JPS60122362A - Ｘ−線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は検査すべき試料における照射個所のまわりに回
転可能に配置されるＸ−線源及びＸ−線検出器を具えて
いるＸ−線検査装置に関するものである。

斯種の装置は”Ａｄｖａｎｃｅｓ　ｉｎ　Ｘ−ｒａｙ　
ａｎａｌｙｓｉｓｌｌ（Ｖｏｌ、　２０．　１．９７７
年）の第３６９〜３７７　頁におけるＣｏ−ｍｐｔｅｓ
　Ｒｅｎｄｕｓの論文からＸ−線応力測定装置として既
知である。これに記載されている装置はψ回折法として
既知の測定法を用いている。上記論文の第３７４頁には
ψ回折法について、一般的なω回折法との差異及びそれ
に勝る利点について記載されている。

材料中の残留応力の測定、特に機械、加工片等にて直接
行なうことのできる残留応力の測定に感心が高まりつつ
ある。残留応力を知ることは、金属の疲労、変形又は亀
裂等による例えば破砕の原因をつきとめるのに十分に役
立つ。斯様な残留応力の測定によって、その応カバター
ンを変更させたり、又は例えば異なる製造工程を用いる
ことにより残留応力の低減加を図って上述したような欠
陥を回避する方法を示唆することもできる。例えば、ロ
ーラ本体又は玉軸受の如き機械の構造部分における応力
を一層正確に知ることは、所定の特性にだいする理論的
な最適値であるパターンに実際の応カバタウンをできる
だけ適合させて、上述したような構造部分を仕上げるた
めの助力となり得る。これまでの既知のＸ−線検査は、
材料中の残留応力についての重要な測定結果を得るのに
十分高い分解能を呈する非破壊方法に過ぎｆｆい。

斯種の従来装置では実際上、残留応力の測定、特にその
測定にとって重要な測定個所を容易に作り出すことの問
題に屡々遭遇する。さらに、従来の装置は特に高出力の
Ｘ−線管を使用する場合には相当重く、従って携帯する
ことができない。また、たとえ移送し易くしてもＸ−線
の強度を高くすることは測定を速くする上で極めて重要
なことである。多くの従来装置の他の欠点は、応力測定
が成る限られたθ角度の範囲にわたってしか行うことが
できず、しかも量的な分析しか行うことができないと云
う点にある。斯かる測定角度範囲の増大は、例えば焼入
鋼でオーステナイト化状態にある合金における相の局部
組成の如き現象を測定するのに大いに役立つ。

本発明の目的は」二連したような諸欠点を軽減させるこ
とにある。

本発明は前述した種類のＸ−線検査装置において、ジ−
マン−ポーリン集束原理を利用し、Ｘ−線管、照射領域
及び検出器をジ−マン−ボーリン集束円上に配置し、検
出器及びＸ−線管を、ジ−マン−ボーリン集束円の中心
を通り、かつ該集束円の平面に対して垂直に延在するθ
軸と一致する機械的な軸のまわりにて回転可能とし、検
出器及びＸ−線管の回転中にこれら検出器及びＸ−線管
の一層ビームが絶えず照射領域の方向を向き、ψ傾斜に
対しては前記ジ−マン−ボーリン系が、照射領域の中心
を通る集束円に対し正接する集束円の平面内にある軸線
のまわりにて回転し得るようにしたことを特徴とする。

本発明による装置はジ−マン−ボーリン（Ｓｅｅｍａ−
ｎｎ−Ｂｏｈｌｉｎ）放射線集束原理を利用するため、
検出器及びＸ−線源を実際の軸によって回転させること
ができ、また走査中心を自由に維持せしめることができ
る。これにより装置の安定性が向上し、従って測定精度
が向上する。通常用いられているアーチ状の案内部に比
べて、θ移動に対する変位を正確、かつ簡単に行うこと
ができる。さらに上述したような構成とすることにより
θ移動範囲を所望通りに拡大することができる。

ジ−マン−ポーリン集束原理については例えばＤトへＳ
（ドイツ国出願公告）第１．、２４５．１６４　号公報
から既知である。しかし、これに記載されている検出器
の動きは極めて複雑であるため、この場合には本発明に
よる利点は達成されない。また、上記公報に記載されて
いる装置は比較的小さな試料を検査するための静止形の
回折計であり、この場合には走査中心を自由に維持せし
める必要がない。

本発明の好適な実施に当たっては、検出器だけをステッ
プモータ又は直流モータの如きモータ駆動により駆動さ
せ、Ｘ−線管の焦点は手動で選定ブラッグ角の方へと動
かせるようにする。検出器と同様にＸ−線管にもモータ
駆動機構を設けて、検出器及びＸ−線管を互いに逆方向
に回転させることもできる。

放射線源のψ変位に対しては、アーチ状の案内部を設け
、その案内部上にてジ−マン−ボーリン系を例えばステ
ップモータ又は直流モータによって動かせるようにする
のが好適である。Ｘ−線源の位置決めは殆ど臨界的でな
いため、アーチ状案内部によるＸ−線源の回転によって
検出器の回転は何等損なわれない。ψの変動が測定結果
の精度に及ぼす影響は実際上非常に小さい。実際には照
射領域を絶えず集束円上に位置させる要件を満足０ しさえすれば良い。ψ動作は回折計の外側に位置させる
軸によって与えることもできる。この軸は回折計の支持
体の一部を成すものである。

Ｘ−線源としてはそのハウジングが比較的短いものを使
用するのが好適である。このようにすればＸ−線源を動
かし易くなり、装置の安定性も向」二する。回転自在の
直角コネクタとして構成され、Ｘ−線管を回転させる場
合でもケーブル部分を回転させる必要がなく、Ｘ−線管
が任意の位置を占めることのできるようにする高圧コネ
クタを具えているＸ−線管を用いるのが好適である。

Ｘ−線源及び検出器の回転中に検出器を絶えず照射領域
の方向に向ける機構は歯車伝達機構で構成して、検出器
のθ回転とその再整列との間の結合をずベリなしで行う
ようにするのが好適である。

これと同様な機構はＸ−線源のθ回転にも適用すること
ができる。ψ移動に対しても検出器回転用のステップモ
ータを用い、これにより検出器をθ回転中に再整列させ
ることもできる。検出器及びＸ−線源は案内部に沿って
動くのではなく、θ回１ 軸中に実際の軸のまわりを回転するため、θの範囲が直
接機械的な制約を受けることは殆どない。

本発明の好適例では、例えば可動部分等の衝突をなくす
ためにθの範囲を制限する手段を設ける。検査装置には
電子回路を設け、これにより駆動機構を介してθ範囲を
制御したり、選定固定ゼロ位置を制限したりすることが
できる。さらに他の好適例では検出器用ハウジングに案
内ピンを設け、これを検出器回転用アームに取付けた支
持体と共働させる。角度範囲の調整に当たっては、案内
ピンにより作動させるマイクロスイッチを上記支持体に
取付る。斯かる調整は検出器の再調整角度がθ値の関数
となるようにして行うことができる。

応力測定中検査装置を支持するために、一種の３点支持
体を利用するのが好適である。この場合、２つの支点は
ジ−マン−ボーリン集束円の平面に対し垂直で、検出器
から見て照射領域の後方に延在する固定リムの両端部に
位置させる。かかるリムの各端部には他のリムを接続し
、これらの各地のリムを上記各端部のまわりを回動し得
ろうにする。

２ このようにすることにより、接近し難い測定点にも検査
装置を適切に位置付けることができる。支持体の第３支
点には端面が良好に画成されている脚部を設け、この脚
部を照射領域から所定の距離の所に位置させることがで
きる。斯くして照射個所の位置を上記脚部の端面により
良好に規定することができる。

以下図面につき本発明を説明する。

第１図は検査すべき物体（以後被検体とも称する）１を
Ｘ−線管又は放射線源３の焦点、照射領域５及び検出器
用入射スリット７と一緒に示したものであり、照射領域
５、放射線源３及び放射線検出器用の入射スリット７は
いずれも円周９上に位置させる。この円周９は前述した
ようにジ−マン−ボーリン集束円とも称され、以後も斯
かる円周を斯様に称するものとする。一連の応力測定（
これは成る１つの干渉ラインについて種々の角度ψで一
連の測定をすることを意味する）をするためには、放射
線源３及び被検体における照射領域５を固定位置に維持
し、検出器スリット７を角度３ ４θにわたって回転させることができろ。或いはまた、
被検体の照射領域５を固定位置に維持し、放射線源３と
検出器用スリット７を互いに反対方向に各々角度２θに
わたって回転させることもできる。放射線源３及び検出
器用スリット７を含むジ−マン−ボーリン系（９）全体
はψ調整のために照射領域５を経て延在する軸線１１の
まわりにて傾けることができる。便宜上、集束円９を被
検体に対する垂線１３に対して傾斜させる。垂線１３が
集束円９の平面、従ってその円の中心線１５と一致する
場合にはψ−０となる条件が成立する。その他のψ測定
法の発展させたものについては前記コンブチ・レングス
（Ｃｏｍｐｔｅｓ　Ｒｅｎｄｕｓ）による論文に記載さ
れている。これに記載されているように、このようなψ
測定法による場合には相当大きな角度ψにわたって測定
することができる。さらに、ψ測定法による場合には試
料へのＸ−線ビームの浸透深さの変動かの測定法による
場合よりも遥かに小さいと云う利点もある。成る測定点
で行われる全測定は、例えばジ−マン−ポーリン円の垂
直位置の４ 両側６０°までの範囲内、従って一６０°≦ψ≦＋６０
゜によって与えられるψの範囲にわたり５〜１０回の順
次のθ測定を伴う。Ｘ−線源３のＸ−線ビーム１７から
はブラック条件を満足する部分のビーム１９が検出器用
スリット７に到達する。

本発明によるＸ−線検査装置の一例を第２図に示す。こ
の検査装置は、第１図の検出器用入射スリット７に対応
する検出器用入射スリット２５を有している検出器ハウ
ジング２３用の検出器用保持器２１を具えている。この
検出器用保持器２１はアーム２７及び２９を具えている
検出器用の二重回転支持体２６によって支持される。検
出器は支持体２６を介して、ジ−マン−ポーリン集束円
の平面に対し垂直で、しかもその円の中心を経て延在す
るθ軸３Ｘのまわりにて回転させることができる。従っ
て検出器を２θにわたり迅速に、しかも正確に動かすこ
とができる。検出器を斯様に回転させるために、検査装
置には直流モータ又はステップモーフ３４を設けること
ができる。検出器用回転支持体２６における軸線３１の
まわりに取付けられる歯車３５はウォ５ −ムホイール駆動部３７とウオームホイール３９を介し
て、モータ３４によって駆動される歯車４１により駆動
される。

Ｘ−線管用の保持器（これは図面の明瞭化のためにここ
では省いである）は取付面４３に取付けることができる
。Ｘ−線管にて発生される点状に集束する放射線ビーム
は放射線用ダクト４５を介して平行にされ、第１図の照
射領域５に相当する所望な照射領域４７を照射するよう
にする。

放射線用ダクト４５の開口部上方に位置させるＸ−線管
の放射中心、検出器用入射スリット２５及び照射領域４
７は、いずれも第１図に示したジ−マン−ボーリン集束
円上に位置させる。Ｘ−線管については第４図につき後
に詳述するが、使用するＸ−線管は軽量で、しかも小形
のものとする必要がある。このことは、検査装置の重量
を制限し、その安定性を高め、かつＸ−線源及び検出器
をできるだけ自由に動かせるようにするため必要なこと
である。

ジ−マン−ボーリン系を上述したように回転さ６ せるには第２駆動モータを用いることができる。

斯様な回転運動をさせるために、Ｘ−線管用保持器には
円形案内部を設ける。この案内部は検査装置全体で見た
場合に、ジ−マン−ボーリン集束円を通る平面に対して
直角に延在する。

検査装置を被検体の上又はその近くに位置付けるために
、斯かる検査装置は一種の３点支持体によって支持する
。この支持体は固定の第１支持リム５１を具えており、
このリムの両端部には枢軸素子５３及び５５を設ける。

固定リム５１の両端には長さを調整し得る回動自在のア
ーム５７及び５９を連結し、これらアームのリム５１と
の連結側とは反対側の端部には調整自在の支持ねじ６１
及び６３を設ける。リム５１には第４図に示すように、
支持ねじ６５を有する固定支持体５８を固着することも
できる。

斯様な支持装置によれば、接近し難い被検体の測定点に
も検査装置を安定に位置付けることができる。回転可能
なリム５７及び５８は、支点６１と６３とを結ぶ線が照
射領域に対して固定リム５１の側に位置して、支点６１
及び６３の少なくとも一方が固定り７ ムの照射領域とは反対側に位置するように調整すること
ができる。従って、検査装置に平衡おもりを接続すれば
、支点用の支持領域以外での測定を行うこともできる。

最適な測定にとっては、検出器の長手方向軸線２４が２
θの全範囲にわたり照射領域４７の方に向いたままとな
るようにするのが望ましい。

一連のθ測定のために検出器を回転させると、検出器の
軸線２４は、追加の手段が何等採られていない場合には
照射領域と検出器用スリットとを結ぶ線に対して角変位
される。これは、検出器がジ−マン−ポーリン集束円の
中心のまわりを回転し、照射領域が上記集束円の円周上
に位置するからである。検出器がθにわたる回転中に常
にその検出器が照射領域の方向に向くようにするために
、回転軸３１のまわりにはそれに同心的に非回転歯車６
７を固着する。軸３３のまわりではθの走査時に検出器
ハウジング２３が回転し、斯かる軸３３には歯数が歯車
６７の歯数の２倍の歯車６９を取付ける。これらの両歯
車は例えば歯付きラック７０のようなもので８ 連結する。ラック７０は歯車６７の動きを歯車６９にず
ベリなしで伝達すると共に、斯かるラック７０はθ移動
角の１７２　にわたり検出器軸を後方へと回転させる。

従って、本例による放射線光学系の場合には検出器は常
に照射領域の方を向いたままとなる。

検出器は歯付きラックを具えている伝達機構を用いる代
わりに、１個以上の中間歯車、チェーン伝達機構又は非
すべり伝達機構、スチールバンド等によって再調整する
こともできる。

第３図は検出器用ハウジング２３を検出器入射スリット
２５及び検出器用回転アーム２９の一部と一緒に示した
ものである。検出器用回転アーム２９の一方の端部は支
持平板７１で形成し、この平板７１には検出器ハウジン
グ用の軸３３を掛合させる。平板７１には溝７３を設け
、この溝内では軸３３を中心として検出器が回転する際
に案内ピン７５を検出器と一緒に動かすことができる。

案内ピン７５は検出器ハウジング２３に接続されており
、検出器の回転角θの関数である案内ピン７５の位置は
再調整により調整することができる。回転角θの径路は
案内ピン７５９ により作動させるマイクロスイッチ７７をスロット７３
内に取付けることにより自動的に制限することができる
。従って、許可されない検出器位置での測定や、測定中
における装置の可動部分間での衝突を回避することがで
きる。マイクロスイッチ７７の少なくとも一方は平板７
１に対して変位自在に取付けるのが好適である。このよ
うにすれば、検出器の移動径路を調整自在とすることが
できる。斯様な安全機構は検査装置の他の部分、例えば
軸３１に直接連結されるような部分に設けることもでき
る。

検出器ハウジングの前方部分７９はダイアフラム保持器
として構成し、この保持器には種々の寸法及び形状の入
射ダイアフラムを変換自在に配置することができる。斯
様なダイアフラムは、例えばＸ−線ビームにに−１並び
にに■２の放射分布を呈するＸ−線ビームを対称強度分
布を呈するようにするのに用いることもできる。第３図
に示した入射スリット２５の形状は斯様な目的に適する
ものである。なお、斯種のダイヤフラムについてはＯｒ
。

０ Ｗ　０１　ｆ　ｓ　ｔ、　ｉ　ｅ　ｇ　のＤＢ−１３Ｐ
　２，３４５，４０６に詳述されている。

第４図は第２図の装置にＸ−線管用ハウジング８３を設
け、検出器ハウジング２３に前置増幅器２２を設けて別
の方向から見た装置を示したものである。

この装置は支持リム５１に堅牢に接続した円形案内部８
１を具えており、この案内部における円弧上にてＸ−線
管用ハウジング８３及び検出器アセンブリを変位させる
ことができる。この変位中に放射線用ダクト４５を有す
るＸ−線管用ハウジング８３及び検出器用ハウジング２
３を有する検出器用回転アーム２７及び２９が支持リム
に対して傾斜する。

Ｘ−線管用ハウジング８３は、その長さを例えば最大で
も２００　ｍｍにまで短縮するようにして検査装置に適
用する。Ｘ−線管の窓（図面では見えない）は取付面４
３における放射線用ダクト４５の前方に位置させる。取
付面４３はＸ−線管を焦点位置合わせするための基準面
としても作用する。Ｘ−線管を正確に位置付けするため
にはセンサーを用い、これがＸ−線管の放射焦点に対し
て正確に定められた位置を占めることのできるようにし
、これによ１ り照射領域４７をマークすることができる。Ｘ−線管を
自由に動かせるようにするためには、それを少なくとも
±９０°までの角度にわたって移動し得るように取付け
る。

第２図に示す装置はＸ−線管がモータ駆動でないもので
ある。手動でＸ−線管を所定のブラッグ角度位置に動か
すにはつぎ０２つの方法を用いることができる。先ずは
、Ｘ−線管の焦点をジ−マン−ボーリン集束円上に保た
めに、放射線用ダクト４５に２つのサイドピースと一緒
に円形状の位置案内部を設ける。これら案内部の円の中
心をそれぞれＸ−線管の焦点及び軸３１とし、これら２
つの円の半径の和をジ−マン−ボーリン集束円の半径に
等しくする。θ調整の場合にはＸ−線管の焦点を集束円
上に固定しさえずれば良い。第２として、Ｘ−線ビーム
を正確に照射すべき領域に容易に向けるようにするには
、双方の位置案内部にスケールを設けるか、又は一連の
方向付けに屡々用いられるスケール又はそれに取付ける
固定ピンを設けることができる。これらの位置はＸ−線
管のハウ２ ジング内に設けたロックに接続するねじ又はピンを用い
て固定することができる。Ｘ−線管の接続用底部８５に
は高圧コネクタ８７を差込むことができる。このコネク
タにはＸ−線管に対して側方の位置に高圧ケーブル８９
を接続する。このケーブル８９はソケット部分を介して
自由に回転し得るようにする。従って、Ｘ−線管が案内
部８１に沿って動く場合に、ケーブルは元の位置のまま
に留まるか、又はＸ−線管の自由な動きが妨げられない
ように回動し得る。本例における支持体の第３脚部９１
には良好に画成した端面９３を設ける。この端面ば照射
領域４７から所定距離の個所９５にて被検体に接する。

これにより検査装置は照射領域に容易に固定され、しか
もユーザはそれを確かめることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるＸ−線検査装置の一例を示す原理
図、 第２図は同じく本発明装置の構成を示す斜視図、第３図
は本発明装置に適用する検出器支持体の３ 一例を示す斜視図、 第４図はＸ−線源及び検出器を具えている本発明装置の
異なる方向から見た斜視図である。 ■・・・被検体　３・・・Ｘ−線管 ５・・・照射領域　７・・・検出器用入射スリット９・
・ジ−マン−ポーリン集束円 １１・・・被検体の軸線 １３・・・被検体に対する垂線 １７、１９・・・Ｘ−ビーム　２１・・・検出器用保持
器２２・・・前置増幅器　２３・・・検出器用ハウジン
グ２４・・・検出器の軸線 ２５・・・検出器用入射スリット ２６・・・検出器用支持体 ２７、２９　・・・検出器用回転アーム３１・・・θ軸 ３３・・・検出器ハウジング用の軸 ３４・・・ステップモーフ　３５・・・歯車３７・・・
ウオームホイール駆動部 ３９・・・ウオームホイール　４１・・・歯車４４・・
・Ｘ−線管用保持器取付面、 ４ ４５・・・放射線用ダクト４７・・・照射領域５１・・
・第１固定支持リム　５３．５４　・・・枢軸素子５７
、５９・・・回転アーム　６１．６３．６５・・・支持
ねじ６７・・・非回転歯車　６９・・・歯車７０・・・
歯付きラック　７Ｘ・・・支持平板７３・・・溝　７５
・・・案内ピン ７７・・・マイクロスイッチ ７９・・・検出器ハウジング前方部分 ８１・・・円形案内部 ８３・・・Ｘ−線管用ハウジング ８７・・・コネクタソケット ８９・・・高圧接続ケーブル　９１・・・脚部９３・・
・端面 ５ 特開昭ＧＯ−１２２３Ｇ２（８）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■、　検査すべき物体における照射個所のまわりに傾斜
   可能に配置されるＸ−線源及びＸ−線検出器を具えてい
   るＸ−線検査装置において、ジ−マン−ポーリン放射線
   集束原理を利用し、Ｘ−線源（３）、照射領域（５）及
   び検出器用スリット（７）をジ−マン−ボーリン集束円
   上に配置し、検出器及びＸ−線源を、ジ−マン−ボーリ
   ン集束円の中心を通り、かつ該集束円　、の平面に対し
   て垂直に延在するθ軸に一致する機械的な軸（３１）の
   まわりにて回転可能とし、これら検出器及びＸ−線源の
   回転中にこれら検出器及びＸ−線源からの間数ビーム（
   １７）が絶えず照射領域の方向を向き、ψ傾斜に対して
   はジ−マン−ボーリン系が、照射領域の中心を通る軸（
   １１）を中心に前記集束円の平面に対し直角に傾斜し得
   るようにしたことを特徴とするＸ−線検査装置。 ２、　検出器の回転中に該検出器を絶えず照射領域に向
   けるために、検出器支持装置に機械的案内部（７０）を
   設け、該案内部をすべりなしで回転式の案内部（６９）
   と共働させ、該回転式案内部を検出器並びに他の回転式
   案内部（６７）を回動自在に支持する装置に取付け、前
   記他の回転式案内部（６７）を検出器回転用の軸（３１
   ）のまわりに同心的に取付けるも、該軸（３１）に固定
   しないようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載のＸ−線検査装置。 ３、　前記両回転式案内部（６９及び６７）を動力伝達
   比が１：２の歯車で形成し、前記機械的な案内部（７０
   ）を歯付きラックとしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第２項記載のＸ−線検査装置。 ４、　前記機械的な案内部を前記両回転式案内部と共働
   する１個以上の歯車で構成するようにしたことを特徴と
   する特許請求の範囲第２項記載のＸ−線検査装置。 ５、　回転自在に配置される検出器用ハウジング（２３
   ）における軸（３３）以外の個所に取付けられる衝合ピ
   ン（７５）を検出器支持アーム（２９）に取付けられる
   少なくとも１個のスイッチング素子（７７）と共働させ
   て、θ測定範囲を制限するようにしたことを特徴とする
   特許請求の範囲第１〜４項のいずれかに記載のＸ−線検
   査装置。 ６、　検出器支持アーム（２６）を回転させるステップ
   モータ（３４）を設けるようにしたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１〜５項のいずれかに記載のＸ−線検査
   装置。 ７、　検出器回転用ステップモータが照射領域（４７）
   上に該検出器を向ける制御もするようにしたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載のＸ−線検査装置。 ８、Ｘ−線管（８３）を動かしたり、検出器を照射領域
   上に向けたりするためのステップモータを設けるように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１〜７項のいす
   かに記載のＸ−線検査装置。 ９　Ｘ−線管（８３）の長さをＸ−線検査装置に適合す
   る長さに短縮し、該Ｘ−線管をジ−マン−ボーリン集束
   円の平面内にて、核平面に対して直角の方向に取付ける
   ことのできるようにしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１〜８項のいずれかに記載のＸ−線検査装置。 １０、ｘ−線管がコネククソヶッ）　（８７）及び高圧
   接続ケーブル（８９）を具え、該ケーブルを前記コネク
   タソケットに対してほぼ９０°の角度に向けると共に、
   該ケーブルをコネクタソケットにて回動し得るようにし
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１〜９項のいずれ
   かに記載のＸ−線検査装置。 １１、ｘ−線検査装置を、検査すべき物体（１）に対し
   て位置付けるために、該Ｘ−線検査装置を３点支持体で
   支持し、該３点支持体に照射領域（４７）以外にてンー
   マンーボーリン集束円に対して直角に向けられる固定リ
   ム（５１）を設け、前記支持体の２つの支点（６１）及
   び（６３）を前記固定リム（５１）の両端に可動自在に
   て接続される２つのリム（５７及び５９）の各端部に位
   置させ、かつ第３番目の支点をＸ−線検査装置に直接固
   着するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１
   〜１０項のいずれかに記載のＸ−線検査装置。 １２、前記第３番目の支点に良好に画成された端面（９
   ３）を設け、該端面を照射領域から所定距離の個所（９
   ５）に位置させるようにしたことを特徴とする特許請求
   の範囲第１１項に記載のＸ−線検査装置。 １３、Ｘ−線管用ハウジング（８３）に、Ｘ−線管の焦
   点に中心点を有する円形状の位置案内部を設け、第２の
   円形状位置案内部をジ−マン−ボーリン集束円の中心に
   固定させ、第１及び第２円形状位置案内部の半径の和が
   ジ−マン−ボーリン集束円の半径に等しくなるようにし
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１〜１２項のいず
   れかに記載のＸ−線検査装置。 １４、少なくとも一方の位置案内部に一連の方向付は用
   の固定素子を設けるようにしたことを特徴とする特許請
   求の範囲第１３項記載のＸ−線検査装置。 １５、検出器に非対象ダイヤフラムを設けて、Ｘ−線ビ
   ームの非対称強度分布を対称強度分布を呈するようにし
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１〜１４項のいず
   れかに記載のＸ＝線検査装置。