JP2002286822A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- JP2002286822A JP2002286822A JP2001088493A JP2001088493A JP2002286822A JP 2002286822 A JP2002286822 A JP 2002286822A JP 2001088493 A JP2001088493 A JP 2001088493A JP 2001088493 A JP2001088493 A JP 2001088493A JP 2002286822 A JP2002286822 A JP 2002286822A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- magnetic field
- coil
- planar coil
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Abstract
(57)【要約】
【課題】磁気インピーダンス素子や磁気抵抗効果素子を
用いた磁気センサは、バイアス磁界やフィードバック磁
界を掛けて使用されることがある。その手段としてはソ
レノイドコイルが有るが、その場合、小型化・薄型化の
妨げとなる。そこで、フィードバック磁界を掛けても小
型化・薄型化する対策が必要となる。 【解決手段】本発明による磁気センサは、磁気インピー
ダンス素子や磁気抵抗効果素子を利用した磁気センサ
で、バイアス磁界やフィードバック磁界を発生させるた
めの平面コイルを有することを特徴としている。ここに
平面コイルは、センサ素子とは別の基板に作製したもの
を用いても良いし、センサ素子の中に作り込んでも良
い。
用いた磁気センサは、バイアス磁界やフィードバック磁
界を掛けて使用されることがある。その手段としてはソ
レノイドコイルが有るが、その場合、小型化・薄型化の
妨げとなる。そこで、フィードバック磁界を掛けても小
型化・薄型化する対策が必要となる。 【解決手段】本発明による磁気センサは、磁気インピー
ダンス素子や磁気抵抗効果素子を利用した磁気センサ
で、バイアス磁界やフィードバック磁界を発生させるた
めの平面コイルを有することを特徴としている。ここに
平面コイルは、センサ素子とは別の基板に作製したもの
を用いても良いし、センサ素子の中に作り込んでも良
い。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、外部磁界を検出す
る磁気インピーダンス素子を用いた磁気センサに関する
ものである。
る磁気インピーダンス素子を用いた磁気センサに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】微弱な磁界を検出するセンサには、磁気
識別センサや方位センサ等があり、これらセンサには、
磁気インピーダンス素子、磁気抵抗効果素子、フラック
スゲート等が用いられている。ただし、フラックスゲー
トはセンサの小型化に関して難点がある。
識別センサや方位センサ等があり、これらセンサには、
磁気インピーダンス素子、磁気抵抗効果素子、フラック
スゲート等が用いられている。ただし、フラックスゲー
トはセンサの小型化に関して難点がある。
【０００３】磁気インピーダンス素子や磁気抵抗効果素
子は、外部磁界の正・負に対する出力特性が概ね対称で
あるので、バイアス磁界を掛けて使うことが多い。この
バイアス磁界印加には磁石やソレノイドコイル等が用い
られている。
子は、外部磁界の正・負に対する出力特性が概ね対称で
あるので、バイアス磁界を掛けて使うことが多い。この
バイアス磁界印加には磁石やソレノイドコイル等が用い
られている。
【０００４】また、上記センサは、フィードバック回路
を用いることで線型な特性を得ることが出来る。この場
合、フィードバック磁界はソレノイドコイルで発生させ
るのが普通である。
を用いることで線型な特性を得ることが出来る。この場
合、フィードバック磁界はソレノイドコイルで発生させ
るのが普通である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ソレノイドコ
イルでは、コイル径が大きく、センサの小型化・薄型化
の妨げとなる。そこで、バイアス磁界やフィードバック
磁界を掛けても小型化・薄型化する対策が必要となる。
イルでは、コイル径が大きく、センサの小型化・薄型化
の妨げとなる。そこで、バイアス磁界やフィードバック
磁界を掛けても小型化・薄型化する対策が必要となる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による磁気センサ
は、磁気インピーダンス素子や磁気抵抗効果素子を利用
した磁気センサで、バイアス磁界やフィードバック磁界
を発生させるための平面コイルを有することを特徴とし
ている。ここに平面コイルは、センサ素子とは別の基板
に作製したものを用いても良いし、センサ素子の中に作
り込んでも良い。
は、磁気インピーダンス素子や磁気抵抗効果素子を利用
した磁気センサで、バイアス磁界やフィードバック磁界
を発生させるための平面コイルを有することを特徴とし
ている。ここに平面コイルは、センサ素子とは別の基板
に作製したものを用いても良いし、センサ素子の中に作
り込んでも良い。
【０００７】磁気センサの使用目的によっては、単層の
平面コイルだけでは、発生磁界が不充分な場合もあり得
る。そのような場合は、コイルを多層にすることで対応
できる。
平面コイルだけでは、発生磁界が不充分な場合もあり得
る。そのような場合は、コイルを多層にすることで対応
できる。
【０００８】図４は平面コイルの発生磁界方向を示した
ものである。図中磁界の向きは、平面コイル上方での向
きを表している。平面コイル１の電極２から電極２’へ
電流を流したとき、平面コイルの一部分３と３’では、
流れる電流が互いに逆向きになっている。それに応じて
平面コイルの発生する磁界の向きも互いに逆向きにな
る。したがって、磁気センサ素子を平面コイル上に取り
付けるときは、平面コイルの発生する磁界の向きが概ね
揃っている領域を利用するようにする。
ものである。図中磁界の向きは、平面コイル上方での向
きを表している。平面コイル１の電極２から電極２’へ
電流を流したとき、平面コイルの一部分３と３’では、
流れる電流が互いに逆向きになっている。それに応じて
平面コイルの発生する磁界の向きも互いに逆向きにな
る。したがって、磁気センサ素子を平面コイル上に取り
付けるときは、平面コイルの発生する磁界の向きが概ね
揃っている領域を利用するようにする。
【０００９】
【作用】本発明により、フィードバック磁界発生用コイ
ルを有する磁気センサを小型化・薄型化することが出来
る。
ルを有する磁気センサを小型化・薄型化することが出来
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した実施例に
ついて、図を参照しながら詳細に説明する。なお、本発
明は以下の実施例に限定されるものではなく、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で、構成を任意に変更することが
可能であることは言うまでもない。
ついて、図を参照しながら詳細に説明する。なお、本発
明は以下の実施例に限定されるものではなく、本発明の
要旨を逸脱しない範囲で、構成を任意に変更することが
可能であることは言うまでもない。
【００１１】
【実施例】図１に本発明を適用した磁気センサの構成を
示す。このセンサは、センサ素子４と平面コイル１で構
成されている。本実施例では、平面コイル１は厚さ１ｍ
ｍのプリント基板に形成されている。センサ素子４に
は、薄膜磁気インピーダンス素子を用いている。平面コ
イル１の表面は絶縁膜で覆われており、その上にセンサ
素子４が接着剤で固定されている。センサ素子４はセン
サ素子の電極５からワイヤボンディングによって、平面
コイルに設けた中継用電極７を経由し、外部回路に接続
する。コイルパターン９の、センサ素子４の位置でのパ
ターン幅（ライン・スペース）は５００μｍ・１００μ
ｍで、センサ素子４から離れた側は１００μｍ・１００
μｍとなっている。コイルの巻き数は５である。コイル
パターンの端点８、およびコイルパターンの電極６’は
スルーホールになっており、裏を通って接続されてい
る。
示す。このセンサは、センサ素子４と平面コイル１で構
成されている。本実施例では、平面コイル１は厚さ１ｍ
ｍのプリント基板に形成されている。センサ素子４に
は、薄膜磁気インピーダンス素子を用いている。平面コ
イル１の表面は絶縁膜で覆われており、その上にセンサ
素子４が接着剤で固定されている。センサ素子４はセン
サ素子の電極５からワイヤボンディングによって、平面
コイルに設けた中継用電極７を経由し、外部回路に接続
する。コイルパターン９の、センサ素子４の位置でのパ
ターン幅（ライン・スペース）は５００μｍ・１００μ
ｍで、センサ素子４から離れた側は１００μｍ・１００
μｍとなっている。コイルの巻き数は５である。コイル
パターンの端点８、およびコイルパターンの電極６’は
スルーホールになっており、裏を通って接続されてい
る。
【００１２】センサ素子４と平面コイル１を合わせた厚
みは１．３ｍｍである。平面コイル１をフレキシブル基
板にすることで、さらに薄型化を図ることもできる。
みは１．３ｍｍである。平面コイル１をフレキシブル基
板にすることで、さらに薄型化を図ることもできる。
【００１３】図２に測定回路を示す。この回路は、発振
部１３、検波部１４、基準電圧部１５、増幅部１６、電
流・電圧変換部１７を備えている。上記磁気センサは、
図中１２として組み込まれ、フィードバック線１０、１
０’が磁気センサの６、６’に接続される。フィードバ
ック線１０に流れる電流を電流・電圧変換部１７で電圧
に変換し出力端子１８−１８’で取り出す。この出力端
子１１−１１’間の電圧がセンサの出力となる。
部１３、検波部１４、基準電圧部１５、増幅部１６、電
流・電圧変換部１７を備えている。上記磁気センサは、
図中１２として組み込まれ、フィードバック線１０、１
０’が磁気センサの６、６’に接続される。フィードバ
ック線１０に流れる電流を電流・電圧変換部１７で電圧
に変換し出力端子１８−１８’で取り出す。この出力端
子１１−１１’間の電圧がセンサの出力となる。
【００１４】図３に本実施例での測定結果を示す。出力
感度５．７ｍＶ／Ａｍ−１の特性が得られている。
感度５．７ｍＶ／Ａｍ−１の特性が得られている。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、フィードバックコイルを有する薄型な磁気セ
ンサを提供することが出来る。
によれば、フィードバックコイルを有する薄型な磁気セ
ンサを提供することが出来る。
【図１】本発明を適用した磁気センサの構成例
【図２】図１の磁気センサを用いた磁気測定回路
【図３】図２の出力特性
【図４】平面コイルの発生磁界方向
【符号の説明】 １ 平面コイル ２，２’ 平面コイルの電極 ３，３’ 平面コイルの一部分 ４ センサ素子 ５ センサ素子の電極 ６，６’ コイルパターンの電極 ７，７’ 平面コイルに設けた中継用電極 ８ 平面コイルパターン ９ コイルパターンの端点 １０ フィードバック線 １１，１１’ 出力端子 １２ 磁気センサ １３ 発振部 １４ 検波部 １５ 基準電圧部 １６ 増幅部 １７ 電流・電圧変換部
Claims (1)
- 【請求項１】磁気インピーダンス素子や磁気抵抗効果素
子を利用した磁気センサで、平面コイルを有することを
特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001088493A JP2002286822A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001088493A JP2002286822A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002286822A true JP2002286822A (ja) | 2002-10-03 |
Family
ID=18943580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001088493A Pending JP2002286822A (ja) | 2001-03-26 | 2001-03-26 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002286822A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002289940A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Uchihashi Estec Co Ltd | 磁気インピーダンス効果センサー |
| KR20040011132A (ko) * | 2002-07-29 | 2004-02-05 | 주식회사 씨앤케이 | 평면 바이어스 코일을 이용한 자계센서 |
| JP2007047115A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Nec Tokin Corp | 磁気センサ |
| JP2007093350A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Canon Electronics Inc | 磁気検出素子 |
| CN103091648A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
| CN103091649A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
| CN103091647A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
| JP2015219061A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 磁界検出センサ及びそれを用いた磁界検出装置 |
-
2001
- 2001-03-26 JP JP2001088493A patent/JP2002286822A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002289940A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-04 | Uchihashi Estec Co Ltd | 磁気インピーダンス効果センサー |
| KR20040011132A (ko) * | 2002-07-29 | 2004-02-05 | 주식회사 씨앤케이 | 평면 바이어스 코일을 이용한 자계센서 |
| JP2007047115A (ja) * | 2005-08-12 | 2007-02-22 | Nec Tokin Corp | 磁気センサ |
| JP2007093350A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Canon Electronics Inc | 磁気検出素子 |
| JP4625743B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-02-02 | キヤノン電子株式会社 | 磁気検出素子 |
| CN103091648A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
| CN103091649A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
| CN103091647A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 爱盛科技股份有限公司 | 磁感测装置 |
| JP2015219061A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | Tdk株式会社 | 磁界検出センサ及びそれを用いた磁界検出装置 |
| US9983273B2 (en) | 2014-05-15 | 2018-05-29 | Tdk Corporation | Magnetic field detecting sensor and magnetic field detecting apparatus using the same |
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