KR101407232B1 - 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 롤러의 높이 조절 및 높이 측정이 가능하도록 구성되기 때문에 기판 이송의 필요에 따라 롤러의 높이를 용이하게 조절하고, 롤러의 높이도 쉽게 확인할 수 있게 되어, 검사 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 제공한다.

Description

롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치{Inspection device for flat display panel adjustable height of rollers}

본 발명은 기판 이송을 위한 롤러를 갖는 평판 디스플레이 패널 검사 장치에 관한 것이다.

일반적으로 공정이 완료되어 제품으로 출시되기 전에 LCD 등의 평판표시장치나 반도체 웨이퍼 등의 기판을 육안 관찰하는 목시 검사를 통해 양호 또는 불량 여부를 판정하는 경우가 많이 있다.

이와 같은 수동 작업으로 기판을 검사하는 경우 외관이나 패턴 등에 대해 양호 또는 불량 여부가 정확하지 않을 뿐만 아니라 생산성도 저하시키는 문제점이 있다.

따라서, 자동 검사 장치를 통해 기판의 외관이나 패턴을 검사하려는 다양한 시도가 이루어지고 있다.

이러한 자동 검사 장치는 스테이지 상에 구비되어 기판을 에어(공기)로 부상시켜 이송하기 위한 ASU(Air Slider Unit) 플레이트와, 스테이지의 양쪽 측면에 지지되어 스테이지를 가로질러 설치되는 갠트리 구조의 스캔 지지대와, 이 스캔 지지대에 스캔 지지대의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 스테이지에 올려진 기판을 촬영하는 복수의 카메라 스캔 모듈 등으로 구성된다.

특히, 상기 ASU 플레이트 상에는 기판 이송을 위한 롤러들이 설치되는데, 이 롤러들은 ASU 플레이트 하측에 회전 가능하게 지지된 상태에서 롤러의 상부가 ASU 플레이트의 상측으로 돌출되어 기판을 이송할 수 있도록 구성된다.

물론, 상기 롤러는 샤프트에 장착되어 설치되고, 이 샤프트는 롤러를 구동하기 위한 모터의 구동력에 의해 회전할 수 있도록 구성된다.

그러나 상기한 바와 같은 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 롤러가 설치된 축이 ASU 플레이트 하부에 고정되게 설치되어 있기 때문에 ASU 플레이트 상부로 노출되는 롤러의 높이 조절이 불가능하고, 노출되는 높이를 조절하기 위해서는 롤러 및 이를 지지하는 샤프트 등을 별도로 제작하여 구성하여야 하는 문제점이 있다.

이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 롤러의 높이 조절 및 높이 측정이 가능하도록 구성함으로써, 기판 이송의 필요에 따라 롤러의 높이를 용이하게 조절하고, 롤러의 높이도 쉽게 확인할 수 있도록 하여 검사 장비의 신뢰성을 높일 수 있도록 하는 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치를 제공하는 데 목적이 있다.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 스테이지 상부에 구비되고, 상부에서 기판이 이송되도록 이루어진 플레이트와; 상기 플레이트의 하측에서 플레이트의 상측으로 돌출되어 기판 이송을 이송시키는 롤러 및 이 롤러가 장착된 샤프트와; 상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 상태에서 상기 샤프트를 회전가능하게 지지함과 아울러 샤프트를 포함하여 롤러의 높이를 조절할 수 있도록 이루어진 높이조절기구를 포함한 것을 특징으로 한다.

상기 높이조절기구는 상기 샤프트를 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록과, 상기 베어링 블록과는 자유회전 가능하도록 연결되고 상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 구조물에 체결된 조정 볼트를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 구조물에는 상기 조정 볼트가 체결되는 너트 브래킷이 장착되어 구성되는 것이 바람직하다.

상기 샤프트는 구동원과 연결되는 부분 또는 다른 샤프트와 연결되는 부분이 각도 조절이 가능한 UV 조인트로 연결되는 것이 바람직하다.

상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 구조물에는 상기 조정 볼트의 회전 상태를 감지하여 롤러의 높이를 검출할 수 있는 게이지가 설치되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.

본 발명에 따른 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 롤러의 높이 조절 및 높이 측정이 가능하도록 구성되기 때문에 기판 이송의 필요에 따라 롤러의 높이를 용이하게 조절하고, 롤러의 높이도 쉽게 확인할 수 있게 되어, 검사 장비의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명에 따른 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치가 도시된 정면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 롤러 높이조절기구가 도시된 정단면 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 롤러 높이조절기구의 상세도이다.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치는, 도 1을 참조하면, 검사할 평판 디스플레이 패널 등의 기판(S)이 올려지는 플레이트(54)가 구비된 스테이지(50)와, 이 스테이지(50)의 상측을 지나도록 갠트리 구조로 설치되는 스캔 지지대(60)와, 스캔 지지대(60)에 스캔 지지대(60)의 길이 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 상기 스테이지(50)에 올려진 기판(S)을 촬영하는 복수개의 카메라 스캔 모듈(70) 등으로 구성된다.

스테이지(50)는 지지 프레임(52)과, 이 지지 프레임(52)에 상측에 구비되어 상부에서 기판 이송 가능하게 이루어진 플레이트(54) 등으로 구성될 수 있다.

여기서 플레이트(54)는 에어 부상식으로 기판을 이송할 수 있도록 하는 ASU(Air Slider Unit) 플레이트로 구성될 수 있다.

스캔 지지대(60)는 그 양단 지지부(62)가 상기 스테이지(50)에 세워지는 구조로 고정되고, 양단 지지부(62) 사이에는 카메라 스캔 모듈(70)들이 지지되는 동시에 왕복 운동이 가능하도록 안내하는 가이드부(64)가 포함되어 구성된다.

카메라 스캔 모듈(70)은 기판(S)을 스캔하여 이미지를 획득하여 기판에 형성된 패턴 불량, 기포 발생, 이물질 포함 여부 등 기판의 흠결을 검사하기 위한 구성 부분으로서, 크게 이미지 획득을 위한 라인스캔 카메라(72)와, 스캔 영역에 빛을 조사하는 조명장치(74), 이들을 스캔 지지대(60)에 지지하는 동시에 기판을 스캔하기 위한 각종 구성 부품들이 탑재된 모듈 바디(76)로 이루어지는 것이 바람직하다.

한편, 이와 같이 구성된 평판 디스플레이 패널 검사 장치에는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(54)의 하측에서 플레이트(54)의 상측으로 돌출되어 기판(S)을 이송시키기 위한 롤러(55) 및 이 롤러(55)가 장착되는 샤프트(56)가 구비된다.

물론, 상기 샤프트(56)는 구동 모터(58) 등에 의해 회전 구동될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.

특히, 본 발명은 상기 스테이지(50) 또는 플레이트(54)에 지지된 상태에서 상기 샤프트(56)를 회전가능하게 지지함과 아울러 샤프트(56)를 포함하여 롤러(55)의 높이를 조절할 수 있도록 이루어진 높이조절기구(80)가 구성된다.

높이조절기구(80)는 도 3을 참조하면, 상기 샤프트(56)를 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록(81)과, 이 베어링 블록(81)과 연결되고 상기 스테이지(50) 또는 플레이트(54)에 지지된 구조물에 체결된 조정 볼트(83)를 포함하여 구성된다.

베어링 블록(81)은 도면에 예시된 바와 같이 사각 구조로 형성되어 그 내부에 샤프트(56)를 회전 가능하게 지지하도록 베어링이 내장된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.

베어링 블록(81)과 조정 볼트(83)는 상하 방향(높이 방향)으로는 서로 구속하면서 조정 볼트(83)의 회전이 자유롭도록 상호 연결된다. 이를 위해 조정 볼트(83)의 끝단부(83c)가 플랜지 구조로 형성되어 베어링 블록(81) 내부에 삽입된 상태에서 회전은 자유롭지만 상하 방향으로는 베어링 블록(81)에 구속될 있도록 이루어진다.

조정 볼트(83)는 작업자가 롤러(55)의 높이를 조절하기 위해 회전시키는 노브(83a)와, 아래에서 설명할 너트 브래킷(51a)에 체결되는 수나사부(83b), 그리고 베어링 블록(81)과 결합되는 끝단부(83c)로 이루어진다.

도 3에서 도면 부호 51은 상기 스테이지(50) 또는 플레이트(54)에 지지된 고정 구조물(이하 '지지 플레이트'이라 함)로서, 조정 볼트(83)가 체결되어 조정 볼트(83)가 회전할 때 상기 베어링 블록(81)을 비롯하여 샤프트(56), 롤러(55)의 높이 조절이 가능하도록 조정 볼트(83)를 지지할 수 있도록 구성된다.

여기서, 상기 지지 플레이트(51)에는 조정 볼트(83)의 수나사부(83b)와의 체결이 보다 견고하고 정확하게 이루어지도록 너트 구조로 이루어진 너트 브래킷(51a)이 장착되어 구성되는 것이 바람직하다.

특히, 상기 샤프트(56)는 구동원과 연결되는 부분 또는 다른 샤프트(56)와 연결되는 부분이 롤러(55)의 높이를 조절할 때 상호 연결된 샤프트(56) 사이가 일정 정도 각도 변화가 가능하도록 UV 조인트(57)로 연결되는 것이 바람직하다.

UV 조인트(57)는 축의 각도 변화가 가능하도록 연결되는 조인트로서, 본 발명의 설명에서 볼 조인트 등의 다른 축 자재 이음기구도 포함한 의미로 사용하였다.

한편, 상기 스테이지(50) 또는 플레이트(54)에 지지된 구조물에는 상기 조정 볼트(83)의 회전 상태를 감지하여 롤러(55)의 높이를 검출할 수 있는 높이 게이지(85)가 설치된다.

상기 높이 게이지(85)는 조정 볼트(83)의 회전 상태를 검출하거나 조정 볼트(83)의 높이 등을 감지할 수 있는 센싱 기구이면 공지의 다양한 센서 중 하나를 이용하여 구성할 수 있다. 물론, 상기 조정 볼트(83)에는 상기 게이지(85)의 계측이 원활하도록 게이지 측정 스케일 등이 표시되어 구성될 수 있다.

상기와 같이 구성된 높이조절기구(80)를 이용한 롤러(55)의 높이 조절 방법은 조정 볼트(83)의 노브(83a)를 회전시킴으로써 가능하게 된다.

즉, 노브(83a)를 회전시키면, 너트 브래킷(51a)에 체결된 조정 볼트(83)가 상하로 움직이게 되고, 이때 조정 볼트(83)에 높이 방향으로 구속된 베어링 블록(81)도 함께 상하로 움직이게 된다. 또한 베어링 블록(81)에 지지되는 샤프트(56) 및 롤러(55)도 상하로 움직임에 따라 플레이트(54)에 돌출되는 롤러(55)의 높이가 달라지는 것이다.

여기서, 샤프트(56)가 UV 조인트(57)로 상호 연결됨에 따라 롤러(55)의 높이 조절이 가능하게 된다. 다만 UV 조인트(57)는 샤프트(56) 길이 방향으로는 가변되지 않도록 구성되는 것이 일반적인데, 이는 통상적으로 롤러(55)의 높이 조정은 아주 미세하게 이루어지므로 롤러(55)의 높이 조정에 크게 영향을 미치지 않을 것으로 보인다.

다만, UV 조인트(57)가 샤프트(56) 길이 방향으로 가변되지 않도록 구성되어 롤러(55)의 높이 조정에 장애를 줄 경우에는, UV 조인트(57) 축의 연결부를 길이 방향으로 일정 정도 가변이 가능하도록 구성하는 것도 가능하다. 즉, 조인트 축과 이 축이 결합되는 홀에 긴 슬롯(slot)을 형성하여 구성함으로써 UV 조인트를 통해 샤프트(56)의 길이 방향으로도 일정 정도 가변되어 롤러(55)의 높이 조정이 보다 원활하게 이루어질 수 있게 된다.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

1. 스테이지 상에 구비되며 상부에서 기판이 에어부상식으로 이송되도록 이루어진 ASU(Air Slider Unit) 플레이트(이하, 플레이트라 함)와;
   상기 플레이트의 하측에서 플레이트의 상측으로 돌출되어 기판을 이송시키는 롤러 및 상기 롤러가 장착된 샤프트와;
   상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 상태에서 상기 샤프트를 회전 가능하게 지지함과 아울러 상기 샤프트를 포함하여 상기 롤러의 높이를 조절할 수 있도록 이루어진 높이조절기구를 포함하는 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
2. 청구항1에 있어서,
   상기 높이조절기구는 상기 샤프트를 회전 가능하게 지지하는 베어링 블록과, 상기 베어링 블록과는 자유회전 가능하도록 연결되고 상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 구조물에 체결된 조정 볼트를 포함한 것을 특징으로 하는 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
3. 청구항2에 있어서,
   상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 구조물에는 상기 조정 볼트가 체결되는 너트 브래킷이 장착되어 구성된 것을 특징으로 하는 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
4. 청구항1에 있어서,
   상기 샤프트는 구동원과 연결되는 부분 또는 다른 샤프트와 연결되는 부분이 각도 조절이 가능한 유니버설(universal, UV) 조인트로 연결된 것을 특징으로 하는 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치.
   
5. 청구항2 또는 청구항3에 있어서,
   상기 스테이지 또는 플레이트에 지지된 구조물에는 상기 조정 볼트의 회전 상태를 감지하여 롤러의 높이를 검출할 수 있는 게이지가 설치된 것을 특징으로 하는 롤러의 높이 조절이 가능한 평판 디스플레이 패널 검사 장치.

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