のθ＝
０°のときの注目面１８との交点Ａ（＝視野中心）のｘ
ｙ座標（正確には、回転中心がＡ点に一致するｘｙ送り
読値）である。ｘ００は旋回軸１１のｘ座票（＝ｘ０−
η）である。各値は図示の方向を＋にとる。

【００４２】このようにして算出されたｘおよびｙに基
づいて、ｘｙスライド機構８によりｘ、ｙを移動するこ
とで、Ｘ線管１と検出器２を旋回させた場合でも、被検
体４の注目位置を常に旋回視野内に位置させておくこと
ができる。

【００４３】〈旋回視野ずれ較正〉次に、図２を参照し
て、この装置における旋回視野ずれ較正を説明する。

【００４４】この較正は、実使用に先立って較正量δ、
ｘ００、ｘ０、ｙ０を求める操作である。

【００４５】較正を行うためには、操作者は被検体４を
テーブル５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注
目面１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準
位置ｚｓ０、ｚｄ０に設定する。

【００４６】次に、透過像を目視し、ＸＹスライド機構
６によるＸＹ移動と、回転機構７による回転を行ないな
がら被検体４上の注目点を回転中心に合わせる。すなわ
ち、回転させたとき注目点を中心に回転するようにす
る。

【００４７】次に、画面中央に十字カーソルを表示さ
せ、少なくとも３つの旋回角においてそれぞれ注目点
（回転中心）が透過像の画面中央にくるようにｘｙスラ
イド機構８によってｘｙを移動させ、このときのｘｙの
読値を読み込ませる。３組の読値から方程式が解けて旋
回軸の位置が求められる。なお、少なくとも３つの旋回
角は、例えば基準旋回角（θ＝０°）、最大旋回角（ｍ
ａｘ角）、および基準旋回角と最大旋回角の略中間の角
の３つとする。

【００４８】データ処理部１６は、読値、ｘ０、ｙ０、
θ１、ｘ１、ｙ１、θ２、ｘ２、ｙ２および入力値ｄを
用いて次式によりδ、ｘ００を計算する（導出省略）。

【００４９】 ΔＬ１＝ｘ１−ｘ０ …（５） ΔＬ２＝ｘ２−ｘ０ …（６） ａ１＝ｔａｎθ１ …（７） ｂ１＝１／ｃｏｓθ１−１ …（８） ｃ１＝ΔＬ１ …（９） ａ２＝ｔａｎθ２ …（１０） ｂ２＝１／ｃｏｓθ２−１ …（１１） ｃ２＝ΔＬ２ …（１２） η＝（ｃ１・ａ２−ｃ２・ａ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（１３） δ＝ｄ＋（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（１ ４） ｘ００＝ｘ０−η …（１５） データ処理部１６はδ、ｘ００とｘ０、ｙ０を較正量と
して記憶し、実使用時の視野ずれ補正計算を行なう。な
お、較正量ｘ００はかわりにηを用いるようにしてもよ
い。

【００５０】〈拡大率視野ずれ較正〉次に、図３を参照
して、拡大率視野ずれ較正を説明する。

【００５１】これは昇降位置ｚｓ、ｚｄを移動させたと
きの視野ずれ較正である。θ＝０°において、昇降位置
ｚｓ、ｚｄで標準位置ｚｓ０、ｚｄ０のときの視野中心
ＡはＡ’にずれる。これは昇降ｚｓ、ｚｄの方向がそれ
ぞれ正確には垂直でないためである。

【００５２】この較正は次のように行なう。まず、操作
者は、旋回角θ＝０°に固定し、透過像を見ながら被検
体４の注目点を回転中心と合わせる。次に、昇降位置ｚ
ｓ、ｚｄの組み合わせを変えながら、注目点（回転中
心）が画面中央にくるようにｘｙを移動させ、このとき
のｘｙ読値を読み込ませる。データ処理部１６は、この
組み合わせ、ｘ０（ｚｓ，ｚｄ）、ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）
を較正量として記憶する。

【００５３】〈拡大率視野ずれ補正〉次に、図３を参照
して拡大率視野ずれ補正を説明する。

【００５４】データ処理部１６は、昇降位置ｚｓ、ｚｄ
が変化するごとに、下記式により較正量から２次元の補
間計算で昇降位置ｚｓ、ｚｄに対応するｘ０’、ｙ０’
を計算する。実使用時にｘ０、ｙ０のかわりにこのｘ
０’、ｙ０’を用いれば拡大率変更による視野ずれが補
正できる。

【００５５】 ｘ０’，ｙ０’←ｚｓ，ｚｄ，ｘ０（ｚｓ，ｚｄ），ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）より 補間 …（１６） ｘ０＝ｘ０’ …（１７） ｙ０＝ｙ０’ …（１８） （第１の実施の形態の効果）以上のように、本実施の形
態では、Ｘ線源とＸ線検出器を一体で旋回させた場合
に、データ処理部１６によって、被検体４の注目面１８
上の視野中心Ａの動きにあわせて、回転中心をｘｙスラ
イド機構８により移動させることとしているので、常に
回転中心が注目面上の視野中心に自動的に合うようにな
る。したがって、ＸＹスライド機構６で被検体４の注目
面上の注目位置を回転中心に一度あわせれば、旋回およ
び回転を行なっても注目位置は透過像視野からずれな
い。

【００５６】また、３つの旋回角において、視野中心と
注目面上の回転中心（すなわち注目点）とのずれがｘｙ
読値として求まり、これにより旋回軸の位置が計算で求
められ、旋回軸の位置（δ，ｘ００）と基準旋回角（θ
＝０°）における視野中心と回転中心の位置関係（ｘ
０，ｙ０）を較正量として装置に記憶させることができ
る。これにより簡便に旋回視野ずれ補正の較正を行うこ
とができる。

【００５７】また、昇降位置ｚｓ、ｚｄを任意に選択し
て透過像の拡大率を変更しても、昇降位置ｚｓ、ｚｄの
複数の組み合わせから補間によりその位置に最適な視野
中心のずれ量が計算でき、注目位置が透過像視野からず
れないようにできる。

【００５８】さらに、昇降位置ｚｓ、ｚｄの組み合わせ
を変えながら、注目点（回転中心）が視野中心にくるよ
うにｘｙを移動させたときのｘｙ読値を記憶させること
で簡便に拡大率視野ずれ補正の較正が行える。

【００５９】（第１の実施の形態の変形形態）以上説明
した旋回視野ずれ較正および拡大率視野ずれ較正は、注
目点を回転中心に合わせて行なったが、これは必須では
ない。すなわち、一度基準の昇降位置ｚｓ、ｚｄおよび
θ＝０°においてｘ０、ｙ０が得られれば、後は基準か
らの視野の相対ずれのみ求めればよい。相対ずれ測定
は、注目点を回転中心と合わせなくてもよく、また、ｘ
ｙ移動ではなく、ＸＹ移動を用いてもよい。さらに、こ
の場合、注目点は視野中心でなく画面上の一定の点なら
どこに合わせてもよい。

【００６０】また、拡大率視野ずれ補正では、補間計算
を行なったが、補間計算でなく、関数をフィッティング
で求めて記憶させ、この関数で計算してもよい。

【００６１】図４は第１の実施の形態の変形形態を説明
するための図面である。

【００６２】第１の実施の形態においては、旋回軸１１
はｙ軸と平行としたが、傾いていても視野ずれ補正がで
きる。

【００６３】今仮に、ｘｙスライド機構の軸が図の
ｘ’、ｙ’のようにξだけ傾いている場合、旋回視野ず
れ補正は、前述の式（３）、（４）でｘ、ｙを計算した
あと、下記式（１８）および（１９）によりｘ’、ｙ’
に座標変換し、ｘｙスライド機構を移動させればよい。

【００６４】 ｘ’＝ｘ・ｃｏｓξ−ｙ・ｓｉｎξ …（１９） ｙ’＝ｘ・ｓｉｎξ＋ｙ・ｃｏｓξ …（２０） なお、式中ξは新たな較正量である。

【００６５】また、この場合の旋回視野ずれ較正におい
ては、読値、ｘ０’、ｙ０’、ｘ１’、ｙ１’、ｘ
２’、ｙ２’からまずをξを求める。

【００６６】 Δｘ１＝ｘ１’−ｘ０’ …（２１） Δｙ１＝ｙ１’−ｙ０’ …（２２） Δｘ２＝ｘ２’−ｘ０’ …（２３） Δｙ２＝ｙ２’−ｙ０’ …（２４） ａｂΔＬ１＝√（Δｘ１＾２＋Δｙ１＾２） …（２５） ａｂΔＬ２＝√（Δｘ２＾２＋Δｙ２＾２） …（２６） ξ＝ａｔａｎ［｛（Δｙ１／Δｘ１）・ａｂΔＬ１＋（Δｙ２／Δｘ２）・ａｂ ΔＬ２｝／（ａｂΔＬ１＋ａｂΔＬ２）］ …（ウェイト付平均）（２７） このξは、新たな較正量として記憶する。

【００６７】次に、読値、ｘ０’、ｙ０’、ｘ１’、ｙ
１’、ｘ２’、ｙ２’を下記式（２８）および（２９）
により座標変換を行なって、それぞれ、ｘ０、ｙ０、ｘ
１、ｙ１、ｘ２、ｙ２に変換してから式（５）ないし
（１５）の計算をすればよい。

【００６８】 ｘ＝ｘ’・ｃｏｓξ＋ｙ’・ｓｉｎξ …（２８） ｙ＝−ｘ’・ｓｉｎξ＋ｙ’・ｃｏｓξ …（２９） この変形形態によれば、旋回軸１１とｘｙスライド機構
の軸が傾いていても視野ずれ補正ができる。また、簡便
に較正できる。

【００６９】［第２の実施の形態］ （第２の実施の形態の構成）第２の実施の形態の構成
は、図１に示した第１の実施の形態によるＸ線透視検査
装置において、Ｘ線管１と図示しないＸ線管昇降機構が
旋回せず、フロア側に支持されている点が、第１の実施
の形態と異なるのみで、その他の構成は第１の実施の形
態によるＸ線透視検査装置と同様である。

【００７０】（第２の実施の形態の作用）操作者は、前
述した第１の実施の形態と同様に、被検体４をテーブル
５に載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８
の位置ｄを入力し、Ｘ線をＯＮし、ＸＹ移動で注目位置
を透過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更するこ
とで透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角
度を傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。

【００７１】〈旋回視野ずれ補正〉まず、図５を参照し
て、本実施の形態の装置における旋回視野ずれ補正を説
明する。図５ａは正面図、図５ｂは平面図で、図２と同
一記号を用いている。

【００７２】データ処理部１６は、旋回につれて、自動
的に移動させるｘ、ｙを前出の式（１）、（３）および
（４）、ならびに下記式（２’）を用いて計算する（導
出省略）。

【００７３】 ΔＬ＝−（Ｄｓ＋ｄ）・（（Ｄｄ−δ）・ｓｉｎθ＋η・（１−ｃｏｓθ））／ （Ｄｓ＋（Ｄｄ−δ）・ｃｏｓθ＋η・ｓｉｎθ＋δ） …（２’） 前述したように、式中、ｄは操作者の入力した値、θは
旋回角、δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０は較正量である。Ｄｓ
はＸ線焦点とテーブル表面の距離、Ｄｄはθ＝０°のと
きのテーブル表面と検出器の検出面の距離である。Ｄ
ｓ、Ｄｄは、一度較正しておけばデータ処理部１６は昇
降位置ｚｓ、ｚｄの送り量から認知でき、この値を計算
に用いる。

【００７４】〈旋回視野ずれ較正〉次に、同じく図５を
参照して、旋回視野ずれ較正を説明する。この較正は、
実使用に先立って較正量δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０を求め
る操作である。

【００７５】構成には、操作者は第１の実施の形態と同
様に、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置
ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚ
ｄ０に設定し、注目点を回転中心に合わせ、３つの旋回
角においてそれぞれ注目点（回転中心）が画面中央にく
るようにｘｙを移動させ、このときのｘｙ読値を読み込
ませる。なお、旋回角は、基準旋回角（θ＝０°）、最
大旋回角（ｍａｘ角）、および基準旋回角と最大旋回角
の略中間の角の３つとする。

【００７６】データ処理部１６は、読値、ｘ０、ｙ０、
θ１、ｘ１、ｙ１、θ２、ｘ２、ｙ２におよび入力値ｄ
を用いてδ、ｘ００を前出の式（５）ないし（１５）の
うち、式（５）、（６）、（１３）、（１５）を共通に
用いて、他の式の代わりに以下の式を用いて計算する。
なお、式（５）、（６）、（１３）、（１５）は共通で
ある（導出省略）。

【００７７】 ａ１＝−ｓｉｎθ１＋（１−ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（７’） ｂ１＝１−ｃｏｓθ１＋ｓｉｎθ１・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（８’） ｃ１＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ１−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ ） …（９’） ａ２＝−ｓｉｎθ２＋（１−ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（１０’ ） ｂ２＝１−ｃｏｓθ２＋ｓｉｎθ２・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（１１’） ｃ２＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ２−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ ） …（１２’） δ＝（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（１４’ ） 〈拡大率視野ずれ較正〉次に、図３を参照して、本実施
の形態における拡大率視野ずれ較正を説明する。これは
昇降位置ｚｓ、ｚｄを移動させたときの視野ずれ較正で
ある。

【００７８】これには、まず、第１の実施の形態の場合
と同様に、基準旋回角θ＝０°において、昇降位置ｚ
ｓ、ｚｄの組み合わせを変えながら、注目点（回転中
心）が画面中央にくるようにｘｙを移動させ、このとき
のｘｙ読値を読み込ませる。データ処理部１６は、この
組み合わせ、ｘ０（ｚｓ，ｚｄ）、ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）
を較正量として記憶する。

【００７９】〈拡大率視野ずれ補正〉次に、同じく図３
を参照して、本実施の形態における拡大率視野ずれ補正
を説明する。

【００８０】これは第１の実施の形態の場合と同様に、
昇降位置ｚｓ、ｚｄが変化するごとに較正量から補間計
算で昇降位置ｚｓ、ｚｄに対応するｘ０’、ｙ０’を計
算することで行なわれる。実使用時には、前出の式（１
６）、（１７）、（１８）によって、ｘ０、ｙ０のかわ
りにｘ０’、ｙ０’を用いれば拡大率変更による視野ず
れが補正できる。

【００８１】〈Ｘ線焦点位置の較正〉次に、Ｘ線焦点位
置の較正について説明する。図６は、Ｘ線焦点位置較正
の説明図である。ここでは、Ｘ線焦点とテーブル表面間
の距離Ｄｓを較正する。

【００８２】まず、操作者は昇降位置ｚｓ、ｚｄを最大
倍率の位置に固定し、第１の被検体４を載置して、被検
体４の注目面１８の位置ｄを入力し、２つの旋回角（基
準旋回角（θ＝０°）および最大旋回角（ｍａｘ角））
において、注目点がそれぞれ画面の一定位置にくるよう
にｘｙを移動させ、それぞれｘｙの値を読み込ませる。

【００８３】次に、被検体４の注目面１８の位置ｄの異
なる第２の被検体の注目点について同様にｘｙを読み込
ませる。

【００８４】データ処理部１６は、入力値、ｄ１、ｄ２
と、読み取った値、ｘ０１、ｙ０１、ｘ１、ｙ１、ｘ０
２、ｙ０２、ｘ２、ｙ２により次式でＤｓを計算する
（導出省略）。

【００８５】 ΔＬ１＝√（（ｘ１−ｘ０１）＾２＋（ｙ１−ｙ０１）＾２） …（３０） ΔＬ２＝√（（ｘ２−ｘ０２）＾２＋（ｙ２−ｙ０２）＾２） …（３１） ｋ＝ΔＬ１／ΔＬ２ …（３２） Ｄｓ＝（ｋ・ｄ２−ｄ１）／（１−ｋ） …（３３） 処理部１６は、このＤｓ値と、このときのｚｓ値を記憶
すれば、任意のｚｓ読値におけるＤｓ値を認知すること
ができる。

【００８６】旋回軸１１がｙ軸から傾いている場合で
も、そのまま（３０）ないし（３３）でＤｓが求められ
る。

【００８７】Ｄｓの値は視野ずれに敏感に影響するが、
この方法で簡単に、かつ正確に較正することができる。

【００８８】（第２の実施の形態の効果）第２の実施の
形態においては第１の実施の形態と同じ効果を上げるこ
とができる。それに加えて、透視角の傾斜を行なったと
きでもＸ線焦点Ｆを被検体４に近づけることができ、拡
大率が大きく取れる利点がある（ただしＸ線管はＸ線放
射角が広い型を用いないと傾斜角が十分取れない）。

【００８９】また、Ｘ線焦点とテーブル表面間の距離Ｄ
ｓを簡単にまた正確に較正することができる。

【００９０】（第２の実施の形態の変形形態）本第２の
実施の形態においても、前述した第１の実施の形態の場
合と同様に、相対ずれのみを測定する場合は、旋回視野
ずれ較正および拡大率視野ずれ較正のいずれにおいて
も、注目点を回転中心と合わせる工程は必須ではない。
また、ｘｙ移動の代わりにＸＹ移動を用いてもよいし、
さらには、注目点は視野中央でなく画面上任意の一定の
点に合わせればよい。

【００９１】また、Ｘ線焦点位置較正もｘｙ移動の代わ
りにＸＹ移動を用いても同様に較正することができる。

【００９２】さらに、旋回軸１１がｙ軸から傾いていて
も視野ずれ補正と較正が可能である。

【００９３】［第３の実施の形態］ （第３の実施の形態の構成）第３の実施の形態の構成
は、図１に示した第１の実施の形態におけるＸ線透視検
査装置からｘｙスライド機構８を除いた構成であり、そ
の他の構成は前述した第１の実施の形態と同様である。

【００９４】（第３の実施の形態の作用）操作者は、第
１の実施の形態と同様に被検体４をテーブル５に載置
し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位置ｄ
を入力し、Ｘ線をＯＮし、ＸＹ移動で注目位置を透過像
視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更することで透過
像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角度を傾斜
させ、回転させて傾斜方位を変更する。

【００９５】〈回転・旋回視野ずれ補正〉図７を参照し
て、回転および旋回視野ずれ補正を説明する。図７ａは
正面図、図７ｂは平面図で、図２と同一記号を用いてい
る。

【００９６】データ処理部１６は、回転および旋回につ
れて、自動的に移動させるＸ、Ｙを次のように計算す
る。

【００９７】 η＝ｘ０−ｘ００ …（３４） ΔＬ＝（δ−ｄ）・ｔａｎθ＋η・（１／ｃｏｓθ−１） …（３５） Ｘ＝（ｘ０＋ΔＬ）・ｃｏｓφ＋ｙ０・ｓｉｎφ …（３６） Ｙ＝−（ｘ０＋ΔＬ）・ｓｉｎφ＋ｙ０・ｃｏｓφ …（３７） 各式中、前述したように、ｄは操作者の入力した値、θ
は旋回角、φは回転角、δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０は較正
量である。図７を参照して、各値をさらに説明すると、
ｄはテーブル５の上面と被検体４の注目面１８との距
離、θは垂直からの旋回角、δはテーブル面基準の旋回
軸１１の高さ、ηは中心線１９のθ＝０°のときの旋回
軸からのずれ、ｘ０、ｙ０は視野中心Ａのｘｙ座標（回
転中心Ｃ基準）である。ｘ００は旋回軸１１のｘ座票
（＝ｘ０−η）である。

【００９８】データ処理部１６は、この計算値Ｘ、Ｙを
操作者が手動操作したＸ、Ｙに加算してＸＹスライド機
構６を制御する。これにより、操作者が望む注目位置を
透過視野に入れるとともに、回転、旋回を行なっても視
野からずれないようにすることができる。

【００９９】〈回転・旋回視野ずれ較正〉さらに、図７
を参照して、回転および旋回視野ずれ較正を説明する。

【０１００】この較正は、実使用に先立って較正量δ、
ｘ００、ｘ０、ｙ０を求める操作である。操作者は、ま
ず、被検体４をテーブル５に載置し、データ処理部１６
に披検体４の注目面１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚ
ｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ０、ｚｄ０に、および回転角φ
を約０°に設定する。

【０１０１】次に、少なくとも３つの旋回角（例えば基
準旋回角（θ＝０゜）、最大旋回角（ｍａｘ角）、およ
び中間角）において、それぞれ注目点が透過像画面の一
定位置にくるようにＸＹを移動させ、このときのＸＹ読
値を読み込ませる。

【０１０２】データ処理部１６は、読値、Ｘ０、Ｙ０、
θ１、Ｘ１、Ｙ１、θ２、Ｘ２、Ｙ２、および入力値ｄ
を用いて次式によってδ、ηを計算する（導出省略）。

【０１０３】 ΔＬ１＝√（（Ｘ１−Ｘ０）＾２＋（Ｙ１−Ｙ０）＾２）・（Ｘ１−Ｘ０）／ａ ｂｓ（Ｘ１−Ｘ０） …（３８） ΔＬ２＝√（（Ｘ２−Ｘ０）＾２＋（Ｙ２−Ｙ０）＾２）・（Ｘ２−Ｘ０）／ａ ｂｓ（Ｘ２−Ｘ０） …（３９） ａ１＝ｔａｎθ１ …（４０） ｂ１＝１／ｃｏｓθ１−１ …（４１） ｃ１＝ΔＬ１ …（４２） ａ２＝ｔａｎθ２ …（４３） ｂ２＝１／ｃｏｓθ２−１ …（４４） ｃ２＝ΔＬ２ …（４５） η＝（ｃ１・ａ２−ｃ２・ａ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（４６） δ＝ｄ＋（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（４ ７） 次に、データ処理部１６は、予め求めて入力されている
ｘ０、ｙ０を使って、下記式（４８）によりｘ００を求
め、δ、ｘ００とｘ０、ｙ０を較正量として記憶し、実
使用時の視野ずれ補正計算を行なう。

【０１０４】ｘ００＝ｘ０−η …（４８） なお、ｘ０、ｙ０の較正は、次のようにして行うことが
できる。

【０１０５】まず、操作者は、旋回角度を基準旋回角度
（θ＝０°）に、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置ｚｓ
０、ｚｄ０に固定し、被検体４の注目点が回転中心にく
るよう回転させながらＸＹ移動させ、透過像上の注目点
の中心からのずれと透視拡大率から標準ｚｓ、ｚｄでの
ｘ０、ｙ０を求めることで、ｘ０、ｙ０の較正が行われ
る。

【０１０６】〈拡大率視野ずれ較正〉次に、図３および
７を参照して拡大率視野ずれ較正を説明する。これは昇
降位置ｚｓ、ｚｄを移動させたときの視野ずれ較正であ
る。

【０１０７】本実施の形態においても、前述した第１の
実施の形態の場合と同様に、旋回角θ＝０°、回転角φ
＝０°において、昇降位置ｚｓ、ｚｄの組み合わせを変
えながら、注目点が表示されている透過像画面の一定位
置にくるように、ＸＹを移動させ、このときのＸＹ読値
を読み込ませて、データ処理部１６によりＸＹ読値を
（標準ｚｓ、ｚｄからの差を標準ｘ０、ｙ０に加算し
て）ｘｙ値に変換し、この組み合わせ、ｘ０（ｚｓ，ｚ
ｄ）、ｙ０（ｚｓ，ｚｄ）を較正量として記憶する。

【０１０８】〈拡大率視野ずれ補正〉次に、拡大率視野
ずれ補正について説明する。拡大率視野ずれ補正は、前
述の第１の実施の形態の場合と同様に、昇降位置ｚｓ、
ｚｄが変化するごとに較正量から補間計算で昇降位置ｚ
ｓ、ｚｄに対応するｘ０’、ｙ０’を計算することで行
なわれる。実使用時にｘ０、ｙ０の代わりにこのｘ
０’、ｙ０’を用いれば拡大率変更による視野ずれが補
正できる（計算は前出の式（１６）、（１７）、（１
８）と同様である）。

【０１０９】（第３の実施の形態の効果）第３の実施の
形態においては、第１の実施の形態と同じ効果を上げる
ことができるとともに、さらに、ｘｙスライド機構を省
略できる利点がある。

【０１１０】［第４の実施の形態］ （第４の実施の形態の構成）第４の実施の形態の構成
は、前述した第２の実施の形態によるＸ線透視検査装置
からｘｙスライド機構８を除いた構成である。その他の
構成は第２の実施の形態と同様である。

【０１１１】（第４の実施の形態の作用）まず、操作者
は、第１の実施の形態と同様に被検体４をテーブル５に
載置し、データ処理部１６に被検体４の注目面１８の位
置ｄを入力し、Ｘ線をＯＮし、ＸＹ移動で注目位置を透
過像視野にいれ、昇降位置ｚｓ、ｚｄを変更することで
透過像の拡大率を変更し、旋回させることで透視角度を
傾斜させ、回転させて傾斜方位を変更する。

【０１１２】〈回転・旋回視野ずれ補正〉図８を参照し
て、回転および旋回視野ずれ補正を説明する。図８ａは
正面図、図８ｂは平面図で、図５と同一記号を用いてい
る。

【０１１３】データ処理部１６は、旋回につれて、自動
的に移動させるＸ、Ｙを前出の式（３４）ないし（３
７）を用いて計算するが、このうち式（３５）のみ次式
（３５’）を用いる（導出省略）。

【０１１４】 ΔＬ＝−（Ｄｓ＋ｄ）・（（Ｄｄ−δ）・ｓｉｎθ＋η・（１−ｃｏｓθ））／ （Ｄｓ＋（Ｄｄ−δ）・ｃｏｓθ＋η・ｓｉｎθ＋δ） …（３５’） なお、式中、前述したように、ｄは操作者の入力した
値、θは旋回角、φは回転角：δ、ｘ００、ｘ０、ｙ０
は較正量である。

【０１１５】さらに図８を参照して、ＤｓはＸ線焦点と
テーブル表面の距離、Ｄｄはθ＝０°のときのテーブル
表面と検出器の検出面間の距離である。Ｄｓ、Ｄｄは一
度較正しておけば、データ処理部１６は昇降位置ｚｓ、
ｚｄの送り量から認知でき、この値を計算に用いる。

【０１１６】データ処理部１６は、この計算値Ｘ、Ｙを
操作者が手動操作したＸ、Ｙに加算してＸＹスライド機
構６を制御する。これにより、操作者が望む注目位置を
透過像視野にいれるとともに回転、旋回しても視野から
ずれないようにできる。

【０１１７】〈回転・旋回視野ずれ較正〉次に、回転・
旋回視野ずれ較正は、実使用に先立って較正量δ、ｘ０
０、ｘ０、ｙ０を求める操作である。操作者は、前述し
た第３の実施の形態の場合と同様に、被検体４の注目面
１８の位置ｄを入力し、昇降位置ｚｓ、ｚｄを標準位置
ｚｓ０、ｚｄ０に、および回転角φを約０°に設定し、
次に、少なくとも３つの旋回角（例えば基準旋回角（θ
＝０゜）、最大旋回角（ｍａｘ角）、および中間角）に
おいて、それぞれ注目点が透過像画面の一定位置にくる
ようにＸＹを移動させ、このときのＸＹ読値を読み込ま
せる。

【０１１８】データ処理部１６は、読値、Ｘ０、Ｙ０、
θ１、Ｘ１、Ｙ１、θ２、Ｘ２、Ｙ２、および入力値ｄ
を用いて、δ、ηを前出の式（３８）ないし（４７）の
うち、式（３８）、（３９）、（４６）を共通に用い
て、他の式の代わりに、以下の式を用いて計算する（導
出省略）。

【０１１９】 ａ１＝−ｓｉｎθ１＋（１−ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（４０’ ） ｂ１＝１−ｃｏｓθ１＋ｓｉｎθ１・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ） …（４１’） ｃ１＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ１−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ１）・ΔＬ１／（Ｄｓ＋ｄ ） …（４２’） ａ２＝−ｓｉｎθ２＋（１−ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（４３’ ） ｂ２＝１−ｃｏｓθ２＋ｓｉｎθ２・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ） …（４４’） ｃ２＝−Ｄｄ・ｓｉｎθ２−（Ｄｓ＋Ｄｄ・ｃｏｓθ２）・ΔＬ２／（Ｄｓ＋ｄ ） …（４５’） δ＝（−ｃ１・ｂ２＋ｃ２・ｂ１）／（ｂ１・ａ２−ｂ２・ａ１） …（４７’ ） 次に、データ処理部１６は、同様に予め求めて入力され
ているｘ０、ｙ０を使って前出の式（４８）によりｘ０
０を求め、δ、ｘ００とｘ０、ｙ０を較正量として記憶
し、実使用時の視野ずれ補正計算を行なう。

【０１２０】なお、本実施の形態においては、拡大率視
野ずれ較正および拡大率視野ずれ補正は、前述した第３
の実施の形態の場合と同様に行なわれる。また、Ｘ線焦
点位置較正は、前述した第２の実施の形態の場合と同様
に行なわれる。

【０１２１】（第４の実施の形態の効果）第４の実施の
形態においては、前述した第２の実施の形態と同じ効果
を上げることができるとともに、さらに、ｘｙスライド
機構８を省略できる利点がある。

【０１２２】以上本発明を適用した実施の形態を説明し
たが、各実施の形態で使用したパラメータ定義や数式表
現は、色々可能であり発明を限定するものではない。し
たがって、当業者により本発明の技術思想の範囲内にお
いて、様々に変形可能である。

【０１２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検体を透視する際に、旋回や回転により傾斜角を変更
し、あるいはＸ線源やＸ線検出器と被検体との距離を変
えることにより拡大率を変更しても、被検体の注目個所
が透過像視野からずれることのないＸ線透視検査装置を
提供することができる。また、本発明によれば、このよ
うなＸ線透視検査装置において、その較正を簡単に、か
つ正確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態におけるＸ線透視検査装置の
概略構成を示す図面である。

【図２】第１の実施の形態における旋回視野ずれ補正お
よび較正を説明するための図面である。

【図３】拡大率視野ずれ補正および較正を説明するため
の図面である。

【図４】旋回軸が傾いている場合の拡大率視野ずれ補正
および較正を説明するための図面である。

【図５】第２の実施の形態における旋回視野ずれ補正お
よび較正を説明するための図面である。

【図６】第２の実施の形態におけるＸ線焦点位置の較正
を説明するための図面である。

【図７】第３の実施の形態における回転および旋回の視
野ずれ補正、および較正を説明するための図面である。

【図８】第４の実施の形態における回転および旋回の視
野ずれ補正、および較正を説明するための図面である。

【図９】従来のＸ線透視検査装置を示す概略構成を示す
図面である。

【符号の説明】

１ Ｘ線管 ２ 検出器 ３ Ｘ線ビーム ４ 被検体 ５ テーブル ６ ＸＹスライド機構 ７ 回転機構 ８ ｘｙスライド機構 ９ 旋回アーム １１ 旋回軸 １４ Ｘ線制御部 １５ 機構制御部 １６ データ処理部 １７ 表示部 １８ 注目面 １９ 中心線

フロントページの続き (72)発明者 富沢 英行 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 宇山 喜一郎 東京都府中市晴見町２丁目24番地の１ 東 芝エフエーシステムエンジニアリング株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 FA08 GA05 GA13 HA13 JA01 JA06 JA07 JA11 JA20 LA11 PA11

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線源と、 前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出するＸ線検出器と、 被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めするテーブルと、 前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の透過
   像を表示する表示部と、 前記テーブルをテーブル面に沿って移動させる第１のス
   ライド機構と、 前記テーブルをテーブル面に沿って回転させる回転機構
   と、 前記回転の軸を前記テーブル面に沿って移動させる第２
   のスライド機構と、 前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前
   記Ｘ線検出器を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回さ
   せる旋回機構と、 前記旋回にともなって前記被検体上の注目位置が、この
   注目位置を設定するためのデータと予め求められている
   較正量とに基づいて、前記透過像視野からはずれないよ
   うに前記第２のスライド機構によって前記テーブルを移
   動させる視野ずれ補正手段と、を有することを特徴とす
   るＸ線透視検査装置。
2. 【請求項２】 Ｘ線源と、 前記Ｘ線源からのＸ線ビームを検出するＸ線検出器と、 被検体を前記Ｘ線ビーム内に位置決めするテーブルと、 前記テーブルをテーブル面に沿って移動させる第１のス
   ライド機構と、 前記テーブルをテーブル面に沿って回転させる回転機構
   と、 前記Ｘ線源および前記Ｘ線検出器のうち、少なくとも前
   記Ｘ線検出器を前記テーブル面に沿った軸に対し旋回さ
   せる旋回機構と、 前記Ｘ線検出器で得られたデータから前記被検体の透過
   像を表示する表示部と、 前記回転と前記旋回にともなって前記被検体の注目位置
   が、この注目位置を設定するためのデータと予め求めら
   れている較正量とに基づいて、透過像視野からはずれな
   いように前記第１のスライド機構により前記テーブルを
   スライド移動させる視野ずれ補正手段と、を有すること
   を特徴とするＸ線透視検査装置。
3. 【請求項３】 前記旋回機構は、前記Ｘ線源および前記
   Ｘ線検出器の両方を一体的に旋回させることを特徴とす
   る請求項１または２記載のＸ線透視検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載のＸ線
   透視検査装置において、前記較正量は、少なくとも３つ
   の旋回角において、被検体の注目点が透過像画面上の同
   一位置にくるように第１のスライド機構または第２のス
   ライド機構を移動させて、旋回角とそのときのスライド
   機構の移動量と当該被検体の注目点を設定するためのデ
   ータとに基づいて旋回軸の位置較正量として得られるこ
   とを特徴とするＸ線透視検査装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載のＸ線
   透視検査装置において、 前記Ｘ線源を前記被検体に接近離反させる第１の昇降機
   構と、 前記Ｘ線検出器を前記被検体に接近離反させる第２の昇
   降機構と、 予め記憶された第１および第２の昇降機構による接近離
   反の位置の複数の組み合わせに対する透過像の視野のず
   れ量をもとに、該第１および第２の昇降機構による接近
   離反の位置から視野のずれ量を計算し、前記被検体の注
   目位置が視野からずれないように、前記テーブルを前記
   スライド機構によりスライド移動させる拡大率視野ずれ
   補正手段と、を有することを特徴とするＸ線透視検査装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１，２，４，５のいずれかに記載
   のＸ線透視検査装置において、 前記較正量は、被検体のテーブル面から距離の異なる２
   つの注目点について、Ｘ線検出器のみを旋回させたとき
   の２つの角度において、それぞれ該２つの注目点が表示
   されている透過像画面の同一位置にくるように前記スラ
   イド機構をスライド移動させたときの移動量と当該注目
   点を設定するためのデータとに基づいてＸ線源の位置較
   正量として得られることを特徴とするＸ線透視検査装
   置。