JP5216294B2 - Ｘ線透視検査装置及びｘ線透視検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、被検体にＸ線を透過させて被検体内部を非破壊で検査するＸ線透視検査装置及びＸ線透視検査方法に係り、特に、電子部品を実装した基板等の板状の被検体を透視角度（傾斜角）を変えて検査するＸ線透視検査装置及びＸ線透視検査方法に関する。

電子部品を実装した基板等の被検体に対し、Ｘ線を照射し、そのＸ線透過像から被検体内部の状態を検査するＸ線透視検査装置は、既に提案されている（特許文献１）。

この特許文献によるＸ線透視検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器とを同時に、あるいはＸ線検出器のみを旋回させ、Ｘ線光軸を、被検体載置用テーブル面の法線から傾斜させることにより、透視角度を変えて被検体を透視し、Ｘ線透過像を取得する。

このようなＸ線透視検査装置は、Ｘ線検出器等を旋回させて透視角度を変えたとき、テーブルを自動的に水平方向にスライド移動させることにより、Ｘ線光軸が被検体の着目点からずれないようにしている。

ところで、通常、被検体の着目点は、被検体自体が所要の厚みを持っていることから、テーブル面から所要の高さだけ高位置に存在する。その結果、着目点の高さに応じて、視野ずれ補正用のスライド移動の仕方が変わってくる。

そこで、前述したＸ線透視検査装置では、操作者が予め着目点の高さを被検体の着目点の高さとして入力し、視野ずれが生じないように補正している。
特開２００１−２８１１６８号公報（図１参照）

ところで、以上のようなＸ線透視検査装置においては、透視角度を変えても、被検体の着目点がＸ線透過像の視野からずれないようにするためには、テーブル面からの被検体の着目点までの高さを知る必要があり、そのために操作者が被検体の厚み相当分の値を入力している。

しかし、テーブル面から被検体の着目点までの高さは、正確には、検査装置が認識する基準面（例えば理想的なテーブル面）からの高さであり、基準面に対する被検体の載置高さが一定でなくなれば、入力された着目点の高さの正確性も疑わしくなる。基準面からの高さは、実際上、テーブル面のたわみ、テーブル面に接触する被検体の表面のたわみ、被検体の表面の凹凸等々の要因によって変化する。その結果、以上のような種々の変化要因がある限り、基準面から着目点までの高さを正確に把握することが難しい。よって、透過像上の着目点のずれによって、視野ずれが生じ易い状況にある。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被検体の着目点の高さが未知であっても、Ｘ線光軸の傾斜時に透過像上の着目点のずれ量から真の高さを計算し修正し、確実に視野ずれをなくすことができるＸ線透視検査装置及びＸ線透視検査方法を提供することを目的とする。

（１） 上記課題を解決するために、本発明は、テーブル上に載置される被検体に対してＸ線源からのＸ線を照射し、この被検体の着目点の透過像をＸ線検出器で検出し表示するＸ線透視検査装置であって、Ｘ線検出器を移動させる検出器移動機構と、テーブルのテーブル面と直交する方向をｚ方向とし、当該ｚ方向に対して直交しかつ互いに直交する方向をｘ方向とｙ方向とし、前記テーブルをこれらｘ方向、ｙ方向及びｚ方向に平行移動させるテーブル移動機構と、入力部及びＸ線検出器で検出された透過像を表示する表示部を有するデータ処理手段とを備え、
前記データ処理手段は、前記入力部より、前記テーブル面と平行な基準の面から前記着目点までの推定高さｈを入力する推定高さ入力手段と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間の距離と前記Ｘ線源と前記着目点との間の距離との比である透過像の拡大率を設定する拡大率設定手段と、前記Ｘ線の光軸が前記ｚ方向から所要の傾斜角度となるように前記検出器移動機構を介して前記Ｘ線検出器を前記ｚ方向と前記ｘ方向の作る面に沿って移動制御する検出器移動制御手段と、前記設定された拡大率と前記Ｘ線の光軸の傾斜角度と前記着目点の推定高さｈとをパラメータとし、当該着目点が前記Ｘ線の光軸上に位置するように、前記テーブルの移動位置を計算し、前記テーブル移動機構を介して前記テーブルを移動制御する視野ずれ補正手段と、前記Ｘ線の光軸の傾斜角度をαａから任意の傾斜角度αに変化させた際に前記視野ずれ補正手段の移動制御によって前記テーブルが移動したとき、前記推定高さｈによる前記透過像上の前記着目点のずれ量に基づき、前記基準の面から前記着目点までの修正された真の高さｈtrueを求める着目点高さ修正手段とを設け、前記着目点高さ修正手段によって求めた前記着目点の真の高さｈtrueを用いて、前記テーブル移動機構を介して前記テーブルを前記ｘ方向に補正量Δｘuser＝（ｈtrue−ｈ）・ｔａｎ（αａ）だけ移動させ、さらに、前記着目点高さ修正手段によって求めた前記着目点の真の高さｈtrueに基づき、前記視野ずれ補正手段を再度実行する構成である。

なお、前記着目点高さ修正手段としては、表示された透過像上のずれ量を伴った着目点を位置指定することにより、着目点の推定高さと位置指定信号とから真の高さを求めるものである。

（２） また、本発明は、テーブル上に載置される被検体に対してＸ線源からのＸ線を照射し、この被検体の着目点の透過像をＸ線検出器で検出し表示するＸ線透視検査装置であって、
前記被検体の着目点が前記表示された透過像の中央にくるように前記テーブルをテーブル面と直交するｚ方向に対して直交しかつ互いに直交するｘ方向とｙ方向に移動制御する着目点調整ステップと、外部より、前記テーブル面と平行な基準の面から前記着目点までの推定高さｈが入力され、かつ、前記テーブルを前記テーブル面と直交するｚ方向に移動させたとき、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間の距離と前記Ｘ線源と前記着目点との間の距離との比である透過像の拡大率を設定する拡大率設定ステップと、前記Ｘ線の光軸が前記ｚ方向から所要の傾斜角度となるように前記Ｘ線検出器を前記ｚ方向と前記ｘ方向の作る面に沿って移動制御する検出器移動ステップと、前記設定された拡大率と前記Ｘ線の光軸の傾斜角度と前記着目点の推定高さｈとをパラメータとし、当該着目点が前記Ｘ線の光軸上に位置するように、前記テーブルの移動位置を計算し、前記テーブルを移動制御する視野ずれ補正ステップと、前記Ｘ線の光軸の傾斜角度をαａから任意の傾斜角度αに変化させた際に前記視野ずれ補正ステップの移動制御によって前記テーブルを移動させた後、前記着目点の推定高さｈによる前記透過像上の前記着目点のずれ量に基づき、前記基準の面から前記着目点までの修正された真の高さｈtrueを求める着目点高さ修正ステップと、前記着目点高さ修正ステップによって求めた前記着目点の真の高さｈtrueを用いて、前記テーブルを前記ｘ方向に補正量Δｘuser＝（ｈtrue−ｈ）・ｔａｎ（αａ）だけ移動させ、さらに、前記着目点高さ修正ステップによって求めた前記着目点の真の高さｈtrueに基づき、前記視野ずれ補正ステップを再度実行し、前記透過像上の前記着目点のずれ量を無くするステップとを有するＸ線透視検査方法である。

本発明によれば、被検体の着目点の高さが未知であっても、Ｘ線光軸の傾斜時に透過像上の着目点のずれ量から真の高さを計算し修正するので、確実に視野ずれをなくすことができるＸ線透視検査装置及びＸ線透視検査方法を提供できる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は本発明に係るＸ線透視検査装置の一実施の形態を示す概念的な構成図である。

同図において、１はＸ線ビームを発生するＸ線管などのＸ線源であって、このＸ線源１のＸ線焦点Ｆから下方に向けて広範囲に発生されたＸ線ビームの一部は真下に配置されたテーブル２上の被検体３に向けて照射される。

４はＸ線検出器であって、例えば縦横に配列された複数のＸ線検出素子を有する２次元アレイが採用され、前述するＸ線ビームの照射のもとに被検体３内部を透過してくるＸ線透過像を２次元分解能で検出し、データ処理部５に送る。Ｘ線検出器４は、データ処理部５からの移動制御指令を受けて動作する検出器移動機構６により、直線状あるいは円弧状に移動される。この移動中、Ｘ線検出器４は、検出面４ａが常にＸ線焦点Ｆと向き合うように自転される。Ｘ線検出器４のＤ点は検出面４ａの中心である。

従って、Ｘ線ビームの照射範囲内で、Ｘ線検出器４を移動させるようにすれば、傾斜角度（透視角度）αを変えることができる。ここで、傾斜角度αとは、Ｘ線光軸（直線Ｆ−Ｄ）７とテーブル面２ａの法線（基準の方向）とのなす角度である。

一方、前記テーブル２は、データ処理部５からの移動制御指令を受けて動作するテーブル移動機構８により、テーブル面２ａの向きを変えずに直交する３方向であるｘｔ，ｙｔ，ｚｔに平行移動するように位置設定される。ｘｔ，ｙｔは互いに直交する水平方向、ｚｔは垂直方向である。

以下，ｘｔ，ｙｔ，ｚｔは、テーブル２の各方向への移動量を表すものとする。また、テーブル面２ａ上の一点Ｔは、便宜上の移動基準を示す点であって、移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔは、Ｘ線焦点Ｆから計測されたＴ点の座標を表すように較正されているものとする。

データ処理部５は、検出器移動機構６及びテーブル移動機構８に対して移動制御指令を出力するとともに、Ｘ線検出器４で検出されたＸ線透過像を表示する。

すなわち、データ処理部５は、通常のコンピュータであって、具体的には図２に示すように、ＣＰＵ（Ｃentral Ｐrocessing Ｕnit：中央演算ユニット）で構成されるデータ演算処理部１１が設けられ、データ演算処理部１１からバスライン１２が導出されている。このバスライン１２には、Ｘ線検出器４で検出された透過像データをデータ処理部５にて処理可能なデータに変換する検出器インターフェース１３、メモリ１４、ディスク１５、表示出力インターフェース１６、入力部１７及び機構制御部１８等が接続される。表示出力インターフェース１６には表示部１９が接続されている。その他、筐体、電源その他必要とする構成体等が設けられているが、発明の要旨とは直接関係ないことから省略する。

データ演算処理部１１は、検出器インターフェース１３を介して、Ｘ線検出器４で検出された被検体３の透過像データ（ディジタルデータ）を取り込み、メモリ１４あるいはディスク１５に格納するとともに、当該透過像データを表示出力インターフェース１６を介して表示部１９に表示する。

また、データ演算処理部１１は、所定のプログラムにしたがって少なくとも拡大率設定、視野ずれ補正及び着目点高さ修正処理を実行し、必要に応じて検出器移動機構６及びテーブル移動機構８に移動制御指令を送出する。

メモリ１４は、データ演算処理部１１が高速にランダムアクセスできる揮発性メモリである。

ディスク１５は、ランダムアクセスできず、かつ、アクセス速度が遅い副メモリである不揮発性メモリであるが、メモリ１４よりも相当大きなメモリ容量を持っている。ここで、ランダムアクセスとは、任意の番地からデータを取り出すことを意味する。ディスク１５には、少なくとも拡大率設定プログラム１５ａ、視野ずれ補正プログラム１５ｂ及び着目点高さ修正プログラム１５ｃが格納され、実行時には読み出され、メモリ１４に格納される。

拡大率設定プログラム１５ａは、Ｘ線源１と被検体３の着目点Ａとの間の距離から決まる透過像の拡大率Ｍを設定する。視野ずれ補正プログラム１５ｂは、当該拡大率ＭとＸ線源１の真下方向である垂直ライン（基準の方向）に対するＸ線光軸７の傾斜角度αと着目点の高さｈとをパラメータとし、被検体３の着目点ＡがＸ線の光軸上に位置するように、テーブル２の移動位置を計算し、機構制御部１８を通して移動制御指令をテーブル移動機構８に送出し、テーブル２を平行移動させることにより、視野ずれの補正を行う。

着目点高さ修正プログラム１５ｃは、Ｘ線の光軸７がＸ線管１の真下方向である垂直ラインから傾斜したときの透過像の上の着目点Ａのずれ量に基づき、テーブル２からの着目点Ａの修正された真の高さｈを計算するプログラムである。

表示出力インターフェース１６は、例えば画像メモリや表示制御機能を有し、データ演算処理部１１で取り込まれた被検体３の透過像データを画像メモリ等に格納し、表示制御機能に基づいて表示部１９に表示する。

入力部１７は、操作者が必要なデータを入力したり、各種の制御指示を入力する機能を有するものであって、キーボード、マウス、トラックボール、ジョイスティック、タッチパッドなどが挙げられる。

機構制御部１８は、データ演算処理部１１による演算結果に基づき、必要に応じて移動制御指令を出力し、検出器移動機構６及びテーブル移動機構８を移動制御する。

次に、以上のように構成されたＸ線透視検査装置の作用について図３及び図４を参照して説明する。

（１） 着目点Ａの高さが既知の場合について（図３参照）。

先ず、操作者は、Ｘ線検出器４の検出面４ａの中心ＤがＸ線焦点Ｆの真下に位置するように設定し、垂直方向（α＝０°）からの透過像を取得可能とした後、Ｘ線源１を励起し、当該Ｘ線源１からのＸ線ビームを被検体３に向けて照射する。この状態においては、Ｘ線検出器４で検出されたＸ線透過像がデータ処理部５の表示部１９に表示される。

操作者は、表示部１９に表示されたリアルタイムな透過像を観察しながら、入力部１７からｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser、ｙuser）を入力し、被検体３の着目点ＡがＸ線光軸７上に一致するようにテーブル移動機構８を移動させる。すなわち、着目点Ａが透過像の中央に来るようにテーブル２を移動制御する（着目点調整ステップＳ１）。このとき、図１に示す点Ｂは着目点直下のテーブル面上の点である。

引き続き、操作者は、入力部１７からテーブル面２ａ（基準の面）から被検体３の着目点Ａまでの既知高さｈを入力設定した後、ｚｔ移動制御指令（ｚuser）を入力して画像の拡大、縮小の調整を行う。なお、このｚｔ移動制御指令（ｚuser）は、入力部１７のキーボードからの数値入力またはマウスなどを用いてカーソルを微小ステップずつ移動させるジョブ入力してもよい。

ここで、入力部１７から高さｈ及びｚｔ移動制御指令（ｚuser）が入力されると、データ演算処理部１１は、ｚｔ移動制御指令に従ってテーブル移動機構８を通してテーブル２の上下移動位置を設定する。ここで、ｚuserは、α＝０°において、テーブル２の現在位置ｚｔに対して、ｚuser＝ｚｔ−ｈで定量される量であり、ｚuserはα＝０°におけるＸ線焦点Ｆと着目点Ａとの間の距離である。そして、データ演算処理部１１は、拡大率設定プログラム１５ａに基づき、下記の演算式に基づいて透過像の拡大率（検査倍率）Ｍを算出して設定する（拡大率設定ステップＳ２）。
Ｍ＝Ｌ₀／ｚuser ……（１）
但し、Ｌ₀は、α＝０°におけるＦ−Ｄ間の距離である。ここで、拡大率ＭはＸ線源１（Ｘ線焦点Ｆ）とＸ線検出器４（検出面４ａの中心Ｄ）との間の距離とＸ線源１（Ｘ線焦点Ｆ）と着目点Ａとの間の距離との比である。

なお、拡大率設定ステップＳ２では、ｚｔとｈとの入力から拡大率Ｍとｚuserとを算出して設定したが、操作者がｈとｚuserとを入力し、ここから式（１）でＭを算出して設定するようにしてもよい（拡大率設定ステップＳ２）。

また、操作者がｈとＭとを入力し、拡大率設定プログラム１５ａが下式に基づいてｚｔを求めた後、この求めたｚｔに基づいてテーブル２を設定するようにしてもよい。

ｚuser＝Ｌ₀／Ｍ …（１）’
ｚｔ（α＝０°）＝ｚuser＋ｈ …（１）”
この場合は、拡大率Ｍは操作者の入力した値に設定される（拡大率設定ステップＳ２）。この拡大率設定ステップＳ２においては、Ｍとｚuserとは互いに従属で、どちらか一方が設定されれば他方は自動的に決まる関係にある。

拡大率設定ステップＳ２に続き、操作者は、入力部１７から検出器移動制御指令を入力し、あるいは傾斜角度αを直接入力し、検出器移動機構６を介してＸ線検出器４を移動させ、垂直ラインに対してＸ線光軸７の傾斜角度（透視角度）αを変える（検出器移動ステップＳ３）。このとき、データ演算処理部１１は、αの値として、検出器移動位置から計算した値、あるいは操作者からの入力値をαの値とする。

そして、Ｘ線検出器４が移動したとき、データ演算処理部１１は、前述した傾斜角度α、拡大率Ｍ及び高さｈを用いて、視野ずれ補正プログラム１５ｂを実行し、下記の演算式に従ってテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔを求める。
ｘｔ＝ｘuser＋ｘ（α，Ｍ）＋ｘ（ｈ） ……（２）
ｙｔ＝ｙuser＋ｙ（α，Ｍ）＋ｙ（ｈ） ……（３）
ｚｔ＝ｚuser＋ｚ（α，Ｍ）＋ｚ（ｈ） ……（４）
上式において、
ｘuser，ｙuser，ｚuser：視野・拡大率設定項、
ｘ（α，Ｍ），ｙ（α，Ｍ），ｚ（α，Ｍ）：α，Ｍ視野ずれ補正項、
ｘ（ｈ）、ｙ（ｈ）、ｚ（ｈ）：ｈ視野ずれ補正項である。

ｘuser，ｙuser，ｚuserは、視野・拡大率設定項であって、操作者が移動制御指令の下に適宜に直接的あるいは間接的に入力設定する値である。他の項の引数であるα，Ｍ，ｈは、同様に操作者が直接的あるいは間接的に設定する値である。α，Ｍ視野ずれ補正項とｈ視野ずれ補正項は視野ずれ補正プログラム１５ｂがα，Ｍ，ｈの関数として自動的に決める項であって、図１に示す幾何においては、具体的には次のように決定される。

ｘ（α，Ｍ）＝（Ｌ／Ｍ）・ｓｉｎα ……（５）
ｙ（α，Ｍ）＝０（関係せず） ……（６）
ｚ（α，Ｍ）＝（Ｌ・ｃｏｎα−Ｌ₀）／Ｍ …（７）
ｘ（ｈ）＝０（関係せず） ……（８）
ｙ（ｈ）＝０（関係せず） ……（９）
ｚ（ｈ）＝ｈ ……（１０）
ここで、Ｌは傾斜角度α時のＦ−Ｄ間距離であって、一般にはαの関数である。

データ演算処理部１１は、前記式（２）〜式（４）に基づき、テーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔを求めた後、機構制御部１８からテーブル移動制御指令を出力し、テーブル移動機構８を介して前述したテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔに基づいてテーブル２を移動させることにより、視野ずれを補正する（視野ずれ補正ステップＳ４）。

この視野ずれ補正ステップＳ４により、拡大率Ｍを一定に保ったまま、視野ずれを起こさずに傾斜角度αを変えることができる。

さらに、データ演算処理部１１は、操作者が設定する値に変更が有ったか否かを判定する（設定変更判定ステップＳ５）。変更が無かった場合には、終了指令が有ったか否かを判断し（終了ステップＳ８）、終了指令が有れば終了し、終了指令が無かった場合にはステップＳ５にもどる。

ステップＳ５において、操作者が直接的または間接的に設定する値ｘuser，ｙuser，ｚuser，α，Ｍ，ｈの何れか１つ以上に変更があった場合（ｚuserとＭは互いに従属）、データ演算処理部１１は、ステップＳ１ないしステップＳ４の何れかに後退し、そこから再度同様の処理を繰り返す。

どのステップに後退するかは変更されたパラメータに依存する。

ステップＳ５では、少なくともｘuser，ｙuserのどちらかが変更された場合は、着目点調整ステップＳ１に後退し、前述したように入力部１７からｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser，ｙuser）を入力し、変更された被検体３の着目点Ａが光軸７上に一致するようにテーブル２を移動させる（ステップＳ１）。この場合、一般に、αが０°でない状態でテーブル２の移動が行われる。

ステップＳ１が終了した後、順次ステップＳ２，Ｓ３，Ｓ４を行い、ステップＳ５にもどる。但し、ｘuser，ｙuser以外の変更が無い場合にはステップＳ２，Ｓ３，Ｓ４では何も変更されない。

ステップＳ５において、ｘuser，ｙuserに変更がなく、少なくともｚuser（またはＭ）に変更があった場合にはステップＳ２に後退し、前述したように拡大率設定プログラム１５ａに基づき、前記式（１）によりＭを計算し、設定し直す。Ｍが変更された場合には当該Ｍを設定値とするとともに、前記式（１）’でｚuserを計算し直す。この場合、ステップＳ２では、一般にαが０°でない状態で設定される。

ステップＳ２が終了した後、順次、ステップＳ３，Ｓ４を行ってステップＳ５にもどる。但し、αに変更がない場合、ステップＳ３では何も変更されない。

ステップＳ５において、傾斜角度α、あるいは傾斜角度αと着目点高さｈに変更があった場合、ステップＳ３に後退し、前述したように操作者によって検出器移動指令を入力し、検出器移動機構６を介してＸ線検出器４を移動させ、傾斜角度αを変える。そして、ステップＳ４、Ｓ５に進む。

ステップＳ５において、着目点高さｈのみに変更があった場合、ステップＳ４に移行し、前述したように視野ずれ補正プログラム１５ｂに基づき、式（２）〜式（４）によりテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔを求め、テーブル移動機構８を介してテーブル２を移動させる。そして、ステップＳ４による処理終了後、ステップＳ５に移行する。

以上のようにしてステップＳ５で変更があった場合には、変更内容に応じて前段のどれかのステップに後退し、各ステップを順次実行しながら再びステップＳ５にもどる。このループにおいては、変更内容に応じて後退するステップを変えているが、すべてステップＳ１にもどる流れであってもよい。この場合、変更に関係しないステップは何ら変更されずに空動作となるので、スキップするのと同様な処理となる。

各ステップが関係する変更パラメータは、それぞれ
着目点調整ステップＳ１はｘuser，ｙuser、
拡大率設定ステップＳ２はｚuser，Ｍ 、
検出器移動ステップＳ３はα、
視野ずれ補正ステップＳ４はすべてのパラメータであり、この関係するパラメータ以外のパラメータに対しては各ステップとも空動作となる。

また、ステップＳ５から後退し、再度ステップＳ５に進んでくるループでは、変更されなかったパラメータは常に一定に保たれる。例えばｚuser（あるいはＭ）を変えなければ、拡大率は一定であり、また、ｘuser，ｙuser、ｈを変えなければ被検体３中の着目点は一定である。

以上のように設定変更判定ステップＳ５にて設定変更があるたびに、前のステップに後退し、再度ステップＳ５に進んでくるループを繰り返してくるが、例えば変更を小刻みに少しずつ変更するループを繰り返せば、これら一連の移動制御は、計算時間が短いので、ほぼリアルタイムに位置変更し、連続的に視野ずれなしでＸ線透過像を取得することができる。

従って、以上のような実施の形態によれば、被検体３の任意の座標位置及び任意の既知の高さに応じた着目点Ａの透過像を、任意の拡大率Ｍ及び任意の傾斜角度αでもって視野ずれなく取得できる。

よって、本発明によるＸ線透視検査装置は、操作者がα、Ｍ（またはｚuser），ｈがどのような状態のときでも、ｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser、ｙuser）を変更しつつ自由に視野変更でき、また、ｚｔ移動制御指令ｚuser（またはＭ），α、ｈを自由に変更しつつ視野ずれなしの状態に設定できる。

（２） 着目点Ａの高さが未知の場合について(図４参照)。

次に、着目点Ａの高さが未知の場合の処理手順について図４に示す。この処理手順は、着目点Ａの高さが既知の場合の図３に示す処理手順に着目点修正判定ステップＳ６と着目点修正ステップＳ７を追加したものである。従って、図４において、図３と同じ処理を行うステップについては、図３と同じステップ番号を付して説明する。

また、ステップＳ６において、着目点修正ありと判定されない限り、図４に示す着目点の高さが未知の場合の処理手順は図３に示す高さが既知の場合の処理手順と同じである。ただし、着目点Ａの高さが未知の場合は、「着目点Ａまでの既知高さｈ」の代わりに、「設定着目点Ａｓまでの推定高さｈ」を入力する。

先ず、操作者は、Ｘ線検出器４の検出面４ａの中心ＤがＸ線焦点Ｆの真下に位置するように設定し、垂直方向（α＝０°）からの透視像を取得可能とした後、Ｘ線源１を励起し、当該Ｘ線源１からのＸ線ビームを被検体３に向けて照射する。この状態においては、Ｘ線検出器４で検出されたＸ線透過像がデータ処理部５の表示部１９に表示される。

操作者は、表示部１９に表示されたリアルタイムな透過像を観察しながら、入力部１７からｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser、ｙuser）を入力し、着目点ＡがＸ線光軸７上に一致するようにテーブル移動機構８を移動させる。すなわち、着目点Ａが透過像の中央に来るようにテーブル２を移動制御する（着目点調整ステップＳ１）。

引き続き、操作者は、入力部１７よりテーブル面２ａ（基準の面）から着目点Ａまでの推定高さｈを入力設定した後、ｚｔ移動制御指令（ｚuser）を入力する。

ここで、入力部１７から推定高さｈ及びｚｔ移動制御指令（ｚuser）が入力されると、データ演算処理部１１は、テーブル２の上下動位置を設定した後、拡大率設定プログラム１５ａに基づき、前述した式（１）に基づいて透過像の拡大率（検査倍率）Ｍを算出して設定する（拡大率設定ステップＳ２）。また、他の方法としては、操作者が入力した拡大率Ｍを設定し、式（１）’と式（１）”で計算されるｚｔにテーブル２の上下動位置を設定する（ステップＳ２）。

さらに、操作者は、入力部１７から検出器移動制御指令を入力し、あるいは傾斜角度αを直接入力し、検出器移動機構６を介してＸ線検出器４を移動させ、Ｘ線光軸７の傾斜角度（透視角度）αを変える（検出器移動ステップＳ３）。

そして、Ｘ線検出器４を移動させた後、前述した傾斜角度α、拡大率Ｍ及び高さｈを用いて、視野ずれ補正プログラム１５ｂを実行し、前述した式（２）〜式（４）に従ってテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔを求めた後、テーブル２を移動させる（視野ずれ補正ステップＳ４）。

さらに、データ演算処理部１１は、設定変更判定ステップＳ５にて、操作者が設定した値に変更があったか否かを判定する。変更がなかったと判定された場合には着目点修正判定ステップＳ６に進む。ここで、修正指令がなかった場合、終了判定ステップＳ８に進み、終了指令が有った場合には終了し、終了指令が無かった場合には設定変更判定ステップＳ５にもどる。

この設定変更判定ステップＳ５において、操作者が直接的あるいは間接的に設定する値ｘuser、ｙuser、ｚuser、α、（Ｍ）、ｈの何れか１つ以上に変更があった場合（ｚuserとＭは互いに従属）、データ演算処理部１１は、着目点Ａの高さｈが既知の場合と同様にステップＳ１ないしステップＳ４の何れかに後退し、その後退ステップから再度処理を始める。

高さｈが既知の場合と同様に設定変更判定ステップＳ５で設定変更があるたびにステップを後退し、またステップＳ５にもどるループを繰り返すが、変更を小刻みに少しずつ変更（例えばジョブ入力）すれば、これら一連の移動制御は、計算時間が短いので、ほぼリアルタイムに位置変更し、連続的に視野ずれなしでＸ線透過像を取得することができる。

従って、以上のような実施の形態によれば、推定高さｈが真の高さｈtrueに等しいなら、被検体３の任意の座標位置及び任意の未知の高さに応じた着目点Ａの透過像を、任意の拡大率Ｍ及び任意の傾斜角度αでもって視野ずれなく取得できる。

よって、本発明によるＸ線透視検査装置は、推定高さｈが真の高さｈtrueに等しいなら、操作者がα、Ｍ（またはｚuser），ｈがどのような状態のときでも、ｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser、ｙuser）を変更しつつ自由に視野変更でき、また、ｚｔ移動制御指令ｚuser（またはＭ），α、ｈを自由に変更しつつ視野ずれなしの状態に設定できる。

しかし、一般に、推定高さｈは真の高さｈtrueと異なるので、垂直透視の際に着目点Ａを視野中央位置に合わせたとしても、テーブル２及びＸ線検出器４を移動させて傾斜させたとき、図５に示すように推定高さｈに基づく設定着目点Ａｓとテーブル面２ａからの真の高さｈtrueに基づく着目点Ａとの間にずれ量が生じる。

すなわち、設定着目点Ａｓの推定高さをｈ（入力値）、被検体３中の実際の着目点Ａの高さをｈtrue（未知値）とすれば、２つの着目点ＡｓとＡとの間にずれが生じると、図６に示すような透過像が現れる。つまり、α＝０°のとき、操作者が被検体３の設定着目点ＡｓとＸ線光軸１１とを一致するように合わせるので、図６（ａ）に示すように、着目点Ａの透過像と推定高さｈに基づく設定着目点Ａｓとが視野中央（画面中央）に存在する。その後、αを増やしてα≠０°としたとき、図６（ｂ）に示すように、着目点Ａの透過像が視野中央からずれてくる。

そこで、αを増やすほど着目点Ａの透過像のずれが大きくなるので、操作者は、着目点Ａの透過像が視野からはみ出す前の傾斜角度αにて、入力部１７のマウスなどを用いて、図６（ｃ）に示すように、着目点Ａにカーソル２１を合わせてダブルクリックし、位置指定データを入力する。

なお、図４に示す処理手順において、着目点修正判定ステップＳ６を実行するとき、入力部１７からの位置指定データΔｊ（画素単位）が入力されていると、データ演算処理部１１は、修正要求有りと判定し（Ｓ６）、着目点修正ステップＳ７を実行する。

データ演算処理部１１は、着目点修正ステップＳ７において、入力部１７から入力された指定位置Δｊ（画素単位）を用いて、着目点高さ修正プログラム１５ｃを実行し、下記式に従って、推定高さｈと着目点Ａの透過像のずれ量Δｊとに基づいて、テーブル面２ａから着目点Ａまでの真の高さｈtrueを計算する（着目点高さ修正ステップＳ７）。
ｈtrue＝ｈ−Δｊ・Δｘ／（Ｍ・ｓｉｎ（α）） ……（１１）
ここで、Δｘは検出面４ａ上の１画素サイズ（ｍｍ）である。

引き続き、データ演算処理部１１は、視野ずれ補正ステップＳ４に後退し、推定高さｈのかわりに計算された着目点Ａまでの真の高さｈtrueを使用し、視野ずれ補正プログラム１５ｂを用いて、視野ずれを補正する。すなわち、前記式（２）〜式（４）によるテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔを求める。そして、求めたテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔに従ってテーブル２を移動させる（Ｓ４）。

ここで、視野ずれ補正ステップＳ４が終了すると、ステップＳ５に進み、設定変更判定ステップＳ５、着目点修正判定ステップＳ６、終了判定ステップＳ８を繰り返すループに入り、設定変更、着目点修正、終了の何れかの指令を待つ状態となる。

αを増やすほど、着目点Ａの透過像のずれが大きくなるので、αが大きいほどステップＳ７で真の高さｈtrueが正確に求まる。

そこで、操作者はαを増やすにつれ、逐次，着目点Ａの透過像が視野からはみ出す前に着目点Ａにカーソル２１を合わせてダブりクリックし、着目点修正指令となる位置指定データを入力することで、着目点修正ステップＳ７にて順次大きなαとし、真の高さｈtrueを正確にすることができる。

これにより、高さｈは基準の面からの真の高さｈtrueとなったので、着目点Ａの透過像を視野中央に合わせることができ、以降、拡大率Ｍや傾斜角度αを変更しても、視野ずれをなくすことができる。

従って、以上のような実施の形態によれば、被検体３の着目点の高さが未知であって、かつ、Ｘ線源１のＸ線光軸が垂直方向（基準の方向）から傾斜したとき、透過像上の着目点のずれ量を入力するだけで、自動的に着目点の高さを求めて修正するので、確実に視野ずれを補正することができる。

また、テーブル面２ａ（基準の面）から被検体３の着目点Ａまでの真の高さｈtrueが得られることにより、その後、拡大率Ｍや傾斜角度αを変更しても、視野ずれが生じることがなくなる。

よって、本発明によるＸ線透視検査装置は、着目点Ａの高さが未知の場合でも、真の高さｈtrueが得られることにより、操作者がα，Ｍ（またはｚuser）がどのような状態のときでも、ｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser、ｙuser）を変更しつつ自由に視野変更でき、また、ｚｔ移動制御指令（ｚuserまたはＭ）、αを自由に変更しつつ視野ずれなしの状態に設定できる。

（他の実施の形態）
（１） 上記実施の形態では、着目点の高さｈ、推定高さｈ、また、真の高さｈtrueはテーブル面４ａから測った高さとしている。これは必ずしもテーブル面４ａを基準とする必要はなく、テーブル面に平行でテーブル２と一緒に移動する面であれば、任意の面を基準面として設定できる。

また、傾斜角度αは、テーブル面４ａの法線方向を基準として測っているが、これも必ずしも法線方向でなくても、基準の方向は任意に設定できる。

（２） 上記実施の形態では、推定高さｈに基づく設定着目点Ａｓとテーブル面２ａからの真の高さｈtrueに基づく着目点Ａとの間にずれが生じたとき、操作者が着目点Ａにカーソル２１を当てて位置指定入力すれば、データ処理部５は、当該着目点Ａが画面中央の設定着目点Ａｓに位置するようにテーブル２を移動させることにより、高さ修正を行う構成である。

これに対し、操作者は、前述した操作の代わりに、例えば表示部１９に表示される透過像を観察しながら、着目点Ａの高さｈを少しずつ変更し、視野ずれ補正ステップＳ４を実行して、前記式（２）〜式（４）に基づくテーブル移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔの計算処理を繰り返し実行することにより、着目点Ａが画面中央に来るように制御してもよい。この場合には、若干時間がかかるが、着目点Ａを画面中央に設定できると同時に着目点Ａの高さｈを真値に設定できる。

（３） 上記実施の形態では、垂直方向からＸ線光軸を傾斜させるために、Ｘ線検出器４を移動させているが、例えばＸ線源１とＸ線検出器４とを両方を移動させるとか、あるいはＸ線源１のみを移動させる構成であってもよい。このような移動制御の場合には、テーブル２の移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔの具体的な計算式は、前述した式（５）〜式（１０）とは異なったものとなる。

（４） 上記実施の形態では、テーブル面２ａから着目点Ａまでの真の高さｈtrueを式（１１）を用いて計算しているが、この式（１１）は近似式である。厳密解を得る場合には、
ε＝ａｒｃｔａｎ（Δｊ・Δｘ／Ｌ）
ｈtrue＝ｈ−Ｌ・ｓｉｎ（ε）／（Ｍ・ｓｉｎ（α−ε）） ……（１１）’
なる演算式を用いて、真の高さｈtrueを求める。なお、（Δｊ・Δｘ／Ｌ）≪１のとき、式（１１）’は式（１１）で近似できるが、誤差を極力少なくする場合には、式（１１）’を用いて求めるのが好ましい。

（５） 上記実施の形態では、着目点高さ修正プログラム１５ｃは、α＝０°での着目点Ａの透過像を起点とし、推定高さｈと着目点Ａの透過像のずれ量から着目点Ａの真の高さｈtrueを求めているが、例えば任意の傾斜角度αをずれの起点とすることもできる。

この場合は、処理手順は図４と同じであるが、着目点高さ修正プログラム１５ｃが変更される結果、図４のステップＳ１とステップＳ７の処理のみが異なる。以下、ステップＳ１，ステップＳ７の処理について説明する。

ステップＳ１：操作者は入力部１７からｘｔ，ｙｔ移動制御指令（ｘuser、ｙuser）を入力し、被検体３の着目点Ａが透過像の中央に来るようにテーブル２を移動制御することで、当該着目点ＡがＸ線光軸７上に一致するようにする。このとき、データ演算処理部１１は、ｘuser，ｙuserが変更設定された後、このときの傾斜角度αをずれ起点の傾斜角度αａとする。
αａ＝ｘuser，ｙuser変更時点でのα ……（１２）
ここで、初回のステップＳ１ではα＝０°であるが、ステップＳ３にてＸ線検出器４の移動に伴って傾斜角度αが変更された後、ステップＳ５でｘuser，ｙuserの変更要求があるとステップＳ１に戻るが、このときにはαは０°ではない。

ステップＳ７：ここでは、データ演算処理部１１は、着目点高さ修正プログラム１５ｃを実行し、着目点Ａの真の高さｈtrue及びｘuserの補正量Δｘuserを求めるものであって、図７を参照して説明する。なお、同図において図５と同一符号の場合には図５と同じ意味・機能を有するものとする。

今、ずれ起点の傾斜角度をαａとすると、この傾斜角度αａでは、着目点Ａは、Ｘ線光軸上にあるが、一般にステップＳ２で入力される推定高さｈから定まる設定着目点Ａｓとは一致していない。

これにより、傾斜角度をαに変更したとき、設定着目点Ａｓは視野中央に来るように視野補正されるが、着目点Ａはずれ量Δｊを生じる。そこで、操作者は、前述した実施の形態と同じ要領で、入力部１７のマウスなどを用いて、透過像上の着目点Ａにカーソル２１を合わせてダブリクリックし、ずれ量Δｊを入力する。

この入力されたずれ量Δｊから図７を用いて幾何計算すれば、着目点Ａの真の高さｈtrue及びｘuserの補正量Δｘuserを求めることができる。

具体的には、着目点高さ修正プログラム１５ｃを用いて、下式に従って真の高さｈtrue及び補正量Δｘuserを求める。
ε＝ａｒｃｔａｎ（Δｊ・Δｘ／Ｌ）
Δｈ＝−Ｌ・ｓｉｎ（ε）／（Ｍ・ｓｉｎ（α−ε））
Δｈ´＝Δｈ・ｔａｎ（α−ε）／｛ｔａｎ（α−ε）−ｔａｎ（αａ）｝
ｈtrue＝ｈ＋Δｈ’ ……（１１）”
Δｘuser＝Δｈ’・ｔａｎ（αａ） ……（１３）
引き続き、データ演算処理部１１は、推定高さｈの代わりにｈtrueを用い、ｘuserを補正量Δｘuserだけ自動変更し、ステップＳ４に後退して視野ずれ補正プログラム１５ｂに従って視野ずれを補正する。

この実施の形態によれば、αａ＝０°で着目点調整を行う場合は上記実施の形態（他の実施の形態（４）を含む）と全く同様の作用・効果を奏する。これは、αａ＝０°の場合、式（１１）”は式（１１）’に一致し、式（１３）はΔｘuser＝０と成ることより分る。

さらに、この実施の形態によれば、任意の傾斜角度αａで着目点調整を行った場合でも、このとき調整された着目点Ａの透過像を起点としたずれ量Δｊを入力することにより、着目点高さを自動修正できる追加的な効果を奏する。

（６） この実施の形態では、テーブル移動機構８としては、テーブル２を直交する３方向であるｘｔ，ｙｔ，ｚｔに平行移動させる機能（上記実施の形態）の他、テーブル面２ａに沿った回転を行う機能を追加し、また、入力される移動制御指令ｘuser，ｙuserに従った着目点移動のみを行う専用機能を追加している。

図８は本実施の形態における概念構成図である。なお、同図において、図１と同一符号を付した部分は図１と同じ意味・機能を有するものであり、また重複部分は一部省略記載している。特に本実施の形態においては、テーブル移動機構２８とそのテーブル移動制御に関する部分が変更となる。

テーブル移動機構２８は、テーブル面２ａの垂線である回転軸２９に対し、テーブル２を回転角φ回転させる回転機構２８ａと、テーブル２を回転軸２９とともにｘｔ，ｙｔ，ｚｔ方向に移動させるｘｔ−ｙｔ−ｚｔ機構２８ｂと、回転軸２９に対し、テーブル２をｘｔ，ｙｔ方向に移動させるｘuser−ｙuser機構２８ｃとから成る。

ここで、テーブル面２ａと回転軸２９の交点をＴとすると、ｘｔ−ｙｔ−ｚｔ機構２８ｂの移動量ｘｔ，ｙｔ，ｚｔは、Ｘ線焦点Ｆから計測されたＴ点の座標を表すように較正されているものとする。また、傾斜角度α＝０°において、回転軸２９はＸ線光軸７に一致し、回転軸２９上のＴ点から高さｈの点に設定着目点Ａｓが位置している。

視野ずれ補正は点Ａｓが視野中央からずれないように行われるので、回転軸２９に対するテーブル面２ａに沿った回転（傾斜方位φの変更）は常に視野中心の点Ａｓを中心に行われる。

そして、ｘuser−ｙuser機構２８ｃは、データ演算処理部１１から送られてくる入力部１７から入力されたｘｔ，ｙｔ移動制御指令ｘuser，ｙuserを受け取り、設定着目点Ａｓの位置に所望の着目点Ａを合わせるようにテーブル２を移動制御する。このときのテーブル移動量はｘuser，ｙuserとする。

前記データ処理部１１の作用としては、他の実施の形態（５）と少し異なるので、その異なる部分のみを説明する。処理手順としては、図４と同じであるが、ステップＳ１とステップＳ４とステップＳ５の処理内容のみが若干異なる。

ステップＳ１：操作者は入力部１７からｘuser，ｙuser，回転角φを入力し、着目点Ａが透過像の中央に来るように調整する。このとき、データ演算処理部１１は、ｘuser，ｙuser，φが変更設定された後、このときの傾斜角度αをずれ起点の傾斜角度αａとする。
αａ＝ｘuser，ｙuser又は回転角φ変更時点でのα ……（１２）’
また、ここで、ｘuser，ｙuser，回転角φの設定変更については、ｘuser−ｙuser機構２８ｃ及び回転機構２８ａによって移動される。

ステップＳ４：データ演算処理部１１は、視野ずれ補正プログラム１５ｂを実行するが、前記式（２），式（３）の代わりに、下記演算式に従ってテーブル移動量を求める。
ｘｔ＝ｘ（α，Ｍ）＋ｘ（ｈ） ……（２）’
ｙｔ＝ｙ（α，Ｍ）＋ｙ（ｈ） ……（３）’
その他は上記他の実施の形態（５）と同じである。

ステップＳ５：上記他の実施の形態（５）に加え、回転角φの変更があった場合にはステップＳ１に後退する。

この実施の形態によれば、他の実施の形態（５）の作用，効果に加え、任意時点で視野中心の設定着目点Ａｓ中心に透過像の傾斜透視における回転角φ（傾斜方位）を変更することができる。また、この回転角φを変更したとき、ずれの起点の傾斜角度αａが変更されるので、回転角φを変更しても真の着目点の高さｈtrueが正しく得られる。

（７） 他の実施の形態（６）では、ｘuser−ｙuser機構２８ｃは、回転角φが変化しても、着目点移動制御指令ｘuser及びｙuserの方向がそれぞれｘｔ，ｙｔの方向から変化しないような機構としているが、回転角φの回転によって変化する機構であってもよい。

すなわち、本実施の形態におけるデータ演算処理部１１は、ステップＳ７でΔｘuserを計算した後、ｘuserをΔｘuserだけ自動変更する代わりに、図９に示すように、次の演算式に従って、
Δｘuser’＝Δｘuser・ｃｏｓ（φ） （１４）
Δｙuser’＝Δｘuser・ｓｉｎ（φ） （１５）
を計算した後、機構制御部１８を介して移動制御指令をｘuser−ｙuser機構２８ｃに送出する。ｘuser−ｙuser機構２８ｃは、ｘuserをΔｘuser’だけ、ｙuserをΔｙuser’だけテーブル２を自動変更する。

この実施の形態によれば、他の実施の形態（６）と同様の効果を奏する他、被検体３の回転に合わせて着目点移動制御指令ｘuser，ｙuserの方向を回転できる。つまり、被検体４が回転しても、着目点移動制御指令を被検体基準の座標で行うことができる。

その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できる。

本発明に係るＸ線透視検査装置の一実施の形態を説明する概念構成図。 図１に示すデータ処理部のハードウェア構成を示す図。 着目点の高さが既知の場合におけるＸ線透視検査方法の処理手順を説明する図。 着目点の高さが未知の場合におけるＸ線透視検査方法の処理手順を説明する図。 着目点の設定がずれている場合の幾何的な説明図。 着目点の設定がずれている場合の着目的の透過像を示す図。 他の実施の形態（５）における着目点がずれている場合の幾何的な説明図。 他の実施の形態（６）に係るＸ線透視検査装置の一部分を示す概念構成図。 他の実施の形態（７）における着目点調整移動軸の回転を示す幾何的な説明図。

符号の説明

１…Ｘ線源、２…テーブル、２ａ…テーブル面、３…被検体、４…Ｘ線検出器、４ａ…検出面、５…データ処理部、６…検出器移動機構、７，７´…Ｘ線光軸、８…テーブル移動機構、１１…データ演算処理部、１３…検出器インターフェース、１４…メモリ、１５…ディスク、１７…入力部、１８…機構制御部、２１…カーソル、２８…テーブル移動機構、２８ａ…回転機構、２８ｂ…ｘｔ−ｙｔ−ｚｔ機構、２８ｃ…ｘuser−ｙuser機構。

Claims (3)

1. テーブル上に載置される被検体に対してＸ線源からのＸ線を照射し、この被検体の着目点の透過像をＸ線検出器で検出し表示するＸ線透視検査装置において、
   前記Ｘ線検出器を移動させる検出器移動機構と、
   前記テーブルのテーブル面と直交する方向をｚ方向とし、当該ｚ方向に対して直交しかつ互いに直交する方向をｘ方向とｙ方向とし、前記テーブルをこれらｘ方向、ｙ方向及びｚ方向に平行移動させるテーブル移動機構と、
   入力部及び前記Ｘ線検出器で検出された透過像を表示する表示部を有するデータ処理手段とを備え、
   前記データ処理手段は、
   前記入力部より、前記テーブル面と平行な基準の面から前記着目点までの推定高さｈを入力する推定高さ入力手段と、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間の距離と前記Ｘ線源と前記着目点との間の距離との比である透過像の拡大率を設定する拡大率設定手段と、前記Ｘ線の光軸が前記ｚ方向から所要の傾斜角度となるように前記検出器移動機構を介して前記Ｘ線検出器を前記ｚ方向と前記ｘ方向の作る面に沿って移動制御する検出器移動制御手段と、前記設定された拡大率と前記Ｘ線の光軸の傾斜角度と前記着目点の推定高さｈとをパラメータとし、当該着目点が前記Ｘ線の光軸上に位置するように、前記テーブルの移動位置を計算し、前記テーブル移動機構を介して前記テーブルを移動制御する視野ずれ補正手段と、前記Ｘ線の光軸の傾斜角度をαａから任意の傾斜角度αに変化させた際に前記視野ずれ補正手段の移動制御によって前記テーブルが移動したとき、前記推定高さｈによる前記透過像上の前記着目点のずれ量に基づき、前記基準の面から前記着目点までの修正された真の高さｈtrueを求める着目点高さ修正手段とを設け、
   前記着目点高さ修正手段によって求めた前記着目点の真の高さｈtrueを用いて、前記テーブル移動機構を介して前記テーブルを前記ｘ方向に補正量Δｘuser＝（ｈtrue−ｈ）・ｔａｎ（αａ）だけ移動させ、さらに、前記着目点高さ修正手段によって求めた前記着目点の真の高さｈtrueに基づき、前記視野ずれ補正手段を再度実行することを特徴とするＸ線透視検査装置。
2. 前記着目点高さ修正手段は、表示された透過像上のずれ量を伴った着目点を位置指定することにより、着目点の推定高さｈと位置指定信号Δｊとから真の高さｈtrueを求めることを特徴とする請求項１に記載のＸ線透視検査装置。
3. テーブル上に載置される被検体に対してＸ線源からのＸ線を照射し、この被検体の着目点の透過像をＸ線検出器で検出し表示するＸ線透視検査装置において、
   前記被検体の着目点が前記表示された透過像の中央にくるように前記テーブルをテーブル面と直交するｚ方向に対して直交しかつ互いに直交するｘ方向とｙ方向に移動制御する着目点調整ステップと、
   外部より、前記テーブル面と平行な基準の面から前記着目点までの推定高さｈが入力され、かつ、前記テーブルを前記テーブル面と直交するｚ方向に移動させたとき、前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間の距離と前記Ｘ線源と前記着目点との間の距離との比である透過像の拡大率を設定する拡大率設定ステップと、
   前記Ｘ線の光軸が前記ｚ方向から所要の傾斜角度となるように前記Ｘ線検出器を前記ｚ方向と前記ｘ方向の作る面に沿って移動制御する検出器移動ステップと、
   前記設定された拡大率と前記Ｘ線の光軸の傾斜角度と前記着目点の推定高さｈとをパラメータとし、当該着目点が前記Ｘ線の光軸上に位置するように、前記テーブルの移動位置を計算し、前記テーブルを移動制御する視野ずれ補正ステップと、
   前記Ｘ線の光軸の傾斜角度をαａから任意の傾斜角度αに変化させた際に前記視野ずれ補正ステップの移動制御によって前記テーブルを移動させた後、前記着目点の推定高さｈによる前記透過像上の前記着目点のずれ量に基づき、前記基準の面から前記着目点までの修正された真の高さｈtrueを求める着目点高さ修正ステップと、
   前記着目点高さ修正ステップによって求めた前記着目点の真の高さｈtrueを用いて、前記テーブルを前記ｘ方向に補正量Δｘuser＝（ｈtrue−ｈ）・ｔａｎ（αａ）だけ移動させ、さらに、前記着目点高さ修正ステップによって求めた前記着目点の真の高さｈtrueに基づき、前記視野ずれ補正ステップを再度実行し、前記透過像上の前記着目点のずれ量を無くするステップとを有することを特徴とするＸ線透視検査方法。

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