JPH0981053A - 電界発光素子及びその駆動方法 - Google Patents
電界発光素子及びその駆動方法Info
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- JPH0981053A JPH0981053A JP7254504A JP25450495A JPH0981053A JP H0981053 A JPH0981053 A JP H0981053A JP 7254504 A JP7254504 A JP 7254504A JP 25450495 A JP25450495 A JP 25450495A JP H0981053 A JPH0981053 A JP H0981053A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
Abstract
(57)【要約】
【課題】 コントラストの良好な電界発光素子を提供す
る。 【解決手段】 画素部26がデータ信号線Yjと選択信
号線Xiとの交差部に配置され、選択信号線Xiの電圧に
応じてオンとなる第1薄膜トランジスタQ1とこの第1
薄膜トランジスタQ1のオンに応じて第1薄膜トランジ
スタQ1から供給させるデータ信号電圧を保持する第2
薄膜トランジスタQ2とを備え、第2薄膜トランジスタ
Q2のゲート電極20Cに印加される電圧が容量21で
保持されるようになっている。このため、選択信号線X
iが次に選択されるまで画素部26の発光を持続させる
ことができ、コントラストを飛躍的に向上させることが
可能となる。
る。 【解決手段】 画素部26がデータ信号線Yjと選択信
号線Xiとの交差部に配置され、選択信号線Xiの電圧に
応じてオンとなる第1薄膜トランジスタQ1とこの第1
薄膜トランジスタQ1のオンに応じて第1薄膜トランジ
スタQ1から供給させるデータ信号電圧を保持する第2
薄膜トランジスタQ2とを備え、第2薄膜トランジスタ
Q2のゲート電極20Cに印加される電圧が容量21で
保持されるようになっている。このため、選択信号線X
iが次に選択されるまで画素部26の発光を持続させる
ことができ、コントラストを飛躍的に向上させることが
可能となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、電界発光素子に
関し、さらに詳しくは、薄膜ELディスプレイなどのフ
ラットディスプレイの製造分野で利用することができ
る。
関し、さらに詳しくは、薄膜ELディスプレイなどのフ
ラットディスプレイの製造分野で利用することができ
る。
【0002】
【従来の技術】一般に、電流駆動型の発光素子として
は、白熱電球やLEDなどがあり、現在では商品として
街頭掲示板や列車の行き先案内表示板などにこれらの素
子を利用した2次元ディスプレイを見ることができる。
最近では研究レベルで注目され始めた有機EL発光素子
などが知られている。これらの素子は、発光層に電流を
流して発光するようになっている。
は、白熱電球やLEDなどがあり、現在では商品として
街頭掲示板や列車の行き先案内表示板などにこれらの素
子を利用した2次元ディスプレイを見ることができる。
最近では研究レベルで注目され始めた有機EL発光素子
などが知られている。これらの素子は、発光層に電流を
流して発光するようになっている。
【0003】図13は、このような有機発光層を備えた
発光素子の平面構造を表している。また、図14(A)
は図13のA−A断面図であり、図14(B)は図13
のB−B断面図である。以下、図13および図14を用
いて、この発光素子の構成を説明する。
発光素子の平面構造を表している。また、図14(A)
は図13のA−A断面図であり、図14(B)は図13
のB−B断面図である。以下、図13および図14を用
いて、この発光素子の構成を説明する。
【0004】すなわち、この素子は、それ自身スイッチ
ング能力のない素子であるため、2次元ディスプレイを
実現するために、図に示すように単純マトリクス構造が
採用されている。この発光素子は、図14(A)および
(B)に示すように、ガラス基板1上に、所定の幅寸法
をもつ複数のデータ配線2〜2が、平行に形成されてい
る。また、これらのデータ配線2どうしの間には透明材
料層3が形成されている。そして、データ配線2および
透明材料層3の上には、発光層4が表示領域全面にわた
って形成されている。さらに、この発光層4の上には、
データ配線2と直角をなす方向に向けて複数の選択配線
5〜5が、所定間隔を介して互いに平行に配置されてい
る。また、選択配線5どうしの間にはブラックマスク6
が形成されている。なお、データ配線2は遮光性のメタ
ル膜でなり、選択配線5は光透過性のITO膜で形成さ
れている。このような構成にしたことにより、データ配
線2と選択配線5との間に駆動電圧が印加された場合に
両配線2、5で挟まれた領域の発光層4が発光するよう
になっている。
ング能力のない素子であるため、2次元ディスプレイを
実現するために、図に示すように単純マトリクス構造が
採用されている。この発光素子は、図14(A)および
(B)に示すように、ガラス基板1上に、所定の幅寸法
をもつ複数のデータ配線2〜2が、平行に形成されてい
る。また、これらのデータ配線2どうしの間には透明材
料層3が形成されている。そして、データ配線2および
透明材料層3の上には、発光層4が表示領域全面にわた
って形成されている。さらに、この発光層4の上には、
データ配線2と直角をなす方向に向けて複数の選択配線
5〜5が、所定間隔を介して互いに平行に配置されてい
る。また、選択配線5どうしの間にはブラックマスク6
が形成されている。なお、データ配線2は遮光性のメタ
ル膜でなり、選択配線5は光透過性のITO膜で形成さ
れている。このような構成にしたことにより、データ配
線2と選択配線5との間に駆動電圧が印加された場合に
両配線2、5で挟まれた領域の発光層4が発光するよう
になっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の発光素子にあっては、図15の回路図に示す
ように、全走査線本数(選択配線)をn本とすると1走
査線あたり1/n程度だけの時間しか発光層に電流を流
すことができない。図16は選択配線X1〜Xnに順次選
択信号を出力している状態を示すタイミングチャートで
ある。このように、走査線本数が増大するに従い、1走
査線あたりに選択信号が出力される時間が短くなるた
め、1画面分の時間発光することが困難となり、発光素
子として表示コントラストが低下するという問題があっ
た。したがって、走査線本数が多いときには、画面を上
下に走査線を分割する方法などを採用して、1走査線あ
たりの選択時間を稼ぐことでコントラスの低下を抑えて
いる。しかし、このような方法では、事前に表示すべき
データを蓄えておくなどの工夫が必要となり、駆動回路
が複雑になってしまうという問題があり、さらに表示画
素数が多くなればそれに比例して回路も大規模となると
いう不都合があった。
うな従来の発光素子にあっては、図15の回路図に示す
ように、全走査線本数(選択配線)をn本とすると1走
査線あたり1/n程度だけの時間しか発光層に電流を流
すことができない。図16は選択配線X1〜Xnに順次選
択信号を出力している状態を示すタイミングチャートで
ある。このように、走査線本数が増大するに従い、1走
査線あたりに選択信号が出力される時間が短くなるた
め、1画面分の時間発光することが困難となり、発光素
子として表示コントラストが低下するという問題があっ
た。したがって、走査線本数が多いときには、画面を上
下に走査線を分割する方法などを採用して、1走査線あ
たりの選択時間を稼ぐことでコントラスの低下を抑えて
いる。しかし、このような方法では、事前に表示すべき
データを蓄えておくなどの工夫が必要となり、駆動回路
が複雑になってしまうという問題があり、さらに表示画
素数が多くなればそれに比例して回路も大規模となると
いう不都合があった。
【0006】この発明の課題は、選択信号線(走査線)
の選択時から次の選択時まで発光を持続させることので
きる、コントラストの良好な電界発光素子を得るにはど
のような手段を講じればよいかという点にある。
の選択時から次の選択時まで発光を持続させることので
きる、コントラストの良好な電界発光素子を得るにはど
のような手段を講じればよいかという点にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、対をなす電極間に発光層が介在されてなる複数の画
素部がマトリクス状に配置され、前記電極間に駆動電流
を供給することにより、前記画素部の前記発光層を発光
させる電界発光素子において、前記画素部の行方向に沿
ってデータ信号電圧を供給するデータ信号線群と、前記
画素部の列方向に沿って選択信号線群との交差部に対応
して設けられた前記画素部ごとに前記データ信号電圧を
保持する電圧保持手段を備えることを特徴としている。
は、対をなす電極間に発光層が介在されてなる複数の画
素部がマトリクス状に配置され、前記電極間に駆動電流
を供給することにより、前記画素部の前記発光層を発光
させる電界発光素子において、前記画素部の行方向に沿
ってデータ信号電圧を供給するデータ信号線群と、前記
画素部の列方向に沿って選択信号線群との交差部に対応
して設けられた前記画素部ごとに前記データ信号電圧を
保持する電圧保持手段を備えることを特徴としている。
【0008】請求項1記載の発明においては、各画素部
ごとに電圧保持手段を備えているため、画素部が選択さ
れた後再度選択されるまでの間、画素部を発光させてお
くことが可能となる。このため、電界発光素子のコント
ラストを良好にすることが可能となる。
ごとに電圧保持手段を備えているため、画素部が選択さ
れた後再度選択されるまでの間、画素部を発光させてお
くことが可能となる。このため、電界発光素子のコント
ラストを良好にすることが可能となる。
【0009】また、データ信号線にデータ信号電圧が印
加された状態において所定の選択信号線が選択されて選
択信号電圧が印加された場合に、再度その選択信号線が
選択されるまでの間、所定の画素部を発光させておくこ
とが可能となる。
加された状態において所定の選択信号線が選択されて選
択信号電圧が印加された場合に、再度その選択信号線が
選択されるまでの間、所定の画素部を発光させておくこ
とが可能となる。
【0010】請求項2記載の発明は、前記電圧保持手段
が、前記選択信号線に印加される選択信号電圧に応じて
オンとなる第1のスイッチング素子と、当該第1のスイ
ッチング素子のオンに応じて該第1のスイッチング素子
から供給される前記データ信号電圧を保持するとともに
前記発光層に駆動電流を供給する第2のスイッチング素
子とからなることを特徴としている。
が、前記選択信号線に印加される選択信号電圧に応じて
オンとなる第1のスイッチング素子と、当該第1のスイ
ッチング素子のオンに応じて該第1のスイッチング素子
から供給される前記データ信号電圧を保持するとともに
前記発光層に駆動電流を供給する第2のスイッチング素
子とからなることを特徴としている。
【0011】請求項2記載の発明においては、第1のス
イッチング素子が選択信号線に印加される選択信号電圧
に応じてオンとなる。また、第2のスイッチング素子
は、この第1のスイッチング素子のオンに応じて第1の
スイッチング素子から供給されるデータ信号電圧を保持
する作用を有する。
イッチング素子が選択信号線に印加される選択信号電圧
に応じてオンとなる。また、第2のスイッチング素子
は、この第1のスイッチング素子のオンに応じて第1の
スイッチング素子から供給されるデータ信号電圧を保持
する作用を有する。
【0012】請求項3記載の発明では、前記第1のスイ
ッチング素子は、前記データ信号線にドレイン電極が接
続され、前記選択信号線にゲート電極が接続された第1
の薄膜トランシジスタでなり、前記第2のスイッチング
素子は、前記データ信号電圧を保持する容量と、当該容
量及び前記第1の薄膜トランシジスタのソース電極に接
続されたゲート電極を有し、前記発光層に駆動電流を供
給する第2の薄膜トランシジスタと、からなることを特
徴とする。
ッチング素子は、前記データ信号線にドレイン電極が接
続され、前記選択信号線にゲート電極が接続された第1
の薄膜トランシジスタでなり、前記第2のスイッチング
素子は、前記データ信号電圧を保持する容量と、当該容
量及び前記第1の薄膜トランシジスタのソース電極に接
続されたゲート電極を有し、前記発光層に駆動電流を供
給する第2の薄膜トランシジスタと、からなることを特
徴とする。
【0013】請求項3記載の発明においては、第1の薄
膜トランジスタが、選択信号線から選択信号電圧が印加
されてオンの状態となる。また、第2のスイッチング素
子にはデータ信号電圧を保持する容量が備えられている
ため、第1の薄膜トランジスタのオン状態に応じて第1
の薄膜トランジスタ側から供給されるデータ信号電圧を
保持する作用を有する。このため、発光層は第2の薄膜
トランジスタから駆動電流が、次の選択時までの間、発
光を維持することが可能となり、コントラストを良好に
することができる。
膜トランジスタが、選択信号線から選択信号電圧が印加
されてオンの状態となる。また、第2のスイッチング素
子にはデータ信号電圧を保持する容量が備えられている
ため、第1の薄膜トランジスタのオン状態に応じて第1
の薄膜トランジスタ側から供給されるデータ信号電圧を
保持する作用を有する。このため、発光層は第2の薄膜
トランジスタから駆動電流が、次の選択時までの間、発
光を維持することが可能となり、コントラストを良好に
することができる。
【0014】請求項4記載の発明は、前記発光層が、電
子輸送層と正孔輸送層とを備える有機薄膜でなることを
特徴としている。
子輸送層と正孔輸送層とを備える有機薄膜でなることを
特徴としている。
【0015】請求項4記載の発明においては、発光層
が、電子輸送層と正孔輸送層とを備える有機薄膜でなる
ため、発光効率がよく、製造の容易な発光素子を実現す
ることが可能となる。
が、電子輸送層と正孔輸送層とを備える有機薄膜でなる
ため、発光効率がよく、製造の容易な発光素子を実現す
ることが可能となる。
【0016】請求項5記載の発明では、一対の電極間に
介在され、有機化合物からなり電界に応じて発光する発
光層を有する画素部と、前記画素部の行方向に沿ってデ
ータ信号電圧を供給するデータ信号線と、前記画素部の
列方向に沿ってデータ信号電圧を供給する選択信号線
と、前記データ信号線にドレイン電極が接続され、前記
選択信号線にゲート電極が接続された第1の薄膜トラン
シジスタと、前記第1の薄膜トランシジスタから供給さ
れた前記データ信号電圧を保持する容量と、前記容量及
び前記第1の薄膜トランシジスタのソース電極に接続さ
れたゲート電極を有し、前記発光層に駆動電流を供給す
る第2の薄膜トランシジスタと、を具備し、前記第2の
薄膜トランシジスタのドレイン電極に電源電圧を印加
し、前記第1の薄膜トランシジスタから供給された前記
データ信号電圧に応じて前記電源電圧を制御し前記第2
の薄膜トランシジスタから前記駆動電流を前記発光層に
供給することを特徴とする。
介在され、有機化合物からなり電界に応じて発光する発
光層を有する画素部と、前記画素部の行方向に沿ってデ
ータ信号電圧を供給するデータ信号線と、前記画素部の
列方向に沿ってデータ信号電圧を供給する選択信号線
と、前記データ信号線にドレイン電極が接続され、前記
選択信号線にゲート電極が接続された第1の薄膜トラン
シジスタと、前記第1の薄膜トランシジスタから供給さ
れた前記データ信号電圧を保持する容量と、前記容量及
び前記第1の薄膜トランシジスタのソース電極に接続さ
れたゲート電極を有し、前記発光層に駆動電流を供給す
る第2の薄膜トランシジスタと、を具備し、前記第2の
薄膜トランシジスタのドレイン電極に電源電圧を印加
し、前記第1の薄膜トランシジスタから供給された前記
データ信号電圧に応じて前記電源電圧を制御し前記第2
の薄膜トランシジスタから前記駆動電流を前記発光層に
供給することを特徴とする。
【0017】請求項5記載の発明においては、容量がデ
ータ信号電圧を保持しているので第2の薄膜トランジス
タをオンし続けることができる。したがって、印加され
る電流により発光の保持時間が短い有機化合物からなる
発光層に電源電圧を所定時間印加することができ、選択
信号線が多くても画素部が表示を保持し続けることがで
きる。
ータ信号電圧を保持しているので第2の薄膜トランジス
タをオンし続けることができる。したがって、印加され
る電流により発光の保持時間が短い有機化合物からなる
発光層に電源電圧を所定時間印加することができ、選択
信号線が多くても画素部が表示を保持し続けることがで
きる。
【0018】請求項6記載の発明では、前記電源電圧は
一定値の電圧であり、前記駆動電流は前記データ信号電
圧の制御に応じて階調されることを特徴とする。
一定値の電圧であり、前記駆動電流は前記データ信号電
圧の制御に応じて階調されることを特徴とする。
【0019】請求項6記載の発明においては、電源電圧
を一定として、ゲート電極のデータ信号電圧を制御して
第2の薄膜トランジスタに流れる駆動電流を制御するの
で良好な多階調表示を行なうことができる。
を一定として、ゲート電極のデータ信号電圧を制御して
第2の薄膜トランジスタに流れる駆動電流を制御するの
で良好な多階調表示を行なうことができる。
【0020】請求項7記載の発明では、前記データ信号
電圧は前記第2の薄膜トランジスタをオン・オフさせる
2値の電圧のいずれかであり、前記駆動電流は前記電源
電圧の制御に応じて階調されることを特徴とする。
電圧は前記第2の薄膜トランジスタをオン・オフさせる
2値の電圧のいずれかであり、前記駆動電流は前記電源
電圧の制御に応じて階調されることを特徴とする。
【0021】請求項7記載の発明においては、第2の薄
膜トランジスタをオン・オフさせることにより薄膜トラ
ンジスタを選択できるので、複数の第2の薄膜トランジ
スタに電源電圧を印加するラインを共用化して接続する
ことができる。
膜トランジスタをオン・オフさせることにより薄膜トラ
ンジスタを選択できるので、複数の第2の薄膜トランジ
スタに電源電圧を印加するラインを共用化して接続する
ことができる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、この発明に係る電界発光素
子の詳細を図面に示す2つの実施形態に基づいて説明す
る。 (実施形態1)この実施形態は、有機発光層を備えた、
微細構造の画素部を透明な基板上に複数配置してなるフ
ラットディスプレイに本発明を適用した例である。図1
は本実施形態の1画素部を示す平面図であり、図2は図
1のA−A断面図、図3は図1のB−B断面図である。
また、図4は等価回路図、図5は本実施形態における選
択信号線に出力される選択信号と電圧保持手段の電圧値
を示すタイミングチャートである。また、図6〜図9
は、本実施形態に係る電界発光素子の製造方法を示す工
程断面図、図8は本実施形態の要部断面図である。
子の詳細を図面に示す2つの実施形態に基づいて説明す
る。 (実施形態1)この実施形態は、有機発光層を備えた、
微細構造の画素部を透明な基板上に複数配置してなるフ
ラットディスプレイに本発明を適用した例である。図1
は本実施形態の1画素部を示す平面図であり、図2は図
1のA−A断面図、図3は図1のB−B断面図である。
また、図4は等価回路図、図5は本実施形態における選
択信号線に出力される選択信号と電圧保持手段の電圧値
を示すタイミングチャートである。また、図6〜図9
は、本実施形態に係る電界発光素子の製造方法を示す工
程断面図、図8は本実施形態の要部断面図である。
【0023】本実施形態の電界発光素子では、図2およ
び図3に示すように、ガラス基板11上にITOでなる
接地電極12が全面に形成されている。この接地電極1
2上の全面には、例えばSiO2でなる下地絶縁膜13
が形成されている。そして、この下地絶縁膜13の上に
は、複数の選択信号線X1〜Xnが互いに所定間隔を隔て
て平行に形成されている。また、それぞれの選択信号線
Xの側方には、選択信号線Xに沿って、ITOでなる複
数の下部電極14Aが所定の間隔で配置されている。な
お、この下部電極14Aは、後述する有機発光層のアノ
ード電極としての機能をもつものであり、また、上記し
た接地電極12にコンタクト部14Bを介して接続され
ている。そして、下部電極14Aを除く部分の基板上に
は、例えばSiO2でなる第1ゲート絶縁膜15が形成
されている。さらに、第1ゲート絶縁膜15の上には、
図1および図2に示すように、例えばアモルファスシリ
コンでなる、第1半導体層16と第2半導体層17とが
パターン形成されている。ここで、第1半導体層16
は、上記した選択信号線X(図ではXi)を跨ぐように
配置され、この選択信号線Xがゲート電極としての機能
をはたすようになっている。また、第2半導体層17
は、第1半導体層16より下部電極14Aに近い位置に
配置されている。
び図3に示すように、ガラス基板11上にITOでなる
接地電極12が全面に形成されている。この接地電極1
2上の全面には、例えばSiO2でなる下地絶縁膜13
が形成されている。そして、この下地絶縁膜13の上に
は、複数の選択信号線X1〜Xnが互いに所定間隔を隔て
て平行に形成されている。また、それぞれの選択信号線
Xの側方には、選択信号線Xに沿って、ITOでなる複
数の下部電極14Aが所定の間隔で配置されている。な
お、この下部電極14Aは、後述する有機発光層のアノ
ード電極としての機能をもつものであり、また、上記し
た接地電極12にコンタクト部14Bを介して接続され
ている。そして、下部電極14Aを除く部分の基板上に
は、例えばSiO2でなる第1ゲート絶縁膜15が形成
されている。さらに、第1ゲート絶縁膜15の上には、
図1および図2に示すように、例えばアモルファスシリ
コンでなる、第1半導体層16と第2半導体層17とが
パターン形成されている。ここで、第1半導体層16
は、上記した選択信号線X(図ではXi)を跨ぐように
配置され、この選択信号線Xがゲート電極としての機能
をはたすようになっている。また、第2半導体層17
は、第1半導体層16より下部電極14Aに近い位置に
配置されている。
【0024】さらに、第1半導体層16の上には、ゲー
ト長方向の中央をゲート幅方向にわたってブロッキング
層18がパターン形成されている。そして、第2半導体
層17の上面および側壁を覆うように、第2ゲート絶縁
膜19が形成されている。なお、ブロッキング層18お
よび第2ゲート絶縁膜19は、CVD法にて成膜され
た、例えば窒化シリコンで形成されている。そして、第
1半導体層16のゲート幅方向の両側にソース電極20
B及びドレイン電極20Aが接続するように形成されて
いる。このように、上記した選択信号線Xと、第1ゲー
ト絶縁膜15と、第1半導体層16と、ソース・ドレイ
ン電極20A、20Bとで、第1のスイッチング素子と
しての第1薄膜トランジスタQ1が構成されている。ま
た、この第1薄膜トランジスタQ1の入力インピーダン
スは、大きく設定されている。なお、図1に示すよう
に、ドレイン電極20Aはデータ信号線Y(Yj)と一
体的にパターン形成されている。また、ソース電極20
Bは、第2半導体層17の中央上方を第2ゲート絶縁膜
19を介して、横切るゲート電極20Cと一体的にパタ
ーン形成されている。加えて、このソース電極20B
は、電圧保持手段を構成する容量21の容量上部電極2
0Dとも一体的にパターン形成されている。ところで、
容量21は、上記した容量上部電極20Dと、この容量
上部電極20Dの下に形成された第2ゲート絶縁膜19
と、第1ゲート絶縁膜15と、ITOでなる容量下部電
極14Cと、から構成されている。なお、この容量下部
電極14Cは、それぞれ接地電極12と接続されてい
る。
ト長方向の中央をゲート幅方向にわたってブロッキング
層18がパターン形成されている。そして、第2半導体
層17の上面および側壁を覆うように、第2ゲート絶縁
膜19が形成されている。なお、ブロッキング層18お
よび第2ゲート絶縁膜19は、CVD法にて成膜され
た、例えば窒化シリコンで形成されている。そして、第
1半導体層16のゲート幅方向の両側にソース電極20
B及びドレイン電極20Aが接続するように形成されて
いる。このように、上記した選択信号線Xと、第1ゲー
ト絶縁膜15と、第1半導体層16と、ソース・ドレイ
ン電極20A、20Bとで、第1のスイッチング素子と
しての第1薄膜トランジスタQ1が構成されている。ま
た、この第1薄膜トランジスタQ1の入力インピーダン
スは、大きく設定されている。なお、図1に示すよう
に、ドレイン電極20Aはデータ信号線Y(Yj)と一
体的にパターン形成されている。また、ソース電極20
Bは、第2半導体層17の中央上方を第2ゲート絶縁膜
19を介して、横切るゲート電極20Cと一体的にパタ
ーン形成されている。加えて、このソース電極20B
は、電圧保持手段を構成する容量21の容量上部電極2
0Dとも一体的にパターン形成されている。ところで、
容量21は、上記した容量上部電極20Dと、この容量
上部電極20Dの下に形成された第2ゲート絶縁膜19
と、第1ゲート絶縁膜15と、ITOでなる容量下部電
極14Cと、から構成されている。なお、この容量下部
電極14Cは、それぞれ接地電極12と接続されてい
る。
【0025】また、第2半導体層17のゲート電極20
Cの両側方には、第2半導体層17に接続されたソース
電極22B及びドレイン電極22Aが形成されている。
このように、第2半導体層17と、第2ゲート絶縁膜1
9と、ゲート電極20Cと、ソース・ドレイン電極22
A、22Bと、から第2薄膜トランジスタQ2が構成さ
れている。なお、ドレイン電極22Aは、図1に示すよ
うに、電源線23と一体的にパターン形成されている。
また、ソース電極22Bは、上記した下部電極14Aと
対向する上部電極24と接続されるように一体的にパタ
ーン形成されている。ところで、この上部電極24と下
部電極14との間には有機発光層25が介在されてお
り、上部電極24と下部電極14と有機半導体層25と
で画素部26が構成されている。
Cの両側方には、第2半導体層17に接続されたソース
電極22B及びドレイン電極22Aが形成されている。
このように、第2半導体層17と、第2ゲート絶縁膜1
9と、ゲート電極20Cと、ソース・ドレイン電極22
A、22Bと、から第2薄膜トランジスタQ2が構成さ
れている。なお、ドレイン電極22Aは、図1に示すよ
うに、電源線23と一体的にパターン形成されている。
また、ソース電極22Bは、上記した下部電極14Aと
対向する上部電極24と接続されるように一体的にパタ
ーン形成されている。ところで、この上部電極24と下
部電極14との間には有機発光層25が介在されてお
り、上部電極24と下部電極14と有機半導体層25と
で画素部26が構成されている。
【0026】図4は、本実施形態の電界発光素子の1画
素部分の等価回路図を示している。また、図5は、選択
信号線に選択信号が出力された場合の容量21の端子電
圧を示すタイミングチャートである。以下、図4および
図5を用いて、本実施形態の電界発光素子を発光させる
ための駆動方法を説明する。
素部分の等価回路図を示している。また、図5は、選択
信号線に選択信号が出力された場合の容量21の端子電
圧を示すタイミングチャートである。以下、図4および
図5を用いて、本実施形態の電界発光素子を発光させる
ための駆動方法を説明する。
【0027】まず、図示しないデータドライバを駆動さ
せてデータ信号線Yjに電源線23から上部電極24に
流れる電流を制御された電圧を印加させる。次に、デー
タ信号線Yjに電圧が設定された時点で、選択信号線に
選択信号を出力して選択を行う。この場合、選択信号は
図5に示すように、選択信号線Xの本数がNとすると、
1走査あたり1/Nだけの時間しか電流を流すことがで
きない。このとき、図4に示した第1薄膜トランジスタ
Q1はオンの状態となり、容量21の端子電圧Vcは選
択信号に同期して立ち上がる。このため、容量21に
は、データが電荷量として書き込まれる。そして、容量
21の端子電圧Vcの電位状態に応じて、第2薄膜トラ
ンジスタQ2が画素部26の有機発光層25に流れ込む
電流を制御する。本実施形態では、選択が解除された後
でも、図5に示すように容量21により電位(Vc)が
保持されるため、第2薄膜トランジスタQ2は次回の選
択時まで、保持された電位Vcにより、電源線23から
の電位VDDを表示電圧に制御して有機発光層25に流し
続ける。この間、第2薄膜トランジスタQ2は電源線2
3から電流を供給される。このような動作を繰り返すこ
とで、電界発光素子は発光状態を持続させることができ
るため、コントラストを飛躍的に向上することが可能と
なる。また、薄膜トランジスタを用いて有機発光層25
に流す電流を精密に制御できるため、階調表示が容易と
なり、画素部26をRGBで整列させれば、フルカラー
表示も実現可能となる。
せてデータ信号線Yjに電源線23から上部電極24に
流れる電流を制御された電圧を印加させる。次に、デー
タ信号線Yjに電圧が設定された時点で、選択信号線に
選択信号を出力して選択を行う。この場合、選択信号は
図5に示すように、選択信号線Xの本数がNとすると、
1走査あたり1/Nだけの時間しか電流を流すことがで
きない。このとき、図4に示した第1薄膜トランジスタ
Q1はオンの状態となり、容量21の端子電圧Vcは選
択信号に同期して立ち上がる。このため、容量21に
は、データが電荷量として書き込まれる。そして、容量
21の端子電圧Vcの電位状態に応じて、第2薄膜トラ
ンジスタQ2が画素部26の有機発光層25に流れ込む
電流を制御する。本実施形態では、選択が解除された後
でも、図5に示すように容量21により電位(Vc)が
保持されるため、第2薄膜トランジスタQ2は次回の選
択時まで、保持された電位Vcにより、電源線23から
の電位VDDを表示電圧に制御して有機発光層25に流し
続ける。この間、第2薄膜トランジスタQ2は電源線2
3から電流を供給される。このような動作を繰り返すこ
とで、電界発光素子は発光状態を持続させることができ
るため、コントラストを飛躍的に向上することが可能と
なる。また、薄膜トランジスタを用いて有機発光層25
に流す電流を精密に制御できるため、階調表示が容易と
なり、画素部26をRGBで整列させれば、フルカラー
表示も実現可能となる。
【0028】そして、第1および第2薄膜トランジスタ
Q1、Q2がMOS型トランジスタまたはバイポーラトラ
ンジスタであれば、第1のトランジスタにおいては選択
信号電圧がゲートもしくはベースに印加された場合、1
選択信号線あたりに多数の第1のトランジスタが接続さ
れていても、それぞれの第1のトランジスタの入力イン
ピーダンスが大きいため、選択信号線を流れる電流量を
小さく抑える作用がある。このため、発光素子に要する
電流量を小さくすることができ、電源の寿命を長くする
ことができる。また、第2のトランジスタにデータ信号
電圧が印加された場合も、このトランジスタの入力イン
ピーダンスが大きいため、容量に蓄積された電圧の減衰
を低く抑えることができ、データ信号電圧の保持時間を
長くすることが可能となる。
Q1、Q2がMOS型トランジスタまたはバイポーラトラ
ンジスタであれば、第1のトランジスタにおいては選択
信号電圧がゲートもしくはベースに印加された場合、1
選択信号線あたりに多数の第1のトランジスタが接続さ
れていても、それぞれの第1のトランジスタの入力イン
ピーダンスが大きいため、選択信号線を流れる電流量を
小さく抑える作用がある。このため、発光素子に要する
電流量を小さくすることができ、電源の寿命を長くする
ことができる。また、第2のトランジスタにデータ信号
電圧が印加された場合も、このトランジスタの入力イン
ピーダンスが大きいため、容量に蓄積された電圧の減衰
を低く抑えることができ、データ信号電圧の保持時間を
長くすることが可能となる。
【0029】次に、図6〜図9に示す工程断面図を用い
て、本実施形態の電界発光素子の製造方法を説明する。
まず、図6(A)に示すように、ガラス基板11の少な
くとも表示領域上に、スパッタ法を用いてITO膜を堆
積させて接地電極12を形成する。次いで、同図(B)
に示すように、接地電極12上にCVD法により、Si
O2を堆積させて下地絶縁膜13を形成する。そして、リ
ソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、この
下地絶縁膜13の所定箇所にコンタクトホールを開口さ
せる。その後、図6(C)に示すように、再度ITO膜
14をスパッタ法により堆積させる。
て、本実施形態の電界発光素子の製造方法を説明する。
まず、図6(A)に示すように、ガラス基板11の少な
くとも表示領域上に、スパッタ法を用いてITO膜を堆
積させて接地電極12を形成する。次いで、同図(B)
に示すように、接地電極12上にCVD法により、Si
O2を堆積させて下地絶縁膜13を形成する。そして、リ
ソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて、この
下地絶縁膜13の所定箇所にコンタクトホールを開口さ
せる。その後、図6(C)に示すように、再度ITO膜
14をスパッタ法により堆積させる。
【0030】その後、ITO膜14をリソグラフィー技
術およびエッチング技術を用いてパターニングを行い、
図7(A)に示すように下部電極14Aと、選択信号線
X(X1〜Xn)と、同図(A)に示していない容量下部
電極14Cと、を形成する。次に、図7(B)に示すよ
うに、全面にSiO2をCVD法により堆積させて第1
ゲート絶縁膜15を形成する。その後、図7(C)に示
すように、下部電極14A上の第1ゲート絶縁膜15
を、リソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて
除去する。次に、全面にアモルファスシリコン膜をプラ
ズマCVD法により堆積させ、リソグラフィー技術およ
びエッチング技術を用いて、第1半導体層16と第2半
導体層17とをパターン形成する。
術およびエッチング技術を用いてパターニングを行い、
図7(A)に示すように下部電極14Aと、選択信号線
X(X1〜Xn)と、同図(A)に示していない容量下部
電極14Cと、を形成する。次に、図7(B)に示すよ
うに、全面にSiO2をCVD法により堆積させて第1
ゲート絶縁膜15を形成する。その後、図7(C)に示
すように、下部電極14A上の第1ゲート絶縁膜15
を、リソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて
除去する。次に、全面にアモルファスシリコン膜をプラ
ズマCVD法により堆積させ、リソグラフィー技術およ
びエッチング技術を用いて、第1半導体層16と第2半
導体層17とをパターン形成する。
【0031】次に、図8(A)に示すように、全面に窒
化シリコン膜を例えばプラズマCVD法により堆積さ
せ、リソグラフィー技術およびエッチング技術を用い
て、図8(B)に示すように第2半導体層17の上およ
び第1半導体層16のチャネル形成領域の上に、この窒
化シリコン膜を残すと共に、下部電極14Aの上の窒化
シリコン膜を除去するようにパターン形成する。ここ
で、第1半導体層16の上にパターン形成された窒化シ
リコン膜は、第1薄膜トランジスタQ1のブロッキング
層18となる。また、第2半導体層17の上に残された
窒化シリコン膜は、第2ゲート絶縁膜19となる。
化シリコン膜を例えばプラズマCVD法により堆積さ
せ、リソグラフィー技術およびエッチング技術を用い
て、図8(B)に示すように第2半導体層17の上およ
び第1半導体層16のチャネル形成領域の上に、この窒
化シリコン膜を残すと共に、下部電極14Aの上の窒化
シリコン膜を除去するようにパターン形成する。ここ
で、第1半導体層16の上にパターン形成された窒化シ
リコン膜は、第1薄膜トランジスタQ1のブロッキング
層18となる。また、第2半導体層17の上に残された
窒化シリコン膜は、第2ゲート絶縁膜19となる。
【0032】その後、全面に例えばアルミニウムなどの
メタル膜20をスパッタ法により堆積させた後、リソグ
ラフィー技術およびエッチング技術を用いて、図8
(C)に示すように第1薄膜トランジスタQ1のソース
・ドレイン電極20A、20Bと、第2薄膜トランジス
タQ2のゲート電極20Cと、上記した容量下部電極1
4Cに対向する容量上部電極20Dと、図1に示したデ
ータ信号線Yj(Y1〜Ym)と、をパターン形成する。
なお、このメタル膜20のパターニングにおいては、第
1薄膜トランジスタQ1のソース電極20Bと、第2薄
膜トランジスタQ2のゲート電極20Cと、容量上部電
極20Dとを一体的に形成し、また、ドレイン電極20
Aと、それぞれの画素部26の側方を走るデータ信号線
Yjとを一体的に形成している。なお、下部電極14A
上のメタル膜20は、上記したエッチングの際に除去す
る。
メタル膜20をスパッタ法により堆積させた後、リソグ
ラフィー技術およびエッチング技術を用いて、図8
(C)に示すように第1薄膜トランジスタQ1のソース
・ドレイン電極20A、20Bと、第2薄膜トランジス
タQ2のゲート電極20Cと、上記した容量下部電極1
4Cに対向する容量上部電極20Dと、図1に示したデ
ータ信号線Yj(Y1〜Ym)と、をパターン形成する。
なお、このメタル膜20のパターニングにおいては、第
1薄膜トランジスタQ1のソース電極20Bと、第2薄
膜トランジスタQ2のゲート電極20Cと、容量上部電
極20Dとを一体的に形成し、また、ドレイン電極20
Aと、それぞれの画素部26の側方を走るデータ信号線
Yjとを一体的に形成している。なお、下部電極14A
上のメタル膜20は、上記したエッチングの際に除去す
る。
【0033】次に、全面に例えばSiO2をCVD法に
より堆積させて層間絶縁膜27を形成した後、リソグラ
フィー技術およびエッチング技術を用いて、図9(A)
に示すように、下部電極14Aのみを露出させる。続い
て、図9(B)に示すように、この下部電極14A上に
有機発光層25を形成する。なお、有機発光層25を形
成するには、有機発光層25を構成する各種の層(例え
ば電子輸送層、正孔輸送層など)を順次スピンコーティ
ングし、層間絶縁膜27上の有機発光層25を選択的に
除去するなどの方法がある。
より堆積させて層間絶縁膜27を形成した後、リソグラ
フィー技術およびエッチング技術を用いて、図9(A)
に示すように、下部電極14Aのみを露出させる。続い
て、図9(B)に示すように、この下部電極14A上に
有機発光層25を形成する。なお、有機発光層25を形
成するには、有機発光層25を構成する各種の層(例え
ば電子輸送層、正孔輸送層など)を順次スピンコーティ
ングし、層間絶縁膜27上の有機発光層25を選択的に
除去するなどの方法がある。
【0034】続いて、第2薄膜トランジスタQ2のソー
ス・ドレイン領域上の層間絶縁膜27および第2ゲート
絶縁膜19にコンタクトホールを開口した後、全面にメ
タル膜を堆積させ、このメタル膜をパターニングして図
9(C)に示すように有機発光層25の上の上部電極2
4と第2薄膜トランジスタQ2のソース電極22Bとを
一体的に形成すると共に、図1に示すように第2薄膜ト
ランジスタQ2のドレイン電極22Aと電源線23とを
一体的に形成する。このようにして、本実施形態の電界
発光素子の製造が完了する。
ス・ドレイン領域上の層間絶縁膜27および第2ゲート
絶縁膜19にコンタクトホールを開口した後、全面にメ
タル膜を堆積させ、このメタル膜をパターニングして図
9(C)に示すように有機発光層25の上の上部電極2
4と第2薄膜トランジスタQ2のソース電極22Bとを
一体的に形成すると共に、図1に示すように第2薄膜ト
ランジスタQ2のドレイン電極22Aと電源線23とを
一体的に形成する。このようにして、本実施形態の電界
発光素子の製造が完了する。
【0035】本実施形態の製造方法においては、第1薄
膜トランジスタQ1の第1半導体層16と、第2薄膜ト
ランジスタQ2の第2半導体層17とを、1回の成膜工
程および1回のパターニング工程で形成することができ
る。また、第1薄膜トランジスタQ1のドレイン電極2
0Aとデータ信号線Y、およびソース電極20Bと第2
薄膜トランジスタQ2のゲート電極20Cと容量21の
容量上部電極20Dとを1回のメタル成膜と1回のパタ
ーニング工程で形成することができるため、少ない工程
数で電界発光素子の製造を行えるという利点がある。
膜トランジスタQ1の第1半導体層16と、第2薄膜ト
ランジスタQ2の第2半導体層17とを、1回の成膜工
程および1回のパターニング工程で形成することができ
る。また、第1薄膜トランジスタQ1のドレイン電極2
0Aとデータ信号線Y、およびソース電極20Bと第2
薄膜トランジスタQ2のゲート電極20Cと容量21の
容量上部電極20Dとを1回のメタル成膜と1回のパタ
ーニング工程で形成することができるため、少ない工程
数で電界発光素子の製造を行えるという利点がある。
【0036】(実施形態2)図10および図11は、こ
の発明の実施形態2を示している。なお、図10は本実
施形態の平面説明図、図11は図10のC−C断面図で
ある。本実施形態は、第2薄膜トランジスタQ2を介し
て画素部26に駆動電流を供給するための電源線を、図
11に示すように、基板表示領域の上部全面にITOで
なる電源層23Aとして形成し、各第2薄膜トランジス
タQ2と電源線23Aとをコンタクトホールを介して接
続した構成としている。なお、本実施形態における他の
構成は、上記した実施形態1と同様である。本実施形態
によれば、電源層23Aをパターニングする必要がない
ため製造が容易となるという利点がある。
の発明の実施形態2を示している。なお、図10は本実
施形態の平面説明図、図11は図10のC−C断面図で
ある。本実施形態は、第2薄膜トランジスタQ2を介し
て画素部26に駆動電流を供給するための電源線を、図
11に示すように、基板表示領域の上部全面にITOで
なる電源層23Aとして形成し、各第2薄膜トランジス
タQ2と電源線23Aとをコンタクトホールを介して接
続した構成としている。なお、本実施形態における他の
構成は、上記した実施形態1と同様である。本実施形態
によれば、電源層23Aをパターニングする必要がない
ため製造が容易となるという利点がある。
【0037】以上、実施形態1および実施形態2につい
て説明したが、この発明はこれらに限定されるものでは
なく、構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能であ
る。なお、上記実施形態1、2における有機発光層25
としては、例えば図12に示すように、ITOでなる下
部電極14Aの上に、順次、ホール輸送性ポリマーであ
るPVCzと電子輸送材としてのBNDとの混合物でな
る発光層25Aと、アルミニウム錯体Alq3でなる電
子輸送層25Bとを積層し、上部電極24の材料として
は、MgAgなどを用いて構成することができる。
て説明したが、この発明はこれらに限定されるものでは
なく、構成の要旨に付随する各種の設計変更が可能であ
る。なお、上記実施形態1、2における有機発光層25
としては、例えば図12に示すように、ITOでなる下
部電極14Aの上に、順次、ホール輸送性ポリマーであ
るPVCzと電子輸送材としてのBNDとの混合物でな
る発光層25Aと、アルミニウム錯体Alq3でなる電
子輸送層25Bとを積層し、上部電極24の材料として
は、MgAgなどを用いて構成することができる。
【0038】また、上記した実施形態1および実施形態
2においては、スイッチング素子としてMOSトランジ
スタを用いたが、入力インピーダンスが高くかつhfe
の充分に大きいバイポーラトランジスタを用いることも
可能である。
2においては、スイッチング素子としてMOSトランジ
スタを用いたが、入力インピーダンスが高くかつhfe
の充分に大きいバイポーラトランジスタを用いることも
可能である。
【0039】上記実施形態1では、データ信号線Yjか
らの電圧Vcを容量21により保持させ、容量に保持さ
れたVcに応じて、第2薄膜トランジスタQ2のドレイ
ン電極22Aに印加された定電圧VDDにより第2半導体
層17に流れるドレイン電流を制御して階調表示させる
ものであるが、これに限らず、データ信号線Yjからの
電圧を第2薄膜トランジスタQ2をオン・オフの2値のい
ずれかとし、電源線23から階調に応じた制御電圧を第
2半導体層17に印加させてもよい。また、上記定電圧
VDDは常に印加していてもよいし、各第2の薄膜トラン
ジスタQ2のオン時に同期して印加してもよい。
らの電圧Vcを容量21により保持させ、容量に保持さ
れたVcに応じて、第2薄膜トランジスタQ2のドレイ
ン電極22Aに印加された定電圧VDDにより第2半導体
層17に流れるドレイン電流を制御して階調表示させる
ものであるが、これに限らず、データ信号線Yjからの
電圧を第2薄膜トランジスタQ2をオン・オフの2値のい
ずれかとし、電源線23から階調に応じた制御電圧を第
2半導体層17に印加させてもよい。また、上記定電圧
VDDは常に印加していてもよいし、各第2の薄膜トラン
ジスタQ2のオン時に同期して印加してもよい。
【0040】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明によれば、電圧保持手段を画素部毎に備えるため、次
の選択時まで発光を持続させることが可能となり、コン
トラストを飛躍的に向上させるという効果を奏する。ま
た、発光部分(画素部)に流し込む電流を精密に制御で
きるため階調表示が容易となり、画素部をレッド
(R)、グリーン(G)、ブルー(B)で整列させれば
フルカラー表示も可能となる。特に、本発明は有機EL
による自発光薄型ディスプレイや高輝度LEDを用いた
大型フラットパネルディスプレイ、さらには電球を用い
て、ホールや競技場などに設置されるような超大型ディ
スプレイの駆動に利用でき、その他電流駆動型パッシブ
発光素子であれば全てに適用できるという利点がある。
明によれば、電圧保持手段を画素部毎に備えるため、次
の選択時まで発光を持続させることが可能となり、コン
トラストを飛躍的に向上させるという効果を奏する。ま
た、発光部分(画素部)に流し込む電流を精密に制御で
きるため階調表示が容易となり、画素部をレッド
(R)、グリーン(G)、ブルー(B)で整列させれば
フルカラー表示も可能となる。特に、本発明は有機EL
による自発光薄型ディスプレイや高輝度LEDを用いた
大型フラットパネルディスプレイ、さらには電球を用い
て、ホールや競技場などに設置されるような超大型ディ
スプレイの駆動に利用でき、その他電流駆動型パッシブ
発光素子であれば全てに適用できるという利点がある。
【図1】この発明の実施形態1を示す要部平面図。
【図2】図1のA−A断面図。
【図3】図1のB−B断面図。
【図4】実施形態1の1画素部の等価回路図。
【図5】実施形態1のタイミングチャート。
【図6】実施形態1の電界発光素子の製造方法を示す工
程断面図。
程断面図。
【図7】実施形態1の電界発光素子の製造方法を示す工
程断面図。
程断面図。
【図8】実施形態1の電界発光素子の製造方法を示す工
程断面図。
程断面図。
【図9】実施形態1の電界発光素子の製造方法を示す工
程断面図。
程断面図。
【図10】この発明の実施形態2の要部平面図。
【図11】図10のC−C断面図。
【図12】画素部の断面図。
【図13】従来の電界発光素子の平面図。
【図14】(A)は図13のA−A断面図、(B)は図
13のB−B断面図。
13のB−B断面図。
【図15】従来の電界発光素子の等価回路図。
【図16】従来の電界発光素子のタイミングチャート。
Q1 第1薄膜トランジスタ Q2 第2薄膜トランジスタ X 選択信号線 Y データ信号線 21 容量 23 電源線 23A 電源層
Claims (7)
- 【請求項1】 対をなす電極間に発光層が介在されてな
る複数の画素部がマトリクス状に配置され、前記電極間
に駆動電流を供給することにより、前記画素部の前記発
光層を発光させる電界発光素子において、 前記画素部の行方向に沿ってデータ信号電圧を供給する
データ信号線群と、前記画素部の列方向に沿って選択信
号線群との交差部に対応して設けられた前記画素部ごと
に前記データ信号電圧を保持する電圧保持手段を備える
ことを特徴とする電界発光素子。 - 【請求項2】 前記電圧保持手段は、前記選択信号線に
印加される選択信号電圧に応じてオンとなる第1のスイ
ッチング素子と、当該第1のスイッチング素子のオンに
応じて該第1のスイッチング素子から供給される前記デ
ータ信号電圧を保持するとともに前記発光層に駆動電流
を供給する第2のスイッチング素子と、からなることを
特徴とする請求項1記載の電界発光素子。 - 【請求項3】 前記第1のスイッチング素子は、前記デ
ータ信号線にドレイン電極が接続され、前記選択信号線
にゲート電極が接続された第1の薄膜トランジスタでな
り、前記第2のスイッチング素子は、前記データ信号電
圧を保持する容量と、当該容量及び前記第1の薄膜トラ
ンジスタのソース電極に接続されたゲート電極を有し、
前記発光層に駆動電流を供給する第2の薄膜トランジス
タと、からなることを特徴とする請求項2記載の電界発
光素子。 - 【請求項4】 前記発光層は、電子輸送層と正孔輸送層
とを備える有機薄膜でなることを特徴とする請求項1〜
請求項3記載の電界発光素子。 - 【請求項5】 一対の電極間に介在され、有機化合物か
らなり電界に応じて発光する発光層を有する画素部と、
前記画素部の行方向に沿ってデータ信号電圧を供給する
データ信号線と、前記画素部の列方向に沿って選択信号
電圧を供給する選択信号線と、前記データ信号線にドレ
イン電極が接続され、前記選択信号線にゲート電極が接
続された第1の薄膜トランジスタと、前記第1の薄膜ト
ランジスタから供給された前記データ信号電圧を保持す
る容量と、前記容量及び前記第1の薄膜トランジスタの
ソース電極に接続されたゲート電極を有し、前記発光層
に駆動電流を供給する第2の薄膜トランジスタと、を具
備し、 前記第2の薄膜トランジスタのドレイン電極に電源電圧
を印加し、前記第1の薄膜トランシジスタから供給され
た前記データ信号電圧に応じて前記電源電圧を制御し前
記第2の薄膜トランシジスタから前記駆動電流を前記発
光層に供給することを特徴とする電界発光素子の駆動方
法。 - 【請求項6】 前記電源電圧は一定値の電圧であり、前
記駆動電流は前記データ信号電圧の制御に応じて階調さ
れることを特徴とする請求項5記載の電界発光素子の駆
動方法。 - 【請求項7】 前記データ信号電圧は前記第2の薄膜ト
ランジスタをオン・オフさせる2値の電圧のいずれかで
あり、前記駆動電流は前記電源電圧の制御に応じて階調
されることを特徴とする請求項5記載の電界発光素子の
駆動方法。
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---|---|
JP (1) | JPH0981053A (ja) |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000231347A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP2000242232A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Tdk Corp | 表示装置 |
JP2001035662A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-09 | Pioneer Electronic Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子表示装置及びその製造方法 |
JP2001134214A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置 |
JP2003076301A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子、及びそれを用いた表示装置 |
JP2004212997A (ja) * | 2002-12-31 | 2004-07-29 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンス素子とその製造方法 |
US6862011B2 (en) | 1996-09-26 | 2005-03-01 | Seiko Epson Corporation | Display apparatus |
JP2005202285A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器 |
WO2006016662A1 (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-16 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 半導体素子マトリクスアレイ、その製造方法及び表示パネル |
JP2008090322A (ja) * | 2000-12-21 | 2008-04-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置 |
JP2008233933A (ja) * | 2001-10-30 | 2008-10-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2009239046A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Casio Comput Co Ltd | エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法及びエレクトロルミネッセンスパネル |
JP2011034090A (ja) * | 2000-05-12 | 2011-02-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
US8013346B2 (en) | 2000-12-21 | 2011-09-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and method of manufacturing the same |
JP2012108519A (ja) * | 2000-03-27 | 2012-06-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置、発光装置、モジュール、及び電子機器 |
JP2013057954A (ja) * | 2000-08-10 | 2013-03-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
US8446348B2 (en) | 2003-06-13 | 2013-05-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US8487841B2 (en) | 2001-10-30 | 2013-07-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US8610645B2 (en) | 2000-05-12 | 2013-12-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US8803773B2 (en) | 1997-07-02 | 2014-08-12 | Intellectual Keystone Technology Llc | Display apparatus |
WO2014147964A1 (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-25 | パナソニック株式会社 | 薄膜半導体基板、発光パネル及び薄膜半導体基板の製造方法 |
US8878589B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-11-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US10043794B2 (en) | 2012-03-22 | 2018-08-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
US10332462B2 (en) | 2016-08-17 | 2019-06-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, display module, and electronic device |
-
1995
- 1995-09-07 JP JP7254504A patent/JPH0981053A/ja active Pending
Cited By (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7012278B2 (en) | 1996-09-26 | 2006-03-14 | Seiko Epson Corporation | Light-emitting apparatus driven with thin-film transistor and method of manufacturing light-emitting apparatus |
US6862011B2 (en) | 1996-09-26 | 2005-03-01 | Seiko Epson Corporation | Display apparatus |
US8803773B2 (en) | 1997-07-02 | 2014-08-12 | Intellectual Keystone Technology Llc | Display apparatus |
JP2000231347A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-22 | Sanyo Electric Co Ltd | エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP2000242232A (ja) * | 1999-02-19 | 2000-09-08 | Tdk Corp | 表示装置 |
JP2001035662A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-09 | Pioneer Electronic Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子表示装置及びその製造方法 |
JP2001134214A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示装置 |
JP2012108519A (ja) * | 2000-03-27 | 2012-06-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置、発光装置、モジュール、及び電子機器 |
US8541804B2 (en) | 2000-03-27 | 2013-09-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electro-optical device |
US9013377B2 (en) | 2000-05-12 | 2015-04-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US8125415B2 (en) | 2000-05-12 | 2012-02-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP2015034992A (ja) * | 2000-05-12 | 2015-02-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
US9514670B2 (en) | 2000-05-12 | 2016-12-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US9536468B2 (en) | 2000-05-12 | 2017-01-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP2014067056A (ja) * | 2000-05-12 | 2014-04-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP2011034090A (ja) * | 2000-05-12 | 2011-02-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
US8610645B2 (en) | 2000-05-12 | 2013-12-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US10354589B2 (en) | 2000-05-12 | 2019-07-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US10867557B2 (en) | 2000-05-12 | 2020-12-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP2012078841A (ja) * | 2000-05-12 | 2012-04-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP2014099405A (ja) * | 2000-08-10 | 2014-05-29 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | アクティブマトリクス型el表示装置 |
JP2013057954A (ja) * | 2000-08-10 | 2013-03-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP2008090322A (ja) * | 2000-12-21 | 2008-04-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置 |
US8013346B2 (en) | 2000-12-21 | 2011-09-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and method of manufacturing the same |
JP4741569B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2011-08-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
US9793335B2 (en) | 2000-12-21 | 2017-10-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and method of manufacturing the same |
US9231044B2 (en) | 2000-12-21 | 2016-01-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and method of manufacturing the same |
JP2003076301A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 発光素子、及びそれを用いた表示装置 |
JP2008233933A (ja) * | 2001-10-30 | 2008-10-02 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
US9830853B2 (en) | 2001-10-30 | 2017-11-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US9208717B2 (en) | 2001-10-30 | 2015-12-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US11011108B2 (en) | 2001-10-30 | 2021-05-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US8487841B2 (en) | 2001-10-30 | 2013-07-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US10991299B2 (en) | 2001-10-30 | 2021-04-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US10891894B2 (en) | 2001-10-30 | 2021-01-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US8896506B2 (en) | 2001-10-30 | 2014-11-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US7911460B2 (en) | 2002-12-31 | 2011-03-22 | Lg Display Co., Ltd. | Active matrix organic electroluminescent display device and method of fabricating the same |
JP2007188101A (ja) * | 2002-12-31 | 2007-07-26 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンス素子とその製造方法 |
JP2004212997A (ja) * | 2002-12-31 | 2004-07-29 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | 有機エレクトロルミネセンス素子とその製造方法 |
US7304639B2 (en) | 2002-12-31 | 2007-12-04 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Active matrix organic electroluminescent display device and method of fabricating the same |
US8081174B2 (en) | 2002-12-31 | 2011-12-20 | Lg Display Co., Ltd. | Active matrix organic electroluminescent display device and method of fabricating the same |
US7928971B2 (en) | 2002-12-31 | 2011-04-19 | Lg Display Co., Ltd. | Active matrix organic electroluminescent display device and method of fabricating the same |
US9905582B2 (en) | 2003-06-13 | 2018-02-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US9030389B2 (en) | 2003-06-13 | 2015-05-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US9276018B2 (en) | 2003-06-13 | 2016-03-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US8749461B2 (en) | 2003-06-13 | 2014-06-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
US8446348B2 (en) | 2003-06-13 | 2013-05-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP2005202285A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器 |
WO2006016662A1 (ja) * | 2004-08-11 | 2006-02-16 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 半導体素子マトリクスアレイ、その製造方法及び表示パネル |
JP2009239046A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Casio Comput Co Ltd | エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法及びエレクトロルミネッセンスパネル |
US9508759B2 (en) | 2011-06-30 | 2016-11-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
USRE48576E1 (en) | 2011-06-30 | 2021-06-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US8878589B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-11-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and driving method thereof |
US10043794B2 (en) | 2012-03-22 | 2018-08-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device |
USRE48032E1 (en) | 2013-03-18 | 2020-06-02 | Panasonic Corporation | Thin-film semiconductor substrate, light-emitting panel, and method of manufacturing the thin-film semiconductor substrate |
JP5948427B2 (ja) * | 2013-03-18 | 2016-07-06 | パナソニック株式会社 | 薄膜半導体基板、発光パネル及び薄膜半導体基板の製造方法 |
WO2014147964A1 (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-25 | パナソニック株式会社 | 薄膜半導体基板、発光パネル及び薄膜半導体基板の製造方法 |
US9147722B2 (en) | 2013-03-18 | 2015-09-29 | Panasonic Corporation | Thin-film semiconductor substrate, light-emitting panel, and method of manufacturing the thin-film semiconductor substrate |
JPWO2014147964A1 (ja) * | 2013-03-18 | 2017-02-16 | パナソニック株式会社 | 薄膜半導体基板、発光パネル及び薄膜半導体基板の製造方法 |
US10332462B2 (en) | 2016-08-17 | 2019-06-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, display module, and electronic device |
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