JP5665422B2 - 磁束検出装置および磁束検出装置の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (8)
- 磁束を形成する磁束形成コイル(1)と、
形成された磁束をガイドする導磁構造体(2)と、
第1の検出路部材(31)を備えた、形成された磁束の少なくとも一部を測定する第1の磁束検出コイル(3)と
を有する磁束検出装置であって、
前記磁束形成コイル(1)は複数の巻線を有しており、かつ、該複数の巻線の領域に少なくとも1つの第1の励磁路部材および少なくとも1つの第2の励磁路部材(11,12)を有しており、前記第1の励磁路部材(11)および前記第2の励磁路部材(12)は主延在方向を含む第1の平面に対してほぼ平行に延在している、
磁束検出装置において、
前記第1の平面において前記第1の励磁路部材(11)と前記第2の励磁路部材(12)とのあいだに前記第1の検出路部材(31)が延在しており、
前記第1の平面に対して垂直な方向での前記励磁路部材の投影像が前記第1の平面に対して垂直な方向での前記導磁構造体(2)の投影像を少なくとも前記磁束形成コイル(1)の前記複数の巻線の領域においてほぼ完全にカバーする
ことを特徴とする磁束検出装置。 - 当該の磁束検出装置がさらに第2の検出路部材(61)を備えた第2の磁束検出コイル(6)を有しており、前記磁束形成コイルの前記第1の励磁路部材(11)と前記第2の励磁路部材(12)とは主延在方向を含む前記第1の平面において相互に平行に延在しておりかつ前記主延在方向に対して垂直な方向で見て相互に懸隔されており、前記第1の磁束検出コイルの前記第1の検出路部材(31)と前記第2の磁束検出コイル(6)の前記第2の検出路部材(61)とは前記第1の平面に延在しておりかつ前記磁束形成コイルの前記第1の励磁路部材(11)と前記第2の励磁路部材(12)とのあいだに延在している、請求項1記載の磁束検出装置。
- 前記磁束形成コイル(1)はさらに第3の励磁路部材(13)および第4の励磁路部材(14)を有しており、該第3の励磁路部材(13)および該第4の励磁路部材(14)は前記第1の平面に対して平行な第2の平面に延在しており、前記導磁構造体(2)は前記第1の平面と前記第2の平面とのあいだに延在している、請求項1または2記載の磁束検出装置。
- 前記第1の磁束検出コイル(3)と前記第2の磁束検出コイル(6)とは直列に接続されており、前記第1の磁束検出コイル(3)の出力側が前記第2の磁束検出コイル(6)の入力側に接続されている、請求項2記載の磁束検出装置。
- 前記第1の磁束検出コイル(3)は前記磁束形成コイル(1)の前記複数の巻線が配置された領域の外側に延在する線路を介して前記第2の磁束検出コイル(6)に接続されており、これらのコイル内の誘導磁束は当該の磁束検出装置の主延在方向と同じ方向を有する、請求項4記載の磁束検出装置。
- 前記導磁構造体(2)は前記第1の平面に対してほぼ平行に延在する磁性薄膜として構成されている、請求項1から5までのいずれか1項記載の磁束検出装置。
- 請求項1から6までのいずれか1項記載の磁束検出装置を半導体基板上に被着されたマイクロシステムとして製造する
ことを特徴とする磁束検出装置の製造方法。 - 磁性薄膜の形態の導磁構造体(2)を前記半導体基板上に被着する、請求項7記載の磁束検出装置の製造方法。
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