JP7319771B2 - 電流検出器及びパワーモジュール - Google Patents

Description

本発明は、電流検出器及びパワーモジュールに関する。

従来、コイルを備える電流検出器が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

図１２は、従来の電流検出器９００を示す図である。なお、図１２中、符号９２９は戻り線を示し、符号９６０は電流検出部を示す。
従来の電流検出器９００は、図１２に示すように、中心軸が環状となるコイル９２０（いわゆるロゴスキーコイル）を有し、コイル９２０によって形成された環の内側を電流路Ｌが貫通する位置にコイル９２０が配置されたときに、電流路Ｌを流れる電流を検出する。電流検出器９００を用いて電流検出を行う電流路Ｌの例としては、例えば、電流路Ｌとしてパターン配線を用いる場合や電流路Ｌとしてリードを用いる場合が考えられる。

特開２００６－１８９３１９号公報

しかしながら、従来の電流検出器９００においては、コイル９２０によって形成された環の内側を電流路Ｌが貫通するようにコイル９２０を配置する必要があるため（図１２参照。）、電流路Ｌと垂直な平面においてコイル９２０が占める領域の面積（コイル９２０に囲まれた領域の面積を含む）が大きくなってしまい、コイル９２０が主電流配線の妨げになり易く、配線設計の制約が大きくなってしまう、という問題がある。

これを防ぐために、コイル９２０が占める領域を狭くしようとすれば、コイル９２０によって形成された環の内側の面積が狭くなってしまうため、コイル９２０によって形成された環の内側に電流路Ｌを貫通させるためには電流路Ｌの断面積を小さくしなければならなくなり、電力損失が大きくなってしまう、という問題がある。

そこで、本発明は上記した問題を解決するためになされたものであり、コイルを配置しても配線設計の制約が小さく、かつ、電力損失が大きくなり難い電流検出器を提供することを目的とする。

［１］本発明の電流検出器は、平板に形成され、中心軸が前記平板の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるコイルを有し、前記平板が、測定対象である電流路と平行となり、かつ、前記コイルの前記中心軸が前記電流路とねじれの位置になるように前記コイルが配置されたときに前記電流路を流れる電流を検出することを特徴とする。

なお、本明細書中、「平板」とは、直方体のように各面が平らなものだけでなく、平板を折り曲げたものも含むものとする。

［２］本発明の電流検出器においては、平面的に見て前記コイルの前記中心軸が前記電流路と直交する位置になるように前記コイルが配置されたときに、前記電流路を流れる電流を検出することが好ましい。

［３］本発明の電流検出器においては、前記コイルは、前記平板の一方面に形成された導体膜と、前記一方面とは反対側の他方面に形成された導体膜とを、前記平板の厚さ方向に形成されたビアを介して接続することによって形成されたものであることが好ましい。

［４］本発明の電流検出器においては、前記コイルは、戻しコイルを有することが好ましい。

［５］本発明の電流検出器においては、前記コイルは、空芯コイルであることが好ましい。

［６］本発明の電流検出器においては、前記平板は、フレキシブル基板であることが好ましい。

［７］本発明の電流検出器においては、前記コイルとして、直列に接続された複数のコイルを有し、前記複数のコイルの各コイルは、前記電流路に対して並列となるように配置されていることが好ましい。

［８］本発明のパワーモジュールは、所定の電流路と、平板に形成され、中心軸が前記平板の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるコイルを有する、上記［１］～［７］のいずれかに記載の電流検出器と、を備え、前記電流検出器においては、前記平板が前記電流路と平行となり、かつ、前記コイルの前記中心軸が前記電流路とねじれの位置となるように前記コイルが配置されていることを特徴とする。

［９］本発明のパワーモジュールにおいては、前記電流路は、パターン配線であり、前記コイルは、前記パターン配線上に絶縁体を介して配置されていることが好ましい。

本発明の電流検出器及びパワーモジュールによれば、平板に形成され、中心軸が平板の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるコイルを有し、平板が、測定対象である電流路と平行となり、かつ、コイルの中心軸が電流路とねじれの位置になるようにコイルが配置されたときに電流路を流れる電流を検出するため、従来の電流検出器９００の場合のようにコイルを環状にする必要がなく、電流路と垂直な平面においてコイルが占める領域の面積（コイルに囲まれた領域の面積を含む）が所定以上の大きさにならなくて済む。従って、コイルが主電流配線の妨げになり難く、配線設計の制約を小さくすることができる。

本発明の電流検出器及びパワーモジュールによれば、上記した構成を有するため、コイルを環状にする必要がなく、従来の電流検出器９００の場合のようにコイルによって形成された環の内側に電流路を貫通させる、という必要もない。従って、コイルが占める領域を狭くした場合でも電流路の断面積を小さくする必要がなく、電力損失が大きくなり難くなる。

実施形態１に係るパワーモジュール１の回路図である。 実施形態１に係るパワーモジュール１及び電流検出器１００を説明するために示す図である。 実施形態１におけるコイル１２０の斜視断面図である。 図３のＡ－Ａ断面図である。 図３のＢ－Ｂ断面図である。 実施形態１における電流検出部１６０の等価回路図である。 実施形態１に係る電流検出器１００を過電流保護回路を含む回路に適用した場合の回路図である。 実施形態１に係る電流検出器１００をＤＣ－ＤＣコンバータを含む回路に適用した場合の回路図である。 実施形態２に係る電流検出器１００ａを説明するために示す図である。 実施形態３におけるコイル１２０ｃの断面図である。 変形例におけるコイル１２０ｄ、１２０ｅを示す図である。 従来の電流検出器９００を示す図である。

以下、本発明の電流検出器及びパワーモジュールについて、図に示す実施形態に基づいて説明する。なお、各図面は模式図であり、必ずしも実際の寸法を厳密に反映したものではない。

［実施形態１］
１．実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の構成
図１は、実施形態１に係るパワーモジュール１の回路図である。図２は、実施形態１に係るパワーモジュール１及び電流検出器１００を説明するために示す図である。なお、本発明の理解を助けるために、図１及び図２においてはコイル１２０を模式的に表現している。また、符号Ｔ１～Ｔ５は端子を示す。

まず、実施形態１に係るパワーモジュール１について説明する。
実施形態１に係るパワーモジュール１は、図１に示すように、スイッチング素子２００と、スイッチング素子２００と接続されている所定の電流路Ｌと、電流検出器１００とを備える。電流路Ｌは、パターン配線である。

実施形態１に係るパワーモジュール１においては、図２に示すように、基板１５０上にスイッチング素子２００及び電流路Ｌが形成されている。電流検出器１００は、平板状に形成されており、電流検出器１００のコイル１２０が電流路Ｌ（パターン配線）上に絶縁体１４０（図３参照。）を介して配置されている。
実施形態１に係るパワーモジュール１においては、スイッチング素子２００、電流検出器１００及び電流路Ｌが、耐熱性・高絶縁性の樹脂やセラミックス等により形成されたパッケージ（図示せず。）で覆われている。

スイッチング素子２００は、適宜のスイッチング素子を用いることができ、実施形態１においては、ＭＯＳＦＥＴ（Ｍｅｔａｌ―Ｏｘｉｄｅ―Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｆｉｅｌｄ―Ｅｆｆｅｃｔ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を用いる。スイッチング素子２００のゲート電極には制御部２１０が接続されており、制御部２１０は、電流検出器１００の検出結果に基づいてスイッチング素子２００のオンオフを制御する。

実施形態１に係る電流検出器１００は、コイル１２０と、電流検出部１６０とを有し、電流路Ｌを流れる電流によって生じた磁束Ｈ（磁束変化）によってコイル１２０に流れる電流を検出することにより、電流路Ｌを流れる電流を検出する。

電流検出器１００においては、図１に示すように、コイル１２０の中心軸Ａが電流路Ｌとねじれの位置になるように配置されており、実施形態１においては、平面的に見てコイル１２０の中心軸Ａが電流路Ｌと直交する位置になるようにコイル１２０が配置されている。

次に、電流検出器１００について詳しく説明する。
図３は、実施形態１におけるコイル１２０の斜視断面図である。図４は、図３のＡ－Ａ断面図である。図５は、図３のＢ－Ｂ断面図である。

実施形態１においては、表面にパターン配線（電流路Ｌ）が形成された基板１５０上に、絶縁体１４０を介して、コイル１２０が形成されている平板１１０が積層された状態となっている（図３～図５参照。）。基板１５０は、一般的なプリント基板であり、電流路Ｌは基板１５０と、絶縁体１４０との間に配置されている。コイル１２０が形成されている平板１１０は、フレキシブル基板である。

コイル１２０は、平板１１０に形成され、中心軸Ａが平板１１０の厚み方向（図３のｚ軸方向）とは垂直な方向（図３のｘ軸方向）に沿って延在する直線となっている。

コイル１２０は、空芯コイルである。コイル１２０は、平板１１０の一方面に形成された導体膜１２２，１２６と、他方面に形成された導体膜１２３，１２７とを、平板１１０の厚さ方向に形成されたビア１２４，１２８を介して接続することによって形成されたものである。平板１１０の一方面側及び他方面側にはコイルをカバーするカバーレイフィルムが配置されている。なお、実施形態１においては、他方の面のカバーレイフィルムが絶縁体１４０を兼ねており、一方面のカバーレイフィルムは図示を省略している。

コイル１２０は、らせん状に形成された第１コイル部１２１とらせん状に形成された第２コイル部１２５（いわゆる戻しコイル）とで二重らせん構造を構成している。
コイル１２０は、ｘ軸方向に沿って所定の間隔で１／２周分ずつ形成されている（１／２周分ずつ巻かれている）。すなわち、コイル１２０は、１／２周巻いたらｘ軸方向に移動して再び１／２周巻き、これを繰り返したような構成となっている。第１コイル１２１と第２コイル１２５とは互い違いに巻かれている。
第１コイル部１２１と第２コイル部１２５とはそれぞれ、一方端で接続されており、第１コイル部１２１の他方端及び第２コイル部１２５の他方端は、それぞれ電流検出部１６０と接続するための端子と接続されている（図１参照。）。

第１コイル部１２１は、平板１１０の一方面に形成された導体膜１２２と、一方面とは反対側の他方面に形成された導体膜１２３とを、平板１１０の厚さ方向に形成されたビア１２４を介して接続することによって形成されたものである。
第２コイル部１２５は、平板１１０の一方面に形成された導体膜１２６と、一方面とは反対側の他方面に形成された導体膜１２７とを、平板１１０の厚さ方向に形成されたビア１２８を介して接続することによって形成されたものである。
なお、導体膜１２２，１２３，１２６，１２７は、例えば、金属箔である。

図６は、実施形態１における電流検出部１６０の等価回路図である。なお、本発明の理解を助けるために、図６においてはコイル１２０を模式的に表現している。
電流検出部１６０は、図６に示すように、オペアンプ１６１と、抵抗１６２と、コンデンサ１６３とを有し、コイル１２０を流れる電流の起電力に基づいて電流路Ｌに流れる電流を検出する。このような構成とすることにより、比較的微弱な磁束変化による電流を増幅した状態で検出できることから、電流路Ｌを流れる電流を検出し易くなる。

２．実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の効果
実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、平板１１０に形成され、中心軸Ａが平板１１０の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるコイル１２０を有し、平板１１０が、測定対象である電流路Ｌと平行となり、かつ、コイル１２０の中心軸Ａが電流路Ｌとねじれの位置になるようにコイル１２０が配置されたときに電流路Ｌを流れる電流を検出するため、従来の電流検出器９００の場合のようにコイル１２０を環状にする必要がなく、電流路Ｌと垂直な平面においてコイル１２０が占める領域の面積（コイル１２０に囲まれた領域の面積を含む）が所定以上の大きさにならなくて済む。従って、コイル１２０が主電流配線の妨げになり難く、配線設計の制約を小さくすることができる。

実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、上記した構成を有するため、コイル１２０を環状にする必要がなく、従来の電流検出器９００の場合のように環状にしたコイル１２０の環の内側に電流路Ｌを貫通させる、という必要もない。従って、コイル１２０が占める領域を狭くした場合でも電流路Ｌの断面積を小さくする必要がなく、電力損失が大きくなり難くなる。

また、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、電流検出器１００においては、平面的に見てコイル１２０の中心軸Ａが電流路Ｌと直交するようにコイル１２０が配置されているため、コイル１２０が電流路Ｌを流れる電流から発生する磁束変化を検出しやすくなり、電流路Ｌに流れる電流を検出し易くなる。

また、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、コイル１２０は、平板１１０の一方面に形成された導体膜１２２、１２６と、一方面とは反対側の他方面に形成された導体膜１２３，１２７とを、平板１１０の厚さ方向に形成されたビア１２４，１２８を介して接続することによって形成されたものであるため、比較的容易にコイル１２０を形成することができる。また、平板の厚みが比較的一定であることからコイル１２０の径を均一に形成し易くなる。

また、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、コイル１２０は、戻しコイル１２５を有するため、コイル１２０が占める領域を必要以上に大きくすることなく、コイル１２０の巻き数を増加させることができる。これにより、外部の磁場の影響を小さくすることができるため、電流路Ｌの電流を検出し易くなる

また、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、コイル１２０は、戻しコイル１２５を有するため、従来の電流検出器９００の場合のように平板１１０内に戻し線を設ける必要がない。従って、１層の平板１１０の一方面に形成された導体膜１２２、１２６と、一方面とは反対側の他方面に形成された導体膜１２３，１２７とを、平板１１０の厚さ方向に形成されたビア１２４，１２８を介して接続するだけでコイル１２０を形成することができる。

また、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、コイル１２０が、空芯コイルであるため、インピーダンスが小さく、電流測定による電力損失が小さくなる。また、コイル１２０が、空芯コイルであるため、磁束が飽和せず大電流の測定に対応することができる。

また、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１によれば、平板１１０は、リキッド基板に比べて軽いフレキシブル基板であるため、パワーモジュール１の軽量化を図ることができる。また、平板１１０は、フレキシブル基板であるため、折り曲げが可能で、電流路Ｌの形状に合わせて折り曲げた状態でコイルを配置することが可能となる。

さらにまた、実施形態１に係るパワーモジュール１によれば、電流路Ｌは、パターン配線であり、コイル１２０は、パターン配線上に絶縁体１４０を介して配置されているため、パワーモジュールの厚さを薄くすることができる。

［適用例］
図７は、実施形態１に係る電流検出器１００を過電流保護回路に適用した場合の回路図である。図８は、実施形態１に係る電流検出器１００をＤＣ－ＤＣコンバータを含む回路に適用した場合の回路図である。
実施形態１に係るパワーモジュールを構成する回路としては、例えば、過電流保護回路に適用することができ、電流検出器１００をスイッチング素子２００に過電流が流れないように監視するのに用いることができる（図７参照。）。また、ＤＣ－ＤＣコンバータを含む回路に適用することもでき、電流検出器の検出結果に基づいて電流をスイッチング素子２００ａとダイオードＤ１のいずれに流すか切り替える（スイッチング素子２００ｂとダイオードＤ２についても同様）同期整流を実現することができる（図８参照。）。その他、適宜の回路において電流検出器を用いることができる。

［実施形態２］
図９は、実施形態２における電流検出器１００ａを説明するために示す図である。図９（ａ）は実施形態２におけるコイル１２０ａ、１２０ｂの斜視断面図であり、図９（ｂ）は実施形態２におけるコイル１２０ａ、１２０ｂの概念図である。なお、本発明の理解を助けるために、図９（ｂ）においてはコイル１２０を模式的に表現している。

実施形態２に係る電流検出器１００ａ及びパワーモジュールにおいては、基本的には実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１と同様の構成を有するが、直列に接続された複数のコイルを有する点で実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の場合とは異なる。すなわち、実施形態２に係る電流検出器１００ａ及びパワーモジュールにおいては、コイルとして、直列に接続された２つのコイル１２０ａ、１２０ｂを有し、各コイルは、電流路Ｌに対して並列となるように配置されている。なお、実施形態２においては２つのコイルを配置しているが、３以上のコイルを配置してもよい。

実施形態２に係る電流検出器１００ａ及びパワーモジュールにおいては、電流路Ｌに流れる電流によって生じる磁束変化によって、各コイル１２０ａ、１２０ｂで誘導電流が発生し、電流検出部１６０においては、これらの誘導電流を足し合わせて電流路Ｌに流れる電流を検出する。

このように、実施形態２に係る電流検出器１００ａ及びパワーモジュールは、直列に接続された複数のコイルを有する点で実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の場合とは異なるが、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の場合と同様に、平板１１０に形成され、中心軸Ａが平板１１０の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるコイル１２０ａ、１２０ｂを有し、平板１１０が、測定対象である電流路Ｌと平行となり、かつ、コイル１２０ａ、１２０ｂの中心軸Ａが電流路Ｌとねじれの位置になるようにコイル１２０ａ、１２０ｂが配置されたときに電流路Ｌを流れる電流を検出するため、従来の電流検出器９００の場合のようにコイル１２０ａ、１２０ｂを環状にする必要がなく、電流路Ｌと垂直な平面においてコイル１２０ａ、１２０ｂが占める領域の面積が所定以上の大きさにならなくて済む。従って、コイル１２０ａ、１２０ｂが主電流配線の妨げになり難く、配線設計の制約を小さくすることができる。

実施形態２に係る電流検出器１００ａ及びパワーモジュールによれば、コイルとして、直列に接続された複数のコイル１２０ａ、１２０ｂを有し、各コイル１２０ａ、１２０ｂは、電流路Ｌに対して並列となるように配置されているため、各コイル１２０ａ、１２０ｂで発生する電流の起電力を足し合わせて電流路に流れる電流を検出することができ、電流路Ｌに流れる電流をより一層検出し易くなる。

なお、実施形態２に係る電流検出器１００ａ及びパワーモジュールは、直列に接続された複数のコイルを有する点以外の点においては実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１が有する効果のうち該当する効果を有する。

［実施形態３］
図１０は、実施形態３におけるコイル１２０ｃの断面図である。
実施形態３に係る電流検出器及びパワーモジュールにおいては、基本的には実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１と同様の構成を有するが、戻しコイルの代わりに戻し線を有する点で実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の場合とは異なる。すなわち、実施形態３に係る電流検出器及びパワーモジュールにおいては、図１０に示すように、戻しコイル１２５の代わりに、コイル１２０ｃの内側を通るように直線状の戻し線１２９が形成されている。

実施形態３に係る電流検出器及びパワーモジュールにおいては、平板として、上板１１０ａ及び下板１１０ｂの間に戻し線１２９が配置された積層板を用いる。

このように、実施形態３に係る電流検出器及びパワーモジュールは、戻しコイルの代わりに戻し線を有する点で実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の場合とは異なるが、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１の場合と同様に、中心軸が平板の厚み方向とは垂直な方向に延在する直線となるコイル１２０ｃを有し、測定対象である電流路Ｌと平行な位置に平板が配置され、かつ、コイル１２０ｃの中心軸が電流路Ｌとねじれの位置になるようにコイル１２０ｃが配置されたときに、電流路Ｌを流れる電流を検出するため、従来の電流検出器９００の場合のように中心軸が環状となるコイルを必要とせず、環の内側を電流路Ｌが貫通させる必要がない。従って、電流路Ｌと垂直な平面においてコイル１２０ｃが占める面積を小さくすることができるため、配線設計の制約が小さくすることができる。

また、実施形態３に係る電流検出器及びパワーモジュールにおいては、戻しコイル１２５がないため、コイル１２０ｃの間隔（図３におけるｘ軸方向の間隔）を狭くすることができ、単位面積当たりの巻き数を増やすことができる。

なお、実施形態３に係る電流検出器及びパワーモジュールは、戻しコイルの代わりに戻し線を有する点以外の点においては実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１と同様の構成を有するため、実施形態１に係る電流検出器１００及びパワーモジュール１が有する効果のうち該当する効果を有する。

以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。

（１）上記各実施形態において記載した構成要素の数、形状、位置、大きさ等は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。

（２）上記各実施形態において、コイルは、ｘ軸方向に沿って所定の間隔で１／２周分ずつ形成されているが、本発明はこれに限定されるものではない。ｘ軸方向に沿って所定の間隔で１／４周分ずつ形成してもよいし、３/４周分ずつ形成してもよいし、それ以外の周期で巻くことを繰り返してコイルを構成してもよい。

（３）上記各実施形態において、電流検出器は、基板１５０上に配置された電流路の電流を検出したが、本発明はこれに限定されるものではない。電流検出器は、リード線を流れる電流を検出してもよい。図１１は、変形例におけるコイル１２０ｄ、１２０ｅを示す図である。図１１（ａ）は電流路Ｌの断面が円形である場合のコイル１２０ｄの様子を示す図であり、図１１（ｂ）は電流路Ｌの断面ｎが矩形である場合のコイル１２０ｅの様子を示す図である。この場合、電流検出器の平板１１０をリード線の周囲の一部を巻くように配置して電流路Ｌの電流検出をしてもよい（図１１（ａ）及び図１１（ｂ）参照。）。

（４）上記各実施形態においては、電流路Ｌの断面が矩形の電流を検出したが、本発明はこれに限定されるものではない。電流路Ｌの断面が円形でもよいし、その他適宜の形状でもよい。電流路Ｌの断面が円形である場合には、円柱状の電流路の外縁に沿って平板を巻いて電流路Ｌに流れる電流を検出してもよい（図１１（ａ）参照。）。

１…パワーモジュール、１００、１００ａ，１００ｄ,１００ｅ，９００…電流検出器、１１０…平板、１１０ａ…上板、１１０ｂ…下板、１２０，１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃ、１２０ｄ，１２０ｅ，９２０…コイル、１２１，１２１ａ，１２１ｂ…第１コイル部、１２２，１２２ａ，１２２ｂ，１２３，１２３ａ，１２３ｂ，１２６，１２６ａ，１２６ｂ，１２７，１２７ａ，１２７ｂ…導体膜、１２５，１２５ａ，１２５ｂ…第２コイル部（戻しコイル）、１２４，１２４ａ，１２４ｂ，１２８，１２８ａ，１２８ｂ…ビア、１２９…戻し線、１４０…絶縁体、１５０…基板、１６０…電流検出部、１６１…オペアンプ、１６２…抵抗、１６３,Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…コンデンサ、２００，２００ａ，２００ｂ，Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４…スイッチング素子、２１０…制御部、３００…電源、Ａ…中心軸、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５…ダイオード、Ｌ…電流路、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４…インダクタ

Claims (1)

1. 所定の電流路と、
   平板に形成され、中心軸が前記平板の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるようにらせん状に形成された第１コイル部と、中心軸が前記平板の厚み方向とは垂直な方向に沿って延在する直線となるように、前記平板にらせん状に形成された戻しコイルである第２コイル部とを有するコイルを有する電流検出器と、を備え、
   前記電流検出器においては、前記平板が測定対象である前記電流路と平行となり、かつ、前記第１コイル部の中心軸及び前記第２コイル部の中心軸が前記電流路とねじれの位置となるように前記第１コイル部及び前記第２コイル部が配置されており、
   前記電流検出器は、前記電流路を流れる電流を検出するものであり、
   前記電流路は、基板上に形成されたパターン配線であり、
   前記コイルは、前記パターン配線上に絶縁体を介して配置されており、前記平板の一方面に形成された導体膜と、前記一方面とは反対側の他方面に形成された導体膜とを、前記平板の厚さ方向に形成されたビアを介して接続することによって形成されたものであり、
   前記絶縁体は、前記平板の他方面側に配置され、前記基板と前記平板との間に配置されており、前記平板に形成された前記コイルを覆うとともに、前記パターン配線及び前記基板を覆うものであり、
   前記平板は、一方面側がカバーレイフィルムで覆われたものであり、
   前記第１コイル部の中心軸と前記第２コイル部の中心軸は、平行、かつ、互いにずれた位置に位置することを特徴とするパワーモジュール。

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