JP2001021506A - Ｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 被検査物をＸ線の光軸に対して傾斜させて
も、被検査物の任意の検査箇所を、Ｘ線発生器から所定
の距離に位置したＸ線の光軸上の検査ポイントに位置さ
せる試料の複数の検査箇所を同一条件で容易に観察で
き、最適な透視画像を得る。 【解決手段】 Ｘ線発生器２から照射されるＸ線を、該
Ｘ線の光軸Ｈに対して傾斜可能な被検査物Ｓに照射し、
前記Ｘ線の照射による前記被検査物Ｓの透視画像を、Ｘ
線検出器１０で検出するようにしたＸ線検査装置におい
て、前記Ｘ線発生器２から所定の距離に位置した前記光
軸Ｈ上の検査ポイントＰに、前記光軸Ｈに対して傾斜す
る前記被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋを位置させるよう
に、前記被検査物Ｓを移動させる移動手段４を設ける。
も、被検査物の任意の検査箇所を、Ｘ線発生器から所定
の距離に位置したＸ線の光軸上の検査ポイントに位置さ
せる試料の複数の検査箇所を同一条件で容易に観察で
き、最適な透視画像を得る。 【解決手段】 Ｘ線発生器２から照射されるＸ線を、該
Ｘ線の光軸Ｈに対して傾斜可能な被検査物Ｓに照射し、
前記Ｘ線の照射による前記被検査物Ｓの透視画像を、Ｘ
線検出器１０で検出するようにしたＸ線検査装置におい
て、前記Ｘ線発生器２から所定の距離に位置した前記光
軸Ｈ上の検査ポイントＰに、前記光軸Ｈに対して傾斜す
る前記被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋを位置させるよう
に、前記被検査物Ｓを移動させる移動手段４を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線を被検査物に
照射して前記被検査物の透視画像を検出するＸ線検査装
置に関する。
照射して前記被検査物の透視画像を検出するＸ線検査装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種Ｘ線検査装置は、被検査
物、例えば、プリント基板を検査する場合、前記プリン
ト基板を複数の方向に移動し、前記プリント基板におけ
る配線箇所，半田箇所などの検査箇所を検査している。
物、例えば、プリント基板を検査する場合、前記プリン
ト基板を複数の方向に移動し、前記プリント基板におけ
る配線箇所，半田箇所などの検査箇所を検査している。
【０００３】前記Ｘ線検査装置は、例えば、図４に示す
ような構成になっている。同図において、５０は被検査
物Ｓがセットされる検査テーブルであり、前後，左右方
向に移動自在で、傾斜可能に設けられている。５１は検
査テーブル５０の下方に設けられたＸ線発生器であり、
該Ｘ線発生器５１から照射されるＸ線を、前記被検査物
Ｓに照射する。５２はＸ線発生器５１の上方に設けられ
たＸ線検出器であり、前記Ｘ線の光軸Ｈ上に設置され、
前記Ｘ線を照射して得られた被検査物Ｓの検査箇所Ｋの
透視画像を検出する。
ような構成になっている。同図において、５０は被検査
物Ｓがセットされる検査テーブルであり、前後，左右方
向に移動自在で、傾斜可能に設けられている。５１は検
査テーブル５０の下方に設けられたＸ線発生器であり、
該Ｘ線発生器５１から照射されるＸ線を、前記被検査物
Ｓに照射する。５２はＸ線発生器５１の上方に設けられ
たＸ線検出器であり、前記Ｘ線の光軸Ｈ上に設置され、
前記Ｘ線を照射して得られた被検査物Ｓの検査箇所Ｋの
透視画像を検出する。
【０００４】そして、Ｘ線発生器５１から所定の距離に
位置した前記光軸Ｈ上の検査ポイントＰに、水平方向に
位置した検査テーブル５０を前後，左右の方向に移動し
て前記被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋ１，Ｋ２を位置さ
せている。
位置した前記光軸Ｈ上の検査ポイントＰに、水平方向に
位置した検査テーブル５０を前後，左右の方向に移動し
て前記被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋ１，Ｋ２を位置さ
せている。
【０００５】そして、前記検査箇所Ｋ１，Ｋ２を前記方
向と異なる方向から検査する場合、図４の鎖線に示すよ
うに、前記検査テーブル５０を前記光軸Ｈに対して傾斜
させている。
向と異なる方向から検査する場合、図４の鎖線に示すよ
うに、前記検査テーブル５０を前記光軸Ｈに対して傾斜
させている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のＸ線
検査装置は、検査テーブル５０を前記光軸Ｈ方向に対し
て傾斜させた場合、図４の鎖線に示すように、被検査物
の検査箇所Ｋ１，Ｋ２によってＸ線発生器５１からの距
離ｈ１，ｈ２がそれぞれ異なるため、Ｘ線検出器５２で
見るＸ線画像の拡大率やＸ線強度が変化したり、最適な
透視画像が得られず、一定したＸ線画像の拡大率やＸ線
強度で検査することが困難であるという問題がある。
検査装置は、検査テーブル５０を前記光軸Ｈ方向に対し
て傾斜させた場合、図４の鎖線に示すように、被検査物
の検査箇所Ｋ１，Ｋ２によってＸ線発生器５１からの距
離ｈ１，ｈ２がそれぞれ異なるため、Ｘ線検出器５２で
見るＸ線画像の拡大率やＸ線強度が変化したり、最適な
透視画像が得られず、一定したＸ線画像の拡大率やＸ線
強度で検査することが困難であるという問題がある。
【０００７】そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、被
検査物ＳをＸ線の光軸に対して傾斜させても、被検査物
の任意の検査箇所を、Ｘ線発生器から所定の距離に位置
したＸ線の光軸上の検査ポイントに位置させることがで
きるＸ線検査装置を提供することを課題とする。
検査物ＳをＸ線の光軸に対して傾斜させても、被検査物
の任意の検査箇所を、Ｘ線発生器から所定の距離に位置
したＸ線の光軸上の検査ポイントに位置させることがで
きるＸ線検査装置を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線発生器２から照射さ
れるＸ線を、該Ｘ線の光軸Ｈに対して傾斜可能な被検査
物Ｓに照射し、前記Ｘ線の照射による前記被検査物Ｓの
透視画像を、Ｘ線検出器１０で検出するようにしたＸ線
検査装置において、前記Ｘ線発生器２から所定の距離に
位置した前記光軸Ｈ上の検査ポイントＰに、前記光軸Ｈ
に対して傾斜する前記被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋを
位置させるように、前記被検査物Ｓを移動させる移動手
段４を設けたものである。なお、被検査物Ｓを前記光軸
Ｈに対して傾斜させるとは、被検査物Ｓの面が前記光軸
Ｈに対して直角にならないように傾斜した状態をいう。
に、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線発生器２から照射さ
れるＸ線を、該Ｘ線の光軸Ｈに対して傾斜可能な被検査
物Ｓに照射し、前記Ｘ線の照射による前記被検査物Ｓの
透視画像を、Ｘ線検出器１０で検出するようにしたＸ線
検査装置において、前記Ｘ線発生器２から所定の距離に
位置した前記光軸Ｈ上の検査ポイントＰに、前記光軸Ｈ
に対して傾斜する前記被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋを
位置させるように、前記被検査物Ｓを移動させる移動手
段４を設けたものである。なお、被検査物Ｓを前記光軸
Ｈに対して傾斜させるとは、被検査物Ｓの面が前記光軸
Ｈに対して直角にならないように傾斜した状態をいう。
【０００９】したがって、Ｘ線発生器２から所定の距離
に位置したＸ線の光軸Ｈ上の検査ポイントＰに、前記光
軸Ｈに対して傾斜する被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋを
位置させるように、被検査物Ｓを移動させる移動手段４
を設けたため、前記光軸Ｈから被検査物Ｓの検査箇所Ｋ
がずれることがなく、複数の検査箇所Ｋを、Ｘ線発生器
２と被検査物Ｓの検査箇所Ｋとの距離ｈが一定という同
一条件で検査することができる。よって、検査箇所Ｋの
位置や検査方向によって、Ｘ線画像の拡大率やＸ線強度
が変化することがなく、最適な透視画像を得ることがで
きる。
に位置したＸ線の光軸Ｈ上の検査ポイントＰに、前記光
軸Ｈに対して傾斜する被検査物Ｓの任意の検査箇所Ｋを
位置させるように、被検査物Ｓを移動させる移動手段４
を設けたため、前記光軸Ｈから被検査物Ｓの検査箇所Ｋ
がずれることがなく、複数の検査箇所Ｋを、Ｘ線発生器
２と被検査物Ｓの検査箇所Ｋとの距離ｈが一定という同
一条件で検査することができる。よって、検査箇所Ｋの
位置や検査方向によって、Ｘ線画像の拡大率やＸ線強度
が変化することがなく、最適な透視画像を得ることがで
きる。
【００１０】また、Ｘ線の透過しにくい障害物がＸ線検
出器１０側にある場合でも、移動手段４により被検査物
Ｓの角度を変えることによって検査箇所Ｋを鮮明に観察
することができる。
出器１０側にある場合でも、移動手段４により被検査物
Ｓの角度を変えることによって検査箇所Ｋを鮮明に観察
することができる。
【００１１】さらに、本発明のＸ線検査装置は、前記被
検査物Ｓを前記Ｘ線の光軸Ｈに沿って移動して前記検査
ポイントＰに前記被検査物Ｓの検査箇所Ｋを位置させる
微調整手段２６を設けたものである。
検査物Ｓを前記Ｘ線の光軸Ｈに沿って移動して前記検査
ポイントＰに前記被検査物Ｓの検査箇所Ｋを位置させる
微調整手段２６を設けたものである。
【００１２】したがって、微調整手段２６によって、被
検査物ＳをＸ線の光軸Ｈに沿って移動し、前記被検査物
Ｓの検査箇所Ｋを光軸Ｈ上の検査ポイントＰに位置させ
るようにしたため、被検査物Ｓの検査箇所Ｋをより的確
に光軸Ｈ上の検査ポイントＰに位置させることができ
る。
検査物ＳをＸ線の光軸Ｈに沿って移動し、前記被検査物
Ｓの検査箇所Ｋを光軸Ｈ上の検査ポイントＰに位置させ
るようにしたため、被検査物Ｓの検査箇所Ｋをより的確
に光軸Ｈ上の検査ポイントＰに位置させることができ
る。
【００１３】また、本発明のＸ線検査装置は、前記Ｘ線
検出器１０と前記光軸Ｈ上の検査ポイントＰとの検出距
離を変更する検出距離変更手段２ａを設けたものであ
る。
検出器１０と前記光軸Ｈ上の検査ポイントＰとの検出距
離を変更する検出距離変更手段２ａを設けたものであ
る。
【００１４】したがって、Ｘ線検出器１０とＸ線の光軸
Ｈ上の検査ポイントＰとの検出距離を変更する検出距離
変更手段２ａを設けたため、Ｘ線検出器１０とＸ線の光
軸Ｈ上の検査ポイントＰとの検出距離を変えることによ
り被検査物Ｓの検査箇所Ｋの拡大率を所望の倍率に変更
することができ、検査箇所Ｋの細部まで明確に観察する
ことができる。
Ｈ上の検査ポイントＰとの検出距離を変更する検出距離
変更手段２ａを設けたため、Ｘ線検出器１０とＸ線の光
軸Ｈ上の検査ポイントＰとの検出距離を変えることによ
り被検査物Ｓの検査箇所Ｋの拡大率を所望の倍率に変更
することができ、検査箇所Ｋの細部まで明確に観察する
ことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、実施の一形態につき、図１
を参照して説明する。同図において、１はＸ線検査装置
であり、Ｘ線を被検査物Ｓに照射するＸ線発生器２と、
前記Ｘ線の光軸Ｈ上に所定の距離をおいて設置されたＸ
線検出手段３と、前記被検査物Ｓを前記Ｘ線の光軸Ｈ上
の検査ポイントＰに位置させるように、前記被検査物Ｓ
を複数の方向に移動させる移動手段４とを有する。
を参照して説明する。同図において、１はＸ線検査装置
であり、Ｘ線を被検査物Ｓに照射するＸ線発生器２と、
前記Ｘ線の光軸Ｈ上に所定の距離をおいて設置されたＸ
線検出手段３と、前記被検査物Ｓを前記Ｘ線の光軸Ｈ上
の検査ポイントＰに位置させるように、前記被検査物Ｓ
を複数の方向に移動させる移動手段４とを有する。
【００１６】前記Ｘ線検出手段３は、検出距離変更手段
３ａとＸ線検出器１０とからなり、前記検出距離変更手
段３ａは、取付板５にモータＭ１が設けられ、このモー
タＭ１の回転軸に連結された上下方向の螺棒６に摺動体
７が上下動自在に設けられている。一方、前記螺棒６に
平行にガイド板８が設けられ、ガイド板８を上下動する
移動体９にＸ線検出器１０が装着されている。そして、
摺動体７と移動体９が固着されてモータＭ１の回転によ
り一体に移動する。
３ａとＸ線検出器１０とからなり、前記検出距離変更手
段３ａは、取付板５にモータＭ１が設けられ、このモー
タＭ１の回転軸に連結された上下方向の螺棒６に摺動体
７が上下動自在に設けられている。一方、前記螺棒６に
平行にガイド板８が設けられ、ガイド板８を上下動する
移動体９にＸ線検出器１０が装着されている。そして、
摺動体７と移動体９が固着されてモータＭ１の回転によ
り一体に移動する。
【００１７】前記移動手段４は、前記被検査物Ｓを傾斜
させる傾斜手段Ａと、前記被検査物Ｓを水平方向に回転
させる回転手段Ｂと、前記被検査物Ｓを前後方向に移動
させる第一移動手段Ｃと、前記被検査物Ｓを左右方向に
移動させる第二移動手段Ｄとからなる。
させる傾斜手段Ａと、前記被検査物Ｓを水平方向に回転
させる回転手段Ｂと、前記被検査物Ｓを前後方向に移動
させる第一移動手段Ｃと、前記被検査物Ｓを左右方向に
移動させる第二移動手段Ｄとからなる。
【００１８】前記傾斜手段Ａは、水平方向に設置された
検査テーブル１１の上方に、前記Ｘ線の光軸Ｈに直交す
る軸を回転中心として傾斜する傾斜テーブル１２を有す
る。
検査テーブル１１の上方に、前記Ｘ線の光軸Ｈに直交す
る軸を回転中心として傾斜する傾斜テーブル１２を有す
る。
【００１９】そして、前記検査テーブル１１の中心部
に、Ｘ線発生器２が昇降機構（図示せず）により上下動
自在に設けられ、前記傾斜テーブル１２を傾斜させた時
のＸ線発生器２との接触をさけている。
に、Ｘ線発生器２が昇降機構（図示せず）により上下動
自在に設けられ、前記傾斜テーブル１２を傾斜させた時
のＸ線発生器２との接触をさけている。
【００２０】前記傾斜テーブル１２の両側に立設された
支持片１７が、検査テーブル１１の両支持板１６に回転
自在に支持され、一側の前記支持板１６に設けられたモ
ータＭ２の正，逆回転により、傾斜テーブル１２が前記
光軸Ｈに直交する軸を回転中心として傾斜する。そし
て、図３に示すように、前記光軸Ｈと、前記光軸Ｈに直
交する前記軸との交点が検査ポイントＰとなる。
支持片１７が、検査テーブル１１の両支持板１６に回転
自在に支持され、一側の前記支持板１６に設けられたモ
ータＭ２の正，逆回転により、傾斜テーブル１２が前記
光軸Ｈに直交する軸を回転中心として傾斜する。そし
て、図３に示すように、前記光軸Ｈと、前記光軸Ｈに直
交する前記軸との交点が検査ポイントＰとなる。
【００２１】また、前記傾斜テーブル１２に設けられた
モータＭ３の回転軸にギヤ１８が固着され、このギヤ１
８に、内周縁部が複数のローラ１９ａにより回転自在に
支持された環状ギヤ１９が噛合している。
モータＭ３の回転軸にギヤ１８が固着され、このギヤ１
８に、内周縁部が複数のローラ１９ａにより回転自在に
支持された環状ギヤ１９が噛合している。
【００２２】前記回転手段Ｂは、前記傾斜テーブル１２
に対して水平方向に回転する回転テーブル１３を有して
いる。この回転テーブル１３は、前記環状ギヤ１９に装
着され、前記モータＭ３の回転によりギヤ１８，環状ギ
ヤ１９を介して回転する。そして、回転テーブル１３の
両側に螺棒２０およびガイド棒２１が平行して前後方向
に設けられ、前記螺棒２０が前記回転テーブル１３に設
けられたモータＭ４の回転軸（図示せず）に連結されて
いる。
に対して水平方向に回転する回転テーブル１３を有して
いる。この回転テーブル１３は、前記環状ギヤ１９に装
着され、前記モータＭ３の回転によりギヤ１８，環状ギ
ヤ１９を介して回転する。そして、回転テーブル１３の
両側に螺棒２０およびガイド棒２１が平行して前後方向
に設けられ、前記螺棒２０が前記回転テーブル１３に設
けられたモータＭ４の回転軸（図示せず）に連結されて
いる。
【００２３】前記第一移動手段Ｃは、前記回転テーブル
１３を前後方向に移動する移動テーブル１４を有してい
る。この移動テーブル１４は、前記モータＭ４の螺棒２
０に移動自在に設けられた移動体（図示せず）を介して
前後方向に移動する。移動テーブル１４の両側に螺棒２
２およびガイド棒２３が平行して左右方向に設けられ、
前記螺棒２２が前記移動テーブル１４に設けられたモー
タＭ５の回転軸（図示せず）に連結されている。
１３を前後方向に移動する移動テーブル１４を有してい
る。この移動テーブル１４は、前記モータＭ４の螺棒２
０に移動自在に設けられた移動体（図示せず）を介して
前後方向に移動する。移動テーブル１４の両側に螺棒２
２およびガイド棒２３が平行して左右方向に設けられ、
前記螺棒２２が前記移動テーブル１４に設けられたモー
タＭ５の回転軸（図示せず）に連結されている。
【００２４】前記第二移動手段Ｄは、前記移動テーブル
１４を左右方向に移動する被検査物テーブル１５を有す
る。この被検査物テーブル１５は、前記螺棒２２に螺合
して移動自在に設けられた移動体２４に固着され、モー
タＭ５の回転により前記被検査物テーブル１５が移動体
２４と共に左右方向に移動する。
１４を左右方向に移動する被検査物テーブル１５を有す
る。この被検査物テーブル１５は、前記螺棒２２に螺合
して移動自在に設けられた移動体２４に固着され、モー
タＭ５の回転により前記被検査物テーブル１５が移動体
２４と共に左右方向に移動する。
【００２５】そして、前記各テーブル１１〜１５の上面
および下面中央部は開口されると共に、各テーブル１１
〜１５の中心部を前記光軸Ｈが通るように設置されてい
る。
および下面中央部は開口されると共に、各テーブル１１
〜１５の中心部を前記光軸Ｈが通るように設置されてい
る。
【００２６】また、前記被検査物テーブル１５には、図
２に示す昇降機構からなる微調整手段２６がこの被検査
物テーブル１５の両側の折曲片２５により支持されてい
る。設けられる。この微調整手段２６は、上面および下
面の一部が開口された昇降台２７と、昇降台２７に載置
された昇降ステージ２８とからなる。
２に示す昇降機構からなる微調整手段２６がこの被検査
物テーブル１５の両側の折曲片２５により支持されてい
る。設けられる。この微調整手段２６は、上面および下
面の一部が開口された昇降台２７と、昇降台２７に載置
された昇降ステージ２８とからなる。
【００２７】前記昇降台２７には、前部および後部にそ
れぞれ駆動ねじ２９が設けられ、両駆動ねじ２９の端部
にそれぞれローラ３０が固着されると共に、台形状の楔
３１が駆動ねじ２９に螺合している。
れぞれ駆動ねじ２９が設けられ、両駆動ねじ２９の端部
にそれぞれローラ３０が固着されると共に、台形状の楔
３１が駆動ねじ２９に螺合している。
【００２８】前記昇降ステージ２８は、上面および下面
の一部が開口され、下面の前部および後部に台形状の突
片３２が形成されている。この突片３２の両側に前記両
楔３１が位置している。
の一部が開口され、下面の前部および後部に台形状の突
片３２が形成されている。この突片３２の両側に前記両
楔３１が位置している。
【００２９】そして、前記昇降ステージ２８の前面に調
整ダイヤル３３が設けられ、調整ダイヤル３３および前
記両ローラ３０に駆動ベルト３４が巻回されている。な
お、昇降ステージ２８は、下面が開口されている場合
と、開口された下面にＸ線透過率の低い板体を装着する
場合とがある。
整ダイヤル３３が設けられ、調整ダイヤル３３および前
記両ローラ３０に駆動ベルト３４が巻回されている。な
お、昇降ステージ２８は、下面が開口されている場合
と、開口された下面にＸ線透過率の低い板体を装着する
場合とがある。
【００３０】そして、調整ダイヤル３３を正回転する
と、ローラ３０および駆動ねじ２９を介して両楔３１が
互いに接近する方向に移動し、両楔３１が昇降ステージ
２８の突片３２を摺動して昇降ステージ２８が光軸Ｈに
沿って上昇する。また、調整ダイヤル３３を逆回転する
と、両楔３１が互いに離反する方向に移動し、昇降ステ
ージ２８が光軸Ｈに沿って下降する。このように、被検
査物Ｓの高さを微調整することにより、図３に示すよう
に、被検査物Ｓの検査箇所Ｋ１〜Ｋ３を、Ｘ線発生器２
から所定の距離ｈに位置したＸ線の光軸Ｈ上の検査ポイ
ントＰに位置させている。このように、前記微調整手段
２６によって、被検査物Ｓを正確に検査ポイントＰに位
置させることができる。
と、ローラ３０および駆動ねじ２９を介して両楔３１が
互いに接近する方向に移動し、両楔３１が昇降ステージ
２８の突片３２を摺動して昇降ステージ２８が光軸Ｈに
沿って上昇する。また、調整ダイヤル３３を逆回転する
と、両楔３１が互いに離反する方向に移動し、昇降ステ
ージ２８が光軸Ｈに沿って下降する。このように、被検
査物Ｓの高さを微調整することにより、図３に示すよう
に、被検査物Ｓの検査箇所Ｋ１〜Ｋ３を、Ｘ線発生器２
から所定の距離ｈに位置したＸ線の光軸Ｈ上の検査ポイ
ントＰに位置させている。このように、前記微調整手段
２６によって、被検査物Ｓを正確に検査ポイントＰに位
置させることができる。
【００３１】つぎに、被検査物Ｓの検査手順について説
明する。まず、微調整手段２６の昇降ステージ２８に被
検査物Ｓ、例えば、プリント基板をセットし、回転テー
ブル１３あるいは移動テーブル１４，被検査物テーブル
１５を用いて、被検査物Ｓを回転あるいは前後，左右方
向に移動して、プリント基板の半田箇所，配線箇所など
の検査箇所Ｋ１〜Ｋ３の何れかを、Ｘ線発生器２から所
定の距離ｈに位置したＸ線の光軸Ｈ上の検査ポイントＰ
に位置させ、プリント基板の半田不良あるいは断線など
の欠陥箇所の有無を検査する。
明する。まず、微調整手段２６の昇降ステージ２８に被
検査物Ｓ、例えば、プリント基板をセットし、回転テー
ブル１３あるいは移動テーブル１４，被検査物テーブル
１５を用いて、被検査物Ｓを回転あるいは前後，左右方
向に移動して、プリント基板の半田箇所，配線箇所など
の検査箇所Ｋ１〜Ｋ３の何れかを、Ｘ線発生器２から所
定の距離ｈに位置したＸ線の光軸Ｈ上の検査ポイントＰ
に位置させ、プリント基板の半田不良あるいは断線など
の欠陥箇所の有無を検査する。
【００３２】また、前記検査箇所Ｋ１〜Ｋ３の何れか
を、傾斜させて検査する場合、例えば、図３に示すよう
に、傾斜テーブル１２を所定の角度前記光軸Ｈに対して
傾斜させる。
を、傾斜させて検査する場合、例えば、図３に示すよう
に、傾斜テーブル１２を所定の角度前記光軸Ｈに対して
傾斜させる。
【００３３】いずれの場合も、Ｘ線発生器２と被検査物
Ｓの検査箇所Ｋ１〜Ｋ３との距離ｈが変化することがな
く、前記距離ｈが一定という同一条件で任意の検査箇所
Ｋ１〜Ｋ３を検査できる。よって、検査箇所Ｋ１〜Ｋ３
の位置や検査方向によって、Ｘ線画像の拡大率やＸ線強
度が変化することがなく、最適な透視画像が得られる。
Ｓの検査箇所Ｋ１〜Ｋ３との距離ｈが変化することがな
く、前記距離ｈが一定という同一条件で任意の検査箇所
Ｋ１〜Ｋ３を検査できる。よって、検査箇所Ｋ１〜Ｋ３
の位置や検査方向によって、Ｘ線画像の拡大率やＸ線強
度が変化することがなく、最適な透視画像が得られる。
【００３４】さらに、検査箇所Ｋ１〜Ｋ３のＸ線検出器
１０側に、Ｘ線を透過しにくい障害物がある場合でも、
被検査物Ｓを複数の方向から検査できることから鮮明に
観察することができる。
１０側に、Ｘ線を透過しにくい障害物がある場合でも、
被検査物Ｓを複数の方向から検査できることから鮮明に
観察することができる。
【００３５】なお、前記移動手段４，微調整手段２６お
よび検出距離変更手段３ａの構造は、前記実施の形態に
限らず、被検査物Ｓを複数の方向に移動できる構造であ
ればよい。
よび検出距離変更手段３ａの構造は、前記実施の形態に
限らず、被検査物Ｓを複数の方向に移動できる構造であ
ればよい。
【００３６】また、前記被検査物Ｓとして、プリント基
板の検査を例にとって説明したが、電子部品，半導体な
どの内部構造の検査であってもよい。
板の検査を例にとって説明したが、電子部品，半導体な
どの内部構造の検査であってもよい。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検査物を移動手段により移動し、被検査物の任意の検
査箇所を、Ｘ線の光軸上の検査ポイントに位置させるよ
うにしたため、検査箇所の位置や検査方向に関係なく、
検査箇所とＸ線発生器との距離が一定という条件で検査
でき、Ｘ線検査装置の精度を向上することができる。
被検査物を移動手段により移動し、被検査物の任意の検
査箇所を、Ｘ線の光軸上の検査ポイントに位置させるよ
うにしたため、検査箇所の位置や検査方向に関係なく、
検査箇所とＸ線発生器との距離が一定という条件で検査
でき、Ｘ線検査装置の精度を向上することができる。
【００３８】さらに、前記被検査物を前記Ｘ線の光軸に
沿って移動して前記検査ポイントに被検査物の検査箇所
を位置させる微調整手段を設けたため、被検査物の検査
箇所をより的確に光軸上の検査ポイントに位置させるこ
とができ、より鮮明な画像が得られる。
沿って移動して前記検査ポイントに被検査物の検査箇所
を位置させる微調整手段を設けたため、被検査物の検査
箇所をより的確に光軸上の検査ポイントに位置させるこ
とができ、より鮮明な画像が得られる。
【００３９】また、検出距離変更手段により、Ｘ線検出
器とＸ線の光軸上の検査ポイントとの検出距離を変える
ことができるため、被検査物の検査箇所の拡大率を所望
の倍率に変更することができ、検査箇所の内部構造を正
確に知ることができる。
器とＸ線の光軸上の検査ポイントとの検出距離を変える
ことができるため、被検査物の検査箇所の拡大率を所望
の倍率に変更することができ、検査箇所の内部構造を正
確に知ることができる。
【図１】本発明の実施の１形態の全体斜視図である。
【図２】（イ）は図１の被検査物テーブルに設けられる
微調整手段の斜視図、（ロ）は図２（イ）の一部の拡大
図である。
微調整手段の斜視図、（ロ）は図２（イ）の一部の拡大
図である。
【図３】図１の検査状態を示す側面図である。
【図４】従来例の検査状態を示す側面図である。
１…Ｘ線検査装置、２…Ｘ線発生器、３ａ…検出距離変
更手段、４…移動手段、１０…Ｘ線検出器、２６…微調
整手段、ｈ…距離、Ｈ…光軸、Ｓ…被検査物、Ｋ…検査
箇所、Ｐ…検査ポイント。
更手段、４…移動手段、１０…Ｘ線検出器、２６…微調
整手段、ｈ…距離、Ｈ…光軸、Ｓ…被検査物、Ｋ…検査
箇所、Ｐ…検査ポイント。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA02 GA04 GA05 GA08 GA13 JA06 JA07 JA20 KA03 LA11 PA11 PA12 PA14 5E319 CD53
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線発生器(2 )から照射されるＸ線を、
該Ｘ線の光軸(H )に対して傾斜可能な被検査物(S )に照
射し、前記Ｘ線の照射による前記被検査物(S )の透視画
像を、Ｘ線検出器(10)で検出するようにしたＸ線検査装
置において、前記Ｘ線発生器(2 )から所定の距離に位置
した前記光軸(H )上の検査ポイント(P )に、前記光軸(H
)に対して傾斜する前記被検査物(S )の任意の検査箇所
(K )を位置させるように、前記被検査物(S )を移動させ
る移動手段(4 )を設けたことを特徴とするＸ線検査装
置。 - 【請求項２】 前記被検査物(S )を前記Ｘ線の光軸(H )
に沿って移動して前記検査ポイント(P )に前記被検査物
の検査箇所(K )を位置させる微調整手段(26)を設けたこ
とを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。 - 【請求項３】 前記Ｘ線検出器(10)と前記検査ポイント
(P )との検出距離を変更する検出距離変更手段(2a)を設
けたことを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19470799A JP4156754B2 (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | Ｘ線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19470799A JP4156754B2 (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | Ｘ線検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001021506A true JP2001021506A (ja) | 2001-01-26 |
| JP4156754B2 JP4156754B2 (ja) | 2008-09-24 |
Family
ID=16328927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19470799A Expired - Fee Related JP4156754B2 (ja) | 1999-07-08 | 1999-07-08 | Ｘ線検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4156754B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003028812A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
| CN102348601A (zh) * | 2009-04-02 | 2012-02-08 | 史密斯海曼有限公司 | 传输容器标识 |
-
1999
- 1999-07-08 JP JP19470799A patent/JP4156754B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003028812A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
| JP4715986B2 (ja) * | 2001-07-17 | 2011-07-06 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線透視装置 |
| CN102348601A (zh) * | 2009-04-02 | 2012-02-08 | 史密斯海曼有限公司 | 传输容器标识 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4156754B2 (ja) | 2008-09-24 |
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