JP7140149B2 - 電流センサ、磁気センサ及び回路 - Google Patents
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Description
前記磁気検出装置の近傍に設けられ、前記被測定磁界を打ち消すキャンセル磁界を発生する2つのコイルと、
2つの前記コイルの間に直列に接続される、前記コイルに流れる電流を検出するためのシャント抵抗器と、
前記磁気検出装置の出力信号を増幅し、前記キャンセル磁界を誘起させる電流を前記コイルに供給する第1の差動増幅器と、
前記シャント抵抗器の両端電圧を増幅し、前記導体に流れる電流と比例する測定電圧を出力する第2の差動増幅器と、
を有し、
前記磁気検出装置、2つの前記コイル及び前記シャント抵抗器が同一の基板上に形成され、
前記コイルは、前記磁気検出装置を間に挟んで互いに対向して配置される、並列に接続された複数の信号線から成る下部コイル及び並列に接続された複数の信号線から成る上部コイルの少なくとも一方を有する。
前記磁気検出装置の近傍に設けられ、前記被測定磁界を打ち消すキャンセル磁界を発生する2つのコイルと、
2つの前記コイルの間に直列に接続される、前記コイルに流れる電流を検出するためのシャント抵抗器と、
前記磁気検出装置の出力信号を増幅し、前記キャンセル磁界を誘起させる電流を前記コイルに供給する第1の差動増幅器と、
前記シャント抵抗器の両端電圧を増幅し、前記電流と比例する測定電圧を出力する第2の差動増幅器と、
を有し、
前記磁気検出装置、2つの前記コイル及び前記シャント抵抗器が同一の基板上に形成され、
前記コイルは、前記磁気検出装置を間に挟んで互いに対向して配置される、並列に接続された複数の信号線から成る下部コイル及び並列に接続された複数の信号線から成る上部コイルの少なくとも一方を有する。
前記磁気検出装置の近傍に設けられ、前記被測定磁界を打ち消すキャンセル磁界を発生する2つのコイルと、
2つの前記コイルの間に直列に接続される、前記コイルに流れる電流を検出するためのシャント抵抗器と、
前記磁気検出装置の出力信号を増幅し、前記キャンセル磁界を誘起させる電流を前記コイルに供給する第1の差動増幅器と、
前記シャント抵抗器の両端電圧を増幅し、前記電流と比例する測定電圧を出力する第2の差動増幅器と、
を有し、
前記磁気検出装置、2つの前記コイル及び前記シャント抵抗器が同一の基板上に形成され、
前記コイルは、前記磁気検出装置を間に挟んで互いに対向して配置される、並列に接続された複数の信号線から成る下部コイル及び並列に接続された複数の信号線から成る上部コイルの少なくとも一方を有する。
10 磁気検出装置
11~14 磁気抵抗効果素子
20 MR基板
21、22 フィードバックコイル
30 シャント抵抗器
40 差動増幅器
50 コイルドライバ回路
51~54 スイッチ
60 制御回路
70 増幅器
80 回路基板
201 下部コイル
202 上部コイル
203 第1の延長配線
204 第2の延長配線
205 第3の延長配線
206 第4の延長配線
207 第1の導電層
208 第2の導電層
C1、C1R、C2、C2R 電極パッド
Claims (9)
- 導体の近傍に設置され、前記導体に流れる電流で誘起される被測定磁界が印加され、前記被測定磁界の変化に応じて電気抵抗が変化する磁気検出装置と、
前記磁気検出装置の近傍に設けられ、前記被測定磁界を打ち消すキャンセル磁界を発生する2つのコイルと、
2つの前記コイルの間に直列に接続される、前記コイルに流れる電流を検出するためのシャント抵抗器と、
前記磁気検出装置の出力信号を増幅し、前記キャンセル磁界を誘起させる電流を前記コイルに供給する第1の差動増幅器と、
前記シャント抵抗器の両端電圧を増幅し、前記導体に流れる電流と比例する測定電圧を出力する第2の差動増幅器と、
を有し、
前記磁気検出装置、2つの前記コイル及び前記シャント抵抗器が同一の基板上に形成され、
前記コイルは、前記磁気検出装置を間に挟んで互いに対向して配置される、並列に接続された複数の信号線から成る下部コイル及び並列に接続された複数の信号線から成る上部コイルの少なくとも一方を有する電流センサ。 - 2つの前記コイルがそれぞれトロイダル状に形成された請求項1記載の電流センサ。
- 前記磁気検出装置が磁気抵抗効果素子を備え、前記磁気抵抗効果素子がトンネル磁気抵抗効果素子である請求項1または2記載の電流センサ。
- 被測定磁界の変化に応じて電気抵抗が変化する磁気検出装置と、
前記磁気検出装置の近傍に設けられ、前記被測定磁界を打ち消すキャンセル磁界を発生する2つのコイルと、
2つの前記コイルの間に直列に接続される、前記コイルに流れる電流を検出するためのシャント抵抗器と、
前記磁気検出装置の出力信号を増幅し、前記キャンセル磁界を誘起させる電流を前記コイルに供給する第1の差動増幅器と、
前記シャント抵抗器の両端電圧を増幅し、前記電流と比例する測定電圧を出力する第2の差動増幅器と、
を有し、
前記磁気検出装置、2つの前記コイル及び前記シャント抵抗器が同一の基板上に形成され、
前記コイルは、前記磁気検出装置を間に挟んで互いに対向して配置される、並列に接続された複数の信号線から成る下部コイル及び並列に接続された複数の信号線から成る上部コイルの少なくとも一方を有する磁気センサ。 - 2つの前記コイルがそれぞれトロイダル状に形成された請求項4記載の磁気センサ。
- 前記磁気検出装置が磁気抵抗効果素子を備え、前記磁気抵抗効果素子がトンネル磁気抵抗効果素子である請求項4または5記載の磁気センサ。
- 被測定磁界の変化に応じて電気抵抗が変化する磁気検出装置と、
前記磁気検出装置の近傍に設けられ、前記被測定磁界を打ち消すキャンセル磁界を発生する2つのコイルと、
2つの前記コイルの間に直列に接続される、前記コイルに流れる電流を検出するためのシャント抵抗器と、
前記磁気検出装置の出力信号を増幅し、前記キャンセル磁界を誘起させる電流を前記コイルに供給する第1の差動増幅器と、
前記シャント抵抗器の両端電圧を増幅し、前記電流と比例する測定電圧を出力する第2の差動増幅器と、
を有し、
前記磁気検出装置、2つの前記コイル及び前記シャント抵抗器が同一の基板上に形成され、
前記コイルは、前記磁気検出装置を間に挟んで互いに対向して配置される、並列に接続された複数の信号線から成る下部コイル及び並列に接続された複数の信号線から成る上部コイルの少なくとも一方を有する回路。 - 2つの前記コイルがそれぞれトロイダル状に形成された請求項7記載の回路。
- 前記磁気検出装置が磁気抵抗効果素子を備え、前記磁気抵抗効果素子がトンネル磁気抵抗効果素子である請求項7または8記載の回路。
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