JP2009180608A - Icチップ形電流センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】ICチップ化された高感度磁気センサを、ケーブル等の被測定対象に流れる電流測定用に応用したICチップ形電流センサを提供し、小形化と大幅な感度向上を図る。
【解決手段】被検出電流によって発生する磁界の検出により被検出電流を検出するようにした電流センサにおいて、磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4で構成したブリッジ回路7と、該ブリッジ回路7の磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4を磁化するセット/リセットコイル8と、該ブリッジ回路7の出力電圧調整用オフセットコイル9とを備えたICチップから成る磁気センサ10を用い、上記ブリッジ回路7の電圧出力で上記出力電圧調整用オフセットコイル9を付勢するフィードバック回路F′を形成し、該出力電圧調整用オフセットコイル9を被検出電流によって発生する磁界を常に略ゼロに近づくように制御するフィードバックコイル17として転用したICチップ形電流センサ。
【選択図】 図5
【解決手段】被検出電流によって発生する磁界の検出により被検出電流を検出するようにした電流センサにおいて、磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4で構成したブリッジ回路7と、該ブリッジ回路7の磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4を磁化するセット/リセットコイル8と、該ブリッジ回路7の出力電圧調整用オフセットコイル9とを備えたICチップから成る磁気センサ10を用い、上記ブリッジ回路7の電圧出力で上記出力電圧調整用オフセットコイル9を付勢するフィードバック回路F′を形成し、該出力電圧調整用オフセットコイル9を被検出電流によって発生する磁界を常に略ゼロに近づくように制御するフィードバックコイル17として転用したICチップ形電流センサ。
【選択図】 図5
Description
本発明は主として地磁気測定に用いられている、ICチップ化された高感度磁気センサを、ケーブル等の被測定対象に流れる電流測定用に応用したICチップ形電流センサに関する。
従来のケーブル等に流れる電流を検出する電流センサは、図1に示すように、強磁性体から成る環状コア1の適所にギャップ2を設け、該ギャップ2内にホール素子3を配置し、図示のように、環状コア1の中心にケーブル4を通挿してケーブル4に流れる電流に比例した磁束をホール素子3で検出する構造を有する。
即ちケーブル4の周囲には該ケーブル4に流れる電流に比例した磁界が発生し、その磁束を環状コア1で集磁しつつ上記ギャップ2内に配したホール素子3で検出し、該検出磁束を電圧に変換しアンプ5を介して出力する構造を有している。
而して上記在来型電流センサはホール素子の検出感度が低いので、数アンペア以下の低電流を正確に検出することが困難であり、その使用範囲が例えば数十アンペア以上の電流測定用に限定される問題と、感度を上げるためには大径の環状コアの使用が不可欠となりセンサ全体の大形化を招来する問題を有していた。
又従来は上記ホール素子3の欠点である出力の非直線性、及び温度による出力のバラツキ等を改善する手段として、図1に示すように、環状コア1にフィードバックコイル6を巻き、ホール素子3の出力、即ちアンプ5の出力で該フィードバックコイル6を付勢するフィードバック回路Fを形成し、該フィードバックコイル6に流れる帰還電流によって発生する磁界と、上記ケーブル4に流れる電流によって発生した磁界とを相殺し、ホール素子3の出力を常に略ゼロに近づくように制御し、該フィードバックコイル6に流れる帰還電流を抵抗で電圧に変換して出力し、上記被検出電流(ケーブル4に流れる電流)に比例した出力電圧を得るようにしている。
上記フィードバック回路によってホール素子3の非直線性及び温度による出力のバラツキ等が改善される利点を有するが、他方該フィードバック回路の形成によって構成が更に複雑となり、大形化を助長する原因となっている。
本発明は被検出電流によって発生する磁界の検出により被検出電流を検出するようにした電流センサにおいて、磁気抵抗素子で構成したブリッジ回路と、該ブリッジ回路の磁気抵抗素子を磁化するセット/リセットコイルと、該ブリッジ回路の出力電圧調整用オフセットコイルとを備えたICチップから成る磁気センサを用い、上記ブリッジ回路の電圧出力で上記出力電圧調整用オフセットコイルを付勢するフィードバック回路を形成し、該出力電圧調整用オフセットコイルを被検出電流によって発生する磁界を常に略ゼロに近づくように制御するフィードバックコイルとして転用し、小形化にして且つ高精度のICチップ形電流センサの提供を可能にしたものである。
上記磁気センサは概略0.5ガウス程度の地磁気を検出する感度を有する。この地磁気は電流センサとして応用する場合、外乱要因となるため、上記ICチップ形電流センサはブリッジ回路への地磁気と外部磁気の入力を遮断する磁気シールドで保護する。
又上記ICチップ形電流センサをケーブルに流れる電流を測定するセンサとして用いる場合、ケーブルを包囲する器体内に保有せしめ、ケーブルの導線からの距離が常に一定距離となるようにICチップ形電流センサを設置して電流検出が行えるようにする。
上記シールドを使用する場合、該シールドは上記ケーブルとICチップ形電流センサを包囲するように器体と一体に配設する。
本発明はICチップ化された磁気センサの電流センサへの転用目的を達成し、高精度で且つ小形のICチップ形電流センサの提供を可能にしたものである。
又本発明は磁気センサを構成している出力電圧調整用オフセットコイルを電流センサを構成する上で不可欠なフィードバックコイルとして使用することにより、新たなフィードバックコイルを設けることなく、即ちICチップ化された磁気センサに手を加えることなく、同フィードバックコイルを内蔵した小形で且つ安価なICチップ形電流センサを提供できる。
以下本発明を実施するための最良の形態を図2乃至図7に基づき説明する。
図2に示すように、磁気センサー10は、強磁性体から成る磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4をブリッジに組んだブリッジ回路7を形成する薄膜7′と、該ブリッジ回路7を磁化するセット/リセットコイル8を構成する薄膜8′と、該ブリッジ回路7の出力電圧調整用オフセットコイル9を構成する薄膜9′とを積層したICチップから成る。
図2に示すように、磁気センサー10は、強磁性体から成る磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4をブリッジに組んだブリッジ回路7を形成する薄膜7′と、該ブリッジ回路7を磁化するセット/リセットコイル8を構成する薄膜8′と、該ブリッジ回路7の出力電圧調整用オフセットコイル9を構成する薄膜9′とを積層したICチップから成る。
尚理解を助けるため、上記両コイル8,9は薄膜7′を巻装する線輪を以って図示したが、実際は絶縁膜の表面に渦巻き状にパターン形成した構造のものである。
上記セット/リセットコイル8(薄膜8′)と出力電圧調整用オフセットコイル9(薄膜9′)とブリッジ回路7(薄膜7′)の積層体は基板11(シリコン等)上に互いに重畳して配置すると共に、両コイル8,9は互いに直交して配置し、両コイル8,9の両端とブリッジ回路7の入力端V1,V2と同出力端V3,V4の夫々を導電路12を介して基板11辺縁部に配置した電極13群に接続する。
上記磁気センサ10を構成するICチップの大きさは、縦横約0.5ミリメートル程度である。従ってこれを使用するICチップ形電流センサ10′も、縦横0.5ミリメートル程度にすることができる。次にその動作について説明する。
上記電極13と導電路12を介して上記セット/リセットコイル8に短時間電流を流すと、ブリッジ回路7を構成する磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4が磁化され、測定磁界の磁気が印加されることによって、対向する一組の磁気抵抗素子R1,R2の抵抗値が減少し、他の対向する一組の磁気抵抗素子R3,R4の抵抗値が増大してブリッジ回路7に不平衡を生じ、この結果、出力端V3,V4、即ち電極13に測定磁界の磁気に比例した出力電圧が得られる。
図4に示すように、実際には上記磁気センサ10を構成するICチップは、絶縁材14内に埋設してICパッケージ15、即ちICパッケージにした磁気センサを形成する。
上記ICチップの電極13群はICパッケージ15の外部端子16群にボンディング等にて接続されており、上記ブリッジ回路7の入出力端V1,V2,V3,V4と、セット/リセットコイル8の両端と、出力電圧調整用オフセットコイル9の両端の夫々が電極13群を経由して外部端子16群に接続されている。
前記の通り、上記磁気センサ10が縦横0.5ミリメートル程度の大きさであるため、上記ICパッケージ15も1(厚み)×1(横)×4(縦)ミリメートル程度の大きさに製造できる。
上記磁気センサ10及びそのICパッケージ15としては、ハネウェルインターナショナル社製磁気センサ及びそのICパッケージ(型番:HMC1041Z)が代表例として挙げられる。
本発明は上記磁気センサ10をケーブル4やブスバー等の被検出対象に流れる電流の検出センサとして用いたものである。以下、図4、図5A,Bを参照しつつ、上記磁気センサ10を用いたICチップ形電流センサの具体例について説明する。
磁気センサ10は図2、図3、図4に基づいて説明した通り、磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4で構成したブリッジ回路7と、該ブリッジ回路7の磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4を磁化するセット/リセットコイル8と、該ブリッジ回路7の出力電圧調整用オフセットコイル9とを備えたICチップから成る。
本発明は上記出力電圧調整用オフセットコイル9を電流センサにおけるフィードバックコイル17として用い、該フィードバックコイル17を付勢するフィードバック回路F′を構成したものである。
上記ブリッジ回路7の出力端V3,V4からの出力(電圧)を電極13を介してアンプ18(増幅兼電流変換器)に入力し、該アンプ18で増幅しつつ電流に変換し、該電流を電極13を介してフィードバックコイル17の一端に入力する。アンプ18としてはオペアンプが適当である。
上記フィードバック回路F′のフィードバックコイル17に帰還電流が流れることによって磁界が発生し、アンプ18は該磁界とケーブル4に流れる電流によって発生した磁界とを相殺するように動作する。
これにより、フィードバックコイル17の他端(フィードバック回路F′の出力側端部)に接続された抵抗RLによって定まるケーブル4に流れる電流に比例した電圧がフィードバック回路F′の出力端、即ち抵抗RLの両端から出力される。
上記フィードバック回路F′は、上記被検出電流によって発生する磁界を上記フィードバック回路F′に流れる帰還電流によって発生する磁界と相殺し、ブリッジ回路7の出力が常に略ゼロに近づくように制御する。
本発明は磁気センサ10の出力電圧調整用オフセットコイル9を、上記の通り、フィードバック回路F′のフィードバックコイル17として構成し、該フィードバック回路F′を備える図5Bに示すセンサ10′、又は図4に示す該センサ10′を内蔵せるICパッケージ15をICチップ形電流センサとして用いたものである。ICパッケージ15の構造については前記の通りである。
よって小形化にして且つ高精度のICチップ形電流センサの提供を可能にしたものである。
好ましい実施例として、上記磁気センサ10は概略0.5ガウス程度の地磁気を検出する非常に高い感度を有し、この地磁気は電流センサとして応用する場合、外乱要因となるため、図5Aに示すように、上記ICチップ形電流センサを構成するブリッジ回路7、即ち磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4素子への地磁気と外部磁気の入力を遮断する磁気シールド19で保護する。
次に図6、図7に示すように、上記ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15をケーブル4に流れる電流を測定するセンサとして用いる場合、ケーブル4を包囲する器体20を用意し、該器体20内に上記ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15を保有せしめ、ケーブル4の導線からの距離が常に一定距離となるようにICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15を設置して電流検出が行えるようにする。
上記器体20は中央部にケーブル挿通孔21を有する筒形の非磁性材によって形成し、例えば合成樹脂、又はアルミニウムに代表される非磁性金属にて筒形に形成し、そのケーブル挿通孔21内にケーブル4を挿通し、上記ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15をケーブル4外周の所定位置に配置する。
具体例として、上記器体20はケーブル挿通孔21の内周面をケーブル4の外周面に接してケーブル4を捕捉するようにし、ケーブル導線22に対する相対位置を設定し、移動不可にする。
上記ケーブル挿通孔21内へのケーブル挿通を容易にする例示として、上記器体20を分割可能な構造にする。即ち対向する一母線上を開閉ヒンジとし、他の一母線上を開閉口とし、該開閉口を閉鎖状態に保持するロック手段を設ける。
上記磁気シールド19を使用する場合、該シールド19は上記ケーブル4とICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15を包囲するように器体20と一体に配設する。例えば器体20の外周面を覆うように配巡する。又は器体20の外周面とケーブル4の延在方向の両端面を覆うように配巡する。
上記ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15は上記器体20を用いずに、ケーブル4の外面に接着等して使用できる。
又はケーブル4が被覆ケーブルの場合、該被覆内に上記ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15を埋設する使用形態を採ることができる。
上記ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15は、配線回路基板23上に搭載し、上記器体20に保有せしめる。該器体20にはコンピュータやモニタ装置等に接続する端子を設け、ケーブル24を介してこれらと接続する。
又上記配線基板23上には、ICチップ形電流センサ10′又はICパッケージ15と協働するアンプやADコンバータやCPU等の制御回路を搭載し、電流センサ10′を構成できる。又上記制御回路をICパッケージ15内に内蔵できる。
V1,V2…ブリッジ回路の入力端、V3,V4……ブリッジ回路の出力端、R1,R2,R3,R4…磁気抵抗素子、4…ケーブル、7…ブリッジ回路、7′…ブリッジ回路を構成する薄膜、8…セット/リセットコイル、8′…セット/リセットコイルを構成する薄膜、9…出力電圧調整用オフセットコイル、9′…出力電圧調整用オフセットコイルを構成する薄膜、10…磁気センサ、10′…ICチップ形電流センサ、11…基板、12…導電路、13…電極、14…絶縁材、15…ICパッケージ、16…外部端子、17…フィードバックコイル、18…アンプ、19…磁気シールド、20…器体、21…ケーブル挿通孔、22…ケーブル導線、23…配線基板、24…ケーブル、F′…フィードバック回路。
Claims (3)
- 被検出電流によって発生する磁界の検出により被検出電流を検出するようにした電流センサにおいて、磁気抵抗素子で構成したブリッジ回路と、該ブリッジ回路の磁気抵抗素子を磁化するセット/リセットコイルと、該ブリッジ回路の出力電圧調整用オフセットコイルとを備えたICチップから成る磁気センサを用い、上記ブリッジ回路の電圧出力で上記出力電圧調整用オフセットコイルを付勢するフィードバック回路を形成し、該出力電圧調整用オフセットコイルを被検出電流によって発生する磁界を常に略ゼロに近づくように制御するフィードバックコイルとして転用したことを特徴とするICチップ形電流センサ。
- 上記ブリッジ回路への地磁気と外部磁気の入力を遮断する磁気シールドを備えたことを特徴とする請求項1記載のICチップ形電流センサ。
- ケーブルを包囲する器体内に保有せしめたことを特徴とする請求項1記載のICチップ形電流センサ。
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