JPH09152329A - 平面度測定装置 - Google Patents
平面度測定装置Info
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- JPH09152329A JPH09152329A JP8029770A JP2977096A JPH09152329A JP H09152329 A JPH09152329 A JP H09152329A JP 8029770 A JP8029770 A JP 8029770A JP 2977096 A JP2977096 A JP 2977096A JP H09152329 A JPH09152329 A JP H09152329A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
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- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 平面度測定データの信頼度を高めて、平
面度測定時間を短縮させることができ、陰極線管用電子
銃の平面度測定にも使用可能な平面度測定装置を提供す
る。 【解決手段】 Ｚ軸方向に形成されてスライダ１２のＺ
軸方向移動を可能にするＺ方向移動手段と、このＺ方向
移動手段の下側に配設されてスライダ３２のＸ方向移動
を可能にするＸ方向移動手段と、このＸ方向移動手段に
対して直交する方向に配設されてスライダ４８のＹ方向
移動を可能にするＹ方向移動手段とを有する。Ｚ方向移
動手段には変位計測手段２４が設けられていると共に、
Ｘ方向移動またはＹ方向移動可能なスライダ３２、４８
に測定対象物を載置可能である。
面度測定時間を短縮させることができ、陰極線管用電子
銃の平面度測定にも使用可能な平面度測定装置を提供す
る。 【解決手段】 Ｚ軸方向に形成されてスライダ１２のＺ
軸方向移動を可能にするＺ方向移動手段と、このＺ方向
移動手段の下側に配設されてスライダ３２のＸ方向移動
を可能にするＸ方向移動手段と、このＸ方向移動手段に
対して直交する方向に配設されてスライダ４８のＹ方向
移動を可能にするＹ方向移動手段とを有する。Ｚ方向移
動手段には変位計測手段２４が設けられていると共に、
Ｘ方向移動またはＹ方向移動可能なスライダ３２、４８
に測定対象物を載置可能である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平面度測定装置に関
し、詳しくは、陰極線管用電子銃電極などの平面度を測
定するために用いられ、平面度測定データの信頼度を高
めて平面度測定時間を短縮させることができる平面度測
定装置に関する。
し、詳しくは、陰極線管用電子銃電極などの平面度を測
定するために用いられ、平面度測定データの信頼度を高
めて平面度測定時間を短縮させることができる平面度測
定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】陰極線管の電子銃は、複数個の電極が同
一線上に配置されて陰極から出る熱電子をビーム化し
て、画像を再現するに要求される最適のフォーカスにな
るようにする機能を有する。このような電子銃の電極
は、電子ビームが通過する開口が設けられているコップ
状の構造からなるが、電子ビームが通過する開口が形成
されている部位の平面度が低ければ、結局、電子ビーム
の進行軌道が変化させられるので、電極の平面度はこの
点から極めて重要である。特に、メインフォーカスレン
ズ系を形成する主電極は、平面度が非常に高くなければ
ビームのフォーカスを最適化できない。従って、電子銃
の電極は制作された後に平面度測定工程を通じて表面の
平面度が測定され、製品の品質管理がなされている。
一線上に配置されて陰極から出る熱電子をビーム化し
て、画像を再現するに要求される最適のフォーカスにな
るようにする機能を有する。このような電子銃の電極
は、電子ビームが通過する開口が設けられているコップ
状の構造からなるが、電子ビームが通過する開口が形成
されている部位の平面度が低ければ、結局、電子ビーム
の進行軌道が変化させられるので、電極の平面度はこの
点から極めて重要である。特に、メインフォーカスレン
ズ系を形成する主電極は、平面度が非常に高くなければ
ビームのフォーカスを最適化できない。従って、電子銃
の電極は制作された後に平面度測定工程を通じて表面の
平面度が測定され、製品の品質管理がなされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
平面度測定方式は、電極を治具上に載せた状態でデジマ
ティックインディケータ(digimatic indicator)を用い
て、作業者が多数個のポイントを選定し、このインディ
ケータを電極表面に接させた状態で測定するものであ
り、種々の問題点がある。例えば、平面度の測定は１つ
の表面から多数個の位置を測定しなければならないの
で、インディケータを作業者が直接に使用する方式は、
測定時間が非常に長くかかるという問題点がある。しか
も、平面度の測定が作業者の手作業により行われるの
で、測定データにバラツキが生じる余地があり、測定結
果の信頼度が低くなるという問題点もある。
平面度測定方式は、電極を治具上に載せた状態でデジマ
ティックインディケータ(digimatic indicator)を用い
て、作業者が多数個のポイントを選定し、このインディ
ケータを電極表面に接させた状態で測定するものであ
り、種々の問題点がある。例えば、平面度の測定は１つ
の表面から多数個の位置を測定しなければならないの
で、インディケータを作業者が直接に使用する方式は、
測定時間が非常に長くかかるという問題点がある。しか
も、平面度の測定が作業者の手作業により行われるの
で、測定データにバラツキが生じる余地があり、測定結
果の信頼度が低くなるという問題点もある。
【０００４】本発明は、上記した従来技術の有する問題
点を解消するため案出されたものであって、その目的
は、多数個の対象物、例えば電極をテーブル上に配置し
て、このテーブルを上下左右に移動させながらレーザー
ビームセンサーにより平面度を測定することにより、測
定データの正確性と信頼性を図り、測定時間を短縮させ
得ると共に、ＩＳＯ規準に合う平面度管理をすることは
もちろん、データベース自動化、Ｅ−ＣＩＭ ＳＹＳＴ
ＥＭに役立てる陰極線管用電子銃の平面度測定にも使用
可能な平面度測定装置を提供することにある。
点を解消するため案出されたものであって、その目的
は、多数個の対象物、例えば電極をテーブル上に配置し
て、このテーブルを上下左右に移動させながらレーザー
ビームセンサーにより平面度を測定することにより、測
定データの正確性と信頼性を図り、測定時間を短縮させ
得ると共に、ＩＳＯ規準に合う平面度管理をすることは
もちろん、データベース自動化、Ｅ−ＣＩＭ ＳＹＳＴ
ＥＭに役立てる陰極線管用電子銃の平面度測定にも使用
可能な平面度測定装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的は、請求項記載
の発明により達成される。即ち、本発明の平面度測定装
置の特徴構成は、Ｚ軸方向に形成されてスライダのＺ軸
方向移動を可能にするＺ方向移動手段と、このＺ方向移
動手段の下側に配設されてスライダのＸ方向移動を可能
にするＸ方向移動手段と、このＸ方向移動手段に対して
直交する方向に配設されてスライダのＹ方向移動を可能
にするＹ方向移動手段とを有し、前記Ｚ方向移動手段に
は変位計測手段が設けられていると共に、Ｘ方向移動ま
たはＹ方向移動可能なスライダに測定対象物を載置可能
である点にある。このようになっていると、Ｚ方向移動
手段をセッティングした状態で、Ｘ方向移動手段および
Ｙ方向移動手段を駆動させながら治具上に載せているす
べての測定対象物の平面度を自動的に測定することが可
能になり、作業者が直接に測定を行う必要がないので、
測定データの信頼度を高めることができる。しかも、治
具上で複数個の測定対象物の平面度測定が順次行えるの
で、平面度測定に要する時間を最小限にすることができ
て、測定時間の短縮を図ることが可能となる。尚、測定
対象物はＸ方向移動またはＹ方向移動可能なスライダ上
に、直接または間接（治具などを介して）に載置可能と
なっている。又、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動手段が作業台上に
設けられていると、水平を出し易く、測定作業がし易く
なって好ましい。
の発明により達成される。即ち、本発明の平面度測定装
置の特徴構成は、Ｚ軸方向に形成されてスライダのＺ軸
方向移動を可能にするＺ方向移動手段と、このＺ方向移
動手段の下側に配設されてスライダのＸ方向移動を可能
にするＸ方向移動手段と、このＸ方向移動手段に対して
直交する方向に配設されてスライダのＹ方向移動を可能
にするＹ方向移動手段とを有し、前記Ｚ方向移動手段に
は変位計測手段が設けられていると共に、Ｘ方向移動ま
たはＹ方向移動可能なスライダに測定対象物を載置可能
である点にある。このようになっていると、Ｚ方向移動
手段をセッティングした状態で、Ｘ方向移動手段および
Ｙ方向移動手段を駆動させながら治具上に載せているす
べての測定対象物の平面度を自動的に測定することが可
能になり、作業者が直接に測定を行う必要がないので、
測定データの信頼度を高めることができる。しかも、治
具上で複数個の測定対象物の平面度測定が順次行えるの
で、平面度測定に要する時間を最小限にすることができ
て、測定時間の短縮を図ることが可能となる。尚、測定
対象物はＸ方向移動またはＹ方向移動可能なスライダ上
に、直接または間接（治具などを介して）に載置可能と
なっている。又、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動手段が作業台上に
設けられていると、水平を出し易く、測定作業がし易く
なって好ましい。
【０００６】前記Ｚ方向移動手段は、フレームと、この
フレームの上側に設けられる駆動手段と、この駆動手段
の回転力により回転する親ねじとを含み、この親ねじに
はナット部材が螺合されていて、このナット部材はスラ
イダに固定されるようになっていると好ましい。このよ
うになっていると、１つの位置から次の位置への移動が
確実になされ、しかも平面度測定位置を特定の複数箇所
に自動設定することが可能となって好ましい。前記フレ
ームには、スライダの直線移動のためのガイドレールが
形成され、このガイドレールにすべり金が設けられてい
ると、スライダの移動に際してふらつくことがないので
都合がよい。前記スライダにはポケットが形成されてい
て、このポケットに複数個の玉軸受が収納されている
と、スライダの移動を滑らかに行うことができて好まし
い。
フレームの上側に設けられる駆動手段と、この駆動手段
の回転力により回転する親ねじとを含み、この親ねじに
はナット部材が螺合されていて、このナット部材はスラ
イダに固定されるようになっていると好ましい。このよ
うになっていると、１つの位置から次の位置への移動が
確実になされ、しかも平面度測定位置を特定の複数箇所
に自動設定することが可能となって好ましい。前記フレ
ームには、スライダの直線移動のためのガイドレールが
形成され、このガイドレールにすべり金が設けられてい
ると、スライダの移動に際してふらつくことがないので
都合がよい。前記スライダにはポケットが形成されてい
て、このポケットに複数個の玉軸受が収納されている
と、スライダの移動を滑らかに行うことができて好まし
い。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明によ
る平面度測定装置の斜視図を示す。この装置は、ボール
キャスター２が下側に設けられて移動可能な作業台４
と、この作業台４上に垂直方向に立上がって設けられる
Ｚ方向移動手段と、このＺ方向移動手段の下側に設けら
れるＸ方向移動手段およびＹ方向移動手段とを備える。
作業台の下のボールキャスター２はなくてもよいが、あ
れば移動が容易となって便利である。前記Ｚ方向移動手
段は、前記作業台４の一側に固定設置されたフレーム６
と、このフレーム６の上側面に設けられて正逆両方向に
回転可能な駆動手段たるモータ８と、このモータの駆動
軸に連結されて回転駆動力を伝達される親ねじ１０とを
有する。この親ねじ１０にスライダ１２が結合されてい
て、この親ねじの回転方向に応じてスライダ１２は上
昇、または、下降できるように構成されている。
を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明によ
る平面度測定装置の斜視図を示す。この装置は、ボール
キャスター２が下側に設けられて移動可能な作業台４
と、この作業台４上に垂直方向に立上がって設けられる
Ｚ方向移動手段と、このＺ方向移動手段の下側に設けら
れるＸ方向移動手段およびＹ方向移動手段とを備える。
作業台の下のボールキャスター２はなくてもよいが、あ
れば移動が容易となって便利である。前記Ｚ方向移動手
段は、前記作業台４の一側に固定設置されたフレーム６
と、このフレーム６の上側面に設けられて正逆両方向に
回転可能な駆動手段たるモータ８と、このモータの駆動
軸に連結されて回転駆動力を伝達される親ねじ１０とを
有する。この親ねじ１０にスライダ１２が結合されてい
て、この親ねじの回転方向に応じてスライダ１２は上
昇、または、下降できるように構成されている。
【０００８】前記フレーム６の上端部および下端部に
は、それぞれブラケット１４、１６が一体に形成されて
いて、上部ブラケット１４はモータ８を支持できるよう
になっており、下部ブラケット１６は親ねじ１０の下端
部を支持できるようになっている。前記スライダ１２に
は、親ねじ１０と螺合されるナット部材１８が設けられ
ている。更に、このスライダ１２にすべり金２２が取り
付けられていて、フレーム６の表面の左右側にそれぞれ
突設されたガイドレール２０に係合するようになってい
る。このすべり金２２が固定突設されたガイドレール２
０に沿って摺動することにより、スライダ１２が上下移
動する間、左右に揺れることを防止している。このスラ
イダ１２には、変位計測手段である可視光半導体式変位
計測器２４が設けられてスライダとともに昇降できるよ
うになっている。この可視光半導体式変位計測器２４と
しては、公知の半導体レーザービームセンサー（ＫＥＹ
ＥＮＣＥ２３２０）が使用され得る。
は、それぞれブラケット１４、１６が一体に形成されて
いて、上部ブラケット１４はモータ８を支持できるよう
になっており、下部ブラケット１６は親ねじ１０の下端
部を支持できるようになっている。前記スライダ１２に
は、親ねじ１０と螺合されるナット部材１８が設けられ
ている。更に、このスライダ１２にすべり金２２が取り
付けられていて、フレーム６の表面の左右側にそれぞれ
突設されたガイドレール２０に係合するようになってい
る。このすべり金２２が固定突設されたガイドレール２
０に沿って摺動することにより、スライダ１２が上下移
動する間、左右に揺れることを防止している。このスラ
イダ１２には、変位計測手段である可視光半導体式変位
計測器２４が設けられてスライダとともに昇降できるよ
うになっている。この可視光半導体式変位計測器２４と
しては、公知の半導体レーザービームセンサー（ＫＥＹ
ＥＮＣＥ２３２０）が使用され得る。
【０００９】さらに、前記Ｘ方向移動手段は、図２に示
すように、駆動手段たる回転駆動モータ２６と、このモ
ータの駆動軸に連結されて正逆方向に回転する親ねじ２
８とを有する。この親ねじ２８にはナット部材３０が結
合されていて、回転方向に応じて左右に移動できるよう
になっている。ナット部材３０は、スライダ３２に固定
されて実質的に親ねじ２８の回転力によりスライダ３２
を移動させ得る。前記Ｘ方向移動手段のスライダ３２が
直線移動できるようにするため、前記作業台４にはガイ
ドレール３４が設けられており、このガイドレール３４
にはＺ方向移動手段のすべり金と同様な構成により、す
べり金が形成されている。そして、ガイドレール３４と
隣接して玉軸受３６が、スライダ３２の底面に接する状
態にポケット３８に収納されることによって、このスラ
イダの移動を円滑にする。もっとも、玉軸受の玉に代え
てコロを使用するローラ軸受でもよい。
すように、駆動手段たる回転駆動モータ２６と、このモ
ータの駆動軸に連結されて正逆方向に回転する親ねじ２
８とを有する。この親ねじ２８にはナット部材３０が結
合されていて、回転方向に応じて左右に移動できるよう
になっている。ナット部材３０は、スライダ３２に固定
されて実質的に親ねじ２８の回転力によりスライダ３２
を移動させ得る。前記Ｘ方向移動手段のスライダ３２が
直線移動できるようにするため、前記作業台４にはガイ
ドレール３４が設けられており、このガイドレール３４
にはＺ方向移動手段のすべり金と同様な構成により、す
べり金が形成されている。そして、ガイドレール３４と
隣接して玉軸受３６が、スライダ３２の底面に接する状
態にポケット３８に収納されることによって、このスラ
イダの移動を円滑にする。もっとも、玉軸受の玉に代え
てコロを使用するローラ軸受でもよい。
【００１０】一方、前記Ｙ方向移動手段は、図１、３に
示すように、前記スライダ３２の上側にガイドレール４
０が前記ガイドレール３４と直交する方向に形成されて
いる。さらに、駆動手段たる回転駆動モータ４２の駆動
軸に連結された親ねじ４４が回転可能に設けられてい
る。この親ねじ４４にもナット部材４６が螺着されてい
て、親ねじ４４の回転方向に応じてナット部材４６は前
後に移動でき、このナット部材４６はスライダ４８の底
面に固定されて、実質的にこの親ねじの回転によりスラ
イダ４８が移動できるようになっている。スライダ４８
の底面にもすべり金５０が設けられていて、前記ガイド
レール４０に沿って移動できるように構成されている。
さらに、前記スライダ３２の上面にもポケット５２が形
成されて玉軸受５４を収納しており、この玉軸受５４は
スライダ４８の底面に接して、スライダ４８の移動の際
に円滑な移動を可能にする。前記スライダ４８の上面
は、平面度測定をしようとする電極が置かれるように実
質的に平面を形成している。
示すように、前記スライダ３２の上側にガイドレール４
０が前記ガイドレール３４と直交する方向に形成されて
いる。さらに、駆動手段たる回転駆動モータ４２の駆動
軸に連結された親ねじ４４が回転可能に設けられてい
る。この親ねじ４４にもナット部材４６が螺着されてい
て、親ねじ４４の回転方向に応じてナット部材４６は前
後に移動でき、このナット部材４６はスライダ４８の底
面に固定されて、実質的にこの親ねじの回転によりスラ
イダ４８が移動できるようになっている。スライダ４８
の底面にもすべり金５０が設けられていて、前記ガイド
レール４０に沿って移動できるように構成されている。
さらに、前記スライダ３２の上面にもポケット５２が形
成されて玉軸受５４を収納しており、この玉軸受５４は
スライダ４８の底面に接して、スライダ４８の移動の際
に円滑な移動を可能にする。前記スライダ４８の上面
は、平面度測定をしようとする電極が置かれるように実
質的に平面を形成している。
【００１１】このような電子銃電極の平面度測定装置
は、まず一連の製造工程を経て制作された電極を治具上
に固定された状態で、図１に示すように、Ｙ方向移動手
段のスライダ４８の表面に載せる。図４に示すように、
治具Ｊ上に載せられる電極Ｇ１０、Ｇ１１、Ｇ１２、Ｇ
１３、Ｇ１４は、これら複数個が載せられて、同一平面
上で次に説明する方法により、電極の平面度測定が行わ
れる。すなわち、Ｚ軸上の回転駆動モータ８を駆動させ
てスライダ１２を下側に移動させながら、変位計測器２
４から照射される電子ビームＢのフォーカスが、電極表
面において最適の状態をなす瞬間にＺ方向移動手段の駆
動を中断する（図２参照）。このような状態で、図４に
示すように、１つの電極Ｇ１０における８つのポイント
ごとに、レーザービームＢを照射して距離計測を行える
ように、Ｘ方向移動手段およびＹ方向移動手段を駆動し
て、スライダ４８を前後および左右に移動できるように
する。このような方式によって１つの電極に対する平面
度測定を完了すると、別の電極Ｇ１１の平面度を同一方
法により測定するため、Ｘ方向移動手段およびＹ方向移
動手段を駆動する。以下、矢印にしたがい順次これを繰
り返すことにより、自動的にスライダ４８上の各電極の
平面度測定を完了することができる。これらの操作を、
ＣＰＵを用いることにより、所定の測定プログラムに従
って制御してもよい。また、測定結果を、外部の記録手
段を用いて記録するように構成することも可能である。
は、まず一連の製造工程を経て制作された電極を治具上
に固定された状態で、図１に示すように、Ｙ方向移動手
段のスライダ４８の表面に載せる。図４に示すように、
治具Ｊ上に載せられる電極Ｇ１０、Ｇ１１、Ｇ１２、Ｇ
１３、Ｇ１４は、これら複数個が載せられて、同一平面
上で次に説明する方法により、電極の平面度測定が行わ
れる。すなわち、Ｚ軸上の回転駆動モータ８を駆動させ
てスライダ１２を下側に移動させながら、変位計測器２
４から照射される電子ビームＢのフォーカスが、電極表
面において最適の状態をなす瞬間にＺ方向移動手段の駆
動を中断する（図２参照）。このような状態で、図４に
示すように、１つの電極Ｇ１０における８つのポイント
ごとに、レーザービームＢを照射して距離計測を行える
ように、Ｘ方向移動手段およびＹ方向移動手段を駆動し
て、スライダ４８を前後および左右に移動できるように
する。このような方式によって１つの電極に対する平面
度測定を完了すると、別の電極Ｇ１１の平面度を同一方
法により測定するため、Ｘ方向移動手段およびＹ方向移
動手段を駆動する。以下、矢印にしたがい順次これを繰
り返すことにより、自動的にスライダ４８上の各電極の
平面度測定を完了することができる。これらの操作を、
ＣＰＵを用いることにより、所定の測定プログラムに従
って制御してもよい。また、測定結果を、外部の記録手
段を用いて記録するように構成することも可能である。
【００１２】上記実施形態では、Ｚ方向移動手段の直下
にＹ方向移動手段のスライダ４８を配置したが、Ｙ方向
移動手段の代わりにＸ方向移動手段を配置して、測定対
象物をＸ方向移動手段のスライダ３２に載置する構成と
してもよい。この場合、測定対象物をスライダ上に直接
載置するようにしてもよいし、図示したように、治具を
介してその上に載置してもよい。また、本発明の平面度
測定装置は、その測定対象物として陰極線管用電子銃電
極に限定されるものではなく、平面度を測定する必要の
ある対象物に広く適用できるものである。変位計測器に
ついても、図示した形式に限定されるものではなく、各
種のものを使用でき、例えば、試料の直上からビームを
照射することに代えて斜め方向からビームを照射し、こ
れをビームの反射位置に配した検出器に受光させて、よ
り広い面積からの情報を受けるようにしてもよい。又、
ビームを走査させるようにして、所定の面積からの情報
を得る方法でもよい。
にＹ方向移動手段のスライダ４８を配置したが、Ｙ方向
移動手段の代わりにＸ方向移動手段を配置して、測定対
象物をＸ方向移動手段のスライダ３２に載置する構成と
してもよい。この場合、測定対象物をスライダ上に直接
載置するようにしてもよいし、図示したように、治具を
介してその上に載置してもよい。また、本発明の平面度
測定装置は、その測定対象物として陰極線管用電子銃電
極に限定されるものではなく、平面度を測定する必要の
ある対象物に広く適用できるものである。変位計測器に
ついても、図示した形式に限定されるものではなく、各
種のものを使用でき、例えば、試料の直上からビームを
照射することに代えて斜め方向からビームを照射し、こ
れをビームの反射位置に配した検出器に受光させて、よ
り広い面積からの情報を受けるようにしてもよい。又、
ビームを走査させるようにして、所定の面積からの情報
を得る方法でもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上に述べたように、Ｚ方向移動手段を
セッティングした状態で、Ｘ方向移動手段およびＹ方向
移動手段を駆動させながら治具上に載せているすべての
電極の表面の平面度を測定できる。このような方法は、
作業者が直接に測定を行う必要がないので、測定データ
の信頼度を高めることができ、しかも、治具上で複数個
の電極の平面度測定が行われるので、平面度測定に従う
時間を短縮させ得る。
セッティングした状態で、Ｘ方向移動手段およびＹ方向
移動手段を駆動させながら治具上に載せているすべての
電極の表面の平面度を測定できる。このような方法は、
作業者が直接に測定を行う必要がないので、測定データ
の信頼度を高めることができ、しかも、治具上で複数個
の電極の平面度測定が行われるので、平面度測定に従う
時間を短縮させ得る。
【図１】平面度測定装置の斜視図
【図２】平面度測定装置のＸ方向側断面図
【図３】平面度測定装置のＹ方向側断面図
【図４】平面度測定装置に載せられる電極の配列状態を
説明する図
説明する図
６ フレーム ８、２６、４２ 駆動手段 １０、２８、４４ 親ねじ １２、３２、４８ スライダ １８、３０、４６ ナット部材 ２０、３４、４０ ガイドレール ２２、５０ すべり金 ２４ 変位計測手段 ３６、５４ 玉軸受 ３８、５２ ポケット
Claims (6)
- 【請求項１】 Ｚ軸方向に形成されてスライダのＺ軸方
向移動を可能にするＺ方向移動手段と、このＺ方向移動
手段の下側に配設されてスライダのＸ方向移動を可能に
するＸ方向移動手段と、このＸ方向移動手段に対して直
交する方向に配設されてスライダのＹ方向移動を可能に
するＹ方向移動手段とを有し、前記Ｚ方向移動手段には
変位計測手段が設けられていると共に、Ｘ方向移動また
はＹ方向移動可能なスライダに測定対象物を載置可能で
ある平面度測定装置。 - 【請求項２】 前記Ｚ方向移動手段は、フレームと、こ
のフレームの上側に設けられる駆動手段と、この駆動手
段の回転力により回転する親ねじとを含み、この親ねじ
にはナット部材が螺合されていて、このナット部材は前
記スライダに固定されている請求項１に記載の平面度測
定装置。 - 【請求項３】 前記フレームには、スライダの直線移動
のためのガイドレールが形成されていて、このガイドレ
ールにすべり金が係合するようになっている請求項２に
記載の平面度測定装置。 - 【請求項４】 前記Ｘ方向移動手段は、駆動手段と、こ
の駆動手段の回転を伝達されて回転する親ねじと、この
親ねじに螺合されるナット部材とを含み、このナット部
材はスライダの底面に設けられている請求項１〜３のい
ずれか１項に記載の平面度測定装置。 - 【請求項５】 前記スライダにはポケットが形成されて
いて、このポケットに複数個の玉軸受が収納されている
請求項４に記載の平面度測定装置。 - 【請求項６】 前記Ｙ方向手段は、駆動手段と、この駆
動手段の回転を伝達されて回転する親ねじと、この親ね
じに螺合されるナット部材とを含み、このナット部材は
スライダの底面に設けられている請求項１〜５のいずれ
か１項に記載の平面度測定装置。
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- 1996-02-28 DE DE19607513A patent/DE19607513A1/de not_active Withdrawn
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