JP5990963B2 - 磁気センサデバイス、及び電流センサ回路 - Google Patents
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例えば被測定電流が流れる導体を取り囲むエアギャップつきの環状磁心を用い、この磁心に被測定電流による磁束を発生させ、ギャップ内にスピンバルブ型の巨大磁気抵抗素子を置いて当該磁束を測定する構成による電流センサが特許文献1に開示されている。
実施例1:690μm、
実施例2:390μm、
実施例3:290μm、
実施例4:190μm、
比較例1:0μm(延伸部なし)
とした(なお延伸部Lの幅は40μmとした)。
実施例5:50μm、
実施例6:40μm、
実施例7:30μm
実施例8:20μm
として、それぞれの場合に磁気抵抗効果素子12の幅方向における磁束密度の分布を調べた。図18は、その結果を図示したものである。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板の面上に形成され、磁束の方向に沿って一列に、2n+1(nは自然数)個配された磁気ヨークと、
前記磁気ヨークに巻回されるコイルと、
固定層及び自由層を有し、一対の前記磁気ヨーク間に形成される磁場の強さを検出する2m(mは自然数)個の磁気抵抗効果素子であって、2個ずつの磁気抵抗効果素子がそれぞれブリッジ回路を構成してなる磁気抵抗効果素子と、
を含み、
前記磁気ヨークの少なくとも一つが、前記コイルが巻回される本体部と、当該本体部に連結され、磁束の方向に交差する方向に延びる延伸部とを有し、
前記磁気ヨークには、隣接する磁気ヨークに向けてその幅が狭くなるようテーパーを有してなる磁気センサデバイス。 - 請求項1記載の磁気センサデバイスであって、
前記コイルは、前記磁気ヨークに対してソレノイド状に巻回されている磁気センサデバイス。 - 請求項1または2に記載の磁気センサデバイスであって、
前記磁気ヨークの前記コイルが巻回される部分に、隣接する磁気ヨークに向けてその幅が狭くなるようテーパーを有してなる磁気センサデバイス。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の磁気センサデバイスであって、
前記一列に配された磁気ヨークのうち、磁束方向両端に配された二つの磁気ヨークのそれぞれの末端側に、磁束の方向に交差する方向に延びる延伸部を具備する磁気センサデバイス。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の磁気センサデバイスであって、
前記一列に配された磁気ヨークのうち、磁束方向両端に配された二つの磁気ヨークのそれぞれの末端側に、磁束の方向に交差する方向に延びる延伸部を有し、
当該延伸部が互いに連結されて閉磁路を形成する磁気センサデバイス。 - 請求項1から5のいずれか一項に記載の磁気センサデバイスであって、
前記テーパーの先端の幅は、前記磁気抵抗効果素子の実効長さよりも長い磁気センサデバイス。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の磁気センサデバイスであって、
一対の前記磁気ヨーク間に、それぞれ複数の前記磁気抵抗効果素子を配してなる磁気センサデバイス。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の磁気センサデバイスであって、
前記一列に配された磁気ヨークのうち、磁束方向両側に、隣接する磁気ヨークを有する磁気ヨークは、その磁束方向中央部が幅広に形成される磁気センサデバイス。 - 請求項1から8のいずれか一項に記載の磁気センサデバイスを含む電流センサ回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012066580A JP5990963B2 (ja) | 2011-12-26 | 2012-03-23 | 磁気センサデバイス、及び電流センサ回路 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011283926 | 2011-12-26 | ||
JP2011283926 | 2011-12-26 | ||
JP2012066580A JP5990963B2 (ja) | 2011-12-26 | 2012-03-23 | 磁気センサデバイス、及び電流センサ回路 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013152208A JP2013152208A (ja) | 2013-08-08 |
JP2013152208A5 JP2013152208A5 (ja) | 2015-04-30 |
JP5990963B2 true JP5990963B2 (ja) | 2016-09-14 |
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ID=49048647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012066580A Expired - Fee Related JP5990963B2 (ja) | 2011-12-26 | 2012-03-23 | 磁気センサデバイス、及び電流センサ回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5990963B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014174061A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104569870B (zh) * | 2015-01-07 | 2017-07-21 | 江苏多维科技有限公司 | 一种单芯片具有校准/重置线圈的z轴线性磁电阻传感器 |
DE102017004349A1 (de) * | 2017-05-08 | 2018-11-08 | Tdk-Micronas Gmbh | Magnetfeldkompensationseinrichtung |
JP6986002B2 (ja) * | 2018-11-26 | 2021-12-22 | Tdk株式会社 | 磁気センサ装置 |
KR102615083B1 (ko) * | 2022-04-06 | 2023-12-19 | 연세대학교 산학협력단 | 편심 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 정전기력 구동 2축 mems 자기장 센서 및 이의 제조방법 |
CN116825658B (zh) * | 2023-08-30 | 2023-11-24 | 粤芯半导体技术股份有限公司 | 一种离子束束流实时监测方法及装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008146809A1 (ja) * | 2007-05-28 | 2008-12-04 | Mitsubishi Electric Corporation | 磁界検出装置 |
JP2009300196A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Tamura Seisakusho Co Ltd | 電流検出器 |
JP5250108B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2013-07-31 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 磁気平衡式電流センサ |
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2012
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014174061A (ja) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013152208A (ja) | 2013-08-08 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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