JPWO2010143666A1 - 磁気平衡式電流センサ - Google Patents
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Abstract
Description
(実施の形態1)
本実施の形態においては、フィードバックコイルがトロイダル型であり、磁気コアがフィードバックコイルの内側に設けられている場合について説明する。
図4は、被測定電流に対する磁気抵抗効果素子が受ける磁界の大きさを測定するための磁気平衡式電流センサの構成を示す図である。図4に示す磁気平衡式電流センサは、フィードバックコイル(Cu)12の内部に、厚さ10μm、長さ100μmの2つの磁気コア(NiFe)13が配設されている。磁気コア13間の距離は90μmである。2つの磁気コア13の間には、長さが50μmである磁気抵抗効果素子141が配設されている。この構成において、フィードバックコイル12、磁気コア13及び磁界検出ブリッジ回路(図示せず)が同一基板上に形成されている。
本実施の形態においては、フィードバックコイルがスパイラル型であり、磁気コアがフィードバックコイルの上方及び下方に設けられている場合について説明する。
図11は、フィードバックコイルに流れる電流(フィードバック電流)に対する磁気抵抗効果素子が受ける磁界の大きさを測定するための磁気平衡式電流センサの構成を示す図である。図11に示す磁気平衡式電流センサは、フィードバックコイル(Cu)12の上方及び下方に(スパイラル構造)、厚さ10μm、長さ100μmの2つの磁気コア(NiFe)13が配設されている。フィードバックコイル12は、断面視において幅3μm、高さ2.2μmであり、コイル間の距離が2μmである。また、フィードバックコイルのターン数はそれぞれ20ターンである。また、磁気コア13間の距離は90μmである。2つの磁気コア13の間には、長さが50μmである磁気抵抗効果素子141が配設されている。この構成において、フィードバックコイル12、磁気コア13及び磁界検出ブリッジ回路(図示せず)が同一基板上に形成されている。
Claims (10)
- 被測定電流からの誘導磁界の印加により抵抗値が変化する磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素子の近傍に配置された磁気コアと、前記磁気抵抗効果素子の近傍に配置され、前記誘導磁界を相殺するキャンセル磁界を発生するフィードバックコイルと、前記誘導磁界に応じた電圧差を生じる2つの出力を備える磁界検出ブリッジ回路と、を具備し、前記電圧差により前記フィードバックコイルに通電して前記誘導磁界と前記キャンセル磁界とが相殺される平衡状態となったときの前記フィードバックコイルに流れる電流に基づいて前記被測定電流を測定する磁気平衡式電流センサであって、前記フィードバックコイル、前記磁気コア及び前記磁界検出ブリッジ回路が同一基板上に形成されてなることを特徴とする磁気平衡式電流センサ。
- 前記フィードバックコイルがトロイダル型であり、前記磁気コアが前記フィードバックコイルの内側に設けられていることを特徴とする請求項1記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記フィードバックコイルがスパイラル型であり、前記磁気コアが前記フィードバックコイルの上方及び下方に設けられていることを特徴とする請求項1記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子が2つの磁気コアの間に配置され、前記磁気抵抗効果素子と前記磁気コアとが同一平面に形成されたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記磁気コアは、磁化容易軸が前記フィードバックコイルの電流方向と一致するように設けられたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記フィードバックコイルは、前記被測定電流の流れる方向に直交する方向が軸心方向となるように設けられ、前記磁気コアは、磁化容易軸が前記軸心方向と直交するように設けられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子が、スピンバルブ型のGMR素子又はTMR素子であることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記GMR素子は、幅が1μm〜10μmのミアンダ形状を有し、長手方向の長さが幅の2倍以上であり、前記長手方向が前記誘導磁界の方向及び前記キャンセル磁界の方向に対して共に垂直になるように配置されたことを特徴とする請求項7記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記TMR素子は、幅が1μm〜10μmの長方形であり、長手方向の長さが幅の2倍以上であり、前記長手方向が前記誘電磁界の方向及び前記キャンセル磁界の方向に対して共に垂直になるように配置されたことを特徴とする請求項7記載の磁気平衡式電流センサ。
- 前記磁気コアは、アモルファス磁性材料、パーマロイ系磁性材料、及び鉄系微結晶材料からなる群より選ばれた高透磁率材料で構成されていることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載の磁気平衡式電流センサ。
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