TWI240418B - Active matrix organic electroluminescent display device and method of fabricating the same - Google Patents

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Description

1240418 五、發明說明α) 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種顯示裝置及其製造方法，特別是關 於一種主動矩陣有機電致發光顯示裝置及其製造方法。 【先前技術】 有機電致發光顯示裝置（〇 r g a n i c electroluminescent display device )乃包含陰極、陽 極、與介於兩電極間之有機電致發光層（o r g a n i c electroluminescent layer)，其中陰極用以注入電子， 陽極則用以注入電洞。且有機電致發光二極體具有多層結 構的有機薄膜電晶體於陽極與陰極之間。當正向電流施加 於有機電致發光二極體，有機電致發光二極體之電子-電 洞對（通常歸類為激子（e X c i t ο η ))會結合，而於陽極 (注入電洞）與陰極（注入電子）之間產生Ρ-Ν接面。電 子-電洞對結合時比電子-電洞對分離時具有較低能量。有 機電致發光裝置會將電子-電洞對結合與電子—電洞對分離 之間的總能隙轉換為光。換句話說，有機電致發光層發出 之能量歸因於電流施加而導致電子與電洞之結合。 綜合以上所述’與液晶顯示裝置相比，有機電致發光 裝置並不需要額外之光源。此外，有機電致發光裝置之厚 度薄、重量輕、且能源效率高。因此，於顯示影像領域 中’ ^機電致發光裝置具有極佳優勢，例如能源消耗低、 亮度咼與反應時間短。由於這些優異特性，在形形色色的 “ 新世代消費電子裝置中，例如行動通信裝置、汽車導航系 統（car navigation system，CNS)、個人數位處理器 ’、
1240418 五、發明說明（2) (personal digital assistances，PDAs)、攝錄影機與掌 上型個人電腦（palra PCs )，有機電致發光裝置被認為是 前途看好之候選者。而且，因為有機電致發光裝置之製程 相當簡易，比起生產液晶顯示器，有機電致發光裝置之生 產是較為便宜的。 有機電致發光顯示裝置可配置為被動矩陣式 ---队〜〜.1〜我土勒矩 陣式。被動矩陣式有機電致發光顯示裝置比主動矩陣式有 機電致發光顯示裝置具有較為簡單的結構與製程，但能源 消耗較高。且被動矩陣式有機電致發光顯示裝置因其結構 限制，並不適用於大尺寸之裝置。此外，被動矩陣式有機 電致發光顯示裝置之開口率（aperture ratio)會隨著匯· 流排線之增加而減少。與被動矩陣式有機電致發光顯示裝 置相比之下，主動矩陣式有機電致發光顯示裝置則提供具 有較高明亮度的高顯示品質 第1圖為說明先前技術之主動矩陣式有機電致發光顯 示裝置之剖面圖。如第1圖所示，有機電致發光顯示裝置 1 0包含第一基板1 2、第二基板2 8與將兩者彼此結合的密封 •❿ Μ 26。其中’多個薄膜電晶體（thin film transistor， TFT)T與多個陣列部位（array p〇rti〇n)14形成於第一 基板12上。這些薄膜電晶體τ分別對應於每個畫素區域p。 並陸續形成第一電極（即陽極）i 6、有機發光層丨8與第二 電極（即陰極）2 〇於陣列部位丨4上。關於這點，有機發光 層18需發出紅色（R)、綠色（G)或藍色（]8)的光於每個晝素p 上。因此為了顯示彩色影像，有機彩色發光圖案會分別沉
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1240418
積於各個晝素p上。 二其外，如第1圖所示，以密封劑2 6將第一基板1 2與第 f28結合，此第二基板28之背面包含吸濕層22。吸濕 曰曰吸收可能存在於第一基板丨2與第二基板2 8間之晶格 :内之濕氣。當沉積吸濕層2 2於第二基板2 8上時，部分 第二基板28會遭蝕刻而形成凹陷，然後，用密封帶25封住 第二基板28以使粉末型吸濕層22固定在此凹陷處内。 第2圖為說明依據先前技術配置之有機電致發光顯示 裝置之畫素之等效電路圖。如第2圖所示，閘極線“配置 於一橫向方向’資料線DL配置於大致垂直於閘極線GL之一鲁⑩ 縱向方向。而切換薄膜電晶體（swi1：ching TFT) Ts則配置 於閘極線GL與資料線DL之交叉處，並配置一驅動薄膜電晶 體（dr i vi ng TFT) TD以電性連接此切換薄膜電晶體^。且 驅動薄膜電晶體TD並以電性連接有機電致發光二極體£。另 外，將電容儲存器cST配置於切換薄膜電晶體^之汲極S6與 電源線P L之間。電容儲存器CST也以電性連接驅動薄膜電晶 艘％之閘極D2。切換薄膜電晶體Ts之源極S4與資料線DL連 接，而驅動薄膜電晶體TD之源極D4與電源線PL連接。如第！ 圖所述，有機電致發光二極體E乃包含第一電極、有機發 光層與第二電極’其中，有機電致發光二極體E之第一電__·· 極電性連接驅動薄膜電晶體td之汲極D 6，有機發光層配置 於第/電極上’而第一電極則配置於有機發光層上。 現在，配合第2圖簡單說明有機電致發光顯示裝置之 運作。當閘極訊號流經閘極線GL而傳送至切換薄膜電晶體 1240418 五、發明說明
Ts之閘極S2，資料電流訊號則流經資料線DL而被切換薄膜 電晶體Ts轉為電壓汛號，並傳送至驅動薄膜電晶體八之閘 極D2。之後，由驅動薄膜電晶體Td執行並決定流經^機^ 致發光二極體E之電流水準（current levei)。於是，有 機電致發光二極體E可顯示介於黑色與白色間之灰階。 〇電壓訊號也輸入電容儲存器CST使電荷儲存於電容儲存 器CST。儲存於電容儲存器CST之電荷可維持驅動薄膜電晶體 TD之閘極D2上的電壓訊號之電壓。因此，就算關閉切換薄 ·# 膜電晶體\，直到下次電壓訊號輸入，流至有機電致發光 一極體E之電流水準依然會保持不變。 同時，切換薄膜電晶體Ts與驅動薄膜電晶體I可包含 多晶矽層或非晶矽層。與包含多晶矽層的切換薄膜電晶體 Ts :驅動薄膜電晶體、相比，包含非晶矽層之切換薄膜電 晶體Ts與驅動薄膜電晶體Td之製造會較為簡單。 第3圖_為先則技術之具底部發光式的主動矩陣有機電 致發光顯示裝置之平面圖。士口第3圖所示，主動矩陣有機 電致發光顯示裝置可包含逆向交錯式薄膜電晶體。 ·« 閘極線36與資料線49、電源線62交又，且資料線49與 J '=2相隔一段距離。將閘極線36與相隔一段距離的資 =9和電源線62間之區域定義為晝素區㉟。切換薄膜電 曰曰體ts配置於閘極線36與資料線49彼此交又之鄰近部位。 驅動薄膜電晶體\配置於電源線62之附近並位於畫素區域 因而，驅動薄膜電晶體' 佔據晝素區域中相當大的 1240418 五、發明說明（5) 切”膜電晶體Ts包含切換閑極電極32、切換源 極48、切換汲極電極50與切換活性層56a。其中， ^ =32為閘極線36延伸而成，切換源極電極仏為資、: 49延伸…切換汲極電極5〇與切換源極電極48相隔—二 距離，而切換活性層56a位於切換閘極電極32之上。奴 換活性層56a由非晶矽形成並具有島形形狀。， 刀
驅動薄膜電晶體％連接切換薄膜電晶體Ts與電源 62。驅動=膜電晶體％包含驅動閑極電極以、驅動源極 極52、驅動汲極電極54與驅動活性層…。丨中 J 極電極34與切換汲極電極5〇連接，並沿著電源線62邊緣： 伸。驅動活性層58a由非晶石夕形成並具有長島形形狀。此♦如 外，驅動活性層58a也沿著電源線62邊緣延伸，同時也盥 驅動閘極電極34部分重疊。驅動源極電極52與驅動汲極電 極54分別驅動閘極電極34之邊緣部位部份重疊，具有島 形狀之驅動活性層58a則配置於驅動源極電極52與驅動/ 極電極54間之驅動閘極電極34之上。 並t第1圖所示，電源線6 2具有一延伸至驅動源極電 極52之突出部位，並經由此突出部位與驅動源極電極52電 性連接。而有機電致發光二極體之第一電極66則配置於畫 素區域内’並與驅動汲極電極W連接。 驅動4膜電晶體Td必須具備能執行並驅動有機電致發 光二極體之能力。因此，驅動薄膜電晶體TD之通道應具有 見的通道見度W與短的通道長度[，以使通道寬度|與通道 長度L之比值夠大。於是，驅動薄膜電晶體TD將可提供足夠
第12頁 1240418 五、發明說明（6) 電流於有機電致發光二極體，以執行並驅動此有機電致發 光二極體。 第4圖與第5圖分別為說明切換薄膜電晶體與驅動薄膜 電晶體之沿著第3圖之剖面線I V - I V與剖面線V - V之剖面 圖。 於第4圖與第5圖中，首先，形成切換閘極電極3 2與驅 動閘極電極34於基板30上。雖然第4圖與第5圖並未顯示， 但第3圖已顯示出閘極線3 6也形成於基板3 〇上。如之前所 述’驅動閘極電極34比切換閘極電極32大並佔據一大部分 的晝素區域。然後，形成閘極絕緣層38於基板3〇上，並覆_ 蓋住驅動閘極電極3 2、切換閘極電極3 4與閘極線3 6。閘極 絕緣層38具有一可露出驅動閘極電極34之底端的接觸孔。 之後在切換閘極電極3 2與驅動閘極電極3 4之上的閘極絕 緣層3 8上’为別形成切換半導體層5 6與驅動半導體層5 8。 其換半導體層5 6包含純非晶矽之切換活性層5 6 β與 払夤非曰曰矽之切換歐姆接觸層5 6 b。而驅動半導體層5 8包 非晶矽之驅動活性層58a與摻質非晶矽之驅動歐姆接. 58b '如第3圖所示，驅動半導體層“大於切換半導體 ^ 。之後，形成彼此分隔的切換源極電極48與切換汲極 動】搞ί f接切換歐姆接觸層5 6b，且形成彼此分隔的驅 5 ° 、圣52與驅動汲極電極54並連接驅動歐姆接觸層 第3 FI ik 換汲極電極5〇也電性連接驅動閘極電極34。如 罢所示，形成資料線49於問極絕緣層38之上， 並將之配置為與問極線36正交。於是，完成切換薄膜電晶
第13頁 1240418 五、發明說明（7) ----- 體TS與驅動薄膜電晶體td。 之後’形成第一鈍化層60於整個基板3〇之上而覆蓋住 切換薄膜電晶體1與驅動薄膜電晶體i。第一鈍化層6 〇具 有接觸孔而露出驅動源極電極5 2。然後，如第5圖所示， 形成電源線62於第一鈍化層6〇上並經由接觸孔連接驅動源 極電極52。如第3圖所示，電源線62與資料線49相隔一段 距離並分別與閘極線36正交，於是將電源線62、閘極線“ 與貝料線4 9間之區域定義為晝素區域。此外，形成第二鈍 化層64於整個基板3〇上以覆蓋電源線62。第一鈍化層6〇與 第二純化層64具有接觸孔並經由接觸孔露出部分驅動源極⑩⑩ 電極5 4 °然後’形成有機電致發光二極體之第一電極6 6於 第一純化層6 4之上，並電性連接驅動汲極電極5 4。如第3 圖所示，第一電極66配置於晝素區域内。 第3圖〜第5圖所示之先前技術中，驅動活性層58a具有 寬的通道寬度與短的通道長度，使驅動薄膜電晶體^佔據 大部分的畫素區域。因此，底部發光式有機電致發光顯示 裝置之開口率（aperture ratio)會降低。甚至，由於大 量電流流經驅動薄膜電晶體Td，在驅動薄膜電晶體％中可. 能會引發電流應力，因而損害驅動薄膜電晶體％。特別 是，當DC偏壓連續施加於驅動薄膜電晶體l，驅動薄膜電·· 晶體TD之電性質會惡化並導致故障。此外，具有前述驅動 薄膜電晶體之主動矩陣有機電致發光顯示裝置可呈現出殘 留影像現象，因而產生不良的顯示品質。另外，當驅動薄 膜電晶體因為電應力而發生惡化和故障，於晝素中會產生
第14頁 l24〇4ig 邑、發明說明⑻ 點缺陷。 【發明内容】 其製本發明係提供一種 與缺失。法，猎以解決並排除 襞置本=明之目的係提供一種 應力此主動矩陣有機電致發 驅動薄膜電晶體配置於 與高開:目的為提供 率之有機電致發光顯 透過ft明之其他特性與優點 容，：施例來學習。本發明之 辱利範圍與附圖來了解盘 明提Ϊ了達到本發明的目的與 於^ —種有機電致發光顯示 體資料線與閑極線交 於閘極線與資料線之交 :之驅動薄膜電晶體系統，且 極基底以平行連接於切換薄膜 又於基板上，並與數個子薄膜 位於驅動薄膜電晶體系統上， 接；有機電致發光層位於第一 第二電極位於有機電致發光層 本發明也提供一種有機電
有，電致發光二極體裝置及 先則技術所呈現之眾多限制 主動矩陣 光顯示裝 晝素中。 有機電致發光顯示 置具有可降低電流 =種具有改良的影像解析力 示裝置。 將於以下 目的與優 獲得。 優點，簡 裝置，包 叉於基板 叉處；包 這些子薄 電晶體； 電晶體電 並與數個 電極上； 上。 致發光顯 内容中提及，並可 點將可透過專利内 ·# ::述於下，本發 3基板；閘極線位 亡；切換薄膜電晶 3數個子薄膜電晶 膜電晶發乃經由問 電源線與閘極線交 性連接；第-電極 子薄膜電晶體連 及透明製成之 示裂置之製造方
第15頁
1240418 五、發明說明（9) — ^ 電致發光顯示裝置包含數個晝素 列工；切換區域與驅動區域，此製造方。ίϊ 以ΐ:;"第一金屬層於基板上；《案化第-金屬芦， 乂成閘極線、切換閘極電極、 曰 電極，苴中切1 π β φ 閘極基底與數個驅動閘極 晝素區：Γ閘極電極位於切換區域上，閘極基底位於 -絕緣層於基底上m二5驅動£域上；形成第 基底與數個門朽Φ托 線、切換閘極電極、閘極 極上之:編換活性層於位於切換閉極電 驅動閑：電個驅動活性層於位於數個 活性層與驅動活性層上、;圖金屬層於切換·， 源極電極、切施方托带把’、第一金屬層’而形成切換 動汲極電極：：】=數個驅_ 體系統，其中驅動：膜電’曰系統與驅動薄膜電晶 :声：：： 有與其對應的驅動問極電極、驅動活 切換源極電極、切及極電極；形成第二絕緣層於 其中第二絕緣層具有源：、:=:動:及極電極上， \ ,· 資料線劃定書素區域；以電源線、問極線與 數個驅動源極電極）形源極接觸孔以電性連接1 蓋電源線，且第三％续 —、、、巴、、層於第一絕緣層上以覆 汲極電極；形成；極接觸孔以露出數個驅動 第-電極經由=接域内之第三絕緣層上， 條碉孔連接數個驅動汲極電極；形成有
I 第16頁 1240418 五、發明說明（10) 機電致發光層 電極於有機電 本發明另 一'基板，閘極 第一基板上； 叉處；包含數 些子薄膜電晶 晶體；電源線 膜電晶體電性 上；及連接圖 接驅動薄膜電 本發明再 法，此有機電 有畫素區域、 步驟·形成第 以形成閘極線 電極，其中， 於晝素區域上 於第一電極上 致發光層上。 提供一種有機電致發 線位於第一基板上； 切換薄膜電晶體鄰近 個子薄膜電晶體之驅 體乃經由閘極基底以 與閘極線交叉於第一 連接；有機電 ;及形成透明材料製成之第二 第一絕緣層於第一基 閘極基底與數 極電極上之第 數個驅動閘極 切換活性層與 換源極電極、 案位於第一基 晶體系統與有 提供一種有機 致發光顯示裝 開關區域與驅 一金屬層於第 、切換閘極電 切換閘極電極 ，數個驅動閘 底上以 個閘極電極； 一絕緣層上 電極上之第一 驅動活 切換汲 性層上 極電極 致發光 板與第 機電致 電致發 置包含 動區域 一基板 極、閘 位於切 極電極 覆蓋閘 形成切 並形成 絕緣層 ，圖案 、數個 光顯示 資料線 於閘極 動薄膜 平行連 基板上 二極體 一基板 發光二 光顯示 數個畫 ，此製 上；圖 裝置，包 與閘極線 線與資料 電晶體系 接於切換 ，並與數 位於一第 間，並以 極體。 裝置之製 素，這些 造方法包 案化第一 極基底與 換區域上 位於驅動 極線、切 換活性層 數個驅動 上；形成 化第二金 驅動源極 數個驅 ，閘極 區域JL 換閘極 於位於 活性層 第二金 屬層以 電極與 含：第 交叉於 線之交 統，這 薄膜電 個子薄 —基板 電性連 造方 畫素具 含下列 金屬層 動閘極 基底位 ;形成 電極、 切換閘® 於位於 屬層於. 形成切 數個驅
1240418 五、發明說明（11) 而形成切換薄膜電晶體系統 二糸驅動薄膜電晶體系統包含數 ㊁卜 體’這些子薄膜電晶體各具有與其對應的驅二曰 驅動活性層、驅動源極電極與驅動汲極電極本、 =切換源極電極、汲極電極與數個驅動汲極：：：絕 其中第一絶緣層具有源極接觸孔以露八 電極；形成電源線於第二絕緣層上，以電：線、=動源極 定畫素區域，電源線並經由源極接觸孔 接至數個驅動源極電極；形成第三絕緣層於第二連 覆蓋電源線’ &帛三絕緣層具有汲極接觸孔以露、&= 動汲極電#;形成連接圖案於畫素區域内之第三絕緣：驅•知 上，而連接圖案為經由汲極接觸孔而連接至數個驅動^ 電極；及形成有機電致發光層於第二基板上，此連接案 以電性連接驅動薄膜電晶體系統與有機電致發光二極體。 在具體實施例中將詳盡的描述，以提供如本發明中 利範圍内容之更進一步的說明。 【實施方式】 現在舉出具體實施例以對本發明作詳細說明，並以圖 不作為輔助。說明中提到之符號係參照圖示符號。 •Φ 第6圖為本發明之主動矩陣有機電致發光顯示裝置之 平面圖。不同於第3圖之先前技術，第6圖之主動矩陣有機 電致發光顯示裝置為頂部發光式。閑極線1〇1分別與資料 線115、電源線128交又，|資料線115、電源線128彼此相 隔一段距離。將閘極線丨〇丨與相隔—段距離的資料線丨丨5和
第18頁 1240418 五、發明說明（12) 電源線1 2 8之間的區域定義為晝素區域。然後， 薄 膜電晶體1配置於閘極線1 〇 i與資料線丨丨/交又之鄰近部/ 位。驅動薄膜電晶體td則配置於資料線丨丨5與電源線丨28之 間的晝素區域内。以此配置之驅動薄膜電晶體I為包含數 個子薄膜電晶體（sub-TFT )(例如第一〜第四子薄膜電晶 體）之電晶體系統。 ' 切換薄膜電晶體1包含切換閘極電極丨〇 2、切換源極電 極1 1 6、切換沒極電極11 8與切換活性層1 〇 8，其中切換閘 極電極1 0 2為閘極線1 〇 1延伸而成，切換源極電極1 1 6為資 料線1 1 5延伸而成，切換汲極電極丨丨8與切換源極電極丨丨6籲丨· 相隔一段距離，而切換活性層丨〇8則位於切換閘極電極丨〇 2 之上。切換汲極電極11 8與驅動閘極基底丨〇 4具有一連接 處’且驅動閘極基底1 〇 4往平行資料線1丨5之方向延伸，並 作為驅動薄膜電晶體TD中數個子薄膜電晶體之閘極電極。 驅動薄膜電晶體1；可具有第一子薄膜電晶體Tdi、第二 子溥膜電晶體12、第三子薄膜電晶體tD3與第四子薄膜電晶 體TD4 ’這些子薄膜電晶體彼此平行並互相連接。第一子薄 膜電晶體TD1、第二子薄膜電晶體Td2、第三子薄膜電晶體k /、第四子溥膜電晶體L各具有自驅動閘極基底1 〇 4垂直延 伸而成之第一驅動閘極電極104a、第二驅動閘極電極 修_: l〇4b、第三驅動閘極電極104c與第四驅動閘極電極i〇4d。 而且，第一子薄膜電晶體L、第二子薄膜電晶體U、第三 -子薄膜電晶體TDS與第四子薄膜電晶體Td4各具有第一驅動活 性層112a、第二驅動活性層1121)、第三驅動活性層112〇與 1240418 五、發明說明（13) 第四驅動活性層1 1 2d，並各自配置於第一驅動閘極電極 104a、第二驅動閘極電極104b、第三驅動閑極電極1〇虹盥 第四驅動閘極電極1 〇4d之上。此外，第一子薄膜電晶體” L、第二子薄膜電晶體L、第三子薄膜電晶體TD3與第四子 薄膜電晶體τ,4也各包含第一驅動源極電極12〇a、第二驅動 源極電極120b、第三驅動源極電極12〇c與第四驅動源極電 極1 2 0 d。其中，第一驅動源極電極丨2 〇 a越過第一驅動閘極 電極1 0 4 a而與苐一驅動汲極電極1 2 2 a相隔一段距離，第二 驅動源極電極120b越過第二驅動閘極電極1〇41)而與第二驅 動汲極電極122b相隔一段距離，第三驅動源極電極12化越 過第三驅動閘極電極104c而與第三驅動汲極電極i2k相隔 一段距離，而第四驅動源極電極12〇(1則越過第四驅動閘極 電極104d而與第四驅動汲極電極122d相隔一段距離。並 且，=一驅動汲極電極122&與第二驅動汲極電極l22b形成 為一單體、，第=驅動源極電極12〇b與第三驅動源極電極 2 0 c幵y成為單體，且第二驅動沒極電極1 2 2 c與第四驅動 =極電極122d形成為一單體。此外，第一驅動電源電極 8a、第二驅動電源電極12扑與第三驅動電源電極^以為 於驅動薄膜電晶體td上之電源線128延伸而成。苴中，第一 Ϊ Ϊ電Ϊ電極128a部*重疊於第一驅動源、極電極12〇a並相4 =驅動電源線128b部分重疊於第二驅動源極電極 120^和弟三驅動源極電極12〇(：之單體並相連接，而第三驅 、車垃源Ϊ極128C則部分重疊於第四驅動源極電極120d並相 接。a後，於第一驅動汲極電極122a與第二驅動汲極電
1240418 五、發明說明（14)
極1 2 2 b之單 三驅動汲極 間部位形成 連接的第一 子薄膜電晶 四個子薄膜 (或減少） 圖，有機電 孔132a與第 極電極1 2 2 a 122c與第四 體的中間部 電極1 2 2 c與 弟—〉及極接 子薄膜電晶 體TD3與第四 電晶體，也 子薄膜電晶 致發光二極 一沒極接觸 、第二驅動 驅動没極電 位形成第一汲極接觸孔132a，於第 第四驅動汲極電極1 2 2 d之單體的中 觸孔1 32b。依此方法，完成以平行 體Tdi、第二子薄膜電晶體TD2、第三 子薄膜電晶體TD4。雖然第6圖顯示 可使用以上所述之配置方法來增加 體之數量。同時，雖未顯示於第6 體之第一電極可透過第一汲極接觸 孔132b，以電性連接至第一驅動汲 汲極電極1 2 2b、第三驅動汲極電極鲁議 極 122d。 ’ 一於參…、第6圖所描述之結構與配置中，驅動薄膜電晶 體^包含互相平行並彼此連接之第一子薄膜電晶體l、第 了子薄膜電晶體1^2、第三子薄膜電晶體TD3與第四子薄膜電 晶體TD4 ’使驅動薄膜電晶體I減緩並分散過量的電流應 力。而且’因為存在數個子薄膜電晶體並用以驅動有機電 致發光二極體’當子薄膜電晶體之一受損時，驅動薄膜電 晶體TD仍可安全地執行。 第7A圖〜7E為沿著第6圖之剖面線VI I-VI I之剖面圖， 並說明根據本發明之實施例所配置之主動矩陣有機電致發鲁H 光顯示裝置之製程。 ， 於第7 A圖中，提供一具有切換區域心、驅動區域Td與 晝素區域P之基板1 〇 〇。然後，沉積第一金屬層於基板1 〇 〇 上。第一金屬層可由鋁（A1)、鎢（W)、銅（Cu)、鉬（Mo)、
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鈦（Ti)、鈥化鋁（A1Nd)或其合金形成。之後，將第一金屬 層圖案化而形成閘極線101 (第6圖中）、切換閘極電極 102、驅動閘極基底i 〇4、第一驅動閘極電極1〇4a、第二驅 動閘極電極104b、第三驅動閘極電極1〇4c與第四驅動閘極 電極104d。切換閘極電極102為間極線1〇1延伸而成並配置 於切換區域心上，同時第一驅動閘極電極1〇切、第二驅動 閘極電極104b、第三驅動閘極電極1〇4c與第四驅動閘極電 極1 04d為驅動閘極基底1 〇4延伸而成並配置於驅動區域％ ·# 上。如第6圖所示，驅動閘極基底丨〇4垂直延伸至閘極線 \〇1並配置於畫素區域P上。另外，驅動閘極基底1〇4之末 鈿連接至第一驅動閘極電極1 〇 4 a、第二驅動閘極電極 1 〇4b、第三驅動閘極電極i 〇4c與第四驅動閘極電極1 。 將第一金屬層圖案化之後，則形成閘極絕緣層丨〇6於 基板100之整個表面上而覆蓋住閘極線1〇1、切換閘極電極 102、驅動閘極基底104與第一驅動閘極電極l〇4a、第二驅 動閘極電極l〇4b、第三驅動閘極電極104c與第四驅動閘極 電極1 0 4d。且閘極絕緣層i 〇 6最好為無機材料，例如氮化 矽（S 1 Nx)或氧化矽（s丨A )。然後，將閘極絕緣層丨〇 6圖案化 以具有閘極接觸孔丨〇 7而露出驅動閘極基底丨〇 4之一端。 曰 於第几圖中，陸續形成純非晶矽（a-Si :H)層與摻質非 晶石夕（n+ a-Si :H)層於閘極絕緣層1 〇6上，然後將其圖案 化，而形成切換活性層108、第一驅動活性層U2a、、第二 驅動活性層11 2b、第三驅動活性層11 2c、第四驅動活性層 112d、切換歐姆接觸層11()、第一驅動歐姆接觸層丨丨“、 ·«；
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五、發明說明（16) 第二驅動歐姆接觸層1 1 4b、第三驅動歐娌 四驅動歐姆接觸層114化間極姆接觸層Me與第 使用其他適合的材料 '然而，活心1 一0 ,。當然曰，可以 小生屙1 1 ? h、筮一化4 、 d 弟一驅動活 歐‘接觸 > 如：活性層1 1 2c與第四驅動活性層1 1 2d。 二姆接觸層一般彻 b第欠姆接觸層U4i ^ Γ電極^ 與切換歐姆接觸層110對應於切換閘
1 1 4a對岸於繁驅動活性層11 2a與第一驅動歐姆接觸層鲁丨· =對應於第-驅動閘極電極1G4a，第二驅動活性層n2b W 與第二驅動歐姆接觸層丨14b對應於第二驅動閘極電極 1 j 4 b ，一驅動活性層11 2 c與第三驅動歐姆接觸層丨丨4 c對 應於第三驅動閘極電極10杬，而第四驅動活性層n2d與第 四驅動歐姆接觸層U4d對應於第四驅動閘極電極i〇4d。 然後，形成第二金屬層於閘極絕緣層丨〇 6之整個表面 上，以覆蓋切換活性層丨〇8、第一驅動活性層丨丨仏、第二 驅動活性層112b、第三驅動活性層112〇、第四驅動活性層 1 1 2 d、切換歐姆接觸層1 1 〇、第一驅動歐姆接觸層1丨“、 第一驅動歐姆接觸層1 1 4 b、第三驅動歐姆接觸層1 1 * c與第鲁馨 四驅動歐姆接觸層1 1 4d，之後將其圖案化以形成切換源極 電極1 1 6、第一驅動源極電極1 2 0 a、第二驅動源極電極 1 2 0 b、第二驅動源極電極1 2 0 c、第四驅動源極電極1 2 〇 d、 切換沒極電極118、第一驅動汲極電極丨2 2a、第二驅動汲
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五、發明說明（17) 極電極122b、第三驅動汲極電極丨2 2c與第四驅動汲極電極 122d。且源極電極116、第一驅動源極電極12〇a、第二驅 動源極電極1 2 0 b、第三驅動源極電極丨2 〇 c與第四驅動源極 電極1 2 0 d分別與其對應的汲極電極彼此分隔。其中，切換 源極電極116與切換汲極電極118形成於切換歐姆接觸層、 11 0上，切換汲極電極11 8透過閘極接觸孔丨〇 7連接驅動閘 極基底104。此外，第一驅動源極電極12〇a與第一驅動汲 •Φ 極電極1 2 2 a形成於第一驅動歐姆接觸層丨丨4 a上，第二驅動 源極電極1 2 0 b與第二驅動汲極電極1 2 2 b形成於第二驅動歐 姆接觸層114b上，第三驅動源極電極丨2〇c與第三驅動汲極 電極1 22c形成於第三驅動歐姆接觸層丨14c上，而第四驅動 源極電極120d則與第四驅動汲極電極丨22(1形成於第四驅動 歐姆接觸層1 1 4d上。在此說明本發明所示範之配置中，第 一驅動汲極電極1 2 2 a與第二驅動汲極電極1 2 2 b具有一單 體’第一驅動源極電極1 2 0 b與第三驅動源極電極1 2 〇 c具有 一單體，且第三驅動沒極電極122c與第四驅動汲極電極 122d具有一單體。縱然於第7B圖中只有4個驅動源極電極 與驅動汲極電極，可以此方式配置多於四個（或少於四
個）之驅動源極電極與驅動汲極電極。同時，可分別形成 每個驅動源極電極與驅動；:及極電極。 在之前所述形成源極電極與汲極電極的步驟之後，將 露出於源極電極與沒極電極之間的部分之切換歐姆接觸層 110、第一驅動歐姆接觸層U4a、第二驅動歐姆接觸層曰 11 4b、第三驅動歐姆接觸層11 4C與第四驅動歐姆接觸層
第24頁 1240418 五、發明說明（18) ^切移除，然後在位於其下的切換活性層1〇8、第一驅動 /性層1 1 2a、第二驅動活性層丨丨2b、第三驅動活性層 、第四驅動活性層丨⑶上形成通道。同時，完^具有 固互相平订並彼此連接之子薄膜電晶體的驅動薄膜電晶 D，並完成經由閑極基底1〇4而電性連接驅動薄膜電晶體 iD之切換薄膜電晶體t。 現在於第7C圖中，形成第一鈍化層124於基板1〇〇之整 面上，而覆蓋住切換源極電極11 Θ、第一驅動源極電 » 2〇a、第二驅動源極電極12〇b、第三驅動源極電極 C、第四驅動源極電極12〇d、切換汲極電極丨18、第一 ==及極電極122a、第二驅動汲極電極122b、第三驅動汲 辟1極122c與第四驅動汲極電極md。然後，將第一鈍化 二“4圖案化而露出部分的第-驅動源極電極12Ga、第二 =源極電極120b、第三驅動源極電極12〇c與第四驅動源 •Φ 搞19 η極12 〇d :其中’帛一源極接觸孔露出第一驅動源極電 :a，第一源極接觸孔露出位於第二驅動源極電極1 20b 驅動源極電極12〇c之間的中間部位。然後，形成第 ::屬層於整個第一鈍化層上，並將其圖案化以形成電源 照第6圖）、第一電源電極128a、第二電源電極 b與”電源電極mc。如第6圖所示，第一電源電， 彳一電源電極128b與第三電源電極128c為電源線 Γ雷=成並：於第一驅_^^ 才i 電極 1 2 0 b、為二 私、、/5 k a 1 9nH ^ L ^ — 15動源極電極1 2 0c與第四驅動源極電極 丄乙UC1之上。装Φ , 势 ^ _ 、 電源電極1 2 8 a經由第一源極接觸孔
1240418 五、發明說明（19) 電極12°a，第二電源電極i28b、經由第二 極120C。並且極電極12Gb與第三驅動源極電 接第四驅動源極電極128C經由第三源極接觸孔連 於第7D圖中，形成第二純化層13〇於第一純化層124 ，而覆蓋住電源線128、第一電源電極128a、第二電 1^極:2„第二電源電極128。。然後，陸續將第-鈍化層 铪二、一鈍化層130圖案化，而形成第一汲極接觸孔13 2a ，、一汲極接觸孔132b。其中，第一汲極接觸孔132a露出 位於第一驅動汲極電極122&與第二驅動汲極電極i22b之間 的中間部位：第二汲極接觸孔丨32b露出位於第三驅動汲極 電極1 2 2 c與第四驅動汲極電極1 2 2 d之間的中間部位。且第 二純化層1 3 0可為有機材料，如苯環丁烯 (benzocyclobutene，BCB)或丙烯酸樹脂（acrylic resin )。於這些步驟之後，即製造出使用於有機電致發 光顯示裝置之具有數個薄膜電晶體之基板（如第7D圖所 示）。 弟7E圖顯示形成有機電致發光顯示裝置於具有數個薄 膜電晶體之基板上之步驟。將具有低功函數之導電材料， 如紹（A1)、鎮（Mg)、約（Ca)或鋰氟/銘（LiF/Al)沉積於整鲁彳_ 個基板1 0 0上，而形成第一電極1 3 4 (即陰極）。將第一電 極1 3 4形成以配置於晝素區域p内，並經由第一沒極接觸孔 1 3 2 a與第二汲極接觸孔1 3 2 b連接第一驅動汲極電極1 2 2 a、 第二驅動汲極電極122b、第三驅動汲極電極122c與第四驅
第26頁 1240418 五、發明說明（20) 動汲極電極122d。然後，形成有機電致發光層136於 上///將第7E圖之有機電致發光層136描寫成單 :為多層結構。若有機電致發光層136為 夕層結構，有機電致發光層136可包含從第一電極134上依 =成的電子注入層、#光層與電洞注入層。然後，將具 回功函數之第二電極138，例如銦錫氧化物（IT〇)，形成 ，有機電致發光層136上。第二電極138為透明的並當作陽 極，使第7Ε圖之有機電致發光顯示裝置成為頂部發光式。 由第7 Α圖〜第7 Ε圖之製程製造的有機電致發光顯示 i = f部發光因此光會朝*配置有數條線與數個薄·· 日、舯日日丑的基板發射，因而提高顯示面積並將數個薄膜電 晶體之設計簡化。 ^ 第8圖為本發明之另一項實施例所配置之雙面板式 (dual panel type)有機電致發光顯示裝置之剖面圖。 ，有機電致發光顯示裝置99具有兩片基板，且數個薄 膜電體與有機電致發光二極體分別配置於上。 πϋ第8圖中，第一基板100與第二基板2〇〇彼此相隔一 : ，，其内表面彼此相對，並具有數個晝素區域Ρ。 Γ ^ :在第一基板1 〇〇之内表面上，形成包含切換薄膜電 1曰广=驅動薄膜電晶體之陣列層於每個畫素區域中。並於鲁· ::晝素區域之陣列層上，形成連接圖案40 0以連接至薄 之=晶體Τ。而連接圖案40 0可由具有足夠厚度以進行連接 夕> ί材料或包含絕緣材料與一層或更多層之導電材料的 夕曰結構來製造。可利用額外的連接電極來連接此連接圖
第27頁 1240418 五、發明說明（21) 案400與薄膜電晶體T。而薄膜電晶體T包含參照第6圖與第 7A圖〜第7E圖所描述的本發明之驅動薄膜電晶體。連接圖 案4 0 0即連接至具有數個子薄膜電晶體之驅動薄膜電晶體 的驅動〉及極電極。 • i
此外，將第一電極202形成於第二基板200之内表面。 有機電致發光層2 0 8則形成於第一電極2 〇 2上，其中，有機 電致發光層2 0 8包含陸續沉積於每個晝素區域P上的紅色 (R)、綠色（G)及藍色（B)之有機發光層208a。第二電極21〇 形成於每個晝素區域P之有機電致發光層2 〇 8上。有機電致 發光層2 0 8可由單層結構或多層結構形成。以多層結構為 例’有機電致發光層2〇8可包含第一載子傳輸層208b、紅 色（R)、綠色（G)及藍色（B)之有機發光層208a與第二載子 傳輸層208c，其中，第一載子傳輸層2〇8b位於第一電極 2〇2>上’紅色（R)、綠色（G)、藍色（B)之有機發光層20 8a位 =第一載子傳輸層2〇8b上，而第二載子傳輸層2〇8c則位於 每:^機發光層20 8a上。若第一電極20 2與第二電極210分 陽極與陰極’第一載子傳輸層2 〇⑽對應於電洞注入層 ^與^傳輪層，且第二载子傳輸層208c則對應於電子傳輸 主入層。則第一電極2 0 2、第二電極210與介於其 ^電致發光層2 〇 8定義為一有機電致發光二極體。 立周門L L將第一基板1 〇 〇與第二基板2 0 〇以密封劑3 0 〇於 極2U之V刀,其組合。連接圖案40 0之頂端會連接第二電 40 0而、、^ ΐ ’使驅動薄膜電晶體L之電流經由連接圖案 而机入弟二電極210。參照第8圖所描述之有機電致發
1240418 五、發明說明（22) 光顯示裝置為雙面板式夕士 ^ 攸式之有機電致發光二極體 ^ ^ ^ 尤一極體分別形成於各個基 接圖案4 0 0以電性連接陲石丨陆 电1逆接陣列層與有機電致發光二 圖之數個薄膜電晶體T可由第7A圖〜第7E圖之製 並且可將數個薄膜電晶體之結構與陣列層跟有 一極體之連接方式作各種修改與變動。同時， 之有機電致發光顯示裝置為頂部發光式，可易 有高解析力與高開口率之薄膜電晶體τ。 此外’本發明具有多項優點。例如，因為 晶體具有寬的通道寬度與短的通道長度，驅動 可有效地執行並驅動有機電致發光二極體。甚 里電流流經驅動薄膜電晶體，由於驅動薄膜電 行的子薄膜電晶體’可以避免驅動薄膜電晶體 力。因而，不會使驅動薄膜電晶體受到損害。 子薄膜電晶體之一受損或故障，由於子薄膜電 行並互相連接，驅動薄膜電晶體依然可以執行 機電致發光顯示裝置為頂部發光式，因此可以 率。另外，本發明之有機電致發光顯示裝置可 力與極佳的顯示品質。 雖然本發明之較佳實施例揭露如上所述， 以限定本發明，任何熟習相關技藝者，在不脫 精神和範圍内，當可做些許之更動與潤飾，因 專利保護範圍需視本說明書之申請專利範圍所 ，其中，陣 板上，且連 1極體。第8 程來製造， 機電致發光 因為第8圖 於設計為具 驅動薄膜電 薄膜電晶體籲丨| 至’就算大 晶體具有平 中的電流應 並且，即使 晶體彼此平 。也因為有 提高開口 具有焉解析 然其並非用 離本發明之 此本發明之 界定為準。
第29頁 1240418 圖式簡單說明 第1圖為說明先前技術之主動矩陳 示裝置之剖面圖； 巨陣式有機電致發光顯 第2圖為說明依據先前技術配置 姑恶々舍主 κ有機電致發光顯不 衷置之畫素之等效電路圖； J3圖為先前技術之具有底部發光式的主動矩陣有機 電致發光顯示裝置之平面圖； 第4圖與第5圖分別為說明切換薄膜電晶體與驅動薄膜 電晶體之沿著第3圖之剖面線I V- I V與剖面線v — v之剖面 圖； 第6圖為本發明之主動矩陣有機電致發光顯示裝置之鲁⑩ 平面圖； 第7A圖〜第7E圖為沿著第6圖之剖面線VI丨— Vi I之剖面 圖’並說明根據本發明之實施例所配置之主動矩陣有機電 致發光顯示裝置之製程；及 第8圖為本發明之另一項實施例所配置之雙面板式有 機電致發光顯示裝置之剖面圖。 【圖式符號說明】 10 有 機 電 致發光顯示裳置 12 第 基 板 14 陣 列 部 位 16 第 一 電 極 18 有 機 發 光層 20 第 --- 電 極 22 吸 濕 層
第30頁 1240418 圖式簡單說明 26 密 封 劑 28 第 二 基 板 30 基 板 32 切 換 閘 極 電 極 34 驅 動 閘 極 電 極 36 閘 極 線 38 閘 極 絕 緣 層 48 切 換 源 極 電 極 49 資 料 線 5 0 切 換 汲 極 電 極 52 驅 動 源 極 電 極 54 驅 動 汲 極 電 極 56 切 換 半 導 體 層 5 6a 切 換 活 性 層 56b 切 換 歐 姆 接 觸 層 58 驅 動 半 導 體 層 58a 驅 動 活 性 層 58b 驅 動 歐 姆 接 觸 層 60 第 一 鈍 化 層 62 電 源 線 64 第 -^ 鈍 化 層 66 第 一 電 極 100 基 板 101 閘 極 線 ·· ··
第31頁 1240418 圖式簡單說明 102 切換閘極電極 104 驅動閘極基底 104a 第一驅動閘極電極 104b 第二驅動閘極電極 104c 第三驅動閘極電極 104d 第四驅動閘極電極 106 閘極絕緣層 107 閘極接觸孔 108 切換活性層 110 切換歐姆接觸層 112a 第一驅動活性層 112b 第二驅動活性層 112c 第三驅動活性層 112d 第四驅動活性層 114a 第一驅動歐姆接觸層 114b 第二驅動歐姆接觸層 114c 第三驅動歐姆接觸層 1 14d 第四驅動歐姆接觸層 115 資料線 116 切換源極電極 118 切換汲極電極 120a 第一驅動源極電極 120b 第二驅動源極電極 120c 第三驅動源極電極
1240418 圖式簡單說明 120d 第 四 焉區 動 源 極 電 極 122a 第 焉區 動 汲 極 電 極 122b 第 二 驅 動 汲 極 電 極 122c 第 一 馬區 動 汲 極 電 極 122d 第 四 驅 動 汲 極 電 極 124 第 一 純 化 層 128 電 源 線 128a 第 •辱區 動 電 源 電 極 128b 第 二 驅 動 電 源 電 極 128c 第 三 驅 動 電 源 電 極 130 第 _ _ _ 鈍 化 層 132a 第 一 汲 極 接 觸 孔 132b 第 汲 極 接 觸 孔 134 第 一 電 極 136 有 機 電 致 發 光 層 138 第 二 電 極 200 第 二 基 板 202 第 一 電 極 208 有 機 電 致 發 光 層 2 0 8a 有 機 發 光 層 2 0 8b 第 一 載 子 傳 輸 層 2 0 8c 第 -— 載 子 傳 輸 層 210 第 二 電 極 300 密 封 劑 Φ(
1240418 圖式簡單說明 I V - I V 剖面線 V - V 剖面線 VI I-VII 剖面線 第35頁

Claims (1)

1240418 六、申請專利範圍 1. 一種有機電致發光顯示裝置，包人· 一基板； 一閘極線，位於該基板上· 一資料線，與該閘極線交又於該基板上； . -切換薄膜電晶體，鄰近於該閘極線與該資料線之 交又處； 一驅動薄膜電晶體系統，包含複數個子薄膜電晶體 (sub-TFTs )，該複數個子薄膜電晶體係經由一閘極基底 (g a t e b a s e )以平行連接於該切換薄膜電晶體； 一電源線，與該閘極線交叉於該基板上，並與該複 數個子薄膜電晶體電性連接； 一第一電極，位於該驅動薄膜電晶體系統上，並與 該複數個子薄膜電晶體連接； 一有機電致發光層，位於該第一電極上；及 一透明材料製成之第二電極，位於該有機電致發光 層上。 2 ·如申請專利範圍第1項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中該切換薄膜電晶體係包含一切換閘極電極、一切換源 極電極、一切換汲極電極與/切換活性層，該切換閘極電 極由該閘極線延伸而成，該切換源極電極由該資料線延伸鲁· 而成，該切換汲極電極與該切換源極電極間隔一段距離， . 且該切換活性層位於該切換閘極電極、該切換源極電極與 ' 該汲極電極之間。 3·如申請專利範圍第2項所述之有機電致發光顯示裝置，
1240418 六、申請專利範圍 其中該切換薄膜電晶體之該切換汲極電極係連接至該閛極 基底。 4 ·如申請專利範圍第1項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中该驅動薄膜電晶體系統包含一第一子薄膜電晶體、一 第一子薄膜電晶體、一第 >子薄膜電晶體與一第四子薄膜 電晶體，且該第一子薄膜電晶體具有一第一驅動閘極電 極、一第一驅動源極電極、一第一驅動汲極電極與一第一 活性層，該第二子薄膜電晶體具有一第二驅動閘極電極、 第一驅動源極電極、一第一駆動汲極電極與一第二活性 層，該第三子薄膜電晶體具有一第三驅動閘極電極、一第__ 二驅動源極電極、一第三驅動沒極電極與一第三活性層， 且该第四子薄膜電晶體具有一第四駆動閘極電極、一第四 驅動源極電極、一第四驅動淚極電極與一第四活性層。 5 ·如申請專利範圍第&項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中該第一驅動閘極電極、該第一驅動閘極電極、該第三 驅動閘極電極與該第四驅動閘極電極係與該閘極基底連 接，以電性連接該驅動薄膜電晶體與該切換薄膜電晶體。 6 ·如申請專利範圍第4項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中該第一驅動沒極電極與該第二沒極電極係成形為一單 體。 7 ·如申請專利範圍第6項所述之有機電致發光顯示裴置， /、中"玄第一電極係連接於該第一驅動〉及極電極與該第二驅 動汲極電極成形之單體中間部位。 8 ·如申請專利範圍第4項所述之有機電致發光顯示裝置，
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六、申請專利範圍 其中該第二驅動源極電極與該第三驅動源極電極係成形為 /單體。 9.如申請專利範圍第4項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中該第三驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極係成形為 一單體。 1 0 ·如申請專利範圍第9項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中該第一電極係連接於該第三驅動没極電極與該第四驅 動淡極電極成形之單體中間部位。 1 1 ·如申請專利範圍第4項所述之有機電致發光顯示裝置， 其中該第一驅動汲極電極、該第二驅動汲極電極、該第三__ 驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極彼此分隔一段距離。 1 2 ·如申請專利範圍第8項所述之有機電致發光顯示裝置， 更包含複數個電源電極，該複數個電源電極由位於該第一 驅動源極電極、該第二驅動源極電極、該第三驅動源極電 極與°亥第四驅動源極電極上之該電源線延伸而成，並電性 ，接至該第一驅動源極電極、該第二驅動源極電極、該第 ^驅動源極電極與該第四驅動源極電極。 ^ ·，如申請專利範圍第丨2項所述之有機電致發光顯示裝 其中更包含一第一電源電極連接該第一驅動電 辱區動' 電源電極連接至該第二驅動源極電極與該第三 捲兮3極電極成形之單體中間部位，與一第三電源電極連 =邊弟四驅動源極電極。 發光if-有,機電致發光顯示裝置之製造方法，該有機電致 x '、、不敦置包含複數個晝素，該複數個晝素具有一畫素
第38頁 1240418 六、申請專利範圍 區域、一切換區域與一驅動區域，該製造方法包含下列步 驟： 形成一第一金屬層於一基板上； 圖案化（patterning)該第一金屬層，以形成一閘 極線、一切換閘極電極、一閘極基底與複數個驅動閘極電 極’其中該切換閘極電極位於該切換區域上，該問極基底 位於該畫素區域上，該複數個驅動閘極電極位於該驅動區 域上； ^ 形成一第一絕緣層於該基底上，以覆蓋該閘極線、
該切換閘極電極、該閘極基底與該複數個閘極電極； 形成一切換活性層於位於該切換閘極電極上之該第 、，邑緣層上，並形成複數個驅動活性層於位於該複數個驅 動閘極電極上之該第一絕緣層上； 形成一第二金屬層於該切換活性層與該驅動活性層 圖案化該第二金屬層，而形成一切換源極電極、一 =換汲極電極、複數個驅動源極電極與複數個驅動汲極電 纽，成一切換薄膜電晶體系統舆一驅動薄膜電晶體系 辦，，、中該驅動薄膜電晶體系統包含複數個子薄膜 ^ :複數個子薄膜電晶體各具有一對應的驅動閑極電#| 一對應的驅動活性層、一對應的驅動 應的驅動汲極電極； 电位，、對 電極 形成一第二絕緣層於該切換源極電極、 與該複數個驅動汲極電極上，其中該第 该切換沒極 二絕緣層具
1240418 六、肀請專利範圍 有源，，觸孔而露出部分該複數個驅動源極電極； 閘極線盘兮次^源線於該第二絕緣層上，以該電源線、該 接觸孔以電性+ ^亥電源線經由该源極 ^电庄連接该稷數個驅動源極電極； 線，且^ Ϊ -第三絕緣層於該第二絕緣層上以覆蓋該電源 、' 弟二絕緣層具有一汲極接觸孔以霞ψ呤益敕加隹Γ 動汲極電極； 伐峒礼以路出忒複數個驅 上，^ j 第一電極於該晝素區域内之該第三絕緣層 電極· 電極經由該〉及極接觸孔連接該複數個驅動汲極 形成一有機電致發光層於該第一電極上；及 形成一透明材料製成之第二電極於該有機電致發光 層上 15·，如申請專利範圍第14項所述之有機電致發光顯示襞 在i f中该閘極線係沉積於一第一方向，該切換閘極電極 、"玄閘極線延伸而成，該閘極基底係沉積於一與該第一 方，垂直之第二方向，而該複數個驅動閘極電極係由 極基底延伸而成。 ⑺ ·» 1 6 ·如申請專利範圍第1 4項所述之有機電致發光顯示裝 置、’ ΐ十形成該第一絕緣層之步驟中，係形成一閘極接觸 孔以露出該閘極基底之一端，且該切換汲極電極係經 閘極接觸孔連接該閘極基底。 μ 1 7 ·如申睛專利範圍第1 4項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中形成該切換活性層之步驟，包含形成一切換歐姆
第40頁 1240418
六、申請專利範圍 接觸層於該切換活性層上之步驟，且該切換源極電極與該 切換没極電極係彼此分隔並連接至該切換歐姆接觸層μ 1 8 _如申請專利範圍第丨4項所述之有機電致發光顯示"農 置，其中形成該複數個驅動活性層之步驟，包含一形成複 數個歐姆接觸層於該複數個驅動活性層上之步驟，其中^ 複數個驅動源極電極與該複數個汲極電極係分別連接至$ 個該複數個歐姆接觸層，且每個該複數個驅動汲極電極係 與每個該複數個驅動源極電極彼此分隔。 ” 1 9 ·如申請專利範圍第丨4項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該汲極接觸孔係穿過該第二絕緣層與該第三絕緣鲁 層〇 2 0 ·如申請專利範圍第1 4項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該驅動薄膜電晶體系統包含一第一子薄膜電晶 體、一第二子薄膜電晶體、一第三子薄膜電晶體與一第四 子薄膜電晶體，且該第一子薄膜電晶體具有一第_驅動問 極電極、一第一驅動源極電極、一第一驅動汲極電極與一 第/舌性層’该第二子薄膜電晶體具有一第二驅動閘極電 極、一第二驅動源極電極、/第二驅動汲極電極與一第二 活性層，該第三子薄膜電晶體具有一第三驅動閘極電極、 一第三驅動源極電極、一第三驅動及極電極與_第二、、舌性鲁_ 層’且該第四子薄膜電晶體具有一第四驅動閘極電極、一 第四驅動源極電極、一第四驅動汲極電極與一第四 JSL 丨土 層。 2 1 ·如申請專利範圍第2 0項所述之有機電致發光顯示裝
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該 底 第一二十5亥第一驅動閘極電極、該第二驅動閘極電極、 連二驅動間極電極與該第四驅動閘極電極係與該閘極基 接並以電性連接該驅動薄膜電晶體與該切換薄膜電晶 2 2 置·如申請專利範圍第2 0項所述之有機電致發光顯示裝 其中该第一驅動汲極電極與該第二驅動没極電極係形 成為一單體。 2 3 ·· •如申請專利範圍第2 2項所述之有機電致發光顯示装 一 ’其中該第一電極係連接於該第一驅動汲極電極與該第 —驅動汲極電極形成之單體中間部位。 2 4 ·如申請專利範圍第2 0項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第二驅動源極電極與該第三驅動源極電極係形 成為一單體。 2 S , l •如申睛專利範圍第2 0項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第三驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極係形 成為一單體。 2 6 ·如申請專利範圍第2 5項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第一電極係連接該第二驅動沒極電極與該第四 驅動汲極電極形成之單體中間部位。 2 7 ·如申請專利範圍第2 〇項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該第一驅動汲極電極、該第二驅動汲極電極、該 第三驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極彼此分隔一段距 離。 2 8 ·如申請專利範圍第2 4項所述之有機電致發光顯示裝
第42頁 1240418 六、申請專利範圍 ——_ ^ ’其令形成該電源線之步驟，包含一形成複數個 極之步驟，該複數個電源電極由位於該第一驅動源極 極 4第一驅動源極電極、該第二驅動源極電極與談 ，動源極電極上之該電源線延伸而成，並電性連接^該^ 一驅動源極電極、該第二驅動源極電極、該第三驅動= 電極與该第四驅動源極電極。 、° 29·如申請專利範圍第28項所述之有機電致發光顯示袭 置，其^更包含一第一電源電極連接該第一驅動源極電 極，一第二電源電極連接至該第二驅動源極電極與該第二 驅動源極電極形成之單體中間部位，一第三電源電^連=L 该苐四驅動源極電極。 Ρ 3 0 · —種有機電致發光顯示裝置，包含·· 一第一基板； 一閘極線，位於該第一基板上； 一資料線，與該閘極線交又於該第一基板上； —切換薄膜電晶體，鄰近於該閘極線與該資料 之交又處； 、 一驅動薄膜電晶體系統，包含複數個子薄膜電曰 體’該複數個子薄膜電晶體係經由一閘極基底以平行連曰曰接 於該切換薄膜電晶體； __ 一電源線，與該閘極線交又於該第一基板上，並 與該數個子薄膜電晶體電性連接； 一有機電致發光二極體，位於一第二基板上；及 一連接圖案，位於該第〜基板與該第二基板間，
第43頁 1240418 六、申請專利範圍 该連接圖案以電性連接該驅動薄膜電晶體系統與該有機電 致發光二極體。 3 1 ·如申請專利範圍第3 0項所述之有機電致發光顯示裝 置’其t該有機電致發光二極體係包含一透明材料製成之 第一電極、一電致發光層與一第二電極，且該第一電極位 於該第二電極上，該電致發光層位於該第一電極上，該第 二電極位於該有機電致發光層上。 32·如申請專利範圍第31項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該有機電致發光層包含一第一載子傳輸層、一有 機發光層與一第二載子傳輸層。 φ⑩ 3 3 ·如申請專利範圍第3 〇項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該切換薄膜電晶體包含一切換閘極電極、一切換 源極電極、一切換汲極電極與一切換活性層，該切換閘極 電極由該閘極線延伸而成，該切換源極電極由該資料線延 伸而成，該切換汲極電極與該切換源極電極間隔一段距 離’該切換活性層位於該切換閘極電極、該切換源極電極 與該沒極電極之間。 3 4.如申請專利範圍第3 3項所述之有機電致發光顯示裳 置，其中該切換薄膜電晶體之該切換没極電極係連接至該 閘極基底。 鲁鲁 3 5.如申請專利範圍第3 〇項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該驅動薄膜電晶體系統包含一第一子薄膜電晶 體、一第二子薄膜電晶體、/第三子薄膜電晶體與一第四 子薄膜電晶體，且該第一子薄膜電晶體具有一第一驅動閑
ϊ24〇4ΐ8 申 ^ ~- 極電核 第〜、、、一第一驅動源極電椏、一第一驅動汲極電極與一 極、2性層，該第二子薄膜電晶體具有一第二驅動閘極電 活性 卓一驅動源極電極、/第一驅動汲極電極與一第二 —第層’該第三子薄膜電晶體具有一第三驅動閘極電極、 層 二驅動源極電極、一第三驅動汲極電極與一第三活性 第 且該第四子薄膜電晶體具有一第四驅動閘極電極、一 層四驅動源極電極、一第四驅動汲極電極與一第四活性 3 6 ·· 置·如申請專利範圍第35項所述之有機電致發光顯示裝 一 中该第一 動閘極電極、该第一驅動閘極電極、該 ^ —驅動閘極電極與該第四驅動閘極電極係與該閘極基底 、接並以電性連接該驅動薄膜電晶體與該切換薄膜電晶 〇 rj •如申請專利範圍第3 5項所述之有機電致發光顯示裝 置 其中該第一驅動；:及極電極與該第二没極電極係成形為 一單體。 3 8 ·如申請專利範圍第3 7項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第一電極係連接於該第一驅動沒極電極、第二 驅動汲極電極形成之單體中間部位。 39·如申請專利範圍第35項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第二驅動源極電極與第三驅動源極電極係成形 為一單體。 4〇 ·如申請專利範圍第35項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該第三驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極係成
第45頁 1240418 六、申請專利範圍 形為一單體。 4 1 ·如申請專利範圍第4 〇項所述之有機電致發光顯示裝 置’其t7該第一電極係連接於該第三驅動沒極電極、該第 四驅動没極電極形成之單體中間部位。 4 2 ·如申請專利範圍第3 5項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第一驅動汲極電極、該第二驅動汲極電極、該 第三驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極彼此分隔一段距 離0 4 3 ·如申請專利範圍第3 9項所述之有機電致發光顯示裝 置’更包含複數個電源電極，該複數個電源電極由位於該鲁· 第一驅動源極電極、該第二驅動源極電極、該第三驅動源 極電極與该弟四驅動源極電極上之該電源線延伸而成，並 電性連接至該第一驅動源極電極、該第二驅動源極電極、 該第三驅動源極電極與該第四驅動源極電極。 44.如申請專利範圍第43項所述之有機電致發光顯示震 置，其中更包含一第一電源電極連接該第一驅動源極電 極，一第二電源電極連接至該第二驅動源極電極與該第三 驅動源極電極形成之單體中間部位，與一第三電源電極連 接該第四驅動源極電極。 ··. 45 · —種有機電致發光顯示裝置之製造方法，該有機電致 發光顯示裝置包含複數個畫素，該複數個畫素具有一晝素 區域、一開關區域與一驅動區域，該製造方法包含下列步 驟： 形成一第一金屬層於一第一基板上；
第46頁 1240418 六、申請專利範圍 ,、 圖案化該第一金屬層以形成一閘極線、一切換閘 極電極、一閘極基底與複數個驅動閘極電極，其中，該切 換閘極電極位於忒切換區域上，該閘極基底位於該晝素區 域上’複數個驅動閘極電極位於該驅動區域上； 、⑽ ^形成一第一絕緣層於該第一基底上以覆蓋該閑極 線、、该切換閘極電極、該閘極基底與該複數個閘極電極； 幵乂成切換/舌性層於位於該切換閘極電極上之該第一絕緣 層上，並形成複數個驅動活性層於位於該複數個驅閘極 電極上之該第一絕緣層上； 形成一第二金屬層於該切換活性層與該驅動活 J 層上； 零 、圖案化該第二金屬層以形成一切換源極電極、一 切換汲極電極、複數個驅動源極電極與複數個驅動汲極電 極，而形成一切換薄膜電晶體系統與一驅動薄膜電晶體系 統，其中該驅動薄膜電晶體系統包含複數個子薄膜=曰’、 體丨=複數個子薄膜電晶體各具有一對應的驅動閘極^ 2、一對應的驅動活性層、一對應的驅動源極電極盥一 應的驅動汲極電極； /、 可 形成一第二絕緣層於該切換源極電極、該汲極雷 二、、、與該複數個驅動汲極電極上，其中該第二絕緣層具 源極接觸孔以露出部分該複數個驅動源極電極； 爷形成一電源線於該第二絕緣層上，以該電源線、 源：接線劃定該畫素區域，該電源線並經由該 位接觸孔以電性連接至該複數個驅動源極電極；
第47頁 1240418 六、申請專利範圍 線 …布一、、…、个π々'你不一把緣層以覆蓋該電源 =弟二絕緣層具有一汲極接觸孔以露出該複數個驅動 >及極電極； 之該第三絕緣層 而連接至該複數個 形成一連接圖案於該畫素區域内 上’而該連接圖案係經由該汲極接觸孔 驅動汲極電極；及 形成一有機電致發光層於一第二基板上，該連接 圖案以電性連接該驅動薄膜電晶體系統與該有機 二極體。 4 6 ·如申請專利範圍第4 5項所述之有機電致發光顯示裴 _ · 置’其中形成該有機電致發光二極體之步驟，包含形成一 第一電極於該第二基板上、形成一有機電致發光層於該第 一基板上與形成一第二電極於該晝素區域内之該有機電致 發光層上之步驟。 47·如申請專利範圍第46項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該有機電致發光層包含一第一載子傳輸層、一有 機發光層與一第二載子傳輸層。 ·· 4 8 ·如申請專利範圍第4 5項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該閘極線係沉積於一第一方向，該切換閘極電極 係由该閘極線延伸而成，該閘極基底係沉積於一與該第一 方向垂直之第二方向，而該複數個驅動閘極電極係由該閘 極基底延伸而成。 49·如申請專利範圍第45項所述之有機電致發光顯示裝 置 其中形成該第一絕緣層之步驟中，係形成一閘極接觸 1240418 申請專利範圍 孔以路出該閘極基底之一端，且該切換汲極電極係經由該 閑極接觸孔連接至該閘極基底。 50·如申請專利範圍第45項所述之有機電致發光顯示裝 置’其令形成該切換活性層之步驟，包含一形成一切換歐 姆接觸層於該切換活性層上之步驟，且該切換源極電極與 4切換沒極電極係彼此分隔並連接至該切換歐姆接觸層。 5 1 ·如申請專利範圍第4 5項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中形成該複數個驅動活性層之步驟，包含一形成複 數個歐姆接觸層於該複數個驅動活性層上之步驟，該複數 巧驅動源極電極與該複數個汲極電極連接至每個該複數個·· 歐姆接觸層，且每個該複數個驅動汲極電極係與每個該複 數個驅動源極電極彼此分隔。 52·如申請專利範圍第45項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該汲極接觸孔係穿過該第二絕緣層與該第三絕緣 層。 5 3.如申凊專利範圍第4 6項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該驅動薄膜電晶體系統包含一第一子薄膜電晶 體:一第二子薄膜電晶體、一第三子薄膜電晶體與一第四 子薄膜電晶體，且該第一子薄膜電晶體具有一第一驅動閘 °電極 第一驅動源極電極、一第-驅動;:及極電極與-障 第活丨生層，该第二子薄膜電晶體具有一第二驅動閘極電 極、一第二驅動源極電極、一第二驅動汲極電極與一第二· f性層，該第三子薄膜電晶體具有一第三驅動閘極電極、 一第三驅動源極電極、一第三驅動汲極電極與一第三活性
1240418
六、申請專利範圍 f ’且該第四子薄膜電晶體具有一第四驅動閘極電極、 第四驅動源極電極、一第四驅動汲極電極與一第四活性 層0 5 4 ·如申請專利範圍第5 3項所述之有機電致發光顯示裝 其中該第一驅動閘極電極、該第二驅動閘極電極、該 第三驅動閘極電極與該第四驅動閘極電極係與該閘極基底 連接並以電性連接該驅動薄膜電晶體與該切換薄膜電晶 體。 5 5 ·如申請專利範圍第5 3項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第一驅動汲極電極與該第二驅動汲極電極係成__ 形為一單體。 5 6 ·如申請專利範圍第5 5項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中該第一電極係連接該第一驅動汲極電極、第二驅 動汲極電極形成之單體中間部位。 5 7 ·如申請專利範圍第5 3項所述之有機電致發光顯示裝 置’其中该第一驅動源極電極與该第三驅動源極電極係成 形為一單體。 ··· 5 8 ·如申請專利範圍第5 3項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該第三驅動汲極電極與該第四驅動汲極電極係成 形為一單體。 5 9 ·如申請專利範圍第5 8項所述之有機電致發光顯示裝 置，其中該第一電極係連接該第三驅動汲極電極、該第四 驅動沒極電極成形之單體中間部位。 6 0 ·如申請專利範圍第5 3項所述之有機電致發光顯示裝
第50頁 1240418 六、申請專利範圍 ^二其中該第一驅動汲極電極、該第二驅動汲極電極、該 第二驅動汲極電極與該第四麟動汲極電極彼此分隔一段距 離。 •I 61 ·如申晴專利範圍第5 γ項所述之有機電致無光顯示裝 置，其中形成該電源線之少驊，包含一形成複數個電源電 極之步驟，該複數個電源電極由位於該弟一驅動源極電 極、該第二驅動源極電極、該第三驅動源極電極與該第四 驅動源極電極上之該電源線延伸而成，並電性連接至該第 一驅動源極電極、該第二驅動源極電極、該第三驅動源極 電極與該第四驅動源極電極。 置 極 驅動源極 62•如申請專利範圍第61項所述之有機電致發光 置，其中更包含一第一電源電極連接該第一 、 ，一第二電源電極連接至该第-觝說 ’、源極電 κ 要至Α弟一騙動源極電極盥該第二 極電極成形之單體中間部位，一 一 λ弟一 續第四驅動源極電極 動源極電極。 弟二電源電極連接 第51頁 ··
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