TWI223714B - Fluxgate sensor integrated in printed circuit board and method for manufacturing the same - Google Patents

Description

1223714 五、發明說明（1) 一、 【發明所屬之技術領域】 本發明一般係關於一種通量閘感測器，特別是關於一 種整合於印刷電路板中之通量閘感測器及其製造方法。本 申請案以韓國專利申請案第2 0 0 2 - 1 3 5 2 4號為根據，該案於 西元2002年三月十三日提出申請，本文已將其納入參考資 料中。 二、 【先前技術】 磁能之存在早已經由各種不同之物理現象所證實，雖 然由人類之眼睛與耳朵等感覺器官無法知覺其存在，但一 〇 通量閘感測器卻可使人間接地感知磁能。就通量閘感測器 而言’使用軟磁線圈之磁感測器已利用了一段長久時間。 此種磁感測器是經由將線圈捲曲環繞於一由軟磁條所形成 之較大型桿狀核心或環狀核心所製成，並使用一電子電路 以獲得與所測之磁場成比例之磁場。 然而，習用之通量閘感測器具有下列問題，亦即，由 於習用的通量閘感測器之結構係將線圈捲曲環繞於軟磁條 所製之大型桿狀核心或環狀核心，故其製造成本高且整體 系統體積大，且由於激磁線圈與檢測磁場之故，於通量變4 化中漏磁是無可避免的。因此，不能保證高靈敏度。 三、 【發明内容】 本發明係為克服上述之先前技術問題而做，故本發明 的目的之一在於提供一種不僅能減小系統之整體體積、且

1223714 五、發明說明（2) 能更精確地檢測磁場之整合於印刷電路板φ a 量閘感測器，以及一種製造此高靈敏度通量 取度通 L S㈣感測器之掣

造方法。 〜〜的I I 本發明之另一目的則在於防止當外部礤p曰、、

简 'W1 '9]J (Ο )時，於通量變化檢測線圈中所發生的感應波、…7 上述之目的可藉由依本發明之通量閘感剛/器° 一印刷電路板 金屬膜般形成 種通量閘感測器包含：一軟磁核心，形成於 士 之上以形成一封閉磁徑；一激磁線圈，如〜 形成，形成於該激磁線圈之上而纏繞該軟礙^二金屬膜般 該軟磁核心係由二棒桿以平行關係置於^ :。 形成’將該二棒桿置放於使其長度處於磁 而捲曲環繞該軟磁核心；以及一接收線圈， 平面上而 / ss -V -A- ¥檢測方向中的 位置。或纟，亦可將該軟磁核心形成如 」=:。 ,^ ^ . $ U枰式軼磁核心一般亦置放於一使其 長度處於磁％檢測之方向中之位置。 該激磁線圈具備一實皙 a續-俨爷畆2 貝貝上以數子8」之型態交錯纏 繞遠，一知式ί人磁核心之έ士播 《V、土 ^ ^ κ α ±1 ^ ^ 之、、、口構。或者，該激磁線圈亦可具備 一貫負上以螺線骨之创能々σ，， > t心、各別地纏繞該二桿式軟磁核心之 結構。 當該軟磁核心、私#丄 0 ^ ^ ^ /烕如—矩形圈時，該激磁線圈可於磁 場檢測之方向中替艚式夂 々而梦、具、息 聪^各別地交錯纏繞該矩形圈式軟磁核 心之阿平乂长違，並管曾μ 〇 兮省磁綠m 上呈數字「8」之型態。 3激磁線圈可於磁错 Γ Q 之划能Μ 、 努檢測之方向中實質上以數字 厂8」之型怨整體總婊兮_ ” ^ 一桿式軟磁核心或該矩形圈式軟

第12頁 1223714 五、發明說明（3) 磁核心之兩較 桿式軟磁核心 收線圈裝置於 管之型態整體 心之兩較長邊 場檢測之方向 '一桿式軟磁核 螺線管之型態 軟磁核心之兩 磁線圈之上、 式軟磁核心或 上述之目 方法所達成， 第一基板； 而於該 雙面經 —暴板；依照 ;為該第二通 形成一接收線 片與第四金屬 三基板之雙面 之型態各別地纏繞該二 心之兩較長邊，且該接 並具備一實質上以螺線 心或該矩形圈式軟磁核 方式：該激磁線圈於磁 8」之型態整體纏繞該 核心之兩較長邊，或以 軟磁核心或該矩形圈式 線圈則具備一形成於激 型恶各別地纏繞該/朴 之兩較長邊之結構。 之通量閘感測器之製造 金屬片之上黏合一予員浸 磁薄膜而形成一軟磁核 預浸膠片 之一邊與 孔；為該 上形成一 膠片與第 式於第二 由钱刻該 線圈之雙 三基板； 電傳導之 膠片與 心；於 金屬片 的位置 孔鍍上 圈；於 片而形 形成第 板之兩 豸占合_. 經由蝕 一軟磁 該軟磁 而形成 上分隔 金屬； 該激磁 成一第 —通孔 表面而 預浸膠 刻該第 長邊， 或該矩 此等激 纏繞該 之結構 中可實 心或該 各別地 較長邊 並實質 该矩形 的亦由 其步驟 薄膜； 核心之 地在第 經蝕刻 線圈之 或者以 形圈式 磁線圈 二桿式 ;或者 質上以 矩形圈 纏繞該 ，然而 上以螺 圈式軟 一種依 包含： 經由蝕 表層部 一基板 螺線管 軟磁核 之上， 軟磁核 以另一 數字「 式軟磁 二桿式 該接收 線管之 磁核心 本發明 於第一 刻該軟 份經由 於該軟 中形成 基板之 由黏合 第一通 孔鍵上 圈；於 片而形 而形成 霉 i — 磁核心 第一通 兩表面 一預浸 孔之方 金屬； 該接收 成一第 一作為 與第二 另/邊 第/通 激磁線 三金屬 基板中 第二基 面經由 以及’ 用的焊

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較仫之情形為··在形成通量閘感測器之元件1更包含 利用感光塗料與一曝光過程A ^ Λ疋件則更υ 3 π ^ +為各兀件形成一圖幸$步騍， 同時亦包含為該烊墊鍍上金之步驟。 ㈡案之 、 依據本毛月，藉由沿檢測方向形成一軟磁核心，且因 為接收線圈係形成於纏繞軟磁核心的該激磁線圈之上，以 致通量變化檢測線圈中沒有感應波產生，是故逆磁 (counter-magnetic)特性得以減小。

上述之目的及本發明之特色，將藉由參照伴隨之圖示 說明本發明之較佳實施例而更為明白。 四、【實施方式】 茲將參照伴隨之圖示，較詳細地說明本發明。 圖1為一概略圖，顯示依本發明之第一較佳實施例之 整合於印刷電路板中的通量閘感測器。此通量閘感測器具 有一個第一與一個第二桿式軟磁核心1與2，伴隨一實質上 以數字.「8」之型態捲曲環繞第一與第二桿式軟磁核心1與 2之激磁線圈3 ;以及一捲曲環繞激磁線圈3及第一與第二 桿式軟磁核心1與2之接收線圈4。 Φ 下文中，此種線圈以數字「8」之型態將二桿式軟磁 核心整體纏繞在一起之纏繞結構稱之為「聯合結構」，而 依第二較佳實施例之矩形圈式軟磁核心上面之相同纏繞結 構亦稱之為「聯合結構」。另/方面，一線圈各別地纏繞 二桿式軟磁核心、或各別纏繞矩形圈式軟磁核心之兩較長

1223714 五、發明說明（5) 邊之結構，則稱之為「分離結構」。 圖2A至2F係用以說明圖1中之通量閘感測器之運作的 時間圖。圖2 A是由第一軟磁核心1所產生之磁場的一個波 形，圖2 B是由第二軟磁核心2所產生之磁場的_個波形， 圖2 C是由該第一軟磁核心1所產生之通量密度的_個、皮 形，圖2 D是由該第二軟磁核心2所產生之通量密度的一個 波形，而圖2 E與2 F則各別顯示誘發於該接收線圈之第一與 第二感應電壓Vindl與Vind2之波形，以及第一與第二感靡、 電壓相加之和V i n d 1 + V i n d 2之波形。

藉由以數字「8」之型態將第一與第二桿式軟磁核心 與2整體纏繞在一起之激磁線圈3(圖丨），及虹激磁電流之 供應，使第一桿式軟磁核心1之内部磁場（Hext + Hexc)與通 里禮度（Bext+Bexc)及苐-一桿式軟磁核心2之内部磁場 (Hext-Hexc)與通量密度（Bext-Bexc)以相反之方向作用 (見圖2A、2B、2C、2D)。此處，Hext是外部磁場，Hexcs

來自激磁線圈之磁場，β e X t是外部磁場之通量密度，而 Bex=則是來自激磁線圈之通量密度。纏繞接收線圈$係藉 以獲知由第一與第二桿式軟磁核心i與2所各別產生之通曰量 總和，並藉以檢測由AC激磁電流之電子感應所引發之通量 變化。由於第一與第二桿式軟磁核心丨與2内部磁場之方向 相反，、故於接收線圈4所檢測到之感應電壓係該對稱產生 之二感應電壓Vindl與Vind2之抵消結果（圖2F)。更明確地 =，由於外部磁場Hext係以相同之方向應用於第一與第二 桿式軟磁核心1與2，故第一與第二桿式核心丨與2之内部磁

第15頁 1223714 五、發明說明（6) 場分別為Hext + Hexc與Hext-Hexc。此時，如圖2E所示，於 接收線圈4誘發了電壓^以1與^11(12，而藉由檢測此等感 應電壓Vmdl與Vind2之總和則可得知外部磁場“对之大 小 ° 、、如同由上文可知者，就整合於印刷電路板中之通量閘 感測器的構造而言，其中最重要者為··使激磁線圈3具有 以數字「8」型態纏繞之聯合結構的特定結合結構，以及 使接收線圈4以螺線管之型態纏繞第一與第二桿式軟磁核 ^ 1與2，以獲知第一與第二桿式軟磁核心1與2中的通量變 化之總和；此中，接收線圈4亦可形成於激磁線圈3之上而 各別地纏繞第-與第二桿式軟磁核心…。此乃因為：由 =㈣圈所產生之通量在第一與第二桿式軟磁核心⑻ ^ 封閉磁位，故上文所描述之通量閘感測器結構在盔 外部磁場Hext之情況下抵、消了 [與第二桿式軟磁核心「、 與2所產生之磁場感應波。 另一方面，圖1中之軟磁核心亦可採用矩形圈之型 1轉=圈以數字「8」之型態纏繞矩形圈式軟磁核 :之兩較長邊、且接收線圈以螺線管之型態纏 ，，利用此種結構’則此型式之軟磁核心 ：

欠磁核心之相同益處。或者，接收線圈亦可分別地纏U 矩形圈之兩較長邊。 磁場之檢測亦可利用已裝置激磁線圈與接收線圈之單 -桿式軟磁核心結構來施行、然而，由於即使在益磁 場之情形下’檢測線圈處仍有源自較大激磁線圈之❹

1223714 五、發明說明（7) 產生’故5亥情況對於檢測線圈之輸出結果需要增幅或 ^ t之Ϊ的較複雜之訊號處理。因此，使用兩個桿式軟磁 ^。或單一矩形圈式核心將具備較多益處， 就訊號 處理需求的觀點而言。 圖3 Α至3 Μ係取自圖！中之j —工，線的概略圖，顯示將該 通置閘感測器整合於印刷電路板中之安裝過程。 首先，於第一銅箔2 1之上黏合一預浸膠片 ::^^严一與昆一軟磁薄膜川圖⑷❶然後^經由使用感 3Β) =Λ 一曝光過程，為軟磁核心1與2形成一圖案（圖 成為於:二5 t ^虫刻使軟磁薄膜24利用感光塗料28而形 = (圖3C)。軟磁核心…以其長度在磁 <表層部分黏合一預^ q 經鑽馨而形成穿透包；:箱26(_)。；後其 板的第-通孔2dit二軟磁核心1與2之第 於夂別之rft、s $ >中弟权磁核心1與第二軟磁核心2位 口別之兩通孔之間（圖3E)， 通孔27之孔壁鍍 上金屬（圖3F)。之德，益山成丨马第一通孔27之孔鍍 箱之兩面，形成一激磁感光塗料28之使用及曝光外銅 塗料使銅$26厨γ /線圈之圖案（圖3G)。然後利用感光 將激磁绫n浓& 1 d處理而形成激磁線圈配線（圖3H)。 4,;: = ;:具：：：結卜實質上為數字「8」 於激磁線圈之兩面；m與2整體纏繞在-起。然後 接著，來忐&筮" 預7又勝片2 9與一銅箔3 0 (圖3 I )。 钱耆形成與弟一通孔27類似之第二、廿么楚一、s 孔31之孔壁鍍上舍屬 一通孔31，亚為弟一通 -屬。；、、'、後利用感光塗料與曝光形成接收

1223714 五、發明說明（8) 線圈配線（圖3 J )。接收線圈4之結構係形成於激磁線 上，並實質上以螺線管之型態將第一與第二桿式軟磁核心 1與2整體纏繞在一起。然後，黏上一預浸膠片3 2與一^片 33(圖3K)，並經由曝光與蝕刻形成一與外界導電之用 墊34(圖3L)，再為該銅墊34鍍上金35(圖3M)。 圖4 A與4 B是依本發明之第〆較佳實施例之印刷電路 上的通罝閘感測為之平面圖。圖4 A係一平面圖，顯示以平 行關係置於相同平面之兩個桿式軟磁核心，其中聯合結構 之激磁線圈將該二桿式軟磁核心整體纏繞在一起·圖α則 是顯示實質上以螺線管型態纏繞軟磁核心之接收線圈的平 面圖。圖4C是顯不置於相同平面之矩形圈式軟磁核心 面圖’其中聯合結構之激磁線圈纏繞矩形 心；而_是-平面圖，顯示實質上以 於圖4C之矩形圈式軟磁核心上面的接收線圈。 〜^成 圖5是顯示依本發明之第二較佳實施例之整合於印刷 電路板中的通量閘感測器之概略圖。於此通量閘感測哭 中，置有二相互平行之第一與第二桿式軟磁核心：與J以 及一分別地纏繞該第一與第二軟磁核心丨與2之激磁線圈 3。換言之，此激磁線圈3具備分離結構。於該激磁線圈3 之上纏繞一接收線圈4，將第一與第二桿式軟磁核心丨與2 整體地環繞起來；或者，該接收線圈4亦可各別地纏繞該 第一與第二桿式軟磁核心1與2地纏繞於激磁線圈3之上。 另一方面，該軟磁核心亦可採用矩形圈之形式，於此 情況’激磁線圈3可於磁場檢測之方向各別纏繞矩形圈式

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’而接收線圈4貝ιΜ 核心之兩較長邊整 相同利益。或者， 纏捲環繞該矩形圈 Γ質上以螺線管之 體纏捲環繞，以獲 接收線圈4亦可以 式軟磁核心之兩較 五、發明說明（9) 軟磁核心之兩較長邊 型態將矩形圈式軟磁 致將感應電壓抵消之 螺線管之型態各別地 長邊。 壓相似於 感應電壓 貫施例皆 圖6 A 路板中之 行方式置 離結構之 顯示實質 之平面圖 中分離結 圖6 D則；^ 心之上的 ，依第 依第一 ，亦即 預期將 與6 B係 通量閘 於一相 二實施例 實施例之 ，當外部 感應電壓 顯示依本 感測器的 同平面之 圈形成於 線管型態 激磁線 上以螺 。圖6 C是顯示一 構之激磁線圈形 顯示實質上以螺 一接收線圈之平 聯合結 磁場為 抵消之 發明之 平面圖 桿式軟 該二軟 形成於 矩形圈 成於矩 線管型 面圖。 構的激磁線圈處所檢測之 零（0)時，於第一與第二 相同利益。 第二較佳實施例之印刷電 。圖6 A係顯示該兩個以平 磁核心之平面圖，其中分 磁核心之上；而圖6B則是 軟磁核心之上的接收線圈 式軟磁核心之平面圖，其 形圈式軟磁核心之上；^ 態形成於矩形圈式軟磁核 上述之通量閘感測器可應用於各種不同之用 ::地磁檢測之導航系統、地磁變化偵測器（地震預二是 ，測以及金屬之缺陷檢測等。至於其間接應用、，此 里=感測器亦可使用於磁編碼器、無接點電位計、 測為、扭力感測器以及位移感測器等等之中。 机感 利用此種能與其他感測器及電路等共同整合於印刷電

1223714 五、發明說明（ίο) 路板中之通量閘感測器，系統之整體尺寸可大幅地減小。 同時，由於可變化地驅動各側之核心所感應之電壓，故即 使是檢測微弱的外部磁場亦能維持高靈敏度。 又，因為依本發明之通量閘感測器比桿式軟磁核心或 環狀核心能以較便宜之價格製造，故可大量生產。 雖然上文說明了本發明之較佳實施例，但熟悉本技術 之人士應了解：本發明不應由所說明之較佳實施例所限 制，各種不同之變化與修改可在附隨之申請專利範圍所定 義之本發明的精神與範圍内施行。 〇 1223714 圖式簡單說明 五、【圖式簡單說明】 圖1係一典型圖示，顯示依本發明之第一較佳實施例 之通量閘感測器。 圖2A至2F係用以說明圖1之通量閘感測器之運作的波 形。 圖3 A至3 Μ為取自沿圖1之I - Γ線的剖面圖，顯示該通 量閘感測器之製造過程。 圖4Α係一平面圖，顯示以平行關係置於同一平面之二 桿式軟磁核心，以及實質上以數字「8」型態整體纏繞該 二桿式軟磁核心之聯合結構的激磁線圈。 圖4Β係一平面圖，顯示實質上以螺線管型態形成於圖 4Α之二桿式軟磁核心上面的接收線圈。 圖4C係一平面圖，顯示置於同一平面之矩形圈形軟磁 核心，以及纏繞該矩形圈式軟磁核心之聯合結構激磁線 圈。 圖4D係一平面圖，顯示實質上以螺線管型態形成於圖 4 C之軟率核心上的接收線圈。 圖5係一典型圖式，顯示依本發明之第二較佳實施例 之整合於印刷電路板的通量閘感測器。 圖6Α係一平面圖，顯示以平行關係置於同一平面之二 桿式軟磁核心，以及分別纏繞該二桿式軟磁核心之分離結 構的激磁線圈。 圖6Β係一平面圖，顯示實質上以螺線管型態纏繞圖6Α 之二桿式軟磁核心的接收線圈。

第21頁 1223714 圖式簡單說明 圖6 C係一平面圖，顯示置於同一平面之矩形圈式軟1兹 核心，以及各別纏繞該矩形圈式軟磁核心之兩較長邊的分 離結構激磁線圈。 圖6D係一平面圖，顯示實質上以螺線管型態纏繞圖6C 之矩形圈式軟磁核心的兩較長邊之接收線圈。 元件符號說明： 1〜第一桿式軟磁核心 2〜第二桿式軟磁核心 3〜激磁線圈 4〜接收線圈 2 1〜第一銅箔 2 2〜預浸膠片 2 4〜軟磁薄膜 2 5〜預浸膠片 2 6〜銅羯 2 7〜第一通孔 2 8〜感光塗料 2 9〜預浸膠片 3 0〜銅箔 3 1〜第二通孔 3 2〜預浸膠片 3 3〜銅片 34〜銅墊

第22頁 1223714 圖式簡單說明 35〜金 Η〜磁場 Β〜通量密度 t〜時間 H e X t〜外部磁場 H e X c〜激磁線圈之磁場 B e X t〜夕卜部磁場之通量密度 B e X c〜激磁線圈之通量密度 Vindl〜第一感應電壓 Vind2〜第二感應電

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Claims (1)

1223714 六、申請專利範圍 1，一種通量閘感測器，包含： 一軟磁核心，配置於一印刷電路板之上以形成一封閉 磁徑； 一激磁線圈，如一金屬膜般形成而捲曲環繞該軟磁核 心；以及 一接收線圈，如一金屬膜般形成，形成於該激磁線圈 之上而纏繞該軟磁核心。 2 ·如申請專利範圍第1項之通量閘感測器，其中該軟磁核 心包含以平行關係置於同一平面上之二棒桿。 3 ·如申請專利範圍第2項之通量閘感測器，其中該二棒桿 以其一長度處於磁場檢測之一方向中而形成。 4. 如申請專利範圍第3項之通量閘感測器，其中該激磁線 圈具備一實質上以數字「8」之型態交錯纏繞該二棒桿之 結構。， 5. 如申請專利範圍第4項之通量閘感測器，其中該接收線 圈之結構為·形成於激磁線圈之上、且貫質上以螺線管之 型態將該二棒桿整體纏繞起來。 6. 如申請專利範圍第4項之通量閘感測器，其中該接收線 圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管之

第24頁 1223714 六、申請專利範圍 型態各別地纏繞該二棒桿。 7 ·如申請專利範圍第3項之通量閘感測器，其中該激磁線 圈具備一實質上以螺線管之型態各別地纏繞該二棒桿之結 構。 8 ·如申請專利範圍第7項之通量閘感測器，其中該接收線 圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管之 型態將該二棒桿整體纏繞起來。 9 ·如申請專利範圍第7項之通量閘感測器，其中該接收線 圈之結構為··形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管之 型態各別地纏繞該二棒桿。 1 0.如申請專利範圍第1項之通量閘感測器，其中該軟磁核 心包含形成於同一平面之一矩形圈。 11.如申請專利範圍第1 0項之通量閘感測器，其中該矩形 圈以其一長度處於磁場檢測之一方向中而形成。 1 2.如申請專利範圍第1 1項之通量閘感測器，其中該激磁 線圈具備一實質上以數字「8」之型態交錯地纏繞該矩形 圈之兩較長邊之結構。

第25頁 1223714 六、申請專利範圍 1 3.如申請專利範圍第1 2項之通量閘感測器，其中該接收 線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管 之型態將該兩較長邊整體纏繞起來。 1 4.如申請專利範圍第1 2項之通量閘感測器，其中該接收 線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管 之型態各別地纏繞該兩較長邊。 1 5.如申請專利範圍第11項之通量閘感測器，其中該激磁 線圈具備一實質上以螺線管之型態各別纏繞該兩較長邊之f 結構。 1 6.如申請專利範圍第1 5項之通量閘感測器，其中該接收 線圈具備一形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管之型 態將該兩較長邊整體一起纏繞起來之結構。 1 7.如申請專利範圍第1 5項之通量閘感測器，其中該接收 線圈之i吉構為：形成於激磁線圈之上、且實質上以螺線管 之型態各別地纏繞該兩較長邊。 0 1 8. —種通量閘感測器之製造方法，其包含以下各步驟： 於一第一金屬片之上黏合一預浸膠片與一軟磁薄膜； 由I虫刻該軟磁薄膜而形成一軟磁核心； 於該軟磁核心之表層部份經由黏合一預浸膠片與第二

第26頁 1223714 六、申請專利範圍 金屬片而形成一第一基板； 於該軟磁核心之一邊與另一邊的位置上水平分隔地在 第一基板中形成第一通孔； 為該第一通孔鍍上金屬； 經由蝕刻而於該基板之兩表面上形成一激磁線圈； 於該激磁線圈之雙面經由黏合一預浸膠片與第三金屬 片而形成一第二基板； 依照形成第一通孔之方式於第二基板中形成第二通 子L ; 為該第二通孔鍍上金屬； 由蝕刻該第二基板之兩表面而形成一接收線圈； 於該接收線圈之兩表面上經由黏合一預浸膠片與第四 金屬片而形成一第三基板；以及 經由蝕刻該第三基板之雙面而形成一作為電傳導之用 的焊墊。 1 9.如申.請專利範圍第1 8項之通量閘感測器之製造方法， 其中該軟磁核心包含以平行關係置於同一平面上之二棒 2 0.如申請專利範圍第1 9項之通量閘感測器之製造方法， 其中該二棒桿以其一長度處於磁場檢測之一方向中而形 成0

第27頁 1223714 六、申請專利範圍 2 1.如申請專利範圍第2 0項之通量閘感測器之製造方法， 其中該激磁線圈具備一實質上以數字「8」之型態交錯地 纏繞該二棒桿之結構。 2 2.如申請專利範圍第2 1項之通量閘感測器之製造方法， 其中該接收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管之型態將該二棒桿整體纏繞起來。 2 3,如申請專利範圍第2 1項之通量閘感測器之製造方法， 其中該接收線圈之結構為··形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管之型態各別地纏繞該二棒桿。 2 4.如申請專利範圍第20項之通量閘感測器之製造方法， 其中該激磁線圈具備一實質上以螺線管之型態各別地纏繞 該二棒桿之結構。 2 5.如申，請專利範圍第24項之通量閘感測器之製造方法， 其中該接收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管之型態將該二棒桿整體纏繞起來。 2 6.如申請專利範圍第24項之通量閘感測器之製造方法， 其中該接收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管之型態各別地纏繞該二棒桿。

第28頁 1223714 六、申請專利範圍 2 7.如申請專利範圍第1 8項之通量閘感測器之製造方法， 其中該軟磁核心包含一矩形圈。 2 8 ·如申請專利範圍第2 7項之通量閘感測器之製造方法， 其中該矩形圈以其一長度處於磁場檢測之一方向中而形 成。 2 9 ·如申請專利範圍第2 8項之通量閘感測器之製造方法， 其中該激磁線圈具備一實質上以數字「8」之型態交錯地 纏繞該矩形圈之兩較長邊之結構。 3 0 ·如申請專利範圍第2 9項之通量閘感測器之製造方法， 其中該接收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管型態將該兩較長邊整體纏繞起來。 3 1.如申請專利範圍第2 9項之通量閘感測器之製造方法， 其中該摻收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管型態各別地纏繞該兩較長邊。 3 2.如申請專利範圍第2 8項之通量閘感測器之製造方法， 其中該激磁線圈具備一實質上以螺線管之型態各別地纏繞 該兩較長邊之結構。 3 3 ·如申請專利範圍第3 2項之通量閘感測器之製造方法，

第29頁 1223714 六、申請專利範圍 其中該接收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管型態將該兩較長邊整體纏繞起來。 3 4.如申請專利範圍第32項之通量閘感測器之製造方法， 其中該接收線圈之結構為：形成於激磁線圈之上、且實質 上以螺線管型態各別地纏繞該兩較長邊。 3 5.如申請專利範圍第1 8項之通量閘感測器之製造方法， 其中於形成通量閘感測器之元件之前，更包含以下步驟： 利用感光塗料與一曝光過程，為各元件形成一圖案。〇 3 6.如申請專利範圍第1 8項之通量閘感測器之製造方法， 其中更包含以下步驟： 為該焊墊鍍上金。

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