JP2005291904A - 磁気測定素子群及び磁気方位測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 センサの励磁効率及び検出効率の向上を図る。
【解決手段】 軟磁性材料からなる磁気コア10a、10bの周囲に、第1の導電線11と第2の導電線12とが巻回されており、第1の導電線11により外部磁界を検出する検出コイル14が構成され、第2の導電線12により磁気コア10a、10bを励磁する励磁コイル13が構成される磁気検出素子2a、2bが、複数個、並列に並んでなっており、隣接する磁気検出素子2a、2bの磁気コア10a、10bの周囲を、第1の導電線11及び第2の導電線12が連続して巻回されている。
【選択図】 図3
【解決手段】 軟磁性材料からなる磁気コア10a、10bの周囲に、第1の導電線11と第2の導電線12とが巻回されており、第1の導電線11により外部磁界を検出する検出コイル14が構成され、第2の導電線12により磁気コア10a、10bを励磁する励磁コイル13が構成される磁気検出素子2a、2bが、複数個、並列に並んでなっており、隣接する磁気検出素子2a、2bの磁気コア10a、10bの周囲を、第1の導電線11及び第2の導電線12が連続して巻回されている。
【選択図】 図3
Description
本発明は、地磁気方位測定する磁気測定素子群及び磁気方位測定装置に関する。
現在、各種電子回路で用いられるコイル素子において、デバイスに対する小型化要求の高まりから、半導体等の製造工程で利用されている薄膜プロセスを用いて、超小型化が図られている。
例えば、薄膜プロセスを用いて超小型磁気センサとして、薄膜フラックスゲート式磁気センサがある(特許文献1参照。)。この薄膜フラックスゲート式磁気センサ40は、図10に示すように、磁気コア41の周囲に、磁気コア40を励磁する励磁コイル41と外部磁界を検出する検出コイル42が形成されてなっている。また、励磁コイル41の巻数は、励磁効率と比例し、検出コイル42の巻数は、検出効率と比例する関係にある。
したがって、励磁コイル41の巻数が増加すれば励磁電流が少なくてすみ、一方、検出コイル42の巻数が増加すれば、同一の外部磁界強度に対する出力が大きくなり、検出感度が向上することになる。
ところで、薄膜プロセスを用いて巻線コイルを作成する場合、微細な導体が所定の間隔をおいて連続的に形成される必要があるため、フォトリソグラフィによるパターン分解能が、形成しようとするパターンの仕様(導体幅、導体間隔等)に対して十分とれていないお、導体が細すぎて断線(オープン)してしまったり、導体の間隔が狭すぎて分離不良(ショート)が発生してしまったりする。
すなわち、この分解能がコイルの巻数を制限(決定)することになる。そのため、同一の分解能下で巻数を増やそうとすれば、巻線部分を長くする、すなわち磁気コアの長手方向のサイズを大きくするか、パターン形成の層数を増す等の方法を採る必要がある。前者では、磁気センサのサイズが大きくなってしまう問題があり、後者では、プロセス数の増加に伴う製造コストの増加の問題につながってしまう。
特に、前者に関しては、磁気センサが実装される基板と垂直方向の磁界成分を検出する場合、大きな問題となる。すなわち、フラックスゲート型磁気センサにおいては、感度軸方向がコイル長手方向となるため、コイルの長手方向の大型化は、当該磁気センサが搭載される装置そのものを大きくすることになるため、部品実装の不安定さを増すばかりでなく、薄型化するセットにおいては搭載不可能となる場合がある。
これを回避するために、コイル長手方向のサイズを短くすると、巻数が減少してしまい、励磁効率と検出効率双方の低下を招くことになってしまう。
そこで、本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、感度軸方向であるコイルの長手方向のサイズの増大化を伴わずに、センサの励磁効率及び検出効率の向上を図る磁気検出素子群及び磁気検出システムを提供することを目的とする。
本発明に係る磁気検出素子群は、上記課題を解決するために、軟磁性材料からなる磁気コアの周囲に、第1の導電線と第2の導電線とが巻回されており、上記第1の導電線により外部磁界を検出する検出コイルが構成され、上記第2の導電線により上記磁気コアを励磁する励磁コイルが構成される磁気検出素子が、複数個、並列に並んでなっており、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、上記第1の導電線及び上記第2の導電線が電気的に直列に接続されて巻回されている。
また、本発明に係る磁気方位測定装置は、上記課題を解決するために、指向性を有する2個以上の磁気検出素子を、並列に所定距離離間して配置してなる磁気検出手段と、上記磁気検出手段で検出された磁気信号を増幅し、磁気方位情報を出力する増幅手段とを備え、上記磁気検出手段は、軟磁性材料からなる磁気コアの周囲に、第1の導電線と第2の導電線とが巻回されており、上記第1の導電線により外部磁界を検出する検出コイルが構成され、上記第2の導電線により上記磁気コアを励磁する励磁コイルが構成される磁気検出素子が、複数個、並列に並んでなっており、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、上記第1の導電線及び上記第2の導電線が電気的に直列に接続されて巻回されている。
本願発明に係る磁気検出素子群は、所定間隔を置いて並列に配置された各磁気コアの周囲に、連続して各磁気コアを励磁する励磁コイルと、外部磁界を検出する検出コイルが形成されてなる磁気検出素子群と、磁気検出素子群で検出された信号を増幅する検出・増幅回路を有するので、この磁気検出素子群を磁気方位測定装置に適用することにより、磁気検出素子群の感度軸方向のサイズの増大化を伴わずに外部磁界に対する出力感度を高めることができる。
また、本願発明に係る磁気検出素子群の各磁気検出素子が、各磁気検出素子により発生された漏洩磁束が互いに作用し合う距離に近接して配置されてなり、漏洩磁束がループをなすので、この磁気検出素子群を磁気方位測定装置に適用することにより、互いの励磁を補助し合い、磁気検出素子群の感度軸方向の増大化を伴わずに、励磁効率を高めることができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。この実施の形態は、図1に概略構成を示すように、指向性を有する複数の磁気検出素子からなる磁気検出素子群2を備え、磁気検出素子群2の各磁気検出素子の電磁出力を、検出・増幅回路3により増幅し、外部磁界の方位情報DIを生成する磁気方位測定装置1である。
磁気検出素子群2としては、後述するようにフラックスゲート方式、磁気抵抗素子、ホール素子等を用いることができる。この磁気検出素子群2と検出・増幅回路3とが、磁気検出部4を構成している。
制御部5は、磁気検出素子群2の後述する励磁コイルを励磁するための励磁信号や、検出・増幅回路3にて磁気検出素子群2の電磁出力を取り出し、方位情報DIを出力するための制御信号を生成して、各部に供給する。
なお、この実施の形態では、説明の便宜上磁気検出素子の数を2個とするが、2個以上であっても良い。なお、磁気検出素子の数の増加は、検出感度の向上に繋がるが、一方で、磁気検出素子群2のサイズの大型化に結びつくが、後述する薄膜化を利用することにより小型化を図ることができる。
磁気検出素子群2内の例えば2個の磁気検出素子2a、2bは、並列に配置されている。すなわち、磁気検出素子群2は、磁気検出素子2a、2bの配置の仕方や、後述する励磁コイルや、検出コイルの巻き方などに特徴がある。ここで、磁気検出素子群2の具体的な構成を説明する。
磁気検出素子群2は、図2に示すように、軟磁性材料からなる磁気コア10aと、磁気コア10bとが所定距離離間し、感度軸方向に対して並列に配置され、磁気コア10aと磁気コア10bの周囲に第1の導電線11と、第2の導電線12が巻回されてなっている。第1の導電線11及び第2の導電線12は、磁気コア10aと磁気コア10b間を連続して巻回されており、第1の導電線11により磁気コア10a及び磁気コア10bを励磁する励磁コイル13が構成され、第2の導電線12により外部磁界を検出する検出コイル14が構成されている。
また、第1の導電線11は、図3に示すように、電圧が印加されたときに、A方向に漏洩磁束Bが発生するように、磁気コア10aの周囲に巻回され、また、同様に、A方向に漏洩磁束Bが発生するように、磁気コア10bの周囲に巻回されている。つまり、第1の導電線11は、磁気コア10aと磁気コア10bに対して巻回し方向が同一となっている。また、第2の導電線12も第1の導電線11と同様に、図3に示すように、磁気コア10aに対する巻回し方向と磁気コア10bに対する巻回し方向が同一となっている。また、磁気検出素子2aと磁気検出素子2bは、発生した漏洩磁束Bが互いに作用し合わないだけ離間されて配置されている。
したがって、図3に示すように構成される磁気検出素子群2は、感度軸方向が同一方向となり、磁気的に並列に配置され、かつ、電気的には縦続的に接続されている。
また、第1の導電線11は、図4に示すように、電圧が印加されたときに、A方向に漏洩磁束Bが発生するように、磁気コア10aの周囲に巻回され、また、B方向に漏洩磁束Bが発生するように、磁気コア10bの周囲に巻回されている構成であっても良い。このときには、第1の導電線11は、磁気コア10aと磁気コア10bに対して巻回し方向が逆向きとなっている。また、第2の導電線12も第1の導電線11と同様に、図4に示すように、磁気コア10aに対する巻回し方向と磁気コア10bに対する巻回し方向が逆向きとなっている。また、磁気検出素子2aと磁気検出素子2bは、発生した漏洩磁束Bが互いに作用し合う距離に近接して配置されている。
したがって、図4に示すように構成される磁気検出素子群2は、感度軸方向が反対向きとなり、磁気検出素子2aの一方端側から発生した漏洩磁束Bが磁気検出素子2bの一方端側へ入力され、磁気検出素子2bの他方端側から発生した漏洩磁束Bが磁気検出素子2aの他方端側へ入力するように漏洩磁束Bがループをなし、互いの励磁を補助する関係にある。
つぎに、磁気検出素子群2の具体的な動作原理について説明する。なお、基本的には、磁気検出素子2a及び磁気検出素子2bの動作原理は同じなので、以下では、磁気検出素子2aの動作原理について述べる。
励磁コイル13に電流ieを流すと、磁気コア10a内には図5に示すような励磁磁界(磁束)Hieが発生する。励磁電流ieを交流信号とすることにより、磁気コア10a内磁束Hieも時間tに対して交流的に変化し、各々の検出コイル14には電磁誘導の法則により誘導電圧eが発生する。励磁電流の振幅を大きくし、磁化力をある程度以上に大きくしても磁気コア10aの磁束密度Bは図6に示すように増加しなくなり飽和状態となって、検出コイル誘導電圧eが大きく歪むこととなる。ここで、磁気検出素子群2に外部から磁界Hが印加された場合、磁気コア10a内磁束は励磁磁束Hieと外部磁界Hによる磁束が加算されたものとなる(Hie+H)。
このため、外部磁界Hの強度に応じ、磁気コア10aの飽和点が図7に示すように正または負側にシフトする。これにより、検出コイル誘導電圧eは、正負非対称な波形となる。これは誘導電圧の2次高調波成分が変化することと等価である。このため、誘導電圧信号を励磁信号の2倍の周波数で同期検波することにより、外部磁界強度Hに応じた電圧変化を取り出すことが可能となる。
ここで、薄膜プロセスにより上述した磁気検出素子群2が形成される具体例について図8を用いて以下に説明する。
先ず、Si等の非磁性材料よりなる基板20上に、Cuを例えば2μmメッキして下層コイル21を形成する。この下層コイル21は、後述の上層コイル25と接続され、磁気コア23にスパイラル状に巻回しされることになる。下層コイル21上と基板20上の一部には、下層コイル21を保護すると共に、この下層コイル21と磁気コア23との絶縁を図るためのコイル絶縁層22を例えばフォトレジストを熱硬化して形成する。
コイル絶縁層22の上には、例えばCo系アモルファス合金をリフトオフしてなる磁気コア23を形成する。このCo系アモルファス合金は、熱処理と磁場によって誘導磁気異方性を付与及び除去できる材料である。
さらに、磁気コア23の上には、磁気コア23と後述する上層コイル25とを絶縁するためのコイル絶縁層24を例えばフォトレジストを熱硬化して形成する。
コイル絶縁層24上には、上層コイル25を前記下層コイル21と同様にCuを例えば2μmメッキして形成する。そして、上層コイル25上とコイル絶縁層24の一部上には、上層コイル25を保護するための保護層26を例えばフォトレジストを熱硬化して形成する。
このように、本発明の実施の形態で用いる磁気検出素子群2は、非磁性基板上に薄膜プロセスにより、磁気コアの周囲に励磁用コイル13及び検出用コイル14を形成することができる。
次に、上述したような磁気検出素子群2を備える磁気方位測定装置1の詳細な構成について図9を参照して説明する。特に図1の検出・増幅回路3に相当する部分や、制御部5に相当する部分の詳細な構成について説明する。なお、説明の便宜上、磁気検出素子群2は、地磁気を電気信号に変換する方式(公知技術であるフラックスゲート方式)を用い、検出素子数を2個とする。もちろん、磁電変換方式として他の方式(例えば磁気抵抗素子、ホール素子など)を用いることも可能である。
図1の検出・増幅回路3に相当する部分は、磁気検出素子群2の出力信号を後述する発振器32から供給される信号に基づき同期検波を行う同期検波回路30と、同期検波回路30の出力信号を増幅する増幅回路31からなる。また、制御部5に相当する部分は、同期検波回路30と後述する分周回路33に信号を供給する発振器32と、発振器32から供給された信号を分周し、後述するドライブ回路34に供給する分周回路33と、分周回路33から供給された信号に基づき磁気検出素子群2を駆動するドライブ回路34からなる。
図9において、磁気検出素子群2の検出出力である誘導電圧信号は、同期検波回路30に供給される。
同期検波回路30は、誘導電圧信号を励磁信号周波数(f/2)の2倍の周波数(f)で同期検波し、増幅回路31に供給する。増幅回路31は、同期検波された誘導電圧信号を後段回路で信号を処理するに十分なレベルに増幅するとともに、高周波成分を図示しないLPF(Low Pass Filter)により除去する。増幅回路31の出力信号が方位情報DIとなる。
発振器32は、磁気検出素子群2の励磁コイルにドライブ回路34を介して供給する信号、同期検波回路30に供給されて同期検波用の制御信号の基になる周波数fの信号を発振する。
分周回路33は、発振器32からの周波数fの信号を、f/2に分周してドライブ回路34に供給する。
ドライブ回路34は、分周回路33からのf/2の信号を用いて磁気検出素子群2の励磁コイル13を駆動する。励磁コイル13は、磁気検出素子2a、2bに共通に設けられている。
分周回路33の構成について詳細に説明する。分周回路33は、バイナリカウンタにより構成され、発振器32からの周波数fをクロックCLK端子から取り入れて、f/2出力する。f/2の信号は、ドライブ回路34に供給される。
このように、本願発明に係る磁気方位測定装置1は、所定間隔を置いて並列に配置された各磁気コアの周囲に、連続して各磁気コアを励磁する励磁コイルと、外部磁界を検出する検出コイルが形成されてなる磁気検出素子群2と、磁気検出素子群2で検出された信号を増幅する検出・増幅回路3を有するので、磁気検出素子群2の感度軸方向の増大化を伴わずに外部磁界に対する出力感度を高めることができる。
また、本願発明に係る磁気方位測定装置1が有する磁気検出素子群2の各磁気検出素子が、各磁気検出素子により発生された漏洩磁束Bが互いに作用し合う距離に近接して配置されてなり、漏洩磁束Bがループをなすので、互いの励磁を補助し合い、磁気検出素子群2の感度軸方向の増大化を伴わずに、励磁効率を高めることができる。
なお、磁気検出素子群2は、フラックスゲートを用いる他に、例えば磁気抵抗素子、磁気インピーダンス素子、ホール素子等を用いる事が出来る。
1 磁気方位測定装置、2 磁気検出素子群、2a,2b 磁気検出素子、3 検出・増幅回路、4 磁気検出部、5 制御部、10a,10b 磁気コア、11 第1の導電線、12 第2の導電線、13 励磁コイル、14 検出コイル、30 同期検波回路、31 増幅回路、32 発振器、33 分周回路、34 ドライブ回路
Claims (10)
- 軟磁性材料からなる磁気コアの周囲に、第1の導電線と第2の導電線とが巻回されており、上記第1の導電線により外部磁界を検出する検出コイルが構成され、上記第2の導電線により上記磁気コアを励磁する励磁コイルが構成される磁気検出素子が、複数個、並列に並んでなっており、
隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、上記第1の導電線及び上記第2の導電線が電気的に直列に接続されて巻回されていることを特徴とする磁気検出素子群。 - 上記第1の導電線及び上記第2の導電線は、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、同一方向に巻回されていることを特徴とする請求項1記載の磁気検出素子群。
- 上記第1の導電線及び上記第2の導電線は、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、互いに反対方向に巻回されていることを特徴とする請求項1記載の磁気検出素子群。
- 一の磁気検出素子と他の磁気検出素子は、互いに磁気的な相互作用を及ぼす距離だけ離間して形成されていることを特徴とする請求項3記載の磁気検出素子群。
- 上記磁気コア、上記第1の導電線及び上記第2の導電線は、非磁性基板上に薄膜プロセスにより形成されることを特徴とする請求項1記載の磁気検出素子群。
- 指向性を有する2個以上の磁気検出素子を、並列に所定距離離間して配置してなる磁気検出手段と、
上記磁気検出手段で検出された磁気信号を増幅し、磁気方位情報を出力する増幅手段とを備え、
上記磁気検出手段は、軟磁性材料からなる磁気コアの周囲に、第1の導電線と第2の導電線とが巻回されており、上記第1の導電線により外部磁界を検出する検出コイルが構成され、上記第2の導電線により上記磁気コアを励磁する励磁コイルが構成される磁気検出素子が、複数個、並列に並んでなっており、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、上記第1の導電線及び上記第2の導電線が電気的に直列に接続されて巻回されていることを特徴とする磁気方位測定装置。 - 上記第1の導電線及び上記第2の導電線は、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、同一方向に巻回されていることを特徴とする請求項6記載の磁気方位測定装置。
- 上記第1の導電線及び上記第2の導電線は、隣接する磁気検出素子の磁気コアの周囲を、反対方向に巻回されていることを特徴とする請求項6記載の磁気方位測定装置。
- 一の磁気検出素子と他の磁気検出素子は、互いに磁気的な相互作用を及ぼす距離だけ離間して形成されていることを特徴とする請求項8記載の磁気方位測定装置。
- 上記磁気検出手段は、上記磁気コア、上記第1の導電線及び上記第2の導電線が、非磁性基板上に薄膜プロセスにより形成されてなることを特徴とする請求項6記載の磁気検出装置。
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