JP7464420B2 - 磁気検出器 - Google Patents
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Description
外部磁界のない飽和していない状態において、図1の平面図に示すような磁区構造が存在する。各磁区の内部の各点は、単一の磁石の様に同一の(平行な)磁化方向であり、図1において、磁区内部の矢印は、それぞれの磁区の代表的な磁化方向を示す。磁化方向が変化する磁区の境界を、磁壁と呼ぶ。図1では、磁性薄膜20の幅方向(パターン短手方向)に、磁化容易軸71を形成している。
非磁性体からなる基板と、
前記基板の上に線形形状で形成される少なくとも1つ以上の磁性薄膜と、
前記磁性薄膜の周囲に配置される検出コイルとを備える直交フラックスゲート方式の磁気検出器であって、
前記磁性薄膜は、短手方向の端部が前記磁性薄膜の中央部より薄い側端部となる段差を有することで、前記磁性薄膜の90度磁壁が抑制され、
前記磁性薄膜の少なくとも一部に交流電流が通電されたときに、外部磁界の強度に応じて生ずる前記磁性薄膜の周囲の磁束変化による誘起電圧を前記検出コイルで検出することを特徴とする。
図2は、本発明の磁気検出器の実施形態1の全体構成を説明する図である。直交フラックスゲート方式の磁気センサにおいて、ノイズ量を低減する磁気検出器の全体構成について説明する。
磁性薄膜20が複数あるとき、それぞれの磁性薄膜の線形パターンは互いに平行に形成される。複数の磁性薄膜は、本実施形態のようにつづら折れ状に接続されて電気的に直列接続されてもよく、あるいは電気的に並列接続されていてもよい。全部の磁性薄膜20の区間に通電する必要はなく、少なくとも検出コイル30で検出可能な一部の区間に通電されていればよい。
W3<W1
W4<W1
W1+W3+W4≦W2
t1<t2
本発明の実施例として、図5の実施形態1の、磁性薄膜20の側端部21の形成方法を説明する。まず、非磁性基板上の一面にスパッタなどで磁性薄膜の材料を成膜して、イオンミリングやレーザー加工などで幅W2の矩形断面を有する線形形状の磁性薄膜のパターンを形成する。
図6、7には、図5に示した本発明の実施形態1との対比のために測定した、単純な矩形断面を有する線形磁性薄膜パターンの形状を2例、比較例1、2として示す。図6の磁性薄膜(比較例1)の幅W5は、図5の幅W1に近いものとし、図7の磁性薄膜(比較例2)は、より広い幅W6で、図5の幅W2に近いものとしている(W5<W6)。
図6の比較例1(幅W5)の、磁区構造とFG波形の測定結果を図9に示す。図6の比較例1のような幅の狭い矩形の平面形状のとき、図9(a)の磁区構造を見ると、幅方向の両側部に磁界検出方向に磁化した磁区が多く存在して、90度磁壁が多くあることがわかる。また、磁化容易軸に沿う方向に磁化した磁区の面積は、幅W5が狭いため小さくなっている。
図7の比較例2(幅W6)の、磁区構造とFG波形の測定結果を図10に示す。図7の比較例2は、図6と比較して幅が広い(W6>W5)矩形形状の平面形状の磁性薄膜である。図10(a)の磁区構造を見ると、幅方向の両側部に磁界検出方向を向く磁区が多く存在して、90度磁壁が多くあることがわかる。
これらの比較例に対して図8には、側端部21に段差22を備える本発明の実施形態1の磁性薄膜形状(図5)のときの、磁区構造とFG波形の測定結果を示す。図8(a)の磁区構造の観察結果には、段差22を形成したことによる磁区境界への影響が段差境界22a、22bとして明確に見えている。
10 非磁性基板
20 磁性薄膜
21 側端部
22 段差
22a、22b 段差境界
30 検出コイル
40 駆動部
50 検波部
60 共振調整部
70 磁界検出方向
71 磁化容易軸
81,82 磁区
Claims (6)
- 非磁性体からなる基板と、
前記基板の上に線形形状で形成される少なくとも1つ以上の磁性薄膜と、
前記磁性薄膜の周囲に配置される検出コイルとを備える直交フラックスゲート方式の磁気検出器であって、
前記磁性薄膜は、短手方向の端部が前記磁性薄膜の中央部より薄い側端部となる段差を有し、
前記側端部の前記短手方向の長さW3と、前記段差の高低差t1は、W3/t1が3から6の間の値となる関係であり、前記側端部の厚みt2に対し、t1/(t1+t2)が、0.25から0.45となる関係であることで前記磁性薄膜の90度磁壁が抑制され、
前記磁性薄膜の少なくとも一部に交流電流が通電されたときに、外部磁界の強度に応じて生ずる前記磁性薄膜の周囲の磁束変化による誘起電圧を前記検出コイルで検出することを特徴とする磁気検出器。 - 前記磁性薄膜が前記基板と接する前記短手方向の長さW2は10μm以上30μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気検出器。
- 前記検出コイルは、少なくとも1つ以上の前記磁性薄膜の周囲に巻回されて形成されることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の磁気検出器。
- 前記検出コイルは、少なくとも1つ以上の前記磁性薄膜の上に絶縁層を介して渦巻き状に形成された平面コイルであることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の磁気検出器。
- 複数の前記磁性薄膜が、つづら折れ状に接続されて電気的に直列接続または電気的に並列接続されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の磁気検出器。
- 前記検出コイルに電気的に並列に共振調整部が接続されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の磁気検出器。
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