JP4524195B2 - 磁気検出素子 - Google Patents
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また、本発明は、磁性体に高周波電流を流し、外部磁界によりその透磁率が変化する磁気検出素子において、単一の非磁性基板上に形成され細長く互いに平行な複数本の並列パターンから成り前記磁性体としての磁性薄膜と、該磁性薄膜上に絶縁層を介して積層され、前記磁性薄膜に対しバイアス磁界を印加又は誘導出力を取り出すための渦巻き型平面コイルとを備え、前記磁性薄膜は、前記平面コイルの渦巻き中心部を横切って前記平面コイルの縁部に向けて延長するように配置されると共に、前記平面コイルの渦巻き中心部にあたる部分及び一方の端部においてそれぞれ隣接のパターンとショートパッドにより結ばれてつづら折れ状に接続され、前記2つのショートパッドの間を高周波電流を通電する通電区間部とすることを特徴とする。
図1は本発明の第1の実施形態を示す斜視図である。これは、基本の実施形態を示す。ガラス,セラミック等の非磁性基板10の上に、磁性薄膜で細長く互いに平行なパターンが形成された磁気検知部12が形成されている。磁界検知方向は、パターン長手方向に沿う図1に示す矢印方向である。磁性薄膜の磁化容易軸は、面内で長手方向とは直角の方向につけておくのが望ましく、バイアス磁界を印加しての磁性薄膜の形成や成膜後の磁場中熱処理で確保する。
図10は本発明の第2の実施形態を示す。第1の実施形態では、渦巻きコイルの2つが直列に接続された構成を説明したが、第2の実施形態では、図10に示すように単純に渦巻きコイルを1つとしたもので動作原理は第1の実施形態と共通である。磁性薄膜は絶縁膜を挟んで積層されるが、渦巻きの中心部を通り、その中央と端部の磁性薄膜の区間を通電する。
図11は本発明の第3の実施形態を示す。図11に示すように磁性薄膜の延長部は、反磁界の緩和に寄与するだけのためにあるので、通電区間部と延長部の非通電区間部の伸長方向を変えて、磁気検出素子の指向性を可変させる事も可能である。22はその磁気検知部12の延長部であり、通電区間部に対して直角に折り曲げられた形状となっている。
12 磁気検知部
14 平面コイル
14a、14b 平面コイルの両端
16 ショートパッド
16a、16b ショートパッド
18 電極
20 スルーホール
22 延長部
30 発振回路
32 検波回路
34 発振回路
36 検波回路
Claims (3)
- 磁性体に高周波電流を流し、外部磁界によりその透磁率が変化する磁気検出素子において、単一の非磁性基板上に形成され細長く互いに平行な複数本の並列パターンから成り前記磁性体としての磁性薄膜と、該磁性薄膜上に絶縁層を介して積層され、前記磁性薄膜に対しバイアス磁界を印加又は誘導出力を取り出すための2つの渦巻き型平面コイルとを備え、前記磁性薄膜は、前記2つの平面コイルの渦巻き中心部を横切って前記平面コイルの縁部に向けて延長するように配置されると共に、前記2つの平面コイルの渦巻き中心部にあたる部分でそれぞれ隣接のパターンとショートパッドにより結ばれてつづら折れ状に接続され、前記2つのショートパッドの間を高周波電流を通電する通電区間部とすることを特徴とする磁気検出素子。
- 磁性体に高周波電流を流し、外部磁界によりその透磁率が変化する磁気検出素子において、単一の非磁性基板上に形成され細長く互いに平行な複数本の並列パターンから成り前記磁性体としての磁性薄膜と、該磁性薄膜上に絶縁層を介して積層され、前記磁性薄膜に対しバイアス磁界を印加又は誘導出力を取り出すための渦巻き型平面コイルとを備え、前記磁性薄膜は、前記平面コイルの渦巻き中心部を横切って前記平面コイルの縁部に向けて延長するように配置されると共に、前記平面コイルの渦巻き中心部にあたる部分及び一方の端部においてそれぞれ隣接のパターンとショートパッドにより結ばれてつづら折れ状に接続され、前記2つのショートパッドの間を高周波電流を通電する通電区間部とすることを特徴とする磁気検出素子。
- 前記磁性薄膜は、前記平面コイルの渦巻き中心部の前記ショートパッドにおいて前記高周波電流を通電する通電区間部と通電しない非通電区間部との伸長方向を変えることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気検出素子。
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