JPH10239253A - 透視像撮像方法及び装置並びに物体検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 内部形状が複雑である物体に対してもＸ線に
よる明瞭な透視像を得て、その透視像に基づき、物体内
部の正常，異常を判断するＸ線検査装置を提供する。 【解決手段】 物体Ｓを載置台（ＸＹテーブル）３に載
置し、物体Ｓを間にして対向する位置にＸ線を出射する
Ｘ線源１とＸ線を検知するＸ線検知器２とを配置し、物
体Ｓを中心にしてＸ線源１及びＸ線検知器２を正反対の
方向に位置させた態様で、移動手段５により、物体Ｓの
近傍を頂点位置とするそれぞれの円錐領域内でＸ線源１
及びＸ線検知器２を一体的に移動させながら、Ｘ線源１
からＸ線を物体Ｓに投射し、物体Ｓを透過したＸ線をＸ
線検知器２にて検知して物体Ｓの透視像をモニタ装置９
に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物体にＸ線を投射
して物体を透過したＸ線を検知し、物体の透視像を得る
透視像撮像方法及び装置、並びに、得られた物体の透視
像に基づいて物体の検査を行う物体検査方法及び装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】Ｘ線は物体を透過する性質が強いので、
物体にＸ線を投射し、その物体を透過したＸ線を検知し
て透視像を得、物体内部の状態を透視画像として観察す
ることが、物体の検査工程でなされている。特に、製造
されたＩＣ製品の検査工程におけるボンディング，ワイ
ヤ形状、または表面実装基板の部品位置ずれ，多層基板
の内層パターン位置ずれ等のような項目を検査する場
合、表面及び内部の状態を鮮明に把握できるので、この
ようなＸ線の透視像による検査が広く行われている。

【０００３】従来から、一般的なＸ線の透視像による物
体の検査は次のようにして行われている。検査台に検査
対象である物体（例えば、表面実装基板）を載置し、検
査台の上下位置にＸ線を出射するＸ線源とＸ線を検知す
るＸ線検知器とを配置する。そして、Ｘ線源から物体に
Ｘ線を投射し、物体を透過したＸ線を検知して物体内部
の画像データを得、その画像データに応じた画像をモニ
タ用のテレビジョンに表示して物体の内部状態を観察し
て異常があるか否かを検査する。

【０００４】この場合、Ｘ線源またはＸ線検知器を上下
方向に移動させ、得られる透視像の拡大倍率を調整す
る。即ち、Ｘ線源を検査台に近づけるかまたはＸ線検知
器を検査台から遠ざけることによって拡大倍率を上げ、
Ｘ線源を検査台から遠ざけるかまたはＸ線検知器を検査
台に近づけることによって拡大倍率を下げる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
Ｘ線透視像を用いた検査方法では、種々の拡大倍率の透
視像を得ることができて、内部形状が単純な物体につい
てはその内部異常を検査することが可能である。しかし
ながら、近年のＩＣ製品の製造では基板への実装技術が
進歩し、基板上に何層にもわたって導電層，絶縁層が形
成され、ワイヤ線も複雑に絡み合った素子が作製されて
おり、このような表面実装基板のように内部形状が複雑
である物体に対しては、従来のＸ線透視像を用いた検査
方法では、一方向からの透視像しか得られないので、明
瞭な内部形状を確認できず、誤った検査結果を得てしま
うという問題がある。

【０００６】また、Ｘ線を利用して物体の高さ方向の異
なる断面の画像を得る断層撮影法も知られている。しか
しながら、この方法は、Ｘ線検知器を物体に水平な面内
で回転させる必要があり、３次元の形状を正確に把握す
ることが不充分であるという問題がある。

【０００７】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、物体に対して任意の方向からの２次元，３次元
の多様で明瞭な透視像を得ることができる透視像撮像方
法及び装置を提供することを目的とする。

【０００８】本発明の他の目的は、内部構造が複雑であ
る物体についてもその内部異常の有無を検査できる物体
検査方法及び装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る透視像撮
像方法は、Ｘ線を用いて物体の透視像を撮像する方法に
おいて、前記物体を間にしてＸ線を出射するＸ線源及び
Ｘ線を検知するＸ線検知器を配置し、前記物体の近傍を
頂点位置とする円錐領域内で前記Ｘ線源を移動させなが
ら、前記Ｘ線源からＸ線を前記物体に投射し、前記物体
を透過したＸ線を前記Ｘ線検知器にて検知して前記物体
の透視像を得ることを特徴とする。

【００１０】請求項２に係る透視像撮像方法は、Ｘ線を
用いて物体の透視像を撮像する方法において、前記物体
を間にして対向する位置にＸ線を出射するＸ線源及びＸ
線を検知するＸ線検知器を配置し、前記物体の近傍を頂
点位置とするそれぞれの円錐領域内で前記Ｘ線源及びＸ
線検知器を一体的に移動させながら、前記Ｘ線源からＸ
線を前記物体に投射し、前記物体を透過したＸ線を前記
Ｘ線検知器にて検知して前記物体の透視像を得ることを
特徴とする。

【００１１】請求項３に係る透視像撮像方法は、請求項
２において、前記Ｘ線源及びＸ線検知器を前記物体に接
離する方向に移動することにより、得られる透視像の拡
大倍率を制御することを特徴とする。

【００１２】請求項４に係る透視像撮像装置は、Ｘ線を
用いて物体の透視像を撮像する装置において、前記物体
へＸ線を投射するＸ線源と、前記物体を間にして前記Ｘ
線源と対向する位置に設けられ、前記物体を透過したＸ
線を検知するＸ線検知器と、前記物体の近傍を頂点位置
とする円錐領域内で前記Ｘ線源を移動させる移動手段と
を備えることを特徴とする。

【００１３】請求項５に係る透視像撮像装置は、Ｘ線を
用いて物体の透視像を撮像する装置において、前記物体
を載置する載置台と、前記物体へＸ線を投射するＸ線源
と、前記物体を間にして前記Ｘ線源と対向する位置に設
けられ、前記物体を透過したＸ線を検知するＸ線検知器
と、前記物体の近傍を頂点位置とするそれぞれの円錐領
域内で前記Ｘ線源及びＸ線検知器を一体的に移動させる
移動手段とを備えることを特徴とする。

【００１４】請求項６に係る透視像撮像装置は、請求項
５において、前記移動手段は、前記Ｘ線源及びＸ線検知
器が前記物体に接離する方向への前記Ｘ線源及びＸ線検
知器の移動を制御する第１制御部と、前記方向に垂直な
第１平面上における前記Ｘ線源及びＸ線検知器の移動を
制御する第２制御部とを有することを特徴とする。

【００１５】請求項７に係る透視像撮像装置は、請求項
６において、前記第２制御部は、前記第１平面に垂直で
ある第２平面内で所定角度内で揺動する第１揺動部と、
前記第１及び第２平面に垂直である第３平面内で所定角
度内で揺動する第２揺動部とを有することを特徴とす
る。

【００１６】請求項８に係る透視像撮像装置は、請求項
５〜７の何れかにおいて、前記載置台を２次元に移動さ
せる載置台移動手段を更に備えることを特徴とする。

【００１７】請求項９に係る物体検査方法は、Ｘ線によ
る透視像に基づいて物体を検査する方法において、前記
物体を間にして対向する位置にＸ線を出射するＸ線源及
びＸ線を検知するＸ線検知器を配置し、前記物体の近傍
を頂点位置とするそれぞれの円錐領域内で前記Ｘ線源及
びＸ線検知器を一体的に移動させながら、前記Ｘ線源か
らＸ線を前記物体に投射し、前記物体を透視されたＸ線
を前記Ｘ線検知器にて検知して前記物体の検査用の透視
像を得ることを特徴とする。

【００１８】請求項10に係る物体検査装置は、Ｘ線によ
る透視像に基づいて物体を検査する装置において、前記
物体を載置する載置台と、前記物体へＸ線を投射するＸ
線源と、前記物体を間にして前記Ｘ線源と対向する位置
に設けられ、前記物体を透過したＸ線を検知するＸ線検
知器と、前記物体の近傍を頂点位置とするそれぞれの円
錐領域内で前記Ｘ線源及びＸ線検知器を一体的に移動さ
せる移動手段と、該移動手段にて前記Ｘ線源及びＸ線検
知器を移動させながら、前記Ｘ線源からの前記物体を透
過したＸ線を前記Ｘ線検知器で検知して得た前記物体の
透視像を表示する表示手段とを備えることを特徴とす
る。

【００１９】請求項11に係る物体検査装置は、請求項10
において、前記移動手段は、前記Ｘ線源及びＸ線検知器
が前記物体に接離する方向への前記Ｘ線源及びＸ線検知
器の移動を制御する第１制御部と、前記方向に垂直な平
面上における前記Ｘ線源及びＸ線検知器の移動を制御す
る第２制御部とを有することを特徴とする。

【００２０】請求項12に係る物体検査装置は、請求項11
において、前記第２制御部は、前記第１平面に垂直であ
る第２平面内で所定角度内で揺動する第１揺動部と、前
記第１及び第２平面に垂直である第３平面内で所定角度
内で揺動する第２揺動部とを有することを特徴とする。

【００２１】請求項13に係る物体検査装置は、請求項10
〜12の何れかにおいて、前記載置台を２次元に移動させ
る載置台移動手段を更に備えることを特徴とする。

【００２２】本発明のＸ線による透視像撮像方法・装置
では、物体を載置する載置台を間にして対向する位置
に、Ｘ線を放射するＸ線源とＸ線を検知するＸ線検知器
とを配置し、Ｘ線源は物体の近傍を頂点とする載置台の
一方の側の円錐領域内を、Ｘ線検知器は物体の近傍を頂
点とする載置台の他方の側の円錐領域内を、物体を間に
してＸ線源とＸ線検知器とが正反対方向の位置になるよ
うに、両方を連動して移動させる。そして、移動させな
がら、Ｘ線源からＸ線を物体に投射し、物体を透過した
Ｘ線をＸ線検知器にて検知して物体の透過像を得る。よ
って、様々な角度からＸ線を物体に投射することができ
て、任意の方向から見た物体の３次元による透視像を得
ることが可能である。また、Ｘ線源及びＸ線検知器を載
置台への接離方向へ移動させることにより、透視像の拡
大倍率を調整でき、任意の拡大倍率の透視像を得ること
ができる。

【００２３】本発明の物体検査方法・装置では、上述し
たように、Ｘ線源及びＸ線検知器をそれぞれの円錐領域
内で回転させながら、載置台上の物体の透視像を得、そ
の透視像に基づいて、物体の内部状態の正常・異常を検
査する。３次元による内部の多様な透視像を観察するこ
とができるので、内部形状が複雑な物体であっても明確
に内部状態の正常・異常を検査できる。

【００２４】更に、本発明では物体を載置する載置台を
２次元方向に移動可能なＸＹテーブルとするので、Ｘ線
投射位置に合わせて載置台を移動させることにより、物
体に対するＸ線走査を容易に行える。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明をその実施の形態を
示す図面を参照して具体的に説明する。

【００２６】図１は、本発明による物体に対する検査の
実施状態を示す模式図である。図１において３は、検査
対象である表面実装基板等の物体Ｓを載置するための水
平な載置面を有する載置台である。なお、図１におい
て、載置台３の載置面に垂直な方向をＺ方向とし、この
Ｚ方向に垂直な２方向をＸ方向，Ｙ方向とする。載置台
３は、Ｘ線を透過するＸＹテーブルであり、その下方に
設けた駆動手段４によってＸ方向，Ｙ方向への移動が可
能となっている。このように載置台３の下方に駆動手段
４を設けることにより、実装基板のように面積が大きい
物体Ｓでもその検査に支障が生じない。

【００２７】載置台３の上方には、Ｘ線を出射するＸ線
源１が設けられ、Ｘ線源１から載置台３上の物体ＳにＸ
線が投射されるようになっている。Ｘ線源１は、焦点寸
法が短い（８μｍ程度）マイクロフォーカスＸ線源（出
射角度：40度程度）であり、微小焦点を実現することに
より、撮像された透視像を拡大しても鮮明な画像が得ら
れるようにしている。

【００２８】また、載置台３の下方には、物体Ｓを透過
したＸ線を検知するＸ線検知器２が設けられており、物
体Ｓを透過したＸ線が検知されるようになっている。Ｘ
線検知器２は、検知したＸ線に応じた画像データを画質
改善回路７へ出力する。

【００２９】画質改善回路７は、入力画像を積分して画
質を改善し、改善した画像データを画像メモリ８及びモ
ニタ装置９へ出力する。モニタ装置９は、入力された画
像データに応じて物体Ｓの内部画像を表示する。画像メ
モリ８は、入力された画像データを格納し、必要に応じ
て格納した画像データを画像計測装置10及びプリンタ装
置11へ出力する。画像計測装置10は物体Ｓの内部画像に
おける種々の値（２点間の距離，面積，角度等）を計測
し、計測結果をプリンタ装置11へ出力する。プリンタ装
置11は、画像メモリ８からの画像データに応じた画像、
及び／または、画像計測装置10からの計測結果を印刷す
る。

【００３０】Ｘ線源１及びＸ線検知器２は同一の移動手
段５に連結されており、移動手段５の動きに合わせて、
Ｘ線源１及びＸ線検知器２が一体的に連動して移動す
る。Ｘ線源１の移動範囲は、物体Ｓの位置を頂点とする
上側の円錐領域（中心軸がＺ方向：頂角が60度）内であ
って、一方、Ｘ線検知器２の移動範囲は、物体Ｓの位置
を頂点とする下側の円錐領域（中心軸がＺ方向：頂角が
60度）内である。

【００３１】Ｘ線源１，Ｘ線検知器２はそれぞれ上側，
下側の円錐領域内を移動するが、その移動は一体的であ
り、Ｘ線源１及びＸ線検知器２の相対位置関係は常に一
定である。即ち、物体Ｓの位置を中心としてＸ線源１と
Ｘ線検知器２とが必ず正反対の方向に位置している。例
えば、図１において、Ｘ線源１が位置Ｍ１にいる場合に
Ｘ線検知器２はＳ１に位置しており、Ｘ線源１が位置Ｍ
２に移動するとそれに応じてＸ線検知器２はＳ２まで移
動する。よって、Ｘ線源１及びＸ線検知器２の回転中、
Ｘ線源１からのＸ線の出射方向，物体Ｓの位置，Ｘ線検
知器２へのＸ線の入射方向が一直線状になり、Ｘ線源１
から出射されたＸ線が物体Ｓを透過して確実にＸ線検知
器２に入射されるようになっている。

【００３２】なお、移動手段５は、移動プログラムを格
納したＣＰＵ６からの制御によってそのＸＹ方向の動作
が制御され、ジョイスティク等の操作入力部12からの操
作入力によってそのＺ方向の動作が制御されるようにな
っている。

【００３３】次に、上述したＸ線源１及びＸ線検知器２
をそれぞれの円錐領域内で任意に移動させるための機
構、つまり移動手段５の詳細な構成について説明する。

【００３４】図２は、Ｘ線源１及びＸ線検知器２の移動
機構（移動手段５）を示す斜視図、図３は、この移動機
構の機体への取付け状態を示す斜視図であり、図１と同
一部分には同一番号を付している。また、３次元のＸ
軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向は図示した通りである。

【００３５】図３において、41は直方体状の枠体を構成
するフレームである。フレーム41の下側でＹ軸方向に長
尺の第１，第２フレーム41a, 41b間にはＸ軸方向にモー
タ台42が設けられ、モータ台42には留め具43，43が固設
されている。そして、留め具43，43に後述する第２サー
ボモータ31を挟み込んでピン44を通すことにより、第２
サーボモータ31が、モータ台42つまりフレーム41（機
体）に固定される。また、フレーム41の上側でＹ軸方向
に長尺の第３，第４フレーム41c, 41dには孔が形成され
ており、それらの孔に先端部が中空のピン45，46を通し
て後述する揺動アーム30の先端の突起部30a, 30bに嵌合
させることにより、揺動アーム30の先端がフレーム41
（機体）に支持される。

【００３６】次に、図２を参照して、移動手段５の詳細
について説明する。Ｘ線源１はパイプ22を介してＺ方向
に立設されたプレート21の上端部に連結され、Ｘ線検知
器２はパイプ23を介してプレート21の下端部に連結され
ている。図４は、プレート21の近傍を示す、Ｘ方向から
見た側視部分破断図である。プレート21のＹ方向の奥の
位置には、Ｚ方向に延びる出力軸24を有する第１サーボ
モータ25が設けられている。出力軸24には、その周面に
はネジが切られたＺ方向に長尺のねじ棒26が連結してい
る。ねじ棒26のネジに螺合して中空軸27が設けられ、中
空軸27とプレート21とは取付け板28を介してピン止めさ
れている。中空軸27のＹ方向の奥の位置には、Ｚ軸ブラ
ケット29が配設されており、中空軸27の突起片27a がＺ
軸ブラケット29のＺ方向に延びた溝29a に入り込んでい
る。

【００３７】このような構成により、第１サーボモータ
25を駆動すると出力軸24に連なるねじ棒26が回転し、そ
の回転によってねじ棒26に螺合する中空軸27がＺ方向に
移動し、中空軸27に連結したプレート21もＺ方向に移動
する。よって、このようなプレート21の移動に伴ってこ
れに連結するＸ線源１及びＸ線検知器２もＺ方向に移動
する。このようにして、第１サーボモータ25の駆動に応
じて、Ｘ線源１及びＸ線検知器２のＺ方向の移動（上下
動）が制御される。なおこの際、中空軸27の突起片27a
はＺ軸ブラケット29のＺ方向に延びた溝29a 内を移動す
るだけであり、第１サーボモータ25の駆動によってＺ軸
ブラケット29はＺ方向に移動しない。このようにする第
１サーボモータ25の駆動制御により、Ｘ線源１及びＸ線
検知器２を連動させながらＺ方向の任意の位置に設定で
きる。なお、第１サーボモータ25の駆動制御は操作入力
部12にて行われる。

【００３８】また、30は平面視コ字状の揺動アームであ
り、揺動アーム30の平行な２つの辺部の一方の辺部の中
央には、第２サーボモータ31のＺ方向に延びる出力軸32
がピン止めされている。第２サーボモータ31は、前述し
たように機体（フレーム41）に固定されており、その固
定位置が固定支点となっている。また、揺動アーム30の
平行な２つの辺部の各端は、前述したように回転可能に
機体（フレーム41）に支えられている。更に、揺動アー
ム30は、その平行でない辺部の中央において、Ｚ軸ブラ
ケット29にブシュ33にて連結されている。

【００３９】このような構成により、第２サーボモータ
31を駆動すると出力軸32がＺ方向に移動し、その移動に
伴って揺動アーム30が、２つの辺部の各端を支点として
ＹＺ平面内で所定の角度範囲で揺動する。この際、揺動
アーム30に連結されたＺ軸ブラケット29も揺動し、これ
に応じてプレート21，Ｘ線源１及びＸ線検知器２が一体
的に揺動する。Ｘ線源１におけるＹ方向の最大揺動点を
Ｙ１，Ｙ２で図２に示す。

【００４０】揺動アーム17の平行な２つの辺部の一方の
辺部と平行でない辺部との境界部には、Ｕ字状のアーム
34が延設されている。アーム34には第３サーボモータ35
が取付けられており、その取付け位置が遊動支点となっ
ている。また、第３サーボモータ35のＸ方向に延びる出
力軸36が、Ｚ軸ブラケット29に連結されている。

【００４１】このような構成により、第３サーボモータ
35を駆動すると出力軸36がＸ方向に移動し、その移動に
伴ってＺ軸ブラケット29が、揺動アーム17との連結点
（ブシュ33）を支点として、ＸＺ平面内で所定の角度範
囲で揺動する。これに応じてプレート21，Ｘ線源１及び
Ｘ線検知器２も一体的に揺動する。Ｘ線源１におけるＸ
方向の最大揺動点をＸ１，Ｘ２で図２に示す。

【００４２】以上のような揺動アーム30の揺動とＺ軸ブ
ラケット29の揺動とを組み合わせることにより、ＸＹ平
面の任意の位置にＸ線源１及びＸ線検知器２を設定する
ことができる。図５はこの位置制御の関係を示す図であ
る。図５（ａ）は揺動アーム30の揺動に伴うＹ方向の揺
動角の変化を示し、図５（ｂ）はＺ軸ブラケット29の揺
動に伴うＸ方向の揺動角の変化を示し、図５（ｃ）は両
方の揺動角の変化を組み合わせたＸＹ平面上の位置の変
化を示している。それぞれの揺動角の変化を基準位置か
ら一方向へ30度とした場合に、図５（ｃ）にも示されて
いるように、ＸＹ平面内で90度分の位置制御を行ってい
る。よって、それぞれの揺動角の範囲を60度に設定すれ
ば、ＸＹ平面上の任意の座標への位置制御を行うことが
できる。

【００４３】従って、第２サーボモータ31，第３サーボ
モータ35の駆動制御により、Ｘ線源１及びＸ線検知器２
をＸＹ方向の任意の位置関係に設定できる。なお、第２
サーボモータ31及び第３サーボモータ35の駆動制御はＣ
ＰＵ６にて行われる。そして、このような位置制御に前
述した第１サーボモータ25による位置制御を加えること
により、前述した円錐領域内の任意の位置関係にＸ線源
１及びＸ線検知器２を設定できる。

【００４４】次に、動作について説明する。上述したよ
うな駆動機構を有する移動手段５によって、Ｘ線源１，
Ｘ線検知器２をそれぞれの円錐領域内にて移動させなが
ら、Ｘ線源１からＸ線を載置台３上の物体Ｓに投射し、
その透過したＸ線をＸ線検知器２にて検知する。Ｘ線検
知器２から画像データが画質改善回路７へ入力される。
Ｘ線検知器２から得られる画像データにはＸ線ノイズが
多量に含まれていて画像表示した場合に形状の輪郭がぼ
やけるので、画質改善回路７では、形状の輪郭をはっき
りと見せるように入力画像データを積算することによ
り、Ｘ線ノイズを平均化してＳ／Ｎ比を改善する。

【００４５】画質が改善された画像データはモニタ装置
９へ出力され、その画像データに応じた物体Ｓの内部状
態の画像が表示される。検査者は、モニタ装置９に表示
される画像を観察して、物体Ｓの内部に異常があるか否
かを判断する。本発明では、Ｘ線源１及びＸ線検知器２
を連動しながらダイナミックに移動させるので、物体Ｓ
の内部形状が３次元的に変化していく画像を検査者が確
認することができ、複雑な内部構成を有する電子部品に
ついてもボンディング，ワイヤ形状等の内部検査を正確
に行うことが可能である。この際、駆動手段４によって
ＸＹテーブルからなる載置台３を移動させれば、Ｘ線で
物体Ｓを走査していくことになり、物体Ｓの内部の連続
走査画像を得ることができる。

【００４６】なお、必要に応じて画像データを画像メモ
リ８に格納しておき、物体Ｓの内部画像をプリンタ装置
11で印刷することも可能である。また、物体Ｓの内部形
状を示す種々のパラメータ値（２点間の距離，面積，角
度等）を画像データに基づいて画像計測装置10で求める
こともできる。

【００４７】Ｘ線源１，Ｘ線検知器２が一体的に移動す
るので、Ｘ線源１が載置台３に近づくとＸ線検知器２は
載置台３から遠ざかり、一方、Ｘ線源１が載置台３から
遠ざかるとＸ線検知器２は載置台３に近づくように、Ｘ
線源１，Ｘ線検知器２が移動手段５によって移動され
る。ところで、得られる透視像の拡大倍率Ｒは、Ｘ線源
１から載置台３までの距離をＬ1 、Ｘ線源１からＸ線検
知器２までの距離をＬ2とした場合に、以下の（１）式
にて与えられる。 Ｒ＝Ｌ2 ／Ｌ1 …（１） Ｘ線源１，Ｘ線検知器２が一体的に移動するので、上記
（１）式においてＬ2 の値は一定である。よって、拡大
倍率ＲはＬ1 の値に反比例し、Ｘ線源１を載置台３に近
づけることによってより大きな拡大倍率を得ることがで
きる。従って、Ｘ線源１を載置台３への接離方向へ移動
させることにより透視像の拡大倍率を設定できる。従来
の装置では、Ｘ線源またはＸ線検知器を独立的に移動さ
せて拡大倍率を変動させているので大きなストロークが
必要となって装置の全体構成が大嵩とならざるを得なか
ったが、本発明の装置では、Ｘ線源１，Ｘ線検知器２を
一体的に移動させて拡大倍率を変動させるので、コンパ
クトな構成で拡大倍率の変動を行える。

【００４８】なお、上述の説明では、図２に示すような
構成の駆動機構によりＸ線源１及びＸ線検知器２を３次
元空間で自動的に移動させる場合について説明したが、
60度の円錐内の任意の位置にＸ線源１を手動により設定
することにより、任意の角度からの透視像を観察するこ
とも可能である。また、従来例のように、鉛直方向から
の２次元の透視像も観察できることは勿論である。

【００４９】

【発明の効果】以上のように本発明では、Ｘ線源及びＸ
線検知器をそれぞれの円錐領域内で移動するようにした
ので、様々な角度からＸ線を物体に照射してその透視像
を得ることができる。従って、任意の方向から見た物体
の３次元による多彩な透視像を観察することができ、透
視像に動的な立体変化を与えることができ、内部形状が
複雑な物体であっても明確に内部形状の正常・異常を検
査できる等、本発明は優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による物体に対する検査の実施状態を示
す模式図である。

【図２】Ｘ線源及びＸ線検知器の移動機構を示す斜視図
である。

【図３】Ｘ線源及びＸ線検知器の移動機構の機体への取
付けを示す斜視図である。

【図４】Ｘ線源及びＸ線検知器の移動機構の一部を示す
側視部分破断図である。

【図５】ＸＹ平面におけるＸ線源及びＸ線検知器の位置
制御を示す図である。

【符号の説明】

１ Ｘ線源 ２ Ｘ線検知器 ３ 載置台（ＸＹテーブル） ４ 駆動手段 ５ 移動手段 ６ ＣＰＵ ９ モニタ装置 25 第１サーボモータ 29 Ｚ軸ブラケット 30 揺動アーム 31 第２サーボモータ 35 第３サーボモータ Ｓ 物体

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線を用いて物体の透視像を撮像する方
   法において、前記物体を間にしてＸ線を出射するＸ線源
   及びＸ線を検知するＸ線検知器を配置し、前記物体の近
   傍を頂点位置とする円錐領域内で前記Ｘ線源を移動させ
   ながら、前記Ｘ線源からＸ線を前記物体に投射し、前記
   物体を透過したＸ線を前記Ｘ線検知器にて検知して前記
   物体の透視像を得ることを特徴とする透視像撮像方法。
2. 【請求項２】 Ｘ線を用いて物体の透視像を撮像する方
   法において、前記物体を間にして対向する位置にＸ線を
   出射するＸ線源及びＸ線を検知するＸ線検知器を配置
   し、前記物体の近傍を頂点位置とするそれぞれの円錐領
   域内で前記Ｘ線源及びＸ線検知器を一体的に移動させな
   がら、前記Ｘ線源からＸ線を前記物体に投射し、前記物
   体を透過したＸ線を前記Ｘ線検知器にて検知して前記物
   体の透視像を得ることを特徴とする透視像撮像方法。
3. 【請求項３】 前記Ｘ線源及びＸ線検知器を前記物体に
   接離する方向に移動することにより、得られる透視像の
   拡大倍率を制御することを特徴とする請求項２記載の透
   視像撮像方法。
4. 【請求項４】 Ｘ線を用いて物体の透視像を撮像する装
   置において、前記物体へＸ線を投射するＸ線源と、前記
   物体を間にして前記Ｘ線源と対向する位置に設けられ、
   前記物体を透過したＸ線を検知するＸ線検知器と、前記
   物体の近傍を頂点位置とする円錐領域内で前記Ｘ線源を
   移動させる移動手段とを備えることを特徴とする透視像
   撮像装置。
5. 【請求項５】 Ｘ線を用いて物体の透視像を撮像する装
   置において、前記物体を載置する載置台と、前記物体へ
   Ｘ線を投射するＸ線源と、前記物体を間にして前記Ｘ線
   源と対向する位置に設けられ、前記物体を透過したＸ線
   を検知するＸ線検知器と、前記物体の近傍を頂点位置と
   するそれぞれの円錐領域内で前記Ｘ線源及びＸ線検知器
   を一体的に移動させる移動手段とを備えることを特徴と
   するＸ線による透視像撮像装置。
6. 【請求項６】 前記移動手段は、前記Ｘ線源及びＸ線検
   知器が前記物体に接離する方向への前記Ｘ線源及びＸ線
   検知器の移動を制御する第１制御部と、前記方向に垂直
   な第１平面上における前記Ｘ線源及びＸ線検知器の移動
   を制御する第２制御部とを有することを特徴とする請求
   項５記載の透視像撮像装置。
7. 【請求項７】 前記第２制御部は、前記第１平面に垂直
   である第２平面内で所定角度内で揺動する第１揺動部
   と、前記第１及び第２平面に垂直である第３平面内で所
   定角度内で揺動する第２揺動部とを有することを特徴と
   する請求項６記載の透視像撮像装置。
8. 【請求項８】 前記載置台を２次元に移動させる載置台
   移動手段を更に備えることを特徴とする請求項５〜７の
   何れかに記載の透視像撮像装置。
9. 【請求項９】 Ｘ線による透視像に基づいて物体を検査
   する方法において、前記物体を間にして対向する位置に
   Ｘ線を出射するＸ線源及びＸ線を検知するＸ線検知器を
   配置し、前記物体の近傍を頂点位置とするそれぞれの円
   錐領域内で前記Ｘ線源及びＸ線検知器を一体的に移動さ
   せながら、前記Ｘ線源からＸ線を前記物体に投射し、前
   記物体を透視されたＸ線を前記Ｘ線検知器にて検知して
   前記物体の検査用の透視像を得ることを特徴とする物体
   検査方法。
10. 【請求項１０】 Ｘ線による透視像に基づいて物体を検
    査する装置において、前記物体を載置する載置台と、前
    記物体へＸ線を投射するＸ線源と、前記物体を間にして
    前記Ｘ線源と対向する位置に設けられ、前記物体を透過
    したＸ線を検知するＸ線検知器と、前記物体の近傍を頂
    点位置とするそれぞれの円錐領域内で前記Ｘ線源及びＸ
    線検知器を一体的に移動させる移動手段と、該移動手段
    にて前記Ｘ線源及びＸ線検知器を移動させながら、前記
    Ｘ線源からの前記物体を透過したＸ線を前記Ｘ線検知器
    で検知して得た前記物体の透視像を表示する表示手段と
    を備えることを特徴とする物体検査装置。
11. 【請求項１１】 前記移動手段は、前記Ｘ線源及びＸ線
    検知器が前記物体に接離する方向への前記Ｘ線源及びＸ
    線検知器の移動を制御する第１制御部と、前記方向に垂
    直な平面上における前記Ｘ線源及びＸ線検知器の移動を
    制御する第２制御部とを有することを特徴とする請求項
    １０記載の物体検査装置。
12. 【請求項１２】 前記第２制御部は、前記第１平面に垂
    直である第２平面内で所定角度内で揺動する第１揺動部
    と、前記第１及び第２平面に垂直である第３平面内で所
    定角度内で揺動する第２揺動部とを有することを特徴と
    する請求項１１記載の物体検査装置。
13. 【請求項１３】 前記載置台を２次元に移動させる載置
    台移動手段を更に備えることを特徴とする請求項１０〜
    １２の何れかに記載の物体検査装置。