CN106152979A - 一种平面度检测装置 - Google Patents
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Abstract
一种平面度检测装置，包括夹取机构、位于夹取机构上方的激光传感器，所述激光传感器安装在X向运动模组和Y向运动模组上；所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台上，大理石平台底部设有空气缓冲垫，配合伺服电机的加减速来降低测量系统的震动；待测TFT定位在夹取机构上，X向运动模组、Y向运动模组带着高速、高精度激光传感器到需要测量点位采集数据，使用激光传感器采集N个点位高度数据，使用最小二乘法计算产品平面度。
Description
技术领域
本发明涉及TFT检测技术领域，具体涉及TFT平面度的检测。
背景技术
TFT(Thin Film Transistor)是薄膜晶体管的缩写。TFT式显示屏是各类笔记本电脑和台式机上的主流显示设备，该类显示屏上的每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动，因此TFT式显示屏也是一类有源矩阵液晶显示设备。
为解决TFT产品平面度自动高速测量的技术问题，必须解决震动对测量的影响。
发明内容
本发明所解决的技术问题：如何解决震动对测量的影响，以实现自动高速测量设备对TFT产品平面度的精确测量。
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种平面度检测装置，包括夹取机构、位于夹取机构上方的激光传感器，所述激光传感器安装在X向运动模组和Y向运动模组上；所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台上，大理石平台底部设有空气缓冲垫。
按上述技术方案，本发明使用150毫米厚度的大理石平台增加底板重量，大理石平台底部使用空气缓冲垫，以及控制X向运动模组和Y向运动模组的伺服电机的加减速来降低测量系统的震动；待测TFT定位在夹取机构上，X向运动模组、Y向运动模组带着高速、高精度激光传感器到需要测量点位采集数据，X向运动模组、Y向运动模组设有光栅尺组件；使用高速、高精度激光传感器采集N个点位高度数据，使用最小二乘法计算产品平面度。
所述夹取机构包括安装在载具左侧边缘的第一初限位块和第二初限位块、安装在载具后侧边缘的第三初限位块、安装在载具右侧边缘的第一定位柱和第二定位柱、安装在载具前侧边缘的第三定位柱。产品每次放置都由第一初限位块、第二初限位块、第三初限位块初定位，靠在第一定位柱、第二定位柱、第三定位柱上，保证放置位置具有重复性。
夹取机构的载具开设第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口对角设置；载具的下方设有第一CCD相机和第二CCD相机，第一CCD相机位于第一豁口处，第二CCD相机位于第二豁口处。使用第一CCD相机和第二CCD相机检测产品位置，将TFT产品位置信息传递给X向运动模组、Y向运动模组的伺服控制系统，X向运动模组、Y向运动模组的伺服控制系统再带着高速、高精度激光传感器到需要测量点位采集数据。
测量产品材质较软，易变形影响测量的真实值，本发明所述平面度检测装置的结构非常有效的解决了振动带来的干扰，保证产品在自然状态下高速精密测量。具体地，实现四种TFT产品平面度自动高速测量，可共用13-15寸TFT产品(产品材质为透明材料)，重复测量精度可达到5um，测量点位68个，C/T仅为25S。
附图说明
下面结合附图对本发明做进一步的说明：
图1为本发明一种平面度检测装置的立体图；
图2为本发明一种平面度检测装置的主视图；
图3为图2的俯视图。
图中符号说明：
10、夹取机构；11、载具；12、第一初限位块；13、第二初限位块；14、第三初限位块；15、第一定位柱；16、第二定位柱；17、第三定位柱；
20、激光传感器；
30、X向运动模组；
40、Y向运动模组；
50、大理石平台；
71、第一CCD相机；72、第二CCD相机；73、条形光源。
具体实施方式
如图1，一种平面度检测装置，包括夹取机构10、位于夹取机构上方的激光传感器20。
如图1，所述激光传感器20优选为镭射头，安装在X向运动模组30上，X向运动模组30安装在Y向运动模组40上，X向运动模组30和Y向运动模组40均采用伺服电机驱动的丝杆机构。
所述Y向运动模组40和夹取机构安装在大理石平台50上，大理石平台底部设有空气缓冲垫，空气缓冲垫的数量优选为四个，分布在大理石平台的四角外，空气缓冲垫安装在底座上，底座的底部设有滚轮。
如图3，所述夹取机构10包括安装在载具11左侧边缘的第一初限位块12和第二初限位块13、安装在载具后侧边缘的第三初限位块14、安装在载具右侧边缘的第一定位柱15和第二定位柱16、安装在载具前侧边缘的第三定位柱17。
如图1，夹取机构10的载具11开设第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口对角设置；载具的下方设有第一CCD相机71和第二CCD相机72，第一CCD相机位于第一豁口处，第二CCD相机位于第二豁口处。所述第一CCD相机71和第二CCD相机72的上方分别设有条形光源73。
整个平面度检测装置安装在壳体内，壳体上设有显示器，壳体顶部设有三色灯，所述激光传感器20、X向运动模组30和Y向运动模组40的伺服控制系统、第一CCD相机71和第二CCD相机72、显示器、三色灯均与控制主机电连接。
实际操作中，本发明所述一种平面度检测装置的工作流程：
第一，产品每次放置都由第一初限位块12、第二初限位块13、第三初限位块14初定位，靠在第一定位柱15、第二定位柱16、第三定位柱17上，保证放置位置具有重复性；
第二，使用第一CCD相机71和第二CCD相机72检测产品位置，将TFT产品位置信息传递给X向运动模组30、Y向运动模组40的伺服控制系统，X向运动模组、Y向运动模组的伺服控制系统再带着高速、高精度激光传感器20到需要测量点位采集数据；
第三，使用高速、高精度激光传感器20采集N个点位高度数据，使用最小二乘法计算产品平面度；
第四，测量结果由显示器显示PASS或NG，测量NG的产品，三色灯报警以及闪红灯。
以上内容仅为本发明的较佳实施方式，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (3)
1.一种平面度检测装置，包括夹取机构(10)、位于夹取机构上方的激光传感器(20)，所述激光传感器安装在X向运动模组(30)和Y向运动模组(40)上；其特征在于：所述夹取机构、X向运动模组和Y向运动模组安装在大理石平台(50)上，大理石平台底部设有空气缓冲垫。
2.如权利要求1所述的一种平面度检测装置，其特征在于：所述夹取机构(10)包括安装在载具(11)左侧边缘的第一初限位块(12)和第二初限位块(13)、安装在载具后侧边缘的第三初限位块(14)、安装在载具右侧边缘的第一定位柱(15)和第二定位柱(16)、安装在载具前侧边缘的第三定位柱(17)。
3.如权利要求1所述的一种平面度检测装置，其特征在于：夹取机构(10)的载具(11)开设第一豁口和第二豁口，第一豁口和第二豁口对角设置；载具的下方设有第一CCD相机(71)和第二CCD相机(72)，第一CCD相机位于第一豁口处，第二CCD相机位于第二豁口处。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610767220.6A CN106152979A (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种平面度检测装置 |
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| CN201610767220.6A CN106152979A (zh) | 2016-08-30 | 2016-08-30 | 一种平面度检测装置 |
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