JP4156754B2 - X線検査装置 - Google Patents
X線検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4156754B2 JP4156754B2 JP19470799A JP19470799A JP4156754B2 JP 4156754 B2 JP4156754 B2 JP 4156754B2 JP 19470799 A JP19470799 A JP 19470799A JP 19470799 A JP19470799 A JP 19470799A JP 4156754 B2 JP4156754 B2 JP 4156754B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- ray
- optical axis
- inspection object
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線を被検査物に照射して前記被検査物の透視画像を検出するX線検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のこの種X線検査装置は、被検査物、例えば、プリント基板を検査する場合、前記プリント基板を複数の方向に移動し、前記プリント基板における配線箇所,半田箇所などの検査箇所を検査している。
【0003】
前記X線検査装置は、例えば、図4に示すような構成になっている。同図において、50は被検査物Sがセットされる検査テーブルであり、前後,左右方向に移動自在で、傾斜可能に設けられている。51は検査テーブル50の下方に設けられたX線発生器であり、該X線発生器51から照射されるX線を、前記被検査物Sに照射する。52はX線発生器51の上方に設けられたX線検出器であり、前記X線の光軸H上に設置され、前記X線を照射して得られた被検査物Sの検査箇所Kの透視画像を検出する。
【0004】
そして、X線発生器51から所定の距離に位置した前記光軸H上の検査ポイントPに、水平方向に位置した検査テーブル50を前後,左右の方向に移動して前記被検査物Sの任意の検査箇所K1,K2を位置させている。
【0005】
そして、前記検査箇所K1,K2を前記方向と異なる方向から検査する場合、図4の鎖線に示すように、前記検査テーブル50を前記光軸Hに対して傾斜させている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のX線検査装置は、検査テーブル50を前記光軸H方向に対して傾斜させた場合、図4の鎖線に示すように、被検査物の検査箇所K1,K2によってX線発生器51からの距離h1,h2がそれぞれ異なるため、X線検出器52で見るX線画像の拡大率やX線強度が変化したり、最適な透視画像が得られず、一定したX線画像の拡大率やX線強度で検査することが困難であるという問題がある。
【0007】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、被検査物SをX線の光軸に対して傾斜させても、被検査物の任意の検査箇所を、X線発生器から所定の距離に位置したX線の光軸上の検査ポイントに位置させることができるX線検査装置を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明のX線検査装置は、X線を被検査物Sに照射するX線発生器2と、X線の光軸H上に所定の距離をおいて設置され、X線の照射による前記被検査物Sの透視画像を検出するX線検出器10と、X線の光軸Hに直交する軸を回転中心として傾斜する傾斜テーブル12と、X線の光軸Hと該光軸Hに直交する前記軸との交点を通る軸を回転中心として傾斜テーブル12上で水平方向に回転する回転テーブル13と、前記交点に設定された検査ポイントPに前記被検査物Sの任意の検査箇所Kを位置させるように、前記被検査物Sを回転テーブル13上で前後・左右方向に移動させる移動手段4を設けたものである。
【0009】
したがって、前記光軸Hから被検査物Sの検査箇所Kがずれることがなく、複数の検査箇所Kを、X線発生器2と被検査物Sの検査箇所Kとの距離hが一定という同一条件で検査することができる。よって、検査箇所Kの位置や検査方向によって、X線画像の拡大率やX線強度が変化することがなく、最適な透視画像を得ることができる。
【0010】
また、X線の透過しにくい障害物がX線検出器10側にある場合でも、移動手段4により被検査物Sの角度を変えることによって検査箇所Kを鮮明に観察することができる。
【0011】
さらに、本発明のX線検査装置は、前記被検査物Sを前記回転テーブル13上で上下方向に移動して前記検査ポイントPに前記被検査物Sの検査箇所Kを位置させる微調整手段26を設けたものである。
【0012】
したがって、微調整手段26によって、被検査物Sを移動し、前記被検査物Sの検査箇所Kを光軸H上の検査ポイントPに位置させるようにしたため、被検査物Sの検査箇所Kをより的確に光軸H上の検査ポイントPに位置させることができる。
【0013】
また、本発明のX線検査装置は、前記X線検出器10と前記光軸H上の検査ポイントPとの検出距離を変更する検出距離変更手段3aを設けたものである。
【0014】
したがって、X線検出器10とX線の光軸H上の検査ポイントPとの検出距離を変更する検出距離変更手段3aを設けたため、X線検出器10とX線の光軸H上の検査ポイントPとの検出距離を変えることにより被検査物Sの検査箇所Kの拡大率を所望の倍率に変更することができ、検査箇所Kの細部まで明確に観察することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、実施の一形態につき、図1を参照して説明する。同図において、1はX線検査装置であり、X線を被検査物Sに照射するX線発生器2と、前記X線の光軸H上に所定の距離をおいて設置されたX線検出手段3と、前記被検査物Sを前記X線の光軸H上の検査ポイントPに位置させるように、前記被検査物Sを複数の方向に移動させる移動手段4とを有する。
【0016】
前記X線検出手段3は、検出距離変更手段3aとX線検出器10とからなり、前記検出距離変更手段3aは、取付板5にモータM1が設けられ、このモータM1の回転軸に連結された上下方向の螺棒6に摺動体7が上下動自在に設けられている。一方、前記螺棒6に平行にガイド板8が設けられ、ガイド板8を上下動する移動体9にX線検出器10が装着されている。そして、摺動体7と移動体9が固着されてモータM1の回転により一体に移動する。
【0017】
前記移動手段4は、前記被検査物Sを傾斜させる傾斜手段Aと、前記被検査物Sを水平方向に回転させる回転手段Bと、前記被検査物Sを前後方向に移動させる第一移動手段Cと、前記被検査物Sを左右方向に移動させる第二移動手段Dとからなる。
【0018】
前記傾斜手段Aは、水平方向に設置された検査テーブル11の上方に、前記X線の光軸Hに直交する軸を回転中心として傾斜する傾斜テーブル12を有する。
【0019】
そして、前記検査テーブル11の中心部に、X線発生器2が昇降機構(図示せず)により上下動自在に設けられ、前記傾斜テーブル12を傾斜させた時のX線発生器2との接触をさけている。
【0020】
前記傾斜テーブル12の両側に立設された支持片17が、検査テーブル11の両支持板16に回転自在に支持され、一側の前記支持板16に設けられたモータM2の正,逆回転により、傾斜テーブル12が前記光軸Hに直交する軸を回転中心として傾斜する。そして、図3に示すように、前記光軸Hと、前記光軸Hに直交する前記軸との交点が検査ポイントPとなる。
【0021】
また、前記傾斜テーブル12に設けられたモータM3の回転軸にギヤ18が固着され、このギヤ18に、内周縁部が複数のローラ19aにより回転自在に支持された環状ギヤ19が噛合している。
【0022】
前記回転手段Bは、前記傾斜テーブル12に対して水平方向に回転する回転テーブル13を有している。この回転テーブル13は、前記環状ギヤ19に装着され、前記モータM3の回転によりギヤ18,環状ギヤ19を介して回転する。そして、回転テーブル13の両側に螺棒20およびガイド棒21が平行して前後方向に設けられ、前記螺棒20が前記回転テーブル13に設けられたモータM4の回転軸(図示せず)に連結されている。
【0023】
前記第一移動手段Cは、前記回転テーブル13を前後方向に移動する移動テーブル14を有している。この移動テーブル14は、前記モータM4の螺棒20に移動自在に設けられた移動体(図示せず)を介して前後方向に移動する。移動テーブル14の両側に螺棒22およびガイド棒23が平行して左右方向に設けられ、前記螺棒22が前記移動テーブル14に設けられたモータM5の回転軸(図示せず)に連結されている。
【0024】
前記第二移動手段Dは、前記移動テーブル14を左右方向に移動する被検査物テーブル15を有する。この被検査物テーブル15は、前記螺棒22に螺合して移動自在に設けられた移動体24に固着され、モータM5の回転により前記被検査物テーブル15が移動体24と共に左右方向に移動する。
【0025】
そして、前記各テーブル11〜15の上面および下面中央部は開口されると共に、各テーブル11〜15の中心部を前記光軸Hが通るように設置されている。
【0026】
また、前記被検査物テーブル15には、図2に示す昇降機構からなる微調整手段26がこの被検査物テーブル15の両側の折曲片25により支持されている。設けられる。この微調整手段26は、上面および下面の一部が開口された昇降台27と、昇降台27に載置された昇降ステージ28とからなる。
【0027】
前記昇降台27には、前部および後部にそれぞれ駆動ねじ29が設けられ、両駆動ねじ29の端部にそれぞれローラ30が固着されると共に、台形状の楔31が駆動ねじ29に螺合している。
【0028】
前記昇降ステージ28は、上面および下面の一部が開口され、下面の前部および後部に台形状の突片32が形成されている。この突片32の両側に前記両楔31が位置している。
【0029】
そして、前記昇降ステージ28の前面に調整ダイヤル33が設けられ、調整ダイヤル33および前記両ローラ30に駆動ベルト34が巻回されている。なお、昇降ステージ28は、下面が開口されている場合と、開口された下面にX線透過率の低い板体を装着する場合とがある。
【0030】
そして、調整ダイヤル33を正回転すると、ローラ30および駆動ねじ29を介して両楔31が互いに接近する方向に移動し、両楔31が昇降ステージ28の突片32を摺動して昇降ステージ28が上昇する。また、調整ダイヤル33を逆回転すると、両楔31が互いに離反する方向に移動し、昇降ステージ28が下降する。このように、被検査物Sの高さを微調整することにより、図3に示すように、被検査物Sの検査箇所K1〜K3を、X線発生器2から所定の距離hに位置したX線の光軸H上の検査ポイントPに位置させている。このように、前記微調整手段26によって、被検査物Sを正確に検査ポイントPに位置させることができる。
【0031】
つぎに、被検査物Sの検査手順について説明する。まず、微調整手段26の昇降ステージ28に被検査物S、例えば、プリント基板をセットし、回転テーブル13あるいは移動テーブル14,被検査物テーブル15を用いて、被検査物Sを回転あるいは前後,左右方向に移動して、プリント基板の半田箇所,配線箇所などの検査箇所K1〜K3の何れかを、X線発生器2から所定の距離hに位置したX線の光軸H上の検査ポイントPに位置させ、プリント基板の半田不良あるいは断線などの欠陥箇所の有無を検査する。
【0032】
また、前記検査箇所K1〜K3の何れかを、傾斜させて検査する場合、例えば、図3に示すように、傾斜テーブル12を所定の角度前記光軸Hに対して傾斜させる。
【0033】
いずれの場合も、X線発生器2と被検査物Sの検査箇所K1〜K3との距離hが変化することがなく、前記距離hが一定という同一条件で任意の検査箇所K1〜K3を検査できる。よって、検査箇所K1〜K3の位置や検査方向によって、X線画像の拡大率やX線強度が変化することがなく、最適な透視画像が得られる。
【0034】
さらに、検査箇所K1〜K3のX線検出器10側に、X線を透過しにくい障害物がある場合でも、被検査物Sを複数の方向から検査できることから鮮明に観察することができる。
【0035】
なお、前記移動手段4,微調整手段26および検出距離変更手段3aの構造は、前記実施の形態に限らず、被検査物Sを複数の方向に移動できる構造であればよい。
【0036】
また、前記被検査物Sとして、プリント基板の検査を例にとって説明したが、電子部品,半導体などの内部構造の検査であってもよい。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被検査物を移動手段により移動し、被検査物の任意の検査箇所を、X線の光軸上の検査ポイントに位置させるようにしたため、検査箇所の位置や検査方向に関係なく、検査箇所とX線発生器との距離が一定という条件で検査でき、X線検査装置の精度を向上することができる。
【0038】
さらに、前記被検査物を回転テーブル上で上下方向に移動して前記検査ポイントに被検査物の検査箇所を位置させる微調整手段を設けたため、被検査物の検査箇所をより的確に光軸上の検査ポイントに位置させることができ、より鮮明な画像が得られる。
【0039】
また、検出距離変更手段により、X線検出器とX線の光軸上の検査ポイントとの検出距離を変えることができるため、被検査物の検査箇所の拡大率を所望の倍率に変更することができ、検査箇所の内部構造を正確に知ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の1形態の全体斜視図である。
【図2】(イ)は図1の被検査物テーブルに設けられる微調整手段の斜視図、(ロ)は図2(イ)の一部の拡大図である。
【図3】図1の検査状態を示す側面図である。
【図4】従来例の検査状態を示す側面図である。
【符号の説明】
1…X線検査装置、2…X線発生器、3a…検出距離変更手段、4…移動手段、10…X線検出器、26…微調整手段、h…距離、H…光軸、S…被検査物、K…検査箇所、P…検査ポイント。
Claims (3)
- X線を被検査物(S)に照射するX線発生器(2)と、X線の光軸(H)上に所定の距離をおいて設置され、X線の照射による前記被検査物(S)の透視画像を検出するX線検出器(10)と、X線の光軸(H)に直交する軸を回転中心として傾斜する傾斜テーブル(12)と、X線の光軸(H)と該光軸(H)に直交する前記軸との交点を通る軸を回転中心として傾斜テーブル(12)上で水平方向に回転する回転テーブル(13)と、前記交点に設定された検査ポイント(P)に前記被検査物(S)の任意の検査箇所(K)を位置させるように、前記被検査物(S)を回転テーブル(13)上で前後・左右方向に移動させる移動手段(4)を設けたことを特徴とするX線検査装置。
- 前記被検査物(S)を前記回転テーブル(13)上で上下方向に移動して前記検査ポイント(P)に前記被検査物の検査箇所(K)を位置させる微調整手段(26)を設けたことを特徴とする請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記X線検出器(10)と前記検査ポイント(P)との検出距離を変更する検出距離変更手段(3a)を設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のX線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19470799A JP4156754B2 (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19470799A JP4156754B2 (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001021506A JP2001021506A (ja) | 2001-01-26 |
JP4156754B2 true JP4156754B2 (ja) | 2008-09-24 |
Family
ID=16328927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19470799A Expired - Fee Related JP4156754B2 (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | X線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4156754B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4715986B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | X線透視装置 |
DE102009015606A1 (de) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Smiths Heimann Gmbh | Transportwannenidentifikation |
-
1999
- 1999-07-08 JP JP19470799A patent/JP4156754B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001021506A (ja) | 2001-01-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4420189B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2003260049A (ja) | 傾斜三次元x線ct | |
JP4156754B2 (ja) | X線検査装置 | |
JPH08126640A (ja) | X線透視撮影装置 | |
JP7401130B2 (ja) | 透過型小角散乱装置 | |
KR102673566B1 (ko) | 검사 방향 정렬 방식의 엑스레이 검사 방법 | |
KR101761793B1 (ko) | 회전 및 평면 이동 구조의 엑스레이 장치 | |
CN115684217A (zh) | 多模式射线检测装置 | |
JP3693318B2 (ja) | エックス線可変斜視角透視装置 | |
JP3667325B2 (ja) | X線検査装置 | |
JP2006122548A (ja) | 画像診断装置 | |
CN208568571U (zh) | 基板玻璃检测机 | |
JP2020041954A (ja) | X線検査装置 | |
JP2001153819A (ja) | X線撮像装置 | |
WO2005078419A1 (ja) | 放射線透視撮影装置及びこれを用いた放射線透視撮影方法 | |
JP2005021470A (ja) | X線管保持装置 | |
CN217655004U (zh) | 一种屏幕镜面反射参数测量装置 | |
TWI844389B (zh) | 穿透型小角度散射裝置 | |
KR101114569B1 (ko) | 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치 | |
CN216926541U (zh) | 一种光罩表面自动检测装置 | |
CN218972272U (zh) | 一种产品多角度视觉检测装置 | |
JPH01297051A (ja) | X線ct装置 | |
JP2003240734A (ja) | X線透視検査装置 | |
JP6794274B2 (ja) | X線検査装置 | |
JPS6312945A (ja) | スクリ−ン検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040701 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060510 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20080214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080403 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20080403 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080411 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080602 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080610 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080704 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080710 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110718 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120718 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130718 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |