CN110608690A - 平面度检测装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 7
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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Abstract
本发明公开了一种平面度检测装置，包括底板，所述底板上安装有丝杆模组，所述丝杆模组上设置有由丝杆模组驱动其运动的产品放置工装，所述底板上还设置有测量安装板，所述测量安装板上分别设置有激光模块和相机模块，所述激光模块射出的激光与相机模块的检测面成90°角，还包括安装在丝杆模组上的编码器，还包括控制模块，所述控制模块分别和编码器、激光模块和相机模块连接，本装置由于激光模块射出的激光与相机模块的检测面成90°角，从而使得不论产品高度发生如何变化，相机至物品检测面的距离均不会发生变化，从而不存在景深差异，使得检测精度高。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测装置，特别涉及平面度检测装置。
背景技术
目前在平面度检测领域，如对薄膜等薄而光滑的平面进行检测时，大都会采用激光三角测量法，所述激光三角测量法主要包括激光和CCD相机，激光安装在检测台上方，CCD相机斜向设置，从而可检测到激光打在物体上的面，但当物体高度发生变化时，如图5所示，当物体1和物体2高度不同时B’与C’的检测物距也并不相同，即景深发生了改变，从而对测量造成误差。
发明内容
本发明解决的技术问题是提供一种提高检测精度的平面度检测装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：平面度检测装置，包括底板，所述底板上安装有丝杆模组，所述丝杆模组上设置有由丝杆模组驱动其运动的产品放置工装，所述底板上还设置有测量安装板，所述测量安装板上分别设置有激光模块和相机模块，所述激光模块射出的激光与相机模块的检测面成90°角，还包括安装在丝杆模组上的编码器，还包括控制模块，所述控制模块分别和编码器、激光模块和相机模块连接。
由于激光模块射出的激光与相机模块的检测面成90°角，从而使得不论产品高度发生如何变化，相机至物品检测面的距离均不会发生变化，从而不存在景深差异，使得检测精度高。
进一步的是：所述测量安装板上还设置有折射镜安装板，所述折射镜安装板上设置有折射镜，所述激光模块靠近相机模块设置，所述折射镜斜向设置，使得激光模块射出的激光经折射镜折射后与相机模块的检测面成90°角，折射镜的设置使得激光模块可靠近相机模块设置，仍能实现折射镜折射后与相机模块的检测面成90°角的要求，从而使得布局经凑，减少设置相机模块和激光模块的空间。
进一步的是：所述测量安装板上还设置有挡光板，所述挡光板位于激光模块激光射出路径两侧，挡光板可用于减少激光光亮的损失。
进一步的是：所述丝杆模组一侧分别设置有第一限位传感器和第二限位传感器，所述产品放置工装底部设置有给予第一限位传感器和第二限位传感器感应信号的感应片，此种设置可对产品放置工装的运动路径进行限位。
进一步的是：所述激光模块包括激光固定块和安装在激光固定块上的激光发射器，所述相机模块包括包括相机固定座和安装在相机固定座上的CCD相机。
附图说明
图1为平面度检测装置示意图。
图2为平面度检测装置侧视图。
图3为平面度检测装置电连接示意图。
图4为平面度检测装置检测图。
图5为原始平面度检测装置检测图。
图中标记为：底板1、丝杆模组2、产品放置工装3、测量安装板4、激光模块5、相机模块6、折射镜安装板7、折射镜8、挡光板9、第一限位传感器10、第二限位传感器11、感应片12。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图1至图3所示的平面度检测装置，包括底板1，所述底板1上安装有丝杆模组2，所述丝杆模组2上设置有由丝杆模组2驱动其运动的产品放置工装3，所述底板1上还设置有测量安装板4，所述测量安装板4上分别设置有激光模块5和相机模块6，所述激光模块5射出的激光与相机模块6的检测面成90°角，还包括安装在丝杆模组2上的编码器，还包括控制模块，所述控制模块分别和编码器、激光模块5和相机模块6连接，所述编码器为直线编码器，所述控制模块可为单片机或工控机等，型号可为STM32系列单片机等，所述激光模块5包括激光固定块和安装在激光固定块上的激光发射器，所述相机模块6包括包括相机固定座和安装在相机固定座上的CCD相机，具体工作时，将待检测产品放置到产品放置工装3上，丝杆模组2驱动产品放置工装3运动至激光模块5和相机模块6下方时，当编码器检测到产品放置工装3运动到位后，控制模块通过接收编码器的信号控制激光模块5和相机模块6开始工作，激光模块5将激光打至待测物表面，相机模块6采集激光所在面的参数，采用光学三角测量法实现物体深度信息监测，从而实现平面度检测，上述所述的光学三角测量法为本领域成熟的测量算法，本申请并未对该三角测量算法进行改进，因此本申请对三角测量法不做多余赘述，本申请中由于在安装时使得激光模块5射出的激光与相机模块6的检测面成90°角，此种设计使得即使待测物发生高度变化，也不会存在景深差异，如图4所示，物体1和物体2高度不同，但物距B和C相同，从而使得检测精度更高。
在上述基础上，如图1所示，所述测量安装板4上还设置有折射镜安装板7，所述折射镜安装板7上设置有折射镜8，所述激光模块5靠近相机模块6设置，所述折射镜8斜向设置，使得激光模块5射出的激光经折射镜8折射后与相机模块6的检测面成90°角，折射镜8的设置使得激光模块5可靠近相机模块6设置，仍能实现折射镜8折射后与相机模块6的检测面成90°角的要求，从而使得布局经凑，减少设置相机模块6和激光模块5的空间，折射镜8的设置使得激光模块5可靠近相机模块6设置，仍能实现折射镜8折射后与相机模块6的检测面成90°角的要求，从而使得布局经凑，减少设置相机模块6和激光模块5的空间。
在上述基础上，所述测量安装板4上还设置有挡光板9，所述挡光板9位于激光模块5激光射出路径两侧，挡光板9可用于减少激光光亮的损失。
在上述基础上，所述丝杆模组2一侧分别设置有第一限位传感器10和第二限位传感器11，所述产品放置工装3底部设置有给予第一限位传感器10和第二限位传感器11感应信号的感应片12，此种设置可对产品放置工装3的运动路径进行限位，所述第一限位传感器10和第二限位传感器11为光电传感器，具体型号可为GP1A75EJ000F、E3FN-T30L等。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.平面度检测装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上安装有丝杆模组(2)，所述丝杆模组(2)上设置有由丝杆模组(2)驱动其运动的产品放置工装(3)，所述底板(1)上还设置有测量安装板(4)，所述测量安装板(4)上分别设置有激光模块(5)和相机模块(6)，所述激光模块(5)射出的激光与相机模块(6)的检测面成90°角，还包括安装在丝杆模组(2)上的编码器，还包括控制模块，所述控制模块分别和编码器、激光模块(5)和相机模块(6)连接。
2.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述测量安装板(4)上还设置有折射镜安装板(7)，所述折射镜安装板(7)上设置有折射镜(8)，所述激光模块(5)靠近相机模块(6)设置，所述折射镜(8)斜向设置，使得激光模块(5)射出的激光经折射镜(8)折射后与相机模块(6)的检测面成90°角。
3.如权利要求1或2所述的平面度检测装置，其特征在于：所述测量安装板(4)上还设置有挡光板(9)，所述挡光板(9)位于激光模块(5)激光射出路径两侧。
4.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述丝杆模组(2)一侧分别设置有第一限位传感器(10)和第二限位传感器(11)，所述产品放置工装(3)底部设置有给予第一限位传感器(10)和第二限位传感器(11)感应信号的感应片(12)。
5.如权利要求1所述的平面度检测装置，其特征在于：所述激光模块(5)包括激光固定块和安装在激光固定块上的激光发射器，所述相机模块(6)包括包括相机固定座和安装在相机固定座上的CCD相机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910952488.0A CN110608690A (zh) | 2019-10-09 | 2019-10-09 | 平面度检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910952488.0A CN110608690A (zh) | 2019-10-09 | 2019-10-09 | 平面度检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110608690A true CN110608690A (zh) | 2019-12-24 |
Family
ID=68894205
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910952488.0A Pending CN110608690A (zh) | 2019-10-09 | 2019-10-09 | 平面度检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110608690A (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000230807A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Micro Research:Kk | 平行光を利用した距離測定方法とその装置 |
| KR20120087680A (ko) * | 2011-01-28 | 2012-08-07 | 한국과학기술원 | 광삼각법을 이용한 3차원 형상 측정기를 사용하여 ｐｃｂ 범프 높이 측정 방법 |
| CN202533047U (zh) * | 2012-04-27 | 2012-11-14 | 李泰龙 | 基于线激光测量构造深度及路面三维图像获取装置 |
| CN106152979A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-23 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种平面度检测装置 |
| US20170010356A1 (en) * | 2015-07-10 | 2017-01-12 | Hexagon Technology Center Gmbh | 3d measuring machine |
| CN110207625A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-09-06 | 三门三友科技股份有限公司 | 一种阴极板平面度动态检测系统及方法 |
| CN210375035U (zh) * | 2019-10-09 | 2020-04-21 | 苏州思贝科自动化科技有限公司 | 平面度检测装置 |
-
2019
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000230807A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Micro Research:Kk | 平行光を利用した距離測定方法とその装置 |
| KR20120087680A (ko) * | 2011-01-28 | 2012-08-07 | 한국과학기술원 | 광삼각법을 이용한 3차원 형상 측정기를 사용하여 ｐｃｂ 범프 높이 측정 방법 |
| CN202533047U (zh) * | 2012-04-27 | 2012-11-14 | 李泰龙 | 基于线激光测量构造深度及路面三维图像获取装置 |
| US20170010356A1 (en) * | 2015-07-10 | 2017-01-12 | Hexagon Technology Center Gmbh | 3d measuring machine |
| CN106152979A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-11-23 | 苏州博众精工科技有限公司 | 一种平面度检测装置 |
| CN110207625A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-09-06 | 三门三友科技股份有限公司 | 一种阴极板平面度动态检测系统及方法 |
| CN210375035U (zh) * | 2019-10-09 | 2020-04-21 | 苏州思贝科自动化科技有限公司 | 平面度检测装置 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 安宗权 等: "基于线激光与模板匹配的工件表面平坦度测量", 《控制工程》, vol. 25, no. 2, 28 February 2018 (2018-02-28), pages 341 - 345 * |
| 房建成, 祝世平, 周锐, 俞文伯, 申功勋: "太阳帆板平面度测量系统", 北京航空航天大学学报, no. 02, 30 April 2000 (2000-04-30), pages 244 - 248 * |
| 朱铮涛;裴炜冬;李渊;萧达安;: "基于远心镜头的激光三角测距系统研究与实现", 激光与光电子学进展, no. 03, 27 September 2017 (2017-09-27), pages 031002 - 1 * |
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